JP3936004B2 - 静電浮上チャック - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ、サファイア基板、アルミニウム基板、ガラス基板、ドラムなどの板状あるいは円筒状をした被固定物を静電吸着力により吸引電極と直に接触しない状態で静電吸着力により保持可能とした静電浮上チャックに関するものであり、特に半導体製造装置や液晶製造装置等に好適に用いられるものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、真空雰囲気中において被固定物を保持するために、以下に示すような静電チャックが用いられている。
【0003】
図4は従来の静電チャックを示す断面図であり、具体的には被固定物の固定に使用されるものである。
【0004】
この静電チャックは、円盤状をした絶縁基板201の表面に半円状をした2枚の吸引電極202,203を敷設するとともに、この吸引電極202,203を覆うように絶縁基板201の表面を絶縁皮膜204で被覆し、その表面を吸着面205としたものであり、この吸着面205に被固定物10を載置し、吸引電極202,203間に電圧を印加することによって被固定物10を分極させて帯電せしめ、その電荷と吸引電極202,203との間に作用する静電吸着力でもって、被固定物10を吸着面205に保持するようになっていた。
【0005】
そして、吸引電極202,203間に印加する電圧を上げて、静電吸着力を高めることにより、被固定物10と吸着面205との間の摩擦力を増大させ、搬送時や外部からの振動に対して位置ズレを生じることなく、所定の位置に被固定物10を保持することができるようになっている。
【0006】
また、図5はかかる従来の他の静電チャックを示す図であり、具体的には被固定物10を搬送する時に使用されるものであり、円盤状をした絶縁基板301の表面に扇状をした4枚の吸引電極302,303,304,305を敷設するとともに、被固定物10と吸引電極302,303,304,305との相対位置を検出する4つの光電センサ306,307,308,309を絶縁基板301の周縁部にそれぞれ等間隔に具備してなり、この静電チャックを被固定物10に近づけるとともに、各吸引電極302,303,304,305に電圧を印加することにより、静電吸着力を発現させて被固定物10を浮上させ、この被固定物10と吸引電極302,303,304,305との相対位置を光電センサ306,307,308,309で検出し、その信号値が目標値と一致するように制御器310でもって、各吸引電極302,303,304,305への電圧を制御することにより、被固定物10を絶縁基板301上の吸引電極302,303,304,305と非接触の状態で保持するようになっていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、これら従来の静電チャックでは、真空雰囲気中における固定や搬送において以下のような問題があった。
【0008】
図4に示す静電チャックでは、脱着時に際して、被固定物の裏面全面が吸着面205と接触し、さらに保持位置を調整するために吸着面205上を移動させることがあるため、この移動に伴う摺動により被固定物10及び/または絶縁皮膜204の吸着面205が摩耗し、この摩耗粉(パーティクル)が真空雰囲気中に浮遊することから雰囲気を汚染するといった問題があった。
【0009】
例えば、被固定物10が8インチ径のシリコンウエハである場合、チャック動作の1アクション当り0.02mgの摩耗粉が浮遊するため、この摩耗粉が被固定物10の表面に付着する確率が高く、被固定物10が半導体ウエハである場合には、摩耗粉によりLSIの微小回路の断線等の不具合を生じるというように、各種製造工程での歩留りを大きく低下させる原因となっていた。
【0010】
また、図5に示す静電浮上チャックでは、被固定物10が吸引電極302,303,304,305との静電吸着力のみにより、非接触の状態で保持されているだけであることから、水平方向における保持力が小さく、そのために搬送時や外部からの振動に対して被固定物10の位置ズレが発生するといった問題があった。
【0011】
本発明は、上記問題点を解決するために、絶縁体基板の周縁部に被固定物の外周部を支持する当接部材を設けることにより、強力な保持力と正確な位置決めができるとともに、摩耗粉の発生が極めて少ない静電浮上チャックを提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は、上記目的を達成するために、静電浮上チャックにおいて、絶縁体基板(102)に被固定物(10)を静電吸着力により吸引する、前記絶縁体基板(102)の中央側に扇状をした三つの吸引電極(103d,103e,103f)と、該三つの吸引電極(103d,103e,103f)の外周側に帯状をした三つの吸引電極(103a,103b,103c)が、ほぼ同一面積となるように配置された吸引電極(103)と、前記絶縁体基板(102)の周縁部に等間隔に配置され、前記被固定物(10)を所定位置に保持する、三つの円錐状をした当接部材(104a,104b,104c)を備えてなり、前記被固定物(10)を前記吸引電極(103)による静電吸着力でもって引き寄せて前記被固定物(10)の外周部を前記当接部材(104a,104b,104c)の内側面であるテーパ面に衝止させることにより保持するようにしたものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【0014】
図1は本発明の静電浮上チャックの構成図であり、図1(a)は静電浮上チャックの斜視図、図1(b)は図1(a)のX−X線断面図である。
【0015】
この静電浮上チャックは絶縁体基板102(以下、単に基板という)の表面に吸引電極103を敷設してある。この吸引電極103は中央側に扇状をした三つの吸引電極103d,103e,103fと、それらの外周側に帯状をした三つの吸引電極103a,103b,103cが、ほぼ同一面積となるように配置してあり、例えば、吸引電極103aと吸引電極103d、吸引電極103bと吸引電極103e、吸引電極103cと吸引電極103fとのそれぞれの間に制御電圧を印加するようになっている。
【0016】
また、基板102の周縁部には三つの円錐状をした当接部材104a,104b,104cを等間隔に設けてあり、被固定物10の吸引時に当接部材104a,104b,104cの内側面であるテーパ面で、上記被固定物10の外周部を支持するとともに、被固定物10の中心が基板102の中心と一致するように位置決めできるようにしたものである。
【0017】
したがって、被固定物10は吸引電極103と非接触の状態で保持することができるため、摺動摩耗に伴う摩耗粉が生じることがなく、使用時の真空雰囲気や被固定物を汚染することがない。また、吸引時に被固定物10との位置関係が若干ずれていたとしても、当接部材104a,104b,104cのテーパ面に沿って移動して、基板102の中心と一致するように所定位置に位置決めすることができる。
【0018】
しかも、被固定物10はその外周部を当接部材104a,104b,104cにより保持されることから、搬送時や外部からの振動が加わった場合でも、位置ズレが生じることがなく、高い保持力を得ることができる。
【0019】
なお、図1では当接部材104a,104b,104cの形状を円錐状とした例を示したが、例えば、他に図3(a)に示すような三角錐などの角錐からなるもの、図3(b)に示すような円柱体からなるもの、図3(c)に示すような側面が平らな又は湾曲したテーパ面を有する略台形状のもの、図3(d)に示すような基板102の周縁部に沿って延設した略台形状の当接部材とすることもでき、本発明では、少なくとも内側面が外広がり状のテーパ面を成したものであればよい。また、基板102の周縁部に形成する当接部材104a,104b,104cの数についても被固定物10を確実に支持するために3個以上設けてあればよい。
【0020】
さらに、基板102には被固定物10と吸引電極103との相対位置を検出する手段として、3つのレーザ式変位センサ105a,105b,105cを具備させてあり、これらレーザ式変位センサ105a,105b,105cは当接部材104a,104b,104cの近傍にそれぞれ設けられている。
【0021】
そして、この静電浮上チャックを用いて被固定物10を保持する場合、まず、吸引電極103側を下方に向けて静電浮上チャックを被固定物10に近づける。そして、上述したように吸引電極103aと吸引電極103d、吸引電極103bと吸引電極103e、吸引電極103cと吸引電極103fとの間にそれぞれ電圧を印加することにより静電吸着力を発現させ、被固定物10をさらに浮上させることにより、当接部材104a,104b,104cのテーパ面で被固定物10の中心と基板102の中心とが一致するように位置決めしながら所定の位置に吸引電極103と非接触の状態で保持することができる。
【0022】
なお、レーザ式変位センサ105a,105b,105cからの測定値は、図2に示すように、変位入力信号Sia,Sib,Sicとして制御器106に取り込み、これをA/D変換器107a,107b,107cにおいてデジタル信号に変換して、デジタルシグナルプロセッサ(DSP)108により演算処理をさせ、この出力信号を高電圧増幅器109a,109b,109cで増幅した後、各吸引電極103a〜103fに加えるようにしてあり、上記デジタルシグナルプロセッサ(DSP)108による演算処理は、次の3項目を同時平行にて処理する。
【0023】
(1)制御器106に取り込まれる変位入力信号Sia,Sib,Sicは、別途設定された変位目標値と比較され、その値が小さくなるように通常のサーボ増幅器同様、PIDすなわち比例要素、積分要素、微分要素の伝達関数での処理が行われる。
【0024】
(2)制御器106に取り込まれる変位入力信号Sia,Sib,Sicの相互間について比較され、この3点が同じ値に近くなるように調整される。
【0025】
(3)制御器106に取り込まれる変位入力信号Sia,Sib,Sicと変位目標値の差分を比較し、この値が一定値となるように変位目標値自身を調整する。
【0026】
そのため、被固定物10の吸引開始状態の位置にバラツキがあったり、また、被固定物10のサイズが少々異なっていても、吸着完了時には吸引電極103と平行にストレスの少ない固定が可能である。
【0027】
なお、基板102を構成する絶縁材料としては、軽量で、かつ高剛性を有するものが良く、また当接部材104a,104b,104cを形成する材質としては、滑らかな面(具体的には鏡面)が得られるとともに、高硬度を有するものが良いことから、このような材質として、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウムなどを主体とするセラミックスや単結晶材料であるサファイアを採用することができる。
【0028】
このようにして製造された本発明の静電浮上チャックは、従来の静電チャックでは得られない以下のような作用効果を奏することができる。
【0029】
すなわち、本発明の静電浮上チャックは、基板102の周縁部に備えた当接部材104a,104b,104cにより被固定物10の外周部のみを支持し、被固定物10を吸引電極103と非接触の状態で位置決め保持する構造としたので、従来の静電チャックに比べると、被固定物10との接触面積を飛躍的に小さくすることができ、接触摩耗による摩耗粉の総量を全く無視できる程に激減することができる。
【0030】
具体的には、8インチ径のシリコンウエハを図1に示す外径が200mmの静電浮上チャックで保持した場合、接触部(シリコンウエハの裏面における当接部材104a,104b,104cとの接触面)の面積比率は、理論的に1/30000以下となり、実際、パーティクルカウンターでシリコンウエハの裏面に付着する摩耗粉の総量について測定を行った結果、100回のアクションにおいても全く検出することができなかった。
【0031】
また、図1に示す静電浮上チャックに1000Vの直流電圧を印加した場合、水平方向の位置決め保持力が800g以上となり、従来の静電浮上チャックに比べ大幅に保持力を向上させることができ、搬送時や外部からの振動に対しても位置ズレを生じることなく、所定の位置に被固定物10を位置決め保持することができる。
【0032】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【0033】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、絶縁体基板に被固定物を静電吸着力により吸引する吸引電極と、前記被固定物を所定位置に保持する当接部材を備えてなり、前記被固定物を吸引電極による静電吸着力でもって引き寄せて被固定物の外周部を前記当接部材に衝止させることにより保持するように静電浮上チャックを構成したことにより、以下のような効果を奏することができる。
【0034】
(A)当接部材により的確な支持と位置決めを行うことができるため、強力な保持力を得ることができるとともに、摩耗粉(パーティクル)の発生を激減させることができる。
【0035】
(B)水平方向の被固定物の位置決め保持力が高く、搬送時や外部からの振動に対しても位置ズレを生じることなく所定の位置に被固定物を位置決め保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の静電浮上チャックの構成図である。
【図2】 本発明の静電浮上チャックの制御回路図である。
【図3】 本発明の静電浮上チャックの当接部材の変形例を示す図である。
【図4】 従来の静電チャックを示す断面図である。
【図5】 従来の他の静電チャックを示す図である。
【符号の説明】
10 被固定物
102 絶縁体基板
103,103a,103b,103c,103d,103e,103f 吸引電極
104a,104b,104c 当接部材
105a,105b,105c レーザ式変位センサ
106 制御器
107a,107b,107c A/D変換器
108 デジタルシグナルプロセッサ(DSP)
109a,109b,109c 高電圧増幅器
Claims (1)
- 絶縁体基板(102)に被固定物(10)を静電吸着力により吸引する、前記絶縁体基板(102)の中央側に扇状をした三つの吸引電極(103d,103e,103f)と、該三つの吸引電極(103d,103e,103f)の外周側に帯状をした三つの吸引電極(103a,103b,103c)が、ほぼ同一面積となるように配置された吸引電極(103)と、前記絶縁体基板(102)の周縁部に等間隔に配置され、前記被固定物(10)を所定位置に保持する、三つの円錐状をした当接部材(104a,104b,104c)を備えてなり、前記被固定物(10)を前記吸引電極(103)による静電吸着力でもって引き寄せて前記被固定物(10)の外周部を前記当接部材(104a,104b,104c)の内側面であるテーパ面に衝止させることにより保持するようにしたことを特徴とする静電浮上チャック。
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---|---|---|---|
JP31451696A JP3936004B2 (ja) | 1996-11-26 | 1996-11-26 | 静電浮上チャック |
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JP31451696A JP3936004B2 (ja) | 1996-11-26 | 1996-11-26 | 静電浮上チャック |
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JP31451696A Expired - Fee Related JP3936004B2 (ja) | 1996-11-26 | 1996-11-26 | 静電浮上チャック |
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1996
- 1996-11-26 JP JP31451696A patent/JP3936004B2/ja not_active Expired - Fee Related
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