JP3919332B2 - 光電子増倍管及び分光測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、受光面板に入射した微弱な光りを電子の増倍によって検出させる構成をもった光電子増倍管に関するものであり、更に、本発明は、このような光電子増倍管を利用した分光測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の技術において、特開平7−43212号公報には、分光測色計などに用いられる分光センサが開示され、この分光センサは、シリコンフォトダイオード等の受光素子を一列に整列させた状態で、各受光素子に対応させるような連続分光フィルタをもっている。また、分光センサは、試料用の受光素子列と光源用の受光素子列とを有しており、各受光素子列は、温度特性を揃えるために同一のICパッケージ内に収容されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の分光センサは、試料用の受光素子列と光源用の受光素子列とが、同一のICパッケージ内に格納されてはいるものの、各ダイオード毎に固有の特性をもつことから、各ダイオード毎の特性を一致させるには、多数のダイオードの中から同一の特性のものを選び出す作業を必要とし、これがコストアップの要因になる場合もある。さらに、シリコンフォトダイオードでは、変換された電気信号を外部のアンプで増幅させるために、検出光が微弱な光であると、アンプのノイズに埋もれてしまい、正確な検出が行われない場合もある。また、高速で移動する物体の測色についても、検出時間が50μsec〜100μsecといった極めて短い時間である場合に、その検出を困難にしていた。
【0004】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、特に、高精度な分光特性をもった光電子増倍管及び分光測定装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の光電子増倍管は、受光面板に入射した光によって電子を放出する光電面を有し、光電面から放出した電子を増倍させる電子増倍部を有し、電子増倍部で増倍させた電子に基づいて出力信号を送出するアノードを有する光電子増倍管において、受光面板の受光面側には、電子増倍部に対峙する位置にフィルタ部材が固着され、フィルタ部材は、電子増倍部の複数の増倍エリアに対応させた複数の分光フィルタ部を有し、分光フィルタ部の間を離間させ、この隙間に遮光部材を設けたことを特徴とする。
【0006】
この光電子増倍管においては、受光面板自体をフィルタにするのではなく、受光面板にフィルタ部材を別途固着させることから、受光面板に対するフィルタ機能の付与を簡単に実現することができ、極めて汎用性の高い光電子増倍管を可能にする。そして、受光面板に固着したフィルタ部材によって選択された波長のみが受光面板に入射することになるから、特定波長の光に起因した電子増倍現象が、電子増倍部によって引き起こされることになる。その結果、波長選択された微弱な光でも、アノードから出力信号として簡単かつ確実に取り出すことが可能となる。しかも、フィルタ機能と光電子増倍管本来の特性とをマッチングさせることで、高速で移動する物体の色測定においても、50μsec〜100μsecといった短時間測定をも実現化する。
【0007】
さらに、フィルタ部材は、電子増倍部の複数の増倍エリアに対応させた複数の分光フィルタ部を有する。このとき、各増倍エリア毎にフィルタ部材が分割され、分割したそれぞれの部分を分光フィルタ部にすることで、分光フィルタ部に応じた様々な波長の光毎に別個の電子増倍現象を発生させ、様々な波長の光に応じた出力を得ることができる。
さらに、分光フィルタ部の間を離間させ、この隙間に遮光部材を設ける。このような構成によって、分光フィルタ部間で起こる光のクロストークを適切に防止することができる。
【0008】
また、アノードは、増倍エリアに対応した数の出力エリアを有すると好ましい。このような構成を採用した場合、増倍エリア毎に、出力エリアのアノードから出力信号を送出させることができるので、様々な波長の光に応じた出力を各出力エリアから得ることができる。
【0009】
また、電子増倍部は、複数段に積層させるダイノードを有し、各ダイノードには、リニアに配列された複数の電子増倍孔が形成され、電子増倍孔を段方向に配列してなる電子増倍経路によってチャンネルを形成すると好ましい。このような構成を採用した場合、チャンネル数に対応した光の波長選択を可能にし、チャンネル数が多ければ多い程、高精度な波長分解特性を可能にする。また、各ダイノードに設けられた電子増倍孔を、リニアに配列させる結果として、電子増倍孔の配列方向に対応して、分光フィルタ部を近接させた状態でリニアに配列させることができる。
【0011】
また、受光面板の受光面には、分光フィルタ部を固着した部分の残りの部分に遮光部材が設けられると好ましい。このような構成を採用した場合、外部からの迷光がフィルタ部材以外から受光面板に入射することを適切に防止する。
【0012】
また、受光面板は、少なくとも2分割させると好ましい。このような構成を採用した場合、受光面板間で起こる光のクロストークを適切に防止することができる。
【0013】
本発明に係る光電子増倍管において、受光面板に入射した光によって電子を放出する光電面を有し、光電面から放出した電子を増倍させる電子増倍部を有し、電子増倍部で増倍させた電子に基づいて出力信号を送出するアノードを有する光電子増倍管において、
受光面板の受光面側には、電子増倍部に対峙する位置にフィルタ部材が固着され、フィルタ部材は、第1分光フィルタ群と第2分光フィルタ群とからなり、第1分光フィルタ群は複数の第1の分光フィルタ部に分割され、第2分光フィルタ群は複数の第2の分光フィルタ部に分割され、第1及び第2の分光フィルタ部を、電子増倍部の各増倍エリアに対応させたことを特徴とする。
このような構成を採用した場合、各増倍エリアで起こる電子増倍現象を一本の光電子増倍管内で行わせることができるので、同じ条件下での電子の増倍が可能となり、各電子増倍現象が同じドリフト特性をもつことになる。従って、アノードから出力される各値を比較すると、これら値は、同じドリフト特性に基づいた値であるため、極めて高い比較精度が達成されることになる。また、分光フィルタ群を、複数の分光フィルタ部から形成することに起因し、各分光フィルタ部毎に、異なる波長選択特性をもたせることができ、汎用性の向上に寄与する。
【0014】
また、受光面板は、第1分光フィルタ群を載置させる第1の受光面板と、第2分光フィルタ群を載置させる第2の受光面板とに分割させると好ましい。このような構成を採用した場合、第1分光フィルタ群を載置させた第1の受光面板と第2の分光フィルタ群を載置させた第2の受光面板との間で起こる光のクロストークを適切に防止することができ、第1の分光フィルタ群を介して受光面板に入ってくる所定波長の光と、第2の分光フィルタ群を介して受光面板に入ってくる所定波長の光とを受光面板において独立させることができる。
【0015】
また、同一の分光特性を有する第1の分光フィルタ部と第2の分光フィルタ部とを、一対一で対応させて各チャンネル毎に受光面板上に配置させると好ましい。このような構成を採用した場合、同一の分光特性を有する一対の第1の分光フィルタ部と第2の分光フィルタ部とを、一対のチャンネル毎に設けることができるので、チャンネル毎にアノードの出力を対比することができる。
【0016】
また、電子増倍部の各ダイノードには、第1分光フィルタ群と第2分光フィルタ群との境界を形成する仕切り部が設けられると好ましい。このような構成を採用した場合、光電子増倍部の内部構造において、分光フィルタ群同士を分断することができ、光電子増倍部の内部でのクロストークを確実に阻止することができる。
【0017】
また、仕切り部には、光電面形成用のアルカリ金属蒸気を挿通させるガス導入孔が設けられると好ましい。このような構成を採用した場合、たとえダイノードに仕切り部を設けたとしても、この仕切り部に邪魔されることなく、光電面の均一な形成を可能にする。
【0018】
本発明に係る分光測定装置は、試料からの光と光源からのリファレンス光とを入射させる受光面板をもった光電子増倍管と、光電子増倍管から出力される試料光の出力値とリファレンス光の出力値とを入力し所定の演算を行う演算器とをもった分光測定装置であって、光電子増倍管にあっては、受光面板に入射した光によって電子を放出する光電面を有し、光電面から放出した電子を増倍させる電子増倍部を有し、電子増倍部で増倍させた電子に基づいて出力信号を送出するアノードを有し、受光面板の受光面側には、電子増倍部に対峙する位置にフィルタ部材が固着され、フィルタ部材は、試料光側の第1分光フィルタ群とリファレンス光側の第2分光フィルタ群とからなり、試料光側の第1分光フィルタ群は複数の第1の分光フィルタ部に分割され、リファレンス光側の第2分光フィルタ群は複数の第2の分光フィルタ部に分割され、第1及び第2の分光フィルタ部を、電子増倍部の各増倍エリアに対応させたことを特徴とする。
【0019】
この分光測定装置においては、各増倍エリアにおいて、試料光に基づく電子増倍現象とリファレンス光に基づく電子増倍現象とを一本の光電子増倍管内で行わせることができるので、同じ条件下での電子の増倍が可能となり、各電子増倍現象が同じドリフト特性をもつことになる。そこで、試料光に基づいてアノードから出力される値と、リファレンス光に基づいてアノードから出力される値とを演算器によって演算(例えば割り算)することで、光電子増倍管自体がもっているドリフト特性を確実に打ち消すことができる。その結果、高精度な分光測定が可能となり、しかも、長時間にわたる計測においても、電源投入直後からの色測定を可能にし、光電子増倍管のドリフト特性が安定するまでの待機を必要とせず、立ち上がりの良い装置が得られる。
【0020】
また、電子増倍部は、複数段に積層させるダイノードを有し、各ダイノードには、リニアに配列された複数の電子増倍孔が形成され、電子増倍孔を段方向に配列してなる電子増倍経路によってチャンネルを形成すると好ましい。このような構成を採用した場合、チャンネル数に対応した光の波長選択を可能にし、チャンネル数が多ければ多い程、高精度な波長分解特性を可能にする。また、各ダイノードに設けられた電子増倍孔を、リニアに配列させる結果として、電子増倍孔の配列方向に対応して、分光フィルタ部を近接させた状態でリニアに配列させることができる。
【0021】
また、受光面板は、第1分光フィルタ群を載置させる試料光側の第1の受光面板と、第2分光フィルタ群を載置させるリファレンス光側の第2の受光面板とに分割させると好ましい。このような構成を採用した場合、受光面板において、試料光側とリファレンス光側との間で起こる光のクロストークを適切に防止することができ、試料光とリファレンス光との対比を一層確実なものとする。
【0022】
また、同一の分光特性を有する第1の分光フィルタ部と第2の分光フィルタ部とを、一対一で対応させて各チャンネル毎に受光面板上に配置させると好ましい。このような構成を採用した場合、同一の分光特性を有する一対の第1の分光フィルタ部と第2の分光フィルタ部とを、一対のチャンネル毎に設けることができるので、試料光とリファレンス光との対比を簡単にすることができる。
【0023】
また、電子増倍部の各ダイノードには、試料光側の第1分光フィルタ群とリファレンス光側の第2分光フィルタ群との境界を形成する仕切り部が設けられると好ましい。このような構成を採用した場合、光電子増倍部の内部構造において、試料光側とリファレンス光側とを完全に分断することができ、光電子増倍部の内部でのクロストークを確実に阻止することができる。
【0024】
また、仕切り部には、光電面形成用のアルカリ金属蒸気を挿通させるガス導入孔が設けられると好ましい。このような構成を採用した場合、たとえダイノードに仕切り部を設けたとしても、この仕切り部に邪魔されることなく、光電面の均一な形成を可能にする。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明による光電子増倍管及び分光測定装置の好適な実施形態について詳細に説明する。
【0026】
図1は、本発明に係る光電子増倍管を示す外観斜視図であり、図2は、その平面図であり、図3は、図2のIII−III線の沿う断面図、図4は、図2のIV−IV線の沿う断面図である。これら図面に示す光電子増倍管1は、略角筒形状の金属製側管2を有し、この側管2の一側の開口端にはガラス製の受光面板3が固定され、この受光面板2の内表面には、光を電子に変換する光電面3aが形成され、この光電面3aは、受光面板2に予め蒸着させておいたアンチモンにアルカリ金属蒸気を反応させることで形成される。また、側管2の他側の開口端には、フランジ部2aが形成され、このフランジ部2aには、金属製のステム4の周縁部が抵抗溶接等で固定されている。このように、側管2と受光面板3とステム4とによって密封容器5が構成される。
【0027】
また、ステム4の中央には金属製の排気管6が固定され、この排気管6は、光電子増倍管1の組立て作業終了後、密封容器5の内部を真空ポンプ(図示せず)によって排気して真空状態にするのに利用されると共に、光電面3aの形成時にアルカリ金属蒸気を密封容器5内に導入させる管としても利用される。
【0028】
そして、この密封容器5内には、ブロック状で積層タイプの電子増倍器7が固定され、この電子増倍器7は、8枚(8段)のダイノード8を積層させた電子増倍部9を有し、この電子増倍器7は、ステム4に設けられたステムピン10によって密封容器5内で支持され、各ステムピン10を各ダイノード8と電気的に接続させている。また、電子増倍器7は、アノード12を配置させるための絶縁基板11を有している。
【0029】
更に、電子増倍器7は、図5に示すように、光電面3aと電子増倍部9との間に配置される平板状の収束電極板13を有し、この収束電極板13には、スリット状の開口部13aが複数本形成され、各開口部13aを一方向にリニアに配列させる。同様に、電子増倍部9の各ダイノード8には、開口部13aと同数のスリット状の電子増倍孔8aが複数本形成され、各電子増倍孔8aを一方向にリニアに配列させている。そして、各ダイノード8の各電子増倍孔8aを段方向に配列してなる各電子増倍経路Lと収束電極板13の各開口部13aとを一対一で対応させることによって、リニアに配列された複数のチャンネルAを形成する。
【0030】
電子増倍器7は、電子増倍部9の下方にアノード12を有し、このアノード12は、複数本の細長い陽極部15で構成され、各陽極部15は、各チャンネルAに一対一で対応する位置に設けられている。更に、各陽極部15は、絶縁基板11上に並べられ、各陽極部15を各ステムピン10に接続させることで、各ステムピン10を介して外部に個別的な出力を取り出している。
【0031】
このように、電子増倍器7は、リニアに配列した複数のチャンネルAを有している。そして、電子増倍部9及びアノード12には、図示しないブリーダ回路に接続した所定のステムピン10によって所定の電圧が供給され、光電面3aと収束電極板13とは、同じ電位に設定され、電子増倍部9の各ダイノード8とアノード12は、この順に上から高い電位に設定される。従って、受光面板2に入射した光は、光電面3aで電子に変換され、その電子が、所定のチャンネルA内に入射することになる。そして、電子の入射したチャンネルAにおいて、電子は、ダイノード8の電子増倍経路Lを通りながら、各段のダイノード8で多段増倍されて、電子増倍部9から放出される。そして、多段増倍させた電子が所定の陽極部15に入射することで、所定のチャンネルAの陽極部15毎に個別的な所定の出力を得ることができる。
【0032】
ここで、図1〜図5に示すように、受光面板3の受光面3bには、フィルタ部材20が紫外線硬化樹脂などのエポキシ系の接着剤により貼り付けられ、この接着剤は、光を透過させ得るものであればよい。このフィルタ部材20は、電子増倍部9に対応するようにその真上に配置させられ、細分化させた複数(32個)の分光フィルタ部21からなっている。各分光フィルタ部21は、特定の波長を選択的に透過させる特性を有するものであると共に、ダイノード8の電子増倍孔8aの大きさに合わせるように細長くスライスされたものである。例えば、電子増倍孔8aの幅が1mmに設定されている場合、分光フィルタ部21は、0.8mmの幅でスライスされることになる。
【0033】
ここで、図6に示すように、電子増倍部9は、8枚(8段)のダイノード8を積層させたものであり、各ダイノード8は、リニアに整列させた電子増倍孔8aを有し、各電子増倍孔8aは、この配列方向に延びる仕切り部22によって2分割されている。従って、各ダイノード8において、電子増倍孔8aが16列ある場合、仕切り部22によって電子増倍孔8aは32個作り出されることになる。そして、それぞれの電子増倍孔8aが個々のチャンネルAを形成することになり、電子増倍部9は、32個のチャンネルAを有することになる。そして、各チャンネルAが増倍エリアSを形成することになり、増倍エリアSも32個存在することになる。増倍エリアSに対応するように、フィルタ部材20も32分割され、分光フィルタ部21を32個有することになる(図5参照)。
【0034】
なお、増倍エリアSは、分光フィルタ部21の個数に対応して存在するもので、例えば、隣接する2つのチャンネルAで一つの増倍エリアSを形成する場合、16個の増倍エリアSが電子増倍部9に存在することになり、フィルタ部材20も16分割されて、16個の分光フィルタ部21が受光面板3に固着されることになる。また、隣接する8個のチャンネルAで一つの増倍エリアSを形成する場合は、4個の増倍エリアSが電子増倍部9に存在することになり、隣接する16個のチャンネルAで一つの増倍エリアSを形成する場合には増倍エリアSは2個となり、増倍エリアSの個数に合わせた数の分光フィルタ部21が受光面板3に固着されることになる。さらに、受光面板3やフィルタ部材20を、増倍エリアSの個数に合わせて分割させることもできるが、受光面板3を分割させることなく一枚にした場合には、その受光面板3上に一枚のフィルタ部材20を固着させることができることは言うまでもない。そして、2枚以上に分割させた各受光面板3毎にフィルタ部材20を設けてもよく、分割させた任意の受光面板3上に分光フィルタ部21を設けてもよい。
【0035】
また、図5に示すように、チャンネルA毎に陽極部15が設けられ、各陽極部15が出力エリアPを形成することになり、増倍エリアSが32個存在する場合には、出力エリアPも32個存在することになる。なお、この出力エリアPは、増倍エリアSの個数に対応して存在するもので、例えば、隣接する2つのチャンネルAで一つの増倍エリアSを形成する場合、これに対応する2本の陽極部15で一つの出力エリアPを形成し、アノード12は、16個の増倍エリアSに対して16個の出力エリアPをもつことになる。また、隣接する8個のチャンネルAで一つの増倍エリアSを形成する場合や、隣接する16個のチャンネルAで一つの増倍エリアSを形成する場合も同様であり、アノード12は、増倍エリアSの個数に合わせた数の出力エリアPをもつことになる。
【0036】
また、図3及び図5に示すように、隣接する分光フィルタ部21間を離間させることで、分光フィルタ部21間の光のクロストークを抑制することができるが、この隙間に遮光部材23を配置させることで、分光フィルタ部21間の光のクロストークが確実に防止される。この遮光部材23は、受光面板3の受光面3b側において、分光フィルタ部21の周囲にも配置させている。従って、受光面板3の受光面3bは、分光フィルタ部21以外の部分において遮光部材23で覆われることになり、外部からの迷光がフィルタ部材20以外から受光面板3に入射することが適切に阻止される。なお、この遮光部材23は、Al又はCrの蒸着膜であっても、樹脂のコーティングであってもよい。
【0037】
ここで、図6に示すように、各ダイノード8には、チャンネルAの配列方向に延びる仕切り部22が設けられ、この仕切り部22には、光電面3aの形成時に排気管6から導入されるアルカリ金属蒸気を通過させるためのガス導入孔22aが形成され、各ガス導入孔22aは、チャンネルAの列毎に設けられている。
【0038】
図1及び図4に示すように、受光面板3は、ダイノード8の仕切り部22(図6参照)の位置に応じて2分割され、受光面板3の一方を構成する第1の受光面板3A上には第1分光フィルタ群24Aが配置され、この第1分光フィルタ群24Aは、16枚の第1の分光フィルタ部21Aからなる。同様に、受光面板3の他方を構成する第2の受光面板3B上には第2分光フィルタ群24Bが配置され、この第2分光フィルタ群24Bは、16枚の第2の分光フィルタ部21Bからなる。そして、各分光フィルタ部21A,21Bは、チャンネルA毎に設けられ、第1の受光面板3A上における第1の分光フィルタ部21Aと第2の受光面板3B上における第2の分光フィルタ部21Bとは、同列において一対一の関係で対応し、それぞれの関係において同じ分光特性をもっている。従って、第1の受光面板3A上には16種類の第1の分光フィルタ部21Aが形成され、第2の受光面板3B上にも16種類の第2の分光フィルタ部21Bが形成され、同列においてそれぞれが一対一で対応している。
【0039】
次に、前述した光電子増倍管1は、図7に示すように、高速で移動する試料の色状態を検査するための分光測定装置30に利用される。この装置30は、高速で移動する試料31に向けて光を照射させるための光源32を有し、この光源32はハロゲンランプ等からなる。光源32から放出される光は、光ファイバ束F1の分岐によって、試料31を照明すると同時に、光電子増倍管1の第2分光フィルタ群24Bまで導かれ、第2分光フィルタ群24Bに入射する光源32からの光がリファレンス光となる。また、試料31で反射した光は、光ファイバ束F2によって、第1分光フィルタ群24Aまで導かれ、第2分光フィルタ群24Aに入射する光が試料光となる。よって、第1分光フィルタ群24Aが試料光側となり、第2分光フィルタ群24Bがリファレンス光側となる。
【0040】
そして、図1及び図7に示すように、第1分光フィルタ群24Aは16分割され、16枚の第1の分光フィルタ部21Aによって、400nmから720nmまでの間の光の波長帯域を、20nm毎に端から順次連続するように分割している。第2分光フィルタ群24Bも同様である。
【0041】
そこで、この分光測定装置30においては、光源32から得られるリファレンス光を、光ファイバ束F1を介して第2分光フィルタ群24Bに入射させ、試料31から得られる試料光を、光ファイバ束F2を介して第1分光フィルタ群24Aに入射させる。そして、各分光フィルタ部21A,21Bから入射した光は、それぞれ独立した受光面板3A,3Bの光電面3aで電子に変換され、その後、電子は、各チャンネルA毎に独立した電子増倍を行い、各チャンネルAに対応したアノード12の各陽極部15からそれぞれ独立した出力信号が得られる。この場合、試料光に基づく電子増倍現象とリファレンス光に基づく電子増倍現象とを一本の光電子増倍管1内で行わせているので、同じ条件下での電子の増倍を達成し、各電子増倍現象が同じドリフト特性をもつことになる。
【0042】
そして、試料光に基づいてアノード12の各陽極部15(図5参照)から出力される値と、リファレンス光に基づいてアノード12の各陽極部15から出力される値とを、演算器の一例としての除算器35によって割り算することで、光電子増倍管1自体がもっているドリフト特性を確実に打ち消すことができる。その結果、高精度な分光測定結果を得ることができ、しかも、長時間にわたる計測においても、電源投入直後からの測定を可能にし、光電子増倍管1のドリフト特性が安定するまでの待機を必要とせず、立ち上がりの良い装置30が得られる。
【0043】
本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、光電子増倍管に採用されている電子増倍部の構造としては、現在種々のものが存在し、例えば、サーキュラゲージ型、ボックス型、ラインフォカス型、ベネシアンブラインド型、メッシュ型などがあり、その何れのものでも受光面板3にフィルタ部材20を固着させることは可能である。更に、種々のタイプの電子増倍部において、任意に増倍エリアを設定し、各増倍エリアSに対応するように分光フィルタ部21を設けるとよい。そして、分光フィルタ部21の分光特性は、前述したものに限定されるものでなく、その適用範囲において種々選択されるものであることは言うまでもない。また、本発明に係る光電子増倍管及び分光測定装置は、半導体製造技術における各種分析装置への適用も可能である。
【0044】
【発明の効果】
本発明による光電子増倍管は、以上のように構成されているため、次のような効果を得る。すなわち、受光面板の受光面側には、電子増倍部に対峙する位置にフィルタ部材が固着され、フィルタ部材は、電子増倍部の複数の増倍エリアに対応させた複数の分光フィルタ部を有し、分光フィルタ部の間を離間させ、この隙間に遮光部材を設けたことにより、高精度な分光特性を可能にする。
また、受光面板の受光面側には、電子増倍部に対峙する位置にフィルタ部材が固着され、フィルタ部材は、第1分光フィルタ群と第2分光フィルタ群とからなり、第1分光フィルタ群は複数の第1の分光フィルタ部に分割され、第2分光フィルタ群は複数の第2の分光フィルタ部に分割され、第1及び第2の分光フィルタ部を、電子増倍部の各増倍エリアに対応させたことにより、高精度な分光特性を可能にする。
また、本発明に係る分光測定装置も同様に高精度な分光特性を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光電子増倍管の一実施形態を示す斜視図である。
【図2】図1に示した光電子増倍管の平面図である。
【図3】図2のIII−III線に沿う断面図である。
【図4】図3のIV−IV線に沿う断面図である。
【図5】図3に示した光電子増倍管の要部拡大断面図である。
【図6】本発明に係る光電子増倍管の電子増倍部に採用した板状のダイノードを示す平面図である。
【図7】本発明に係る分光測定装置の一実施形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
A…チャンネル、L…電子増倍経路、S…増倍エリア、P…出力エリア、1…光電子増倍管、3…受光面板、3a…光電面、3A…第1の受光面板、3B…第2の受光面板、8…ダイノード、8a…電子増倍孔、9…電子増倍部、12…アノード、15…陽極部、20…フィルタ部材、21…分光フィルタ部、21A…第1の分光フィルタ部、21B…第2の分光フィルタ部、22…仕切り部、22a…ガス導入孔、23…遮光部材、24A…第1分光フィルタ群、24B…第2分光フィルタ群、30…分光測定装置、35…除算器(演算器)。
Claims (16)
- 受光面板に入射した光によって電子を放出する光電面を有し、前記光電面から放出した電子を増倍させる電子増倍部を有し、前記電子増倍部で増倍させた電子に基づいて出力信号を送出するアノードを有する光電子増倍管において、
前記受光面板の受光面側には、前記電子増倍部に対峙する位置にフィルタ部材が固着され、
前記フィルタ部材は、前記電子増倍部の複数の増倍エリアに対応させた複数の分光フィルタ部を有し、前記分光フィルタ部の間を離間させ、この隙間に遮光部材を設けたことを特徴とする請求項1記載の光電子増倍管。 - 前記アノードは、前記増倍エリアに対応した数の出力エリアを有することを特徴とする請求項1記載の光電子増倍管。
- 前記電子増倍部は、複数段に積層させるダイノードを有し、各ダイノードには、リニアに配列された複数の電子増倍孔が形成され、前記電子増倍孔を段方向に配列してなる電子増倍経路によってチャンネルを形成することを特徴とする請求項1又は2記載の光電子増倍管。
- 前記受光面板の前記受光面には、前記フィルタ部材の周囲に遮光部材が設けられたことを特徴とする請求項1〜3いずれか一項記載の光電子増倍管。
- 前記受光面板は、少なくとも2分割させることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の光電子増倍管。
- 受光面板に入射した光によって電子を放出する光電面を有し、前記光電面から放出した電子を増倍させる電子増倍部を有し、前記電子増倍部で増倍させた電子に基づいて出力信号を送出するアノードを有する光電子増倍管において、
前記受光面板の受光面側には、前記電子増倍部に対峙する位置にフィルタ部材が固着され、
前記フィルタ部材は、第1分光フィルタ群と第2分光フィルタ群とからなり、前記第1分光フィルタ群は複数の第1の分光フィルタ部に分割され、前記第2分光フィルタ群は複数の第2の分光フィルタ部に分割され、前記第1及び第2の分光フィルタ部を、前記電子増倍部の各増倍エリアに対応させたことを特徴とする光電子増倍管。 - 前記受光面板は、前記第1分光フィルタ群を載置させる第1の受光面板と、前記第2分光フィルタ群を載置させる第2の受光面板とに分割させたことを特徴とする請求項6記載の光電子増倍管。
- 同一の分光特性を有する前記第1の分光フィルタ部と前記第2の分光フィルタ部とを、一対一で対応させて前記各チャンネル毎に前記受光面板上に配置させたことを特徴とする請求項6又は7記載の光電子増倍管。
- 前記電子増倍部の各ダイノードには、前記第1分光フィルタ群と前記第2分光フィルタ群との境界を形成する仕切り部が設けられたことを特徴とする請求項6〜8のいずれか一項記載の光電子増倍管。
- 前記仕切り部には、光電面形成用のアルカリ金属蒸気を挿通させるガス導入孔が設けられたことを特徴とする請求項9記載の光電子増倍管。
- 試料からの光と光源からのリファレンス光とを入射させる受光面板をもった光電子増倍管と、前記光電子増倍管から出力される前記試料光の出力値と前記リファレンス光の出力値とを入力し所定の演算を行う演算器をもった分光測定装置であって、
前記光電子増倍管は、前記受光面板に入射した光によって電子を放出する光電面を有し、前記光電面から放出した電子を増倍させる電子増倍部を有し、前記電子増倍部で増倍させた電子に基づいて出力信号を送出するアノードを有し、前記受光面板の受光面側には、前記電子増倍部に対峙する位置にフィルタ部材が固着され、
前記フィルタ部材は、試料光側の第1分光フィルタ群とリファレンス光側の第2分光フィルタ群とからなり、前記試料光側の第1分光フィルタ群は複数の第1の分光フィルタ部に分割され、前記リファレンス光側の第2分光フィルタ群は複数の第2の分光フィルタ部に分割され、前記第1及び第2の分光フィルタ部を、前記電子増倍部の各増倍エリアに対応させたことを特徴とする分光測定装置。 - 前記電子増倍部は、複数段に積層させるダイノードを有し、各ダイノードには、リニアに配列された複数の電子増倍孔が形成され、前記電子増倍孔を段方向に配列してなる電子増倍経路によってチャンネルを形成することを特徴とする請求項11記載の分光測定装置。
- 前記受光面板は、前記第1分光フィルタ群を載置させる試料光側の第1の受光面板と、前記第2分光フィルタ群を載置させるリファレンス光側の第2の受光面板とに分割させたことを特徴とする請求項11又は12記載の分光測定装置。
- 同一の分光特性を有する前記第1の分光フィルタ部と前記第2の分光フィルタ部とを、一対一で対応させて前記各チャンネル毎に前記受光面板上に配置させたことを特徴とする請求項12又は13記載の分光測定装置。
- 前記電子増倍部の各ダイノードには、前記試料光側の第1分光フィルタ群と前記リファレンス光側の第2分光フィルタ群との境界を形成する仕切り部が設けられたことを特徴とする請求項11〜14のいずれか一項記載の分光測定装置。
- 前記仕切り部には、光電面形成用のアルカリ金属蒸気を挿通させるガス導入孔が設けられたことを特徴とする請求項15記載の分光測定装置。
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