JP3916982B2 - Grinding fluid supply method and apparatus - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クーラントを供給して回転する砥石によりワークを研削する研削方法および装置において、前記砥石の外周近辺を横断する流体ジェットを噴出させて前記砥石の外周に沿って連れ回る空気層が遮断された状態の砥石の外周面に異なる角度で着水する複数のクーラント流を供給し、供給されたクーラントが研削点に到達できるようにした研削液供給方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
高速回転する砥石による研削加工における従来のクーラント供給方式としては、直角ノズル、高圧クーラント装置等がある。なかでも、工作物の回転位相により研削点が加工中に変化するC−X制御クランクピン研削やカム研削においては、図8に示されるように砥石G外周面GOに発生する空気層を打ち破る直角ノズルRNを用いるとともに、供給したクーラントを研削点に導くストレートノズルSNを併用していた。
【0003】
また従来の研削液供給装置(特開平7−241770)は、図9に示されるようにクーラント供給ノズルの後方に配置されて空気流を遮断する邪魔板Bfを備えたクーラント供給装置において、クーラント供給ノズルの前方に第1の補助ノズルFNと、邪魔板Bfの後方に第2の補助ノズルSNを備えたクーラント供給装置であった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のクーラント供給方式においては、直角ノズルRNにより砥石面GOに対して直角方向に一つの流れでクーラントを供給するため、空気層を打ち破るのに流れの大半が使用され、大流量を供給する割りには、大部分が周りに飛散し実際に研削点に到達する割合が低かった。また、砥石Gの外周面GOの巻きつきが良好な範囲は、ノズル位置から最大15度の狭い範囲であり、従ってクランクピンPがa位置やb位置へ旋回した時の研削点にはクーラントを到達させやすいが、c位置へ旋回した時の研削点にはクーラントが届かないという問題があった。
【0005】
また従来の研削液供給装置においては、クーラント供給ノズルの直後に邪魔板Bfを配置する構成のため、常に砥石Gの外周面GOに密着した形でノズルを配置せざるをえない。また、クーラント供給ノズルで砥石面に付着した流れを、同じ入射角で供給される第1補助ノズルSNの流れにより遮断する方向に作用するために、結果として大量のクーラントが必要となるという問題があった。
【0006】
そこで本発明者は、クーラントを供給して回転する砥石によりワークを研削する研削方法において、前記砥石の外周近辺を横断する流体ジェットを噴出させて前記砥石の外周に沿って連れ回る空気層が遮断された状態の砥石の外周面に異なる角度で着水する複数のクーラント流を供給し、供給されたクーラントが研削点に到達できるようにするという本発明の技術的思想に着眼し、更に研究開発を重ねた結果、供給されたクーラントが確実に砥石の外周面の研削点に到達できるようにし、砥石外周面におけるクーラントの巻きつき範囲を拡げるとともに、必要なクーラント量を低減するという目的を達成する本発明に到達した。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明(請求項1に記載の第1発明)の研削液供給方法は、
クーラントを供給して回転する砥石によりワークを研削する研削方法において、 前記砥石の幅方向の一方の側から他方の側へ横断する流体ジェットを噴出させて前記砥石の外周に沿って連れ回る空気層が遮断された状態の砥石の外周面に異なる角度で着水する複数のクーラント流を供給し、供給されたクーラントが研削点に到達できるようにした
ものである。
【0008】
本発明(請求項2に記載の第2発明)の研削液供給方法は、
前記第1発明において、
前記複数のクーラント流の第1のクーラント流が、前記砥石の外周面に着水する着水点より前記砥石の回転方向の下流に、第2のクーラント流が着水するように順次着水して、前記クーラント流を砥石の少なくとも研削加工領域まで巻きつけるようにした
ものである。
【0009】
本発明(請求項3に記載の第3発明)の研削液供給方法は、
前記第2発明において、
下流側の着水点に着水するクーラント流の流量が、上流側の着水点に着水するクーラント流の流量より大きく設定されている
ものである。
【0010】
本発明(請求項4に記載の第4発明)の研削液供給装置は、
クーラントを供給して回転する砥石によりワークを研削する研削装置において、
前記砥石表面上における前記研削点の上流側において、砥石の外周に沿って連れ廻る空気の流れである空気層に対して該空気層の幅方向の一方の側から他方の側へ横断する流体ジェットを噴出する流体ノズルを配設し、
前記流体ノズルから噴出された流体ジェットにより前記空気層を吹き飛ばして、前記連れ廻る空気層を排除遮断された遮断位置と前記研削点との間の複数の点に異なった角度でクーラントを供給する複数のノズルを備えた研削液ノズルを配設し、
前記研削液ノズルから供給された複数のクーラント流を砥石の少なくとも研削加工領域まで巻きつけるようにした
ものである。
【0011】
本発明(請求項5に記載の第5発明)の研削液供給装置は、
前記第4発明において、
前記複数のノズルにおけるクーラント流の形態は、前記複数のクーラント流の第2のクーラント流が、第1のクーラント流が前記砥石の外周面に着水する第1の着水点より前記砥石の回転方向の下流の第2の着水点に着水するように設定される
ものである。
【0012】
本発明(請求項6に記載の第6発明)の研削液供給装置は、
前記第5発明において、
前記複数のノズルの上流に配設された複数の電磁弁が、固定軸線を中心として遊星回転する前記ワークの回転位相に同期して順次オンオフ制御され、
異なった噴射角に設定された前記複数のノズルから前記砥石の外周面上の回転方向に沿った複数の研削点の直前にクーラントをそれぞれ供給する
ものである。
【0013】
【発明の作用および効果】
上記構成より成る第1発明の研削液供給方法は、クーラントを供給して回転する砥石によりワークを研削する研削方法において、前記砥石の幅方向の一方の側から他方の側へ横断する流体ジェットを噴出させて前記砥石の外周に沿って連れ回る空気層が遮断された状態の砥石の外周面に異なる角度で着水する複数のクーラント流を供給し、供給されたクーラントが砥石外周上を移動する複数の研削点に到達できるようにしたので、供給されたクーラントが確実に砥石の外周面の研削点に到達できるようにし、砥石外周面におけるクーラントの巻きつき範囲を拡げるとともに、必要なクーラント量を低減するという効果を奏する。
【0014】
上記構成より成る第2発明の研削液供給方法は、前記第1発明において、前記複数のクーラント流の第1のクーラント流が、前記砥石の外周面に着水する着水点より前記砥石の回転方向の下流に、第2のクーラント流が着水するように順次着水するので、前記クーラント流を砥石の少なくとも複数の研削点をカバーする研削加工領域まで確実に巻きつけるという効果を奏する。
【0015】
上記構成より成る第3発明の研削液供給方法は、前記第2発明において、下流側の着水点に着水するクーラント流の流量が、上流側の着水点に着水するクーラント流の流量より大きく設定されているので、前記下流側の着水点に着水するクーラント流により、前記上流側の着水点に着水するクーラント流を前記砥石の外周面に吸着させ、密度の高いクーラントの連れ回り流を形成するという効果を奏する。
【0016】
上記構成より成る第4発明の研削液供給装置は、クーラントを供給して回転する砥石によりワークを研削する研削装置において、前記砥石表面上における前記研削点の上流側に配設した前記流体ノズルによって、砥石の外周に沿って連れ廻る空気の流れである空気層に対して該空気層の幅方向の一方の側から他方の側へ横断するように噴出された流体ジェットにより前記空気層を吹き飛ばして、前記研削液ノズルが備えた前記複数のノズルによって、前記連れ廻る空気層を排除遮断された遮断位置と前記研削点との間の複数の点に異なった角度でクーラントを供給することにより、前記研削液ノズルから供給された複数のクーラント流を砥石の少なくとも研削加工領域まで巻きつけるようにしたので、供給されたクーラントが確実に砥石の外周面の研削加工領域に到達できるようにし、砥石外周面におけるクーラントの巻きつき範囲を拡げるとともに、必要なクーラント量を低減するという効果を奏する。
【0017】
上記構成より成る第5発明の研削液供給装置は、前記第4発明において、前記複数のノズルにおけるクーラント流の噴射形態は、前記複数のクーラント流の第2のクーラント流が、第1のクーラント流が前記砥石の外周面に着水する第1の着水点より前記砥石の回転方向の下流の第2の着水点に着水するように設定されるので、供給されたクーラントが確実に砥石の外周面の研削加工領域に到達できるようにし、砥石外周面におけるクーラントの巻きつき範囲を拡げ、砥石外周面の研削加工領域が広いものへの適用を可能にするとともに、研削加工領域内において複数の移動する研削点へのクーラントの順次供給を可能にするという効果を奏する。
【0018】
上記構成より成る第6発明の研削液供給装置は、前記第5発明において、前記複数のノズルの上流に配設された複数の電磁弁が、前記ワークの回転位相に同期して順次オンオフ制御され、異なった噴射角に設定された前記複数のノズルから前記砥石の外周面上の回転方向に沿った複数の研削点の直前にクーラントをそれぞれ供給するので、簡単な制御により前記ワークの回転位相および前記砥石外周面の研削位置の変化に同期した確実な噴射制御を可能にするという効果を奏する。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態につき、図面を用いて説明する。
【0020】
(第1実施形態)
本第1実施形態の研削液供給方法および装置は、図1および図2に示されるようにクーラントを供給して回転する砥石1によりワークWを研削する研削装置において、流体ノズル2から噴出された流体ジェットにより前記空気層を吹き飛ばして、前記砥石1の外周表面10に沿って連れ廻る空気層を排除遮断された遮断位置12と研削点11との間の複数の点に異なった角度でクーラントを供給する複数のノズル31、32を備えた研削液ノズル3を配設し、前記研削液ノズル3から供給された複数のクーラント流を砥石の少なくとも研削加工領域まで巻きつけるようにしたものである。砥石1としては、コア円板外周にCBN砥粒層を設けたCBN砥石が使用される。
【0021】
ワークWは、固定の回転軸線Owの廻りに遊星回転(公転)する円筒部を持つ形態のもので、本実施の形態においては、例えばクランクピンPを有するクランクシャフトである。クランクシャフトWは、固定の軸線Ow上にて図略のジャーナルが回転し、この回転と共にクランクピンPは遊星回転する。研削加工時においては、クランクピンPの遊星回転に同期して砥石1はクランクピンPの外周面との接触を常時維持するように前進後退される。このような研削方法及び装置は、ワークの回転運動と砥石の進退運動を同時2軸制御する所謂C−X制御研削方式として広く知られており、従ってこの研削方式を行う装置の詳細な説明については省略される。
図1では、1つのクランクピンPが時計の12時位置、3時位置、6時位置及び9時位置へと矢印方向に順次旋回移動し、9時位置で砥石1と接触している様子を示している。従って、砥石1の外周面において砥石1が接触する研削点11は、9時及び3時位置を中心として、上方は12時位置へ旋回したクランクピンPと接触する位置まで移動し、下方は6時位置へ旋回したクランクピンPと接触する位置まで移動する。つまり、研削点11は砥石1の前部外周上を上下に往復動し、この往復動の上下幅が研削加工領域となり、本実施の形態における研削液供給方法及び装置は、少なくともこの研削加工領域内まではクーラント流が砥石の外周に巻き付いて砥石1の外周を流動するように構成される。
【0022】
遮蔽板4が、前記流体ノズル2に対する前記砥石の回転方向の上流側に配設されている。前記流体ノズル2は、図2に示されるように前記砥石表面10上における前記研削点11の上流側において、砥石1の外周に沿って連れ廻る空気の流れである空気層に対して該空気層の幅方向の一方の側から他方の側へ横断する流体ジェットを噴出して、前記空気層を吹き飛ばして、前記連れ廻る空気層を排除遮断するために水平方向に配設されている。一例として、流体ジェットは200NL/minで供給する。
【0023】
前記研削液ノズル3は、前記空気層を排除遮断された遮断位置12と前記研削点11との間の2つの点に異なった角度でクーラントを供給する2個のノズル31、32を備えている。前記第1のノズル31は、図1に示されるようにほぼ垂直に第1のクーラント流を噴出するとともに、前記第2のノズル32は、第1のクーラント流を砥石1の外周面に押付けるように傾斜させて第2のクーラント流を噴出する。
【0024】
この場合、ノズル31から供給されたクーラント流Q1は、砥石1への着水点から3時及び9時位置の研削点までは砥石1の外周に沿って流動するが、3時及び9時位置の研削点からは砥石外周面から剥離し、垂直に流下する傾向となる。クーラント流Q1と同時並行してノズル32から供給されるクーラント流Q2は、クーラント流Q1を砥石1の外周面から剥離するのを阻止して外周面に巻き付けるように作用し、これによりノズル31及び32からのクーラント流Q1及びQ2は合流して6時位置のクランクピンPの研削点を超えてさらに下流側まで砥石1の外周面に沿って流動される。
【0025】
前記研削液ノズル3から噴出される研削液の供給流量は、10〜20L/minであり、下流側の第2の着水点14に着水する第2のクーラント流の流量が、上流側の第1の着水点に着水する第1のクーラント流の流量より大きく設定されている。
【0026】
上記構成より成る本第1実施形態の研削液供給方法および装置は、前記砥石1の表面10上における前記研削点11の上流側に配設した前記流体ノズル2によって、前記砥石1の外周に沿って連れ廻る空気の流れである空気層に対して該空気層の幅方向の一方の側から他方の側へ横断するように噴出された前記流体ジェット2により前記空気層を吹き飛ばして、前記研削液ノズル3が備えた前記複数のノズル31、32によって、前記連れ廻る空気層を排除遮断された遮断位置12と前記研削点11との間の複数の点13、14に異なった角度でクーラントを供給することにより、前記研削液ノズル3から供給された複数のクーラント流を砥石1の少なくとも研削加工領域まで巻きつけるようにしたので、供給されたクーラントが確実に砥石1の外周面10の研削加工領域に到達できるようにし、砥石外周面におけるクーラントの巻きつき範囲を拡げるとともに、必要なクーラント量を低減するという効果を奏する。
【0027】
すなわち本第1実施形態においては、前記流体ノズル2によって、前記砥石1の側面方向から砥石外周面10を横断する形でエアー(流体)を供給することにより、砥石外周面の随伴流(空気流)を完全に遮断し、低流量のクーラントでも砥石外周面の前記研削点11へ確実に到達する。更に、クーラントの流れを入射角(着水点での接線に対する角度)を変えた複数の層状の流れで供給することにより、砥石連れ回りの流れの密度を第2の流れで向上できるため、低流量でも砥石外周面への巻きつき状態を向上できる。
【0028】
また本第1実施形態の研削液供給方法および装置は、前記複数のノズル31、32におけるクーラント流の噴射形態は、前記複数のクーラント流のうち第2のクーラント流Q2が、第1のクーラント流Q1が前記砥石の外周面に着水する第1の着水点13より前記砥石の回転方向の下流の第2の着水点14に着水するように設定されるので、供給されたクーラントが確実に砥石の外周面の研削加工領域に到達できるようにし、砥石外周面におけるクーラントの巻きつき範囲を拡げ、遊星回転するクランクピンの研削の場合のように、砥石外周面の研削加工領域が広いものへの適用を可能にするとともに、研削加工領域内において複数の順次移動する研削点へのクーラントの供給を可能にするという効果を奏する。
【0029】
また本第1実施形態の研削液供給方法および装置においては、前記砥石1の外周面10より離れた位置にクーラントノズル3を配置できるとともに、また、入射角度を変えた複数の層状のクーラント流により、クーラント供給量が低流量でも砥石面に沿った流れを発生させることができる。
【0030】
砥石外周面の随伴流(空気流)を完全に遮断した状態において、クーラント流を供給するものであるため、クーラント流量を大幅に削減できるため、従来のような大型クーラントタンクや、大流量ポンプ、高圧ポンプも必要なく、フロアスペースの削減、クーラント関係の消費電力や処理費用の大幅削減が可能である。
【0031】
(第2実施形態)
本第2実施形態の研削液供給方法および装置は、図3ないし図5に示されるように随伴流の遮断位置12と前記研削点11との間の複数の点に異なった角度でクーラントを供給する研削液ノズル3が3個のノズル31、32、33を備えている点が前記第1実施形態との相違点であり、以下相違点を中心に説明する。
【0032】
本第2実施形態においては、上述の第1実施形態において前記流体ノズル2に対する前記砥石の回転方向の上流側に配設されていた遮蔽板4が、取り除かれている。
【0033】
砥石1の外周面10に対する入射角度(着水点における接線との角度)と流量を順に増し、図5に破線矢印で示されるように外周面への広範囲でクーラントの高い密度の巻きつき流れを発生させ、ピン最下点にもクーラントの供給を可能にするものである。
すなわち、上流側で砥石1の外周面10に着水するノズル31からのクーラント流Q1を下流側のノズル32からのクーラント流Q2が巻きつけるように作用する。
この状態において、さらに下流側のノズル33からのクーラント流Q3が上流側のクーラント流Q1およびQ2をさらに前記砥石1の外周面10に巻きつけるように作用する。
【0034】
本第2実施形態においては、前記流体ノズル2によって、前記砥石1の側面方向から砥石外周面10を横断する形でエアー(流体)を供給することにより、砥石外周面の随伴流(空気流)を完全に遮断し、低流量のクーラントでも砥石外周面の前記研削加工領域へ確実に到達する。更に、クーラントの流れを入射角を変えた複数の層状の流れで供給することにより、砥石連れ回りの流れの密度を第2、第3の流れで向上できるため、クーラントは低流量でも砥石外周面への巻きつき状態を向上できる。なお、必要に応じて、第4及び第5の流れも付加できる。
【0035】
従来の直角、ストレートノズル併用方式では、工作物や定寸装置との干渉を考慮すると、工作物回転中心よりかなり上方の位置にしかノズルを配置できず、ノズルより遠い位置では研削点にクーラントが供給されにくくなるため、必然的にクーラントの供給量を多くせざるをえなかった。カム研削の例においては、クーラント流量は150L/minであった。
【0036】
本第2実施形態においては、供給したクーラントが砥石外周面の広範囲に高い密度で巻きつくことにより、図5に示されるようにジャーナル(図略)の回転中心よりクランクピンPの研削点11が上下方向に変動し、研削点11へのクーラントが到達しにくいC−X制御クランクピン研削(上下方向研削点移動量±約50mm)やカム研削(上下方向研削点移動量±約10mm)においても、研削点11の移動範囲に亘りクーラントを巻き付け保持して供給するため、研削熱による熱的影響を低減し、10ないし20L/minの低い流量のクーラントでも高い冷却効果が得られるとともに、砥石軸動力損失も少ないという利点を有する。
【0037】
また、砥石外周面の空気流を邪魔板なしで完全に遮断し、ノズルを砥石外周面より離れた上方の位置に配置できることにより、砥石前面のローダや定寸装置等との機械的干渉が少ない。
【0038】
さらに、クーラント流量を大幅に削減できるため、従来のような大型クーラントタンクや、大流量ポンプおよび高圧ポンプも必要なく、フロアスペースの削減、クーラント関係の消費電力や処理費用の大幅削減が可能になる。
【0039】
(第3実施形態)
本第3実施形態の研削液供給方法および装置は、図6に示されるように前記研削液ノズル3の3個のノズル31、32、33の上流に配設される複数の電磁弁34、35、36が、回転するワークの回転位相に同期して順次オンオフ制御される点が前記第2実施形態との相違点であり、以下相違点を中心に説明する。
【0040】
前記回転するワークWは、ジャーナルを中心に遊星回転(公転)運動するクランクピンPであり、クランクピンPの回転位相に同期させてクーラント供給用の前記電磁弁34、35、36を開閉することにより、低流量クーラントを上下に移動するa、b、cの研削点11の直前にピンポイントで供給するように構成されている。
【0041】
前記研削液ノズル3の3個のノズル31、32、33の噴射角は、図6に示されるように周速度80〜200m/sで回転する砥石1の外周面上のピンのa、b、cの研削点11の直前に供給するように、それぞれ異なった角度に設定されている。
【0042】
aの研削点の直前にクーラントを噴射するノズル31の噴射パターンを制御する第1の電磁弁34のオンオフパターンと、bの研削点の直前にクーラントを噴射するノズル32の噴射パターンを制御する第2の電磁弁35のオンオフパターンと、cの研削点の直前にクーラントを噴射するノズル33の噴射パターンを制御する第3の電磁弁36のオンオフパターンは、図7に示されるようになり、相前後する電磁弁のオンオフパターンは、一定期間のオーバーラップ期間があり、したがってそのオーバーラップ期間は相前後する電磁弁がともにオンとなり、相前後して噴射するノズルはともにクーラントを噴射することになる。
【0043】
前記研削液ノズル3の3個のノズル31、32、33の噴射量Q1、Q2、Q3は、同量としてもよいが、好ましくは、図6に示されるようにcの研削点の直前までの距離が一番長いためQ3が最も多く、bの研削点の直前までの距離が次に長いためQ2が次に多く、aの研削点の直前までの距離が一番短いためQlが最も少なく設定されている。
【0044】
本第3実施形態においては、前記回転するワークであるジャーナルを中心に公転運動するクランクピンPの回転位相に同期させてクーラント供給用の前記電磁弁34、35、36を開閉することにより、前記研削液ノズル3の3個のノズル31、32、33によって、図6に示されるように低流量クーラントをクランクピンの回転に応じて前記砥石1の外周面10上の3箇所のクランクピンの研削点a、b、cの直前に供給するので、クーラントが確実に供給された状態において各研削点a、b、cにおけるクランクピンの研削を可能にするものである。
【0045】
すなわち砥石1の外周面10近辺を横断する流体ジェットを噴出させて連れ回り空気層を遮断した状態で、図6に示されるように砥石1の外周面10に異なる角度で着水する複数のクーラント流Q1、Q2、Q3を供給し、砥石1の外周面10上の異なる多数の研削点11へクーラントが到達できるように前記クーラント流を砥石1の少なくとも研削加工領域まで巻きつけるようにした。
【0046】
上述の状態において、研削点の移動に応じて複数のクーラント流の噴出流量をQ1、Q2、Q3に切替えるとともに、噴出速度を切替える。すなわち、この時のクーラントは、図6に示されるように複数の層状の流れとして供給し、砥石1の外周面10とクーラントが接する着水点の位置(第1流れより第2流れを、第2流れより第3流れ)を研削点を下流方向にずらすと共に、各々の流れの砥石外周面に対する入射角度、流量、流速を順に増加させるものである。
【0047】
本第3実施形態の研削液供給方法および装置は、前記3個のノズル31、32、33に配設された複数の電磁弁34、35、36が、前記ワークの回転位相に同期して順次オンオフ制御されるので、簡単な制御により前記ワークの回転位相および前記砥石1の外周面10上の研削位置の変化a、b、cに同期した確実な噴射制御および図6に示されるように移動するワークとしてのクランクピンの研削点a、b、cの直前にクーラントを供給することを可能にするという効果を奏する。
【0048】
また本第3実施形態においては、供給したクーラントが前記砥石1の外周面の広範囲に高い密度で巻きつくことにより、図6に示されるように工作物回転中心より研削点が上下方向にa、b、cに変動し、研削点11へのクーラントが到達しにくいC−X制御クランクピン研削(上下方向研削点移動量±約50mm)やカム研削(上下方向研削点移動量±約10mm)においても、研削点11の広い移動範囲に亘りクーラントを巻き付け保持して供給するため、各研削点11において研削熱による熱的影響を低減し、10ないし20L/minの低い流量のクーラントでも高い冷却効果が得られるとともに、砥石軸動力損失も少ないという利点を有する。
【0049】
本第3実施形態の研削液供給方法および装置を適用した研削盤において、研削液ノズル3から供給されたクーラントが砥石1と接する着水点の上方に、ノズル2により砥石側面方向から砥石外周面を横断する形でエアー(流体)を供給することにより、砥石1の外周面10の随伴流(空気流)を遮断するとともに、砥石1の外周面10より離れた位置に配置した研削液ノズル3から低流量のクーラントを供給し、砥石面への巻きつき状態を向上させるという利点を有する。
【0050】
上述の実施形態は、説明のために例示したもので、本発明としてはそれらに限定されるものでは無く、特許請求の範囲、発明の詳細な説明および図面の記載から当業者が認識することができる本発明の技術的思想に反しない限り、変更および付加が可能である。
【0051】
上述の第3実施形態においては、一例としてクーラントの切り替えを電気的制御を可能にするために電磁弁によって行う例について説明したが、本発明としてはそれらに限定されるものでは無く、研削点自動追従式ノズルその他のように機械的方式によって異なる研削点へのクーラントの供給切り替えを行う実施形態を採用することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態の研削液供給方法および装置を示す側面図である。
【図2】本第1実施形態の研削液供給方法および装置を示す正面図である。
【図3】本発明の第2実施形態の研削液供給方法および装置を示す側面図である。
【図4】本第2実施形態の研削液供給方法および装置を示す正面図である。
【図5】本第2実施形態の研削液供給方法および装置におけるクーラントの流れを示す側面図である。
【図6】本発明の第3実施形態の研削液供給方法および装置を示す側面図である。
【図7】本第3実施形態の研削液供給方法および装置における各電磁弁のオンオフパターンを示す線図である。
【図8】従来のクーラント供給方式におけるクーラントの流れを示す側面図である。
【図9】従来の研削液供給装置を示す側面図である。
【符号の説明】
1 砥石
2 流体ノズル
3 研削液ノズル
W ワーク
10 外周表面
11 研削点
12 遮断位置
31、32 ノズル[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a grinding method and apparatus for grinding a workpiece with a grindstone that rotates by supplying coolant, and blocks an air layer that circulates along the outer circumference of the grindstone by ejecting a fluid jet that crosses the vicinity of the outer circumference of the grindstone. The present invention relates to a grinding fluid supply method and apparatus for supplying a plurality of coolant flows that land on the outer peripheral surface of a grindstone in different states at different angles so that the supplied coolant can reach a grinding point.
[0002]
[Prior art]
As a conventional coolant supply system in grinding with a high-speed rotating grindstone, there are a right angle nozzle, a high pressure coolant device, and the like. In particular, in CX control crankpin grinding or cam grinding in which the grinding point changes during machining due to the rotational phase of the workpiece, as shown in FIG. 8, a right angle that breaks the air layer generated on the outer peripheral surface GO of the grindstone G. While using the nozzle RN, the straight nozzle SN which guides the supplied coolant to the grinding point was also used.
[0003]
Further, a conventional grinding fluid supply device (Japanese Patent Laid-Open No. 7-241770) is a coolant supply device provided with a baffle plate Bf arranged behind a coolant supply nozzle and blocking air flow as shown in FIG. The coolant supply device was provided with a first auxiliary nozzle FN in front of the nozzle and a second auxiliary nozzle SN behind the baffle plate Bf.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
In the above-described conventional coolant supply method, the coolant is supplied in a direction perpendicular to the grindstone surface GO by the right angle nozzle RN, so that most of the flow is used to break the air layer and supply a large flow rate. For the most part, the proportion of most scattered around and actually reaching the grinding point was low. Further, the range in which the outer peripheral surface GO of the grindstone G is well wound is a narrow range of 15 degrees at the maximum from the nozzle position. Therefore, coolant is applied to the grinding point when the crank pin P is turned to the a position or the b position. Although it was easy to reach | attain, there existed a problem that a coolant did not reach the grinding point when turning to c position.
[0005]
Moreover, in the conventional grinding fluid supply apparatus, since the baffle plate Bf is arranged immediately after the coolant supply nozzle, the nozzle must always be arranged in close contact with the outer peripheral surface GO of the grindstone G. Further, since the flow adhering to the grindstone surface by the coolant supply nozzle acts in a direction to be blocked by the flow of the first auxiliary nozzle SN supplied at the same incident angle, a large amount of coolant is required as a result. there were.
[0006]
Therefore, in the grinding method of grinding the workpiece with a grindstone that supplies coolant and rotates, the inventor cuts off the air layer that travels along the outer circumference of the grindstone by ejecting a fluid jet that crosses the vicinity of the outer circumference of the grindstone. Focusing on the technical idea of the present invention to supply a plurality of coolant streams that land on the outer peripheral surface of the grindstone at different angles so that the supplied coolant can reach the grinding point, further research and development As a result, the objective is to ensure that the supplied coolant can reach the grinding point on the outer peripheral surface of the grindstone, to increase the winding range of the coolant on the outer peripheral surface of the grindstone, and to reduce the required amount of coolant. The present invention has been reached.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The grinding fluid supply method of the present invention (first invention according to claim 1) is:
In a grinding method of grinding a workpiece with a rotating grindstone by supplying a coolant,From one side of the width direction to the other sideA plurality of coolant flows are applied to the outer peripheral surface of the grindstone in a state in which the fluid layer jetting along the outer periphery of the grindstone is blocked to block the air layer that is rotated along the outer periphery of the grindstone, and the supplied coolant is ground. Made it possible to reach the point
Is.
[0008]
The grinding fluid supply method of the present invention (the second invention according to claim 2)
In the first invention,
The first coolant flow of the plurality of coolant flows is sequentially landed so that the second coolant flow is landed downstream from the landing point where the coolant flows on the outer peripheral surface of the grindstone. The coolant flow is wound around at least the grinding area of the grindstone.
Is.
[0009]
The grinding fluid supply method of the present invention (the third invention according to claim 3)
In the second invention,
The coolant flow rate that reaches the downstream landing point is set to be larger than the coolant flow rate that reaches the upstream landing point.
Is.
[0010]
The grinding fluid supply device of the present invention (the fourth invention according to claim 4) is:
In a grinding device that grinds a workpiece with a rotating grindstone by supplying coolant,
A fluid jet that traverses from one side in the width direction of the air layer to the other side with respect to an air layer, which is a flow of air along the outer periphery of the grindstone, upstream of the grinding point on the surface of the grindstone A fluid nozzle that ejects
A plurality of coolants are blown off by the fluid jets ejected from the fluid nozzle, and coolant is supplied at different angles to a plurality of points between the shut-off position where the air layer is removed and shut off and the grinding point is shut off. A grinding fluid nozzle equipped with a nozzle of
A plurality of coolant flows supplied from the grinding fluid nozzle are wound around at least the grinding region of the grindstone.
Is.
[0011]
The grinding fluid supply apparatus of the present invention (the fifth invention according to claim 5) is:
In the fourth invention,
The form of the coolant flow in the plurality of nozzles is such that the second coolant flow of the plurality of coolant flows rotates the grindstone from a first landing point where the first coolant flow lands on the outer peripheral surface of the grindstone. Set to land at a second landing point downstream in the direction
Is.
[0012]
The grinding fluid supply apparatus according to the present invention (sixth aspect of the invention described in claim 6)
In the fifth invention,
The plurality of nozzlesUpstream ofA plurality of solenoid valves disposed on the control unit are sequentially turned on and off in synchronization with the rotation phase of the workpiece rotating around the fixed axis.,
Coolant is supplied from the plurality of nozzles set to different injection angles immediately before the plurality of grinding points along the rotation direction on the outer peripheral surface of the grindstone.Ru
Is.
[0013]
Operation and effect of the invention
A grinding fluid supply method according to a first aspect of the present invention having the above-described configuration is a grinding method for grinding a workpiece with a grindstone that rotates by supplying coolant.From one side of the width direction to the other sideSupplying a plurality of coolant flows that land at different angles on the outer peripheral surface of the grindstone in a state where an air layer that is circulated along the outer periphery of the grindstone is shut off by ejecting a fluid jet that traverses the grindstone, and the supplied coolant is the grindstone Since it is possible to reach a plurality of grinding points moving on the outer periphery, the supplied coolant can be surely reached the grinding point on the outer peripheral surface of the grindstone, and the range of winding of the coolant on the outer peripheral surface of the grindstone is expanded, There is an effect of reducing the amount of coolant required.
[0014]
The grinding fluid supply method according to a second aspect of the present invention having the above-described configuration is the method according to the first aspect, wherein the first coolant flow of the plurality of coolant flows is rotated from a landing point where the coolant flows on the outer peripheral surface of the grindstone. Since the second coolant flow is sequentially landed on the downstream side in the direction, the coolant flow is surely wound up to a grinding region that covers at least a plurality of grinding points of the grindstone.
[0015]
In the grinding fluid supply method of the third invention having the above-described configuration, in the second invention, the flow rate of the coolant flow landing on the downstream landing point is the flow rate of the coolant flow landing on the upstream landing point. Since it is set larger, the coolant flow that lands on the downstream landing point is adsorbed on the outer peripheral surface of the grindstone by adsorbing the coolant flow that lands on the upstream landing point. This produces the effect of forming a follower flow.
[0016]
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a grinding fluid supply apparatus according to a fourth aspect of the present invention, wherein the workpiece is ground by a grindstone that supplies coolant and is rotated by the fluid nozzle disposed on the grinding wheel surface upstream of the grinding point. The air layer is blown off by a fluid jet ejected so as to traverse from the one side in the width direction of the air layer to the other side with respect to the air layer which is a flow of air along the outer periphery of the grindstone. The coolant is supplied at different angles to a plurality of points between the cut-off position where the plurality of nozzles included in the grinding liquid nozzle are excluded and cut-off of the air layer to be cut off and the grinding point, Since multiple coolant streams supplied from the grinding fluid nozzle are wound to at least the grinding area of the grinding wheel, the supplied coolant is surely removed from the grinding wheel. To reach the grinding region of the surface, along with expanding the wraparound range of coolant in the grinding wheel outer peripheral surface, an effect of reducing the coolant volume required.
[0017]
The grinding fluid supply device according to a fifth aspect of the present invention having the above-described configuration is the above-described fourth aspect, wherein the coolant flow injection form of the plurality of nozzles is such that the second coolant flow of the plurality of coolant flows is the first coolant flow. Is set to land on a second landing point downstream of the first landing point on the outer peripheral surface of the grindstone in the rotational direction of the grindstone, so that the supplied coolant is surely supplied to the grindstone. The outer peripheral surface of the grinding wheel can be reached, the coolant wrapping range on the outer peripheral surface of the grindstone is expanded, and it can be applied to a wider grinding region on the outer peripheral surface of the grindstone. There is an effect that it is possible to sequentially supply the coolant to the moving grinding point.
[0018]
The grinding fluid supply apparatus according to a sixth aspect of the present invention having the above-described configuration is the fifth aspect, wherein the plurality of nozzlesUpstream ofA plurality of solenoid valves arranged on the head are sequentially turned on and off in synchronization with the rotation phase of the workpiece.Coolant is supplied from the plurality of nozzles set to different injection angles immediately before the plurality of grinding points along the rotational direction on the outer peripheral surface of the grindstone.Therefore, there is an effect that it is possible to perform reliable injection control synchronized with changes in the rotation phase of the workpiece and the grinding position of the outer peripheral surface of the grindstone by simple control.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0020]
(First embodiment)
The grinding fluid supply method and apparatus according to the first embodiment are ejected from a
[0021]
The workpiece W has a cylindrical portion that rotates (revolves) around the fixed rotation axis Ow. In the present embodiment, the workpiece W is a crankshaft having a crankpin P, for example. In the crankshaft W, a journal (not shown) rotates on a fixed axis Ow, and the crankpin P rotates in a planetary motion with this rotation. At the time of grinding, the
In FIG. 1, one crank pin P sequentially turns in the arrow direction to the 12 o'clock position, 3 o'clock position, 6 o'clock position, and 9 o'clock position of the timepiece, and is in contact with the
[0022]
A shielding
[0023]
The grinding
[0024]
In this case, the coolant flow Q1 supplied from the
[0025]
The supply flow rate of the grinding fluid ejected from the grinding
[0026]
The grinding fluid supply method and apparatus according to the first embodiment having the above-described configuration is arranged along the outer periphery of the
[0027]
In other words, in the first embodiment, air (fluid) is supplied by the
[0028]
Further, in the grinding fluid supply method and apparatus of the first embodiment, the injection form of the coolant flow in the plurality of
[0029]
Moreover, in the grinding fluid supply method and apparatus of the first embodiment, the
[0030]
Since the coolant flow is supplied in a state where the accompanying flow (air flow) on the grinding wheel outer peripheral surface is completely cut off, the coolant flow rate can be greatly reduced, so a conventional large coolant tank, large flow pump, There is no need for a high-pressure pump, and floor space can be reduced, and coolant-related power consumption and processing costs can be greatly reduced.
[0031]
(Second Embodiment)
The grinding fluid supply method and apparatus of the second embodiment supplies coolant at different angles to a plurality of points between the follow-up
[0032]
In the second embodiment, the shielding
[0033]
Increasing the incident angle with respect to the outer
That is, the coolant flow Q1 from the
In this state, the coolant flow Q3 from the further
[0034]
In the second embodiment, the
[0035]
In the conventional right angle / straight nozzle combination method, considering interference with the workpiece and the sizing device, the nozzle can be arranged only at a position substantially above the center of rotation of the workpiece, and coolant is provided at the grinding point at a position far from the nozzle. Inevitably, the amount of coolant supplied was inevitably increased because it became difficult to supply. In the example of cam grinding, the coolant flow rate was 150 L / min.
[0036]
In the present second embodiment, the supplied coolant wraps around the grinding wheel outer peripheral surface with a high density, so that the grinding
[0037]
In addition, the air flow on the outer surface of the grinding wheel can be completely blocked without a baffle, and the nozzle can be placed at an upper position away from the outer surface of the grinding wheel, resulting in less mechanical interference with the loader, sizing device, etc. .
[0038]
In addition, the coolant flow can be significantly reduced, eliminating the need for conventional large coolant tanks, large flow pumps, and high-pressure pumps, and reducing floor space and coolant-related power consumption and processing costs. .
[0039]
(Third embodiment)
The grinding fluid supply method and apparatus according to the third embodiment includes a plurality of
[0040]
The rotating workpiece W is a crankpin P that performs planetary rotation (revolution) around a journal, and opens and closes the
[0041]
The injection angles of the three
[0042]
An on / off pattern of the
[0043]
The injection amounts Q1, Q2, and Q3 of the three
[0044]
In the third embodiment, the
[0045]
That is, a plurality of coolants that land on the outer
[0046]
In the above-described state, the ejection flow rates of the plurality of coolant flows are switched to Q1, Q2, and Q3 according to the movement of the grinding point, and the ejection speed is switched. That is, the coolant at this time is supplied as a plurality of laminar flows as shown in FIG. 6, and the position of the landing point where the coolant contacts the outer
[0047]
In the grinding fluid supply method and apparatus according to the third embodiment, a plurality of
[0048]
In the third embodiment, the supplied coolant wraps around the outer peripheral surface of the
[0049]
In the grinding machine to which the grinding fluid supply method and apparatus of the third embodiment is applied, the coolant supplied from the grinding
[0050]
The above-described embodiments have been illustrated for the purpose of explanation, and the present invention is not limited thereto. Those skilled in the art will recognize from the claims, the detailed description of the invention, and the description of the drawings. Modifications and additions can be made without departing from the technical idea of the present invention.
[0051]
In the above-described third embodiment, an example in which the switching of the coolant is performed by an electromagnetic valve to enable electrical control has been described as an example. However, the present invention is not limited thereto, and grinding points are automatically controlled. Embodiments in which the coolant supply is switched to different grinding points depending on the mechanical method, such as a follow-up nozzle, can be adopted.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view showing a grinding fluid supply method and apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a front view showing a grinding fluid supply method and apparatus according to the first embodiment.
FIG. 3 is a side view showing a grinding fluid supply method and apparatus according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a front view showing a grinding fluid supply method and apparatus according to a second embodiment.
FIG. 5 is a side view showing a coolant flow in the grinding fluid supply method and apparatus of the second embodiment.
FIG. 6 is a side view showing a grinding fluid supply method and apparatus according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a diagram showing an on / off pattern of each solenoid valve in the grinding fluid supply method and apparatus of the third embodiment.
FIG. 8 is a side view showing a coolant flow in a conventional coolant supply system.
FIG. 9 is a side view showing a conventional grinding fluid supply apparatus.
[Explanation of symbols]
1 Whetstone
2 Fluid nozzle
3 Grinding liquid nozzle
W Work
10 outer peripheral surface
11 Grinding points
12 Blocking position
31, 32 nozzles
Claims (6)
前記砥石の幅方向の一方の側から他方の側へ横断する流体ジェットを噴出させて前記砥石の外周に沿って連れ回る空気層が遮断された状態の砥石の外周面に異なる角度で着水する複数のクーラント流を供給し、供給されたクーラントが研削点に到達できるようにした
ことを特徴とする研削液供給方法。In a grinding method of grinding a workpiece with a rotating grindstone by supplying a coolant,
A fluid jet traversing from one side to the other side in the width direction of the grindstone is ejected, and water is landed at different angles on the grindstone outer circumferential surface in a state where an air layer that is rotated along the grindstone is cut off. A grinding fluid supply method, wherein a plurality of coolant flows are supplied so that the supplied coolant can reach a grinding point.
前記複数のクーラント流の第1のクーラント流が、前記砥石の外周面に着水する着水点より前記砥石の回転方向の下流に、第2のクーラント流が着水するように順次着水して、前記クーラント流を砥石の少なくとも研削加工領域まで巻きつけるようにした
ことを特徴とする研削液供給方法。In claim 1,
The first coolant flow of the plurality of coolant flows is sequentially landed so that the second coolant flow is landed downstream from the landing point where the coolant flows on the outer peripheral surface of the grindstone. A method for supplying a grinding liquid, wherein the coolant flow is wound up to at least a grinding region of a grindstone.
下流側の着水点に着水するクーラント流の流量が、上流側の着水点に着水するクーラント流の流量より大きく設定されている
ことを特徴とする研削液供給方法。In claim 2,
A grinding fluid supply method, wherein a flow rate of a coolant flow that lands on a downstream landing point is set to be larger than a flow rate of a coolant flow that lands on an upstream landing point.
前記砥石表面上における前記研削点の上流側において、砥石の外周に沿って連れ廻る空気の流れである空気層に対して該空気層の幅方向の一方の側から他方の側へ横断する流体ジェットを噴出する流体ノズルを配設し、
前記流体ノズルから噴出された流体ジェットにより前記空気層を吹き飛ばして、前記連れ廻る空気層を排除遮断された遮断位置と前記研削点との間の複数の点に異なった角度でクーラントを供給する複数のノズルを備えた研削液ノズルを配設し、
前記研削液ノズルから供給された複数のクーラント流を砥石の少なくとも研削加工領域まで巻きつけるようにした
ことを特徴とする研削液供給装置。In a grinding device that grinds a workpiece with a rotating grindstone by supplying coolant,
A fluid jet that traverses from one side in the width direction of the air layer to the other side with respect to an air layer, which is a flow of air along the outer periphery of the grindstone, upstream of the grinding point on the surface of the grindstone A fluid nozzle that ejects
A plurality of coolants are blown off by the fluid jets ejected from the fluid nozzle, and coolant is supplied at different angles to a plurality of points between the shut-off position where the air layer is removed and shut off and the grinding point is shut off. A grinding fluid nozzle equipped with a nozzle of
A grinding fluid supply apparatus, wherein a plurality of coolant flows supplied from the grinding fluid nozzle are wound up to at least a grinding region of a grindstone.
前記複数のノズルにおけるクーラント流の噴射形態は、前記複数のクーラント流のうちの第2のクーラント流が、第1のクーラント流が前記砥石の外周面に着水する第1の着水点より前記砥石の回転方向の下流の第2の着水点に着水するように設定される
ことを特徴とする研削液供給装置。In claim 4,
The injection form of the coolant flow in the plurality of nozzles is such that the second coolant flow of the plurality of coolant flows is from the first landing point where the first coolant flow is landed on the outer peripheral surface of the grindstone. A grinding fluid supply device, which is set so as to land at a second landing point downstream in the rotation direction of the grindstone.
前記複数のノズルの上流に配設された複数の電磁弁が、固定軸線を中心とし遊星回転する前記ワークの回転位相に同期して順次オンオフ制御され、
異なった噴射角に設定された前記複数のノズルから前記砥石の外周面上の回転方向に沿った複数の研削点の直前にクーラントをそれぞれ供給する
ことを特徴とする研削液供給装置。In claim 5,
A plurality of solenoid valves disposed upstream of the plurality of nozzles are sequentially turned on and off in synchronization with the rotation phase of the workpiece rotating around the fixed axis .
Grinding fluid supply apparatus characterized that you supplied coolant immediately before a plurality of grinding points along the rotational direction on the outer peripheral surface from different said plurality of nozzles configured to spray angle the wheel.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002082035A JP3916982B2 (en) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | Grinding fluid supply method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002082035A JP3916982B2 (en) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | Grinding fluid supply method and apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003275958A JP2003275958A (en) | 2003-09-30 |
JP3916982B2 true JP3916982B2 (en) | 2007-05-23 |
Family
ID=29206662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002082035A Expired - Fee Related JP3916982B2 (en) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | Grinding fluid supply method and apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3916982B2 (en) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4178815B2 (en) * | 2002-02-28 | 2008-11-12 | 株式会社ジェイテクト | Grinding method and apparatus |
JP2006305675A (en) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Jtekt Corp | Method and apparatus for supplying coolant |
JP5592718B2 (en) * | 2010-07-05 | 2014-09-17 | 株式会社 ハリーズ | Grinding apparatus, grinding method, and manufacturing method of thin plate member |
JP5796984B2 (en) * | 2011-03-31 | 2015-10-21 | 三菱重工業株式会社 | Gear grinding machine |
JP5855379B2 (en) * | 2011-07-25 | 2016-02-09 | 新電元工業株式会社 | Dicing machine |
CN107639544B (en) * | 2017-10-12 | 2023-05-23 | 无锡透平叶片有限公司 | Cooling structure device for grinding straight surface of blade root intermediate body of tenon tooth blade |
CN108188843B (en) * | 2017-11-29 | 2020-06-09 | 重庆运城制版有限公司 | Printing roller grinding process |
-
2002
- 2002-03-22 JP JP2002082035A patent/JP3916982B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003275958A (en) | 2003-09-30 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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