JP3914436B2 - 自由空間ノンブロッキング・スイッチ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光スイッチに関し、詳細にはノンブロッキング自由空間スイッチに関する。
【0002】
【従来の技術】
速度や複雑度、集積密度が増大するにつれ、シリコン・ベースの電子環境での光配線の使用の有望性が一段と関心を集めている。VLSI(超大規模簿集積回路)シリコン(Si)技術と併用可能な光デバイスおよび光電子デバイスの開発に向かわせる大きな刺激材料がますます明らかになりつつある。面積の広い低コストのSiウエハ技術は、光導波デバイスにとって理想的な基盤となっている。さらに、成熟したSiプロセス技術、マイクロマシン加工技術、シリコン・オン・インシュレータ(SOI)、およびヘテロエピタキシを使用して、マイクロ光デバイスやハイブリッド光電子回路などの複雑な光学構造体を製造することができる。主流のSi集積回路(IC)技術と併用可能であることによって、現在の電子ICと同様のモノリシックSiベースの光電子集積回路の、低コストで信頼性の高い製造が見込まれる。
【0003】
光スイッチは、従来のトランジスタときわめてよく似ており、光導波デバイスに不可欠な構成要素である。光スイッチは、たとえば遠隔通信ネットワークにおける光路を構成変更するのに必要なものである。
【0004】
光スイッチは一般に、機械的に作動させる1つまたは複数の要素を有する。そのため、この種のスイッチはオプトメカニカル・スイッチと呼ばれる。典型例は、「Current European WDM deployment trends」(E.ロウ(Lowe), IEEE Commun. Mag., Vol.36, 46〜50ページ、1998年)および「All-silicon bistable micro mechanical fiber switches」(M.ホフマン(Hoffmann)等、Electron. Lett., Vol.34, 207〜208ページ、1998年)に記載されている。
【0005】
オプトメカニカル・スイッチよりもかさばらず、信頼性の高い光スイッチがあれば望ましい。しばしば使用されるN×M光スイッチの構築手法は、複数の(多数の)単純な2×2光スイッチ要素をカスケード接続するものであり、これらの2×2スイッチの各スイッチが1つまたは複数のチューナブル・マッハ・ツェンダー干渉計から成る。このようなスイッチの一例は、「Low-Loss and High-Extinction-Ratio Silica-Based Strictly Nonblocking 16x16 Thermooptic Matrix Switch」(T.ゴウ、M.ヤス、K.ハットリ、A.ヒメノ、M.オクノ、およびY.オオモリ、IEEE Photonics Technology Letters, Vol.10, No.6、1998年6月)に記載されている。もう1つの手法は、ビーム・ステアリングを使用して1×NまたはN×1スイッチを実現するもので、「Compact Versatile Thermooptical Space Switch Based on Beam Steering by a Waveguide Array」(E.フリュック(Flueck)等、IEEE Photonics Techn. Lett., Vol.11, No.11、1399〜1401ページ、1999年11月)に記載されている。この集積光スイッチは、周知のアレイ導波路格子(arrayed waveguide grating:AWG)波長マルチプレクサと類似している。これは、複数の入力導波路と、チャネル導波路の配列を介して入力光を分岐させるスター・カプラと、この配列からの光を出力導波路の1つに再集光するもう1つのスター・カプラとから成る。入力側のアレイ導波路は、チューナブル・レンズを備える。光を集光させる出力導波路は、位相分布を調整することによって決めることができる。これにより、入力信号を所望の出力チャネルに切り換えることができる。このIEEE刊行文献は、参照により本明細書に組み込まれる。
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明の目的は、製作が簡単かつ低費用であり、光路を迅速に切り換え、スイッチに摩擦摩耗がないスイッチを提供することである。
【0007】
本発明の他の目的は、基板上の他の構成要素(たとえば光構成要素)と共に集積可能なスイッチを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明は、光スイッチと、1つまたは複数の光スイッチを含むデータ伝送システムとに関する。本発明によるスイッチは、入力光自由空間要素を備えた入力チャネルと、大型光自由空間要素と、入力光自由空間要素から受け取った光波を大型自由空間要素に投射する調整可能投射特性を備えた入力チューナブル光学レンズとを含む。さらに、このスイッチは、出力光自由空間要素を備えた出力チャネルと、大型自由空間要素からの光波を捕捉し、その光波を出力光自由空間要素に送る調整可能受光特性を備えた出力チューナブル光学レンズとを含む。
【発明の実施の形態】
【0009】
以下に、添付図面を参照しながら本発明について詳細に説明する。添付図面は一律の縮尺で作図されたものではないことに留意されたい。
【0010】
本発明の様々な実施形態について説明する前に、本発明による基本要素および構成要素と、基礎となる集積プレーナ型導波路技術について述べる。
【0011】
本発明のスイッチは、酸窒化シリコン(SiON)、InPのようなIII−V半導体、石英(すなわちSiO2)ガラス、ニオブ酸リチウム、ポリマーなどを含めて、様々な材料系で実施可能である。
【0012】
光波をスイッチまで導き、スイッチから導き出す光導波路を使用する。光導波路は、通常、何らかの高屈折率材料でできたコアと、低屈折率材料製のクラッドとを含む。コアおよびクラッドは、ドープした石英ガラス製とすることができ、必要な屈折率差は、適切なドーピング・プロファイルによって得られる。大量生産の場合、導波路は、Siウエハ(たとえば4インチSiウエハ)などの半導体技術対応基板上、またはガラス基板上に形成することが望ましい。その結果として、プレーナ導波路または集積プレーナ導波路と呼ばれるものが形成される。プレーナ導波路技術の概説は、「Silica-based optical integrated circuits」(Y.P.リ、C.H.ヘンリー、IEE Proc.-Optoelectron. Vol.143, No.5、263〜280ページ、1996年10月)に記載されている。
【0013】
クラッドが石英製の場合、屈折率は1.45であり、コアとしてはより高い屈折率(たとえば1.5近く)の材料が望ましい。屈折率が高いほどデバイスは微細化されるが、損失も高くなり、ファイバとチップの結合などがより困難になることに留意されたい。コアとしてはSiONを選定することができる。これは、SiONの窒素濃度を変化させることによって広い範囲にわたって屈折率を変化させることができるためである。導波路としてSiONを使用する例は、米国特許第5416861号に記載されている。
【0014】
「Plasma-enhanced growth, composition and refractive index of SiON films」(K.E.マッツソン(Mattsson), J.Appl. Phys.77, No.12, 1995年6月15日、6616〜6623ページ)では、屈折率を変化させるためのSiON中の窒素の変化について考察されている。
【0015】
SiO2とSi3N4の成分の混合によって生じるSiOxNyの具体的特徴は、非晶質構造を形成することと、可能な全範囲にわたって成分が混和可能であることである。導波路コアの典型的な組成は、SiO1.9N0.08である。
【0016】
周知の製造技法は、プラズマ加速化学付着(PECVD)プロセスを使用してSiONを付着させるものである。しかし、その結果として形成される材料は、高い水素濃度を有する。水素は、ヒドロキシル基、Si−H基、およびNH−NH2フラグメントの形で混和される。これらの基およびフラグメントにより、酸窒化シリコンの光透過特性に、さらなる吸収度が加わる。NHによって生じる吸収帯の第一倍音は、1505nmであり、光信号伝送に使用される1540nmから1570nmまでにわたるスペクトル窓と重なる。以下、これを単に光伝送窓と呼ぶ。この窓を光伝送のために選定したのは、この窓において石英ガラスの吸収率が最低になるためと、Review of rare earth doped fiber lasers and amplifiers」(P.アーカート(Urquhart), IEE Proc. Vol.135, Pt. J, No.6, 385〜407ページ、1988年12月)に記載されているように、エルビウムをドープした光増幅器はこの窓において最も線形な増幅の範囲を有するためである。
【0017】
この吸収の結果、実現可能な生成物に、しばしば受容不能なほど大きな損失が生じる。NH濃度は、時間の経過や、周囲の媒質との自然交換による湿度と共に増大する可能性すらある。したがって、「High contrast and low loss SiON optical waveguides by PECVD」(B.オフライン(Offrein)等、1996年IEEE/LEOSベネルクス部会(エンスヘデ)会報290〜293ページ)に記載されているように、現在は、水素濃度とそれに伴う吸収損失を高温アニール・プロセスによって低減させている。このプロセスは、材料を固結させ、水とアンモニアを蒸発させることによって水素濃度を低減する。同文献は、参照により本明細書に組み込まれる。窒素原子は、その原子近傍をシリコン原子2個と水素原子1個からシリコン近傍原子3個に変える。しかし、アニール時間が長くなると、結晶化または相分離による付加的な散乱中心が生じると考えられるため、損失はある程度までしか低減させることができない。SiON中の水素含有量を減らす他の手法が、「Low-Hydrogen Silicon Oxynitride Optical Fibers Prepared by SPCVD」(ディアノフ(Dianov)等, Jounal of LIghtwave technology, Vol.13, NO.7, 1995年7月)に記載されている。
【0018】
適合する、特殊なSiON材料が、国際公開番号WO99/44937号の同時係属PCT特許出願PCT/IB98/01017で開示されている。このPCT特許出願は、現在本出願の譲受人に譲渡されており、参照により本明細書に組み込まれる。
【0019】
以下の実施形態は、IBMの高屈折率差シリカ・オン・シリコン集積プレーナ導波路技術に基づいて例示する。この技術は、光ネットワーク用の低コストのシリカ・オン・シリコン集積プレーナ光波構成要素の製作を可能にするものである。この集積プレーナ導波路技術は、SiONとSiO2とによって形成された導波路において実現可能な、大きな実効屈折率差を利用する。これにより、曲半径の小さい導波路を実現することができ、したがって、デバイスを大幅に小型化することができる。
【0020】
高屈折率差のシリカ・オン・シリコン技術の詳細は、「Wavelength division multiplexed add/drop ring technology in corporate backbone networks」(G.L.ボーナ(Bona)等、Opt. Eng. Vol.37, 3218〜3228ページ、1998年)に記載されている。この文献は、参照により本明細書に組み込まれる。
【0021】
本明細書で使用する導波路アレイという用語は、チャネル導波路の配列を意味する。リッジ導波路(ストライプ導波路とも呼ぶ)構造、埋込み導波路構造、およびその他の構造は、本発明と共に使用するのに適している。アレイ導波路の場合、複数の異なる形状および幾何形態が適用可能である。図を簡単にするため、図面には直線導波路チャネルを持つ導波路アレイのみが示されていることに留意されたい。実際の応用では、一般に、これらの導波路チャネルは、たとえば図17に示すように曲げられる。
【0022】
チャネルという用語は、多波長光波を伝達する通信リンクの特定の1つのリンクを指す。
【0023】
光自由空間要素は、光が横方向に閉じ込められない自由伝播領域を有する。光は、入力導波路(本明細書では入力チャネルと呼ぶ)または入力導波路アレイから、このような光自由空間要素内に入射させることができる。本明細書における光自由空間要素は、自由伝播領域(FPR)とも呼ぶ。本明細書では、入力光自由空間要素と、大型光自由空間要素と、出力光自由空間要素とを区別する。これは、スイッチの異なる構成要素、それらの配置構成および機能をよりわかりやすく説明することができるようにするために用いる人為的な区別にすぎない。
【0024】
本明細書で使用する「チューナブル・レンズ」は、導波路アレイと位相器(たとえばヒータ)とを含む。このチューナブル・レンズは、第1の光自由空間要素(たとえば入力光自由空間要素)内を伝播する分岐ビームまたは平行ビームを取り込み、通常のレンズのように、このビームを第2の光自由空間要素内の平行または収束ビームに変える。以下の説明では、第1の光自由空間要素と第2の光自由空間要素の間にあるものはすべて、チューナブル・レンズを構成するものとする。
【0025】
導波路アレイの集束特性と、波長依存度とは、導波路アレイ内の導波路の相対実効光路長によって決まる。実効光路長は、導波路の実効屈折率と物理長とによって決まる。これは、位相器(たとえばヒータ)を使用して微調整することができる。
【0026】
通常のレンズで代用すると、離散数のサブ波に離散数の位相シフトを適用する導波路アレイによって連続波面に連続位相変調が加えられ、付加的な損失とスプリアス回折光線を生じさせる。これらの効果と、それらを最小限にする方法は、AWG設計の業者には周知である。一般に、配列を構成する導波路の数が多いほど、連続レンズに近くなり、これらの副次的効果は重要でなくなる。しかし、配列内の導波路が多いと、チューナブル・レンズを制御するのにより多くの位相器(例えばヒータ)が必要になる。
【0027】
これは、導波路におけるスプリアス・フェーズ・エラーを補正するためにヒータを必要とする、本明細書に記載のSiON技術にも当てはまる。しかし、このようなフェーズ・エラーのないきわめてうまく制御された技法を使用すれば、ヒータを2個のみ使用するだけですむ。そのうちの一方は一次位相勾配(ステアリング)を適用するため、他方は、多くのアレイ導波路による二次位相勾配(焦点距離)を適用するために使用する。
【0028】
チューナブル・レンズは、様々な方式で実現可能である。典型例は、導波路アレイの一部または全部の導波路に合わせて個別整調可能なヒータを含むチューナブル・レンズである。状況によっては、1導波路につき複数のヒータを使用することが望ましい場合もある。
【0029】
これらのヒータを調整することにより、自由空間要素内に放射される光線の投射特性を制御することができる。実施態様によっては、焦点(焦点距離)または光の放射方向(ステアリング)あるいはその両方を同時に調整することができる。一次位相勾配は、放射される光の位相面を傾斜(ステアリング)させる。二次またはそれ以上の次数の位相勾配により、光波の焦点距離を変更することができる。言い換えると、このようなチューナブル・レンズにより、投射特性の熱光学制御が可能になる。
【0030】
対象となる導波路の近くに配置されたクロム・パッドまたはクロム線を含むヒータが適している。アルミニウム・リード線を使用して、このクロム・パッドまたはクロム線に電流を通すことができる。このヒータを駆動する電流源または電圧源が必要である。このような電流源または電圧源、およびその他の要素/回路は、ヒータ・ステアリング・ユニットの一部とすることができる。このようなヒータ・ステアリング・ユニットは、マイクロコンピュータと、各ヒータ設定値を記憶するメモリとを含むか、またはスイッチ制御ボックスまたはコンピュータに(たとえばコンピュータ・インタフェースを介して)接続することができる。スイッチ制御ボックスは、経路指定またはスイッチング情報(接続情報)を、スイッチの入力側で受け取ったパケットまたはフレームから獲得/抽出する。またはこの接続情報を他のシステムから受け取る。その後、ヒータ・ステアリング・ユニットおよび入出力チューナブル・レンズを介してスイッチ/光チップ内部でそれぞれの接続が確立される。
【0031】
様々なスイッチ状態に対応する最適なヒータ設定値を求めるために、反復最適化手続きを使用することができる。「Numerical Recipes in C: The Art of Scientific Computing」(ケンブリッジ、Cambridge Univ. Press,683〜688ページ、1988年)に記載されている、レーベンバーグ・マーカート/アルゴリズムが適している。各ヒータ設定値を記憶し、それらをスイッチ状態を変更する必要があるときに呼び出すことができる。このような再構成は、ミリ秒台で行うことができる。
【0032】
マイクロメカニカル・オンチップ要素を使用してチューナブル・レンズを実現することもできる。
【0033】
本発明の詳細な実施態様について説明する前に、本発明によるスイッチの基本構成要素と、その動作について説明する。
【0034】
本発明によるスイッチの基本構成要素は、入力光自由空間要素、入力チューナブル・レンズ、大型光自由空間要素、出力チューナブル・レンズ、および出力光自由空間要素である。
【0035】
スイッチを介した接続のための経路は、以下の通りである。すなわち、入力チャネルからの光は、入力光自由空間要素に入り、横方向に分岐するビームになる。この分岐ビームは、第1のチューナブル・レンズ(導波路アレイとヒータ)によって捕捉され、大型光空間要素における平行ビームまたは収束ビームに変換される。この大型光自由空間要素の端部で、ビームは平行のままであるか、または(焦点を過ぎて)再び分岐する。この平行ビームまたは分岐ビームは、第2のチューナブル・レンズ(第2の導波路アレイとヒータ)によって捕捉され、出力光自由空間要素における収束ビームに変換される。この要素における焦点の位置は、出力導波路の始点と一致するように調整される。その後光はこの出力導波路に結合され、出力導波路を通ってスイッチから出る。
【0036】
N×Nスイッチング機能は、入力チューナブル・レンズを調整して、大型光自由空間要素内のビームの向きを変えることによって実現される。複数の異なる設定値について、このビームを複数の異なる出力チューナブル・レンズの方向に向けることができる。同様にして、出力チューナブル・レンズを調整して、複数の異なる設定値について、異なる入力チューナブル・レンズから入射するビームを出力導波路アレイの導波路に入射させることができる。
【0037】
所与の入力導波路Pと所与の出力導波路Qとの間の光リンクは、以下の場合にのみ形成される。
a)入力チューナブル・レンズPが、伝達されたビームを出力チューナブル・レンズQの方向に向けるように設定され、
b)出力チューナブル・レンズQが、入力チューナブル・レンズPからのビームを出力導波路Qに集束させるように設定され、
c)c1)入力チューナブル・レンズPの焦点距離が、大型光自由空間要素において平行ビームを伝達するように設定され、出力チューナブル・レンズQが、そのような平行ビームを出力導波路に再集束させるように設定されているか、
または、c2)入力チューナブル・レンズPの焦点距離が、大型光自由空間要素の焦点が入力チューナブル・レンズと出力チューナブル・レンズとの中間になるようにして収束ビームを伝達し、出力チューナブル・レンズQが、この焦点の後の分岐ビームを出力導波路に再集束させるように設定されている。
【0038】
チューナブル・レンズの方向または焦点距離が上記のシナリオからわずかに逸脱する場合でもある程度の結合が得られることがあるが、最適結合効率には満たない。これをパワー調整に使用することができる。
【0039】
本発明によるスイッチの重要な光学特性としては、伝送損失、出力チャネル損失の均一性、チャネル分離などがある。固定導波路技法の場合、スイッチの特性を調整するために使用可能な自由設計パラメータは、当業者には周知であり、理解できるであろう。本発明によるスイッチを設計する際、分析的または数値的モデリングまたはシミュレーション・ツールを使用することができる。この手続きは、標準AWGデバイスをモデリングする際に適用されるのと同じ考慮事項に従う。
【0040】
リッジ構造を有する導波路の断面図の例を、図6に略図で示す。製作には、図1ないし図6に示すように様々なステップが必要である。Si基板(たとえばSiウエハ)を熱酸化させて、図1に示すようにSiO2層21(下部クラッドとも呼ぶ)を形成する。後のステップで、PECVDプロセスを使用してSiONコア22を成長させる。このPECVDステップの結果を図2に示す。この構造全体20、21、22をアニーラでアニールして、N−H結合によって生じる吸収損失を低減する。アニーラとしてTempress System TS-6304を使用することができる。図3に示すように、反応性イオン・エッチング(RIE)プロセスを使用してリッジ23を画定する。このためには、反応剤としてCHF3とO2を使用することができる。このリッジ23は、導波路チャネルの役割を果たすことになる。次に、SiONコア22とリッジ23の上に上部クラッド層24を形成する。上部クラッド層24は、PECVDを使用して付着させたSiO2を含む。図4に、この上部クラッド層24を付着させた後の導波路を示す。
【0041】
たとえばクロム・ヒータを形成するために、いくつかの追加のステップが必要である。これらの追加のステップを、図5ないし図6に示す。図5に示すように、上部クラッド層24上に上部クラッド層24の一部を覆うようにクロム層25を付着させる。クロム層25は、スパッタ付着プロセスを使用して形成することができる。スパッタリングにより追加のアルミニウム層26を付着させて、低抵抗接触線を形成することができる。これを図6に示す。
【0042】
本発明による典型的な導波路は、リッジ幅が1μmから5μmの間、好ましくは3μで、厚さ1μmから3μm、好ましくは1.3μmである。SiON層22(図2)の元の厚さは1μmから5μmの間、好ましくは2μmである。リッジ形成後、この層22を約0.65μmの厚さまで薄くする(図3)。SiO2クラッド層21および24の屈折率は約1.45であり、SiONコア22の屈折率は約1.5である。したがって屈折率差は約3.3%である。本発明の導波路の伝播損失は0.15dB/cm未満である。上述の高屈折率差のシリカ・オン・シリコン集積プレーナ導波路技法を使用した場合、標準単一モード・ファイバと比較して、幾何形状断面が比較的小さく、横実効屈折率差が0.02と高い導波路を実現することができる。
【0043】
図7に、チューナブル・レンズ40の例の上面図を示す。チューナブル・レンズ40は、3個のリッジ導波路30、31、および32を有する導波路アレイ39を含む。光は、これらの導波路を左から右に導かれる。2つの最上部の導波路30、31の上には2つのクロム・ヒータ25および35が配置されている。この2つのヒータ25、35は、第1のアルミニウム接触線26によって第1の接触パッド36に接続されている。この第1のアルミニウム接触線26は、共通電極として機能する。また、2つのヒータ25、35の各ヒータは、それぞれのアルミニウム接触線42、43と接触パッド37、38を有する。このアルミニウム接触線の配置構成により、2つのヒータ25、35を介して電流(I1、I2)を個別に駆動することができる。個々のヒータを駆動するステアリング・ユニット44を使用することができる。これらのヒータ25、35は、異なる導波路間の位相勾配を調整することができるようにするチューナブル・レンズ40の一部である。位相勾配を調整することにより、導波路アレイ30が大型光自由空間要素(図7に図示せず)内に放出する光の投射特性を制御することができる。
【0044】
入力光自由空間要素180の例の上面図を、図8に略図で示す。この例では、入力光自由空間要素180は、多波長光波を入力光自由空間要素の自由伝播領域に向けて導く1本の入力チャネル181を有する。この自由伝播領域では、図8の4本の矢印線で示すように光波が分岐する。この分岐ビームは、導波路アレイ186の4本の導波路チャネル182〜185によって捕捉される。この導波路アレイ186は、(図8では図示されていない)チューナブル・レンズの一部である。
【0045】
図9に、出力光自由空間要素190の略図を示す。この要素190は、4本のチャネル導波路192〜195を有する導波路アレイ196と、自由伝播領域と、出力チャネル191とを含む。導波路アレイ196の導波路における位相関係が適切に設定されていれば、4本の矢印線によって略図で示された平行ビームまたは分岐ビームが、重ね合わせにより出力光自由空間要素190内で収束ビームに変わる。その後、収束ビームは上記出力チャネル191に結合される。
【0046】
以下に、本発明の基本原理について、図10および図11を参照しながら詳述する。この2つの図には、1×1自由空間ノンブロッキング・スイッチ10が示されている。図10には、入力側が出力側に接続された第1のスイッチング状態(オン状態)のスイッチ10が示されている。言い換えると、この第1のスイッチング状態では、導波路6を介して入力側に入射した多波長光波が、出力側の導波路7に結合される。第2の状態(オフ状態)では、入力側の導波路6と出力側の導波路7との接続が遮断され、2つの側の間の結合は行われない。この第2の状態を図11に示す。本発明によるスイッチ10は、3つの光自由空間要素を含む。すなわち、入力光自由空間要素8と、大型光自由空間要素13と、出力光自由空間要素9である。さらに、スイッチ10は、入力導波路アレイ11を有する入力チューナブル光学レンズ12と、出力導波路アレイ14を有する出力チューナブル光学レンズ15とを含む。上記入力チューナブル光学レンズ12の前に入力光自由空間要素8が配置され、出力チューナブル光学レンズ15の後に出力光自由空間要素9が配置されている。
【0047】
入力導波路6と、入力光自由空間要素8と、入力チューナブル光学レンズ12を備えた入力導波路アレイ11とを介して入射した光波16が、大型光自由空間要素13内に投射される。入力チューナブル光学レンズ12は、入力導波路アレイ11と相互作用し、それによって、大型自由空間要素13内の光波6の向きをレンズ12を調整することによって変えることができるようになっている。レンズ12の調整により、入力チューナブル光学レンズ12の投射特性を変更することができる。図10では、光波16が大型自由空間要素13の真ん中に焦点17を有するように、入力チューナブル光学レンズ12が調整されている。
【0048】
出力チューナブル光学レンズ15は、その受光特性がしかるべく調整されていることを条件として、大型自由空間要素13から光波16を受け取ることができるように配置されている。そのため、出力チューナブル光学レンズ15は、出力導波路アレイ14と、大型自由空間要素13からの光波16を(能動的に)捕捉するように受光特性を調整することができるようにするヒータとを含む。図10に示すように、入力導波路アレイ11からの光はすべて焦点17で集束され、そこから出力導波路アレイ14によって捕捉される。出力光自由空間要素9は、導波路アレイ14からの光を出力チャネル7に集める。
【0049】
言い換えると、光が入力側から出力側に切り換えられる。
【0050】
次に図11を参照すると、同じスイッチ10の第2の状態(オフ状態とも呼ぶ)が図示されている。他にも様々なスイッチング状態があることは明らかであろう。この特定の状態では、入力チューナブル光学レンズ12は、光波16が、もはや大型自由空間要素13の中央にはない焦点19を有するように調整されている。光波16は、入力チューナブル光学レンズ12を整調することによって上方に傾けられている。出力チューナブル光学レンズ15は、この例では調整されていない。すなわち、受光特性は同じままである。出力チューナブル光学レンズ15は、焦点18を有する。焦点18および19は、離隔しているため、入力側から出力側に結合される光はまったく(またはほとんど)ない。この状態をオフ状態とも呼ぶ理由はこのためである。
【0051】
図10および図11に示す実施形態によるスイッチを使用して、オン/オフ・スイッチを実現することができる。
【0052】
より高度なスイッチ50を図12に示す。このスイッチ50(光チップ)は、N×N自由空間ノンブロッキング・スイッチである。これは、N本の入力チャネル187、188、189を含み、各チャネルは(小型)入力光自由空間要素181、182、183と、入力導波路アレイ51、52、53を備えた入力チューナブル光学レンズ54、55、56とを有する。スイッチ50は、さらに、大型自由空間要素60と、N本の入力チャネル190、191、192とを含む。各出力チャネルは、出力導波路アレイ57、58、59を有する出力チューナブル光学レンズ61、62、63と、(小型)出力光自由空間要素184、185、186とを有する。入力側のチューナブル光学レンズ54、55、56と、出力側のチューナブル光学レンズ61、62、63は、入力導波路アレイ51を介して入射した光波64が焦点67上で集束し、出力導波路アレイ58によって捕捉されるように調整されている。光波65は、入力導波路アレイ52によって、大型自由空間要素60中に放射され、焦点69に投射される。出力導波路アレイ59がこの光波65を捕捉する。N番目の入力導波路アレイ53によって放射された光波66は、焦点68上に集束される。出力導波路アレイ57がこの光波を捕捉する。入力チューナブル光学レンズ54、55、56と出力チューナブル光学レンズ61、62、63を整調/調整することによって、多くの異なるスイッチング状態が実現される。このスイッチ70の入力側と出力側は対称になっている。この時点では、入力チャネル187は出力チャネル191に接続され、入力チャネル188は出力チャネル192に接続され、入力チャネル189は出力チャネル190に接続されている。
【0053】
図13に他の実施形態を示す。スイッチ70は、N本の入力チャネル74〜75と、N個の入力光自由空間要素71〜73と、N個の入力導波路アレイを有するN個のチューナブル・レンズ152〜154とを含む。このスイッチはさらに、大型光自由空間要素151も含む。スイッチ70は、N本の出力チャネル81〜83と、N個の出力光自由空間要素77〜79と、N個の出力導波路アレイを備えたN個のチューナブル・レンズ155〜157とを含む。隣接入出力チャネル間の分離を向上させる(クロストークを低減する)ため、自由空間要素151の中央にフィルタリング要素80が配置されている。このフィルタリング要素80は、スイッチ150の中間焦点面がある場所に配置されている。フィルタリング要素80は、焦点がある場所に開口部を含む。入力導波路アレイによって、フィルタリング要素80の開口部がちょうど位置する場所である、大型自由空間要素151の中央に入力導波路の実像が形成される。出力側の各配列は、これらの開口部からの光を能動的に捕捉するように整調することができる。開口部外部のフィルタリング要素80に入射する導波路アレイからのより高次の回折ピークがあれば、フィルタリング要素80によって阻止される。言い換えると、フィルタリング要素80は、光学フィルタとして機能する。この中間焦点面における実像の位置は算出可能である。N×Nスイッチの場合、2×N−1個の焦点がある。すなわち、フィルタリング要素80は、2×N−1個の開口部を有することになる。
【0054】
以下の各段では、本発明の方式の変形態様または変更について説明する。以下の説明では、本発明の方式がいかに有効かつ柔軟性が高いかを示す。この方式は、多くの異なる用途で使用可能である。
【0055】
図14に、N=3本の入力チャネル120、121、122がある対称スイッチ配置構成90を示す。各入力チャネルは、入力光自由空間要素193と、5本の導波路91を備えたチューナブル・レンズ205とを含む。スイッチ90はさらに、M=3本の出力チャネル123、124、125を有する。各出力チャネルは、5本の導波路95を備えたチューナブル・レンズ206と、出力自由空間要素194とを含む。同波路91および95は、大型自由空間要素92を基準として、(1)すべての焦点が焦点面93にあり、(2)焦点面が大型自由空間要素92の中央にくるように配置されている。この対称スイッチ配置構成は、前述の他のスイッチと同様に、チューナブル・レンズを有する。図14には、これらのチューナブル・レンズが略図で示されているに過ぎないことに留意されたい。図14は、すべてのチューナブル・レンズがオフ状態、すなわち、ビーム・ステアリングが行われないスイッチ状態を示している。光線は、大型自由空間要素92に入射し、焦点94で集束し、そこから出力側のチューナブル・レンズ95によって捕捉される。言い換えると、スイッチは、第1の光波を最上部の入力チャネル120から最上部の出力チャネル123まで経路指定する。第2の光波は、中央の入力チャネル121から中央の出力チャネル124まで経路指定され、第3の光波は、最下部の入力チャネル122から最下部の出力チャネル125まで経路指定される。
【0056】
スイッチ90は、入力チューナブル光学レンズまたは出力チューナブル光学レンズあるいはその両方を調整することによって、様々なスイッチ状態に切り換えることができる。ここでは仮に、最上部の光線の焦点を上方に移動させるために、最上部の入力チャネル120の入力チューナブル光学レンズのみを調整するものとする。他のすべてのチューナブル光学レンズがオフ状態の場合、これは、最上部の入力チャネル120と最上部の出力チャネル123の焦点が一致しなくなることを意味する。このチャネル120を介して入射した第1の光波は、出力チャネル123まで導かれない。この特定の光「リンク」は遮断される。
【0057】
図15に、N=3本の入力チャネル140、141、142を有する非対称スイッチ配置構成130を示す。各入力チャネルは、入力光自由空間要素195と、5本の導波路131を備えたチューナブル・レンズ207とを含む。スイッチ130はさらに、M=3本の出力チャネル143、144、145を有する。各出力チャネルは、出力光自由空間要素196と、3本の導波路135を備えたチューナブル・レンズ208とを含む。チューナブル・レンズ207、208は、大型自由空間要素132を基準にして、(1)焦点がすべて焦点面133上にあり、(2)焦点面133が大型自由空間要素132の中央にあるように配置されている。このスイッチ配置構成130は、前述の他のスイッチと同様、チューナブル・レンズ207および208を有する。図15には、これらのチューナブル・レンズ207、208が略図で示されているに過ぎないことに留意されたい。すべてのチューナブル・レンズ207、208がオフ状態になっている。すなわち、ビーム・ステアリングは行われない。光線は、大型自由空間要素132に入射し、焦点134で集束する。出力チューナブル・レンズ208の受光特性は、焦点136が焦点134と重なり合わないように調整されている。このスイッチ状態では、出力チューナブル・レンズ208は光を捕捉しない。すなわち、入力チャネル140、141、142は出力チャネル143、144、145のいずれにも結合されない。光は左側から右側には伝播しない。光リンクはすべて遮断されている。
【0058】
このスイッチ130は、入力チューナブル光学レンズ207または出力チューナブル光学レンズ208を調整することによって、様々なスイッチ状態に切り換えることができる。入力チューナブル光学レンズ207と出力チューナブル光学レンズ208の両方を、前述の詳細な説明の項で規定した最適なリンクの基準a)〜c)を満たすように調整することが好ましい。ここでは仮に、焦点を上方に移動させるために最上部の出力チャネル143の出力チューナブル光学レンズ208のみを調整するものとする。他のチューナブル光学レンズがオフ状態の場合、これは、最上部の入力チャネル140と最上部の出力チャネル143の焦点が一致し、このチャネル140を介して入射する第1の光波が出力チャネル143に経路指定されることを意味する。すなわち、この2つのチャネルの間に光「リンク」が存在する。他のすべての光リンクは遮断されたままである。
【0059】
スイッチ90および130は両方とも、大型自由空間要素内のビーム方向を調整することによって切り換えることができる。
【0060】
本発明による他のスイッチ設計160を図16に示す。大型自由空間要素161は、中間焦点面の代わりに反射面162を有する。2本の入力チャネル201、202があり、これらは入力光自由空間要素197、198と、チューナブル・レンズ163および164と、導波路アレイ167、168とを有する。さらに、2本の出力チャネル203、204があり、これらの出力チャネルは、出力光自由空間要素199、200と、チューナブル・レンズ165および166と、導波路アレイ169、170とを有する。入力チャネル201を介して入射した第1の光波は、反射面162上で集束し、そこから出力チャネル203によって捕捉される。入力チャネル202を介して入射した第2の光波は、反射面162上に集束し、そこから出力チャネル204によって捕捉される。このようなスイッチ160は、これは、大型自由空間要素161のサイズを小さくすることができるため、本明細書に記載の他のスイッチよりも面積を必要としない。
【0061】
本発明の好ましい実施態様を図17に示す。このスイッチ210は、入力側が出力側の鏡像になっていることを特徴とする。スイッチ210は、8本の入力チャネル212と、それに続く8個の入力光自由空間要素213と、ヒータおよび導波路アレイを備えた8個の入力チューナブル・レンズ214とを含む。これらの導波路アレイの導波路は、大型光自由空間要素211に接続/結合されている。自由空間要素211の反対側には、ヒータと導波路アレイとを備えた8個の出力チューナブル・レンズ215がある。これらの8個の出力チューナブル・レンズ215は、8個の出力チャネル217に結合された8個の出力光自由空間要素216に光を送り込む。図17には、個々のヒータ用の接触線は図示されていないことに留意されたい。
【0062】
スイッチ210は、IBMの高屈折率差のシリカ・オン・シリコン集積プレーナ導波路技術を使用して製作されている。スイッチ210の好ましい寸法は、図17の左上に記載されている。入力チャネル212と出力チャネル217は、0.1mmないし0.5mm、好ましくは約0.25mm離隔されている。8個の入力光自由空間要素213と8個の出力光自由空間要素216はそれぞれ、長さ1mmないし0.1mm、好ましくは約0.5mmであり、幅1mmないし0.1mm、好ましくは0.3mmである。ただし、大型光自由空間要素211は、長さ10mmないし1mm、好ましくは約4mmであり、幅10mmないし0.5mm、好ましくは2.4mmである。光自由空間間要素213、211、および216における導波路の離隔は、1μmから20μmの間、好ましくは約8μmである。ヒータ・パッドまたはヒータ線は、長さ1mmから10mmの間、好ましくは約2mmである。パッドの離隔は、50μmから500μmの間、好ましくは約100μmである。個々のヒータ配列の離隔は、100μmから0.1mmの間、好ましくは約400μmである。
【0063】
IBMの高屈折率差のシリカ・オン・シリコン集積プレーナ導波路技術により、曲半径の小さい導波路を製作することができ、スイッチ設計をさらに最適化して横方向のサイズを縮小することができる。
【0064】
入力側のチューナブル・レンズまたは出力側のチューナブル・レンズあるいはその両方をわずかにデフォーカスさせることにより、他のチャネルとのクロストークを生じさせずに出力チャネルへのパワー・スループットを変化させることができる。したがって、このスイッチを使用して、出力チャネル内のパワーも調整することができる。ヒータ・ステアリング・ユニットは、出力チャネル内のパワーの調整を可能にするユニットを含むことができる
【0065】
入力チャネルの数は、出力チャネルの数と同じである必要はない。導波路アレイごとの導波路の数は、入力側と出力側とで同じでなくてもよい。また、たとえば5本の導波路を有する数本の入力チャネルと、6本の導波路を有する数本の入力チャネルを備えることも考えられる。
【0066】
1つの導波路アレイにつき2個のヒータを使用することも可能であり、一方は一次位相勾配を適用して投射光波の距離を調整するため、他方は二次またはより高次の位相勾配を適用して投射光波の焦点距離を調整するために使用することができる。
【0067】
使用するヒータの数が少ないほど、ヒータ・ステアリング・ユニットとスイッチ制御ボックスの複雑さが軽減される。
【0068】
このスイッチは、1つまたは複数の結合要素を含むこともできる。たとえば、V字溝を設けて結合要素として機能させることができる。このような要素により、ファイバを入力チャネルまたは出力チャネルの1つに突合わせ結合することができる。
【0069】
このスイッチは、チップ上に他の多くの構成要素とともに集積するのに適している。本発明によるスイッチは、今後の遠隔通信ネットワークに必要とされる高い機能性を備える。
【0070】
本発明は、多波長遠隔通信データ伝送システムに組み込むことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によるリッジ導波路構造の製作を示す略断面図である。
【図2】 本発明によるリッジ導波路構造の製作を示す略断面図である。
【図3】 本発明によるリッジ導波路構造の製作を示す略断面図である。
【図4】 本発明によるリッジ導波路構造の製作を示す略断面図である。
【図5】 本発明によるリッジ導波路構造の製作を示す略断面図である。
【図6】 本発明によるリッジ導波路構造の製作を示す略断面図である。
【図7】 本発明によるチューナブル光レンズの略上面図である。
【図8】 本発明による入力光自由空間要素の略上面図である。
【図9】 本発明による出力光自由空間要素の略上面図である。
【図10】 本発明による第1のスイッチの略上面図である。
【図11】 本発明による第1のスイッチの略上面図である。
【図12】 本発明による第2のスイッチの略上面図である。
【図13】 本発明による第3のスイッチの略上面図である。
【図14】 本発明による第4のスイッチの略上面図である。
【図15】 本発明による第5のスイッチの略上面図である。
【図16】 本発明による第6のスイッチ設計の略上面図である。
【図17】 本発明による第7のスイッチ設計の略上面図である。
Claims (20)
- 基板に組み込まれる光スイッチ(70)であって、
入力光自由空間要素(71〜73)を有する入力チャネル(74〜76)と、
大型光自由空間要素(151)と、
前記入力光自由空間要素(71〜73)から受け取った光波を前記大型自由空間要素内に投射するための光学レンズであって、該光波の位相勾配を調整するためのチューナブル・ヒータ(40)が配置された入力導波路アレイ(152〜154)を含む入力チューナブル光学レンズと、
出力光自由空間要素(77〜79)を有する出力チャネル(81〜83)と、
前記大型自由空間要素からの前記光波を捕捉し、前記光波を前記出力光自由空間要素(77〜79)に送るための光学レンズであって、該光波の位相勾配を調整するためのチューナブル・ヒータ(40)が配置された出力導波路アレイ(155〜157)を含む出力チューナブル光学レンズ(155〜157)と、
開口部を有するフィルタリング要素(80)とを含み、
前記入力チューナブル光学レンズの投射特性は、前記光波の方向または焦点距離を調整することによって、該光学レンズの焦点が前記大型光自由空間要素(151)の中央に位置する中間焦点面にくるように調整可能であり、
前記出力チューナブル光学レンズ(155〜157)の受光特性は、前記光波の方向または焦点距離を調整することによって、該光学レンズの焦点が前記大型光自由空間要素(151)の中央に位置する中間焦点面にくるように調整可能であり、
前記フィルタリング要素(80)は、前記中間焦点面がある場所に配置され、前記焦点がある場所に開口部を有する
光スイッチ(70)。 - 前記導波路アレイが導波路コア(22)と2個のクラッド(21、24)とを備えたリッジ導波路を含む、請求項1に記載のスイッチ(70)。
- 前記導波路コア(22)がSiONを含み、前記2個のクラッド(21、24)がSiO2を含む、請求項1または2に記載のスイッチ(70)。
- 前記リッジ導波路が1μmないし3μm、好ましくは1.3μmの厚さと1μmないし5μm、好ましくは3μmのリッジ幅とを有する、請求項2に記載のスイッチ(70)。
- 前記チューナブル・ヒータ(40)が、位相勾配を調整する導波路アレイの上に配置されたクロム・パッドまたはクロム線を含む、請求項1に記載のスイッチ(70)。
- 前記チューナブル・ヒータ(40)に電流を流した場合、前記導波路アレイの前記異なる導波路を伝播する前記光波間の線形位相勾配を求めることができる、請求項1に記載のスイッチ(70)。
- 前記チューナブル・ヒータ(40)に電流を通した場合、前記導波路アレイの前記異なる導波路を伝播する前記光波間の非線形位相勾配を求めることができる、請求項1に記載のスイッチ(70)。
- N本の入力チャネル(74〜76)とM本の出力チャネル(81〜83)を含み、NおよびMが整数である、請求項1に記載のスイッチ(70)。
- N個の入力光自由空間要素(71〜73)とM個の出力光自由空間要素(77〜79)とを含む請求項8に記載のスイッチ(70)。
- 集積プレーナ導波路技法を使用して製作可能な、請求項1に記載のスイッチ(70)。
- 光伝送窓、すなわち1540nmないし1570nmの範囲の波長で使用されるように設計された、請求項1に記載のスイッチ(70)。
- ヒータ・ステアリング・ユニット(44)を含む、請求項1に記載のスイッチ(70)。
- 前記ヒータ・ステアリング・ユニット(44)が電流源または電圧源を含む、請求項12に記載のスイッチ(70)。
- 前記ヒータ・ステアリング・ユニット(44)が前記チューナブル・ヒータ(40)の設定値を記憶するマイクロコンピュータを含む、請求項12に記載のスイッチ(70)。
- 前記ヒータ・ステアリング・ユニット(44)が前記出力チューナブル光学レンズ(155〜157)によって捕捉されたパワーを、前記入力チューナブル光学レンズと前記出力チューナブル光学レンズ(155〜157)とをデフォーカスさせることによって調節するユニットを含む、請求項12に記載のスイッチ(70)。
- 前記入力チューナブル光学レンズが前記出力チューナブル光学レンズ(155〜157)の鏡像である、請求項1に記載のスイッチ(70)。
- ファイバを前記入力チャネル(74〜76)または出力チャネル(81〜83)あるいはその両方の1つに突合わせ結合することを可能にする結合要素を含む、請求項1に記載のスイッチ(70)。
- 請求項1ないし17のいずれかに記載のスイッチ(70)を含む、ノンブロッキング自由空間スイッチ。
- スイッチ制御ボックスまたはコンピュータ・インタフェースを含む、請求項18に記載のノンブロッキング自由空間スイッチ。
- 請求項1ないし17のいずれかに記載のスイッチ(70)を含む、データ伝送システム。
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