JP3913231B2 - 複数のクロックを供給する装置 - Google Patents

Description

本発明は、複数のクロック信号の同期化と、それらクロック信号間における明確な位相関係の確立に関する。

或るシステム内に異なるクロック周波数を有する複数のクロックドメインが存在する場合には、それらクロックドメイン間におけるデータ転送またはデータ交換において、予期せぬ結果がもたらされることがある。システムの異なるクロック生成器が起動した際の過渡的な影響が原因となり、該システムの異なるクロック信号間にランダムな位相関係が生成される。この結果、第１クロック信号のドメインから第２クロック信号のドメインにデータを送信した際に、異なるクロック信号間におけるランダムな位相関係によって生じる予期せぬ結果がもたらされることになるのである。

複数のクロック信号の生成を改善することが本発明の目的である。この目的は、独立の請求項によって解決され、好適な実施例は、従属の請求項に示されている。

本発明に従う装置は、少なくとも２つの異なるクロック周波数のｍ個のクロック信号を生成する一組のクロック信号回路を備える（ここで、ｍは自然数である）。更に、この装置は、該一組のクロック信号のうちの専用のクロック信号から第１スーパー周期信号を導出するスーパー周期信号生成ユニットを備える。該第１スーパー周期信号の信号周期（「スーパー周期」）は、該一組のクロック信号の信号周期の公倍数になっている。

ｍ個のクロック信号は、初期的には、相互にランダムな位相関係を有しており、これらの個々の位相関係は、例えば、システムのクロック生成器を起動した際の初期状態によって左右される。これらの異なるクロック信号間の位相関係を監視するべく、本発明は、第１スーパー周期信号を供給する。該第１スーパー周期信号は、いくぶん長い信号周期を有するクロック信号である。この第１スーパー周期信号の１信号周期は、それぞれのクロック信号の信号周期の公倍数になっている。例えば、信号周期が２ｎｓの第１クロック信号と、信号周期が３ｎｓの第２クロック信号が存在する場合には、スーパー周期として、６ｎｓ、１２ｎｓ、１８ｎｓなどを選択することができる。この第１スーパー周期信号が個々のクロック信号と同期している場合には、第１スーパー周期信号のエッジは、そのクロック信号のエッジの少なくともいくつかと一致している。このように、個々のクロック信号が第１スーパー周期信号と位相が一致しているかどうかを監視することができるので、該第１スーパー周期信号を、様々なクロック信号の位相関係を分析するための補助手段として理解することができる。いくつかのクロック信号が第１スーパー周期信号と位相が一致している場合には、それらのクロック信号の位相も相互に一致している。

オプション（任意選択）として、個々のクロック信号と第１スーパー周期信号間の位相関係を分析することによって得られた情報を使用し、それらのクロック信号を第１スーパー周期信号に同期させることができる。いくつかのクロック信号の位相が第１スーパー周期信号と一致していれば、これは、それらの信号も相互に位相が一致していることを意味している。これにより、異なる周波数のクロック信号間に明確な位相関係を確立することが可能になる。

この第１スーパー周期信号の信号周期がクロック信号の信号周期の公倍数になっているという特徴は、別の表現によれば、次のように表すことができる。即ち、１スーパー周期は、第１クロック信号のｎ_１個の信号周期から構成されており、且つ、１スーパー周期は、第２クロック信号のｎ_２個の信号周期から構成されている（以下、同様に継続する）。これらのクロック信号は、異なる周波数を有することができる。一般的にいえば、１スーパー周期は、ｉ番目のクロック信号のｎ_ｉ個の信号周期から構成されており、ここで、ｎ_ｉは自然数であり、ｉは１〜ｍの範囲であって、ｍはクロック信号の合計数である。

本発明の好適な実施例によれば、この装置は、クロック信号の少なくともいくつかを第１スーパー周期信号に同期させる同期化手段を備える。このような同期化の機構は、クロック信号と第１スーパー周期信号の間に、定義された位相関係が得られるように、個々のクロック信号の位相をシフトさせる。これにより、例えば、クロック生成器が発振を開始した際の過渡的効果によって生じるクロック信号間におけるランダムな位相関係を、明確な位相関係によって置換することができる。

別の実施例においては、この装置は、ｉ番目のクロック信号に対応する値ｎ_ｉをプログラムまたは再プログラムする中央機構を有している（ここで、ｉは１〜ｍの範囲である）。自然数ｎ_ｉは、１スーパー周期内におけるｉ番目のクロック信号のクロック周期の数を表している。この数値ｎ_ｉを再プログラムすることにより、スーパー周期の長さを変化させ、所望のスーパー周期信号を生成することができる。

本発明の別の好適な実施例によれば、この中央機構は、ｉ番目のクロック信号（ここで、１≦ｉ≦ｍである）のクロック周波数をプログラムまたは再プログラムすることができる。個々のクロック信号回路のクロック生成器の少なくとも１つをプログラムまたは再プログラムすることにより、必要な一組のクロック周波数を生成することができる。クロック信号回路は、例えば、プログラム可能なＰＬＬを備えることができる。変更されたクロック周波数に第１スーパー周期信号のスーパー周期を適合させるために、中央機構は、１つまたは複数の値ｎ_ｉの再プログラムをも実行しなければならないであろう（但し、これは常に必要となるわけではない）。プログラム可能なクロック生成器とプログラム可能なスーパー周期信号生成ユニットにより、必要な一組のクロック周波数を供給することができる。

本発明の好適な実施例によれば、第１スーパー周期信号のスーパー周期として、クロック信号の信号周期の最小公倍数（ＬＣＭ）を選択する。即ち、この実施例においては、自然数ｎ_ｉが、可能な限り小さくなるよう選択される。スーパー周期信号生成ユニットをカウンタによって実現している場合には、いくぶん小さなカウンタを使用することができる。いくぶん短いスーパー周期を使用する更なる利点は、クロック信号の同期化に必要な時間を短く抑えることができることである。

好適な実施例においては、スーパー周期生成ユニットは、上記の専用のクロック信号の立ち上がりエッジまたは立ち下がりエッジの少なくとも１つをカウントする第１スーパー周期カウンタによって実現される。第１スーパー周期カウンタのカウンタ周期は、例えば、ｎ_ｊであり、これは、該専用クロック信号のｎ_ｊ個のクロック周期ごとに、第１スーパー周期信号の１つの信号周期が生成されることを意味している。第１スーパー周期カウンタは、例えば、アップカウンタまたはダウンカウンタとして実現可能である。スーパー周期カウンタをアップカウンタとして実装する場合には、カウントが（ｎ_ｊ−１）に到達した時点でカウンタをリセットする。代替的に、スーパー周期カウンタをダウンカウンタとして実現することもでき、この場合には、カウントがゼロに到達した時点で値（ｎ_ｊ−１）をリロードする。

本発明の更なる好適な実施例によれば、少なくともいくつかのクロック信号の一部のエッジが第１スーパー周期信号のエッジと一致するまで、該クロック信号を遅延させる。基準として動作する第１スーパー周期信号に、それらのクロック信号のうちのいずれか１つをアライメント（位置合わせ）することができる。この結果、それらのクロック信号が異なる周波数を有しているにも拘らず、定義された位相関係を、それらのクロック信号間に確立することができる。

好ましくは、クロック信号回路の少なくともいくつかは、第１スーパー周期信号と位相が一致するまで、個々のクロック信号を位相シフトさせるよう適合された可変遅延要素を備える。

以上においては、専用のクロック信号から導出された第１スーパー周期信号を、同期化のために使用している。本発明の好適な実施例によれば、他のクロック信号から第２のスーパー周期信号を導出し、この第２スーパー周期信号を第１スーパー周期信号に同期させる。値ｎ_ｉを適切に選択すると、第２スーパー周期信号は、第１スーパー周期信号と同一のスーパー周期を有するようになり、この結果、第１スーパー周期信号に対する第２スーパー周期信号の位相の判定が簡単になる。

本発明の別の好適な実施例によれば、個々の第２スーパー周期信号が第１スーパー周期信号と位相が一致するまで、個々のクロック信号と、それから導出された対応する第２スーパー周期信号の両方を一緒に遅延させる。或るクロック信号が或る位相シフトを受けた場合には、そのクロック信号から導出された第２スーパー周期信号も、同じ量だけ自動的にシフトされる。ここで、このクロック信号（および、それから導出された第２スーパー周期信号）を、第２スーパー周期信号の位相が第１スーパー周期信号の位相とアライメントするところまで、遅延させる。この操作の結果、該基礎となったクロック信号も第１スーパー周期信号に同期することとなる。

本発明の別の好適な実施例によれば、第２スーパー周期信号を、第２スーパー周期カウンタによって個々のクロック信号から導出する。これらの第２スーパー周期カウンタは、基礎となすｉ番目のクロック信号の立ち上がりエッジまたは立ち下がりエッジのうちの少なくとも１つをカウントする。例えば、ｉ番目のクロック信号のｎ_ｉ個の信号周期ごとに、対応する第２スーパー周期信号の１スーパー周期を生成する。

第２スーパー周期信号を第２スーパー周期カウンタによって生成する場合には、個々の第２スーパー周期信号が第１スーパー周期信号と完全に位相がずれてしまわないようにするために、該カウンタをいつ開始させればよいかという疑問が生じる。好適な実施例によれば、第１スーパー周期信号をｉ番目のクロック信号に従ってサンプリングし、一連のサンプル値を取得する。そして、この一連のサンプル値を監視し、信号の遷移を検出した時点で、即座に、対応する第２スーパー周期カウンタを初期化する。

この初期化手順を適用することにより、依然として、２つのスーパー周期信号の位相は完全に一致してはいないものの、第１スーパー周期信号の立ち上がりエッジを、第２スーパー周期信号の立ち上がりエッジに近接させることができる。この結果、これらの事前アライメントされた信号から始めることとなり、個々の第２スーパー周期信号をわずかに位相シフトさせるだけで、２つのスーパー周期信号の正確なアライメントを実現することができる（この必要な追加の位相シフトは、スーパー周期全体と比較すれば、格段に小さなものである）。この初期化手順の利点は、わずかな可変遅延により、第１および第２スーパー周期信号を同期させることができるという点にある。必要となる追加の位相シフトが小さいほど、同期はより正確なものになる。

本発明の好適な実施例においては、装置は、個々の第２スーパー周期信号と第１スーパー周期信号間の位相差を判定する位相検出ユニットを有している。例えば、第１および第２スーパー周期信号間に位相遅延がもはや存在していないことを位相検出ユニットが示すまで、個々の第２スーパー周期信号の位相シフトを増大させることができる。

位相検出ユニットは、例えば、ＸＯＲゲート、セット／リセット回路など、様々な異なる方法によって実装可能である。本発明の好適な実施例においては、位相検出ユニットは、フリップフロップによって実現される。例えば、第１スーパー周期信号をフリップフロップのクロック入力に接続し、第２スーパー周期信号をフリップフロップのデータ入力に接続する。第２スーパー周期信号の位相が第１スーパー周期信号よりも進んでいる場合には、フロップフロップの出力において論理「１」が取得され、第２スーパー周期信号の位相が第１スーパー周期信号よりも遅れている場合には、論理「０」が得られる。代替的に、第１スーパー周期信号をフリップフロップのデータ入力に印加し、第２スーパー周期信号をフリップフロップのクロック入力に接続することもできる。この場合には、フリップフロップの出力における信号レベルは入れ替わることになる。

第１および第２スーパー周期信号を同期させるため、例えば該フリップフロップの出力信号の遷移が観測されるまで、第２スーパー周期信号の位相遅延を変化させることができる。この遷移の発生時点においては、第１および第２スーパー周期信号は互いに同期した状態にある。

本発明の好適な実施例によれば、クロック信号回路の少なくともいくつかは、個々のクロック信号回路の自身のクロック信号に加え、リモートクロック信号回路のクロック信号を出力信号として選択することを可能にする選択手段を備える。このように、クロック信号回路は、接続されている回路に、異なるクロック周波数のクロック信号を同時に供給することができる。例えば、クロック信号回路のリングを形成するべく、クロック信号回路をリンクさせることが可能であり、この結果、それぞれのクロック信号回路上において、自身のクロック信号と、先行するクロック信号回路のクロック信号の両方が利用可能となる。

好ましくは、ｍ個の一組のクロック信号のうちのいずれかのクロック信号を、第１スーパー周期信号を導出する専用クロック信号として選択することができる。クロック信号回路のいずれもが、第１スーパー周期信号を生成することができ、該第１スーパー周期信号が、他のクロック信号回路に基準信号として分配される。例えば、２つの動作モードを有するクロック信号回路を採用することができる。該クロック信号回路は、第１動作モードにおいては、他のクロック信号回路に分配される第１スーパー周期信号を生成する。さらに、該クロック信号回路は、第２動作モードにおいては、自分自身のクロック信号を、リモートクロック信号回路上において生成されるスーパー周期信号に同期させる。

本発明の好適な実施例によれば、これらのクロック信号を、ＤＵＴ試験環境において利用する。試験環境においては、ＤＵＴに刺激信号を印加するため、またはＤＵＴから応答信号を受信するため、或いはこれらの両方の目的のため、クロック信号が必要とされる。例えば、ＳＯＣ（Ｓｙｓｔｅｍｓ ｏｎ ａ Ｃｈｉｐ）などの複雑なチップを試験する場合には、この種のチップが複数の異なるクロックドメインを有していることが多いため、複数の異なるクロック周波数が必要となる。例えば、第１ＤＵＴコアには、第１クロック周波数によってアドレス指定しなければならず、第２ＤＵＴコアに対しては、別のクロック周波数が必要とされる。

試験シーケンスは、一度に１つのＤＵＴコアのみを試験するだけのものではない。異なるＤＵＴコア間における相互作用をチェックするべく、複数のＤＵＴコアを同時に取り扱う試験シーケンスが存在している。異なるクロックドメインのＤＵＴコアに同時にアクセスするために必要なクロック信号は、相互に明確な位相関係を有していなければならない。そうでなければ、誤った試験結果を取得することになる。クロック信号間のランダムな位相関係により、予測不能な結果がもたらされるおそれがある。本発明の実施例によれば、必要とされる、一組の異なるクロック周波数の同期したクロック信号を供給することができる。

本発明の実施例は、自動試験装置（ＡＴＥ）において使用可能であるが、本発明の使用は、このアプリケーションに限定されるものではない。本発明の実施例は、例えば、異なるクロック周波数のクロック信号を必要とするあらゆる種類のデータ処理システムに利用可能であろう。例えば、処理ユニットは、かなり高いクロック周波数で動作するが、この処理ユニットと協働するバスシステムには、格段に低いクロック周波数が必要となる。前述の個々のクロック信号の位相のアライメントにより、これらの機能ユニット間におけるデータ交換の信頼性が改善される。

本発明は、１つまたは複数の適切なソフトウェアプログラムによって部分的または全体的に実現またはサポート可能であり、これらのソフトウェアプログラムは、あらゆる種類のデータ媒体上に保存（または、これらによって提供）可能であり、これらは、適切なデータ処理ユニット内において（または、このユニットによって）実行可能であろう。ソフトウェアプログラムまたはルーチンは、好ましくは、値ｎ_ｉ、クロック信号の周波数、および可変遅延要素の遅延のうちの少なくとも１つをプログラムまたは再プログラムするために適用される。

本発明のその他の目的及び付随する利点の多くは、図面との関連において、本明細書の詳細な説明を参照することにより、容易に理解され、その理解度を深めることができよう。実質的または機能的に等価または類似の機能は、同一の参照符号によって示されている。

本発明は、異なるクロック周波数の複数のクロック信号が必要な場合に利用可能であり、これらのクロック信号は、相互に明確な位相関係を有している。以下においては、本発明を、試験分野におけるアプリケーションに関して説明することとする。しかしながら、本発明は、決して試験分野に限定されるものではなく、その他の分野にも同様に使用することができる。例えば、相互に明確な位相関係を有する複数の異なるクロック周波数を有する複合システムを提供するのに、本発明を採用することができる。

図１には、典型的な試験環境が示されている。ＤＵＴ（Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ：被検装置）１は、ＡＴＥ（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｔｅｓｔ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ：自動試験装置）２に接続されている。試験の際には、ＡＴＥ２によって生成される様々なタイプの刺激信号(stimulus signal)をＤＵＴ１に印加し、ＤＵＴ１の応答が計測され、処理される。通常、該応答信号は、正常な装置に期待される応答と比較される。

ＤＵＴ１は、例えば、集積回路であってよい。単一の集積回路に集積される機能の増大により、ＤＵＴ１は、例えば、ランダムアクセスメモリ、読み出し専用メモリ、マイクロプロセッサ・ユニット、デジタル信号プロセッサ、ローカルエリアネットワークモジュールなどの様々な異なる機能ユニットを有することができる。以下においては、ＤＵＴ内のこれらの構成要素を総称するべく、「ＤＵＴコア(DUT-core)」という用語を使用する。ＤＵＴコアは、挙動モデル、信号タイミング条件、および一組の入出力信号の観点から規定されるインターフェイスによって特徴付けられる。

図１に示されているＤＵＴ１は、２つのＤＵＴコア３および４を有しており、該ＤＵＴコアのそれぞれは、ＤＵＴの１つまたは複数の機能ユニットを表している。これらのＤＵＴコア３、４は、アナログ、デジタル、またはメモリのＤＵＴコアであってよい。ＤＵＴコア３には、ＤＵＴピン５ａ、５ｂ、．．．、５ｅを介してアクセス可能であり、同様に、ＤＵＴコア４には、ＤＵＴピン６ａ、６ｂ、．．．、６ｆを介してアクセス可能である。

試験の際には、ＤＵＴ１のピンの少なくともいくつかがＡＴＥ２に接続される。図１に示されている自動試験装置２は、パーピンアーキテクチャ（Ｐｅｒ−Ｐｉｎ Ａｒｃｈｉｔｅｃｔｕｒｅ：ピンごとのアーキテクチャ）に基づくものであり、これは、ＤＵＴピン５ａ、５ｂ、．．．５ｅのそれぞれについて、対応する「ピンごとの試験ユニット(per-pin testing unit)」７ａ、７ｂ、．．．、７ｅが対応して存在していることを意味している。同様に、ＤＵＴピン６ａ、６ｂ、．．．、６ｆのそれぞれについて、専用の「ピンごとの試験ユニット」８ａ、８ｂ、．．．、８ｆが存在している。ＤＵＴ１のそれぞれのＤＵＴピンには、ＡＴＥ２の、対応する分散した「ピンごとの試験ユニット」によって、アドレス可能である。該パーピンアーキテクチャによれば、通常、妥当な費用で高い性能とスケーラビリティを実現することができる。パーピンアーキテクチャを備えた自動試験装置の例としては、アジレントテクノロジー社（Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ）の半導体試験システムであるＡｇｉｌｅｎｔ ８３０００および９３０００ファミリがある。これらのファミリの詳細については、例えば、欧州特許第８５９３１８号明細書（ＥＰ−Ａ−８５９３１８）、欧州特許第８６４９７７号明細書（ＥＰ−Ａ−８６４９７７）、欧州特許第８８６２１４号明細書（ＥＰ−Ａ−８８６２１４）、欧州特許第８８２９９１号明細書（ＥＰ−Ａ−８８２９９１）、米国特許第５，４９９，２４８号明細書（ＵＳ−Ａ−５，４９９，２４８）、米国特許第５，４５３，９９５号明細書（ＵＳ−Ａ−５，４５３，９９５）に開示されている。尚、本発明は、パーピンアーキテクチャを有するＡＴＥに限定されるものではなく、中央集中化されたリソースを有するＡＴＥにおいても同様に使用することができる。

１つまたは複数のピンごとの試験ユニットは、総体として所謂ＡＴＥポートを構成しており、このポートは、ＡＴＥ内における独立した試験ユニットである。ＤＵＴコア３には、ＡＴＥポート９によってアクセスし、このポートは、ピンごとの試験ユニット７ａ、７ｂ、．．．７ｅを備えている。同様に、ＤＵＴコア４には、ＡＴＥポート１０によってアクセスし、このポートは、ピンごとの試験ユニット８ａ、８ｂ、．．．、８ｆを備えている。

それぞれのＡＴＥポートは、対応するＤＵＴコアに割り当てられており、個々のＤＵＴコアの試験を実行する。ＡＴＥポートは、ＡＴＥ内における独立した機能ユニットを表しているため、ＤＵＴのアドレス指定されたＤＵＴコアの試験は、連続的（即ち、ＤＵＴコアを連続的に試験する形態）のみならず、並列的（即ち、複数のＤＵＴコアを同時に試験する形態）にも実行可能である。

ＤＵＴコア３、４は、アナログ、デジタル、またはメモリのＤＵＴコアであってよく、且つ、これらは、異なるクロックドメイン（クロック領域）に属することができる。従って、ＤＵＴに刺激信号を供給すると共に、ＤＵＴから応答信号を受信するべく、異なるクロック周波数を有する様々なクロック信号が必要となる。試験シーケンスに、異なるクロックドメインに属する複数のＤＵＴコアが関係している場合には、様々なＤＵＴコア間におけるデータ交換が起こる場合がある。ＡＴＥによって生成されたクロック信号は、個々のＤＵＴコア内にデータをクロッキングすると共に、個々のＤＵＴコアからデータを受信するために使用される。様々なクロック信号間にランダムな位相関係が存在する場合には、取得される試験結果は、このランダムな位相関係によって左右される。この結果、ランダムな位相関係により、予測不能な試験結果がもたらされることになる。このため、ＡＴＥが供給する様々なクロック信号は、相互に明確な位相関係を有していることが必要とされる。

図２は、様々な異なるクロック周波数の複数のクロック信号を生成するためのクロックボード(clock board)のシステムを示しており、これらのクロック信号は、相互に明確な位相関係を有している。このようなクロックボードのシステムは、ＡＴＥ内において採用可能であるが、その他の分野においても採用することができる。このシステムは、第１周波数のクロック信号を生成する第１クロックボード１１と、第２周波数のクロック信号を生成する第２クロックボード１２を有している。これ以外にも、この図２に示されているシステムは、更なるクロック信号を生成するための追加のクロックボードを更に有することができる。これらのクロックボードのそれぞれは、個々のクロック信号を生成するよう適合された位相ロックループ（ＰＬＬ）を有している。例えば、１０ＭＨｚの低周波数の基準クロック信号１３が、第１クロックボード１１のＰＬＬ１４、第２クロックボード１２のＰＬＬ１５、およびその他のクロックボードのＰＬＬに対して供給される。

この基準クロック信号１３から、ＰＬＬ１４は、例えば５００ＭＨｚのクロック周波数（これは、２ｎｓの信号周期に相当する）を有する第１クロック信号１６を生成する。所望のクロック周波数のクロック信号を生成するべく、ＰＬＬ１４は、プログラム可能なＰＬＬであることができ、このＰＬＬ１４のクロック周波数は、周波数プログラミング信号１７によって設定可能である。尚、この周波数プログラミング信号１７は、第１クロックボード１１上に配置された制御ユニット１８から供給される。

第１クロック信号１６は、可変遅延ユニット１９に転送される。この遅延ユニット１９の遅延は、遅延制御信号２０によって指定される。該遅延制御信号２０も、制御ユニット１８によって生成される。第１クロックボード１１上においては、可変遅延ユニット１９の遅延は定数に設定されている。５００ＭＨｚの遅延した第１クロック信号２１は、可変遅延ユニット１９の出力において取得され、このクロック信号は、５００ＭＨｚのクロックドメインの回路に供給される。

第２クロックボード１２上のＰＬＬ１５は、第２クロック信号２２を生成する。周波数プログラミング信号２３により、ＰＬＬ１５が生成するクロック周波数を所定の範囲内において変化させることができる。周波数プログラミング信号２３は、第２クロックボード１２上に配置された制御ユニット２４から取得される。中央制御機構（図示されてはいない）が、例えば、必要なクロック周波数を知らせるために、制御信号２５を制御ユニット１８、２４に転送することができる。

この図２の例においては、第２クロック信号２２のクロック周波数が２００ＭＨｚ（これは、５ｎｓの信号周期に相当する）に設定されているものと仮定している。この第２クロック信号２２は、可変遅延ユニット２７によって遅延される。この可変遅延ユニット２７の遅延は、遅延制御信号２８に従って調節される。該遅延制御信号も、制御ユニット２４から取得することができる。可変遅延ユニット２７の出力において、２００ＭＨｚの遅延した第２クロック信号２９が取得され、このクロック信号が、２００ＭＨｚのクロックドメインの回路に供給される。

次のタスクは、システムの異なるクロック信号を同期させ、異なる周波数のクロック信号間に明確な位相関係を確立することである。このために、システムのクロック信号の少なくとも１つからスーパー周期信号(superperiod signal)を導出する。このスーパー周期信号の信号周期は、すべてのクロック信号の信号周期の公倍数になっている。１つの可能な選択肢は、システム内のすべての信号周期の最小公倍数（Ｌｏｗｅｓｔ Ｃｏｍｍｏｎ Ｍｕｌｔｉｐｌｅ：ＬＣＭ）をスーパー周期として選択することである。当然ながら、クロック信号の信号周期の他の公倍数も同様に使用可能であるが、スーパー周期信号の信号周期は、過剰に大きくするべきではない。

本発明者らの例においては、第１クロック信号１６は、２ｎｓの信号周期を有しており、第２クロック信号２２は、５ｎｓの信号周期を有している。従って、スーパー周期信号の信号周期としては、１０ｎｓ（これは、２ｎｓと５ｎｓの最小公倍数（ＬＣＭ）である）、または、２０ｎｓ、３０ｎｓなどを選択することができる。本発明者らの例においては、１０ｎｓのスーパー周期を有するスーパー周期信号を、スーパー周期カウンタによって生成する。それぞれのクロック信号の信号周期について、１スーパー周期を得るために、個々の信号周期に乗算しなければならない、対応する自然数が存在する。例えば、５００ＭＨｚの信号周期２ｎｓから１０ｎｓのスーパー周期を得るためには、５を乗算しなければならない。同様に、第２クロックボードの２００ＭＨｚクロック信号の５ｎｓの信号周期には、２を乗算しなければならない。以下においては、記号ｎ_ｉにより、このスーパー周期信号の信号周期を得るためにｉ番目のクロック信号の信号周期に乗算しなければならない個々の自然数を表すこととする。尚、本発明者らの例においては、ｎ_１＝５であり、ｎ_２＝２である。

第１クロックボード１１の遅延した第１クロック信号２１は、スーパー周期カウンタ３０に入力される。このスーパー周期カウンタ３０の出力において、スーパー周期信号Ｗ＿ＳＰが取得される。スーパー周期カウンタの入力信号のｎ_１＝５クロックサイクルごとに、スーパー周期信号Ｗ＿ＳＰの１つのスーパー周期が生成される。

スーパー周期カウンタ３０は、遅延した第１クロック信号２１の立ち上がりエッジまたは立ち下がりエッジのいずれかをカウントする。このスーパー周期カウンタ３０は、アップカウンタまたはダウンカウンタとして実装可能である。アップカウンタとして実現する場合には、最大カウント（ｎ_１−１）に到達した時点で、カウントがゼロにリセットされる。一方、スーパー周期カウンタをダウンカウンタとして実現する場合には、カウントがゼロに到達するごとに、値（ｎ_１−１）がリロードされる。

スーパー周期カウンタ３０は、プログラム可能なカウンタとして実装可能であり、これは、値ｎ_１を所望の値に設定することができることを意味している。値ｎ_１は、１スーパー周期当たりの第１クロック信号の周期の数を表している。値ｎ_１を再プログラムする（書き換える）ために、制御ユニット１８は、スーパー周期プログラミング信号３１をスーパー周期カウンタ３０に供給することができる。

図３Ａに、遅延した第１クロック信号２１およびスーパー周期信号Ｗ＿ＳＰが、時間の関数として示されている。スーパー周期カウンタ３０は、カウンタの入力信号の立ち上がりエッジ３２をカウントし、カウンタの入力信号のｎ_１＝５個の立ち上がりエッジ３２ごとに、スーパー周期信号Ｗ＿ＳＰの１つの立ち上がりエッジ３３を生成する。このスーパー周期カウンタ３０は、ｎ_１−１＝４からゼロにカウントダウンするダウンカウンタとして実装されている。図３Ａには、個々のカウントが、遅延した第１クロック信号２１の下に示されている。時間間隔３４においては、カウントはゼロであり、スーパー周期信号Ｗ＿ＳＰもゼロになっている。カウンタの入力信号の次の立ち上がりエッジにより、値ｎ_１−１がカウンタ内にリロードされる。この図３Ａからわかるように、スーパー周期カウンタ３０は、遅延した第１クロック信号２１のｎ_１＝５個のクロック周期ごとに、１０ｎｓの１つのスーパー周期を生成している。

第１クロックボード１１によって生成されたスーパー周期信号Ｗ＿ＳＰは、システムのすべての他のクロックボード（例えば、第２クロックボード１２）に分配される。以下においては、このスーパー周期信号Ｗ＿ＳＰを、「ワイヤリングボードスーパー周期信号(wiring board superperiod signal)」と呼ぶことにする。

本発明の一実施例においては、第２クロックボード１２は、遅延した第２クロック信号２９から、１０ｎｓのスーパー周期を有するローカルスーパー周期信号Ｌ＿ＳＰを生成するスーパー周期カウンタ３５を有している。このスーパー周期カウンタ３５は、遅延した第２クロック信号２９のエッジをカウントし、このカウンタの入力信号のｎ_２＝２個の信号周期ごとに、１つのスーパー周期を生成する。従って、図３Ａに示されているように、スーパー周期信号Ｌ＿ＳＰのそれぞれの信号周期は、遅延した第２クロック信号２９の２つの信号周期に対応している。この図３Ａの例においては、スーパー周期カウンタ３５は、ｎ_２−１＝１からゼロにカウントダウンするダウンカウンタとして実装されている。遅延した第２クロック信号２９の下に、個々のカウントが示されている。代替的に、このスーパー周期カウンタをアップカウンタとして実装することも可能である。更に、スーパー周期カウンタ３５は、プログラム可能なカウンタとして実現可能であり、この場合には、カウンタ周期ｎ_２を所望の値に設定することができる。カウンタ周期ｎ_２は、制御ユニット２４が供給するカウンタ周期プログラミング信号３６により、プログラムまたは再プログラム（書き換え）可能である。

好適な実施例においては、制御ユニット１８は、ＰＬＬ１４の周波数とスーパー周期カウンタ３０のカウンタ周期ｎ_１の両方を設定することができる。制御ユニット２４は、ＰＬＬ１５の周波数、可変遅延ユニット２７の遅延、およびスーパー周期カウンタ３５のカウンタ周期ｎ_２を設定することができる。これにより、所望の周波数に対してクロック周波数を設定すると共に、スーパー周期信号Ｗ＿ＳＰおよびＬ＿ＳＰのそれぞれのスーパー周期が互いに等しくなるように自然数ｎ_１およびｎ_２を適合させることが可能になる。

図３Ｂには、スーパー周期信号Ｗ＿ＳＰおよびＬ＿ＳＰを生成する別の方法が示されている。図３Ａと同様に、遅延した第１クロック信号２１、スーパー周期信号Ｗ＿ＳＰ、遅延した第２クロック信号２９、およびスーパー周期信号Ｌ＿ＳＰが、時間の関数として示されている。この図３Ｂに示されている実施例においては、スーパー周期信号Ｗ＿ＳＰのハイ(high)の位相は、遅延した第１クロック信号２１のｎ_１＝５個のクロック周期に対応しており、スーパー周期信号Ｗ＿ＳＰのロー(low)の位相も、遅延した第１クロック信号２１のｎ_１＝５個のクロック周期に対応している。遅延した第１クロック信号２１の下に、スーパー周期カウンタ３０の個々のカウンタ値が示されている。スーパー周期信号Ｗ＿ＳＰの１信号周期は、遅延した第１クロック信号２１の２・ｎ_１＝１０個の信号周期ごとに生成されている。この図３Ｂの実施例により、１：２のデューティサイクルを有するスーパー周期信号Ｗ＿ＳＰを生成することができる。

スーパー周期信号Ｌ＿ＳＰも同様に生成されている。図３Ｂの下部に示されているように、スーパー周期信号Ｌ＿ＳＰのハイの位相は、遅延した第２クロック信号２９のｎ_２＝２個のクロック周期に対応しており、スーパー周期信号Ｌ＿ＳＰのローの位相も、遅延した第２クロック信号２９のｎ_２＝２個のクロック周期に対応している。遅延した第２クロック信号２９の下には、スーパー周期カウンタ３５の個々のカウンタ値が示されている。この図３Ｂの実施例においては、スーパー周期信号Ｌ＿ＳＰの１つの信号周期は、遅延した第２クロック信号２９の２・ｎ_２＝４個の信号周期ごとに生成されており、この結果、Ｌ＿ＳＰのデューティサイクルは１：２になっている。

ワイヤリングボードスーパー周期信号Ｗ＿ＳＰおよびローカルスーパー周期信号Ｌ＿ＳＰの両方は、位相検出器３７に供給されており、ここで、ワイヤリングボードスーパー周期信号Ｗ＿ＳＰに対するローカルスーパー周期信号Ｌ＿ＳＰの位相が判定される。その結果、位相検出器３７は、ローカルスーパー周期信号Ｌ＿ＳＰが、基準として使用されているワイヤリングボードスーパー周期信号Ｗ＿ＳＰよりも位相が遅れているのか、または進んでいるのかを示す位相比較信号３８を生成する。例えば、位相比較信号３８の論理レベル「０」は、Ｗ＿ＳＰに対してＬ＿ＳＰの位相が進んでいることを示し、位相比較信号３８の論理レベル「１」は、Ｗ＿ＳＰに対してＬ＿ＳＰの位相が遅れていることを示すことができる。この位相比較信号３８は、制御ユニット２４に転送される。制御ユニット２４は、この位相比較信号３８に従い、可変遅延ユニット２７の遅延を変化させる。この目標とするところは、ローカルスーパー周期信号Ｌ＿ＳＰとワイヤリングボードスーパー周期信号Ｗ＿ＳＰ間において位相が一致するように、可変遅延ユニット２７によって生成される遅延を変化させることである。Ｗ＿ＳＰに対してＬ＿ＳＰの位相が遅れている場合には、遅延制御信号２８は、可変遅延ユニット２７の遅延が減少するように、変化させなければならない。一方、Ｗ＿ＳＰに対してＬ＿ＳＰの位相が進んでいる場合には、可変遅延ユニット２７の遅延を増大させなければならない。制御ユニット２４は、位相比較信号３８に従って、適切な遅延制御信号２８を生成する責任を負っている。

位相検出器３７は、例えば、ＸＯＲゲート、セット／リセット回路など、様々な異なる方法によって実装可能である。図４Ａは、フリップフロップ３９によって位相検出器３７を実装する方法を示している。ローカルスーパー周期信号Ｌ＿ＳＰをフリップフロップ３９のクロック入力に供給し、ワイヤリングボードスーパー周期信号Ｗ＿ＳＰをフリップフロップのデータ入力Ｄに転送する。データ入力Ｄにおけるスーパー周期信号Ｗ＿ＳＰは、スーパー周期信号Ｌ＿ＳＰに従ってサンプリングされる。スーパー周期信号Ｌ＿ＳＰの立ち上がりエッジの発生時点ごとに、信号Ｗ＿ＳＰの値を取得する。この取得したサンプル値は、フリップフロップの出力において、位相比較信号Ｑとして供給される。

図４Ｂには、スーパー周期信号Ｗ＿ＳＰおよびＬ＿ＳＰが、出力信号Ｑと共に、時間の関数として示されている。Ｌ＿ＳＰの立ち上がりエッジ４０は、Ｗ＿ＳＰの立ち上がりエッジよりも進んでいる。Ｌ＿ＳＰがフリップフロップのクロック入力に供給されているため、Ｗ＿ＳＰは、立ち上がりエッジ４０によって定義された時点においてサンプリングされる。この時点においては、Ｗ＿ＳＰの信号レベルは「０」であり、出力信号Ｑも同様に「０」となる。これは、可変遅延ユニット２７の遅延を増大させなければならないことを意味している。

一方、図４Ｃには異なる状況が示されており、この場合には、Ｗ＿ＳＰに対してＬ＿ＳＰの位相が遅れている。即ち、Ｗ＿ＳＰの立ち上がりエッジ４２が、Ｌ＿ＳＰの立ち上がりエッジ４３よりも先行している。スーパー周期信号Ｗ＿ＳＰは、立ち上がりエッジ４３によって定義された時点においてサンプリングされ、信号レベル「１」がフリップフロップの出力に現れる。位相比較信号Ｑの信号レベル「１」は、可変遅延ユニット２７の遅延を減少させなければならないことを示している。

スーパー周期カウンタ３５が任意の時点においてカウントを開始した場合には、ローカルスーパー周期信号Ｌ＿ＳＰは、信号Ｗ＿ＳＰに対して任意の位相遅延を有することになり、この位相遅延を補償するために、可変遅延ユニットを、かなり大きな遅延値に設定しなければならなくなる。必要とされる遅延を小さな値に限定するべく、ワイヤリングボードスーパー周期信号Ｗ＿ＳＰの信号の遷移に従って、スーパー周期カウンタ３５を初期化することを提案する。

図５Ａは、スーパー周期カウンタをリセットまたは初期化するべき時点を判定するのに使用可能な回路を示している。この回路は、フリップフロップ４４を有しており、ｉ番目のクロック信号がフリップフロップのクロック入力に印加されており、ワイヤリングボードスーパー周期信号Ｗ＿ＳＰがフロップフロップのデータ入力に印加されている。ｉ番目のクロック信号のそれぞれの立ち上がりエッジにより、ワイヤリングボードスーパー周期信号Ｗ＿ＳＰのサンプル値が取得される。このＷ＿ＳＰの個々のサンプル値が、フロップフロップ４４の出力信号として供給される。

図５Ｂには、スーパー周期信号Ｗ＿ＳＰ、ｉ番目のクロック信号、およびフリップフロップの出力信号が時間の関数として示されている。ｉ番目のクロック信号のそれぞれの立ち上がりエッジ４５、４６、４７について、Ｗ＿ＳＰの対応するサンプル値が取得される。立ち上がりエッジ４５は、Ｗ＿ＳＰの信号の遷移４８よりも先行しており、サンプル値「０」が取得される。立ち上がりエッジ４６によって定義された時点においては、Ｗ＿ＳＰの信号の遷移４８は既に発生済みであり、従って、サンプル値「１」が取得される。これらの取得されるサンプル値を監視することにより、Ｗ＿ＳＰの信号の遷移を検出することができる。Ｗ＿ＳＰの「０」から「１」への信号の遷移を検出した時点で、スーパー周期カウンタを初期化する（４９）。尚、１クロックサイクルが欠落するため、この消失したクロックサイクルを補償するべく、スーパー周期カウンタのカウントを１だけ増分するか（アップカウンタを使用している場合）、あるいは、１だけ減分しなけれればならない（ダウンカウンタを使用している場合）。スーパー周期カウンタをアップカウンタとして実現している場合には、カウンタは、＋１に設定される。スーパー周期カウンタをダウンカウンタとして実現している場合には、値（ｎ_ｉ−２）がカウンタにロードされる。スーパー周期信号Ｗ＿ＳＰの信号の遷移に従って個々のスーパー周期カウンタを初期化することにより、２つのスーパー周期信号Ｗ＿ＳＰおよびＬ＿ＳＰの位相が互いに完全にずれてしまわないようにすることができる。

図６は、可変遅延ユニット１９、２７をデジタル遅延ユニットとして実装する方法を示している。この図６のデジタル遅延ユニットは、３つの処理段５０、５１、５２を有している。そして、第１段５０の上部ブランチ５３は、１つの遅延要素５４を有しており、第１段５０の下部ブランチ５５は、１つの遅延要素も有してはいない。マルチプレクサ５６により、上部ブランチ５３の遅延した信号または下部ブランチ５５の遅延していない信号のいずれかを第１段５０の出力信号として選択することができる。第２段５１においては、上部ブランチ５７は、２つの遅延要素５８を有し、下部ブランチ５９は、１つの遅延要素も有してはいない。マルチプレクサ６０により、上部ブランチ５７の信号または下部ブランチ５９の信号のいずれかを出力信号として選択することができる。同様に、第３段５２は、４つの遅延要素６２を有する上部ブランチ６１と遅延要素を有していない下部ブランチ６３を有している。マルチプレクサ６４により、上部ブランチ６１の信号または下部ブランチ６３の信号のいずれかが選択される。適切にマルチプレクサ５６、６０、６４をプログラムすることにより、０〜７の範囲の所望の数の遅延要素を信号経路内に含めることができる。該所望の遅延は、ビットパターンによってプログラム可能であり、該ビットパターンの最下位ビット（ＬＳＢ）をマルチプレクサ５６に供給し、ビットパターンの最上位ビット（ＭＳＢ）をマルチプレクサ６４に供給する。

この図６に示されている可変遅延ユニットの遅延を再プログラムする際に問題が発生することがある。即ち、第１の例として、第３段５２の上部ブランチ６１を通過する個々の信号の（立ち上がりまたは立ち下がり）エッジ６５が存在していると仮定する。ここで、マルチプレクサ６４が上部ブランチ６１から下部ブランチ６３に切り換える可能性がある。エッジ６５がマルチプレクサ６４に到達する前に、このマルチプレクサのスイッチングが発生した場合には、この特定のエッジが出力信号から欠落してしまうことになる。

第２の例によれば、個々の信号のエッジがマルチプレクサ６４に到達した直後に、マルチプレクサ６４が下部ブランチ６３から上部ブランチ６１に切り替わる可能性がある。この場合には、マルチプレクサの出力において、（１つではなく）２つのパルスを取得することになる。

これらの問題に対する解決策は、次の手順によって提供される。即ち、遅延を再プログラムしなければならない場合には、ｋ個のクロック周期にわたって、可変遅延ユニットの入力に位置しているスイッチ６６を開く（ここで、ｋは自然数である）。次いで、個々のマルチプレクサを再プログラムした後に、スイッチ６６を閉じる。これにより、ｋ個のクロックサイクルが欠落することになるため、この消失クロックサイクルを補償するべく、個々のスーパー周期カウンタのカウントをｋだけ増分（アップカウンタを使用している場合）、あるいは減分（ダウンカウンタを使用している場合）しなければならない。

代替的に、可変遅延ユニット１９、２７をアナログ遅延ユニットとして実装することも可能であり、この場合には、該アナログ遅延ユニットの遅延は、アナログ制御信号によって設定することができる。

図７は、自動試験装置（ＡＴＥ）用の複数のクロック信号を生成する一組のクロックボードを示している。第１クロックボード６７上においては、第１クロック生成器６８が第１クロック信号６９を生成し、第２クロックボード７０上においては、第２クロック生成器７１が第２クロック信号７２を生成する。これら第１および第２クロック生成器６８、７１には、いずれも基準クロック信号７３が供給されている。

このシステムの様々なクロックボードは、リング構造を形成するよう接続されている。このリング構造を通じて、第１クロックボード６７は、先行するクロックボードからクロック信号７４を受信する。第１クロックボード６７上においては、マルチプレクサ７５により、先行するクロックボードからのクロック信号７４または第１クロックボード６７からの第１クロック信号６９のいずれかを選択することができる。この選択されたクロック信号は、クロック信号７６として、第２クロックボード７０に転送される。第２クロックボード上のマルチプレクサ７７には、第２クロック信号７２と、このクロック信号７６が供給される。マルチプレクサ７７は、これら２つのクロック信号のうちの１つをクロック信号７８として選択し、このクロック信号７８がリング構造の後続のクロックボードに転送される。こうして、クロック信号が、１つのクロックボードから後続のクロックボードに伝達される。クロックボードの該シーケンスにおける最後のものは、クロック信号７４を第１クロックボード６７に供給することになる。

試験装置は、一組のカードケージ(card cage)を有しており、１つのカードケージは、通常、１つのクロックボードと、例えば８つのチャネルボードを有している。個々の実施例に応じて、１チャネルボード当たり、１６個または３２個、場合によっては６４個のチャネルが存在する。これらのチャネルは、ＤＵＴに刺激信号を供給し、ＤＵＴから応答信号を受信する。

図７に示されているクロックボード６７、７０のそれぞれは、クロック信号を、例えば、８つの異なるチャネルボードに供給しなければならない。各クロックボード６７、７０上において、２つの異なるクロック信号が利用可能である。第１クロックボード６７は、８つのマルチプレクサ７９ａ、７９ｂ、．．．を有しており、これらのマルチプレクサのそれぞれは、対応するチャネルボードに割り当てられている。マルチプレクサ７９ａにより、第１クロック信号６９またはクロック信号７４のいずれかを、第１チャネルボード用のチャネルクロック信号８０ａとして選択することができる。同様に、マルチプレクサ７９ｂにより、２つのクロック信号６９、７４のうちの１つを、第２チャネルボード用のチャネルクロック信号８０ｂとして選択することができる（以下、同様）。こうして、選択したチャネルクロック信号を、それぞれのチャネルボードに対して個別に供給することができる。

第２クロックボード７０も、８つの異なるチャネルボードにチャネルクロック信号を供給しなければならない。このため、第２クロックボードは、８つのマルチプレクサ８３ａ、．．．を有しており、これらのマルチプレクサのそれぞれにより、対応するチャネルクロック信号８４ａ、．．．として、第２クロック信号７２またはクロック信号７６のいずれかを選択することができる。尚、リング構造を利用する代わりに、様々なクロックボード間においてクロック信号を交換するベく、所謂スイッチファブリック(switch fabric)を使用することもできる。

ＤＵＴを試験するための自動試験環境（ＡＴＥ）を示す図。 様々な異なるクロック周波数の複数のクロック信号を生成するクロックボードシステムを示す図。 ２つのクロック信号を、それぞれの対応するスーパー周期信号と共に、時間の関数として示す図。 信号Ｗ＿ＳＰとＬ＿ＳＰの相対位相を検出するよう適合された位相検出ユニットを示す図。 スーパー周期カウンタを初期化するのに使用可能な回路を示す図。 デジタル遅延ユニットの回路を示す図。 システムのクロックボードを接続してリング構造を形成する方法を示す図。

符号の説明

１１、１２ クロック信号回路
２１、２９ クロック信号
２７ 可変遅延要素
３０ 第１スーパー周期カウンタ
３５ 第２スーパー周期カウンタ

Claims (21)

1. 複数のクロック信号を供給するための装置であって、
   少なくとも２つの異なる信号周期を有するｍ個のクロック信号を生成するよう適合された少なくとも２つのクロック信号生成回路であって、該ｍは自然数である、クロック信号生成回路と、
   前記生成されたｍ個のクロック信号のうちの第１のクロック信号から、第１スーパー周期信号を導出するよう適合された第１のスーパー周期信号生成ユニットであって、該第１スーパー周期信号の信号周期は、前記ｍ個のクロック信号の信号周期の公倍数である、第１のスーパー周期信号生成ユニットと、
   前記生成されたｍ個のクロック信号のうちの第２のクロック信号から、第２スーパー周期信号を導出するよう適合された第２のスーパー周期信号生成ユニットであって、該第２スーパー周期信号の信号周期は、前記ｍ個のクロック信号の信号周期の公倍数である、第２のスーパー周期信号生成ユニットと、を備え、
   前記クロック信号生成回路のうちの少なくとも１つは、該クロック信号生成回路により生成された前記クロック信号を、前記第１スーパー周期信号に同期させるための同期化機構を備えており、該同期化機構は、前記第２スーパー周期信号および前記第１スーパー周期信号の間の相対的な位相遅れを算出して位相比較信号を生成するよう適合された位相検出ユニットを有しており、前記クロック信号生成回路のうちの少なくとも１つには可変遅延要素が設けられ、該可変遅延要素により、前記位相比較信号に基づいて、該クロック信号生成回路により生成された前記クロックと前記第１スーパー周期信号の間の位相遅れが補償される、
   装置。
2. 前記第１スーパー周期信号の１信号周期は、ｉ番目のクロック信号のｎ_ｉ個の信号周期を有しており、該ｎ_ｉは自然数であり、１≦ｉ≦ｍである、
   請求項１に記載の装置。
3. 前記１≦ｉ≦ｍを満たすいずれかのｉについて、該ｉ番目のクロック信号に対応する前記値ｎ_ｉを、プログラムまたは再プログラムするよう適合された中央機構をさらに備える、
   請求項２に記載の装置。
4. 前記１≦ｉ≦ｍを満たすいずれかのｉについて、該ｉ番目のクロック信号のクロック周波数または該ｉ番目のクロック信号に対応する前記値ｎ_ｉのうちの少なくとも一方をプログラムまたは再プログラムするよう適合された中央機構をさらに備える、
   請求項２または３に記載の装置。
5. 前記第１スーパー周期信号の信号周期は、前記ｍ個のクロック信号の信号周期の最小公倍数（ＬＣＭ）である、
   請求項１から４のいずれかに記載の装置。
6. 前記第１のスーパー周期生成ユニットは、ｊ番目のクロック信号のｎ_ｊ個の信号周期ごとに、前記第１スーパー周期信号の１スーパー周期を生成するよう適合された第１スーパー周期カウンタを備える、
   請求項１から５のいずれかに記載の装置。
7. 前記クロック信号生成回路の少なくともいくつかに前記可変遅延要素が設けられ、該可変遅延要素は、対応する前記クロック信号のエッジの少なくともいくつかが前記第１スーパー周期信号のエッジと一致するように、該対応するクロック信号を遅延させる、
   請求項１から６のいずれかに記載の装置。
8. 前記クロック信号生成回路の少なくともいくつかに前記第２のスーパー周期信号生成ユニットが設けられ、該第２のスーパー周期信号生成ユニットは、対応する前記クロック信号から、前記第２のスーパー周期信号を導出し、
   前記位相遅れの補償は、該第２スーパー周期信号を前記第１スーパー周期信号に同期させることにより実現される
   請求項１から７のいずれかに記載の装置。
9. 前記第２スーパー周期信号が前記第１スーパー周期信号と位相が一致するように、前記クロック信号生成回路の少なくともいくつかは、対応する前記クロック信号と、該クロック信号から導出された該第２スーパー周期信号の両方を遅延させる、
   請求項８に記載の装置。
10. 前記クロック信号生成回路の少なくともいくつかは、対応するｉ番目のクロック信号のｎ_ｉ個の信号周期ごとに、前記第２スーパー周期信号の１スーパー周期を生成するよう適合された第２スーパー周期カウンタを備える、
    請求項１から９のいずれかに記載の装置。
11. 前記クロック信号生成回路の少なくともいくつかは、一連のサンプル値を取得するべく、対応するｉ番目のクロック信号に従って前記第１スーパー周期信号をサンプリングし、該サンプル値の信号の遷移に応じて、前記第２スーパー周期カウンタの初期化を実行するカウンタ初期化ユニットを備える、
    請求項１０に記載の装置。
12. 前記位相検出ユニットは、フリップフロップによって実現されており、
    該フリップフロップは、
    前記第１スーパー周期信号がクロック入力に印加され、かつ前記第２スーパー周期信号がデータ入力に印加される形態、または、前記第１スーパー周期信号がデータ入力に印加され、かつ前記第２スーパー周期信号がクロック入力に印加される形態のいずれかである、
    請求項１から１１のいずれかに記載の装置。
13. 前記クロック信号生成回路の少なくともいくつかに前記可変遅延要素が設けられ、該可変遅延要素は、前記位相遅れの補償を、前記第２スーパー周期信号と前記第１スーパー周期信号の間の相対的な位相遅延を補償することにより実現する、
    請求項１から請求項１２のいずれかに記載の装置。
14. 前記クロック信号生成回路の少なくともいくつかは、該クロック信号生成回路自身のクロック信号に加え、リモートクロック信号生成回路のクロック信号を、該クロック信号生成回路の出力信号として選択することを可能にするクロック選択機構を備える、
    請求項１から１３のいずれかに記載の装置。
15. 前記ｍ個のクロック信号のうちのいずれかのクロック信号が、前記第１のクロック信号として選択されることができる、
    請求項１から１４のいずれかに記載の装置。
16. 前記第１および第２スーパー周期カウンタの少なくとも１つは、プログラム可能なスーパー周期カウンタであり、該カウンタの周期ｎ_ｉは、プログラムまたは再プログラム可能である、
    請求項６から１５のいずれかに記載の装置。
17. 前記クロック信号生成回路のそれぞれは、共通の基準クロック信号に基づいて前記クロック信号を生成する、
    請求項１に記載の装置。
18. 前記ｍ個のクロック信号は、前記クロック信号生成回路の初期状態に応じて互いにランダムな位相関係を有する、
    請求項１に記載の装置。
19. 前記クロック信号は、ＤＵＴへの刺激信号の供給または該ＤＵＴからの応答信号の受信のうちの少なくとも一方のために、ＤＵＴ試験環境において使用される、
    請求項１から１８のいずれかに記載の装置。
20. 少なくとも１つのＤＵＴを試験するよう適合された試験回路であって、該少なくとも１つのＤＵＴへの刺激信号の供給と該少なくとも１つのＤＵＴからの応答信号の受信のうちの少なくとも一方を行う試験回路と、
    前記請求項１から請求項１９のうちのいずれかに記載の装置と、を備え、
    該装置は、複数のクロック信号を前記試験回路に供給する、
    自動試験装置。
21. ｉ番目のクロック信号のクロック周波数、または該ｉ番目のクロック信号に対応する値ｎ_ｉのうちの少なくとも一方が、前記ＤＵＴのクロックドメインに適合され、該ｉは、１≦ｉ≦ｍである、請求項２０に記載の自動試験装置。

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