JP3911432B2 - 昇降部材支持機構およびこれを用いた測定機 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、昇降部材支持機構およびこれを用いた測定機に関する。詳しくは、上下方向へ昇降する昇降部材を支持する昇降部材支持機構およびこれを用いた測定機に関する。
【0002】
【背景技術】
昇降部材を上下方向へ昇降駆動させるZ方向駆動機構が知られている。このような昇降部材のZ方向駆動機構は、例えば、測定対象物の位置および/または座標を測定する三次元測定機などに利用されている。
従来、Z方向駆動機構は、図4に示されるように、下端に測定子13を有し垂直に支持されたZ軸スピンドル12と、このZ軸スピンドル12を垂直方向にガイドするガイド部材22と、Z軸スピンドル12の移動軸と平行に設けられたボールねじ軸221と、Z軸スピンドル12に設けられボールねじ軸221に螺合するボールねじナット222と、ボールねじ軸221を回転駆動させる駆動モータ223とを備えて構成されている。
【0003】
ガイド部材22はガイド筒部22Aを有し、このガイド筒部22AにZ軸スピンドル12が上下方向移動可能に挿通されている。ガイド筒部22Aの内周にはエアベアリング23が設けられ、Z軸スピンドル12との間にエア膜による空気軸受けが形成されることにより、ガイド部材22とZ軸スピンドル12との間の摩擦抵抗が低減されている。ガイド部材22には、垂直上方に向かって立設された支柱25が設けられている。この支柱25の上端には、Z軸スピンドル12の上方を覆うように、Z軸スピンドル12の移動軸に対して垂直な横梁26が形成されている。
ボールねじ軸221は、Z軸スピンドル12の移動軸に対して平行で、かつ、一定の間隔を隔ててガイド部材22に設けられている。ボールねじ軸221の上端は支柱25の横梁26に支持され、下端ではベルト224によって駆動モータ223と連動されている。
【0004】
Z軸スピンドル12には、その重心近傍を通るように支持軸28が挿通されており、この支持軸28の上端は支柱の横梁26でスラスト玉軸受35によって揺動支持されている。スラスト玉軸受35は、支持軸28の軸に直交する方向の負荷を吸収するための機構で、図5(A)に示されるように、二つの平板33A,33Bに挟まれたボール34を備える。一方の平板33Aが支持軸28に、他方の平板33Bが横梁26に固定されることにより、これらの間のボール34を介して支持軸28と横梁26とが接続されている。また、この支持軸28とZ軸スピンドル12の間には、Z軸スピンドル12の重量に見合う押上力を発生させるエアバランス機構が設けられているが、詳しくは省略する。
図4に戻って、ボールねじナット222は、Z軸スピンドル12の外側面に設けらた結合部材121を介してZ軸スピンドル12に固定されているとともに、ボールねじ軸221に螺合されている。
【0005】
このような構成において、駆動モータ223を回転駆動させると、ボールねじ軸221が回転される。すると、ボールねじ軸221とボールねじナット222との螺合によってボールねじナット222がボールねじ軸221に沿って移動される。このボールねじナット222の駆動力が結合部材121を介してZ軸スピンドル12に伝達されるので、Z軸スピンドル12が上下方向に駆動される。
ガイド部材22とZ軸スピンドル12との間は、エアベアリング23によって摩擦抵抗が低減されており、また、エアバランス機構によってZ軸スピンドル12の重量に見合う力でバランスされているので、Z軸スピンドル12はなめらかに移動することが可能となる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のZ方向駆動機構には次のような問題があった。
Z軸スピンドル12が上下方向に移動する場合、Z軸スピンドル12はエアベアリング23によって軌道を拘束されて移動する。この時、ガイド筒部22Aのガイド方向と支持軸28との方向がずれていた場合、図5(B)に示されるように、支持軸28には、支持軸28に直交する方向(水平方向)に力Pmがかかる。この力Pmは、Z軸スピンドル12の移動精度に影響を与えるため、支持軸28の上端に設けられたスラスト玉軸受35によって力Pmを除去する。つまり、スラスト玉軸受35に力Pmがかかると、ボール34が水平方向に転がり、ボール34の上に配置された平板33Aが水平方向にスライドして力Pmを除去する。
【0007】
ところが、ボール34と平板33A,33Bとの間には、ボール34の転がり抵抗Pfが存在する。したがって、この転がり抵抗Pfによって支持軸28にかかる負荷を十分に除去することができず、支持軸28には曲げ応力が発生し、Z軸スピンドル12の移動精度に影響を与えるという問題があった。
【0008】
ところで、Z軸スピンドル12に駆動力を与えるボールねじ軸221およびボールねじナット222は、Z軸スピンドル12の移動軸から距離を隔てて配置されている。ボールねじナット222の駆動力は、結合部材121を介してZ軸スピンドル12の外側面に伝達される。その結果、Z軸スピンドル12の重心に対しては、Z軸スピンドル12の移動軸とは交差する方向にトルクが発生するため、Z軸スピンドル12の移動の垂直性に影響が生じる。この影響は、Z方向駆動機構を測定機などに用いた場合には測定誤差に繋がる。
【0009】
そこで、本出願人は、先にZ方向駆動機構をZ軸スピンドル12の内部に備えたものを提案した。これは、Z軸スピンドル12の上方に支持軸28を挟み込む一対のローラと、これらのモータを駆動するモータとを設け、モータでローラを回転させることにより支持軸28とローラとの間の摩擦でZ軸スピンドル12を上下移動させるものである。これによれば、Z軸スピンドル12を駆動する力がZ軸スピンドル12の重心近傍に接続された支持軸28に沿ってかかるので、前述のボールねじ軸221の駆動機構によるようなトルクが発生せず、Z軸スピンドル12の垂直移動性が確保され、移動精度が向上する。
【0010】
このような構成を有するZ軸スピンドル12では、高精度な移動が可能となったため、スラスト玉軸受35のボール34の転がり抵抗による精度への影響が無視できなくなるという問題が新たに派生してきた。
また、Z軸スピンドル12の上下移動が繰り返し行われるうちに、ボール34の滑りによりボール34が移動して支持軸28にあたってしまう可能性もあった。
【0011】
本発明の目的は、従来の問題を解消し、昇降部材の移動精度を向上できる昇降部材支持機構を提供するとともに、測定精度が向上される測定機を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の昇降部材支持機構は、ガイド手段によってガイドされた昇降部材を支持する昇降部材支持機構であって、前記昇降部材の重心位置近傍で、かつ、前記ガイド手段によるガイド方向に略平行に配置された支持軸と、この支持軸の下端と前記昇降部材との間に形成され、支持軸方向への昇降部材の昇降を許容しつつ、前記昇降部材の重量に見合う押上力を発生するバランス機構と、前記支持軸の上端側に固定され、下端面に前記支持軸に直交するスライド面を有するスライドパッドと、このスライドパッドのスライド面と対向する位置に設けられた支持部材と、前記スライドパッドの前記スライド面と前記支持部材との間にエア膜を形成する空気軸受手段とを備え、前記支持軸と前記スライドパッドとの間には、前記支持軸が揺動した際に生じる垂直方向に対する角度変動を吸収する調心機構が設けられていることを特徴とする。
【0013】
このような構成によれば、昇降部材が昇降する際に、例えばガイド手段のガイド方向と支持軸との方向がずれていた場合でも、スライドパッドがスライド面でスライドすることにより支持軸にかかる負荷を除去する。スライドパッドは空気軸受手段によって形成されたエア膜を介してスライドするので、スライドパッドと支持部材とが摺動せず、スライド面における摩擦抵抗を最小限に抑えることができる。したがって、支持軸にかかる曲げ応力を低減でき、昇降部材の移動精度を向上することができる。
また、スライドパッドがスライドして支持軸にかかる負荷を除去すると、支持軸の他端は揺動するが、一端は昇降部材に設けられたバランス機構に接続されているので、支持軸は垂直方向に対して角度を持つこととなる。
本発明では、調心機構により、支持軸の角度変動を調節し、支持軸と昇降部材との軸方向を略一致させるので、支持軸に生じる曲げ応力を最小限に抑えることができ、昇降部材の移動精度をより一層向上することができる。
【0016】
請求項2に記載の昇降部材支持機構は、ガイド手段によってガイドされた昇降部材を支持する昇降部材支持機構であって、前記昇降部材の重心位置近傍で、かつ、前記ガイド手段によるガイド方向に略平行に配置された支持軸と、この支持軸の下端と前記昇降部材との間に形成され、支持軸方向への昇降部材の昇降を許容しつつ、前記昇降部材の重量に見合う押上力を発生するバランス機構と、前記支持軸の上端側に固定され、下端面に前記支持軸に直交するスライド面を有するスライドパッドと、このスライドパッドのスライド面と対向する位置に設けられた支持部材と、前記スライドパッドの前記スライド面と前記支持部材との間にエア膜を形成する空気軸受手段と、前記昇降部材に設けられ前記支持軸を相挟み込む少なくとも一対のローラと、前記ローラの少なくとも一つを回転させる回転駆動手段とを備えていることを特徴とする。
【0017】
このような構成において、回転駆動手段によってローラの少なくとも一つが回転されると、支持軸を挟み込みながらローラが回転される。すると、ローラには支持軸との摩擦力によって上方向もしくは下方向に移動する力が生じる。ローラは昇降部材に設けられているので、ローラとともに昇降部材には上方向もしくは下方向に移動する力が生じる。よって、昇降部材がガイド手段によってガイドされつつ上方向もしくは下方向に移動される。
本発明によれば、昇降部材を移動させる力はローラと支持軸との間で生じる。支持軸は昇降部材の重心位置近傍でかつガイド手段のガイド方向と略平行に配置されているので、昇降部材を移動させる力も同様に、昇降部材の重心位置近傍でかつガイド手段のガイド方向と略平行に働く。
従来、昇降部材に働く力は、昇降部材の外側面に作用していたため、昇降部材の重心位置に対しては、ガイド手段のガイド方向と略平行に作用していなかった。そのため、昇降部材にはガイド方向とは交差する力が働き、昇降部材の移動の垂直性に影響が生じるおそれがあった。
しかしながら、本発明によれば、昇降部材に働く力は、昇降部材の重心を通る移動軸に沿って作用するので、昇降部材はガイド手段に沿って垂直に上下移動され、移動の垂直性が確保される。
また、このような構成を有する昇降部材では、昇降部材の移動の垂直性が確保されることで、昇降部材の移動精度が向上する。したがって、従来一般的に使用されていたスラスト玉軸受による昇降部材支持機構では、ボールの転がり抵抗による精度への影響を無視できなくなる。本発明によれば、支持軸にかかる負荷は、低摩擦係数を有するエア膜を介してスライドパッドがスライドすることで除去されるので、移動精度への影響を最小限に抑えることができる。
【0018】
請求項3に記載の昇降部材支持機構は、請求項2に記載の昇降部材支持機構において、前記支持軸と前記スライドパッドとの間には、前記支持軸が揺動した際に生じる垂直方向に対する角度変動を吸収する調心機構が設けられていることを特徴とする。
このような構成において、スライドパッドがスライドして支持軸にかかる負荷を除去すると、支持軸の他端は揺動するが、一端は昇降部材に設けられたバランス機構に接続されているので、支持軸は垂直方向に対して角度を持つこととなる。
本発明では、調心機構により、支持軸の角度変動を調節し、支持軸と昇降部材との軸方向を略一致させるので、支持軸に生じる曲げ応力を最小限に抑えることができ、昇降部材の移動精度をより一層向上することができる。
請求項4に記載の昇降部材支持機構は、請求項1から請求項3のいずれかに記載の昇降部材支持機構において、前記バランス機構は、エアによって前記押上力を発生させるエアバランス機構であり、前記エアバランス機構は、前記支持軸および前記昇降部材のいずれか一方に設けられたピストンと、前記支持軸および前記昇降部材のいずれか他方に設けられ、かつ、内部に前記ピストンを収納して、そのピストンに対して上下方向へ相対往復運動可能なシリンダ室とを備え、前記シリンダ室の前記ピストンで区画された室にエアを送り込むことにより、前記昇降部材の重量に見合う押上力を発生することを特徴とする。
【0019】
このような構成によれば、シリンダ室のエアを送り込まれた室とエアを送り込まれなかった室との間に内圧の差が生じ、この内圧の差からピストンおよびシリンダ室の内壁を押圧する力が生じる。ピストンとシリンダは互いに摺動可能であるが、支持軸は垂直方向には移動されないので、ピストンおよびシリンダ室の内壁を押圧する力は、実質的に昇降部材に作用する。ピストンで区画されたシリンダ室のうち、エアを送り込む室を適宜選択することによって、昇降部材を重力に抗して押し上げる方向に力を作用させることができる。このように、昇降部材に押上げる力を作用させ、その重量に見合う押上力で押し上げると、昇降部材を昇降させる駆動機構には昇降部材の重量がかからないこととなる。例えば、支持軸に一対のローラとローラを回転させる回転駆動手段とを設けてローラを支持軸に対して回転させることで昇降部材を駆動する機構では、昇降部材の重量はローラにかからないこととなる。よって、ローラで支持軸を相挟み込んで、ローラと支持軸の摩擦力で昇降部材を上下に移動させる際に、ローラに昇降部材の重量による負荷がかからないので、ローラの駆動力で昇降部材の移動を精密に制御することができる。さらに、ローラの駆動力で昇降部材の重量を支える必要はないので、ローラの駆動力は小さい力でよく、動力の小さな回転駆動手段を用いることができるので、低コスト化に繋がる。
【0020】
請求項5に記載の昇降部材支持機構は、請求項1から請求項4のいずれかに記載の昇降部材支持機構において、前記ガイド手段は、前記昇降部材を取り囲んで垂直方向にガイドするガイド筒と、前記ガイド筒と前記昇降部材との間に設けられたエアベアリング機構とを備えていることを特徴とする。
【0021】
このような構成によれば、ガイド手段のガイド筒によって、昇降部材は垂直方向にガイドされるので、昇降部材の移動の垂直性が確保される。ガイド筒と昇降部材との間にはエアベアリング機構が設けられているので、ガイド筒と昇降部材との間の摩擦を低減することができ、昇降部材をなめらかに、且つ、軽い力で移動させることができる。
【0022】
請求項6に記載の測定機は、請求項1から請求項5のいずれかに記載の昇降部材支持機構を用いて、測定対象物の位置および/または座標を測定するための測定子を移動させる移動機構を構成していることを特徴とする。
【0023】
このような構成によれば、請求項1〜5に記載の発明の効果を利用した測定機を構成することができるので、測定子の移動の垂直性を確保できる測定機とすることができる。その結果、この測定機を用いた測定の測定精度を向上させることができる。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にかかる昇降部材支持機構およびこれを用いた測定機の実施の形態を図示例と共に説明する。
図1は、本発明にかかる昇降部材支持機構を測定機としての三次元測定機1に用いた一実施形態である。
この三次元測定機1は、測定対象物を載置するベース2と、測定子13を移動させる移動機構を備えて構成されており、この移動機構として、測定子13をY方向へ移動させるY方向駆動機構3と、測定子13をX方向へ移動させるX方向駆動機構7と、測定子13をZ方向へ移動させるZ方向駆動機構11を備えている。
【0025】
ベース2は測定対象物を載置するために精密平坦加工された上面を備える四角柱状である。説明のために、ベース2の上面で互いに直交する二方向をそれぞれX方向、Y方向とし、ベース2の上面に垂直な方向をZ方向とする。
Y方向駆動機構3は、ベース2上でY方向に設けられたYガイドレール4と、このYガイドレール4に沿って移動可能に設けられたYスライダ5Lと、Yスライダ5Lと対になってベース2上をY方向へ移動するYスライダ6Rとを備えて構成されている。
なお、Yガイドレール4とYスライダ5L、ベース2とYスライダ6Rとの間にはエアベアリングが設けられているが、説明を省略する。
【0026】
X方向駆動機構7は、Yスライダ5LとYスライダ6Rに両端を支持された長手状のガイド部材であるXビーム8と、Xビーム8の長手方向に沿って移動可能に設けられた可動部材であるXスライダ9と、Xスライダ9を移動させるXスライダ駆動手段10とを備えて構成されている。
Xビーム8は、長柱状であり、両端がYスライダ5LとYスライダ6Rの上に支持され、Y方向スライド機構3がY方向にスライドされると、Xビーム8もY方向に移動される。
Xスライダ9は、Xビーム8に沿ってスライド可能に設けられている。Xスライダ9とXビーム8との間にはエアベアリングが設けられているが詳細は省略する。
【0027】
Z方向駆動機構11は、図2に示されるように、昇降部材としてのZ軸スピンドル12と、このZ軸スピンドル12を垂直方向にガイドするガイド手段としてのガイド筒22と、上端を揺動支持され下端にピストン29を有しZ軸スピンドル12の重心近傍を通るようにZ軸スピンドル12に挿通された支持軸28と、前記Z軸スピンドル12と支持軸28との間に設けられた摩擦駆動手段14と、これらをハウジングするハウジング部32とを備えて構成されている。
【0028】
Z軸スピンドル12は、長角柱状に形成され、ガイド筒22によって垂直方向にガイドされている。Z軸スピンドル12の下端には測定対象物に接触し、測定対象物の位置および/または座標を測定するための測定子13が設けられている。Z軸スピンドル12の上端にはこのZ軸スピンドル12を上下方向に駆動させるための摩擦駆動手段14が設けられている。
【0029】
この摩擦駆動手段14は、支持軸28を相挟み込む一対のローラである駆動ローラ15および従動ローラ16と、駆動ローラ15を駆動させるモータ17とを備えて構成されている。駆動ローラ15と従動ローラ16は所定の押圧力で支持軸28を挟み込み、両ローラ15、16と支持軸28との間で生じる摩擦力で両ローラ15、16が支持軸28に対して空転しない構成となっている。
駆動ローラ15とモータ17にはそれぞれ図示しないプーリが設けられ、これらのプーリに掛け渡されたベルト18を介してモータ17の動力が駆動ローラ15に伝達される。
【0030】
Z軸スピンドル12の内部には、バランス機構としてのエアバランス機構19が設けられている。このエアバランス機構19は、Z軸スピンドル12に設けられたシリンダ室20と、支持軸28のピストン29とから構成され、シリンダ室20の一室201にエア供給されるようになっている。
Z軸スピンドル12の重心を通るようにZ軸スピンドル12の軸に沿ってシリンダ室20が設けられている。このシリンダ室20には支持軸28の下端に設けられたピストン29が摺動可能に挿通されている。ピストン29に区画されたシリンダ室20のうち、支持軸側の室201には、この室201にエアを供給する噴気孔21が設けられている。エアは、シリンダ室20の支持軸側の室201の内圧によってZ軸スピンドル12の重量に見合う押上力を発生させる程度の圧力でもって供給される。
【0031】
ガイド筒22は、筒孔を垂直方向に向けた状態でXスライダ9に設けられ、Z軸スピンドル12がこのガイド筒22に上下方向に昇降可能に挿通されている。
ガイド筒22とZ軸スピンドル12との間にはエアベアリング23が設けられている。エアベアリング23は、エアパッド24がガイド筒22の筒孔に設けられ、このエアパッド24からZ軸スピンドル12の摺動面にエアが噴気されることによって形成されている。
【0032】
支持軸28は、ガイド筒22に立設された支柱25に上端を支持されている。支柱25は、ガイド筒22から少なくともZ軸スピンドル12の移動量以上の高さを有する位置に横梁26を有し、この横梁26とZ軸スピンドル12の移動軸の交点に孔が設けられている。この孔には支持軸28が挿通され、この支持軸28の上端には、支柱25に対して支持軸28を揺動可能に支持する支持軸逃げ機構42が設けられている。また、支持軸28の下端には前述したようにピストン29が設けられ、Z軸スピンドル12のシリンダ室20に挿通されている。
【0033】
支持軸逃げ機構42は、図3(A)に示されるように、横梁26に固定された空気軸受手段としてのエアパッド39と、このエアパッド39に当接されるスライドパッド36と、スライドパッド36と支持軸28との間に設けられた自動調心玉軸受41とを備える。
エアパッド39は、横梁26に固定されたリング状の支持部材としての軸受部材37を備え、この軸受部材37には、スライドパッド36と当接される面に複数のエア孔43が軸受部材37の周囲に略等間隔に形成されている。これらのエア孔43は、軸受部材37の内部において環状に合流し、外部のエア配管38に接続されており、このエア配管38より圧搾空気を供給することにより、軸受部材37とスライドパッド36との間にエア膜が形成されている。
スライドパッド36は、軸受部材37の上方に設けられたリング状部材で、支持軸28に直交し、軸受部材37に当接される面がスライド可能なスライド面40となっている。また、スライドパッド36の内周には、自動調心玉軸受41の外周が嵌合されている。
自動調心玉軸受41は、リング状の外輪がスライドパッド36に嵌合され、内輪が支持軸28に固定され、これら外輪と内輪との間に複数の玉が設けられているものである。外輪の軌道が球面に形成されており、その曲率中心が支持軸28の中心と一致しているため、内輪および玉が自動調心玉軸受41の中心の周りを自由に回転でき、調心性を有する。
【0034】
ハウジング部32は、ガイド筒22から支柱25を覆うようにXスライダ9に設けられている。
【0035】
このような構成からなる三次元測定機1において、測定対象物の位置および/または座標を測定する際には、ベース2上に測定対象物を載置し、Y方向駆動機構3、X方向駆動機構7を駆動させて測定子13を移動させ、測定対象物に測定子13を接触させる。このときの測定子13の位置を記録することによって、測定対象物の位置および/または座標を測定することができる。
【0036】
Z方向駆動機構11を駆動させるときは、モータ17を回転駆動させて駆動ローラ15を回転させる。すると、支持軸28を駆動ローラ15と従動ローラ16で挟み込みこんでいるので、この両ローラ15,16と支持軸28との間の摩擦力で駆動ローラ15と従動ローラ16が支持軸28に沿って移動される。駆動ローラ15と従動ローラ16が移動されると、この両ローラ15,16とともにZ軸スピンドル12がガイド筒22にガイドされつつ上下方向に昇降され、測定子13が移動される。
【0037】
ガイド筒22のガイド方向と、支持軸28の方向とがずれている場合には、図3(B)に示されるように、Z軸スピンドル12が移動する際に支持軸28に直交する方向に力Pmがかかる。スライド面40に形成されたエア膜は、低摩擦係数を有するので、スライドパッド36は力Pmを受けて支持軸28とともにスライド面40においてスライドし、これにより、支持軸28にかかる力Pmを低減する。
また、この時、支持軸28が水平方向に移動したことによって、支持軸28は垂直方向に対して角度を有することとなる。この場合には、自動調心玉軸受41の外輪および内輪が玉を介して相対的に傾くことで、支持軸28とZ軸スピンドル12との方向を略一致させ、支持軸28に生じた角度変動を吸収する。
【0038】
従って本実施形態によれば次の効果がある。
本実施形態では、支持軸28の上端に、スライドパッド36およびエアパッド39によってスライド面40にエア膜を形成し、このエア膜を介してスライドパッド36をスライドさせることによって支持軸28のずれを除去する。エア膜は低摩擦係数を有し、従来のスラスト玉軸受のようなボールの転がり抵抗がないので、支持軸28にかかる力Pmをほぼ除去することができ、Z軸スピンドル12の移動精度を向上することができる。また、スライドパッド36およびエアパッド39は間にボールを有しないので、スライドパッド36が繰り返しスライドした場合でも、ボールが支持軸28に当たってしまうというような不都合がない。
【0039】
スライドパッド36および支持軸28の間に自動調心玉軸受41を設けたので、支持軸28がスライドパッド36によってスライドしたことで生じる垂直方向に対しての角度変動を吸収することができ、Z軸スピンドル12の移動精度をより一層向上することができる。
【0040】
Z軸スピンドル12を移動させる力は両ローラ15、16と支持軸28との間で生じる。支持軸28はZ軸スピンドル12の重心位置を通るシリンダ室20に挿通されているので、Z軸スピンドル12を移動させる力の作用も同様に、Z軸スピンドル12の重心位置近傍を通る軸線にそって作用する。
従来、Z軸スピンドル12に働く力は、Z軸スピンドル12の外側面に作用していたため、Z軸スピンドル12の重心位置に対しては、ガイド筒22のガイド方向と略平行に作用していなかった。そのため、Z軸スピンドル12にはガイド方向と交差する力が働き、Z軸スピンドル12の移動の垂直性に影響が生じるおそれがあった。
しかしながら、本実施形態によれば、Z軸スピンドル12に働く力は、Z軸スピンドル12の重心を通る移動軸に沿って作用するので、Z軸スピンドル12はガイド筒22に沿って垂直に上下移動され、移動の垂直性が確保される。その結果、測定子13の移動の垂直性も確保されるので、三次元測定機1の測定精度が向上される。
【0041】
Z軸スピンドル12に設けられたシリンダ室20のピストン29で区画された支持軸側の室201には、エアが供給され、このエアはZ軸スピンドル12の重量に見合う押上力を発生するので、両ローラ15,16にはZ軸スピンドル12の重量がほとんどかからない。よって、両ローラ15,16にZ軸スピンドル12の重量がかからないのでZ軸スピンドル12の移動を精密に制御することができる。また、両ローラ15,16の駆動力でZ軸スピンドル12の重量を支えなくてもよいので、両ローラ15,16の駆動力は小さくてよい。つまり、駆動ローラ15と従動ローラ16が支持軸28を挟みこむ力は、支持軸28と両ローラ15,16との間に摩擦力を発生できる程度でよく、また、駆動力の小さなモータ17を使用することができるので、低コスト化に繋がる。
【0042】
ガイド筒22とZ軸スピンドル12の間にはエアベアリング23が設けられているので、ガイド筒22とZ軸スピンドル12との間の摩擦を低減することができ、Z軸スピンドル12をなめらかに、かつ、軽い力で移動させることができる。よって、Z軸スピンドル12の移動を精密に制御でき、三次元測定機1の測定精度を向上させることができる。
【0043】
支持軸28はその上端で揺動支持されているので、ガイド筒22にガイドされたZ軸スピンドル12の移動に従って、支持軸28はその方向を柔軟に変えることができる。よって、支持軸28はZ軸スピンドル12の移動の垂直性に影響を与えず、Z軸スピンドル12の移動の垂直性が確保される。その結果、測定子13の移動の垂直性が確保されるので、三次元測定機1の測定精度が向上される。
【0044】
また、従来は、Z軸スピンドル12を駆動させるために、ボールねじのボールねじ軸等を備える必要があったので、そのためのスペースが必要であったが、本実施形態においては、支持軸28を両ローラ15、16で挟むだけなので、Z方向駆動機構11を小型化することができ、三次元測定機1を小型化することができる。さらには、Z方向駆動機構11が小型化されることによって、X方向駆動機構7およびY方向駆動機構3の必要強度も小さくできることから、三次元測定機1を小型化、低コスト化することができる。
【0045】
尚、本発明の昇降部材支持機構は、上記実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
例えば、本実施形態において、支持軸28を挟み込むローラは、駆動ローラ15と従動ローラ16の二つであるが、ローラは三つ以上設けられていてもよいことはもちろんである。また、モータ17で駆動されるローラは一つではなく二つ以上でもよい。
本実施形態におけるエアバランス機構19では、Z軸スピンドル12にシリンダ室20が設けられ、支持軸28にピストン29が設けられているが、Z軸スピンドル12にピストン29が設けられ、支持軸28にシリンダ室20が設けられていてもよい。
【0046】
本実施形態においては、スライドパッド36は自動調心玉軸受41を介して支持軸28に固定されていたが、自動調心玉軸受41は角度変動を吸収するものであり、必ずしも設けなくても本発明の目的を達成できる。
【0047】
摩擦駆動手段14は、支持軸28に接続されて、支持軸28とローラ15,16との摩擦によって駆動されていたが、これに限らず、図4に示されるようにZ軸スピンドル12に平行にボールねじ軸221を設け、このボールねじ軸221に沿ってZ軸スピンドル12が昇降するように構成してもよい。
【0048】
本実施形態においては、Z軸スピンドル12の重量に見合う押上力を発生させるバランス機構として、エアバランス機構19が採用されていたが、これに限らず、油圧など、その他の方法によって押上力を発生させてもよい。
【0049】
本実施形態においては、昇降部材支持機構を三次元測定機1に適用した例を示したが、本発明の昇降部材支持機構は三次元測定機1に限られず、種々の用途が考えられる。たとえば、一次元測定機(ハイトゲージ)や二次元測定機(表面粗さ測定機)はもちろん、精密加工を行う各種工作機械等にも適用できる。
【0050】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明の昇降部材支持機構によれば、昇降部材の移動精度を向上できる昇降部材支持機構を提供するとともに、測定精度が向上される測定機を提供することができるという優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態にかかる昇降部材支持機構を用いた三次元測定機を示す図である。
【図2】前記実施形態において、Z方向駆動機構の断面図である。
【図3】前記実施形態において、昇降部材支持機構の拡大図である。
【図4】従来におけるZ方向駆動機構を示す図である。
【図5】従来における支持軸の支持機構を示す拡大図である。
【符号の説明】
1 三次元測定機(測定機)
11 Z方向駆動機構
12 Z軸スピンドル(昇降部材)
13 測定子
19 エアバランス機構(バランス機構)
20 シリンダ室
22 ガイド筒(ガイド手段)
28 支持軸
29 ピストン
36 スライドパッド
39 エアパッド(空気軸受手段)
40 スライド面
41 自動調心玉軸受(調心機構)
42 支持軸逃げ機構
201 支持軸側の室
Claims (6)
- ガイド手段によってガイドされた昇降部材を支持する昇降部材支持機構であって、
前記昇降部材の重心位置近傍で、かつ、前記ガイド手段によるガイド方向に略平行に配置された支持軸と、
この支持軸の下端と前記昇降部材との間に形成され、支持軸方向への昇降部材の昇降を許容しつつ、前記昇降部材の重量に見合う押上力を発生するバランス機構と、
前記支持軸の上端側に固定され、下端面に前記支持軸に直交するスライド面を有するスライドパッドと、
このスライドパッドのスライド面と対向する位置に設けられた支持部材と、
前記スライドパッドの前記スライド面と前記支持部材との間にエア膜を形成する空気軸受手段とを備え、
前記支持軸と前記スライドパッドとの間には、前記支持軸が揺動した際に生じる垂直方向に対する角度変動を吸収する調心機構が設けられている
ことを特徴とする昇降部材支持機構。 - ガイド手段によってガイドされた昇降部材を支持する昇降部材支持機構であって、
前記昇降部材の重心位置近傍で、かつ、前記ガイド手段によるガイド方向に略平行に配置された支持軸と、
この支持軸の下端と前記昇降部材との間に形成され、支持軸方向への昇降部材の昇降を許容しつつ、前記昇降部材の重量に見合う押上力を発生するバランス機構と、
前記支持軸の上端側に固定され、下端面に前記支持軸に直交するスライド面を有するスライドパッドと、
このスライドパッドのスライド面と対向する位置に設けられた支持部材と、
前記スライドパッドの前記スライド面と前記支持部材との間にエア膜を形成する空気軸受手段と、
前記昇降部材に設けられ前記支持軸を相挟み込む少なくとも一対のローラと、
前記ローラの少なくとも一つを回転させる回転駆動手段とを備えている
ことを特徴とする昇降部材支持機構。 - 請求項2に記載の昇降部材支持機構において、
前記支持軸と前記スライドパッドとの間には、前記支持軸が揺動した際に生じる垂直方向に対する角度変動を吸収する調心機構が設けられている
ことを特徴とする昇降部材支持機構。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の昇降部材支持機構において、
前記バランス機構は、エアによって前記押上力を発生させるエアバランス機構であり、
前記エアバランス機構は、前記支持軸および前記昇降部材のいずれか一方に設けられたピストンと、
前記支持軸および前記昇降部材のいずれか他方に設けられ、かつ、内部に前記ピストンを収納して、そのピストンに対して上下方向へ相対往復運動可能なシリンダ室とを備え、
前記シリンダ室の前記ピストンで区画された室にエアを送り込むことにより、前記昇降部材の重量に見合う押上力を発生する
ことを特徴とする昇降部材支持機構。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の昇降部材支持機構において、
前記ガイド手段は、前記昇降部材を取り囲んで垂直方向にガイドするガイド筒と、
前記ガイド筒と前記昇降部材との間に設けられたエアベアリング機構とを備えている
ことを特徴とする昇降部材支持機構。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の昇降部材支持機構を用いて、測定対象物の位置および/または座標を測定するための測定子を移動させる移動機構を構成している
ことを特徴とする測定機。
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