JP3908475B2 - 結晶性珪素膜の作製方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本明細書で開示する発明は、ガラス基板等の絶縁表面を有する基板上に形成される結晶性を有する珪素半導体薄膜の作製方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、ガラス基板上に形成された珪素薄膜を用いて薄膜トランジスタを構成する技術が注目されている。この薄膜トランジスタは、主にアクティブマトリクス型の液晶電気光学装置や、その他の薄膜集積回路に利用されている。液晶電気光学装置は一対のガラス基板間に液晶を封入して、液晶に電界を加えることによって、液晶の光学特性を変化させて、画像表示を行わせるものである。
【0003】
特に、薄膜トランジスタが用いられるアクティブマトリクス型の液晶表示装置は、各画素にスイッチとして薄膜トランジスタを配置して、画素電極に保持される電荷を制御することを特徴とする。アクティブマトリクス型の液晶表示装置は、微細な画像を高速で表示できるため、各種電子機器(例えば携帯型のワードプロセッサーや携帯型のコンピュータ)のディスプレーに利用されている。
【0004】
アクティブマトリクス型の液晶表示装置に利用される薄膜トランジスタとしては、非晶質珪素薄膜(アモルファスシリコン薄膜)を利用したものが一般的である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、非晶質珪素薄膜を用いた薄膜トランジスタでは、
(1)特性が低く、より高品質な画像表示を行うことができない。
(2)また、画素に配置された薄膜トランジスタを駆動するための周辺回路を構成することができない。
といった問題がある。
【0006】
上記の問題点(2)は、非晶質珪素薄膜を用いた薄膜トランジスタではPチャネル型の薄膜トランジスタが実用にならないので、CMOS回路が構成できないという問題と、非晶質珪素薄膜を用いた薄膜トランジスタでは高速動作ができず、また大電流を流すことができないので、周辺駆動回路を構成することができないという問題とに分けて考えることができる。
【0007】
これらの問題を解決する方法としては、結晶性珪素薄膜を用いて薄膜トランジスタを形成する技術を挙げることができる。結晶性珪素薄膜を得る方法としては、非晶質珪素膜に対して加熱処理を加える方法と、非晶質珪素膜に対してレーザー光を照射する方法とを挙げることができる。
【0008】
加熱処理により非晶質珪素膜を結晶化させる方法は、一般的に以下のような問題がある。普通、液晶電気光学装置に利用される薄膜トランジスタを構成しようとするには、透光性を有する基板上に形成することが要求される。透光性を有する基板としては、石英基板やガラス基板を挙げることができる。しかし、石英基板は高価であり、コストの削減が大きな技術的課題である液晶電気光学装置に利用することはできない。従って、一般的にはガラス基板が利用されることになるが、ガラス基板はその耐熱温度が低いという問題がある。
【0009】
非晶質珪素膜を加熱により結晶化させるには、600℃以上の温度が必要とされることが実験的に判明しており、またその加熱時間も数十時間が必要なことが判明している。このような高温でしかも長時間の加熱は、大面積のガラス基板に対して到底行うことができない。
【0010】
また、レーザー光の照射によって、非晶質珪素膜を結晶化させる技術も知られている。しかし、大面積に渡ってレーザー光を一様に照射することや、一定の照射パワーを維持して照射することは現実問題として困難である。
【0011】
本明細書で開示する発明の目的は、上述の問題点を解消して、金属元素を触媒作用を利用し、かつ特性の優れた結晶性珪素膜を作製する半導体薄膜の作製方法を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上述の問題点を解消するために、本発明に係る半導体薄膜の作製方法は、
非晶質珪素膜中に金属元素を導入する工程と、
前記非晶質珪素膜を結晶化させて結晶性珪素膜を得る工程と、
前記結晶性珪素膜上に不純物を含有する非晶質珪素膜を形成する工程と、
不純物を含有する非晶質珪素膜中に前記金属元素を拡散させる工程と、
前記不純物を含有する非晶質珪素膜を除去する工程と、
を有する。
【0013】
上記構成において、結晶化される非晶質珪素膜は、ガラス基板または絶縁膜が形成されたガラス基板上にプラズマCVD法や減圧熱CVD法で形成された膜を挙げることができる。
【0014】
また、金属元素としては、Fe、Co、Ni、Ru、Rh、Pd、Os、Ir、Pt、Cu、Auから選ばれた一種、又は複数種類の元素を挙げることができる。これらの金属元素は珪素の結晶化を助長する触媒作用を有し、これら金属元素の中で特に効果があるのがニッケル(Ni)である。
【0015】
上記の金属元素の導入方法としては、非晶質珪素膜の表面にこれら金属の層、又は金属を含む層を形成する方法を挙げることができる。具体的には、CVD法やスパッタ法さらには蒸着法等によって、金属元素の層又は金属元素を含む層を形成する方法や、金属元素を含んだ溶液を非晶質珪素膜上に塗布する方法を挙げることができる。
【0016】
しかし、CVD法やスパッタ法さらには蒸着法等を用いた場合には、極薄い均一な膜を成膜することが困難であることから、金属元素が非晶質珪素膜上の不均一に存在することになってしまい、結晶成長の際に金属元素が偏在し易いという問題がある。他方、溶液を用いる方法は、金属元素の濃度を容易に制御することができ、かつ、金属元素を均一に非晶質珪素膜の表面に接して保持させることができるので、非常に好ましい。
【0017】
珪素の結晶化を助長する金属元素が導入された非晶質珪素膜を結晶化させるには、450℃以上の温度で加熱を行えばよい。この加熱温度の上限は、通常、使用する基板の耐熱温度で制限される。ガラス基板の場合には、この耐熱温度はガラスの歪点と考えることができる。例えば、コーニング1737ガラス基板は歪点が667℃であるため、加熱温度を620℃程度とすることが、ガラス基板の耐熱性や生産性の観点から見て適当である。
【0018】
また基板として石英基板等の1000℃以上の温度にも耐えるような材料を用いた場合には、この加熱における加熱温度もその耐熱温度に従って高くすることができる。また、加熱温度が高い程、結晶性の優れた膜を得ることができる。
【0019】
上記の構成において、不純物を含有する非晶質珪素膜は金属元素を拡散させるための膜として機能するものであり、一般的なCVD法で形成される非晶質珪素膜を挙げることができる。例えば加熱により結晶化された結晶性珪素膜の出発膜となった非晶質珪素膜と同じ成膜方法で得られる非晶質珪素膜を用いることができる。
【0020】
また、非晶質珪素膜に含有されている不純物は、酸素、炭素、窒素のから選ばれた少なくとも1種類以上の元素とする。例えば、非晶質珪素膜中において、不純物の濃度は、酸素であれば1×1019〜1×1021原子cm-3となるように、炭素又は窒素であれば、その濃度は1×1017〜1×1020原子cm-3とすれぱよい。
【0021】
非晶質珪素膜は非晶質という膜質のため多くの欠陥や不対結合を有するので、それ自身にニッケルのような金属元素をゲッタリングする効果を有するが、本発明では、不純物を含有させることにより、非晶質珪素膜が金属元素をゲッタリングする要素をより多く有するようにする。このような要素として、不純物やSiと不純物との結合等による欠陥や、珪素結合間の不純物等が挙げられる。
【0022】
前記不純物の濃度を、結晶性珪素膜中の金属元素の濃度よりも高くすることは、より多くの金属元素を非晶質珪素膜中に捕獲させるために効果的である。更に、非晶質珪素膜はその膜厚を結晶性珪素膜の膜厚よりも厚くすることも効果的である。これは、非晶質珪素膜の膜厚が厚いほど、結晶性珪素膜に対する体積比を大きくすることができるためである。また、非晶質珪素膜中に酸素等の不純物を高濃度に含有させることにより、加熱により非晶質珪素膜が結晶化するのを抑制する効果も呈する。
【0023】
また、金属元素を拡散させるための膜として、上記のような不純物を含有する非晶質状態のSiX Ge1-X 膜(0<x<1)を使用することもできる。非晶質状態のSiX Ge1-X を得るには、例えば、原料ガスにシラン(SiH4 )とゲルマン(GeH4 )を使用して、プラズマCVD法により形成すればよい。
【0024】
不純物を含有する非晶質珪素膜中に金属元素を拡散させる(吸い取らせる)工程は、加熱処理により行う。加熱に伴って、不純物元素を含有する非晶質膜中に金属元素が拡散される。こうすることで、事実上、非晶質珪素膜によって結晶性珪素膜中の金属元素の吸い出しを行うことができるため、金属元素の濃度が低く、かつ結晶性の良好な結晶性珪素膜を得ることができる。
【0025】
例えば、不純物を含有する非晶質珪素膜と結晶性珪素膜とがほぼ同一の膜厚であれば、結晶性珪素膜中の金属元素の濃度は加熱により、平均的には1/2以下とすることができる。
【0026】
非晶質珪素膜を除去するには、ウェットエッチング法、又はドライエッチング法を採用すればよい。本発明では、非晶質珪素膜は不純物を含有しているので、結晶化されにくので、金属元素を拡散させるための加熱処理をほどこしても、非晶質珪素膜を非晶質状態のままとすることができる、或いは完全に結晶化されることがない。このため、加熱処理を経ても、この非晶質珪素膜は容易にエッチングすることができ、また、膜質(結晶構造)は結晶性珪素膜と隔たらせることができるため、非晶質珪素膜を容易に選択的に除去することが可能である。
【0027】
従って、金属元素を拡散させた珪素膜(不純物を含有させた非晶質珪素膜)のみを除去するためには、金属元素を拡散させる(吸い取らせる)工程において、加熱温度は金属元素が拡散し得る温度で、かつ非晶質珪素膜が結晶化しない温度とすることが重要である。この条件を満たした上で、550℃〜1050℃の温度で加熱処理する。
【0028】
また、結晶化させる非晶質珪素膜上に、予め酸化珪素膜、窒化珪素膜、酸化窒化珪素膜等の保護膜を形成しておくと、エッチングストッパーとして機能させることができ、金属元素を拡散させた非晶質珪素膜を容易に選択的にエッチングすることができる。
【0029】
更に、金属元素を拡散させる加熱工程において、その雰囲気にハロゲン元素が含有されるようにすると、更に、ゲッタリングの効果が向上する。
【0030】
ハロゲン元素の導入方法として、HCl、HF、HBr、Cl2 、F2 、Br2 から選ばれた一種または複数種類のガスを用いることができる。一般にハロゲンの水素化物を用いることができる。
【0031】
ハロゲン元素を含有する雰囲気中で加熱することにより、ハロゲンとニッケルが反応して、気化しやすい金属元素のハロゲン化物を形成するため、結晶性珪素膜からニッケルを除去する作用がより促進される。また、結晶性珪素膜においても、金属元素のハロゲン化物が形成されることによって、金属元素を電気的に不活性な状態にすることができる。ハロゲン元素を導入することにより、加熱処理においてハロゲン元素を導入しない場合と比較して、金属元素の濃度を最大で1/10以下とすることができる。
【0032】
【発明の実施の形態】
図1を用いて、本発明の実施の形態を具体例に説明する。
珪素の結晶化を助長する金属元素であるニッケルを用いて結晶性珪素膜105をガラス基板101上に形成する。結晶化の方法は加熱処理を利用する。なお、ガラス基板101の表面には、下地膜として酸化珪素膜102が形成されている。(図1(B))
【0033】
次に図1(C)に示すように、金属元素を拡散させる膜として、例えば酸素を含有する非晶質珪素膜107を成膜して、加熱処理する。この加熱処理は非晶質珪素膜が結晶化しないような温度とし、その加熱時間は5分〜10時間程度とすればよい。これにより、非晶質珪素膜107中に徐々に結晶性珪素膜105中の金属元素が拡散して(吸い取られて)いく状態となる。従って、長い時間に渡って加熱処理を行うと、徐々にではあるが、結晶性珪素膜105中の金属元素の濃度を下げることができる。
【0034】
この作用は非晶質珪素膜107が不純物として酸素を含有しているため、金属元素と結合しやすい状態で珪素の原子が存在している(不対結合手が多量に存在している)からである。
【0035】
そして、非晶質珪素膜107を除去することにより、非晶質珪素膜107中の金属元素の濃度に比較して、結晶性珪素膜105中の金属元素の濃度を小さな結晶性珪素膜108を得ることができる。(図1(D)
【0036】
この、図1に示す結晶性半導体薄膜の作製工程はガラス基板の耐え得る温度で行うことができるので、例えば液晶電気光学装置のように、ガラス基板上に形成される薄膜トランジスタの作製工程に極めて有用なものとなる。
【0037】
【実施例】
〔実施例1〕
本実施例は、ガラス基板上に非晶質珪素膜を形成し、しかる後に珪素の結晶化を助長する金属膜を非晶質珪素膜に導入し、しかる後に加熱により非晶質珪素膜を結晶化させ、さらに結晶化した珪素膜(結晶性珪素膜)上に、非晶質珪素膜を形成し、再び加熱処理を施すことにより、非晶質珪素膜中に結晶性珪素膜中からニッケル元素を拡散させ(ニッケル元素を非晶質珪素膜に吸い出させる)、結果として結晶性珪素膜中におけるニッケル元素濃度を低下させる技術に関する。
【0038】
図1に本実施例に示す結晶性珪素膜の作製工程を示す。まず、コーニング1737ガラス基板101(歪点667℃)上に、下地膜102を形成する。この下地膜102は、ガラス基板101から不純物や、アルカリイオンが後に形成される半導体薄膜中に拡散することを防ぐためのものである。
【0039】
従って、この機能を最大限に得るためには、下地膜102としては窒化珪素膜が最適であるが、窒化珪素膜は応力の関係で、ガラス基板101から剥離するおそれがあるため、実用的ではない。また、酸化珪素膜を下地膜102として用いることができるが、酸化珪素膜は不純物に対するバリア効果が不十分である。これらのことから、本実施例では、下地膜102として、酸化窒化珪素膜を成膜する。下地膜102として酸化窒化珪素膜を成膜するには、プラズマCVD法を採用すればよい。原料ガスとして、シラン、O2 ガス、N2 Oガスを使用する。或いは、TEOSガス、N2 Oガスを使用する。
【0040】
また、下地膜102の硬度を可能な限り高くすることは重要である。これは、最終的に得られた薄膜トランジスタの耐久試験によると、下地膜102が硬いほど、即ち、エッチングレートが小さいほど、信頼性が優れていることが判明しており、このことは下地膜102の硬度が、ガラス基板101からの不純物の侵入の防止に寄与することを示唆している。
【0041】
次にプラズマCVD法または減圧熱CVD法によって、非晶質珪素膜103を600Åの厚さに成膜する。この非晶質珪素膜103は後に結晶化されるものである。なお、減圧熱CVD法を採用するのは、得られる結晶性珪素膜の膜質が優れているためである。他の成膜方法として、プラズマCVD法を採用することもできる。なお、成膜時には、非晶質珪素膜103中に不純物が混入しないようにすることが重要になる。
【0042】
また、非晶質珪素膜103の膜厚は2000Å以下とすることが好ましい。膜厚が2000Å以上となると、珪素膜中の金属元素を除去することが困難になるからである。さらに、非晶質珪素膜103の膜厚の下限は成膜法に依存し、いかに薄い膜を形成することができるかによる。従って、膜厚の下限は一般に100Å程度であり、実用的には200Å程度である。
【0043】
非晶質珪素膜107を成膜した後に、所定のニッケル濃度に調整したニッケル酢酸塩溶液を非晶質珪素膜103上に滴下して、水膜104を形成する。そしてスピナー100を用いてスピンコートを行い、ニッケル元素が非晶質珪素膜103の表面に接して保持された状態とする。(図1(A))
【0044】
なお、後の加熱工程における不純物の残留を考慮すると、酢酸ニッケル塩溶液を用いる代わりに硝酸ニッケルを用いることが好ましい。これは、酢酸ニッケル塩溶液は炭素を含んでおり、これが後の加熱工程において炭化して膜中に残留することが懸念されるからである。
【0045】
次に、450℃〜650℃温度で加熱処理を行い、非晶質珪素膜103を結晶化させて、結晶性珪素膜105を得る。本実施例では、水素を3%含有する窒素雰囲気中で、620℃、4時間加熱処理する。(図1(B))
【0046】
加熱処理温度の下限は、その効果および再現性から見て450℃以上とすることが好ましい。またその上限は、使用するガラス基板の歪点以下とすることが好ましい。ここでは、歪点が667℃のコーニング1737ガラス基板を用いているので、多少の余裕をみてその上限は650℃とする。
【0047】
例えば、基板として石英基板を用いれば、さらに900℃程度まで加熱温度を高くすることが可能である。この場合、より高い結晶性を有する結晶性珪素膜を得ることができる。またより短時間で結晶性珪素膜を得ることができる。
【0048】
また、結晶性珪素膜105中におけるニッケル濃度は1×1016原子cm-3〜5×1019原子cm-3とする必要がある。このため、得られた結晶性珪素膜105中におけるニッケル濃度が可能な限り上記範囲となるように、図1(A)の工程において、ニッケル酢酸塩溶液中のニッケル濃度を調整する必要がある。なお、ニッケル濃度はSIMS(2次イオン分析方法)を用いて計測した値の最小値として定義される。
【0049】
結晶性珪素膜105が得られたら、プラズマCVD法又は減圧熱CVD法により、不純物として酸素を含有する非晶質珪素膜107を600Åの厚さに形成する。この結果、非晶質珪素膜107は非晶質という膜質のために有する欠陥等の他に、不純物として酸素を含有することによって、酸素、SiOX で示されるような酸化物による欠陥や、珪素結合間の酸素等を有するため、ニッケルをゲッタリングし易い膜質となっている。
【0050】
非晶質珪素膜107を成膜した状態でSIMSにより、ニッケル元素の濃度分布を測定した結果を図8に示す。図8に示すように、ニッケル元素の濃度は結晶性珪素膜105においては、最大で5×1018原子cm-3程度であり、非晶質珪素膜107においては、測定限界(1×1017原子cm-3)以下であった。
【0051】
本実施例では非晶質珪素膜107中により多くのニッケル元素を捕獲させるために、上記の結晶性珪素膜105中のニッケル元素の濃度を考慮して、非晶質珪素膜107中の酸素の濃度が1×1019〜1×1021原子cm-3となるようにする。また、このように、非晶質珪素膜107中に酸素を高濃度に含有させるのは、後のゲッタリング工程において、加熱により非晶質珪素膜が結晶化するのを抑制するためでもある。
【0052】
非晶質珪素膜107を成膜した後に、加熱処理を施す。この結果、結晶性珪素膜105中のニッケル元素が非晶質珪素膜107中に拡散して、結晶性珪素膜105中のニッケル元素の濃度を低くすることができる。
【0053】
これは、非晶質珪素膜107にはニッケルをゲッタリングする要素として、非晶質という膜質のために有する欠陥等や、酸素、SiOX で示されるような酸化物による欠陥等が多量に存在するためである。
【0054】
加熱温度が高いほど、上記のようなゲッタリングの効果を得ることができるが、加熱温度の下限はニッケルが拡散し得る温度で定義され、加熱温度の上限は非晶質珪素膜107が結晶化しない温度で、かつ基板の歪み点以下で定義される。実際の工程では、上記の条件を満たした上で、550℃〜1050℃で加熱処理を行えばよい。本実施例では、600℃、4時間の加熱処理する。
【0055】
ただし、非晶質珪素は450℃程度の温度で結晶化してしまうが、本実施例では、非晶質珪素膜107には、1019〜1021原子cm-3のように、酸素を高濃度に含有させているので、酸素により非晶質珪素膜が結晶化するのが阻害されるため、上記のような温度範囲で加熱処理を実施しても、非晶質珪素膜107を非晶質のままとすることができる。或いは完全に結晶化されることはない。従って、加熱処理を施した後でも、結晶性珪素膜105と、非晶質珪素膜107との膜質を異ならせることができる。
【0056】
更に、長時間の加熱処理を加えることにより、徐々にではあるが、結晶性珪素膜105中のニッケル濃度をより下げることができる。このような作用は、非晶質珪素膜107を結晶化してしまう場合には、見られない顕著な特徴である。
【0057】
次に、図1(D)に示すように、非晶質珪素膜107をエッチングによって除去する。非晶質珪素膜107と結晶性珪素膜105の結晶構造の違いから、非晶質珪素膜107のみを容易に除去することが可能である。特に、エッチング液、エッチングガスとして、非晶質珪素膜と結晶性珪素膜とのエッチング選択比が高いものを使用することが好ましい。本実施例では、非晶質珪素膜107のエッチャントとしてヒドラジン(N2 H6 )を用いる。ヒドラジンは結晶性珪素膜105のエッチングレートに比較して、非晶質珪素膜107のエッチングレートが速いためである。
【0058】
上記のエッチング工程を経て、ニッケル元素の含有濃度を低くすることができた結晶性珪素膜108を得る。なお、ニッケルを拡散させるための非晶質珪素膜107の膜厚を厚くするほど、最終的に得られる結晶性珪素膜108中のニッケル元素の濃度をより減少することができる。即ち、結晶性珪素膜105の体積に比較して、非晶質珪素膜107の体積を大きくすることによって、より多量のニッケルが非晶質珪素膜107に拡散させることができる。
【0059】
本実施例では、結晶性珪素膜105と非晶質珪素膜107の膜厚を同一にしたが、この結晶性珪素膜108中のニッケル元素の濃度分布をSIMSにより計測した結果によると、その濃度の最大値は3×1018原子cm-3であった。即ち、結晶化後には、図8に示すように結晶性珪素膜105内には最大で5×1018原子cm-3程度のニッケルが存在しているが、非晶質珪素膜107中にニッケル元素を拡散させることよって、結晶性珪素膜108中のニッケル元素の平均の濃度を1/2以下とすることができる。
【0060】
なお、非晶質珪素膜107中に不純物として酸素が含有されるようにしたが、酸素の代わりに、炭素、或いは窒素を含有させても、同様の効果を得ることができる。非晶質珪素膜107において、例えば、炭素又は窒素の濃度は1×1019〜1×1020原子cm-3とすれぱよい。また、1種類の元素のみでなく、酸素、炭素、窒素のなかの複数の元素を含有するようにしてもよい。
【0061】
〔実施例2〕
本実施例は、実施例1の変形例であり、ニッケル等の金属元素を拡散させるための非晶質珪素膜を除去する際に、エッチングストッパーとして機能する保護膜を形成するようにしたものである。図2に本実施例に示す結晶性珪素膜の作製工程を示す。
【0062】
図2(A)に示すように、ガラス基板201(コーニング1737、歪点667℃)上に、下地膜202として、実施例1と同様に酸化窒化珪素膜を3000Åの厚さに成膜する。下地膜202は、ガラス基板201から不純物やアルカリイオンが後に形成される半導体薄膜中に拡散することを防ぐためのものである。次にプラズマCVD法または減圧熱CVD法によって、非晶質珪素膜203を600Åの厚さに成膜する。
【0063】
そして、所定のニッケル濃度に調整したニッケル酢酸塩溶液を非晶質珪素膜203上に滴下して、水膜204を形成する。そしてスピナー200を用いてスピンコートを行い、ニッケル元素が非晶質珪素膜203の表面に接して保持された状態とする。(図2(A))
【0064】
次に、図2(B)に示すように、実施例1と同様に、620℃、4時間加熱処理して、非晶質珪素膜203を結晶化させて、結晶性珪素膜205を得る。
【0065】
結晶性珪素膜205が得られたら、その表面に酸化珪素膜206を形成する。酸化珪素膜206の厚さは数10Å〜100Å程度とすればよい。このような薄い膜とするのは、この酸化珪素膜206を介して、結晶性珪素膜205中のニッケル元素が移動できるようにする必要があるからである。ここでは、空気中で、UV光の照射によって極薄い酸化珪素膜206を形成する。この酸化珪素膜206は自然酸化膜程度の極薄い膜であっても、後の非晶質珪素膜(207で示される)のエッチングに際してエッチングストッパーとしての効果があることが判明している。
【0066】
ここでは、UV酸化法を用いて酸化珪素膜206を形成したが、熱酸化法を用いて形成してもよい。また、酸化珪素膜206は、後のエッチング工程におけるエッチングストッパーとして機能するもので、結晶性珪素膜205に対してエッチングの際の選択性が得られる膜であればよい。例えば酸化珪素膜206の代わりに極薄い窒化珪素膜や、酸化窒化珪素膜を用いることもできる。
【0067】
次にプラズマCVD法または減圧熱CVD法により、不純物として酸素を含有する非晶質珪素膜207を600Åの厚さに形成する。本実施例では、非晶質珪素膜107中の酸素の濃度が1×1019〜1×1021原子cm-3となるようするまた、酸素の代わりに、炭素、或いは窒素を1×1017〜1×1020原子cm-3程度の濃度で含有させてもよい。
【0068】
次に、図2(C)に示すように、加熱処理を施す。これにより、結晶性珪素膜205中のニッケル元素が酸化膜206を介して非晶質珪素膜207中に拡散されて、結晶性珪素膜205中のニッケル元素の濃度を低くすることができる。本実施例では、実施例1と同様に、600℃の温度で4時間の加熱処理を行う。
【0069】
ただし、非晶質珪素は450℃程度の温度で結晶化してしまうが、本実施例では、非晶質珪素膜107には、1019〜1021原子cm-3のように、酸素を高濃度に含有させているため、酸素により非晶質珪素膜が結晶化するのが阻害されるため、上記のような温度範囲で加熱処理を実施しても、非晶質珪素膜207を非晶質のままとすることができる、或いは完全に結晶化されることはない。従って、加熱処理を施した後でも、結晶性珪素膜205と、非晶質珪素膜207との膜質を異ならせることができる。
【0070】
そして、図2(D)に示すように、非晶質珪素膜207を除去する。ここでは非晶質珪素膜207のエッチャントとしてヒドラジン(N2 H6 )を用いて、ウエットエッチングする。ヒドラジンをエッチングントとして用いた場合には、結晶性珪素のエッチングレートに比較して、非晶質珪素膜のほうがエッチングレートが速い。
【0071】
更に、本実施例においては、ヒドラジンではエッチングされない(そのエッチングレートは極めて低く、相対的に見た場合、エッチングされないと見なすことができる)酸化珪素膜206がエッチングストッパーとして、結晶性珪素膜205上に形成されているため、非晶質珪素膜207を容易に選択的に取り除くことができ、また、オーバエッチングを抑制することができるため、再現性が良好である。なお、ClF3 ガスによるドライエッチングで、非晶質珪素膜207を除去することもできる。
【0072】
次に、酸化珪素膜206をバッファフッ酸やフッ硝酸によって取り除き、図2(D)に示すようなニッケル元素の含有濃度を低くすることができた結晶性珪素膜208を得る。結晶性珪素膜205中には、図8に示すように、5×1018程度のニッケル元素が含有されているが、、結晶性珪素膜205と非晶質珪素膜207の膜厚を同一にした場合において、本実施例のゲッタリング工程を経ることにより、最終的に得られる結晶性珪素膜208中のニッケル元素の濃度を3×1018程度以下に、即ち濃度を平均では1/2以下にすることができる。
【0073】
〔実施例3〕
本実施例は、実施例1や実施例2で示す作製方法によって得られた結晶性珪素膜を用いて、薄膜トランジスタを作製する例を示す。図3に本実施例に示す薄膜トランジスタの作製工程を示す。先ず、下地膜502が形成されたガラス基板501上に、実施例1または実施例2に示した方法を用いて、結晶性珪素膜503を形成する。(図3(A))
【0074】
次に得られた結晶性珪素膜503をパターニングして、504で示されるような薄膜トランジスタの活性層を形成する。そしてプラズマCVD法または減圧熱CVD法で、ゲート絶縁膜として機能する酸化珪素膜505を1000Åの厚さに形成する。(図3(B))
【0075】
次に、スカンジウムを含有したアルミニウム膜を6000Åの厚さに成膜して、パターニングを施すことにより、506で示すゲート電極を形成する。そして電解溶液中において、ゲート電極506を陽極とした陽極酸化を行うことによって、酸化物層507を形成する。この酸化物層507の厚さは2000Åとする。この酸化物層507の厚さで、後の工程においてオフセットゲート領域を形成することができる。
【0076】
さらに活性層504に対して不純物イオンの注入を行う。ここでは、不純物イオンとしてリンイオンを注入する。この工程で、508と511で示される領域にリンイオンが注入される。この508と511で示される領域がソース/ドレイン領域となる。また509の領域はオフセットゲート領域となる。また510の領域はチャネル形成領域となる。
【0077】
不純物イオンの注入終了後、レーザー光を照射して、注入されたイオンの活性化とイオンの注入時において損傷を受けたソース/ドレイン領域508、511のアニールとを行う。(図3(C))
【0078】
次に層間絶縁膜として酸化珪素膜512を形成し、さらにコンタクトホールの形成を行い、ソース電極513とドレイン電極514の形成をアルミニウムを用いて行う。さらに最後に350℃の水素雰囲気中において加熱処理を行って、薄膜トランジスタを完成させる。(図3(D))
【0079】
〔実施例4〕
本実施例は、珪素の結晶化を助長する金属元素であるニッケルの導入を選択的に行うことにより、基板に平行な方向に結晶成長した結晶性珪素膜を得ると同時に、この結晶性珪素膜中のニッケル濃度を低下させる技術に関する。
【0080】
ガラス基板(コーニング1737)601上に、下地膜602として酸化窒化珪素膜を3000Åの厚さにスパッタ法によって成膜する。次に非晶質珪素膜603を500Åの厚さにプラズマCVD法または減圧熱CVD法によって成膜する。次に酸素雰囲気中においてUV光を照射し、非晶質珪素膜603の表面に極薄い酸化膜(図示せず)を形成する。この酸化膜は、後の溶液塗布工程で溶液の濡れ性を改善するためのものである。
【0081】
そして、レジストを用いてマスク604を形成する。レジストマスク604によって露呈される領域605は、紙面に垂直な方向に長手方向を有するスリット状を有している。 次に所定の濃度でニッケルを含有したニッケル酢酸塩溶液を滴下し、水膜606を形成する。(図4(A))
【0082】
さらにスピナー600を用いてスピンコートを行い、非晶質珪素膜603上にの領域605において、図示しない酸化膜を介してニッケル元素が接して保持された状態とする。そして、図4(B)に示すように、レジストマスク604を取り除く。
【0083】
次に、水素を3%含有する窒素雰囲気中で、620℃、4時間の加熱処理を加えて、非晶質珪素膜603の結晶化を行う。ニッケル元素は605で示される領域において、非晶質珪素膜603に図示しない酸化膜を介して接して保持された状態から、図示しない酸化膜を通して非晶質珪素膜603中に拡散していく。ニッケル元素の拡散に伴って、非晶質珪素膜603において、矢印607で示されるように基板に平行な方向に結晶成長が進行して、結晶性珪素膜608が形成される。
【0084】
この結晶成長は柱状あるいは針状に進行する。本実施例の場合は、605で示される領域が図面の手前方向から奥手方向に長手方向を有するスリット状を有しているので、矢印607で示されるような結晶成長は、略1方向に沿って進行する。また結晶成長は数10μm〜100μm以上に渡って行わすことができる。(図4(B))
【0085】
結晶性珪素膜608を得た後に、プラズマCVD法または減圧熱CVD法により、酸素を含有する非晶質珪素膜610を1000Åの厚さに形成する。なお、非晶質珪素膜610中の酸素の濃度が1×1019〜1×1021原子cm-3となるようにする。
【0086】
そして600℃、4時間の加熱処理を行い、結晶性珪素膜608中のニッケル元素を酸化膜609を介して非晶質珪素膜610中に拡散させる。
【0087】
そして、非晶質珪素膜610をClF3 ガスでエッチングして、除去する。こうして、図4(D)に示すようなニッケル濃度が低下した結晶性珪素膜611を得ることができる。この結晶性珪素膜611は607で示されるような基板に平行な方向に結晶成長した領域を有し、かつ膜中におけるニッケル濃度が低いという特徴を有する。
【0088】
実験によれば、605で示される領域に導入されるニッケルの量がある程度多い方が、607で示す基板に平行な方向への結晶成長(横方向成長という)の距離を長くできることが判明している。しかしながら、ニッケル元素の導入量を多くすると、最終的に得られる結晶性珪素膜611中におけるニッケル濃度を高くする要因となるので、好ましくない。膜中におけるニッケル濃度が高くなると(実験によれば5×1019原子cm-3以上となると)、珪素膜の半導体としての特性が損なわれたり、また作製される薄膜トランジスタの動作が不安定になったり、特性の劣化が激しくなったりする問題が顕在化してしまう。
【0089】
しかし、本実施例に示すように、結晶化の終了後にニッケル元素を除去することで、横方向への結晶成長距離を長くするという要請と、得られた結晶性珪素膜611中におけるニッケル濃度(金属元素の濃度)を極力低くしたいという要請とを両立させることができる。
【0090】
〔実施例5〕
本実施例は、実施例4において得られた結晶性珪素膜を用いて薄膜トタンジスタを構成する例を示す。図5に本実施例の作製工程を示す。
図4に示す工程に従って、結晶性珪素膜を得る。この結晶性珪素膜は基板に平行な方向に結晶成長した領域を有している。
【0091】
図5(A)に示すように、結晶性珪素膜をパターニングして薄膜トランジスタの活性層703となる領域を形成する。図5(A)において、701はガラス基板であり、702は下地膜の酸化珪素膜である。
【0092】
ここで、活性層703内に図4(B)で示す結晶成長における結晶成長の始点(ニッケルが導入された領域)と結晶成長の終点とが存在しないようにすることが重要である。これは、結晶成長の始点と結晶成長の終点とには、ニッケルが高濃度に含まれているからである。
【0093】
さらにゲート絶縁膜として機能する酸化珪素膜704を1000Åの厚さにプラズマCVD法により成膜する。(図5(A))
【0094】
次にアルミニウムを主成分とする膜を形成し、さらにパターニングを施すことにより、ゲート電極705を形成する。ゲート電極705を陽極にして、電解溶液中で陽極酸化して、酸化物層706を形成する。酸化物層706の厚さで後の不純物イオンの注入工程において、オフセットゲート領域を形成することができる。(図5(B))
【0095】
不純物イオンとしてリンイオンを注入する。この工程でソース領域707とドレイン領域710とが形成される。更に、オフセットゲート領域708とチャネル形成領域709とが形成される。不純物イオンの注入終了後、レーザー光または強光を照射することにより、ソース/ドレイン領域707、710を活性化する。
【0096】
そして、層間絶縁膜となる酸化珪素膜711をプラズマCVD法によって、6000Åの厚さに成膜する。酸化珪素膜711にコンタクトホールを形成した後に、ソース電極712とドレイン電極713の形成を行う。こうして薄膜トランジスタが完成される。(図5(C))
【0097】
〔実施例6〕
本実施例は、図1に示す実施例1の結晶性珪素膜の作製工程の後に、再び加熱処理を行うことを特徴とする。
図1(C)に示す工程において加熱処理を施すと、徐々に結晶性珪素膜105中のニッケル(金属元素)が非晶質珪素膜107に吸い出されていく。この際、図4に示すように結晶性珪素膜105の表面付近のニッケル濃度が、結晶性珪素膜105の下層の酸化珪素膜102の界面付近のニッケル濃度と比較して高くなってしまう。これは、結晶性珪素膜105中のニッケルが非晶質珪素膜107の吸い出されていってしまう結果、結晶性珪素膜105の表面側にニッケル元素が偏析してしまっていることを意味している。
【0098】
このため、図1(D)に示すようなガラス基板101上に形成された結晶性珪素膜108を用いて薄膜トランジスタを作製した場合には、この結晶性珪素膜108の表面をキャリアが伝導することになる。キャリアが伝導する領域にニッケルが高濃度に存在していることは好ましくない。
【0099】
そこで、本実施例においては、図1(D)に示す状態を得た後、加熱処理を行い、ニッケルを結晶性珪素膜108中に再び拡散させる。ここで行う加熱処理はニッケルを拡散させることができればよいので、400℃以上の温度であればよい。またその上限は、ガラス基板101の耐熱性によって制限される。従って、ここで行う加熱の温度は、400℃以上であって、ガラス基板の歪点以下の温度であればよい。
【0100】
以下に本実施例の詳細を図6を用いて説明する。
図1に示すような作製工程を経て、図1(D)に示す状態を得る。この状態を図6(A)に示す。図6(A)には、ニッケルが偏析し、ニッケルが高濃度に含まれている層802(表面側)と、ニッケル濃度が802で示される層側よりも低濃度に含まれている層801が示されている。この層801と802とで、下地膜102を介してガラス基板101上に形成された結晶性珪素膜108(図1(D)参照)が構成されている。
【0101】
この図6(A)に示す状態で図6(B)に示すように加熱処理を施す。ここでは、500℃、2時間の加熱処理を施す。この結果、802で示される領域のニッケル元素は、より低濃度でニッケルが存在する801で示される領域に拡散する。こうして、この領域802はニッケル濃度が低下し、ニッケルの偏析の無い状態とすることができる。そして、その表面におけるニッケル濃度を低くすることができた結晶性珪素膜803を得ることができる。(図6(C))
【0102】
〔実施例7〕
本実施例は、実施例6に示す構成において、結晶化工程において、加熱処理の代わりにレーザー光の照射を行った場合の例である。本実施例の工程を図7に示す。
まず図1に示す工程を経て、802で示されるその表面にニッケル元素が高濃度に存在した結晶性珪素膜から成る層と、ニッケル元素が低濃度に存在する結晶性珪素膜から成る層801とを得る。(図7(A))
【0103】
次にレーザー光を照射することにより、ニッケル元素を層802から層801に拡散させる。(図7(B))
【0104】
これにより、膜中に均一にニッケルが拡散した状態を有する結晶性珪素膜901を得る。(図7(C))
【0105】
〔実施例8〕
本実施例は、ニッケル元素を拡散させる(ニッケル元素を吸い出させる)膜に、非晶質状態のSiX Ge1-X 膜(0<x<1)を使用するようにしたものである。図1に従って、本実施例に示す結晶性珪素膜の作製工程を説明する。
【0106】
コーニング1737ガラス基板101(歪点667℃)上に下地膜102として酸化窒化珪素膜を3000Åの厚さに成膜する。次に、プラズマCVD法または減圧熱CVD法によって、非晶質珪素膜103を600Åの厚さに成膜する。そして、所定のニッケル濃度に調整したニッケル酢酸塩溶液を非晶質珪素膜103上に滴下して、スピナー100を用いてスピンコートを行い、水膜104を形成する。これにより、ニッケル元素が非晶質珪素膜103の表面に接して保持された状態となる。(図1(A))
【0107】
次に加熱処理して、非晶質珪素膜103を結晶化させて、結晶性珪素膜105を形成する。ここでは、620℃、4時間加熱処理する(図1(B))
【0108】
次に、プラズマCVD法により非晶質状態のSiX Ge1-X 膜107を600Åの厚さに形成する。なお、非晶質状態のSiX Ge1-X 膜107において、酸素の濃度が、例えば1×1019〜1×1021原子cm-3となるようにする。
【0109】
次に、加熱処理を施すことにより、非晶質状態のSiX Ge1-X 膜107中に、結晶性珪素膜105中のニッケル元素を酸化膜106を介して拡散させる。(図1(C))
【0110】
この加熱温度の下限はニッケルが拡散しうる温度で定義され、400℃以上である。また、上限はSiX Ge1-X 膜107が結晶化しない温度で、かつ基板の歪み点で定義される。従って、加熱処理は550〜1050℃の温度で行えばよい。本実施例ではガラス基板101として歪点667℃のコーニング1737を使用しているため加熱温度を600℃とし、加熱時間を4時間とする。加熱処理により、結晶性珪素膜105中のニッケル元素が非晶質状態のSiX Ge1-X 膜107中に拡散し、結晶性珪素膜105中のニッケル元素の濃度を低くすることができる。
【0111】
ただし、非晶質珪素は450℃程度の温度で結晶化してしまうが、本実施例では、非晶質状態のSiX Ge1-X 膜107には、酸素を1019〜1021原子cm-3程度に高濃度に含有させているため、酸素により結晶化するのが阻害されるため、上記のような温度範囲で加熱処理を実施しても、SiX Ge1-X 膜107を非晶質のままとすることができる、或いは完全に結晶化されることはない。従って、加熱処理を施した後でも、非晶質状態のSiX Ge1-X 膜107を容易にエッチングされる膜質とすることができる。
【0112】
そして、SiX Ge1-X 膜107をエッチングによって除去する。この際に、SiX Ge1-X 膜107と結晶性珪素膜膜105とのエッチング選択比の高いエッチング溶液、エッチングガスを使用する。これにより、ニッケルを吸い出したSiX Ge1-X 膜107のみを選択的に取り除くことができる。
【0113】
なお、本実施例でも、実施例2又は実施例4と同様に、結晶性珪素膜105上にSiX Ge1-X 膜107のエッチングストッパーとして機能するような、酸化珪素膜、窒化珪素膜、或いは酸化窒化珪素膜を形成してもよい。
【0114】
上記のエッチング工程を経て、図1(D)に示すようなニッケル元素の含有濃度を低くすることができた結晶性珪素膜108を得る。例えば、結晶性珪素膜105とSiX Ge1-X 膜107の膜厚が同程度であれば、本実施例のゲッタリング工程をへることにより、結晶性珪素膜108中のニッケル濃度を平均的には1/2以下にすることができる。
【0115】
〔実施例9〕
本実施例では、金属元素を結晶性珪素膜外部に拡散させる際に、ハロゲン雰囲気中で加熱処理するようにしたものである。本実施例を図9に従って説明する。
【0116】
図9(A)に示すように、コーニング1737ガラス基板301(歪点667℃)上に、下地膜302を形成する。この下地膜302は、ガラス基板301から不純物や、アルカリイオンが後に形成される半導体薄膜中に拡散することを防ぐためのものである。
【0117】
本実施例では、下地膜302として、酸化窒化珪素膜を成膜する。下地膜302として酸化窒化珪素膜を成膜するには、プラズマCVD法を採用すればよい。原料ガスとして、シラン、O2 ガス、N2 Oガスを使用する。或いは、TEOSガス、N2 Oガスを使用する。
【0118】
次にプラズマCVD法または減圧熱CVD法によって、非晶質珪素膜303を600Åの厚さに成膜する。この非晶質珪素膜303は後に結晶化されるものである。なお、減圧熱CVD法を採用するのは、得られる結晶性珪素膜の膜質が優れているためである。他の成膜方法として、プラズマCVD法を採用することもできる。なお、成膜時には、非晶質珪素膜303中に不純物が混入しないようにすることが重要になる。
【0119】
そして、所定のニッケル濃度に調整したニッケル酢酸塩溶液を非晶質珪素膜103上に滴下して、水膜304を形成する。そしてスピナー300を用いてスピンコートを行い、ニッケル元素が非晶質珪素膜303の表面に接して保持された状態とする。(図9(A))
【0120】
次に、450℃〜650℃温度で加熱処理を行い、非晶質珪素膜303を結晶化させて、結晶性珪素膜305を得る。本実施例では、620℃、4時間加熱処理する。(図9(B))
【0121】
結晶性珪素膜305が得られたら、次にプラズマCVD法または減圧熱CVD法により、不純物として酸素を含有する非晶質珪素膜307を600Åの厚さに形成する。非晶質珪素膜207中の酸素の濃度は1×1019〜1×1021原子cとなるようにする。このため、非晶質珪素膜307にはニッケルをゲッタリングする要素として、非晶質という膜質のために有する欠陥等の他に、不純物として酸素を含有するために、酸素、SiOX で示されるような酸化物による欠陥や、珪素結合間の酸素等を有する。
【0122】
次に、結晶化のために初期の段階で意図的に混入させたニッケル元素を結晶性珪素膜305中から除去するために、ハロゲン元素を含んだ雰囲気中で加熱処理を行う。本実施例では酸素にHClを1〜10%、例えば5%含有させた雰囲気中で加熱処理を行う。
【0123】
この加熱処理温度の下限はニッケルが拡散しうる温度で定義され、上限は、使用するガラス基板の歪点によって制限される。使用するガラス基板の歪点以上の温度で加熱処理を行うと、基板が変形するので注意が必要である。この加熱処理は、上記の条件を満たした上で550℃〜1050℃、好ましくは600℃〜980℃の温度で行う。本実施例では、歪点が667℃のコーニング1737ガラス基板を利用しているので、加熱温度を600℃とし、加熱時間を4時間とする。
【0124】
HClは酸素に対して0.5%〜10%(体積%)の割合で混合することが好ましい。
【0125】
非晶質珪素膜307には、不純物として酸素を含有するために、多くの欠陥や、不対結合を有するため、図9(C)に示す加熱処理工程により、結晶性珪素膜305中から非晶質珪素膜307中にニッケルが拡散して、結晶珪素膜305からニッケルが除去される。さらに、本実施例では、塩素(ハロゲン)含有する酸素雰囲気中で加熱処理をするため、塩素とニッケルが反応して、気化しやすい不純物金属(ニッケル)の塩化物を形成するため、結晶性珪素膜305からニッケルが除去する作用がより促進される。本実施例では、実施例1のように、加熱処理において塩素を供給しない場合と比較して、ニッケル元素の濃度を1/10以下とすることができる。この効果は、他の金属元素を用いた場合でも同様に得られる。
【0126】
また、ニッケルを拡散させるための非晶質珪素膜307の膜厚を厚くするほど、最終的に得られる結晶性珪素膜308中のニッケル元素の濃度をより減少することができる。即ち、結晶性珪素膜305の体積に比較して、非晶質珪素膜307の体積を大きくすることによって、より多量のニッケルが非晶質珪素膜307に拡散させることができるためである。
【0127】
本実施例では、ハロゲン元素としてClを選択し、またその導入方法としてHClを用いる例を示した。HCl以外のガスとしては、HF、HBr、Cl2 、F2 、Br2 から選ばれた一種または複数種類のものを用いることができる。また一般にハロゲンの水素化物を用いることができる。
【0128】
これらのガスは、雰囲気中での含有量(体積含有量)をHFであれば0.25〜5%、HBrであれば1〜15%、Cl2 であれば0.25〜5%、F2 であれば0.125〜2.5%、Br2 であれば0.5〜10%とすることが好ましい。上記の範囲以下の濃度とすると、有意な効果が得られるなくなる。また、上記の範囲以上の濃度とすると、ハロゲンのエッチング効果を顕著になってしまうためである。。
【0129】
ただし、非晶質珪素は450℃程度の温度で結晶化してしまうが、本実施例では、1019〜1021原子cm-3のように、非晶質珪素膜107に酸素を高濃度に含有させているので、酸素により非晶質珪素膜が結晶化するのが阻害される。従って、上記のような温度範囲で加熱処理を実施しても、非晶質珪素膜107を非晶質のままとすることができる、或いは完全に結晶化されることはない。従って、加熱処理を施した後でも、結晶性珪素膜305と、非晶質珪素膜307との膜質を異ならせることができる。
【0130】
更に、長時間の加熱処理を加えることにより、徐々にではあるが、結晶性珪素膜305中のニッケル濃度をより下げることができる。このような作用は、非晶質珪素膜307を結晶化してしまう場合には、見られない顕著な特徴である。
【0131】
次に、図9(D)に示すように、非晶質珪素膜307をエッチングによって除去する。非晶質珪素膜307と結晶性珪素膜305の結晶構造の違いから、非晶質珪素膜307のみを容易に除去することが可能である。特に、エッチング液、エッチングガスとして、非晶質珪素膜と結晶性珪素膜とのエッチング選択比が高いものを使用することが好ましい。本実施例では、非晶質珪素膜307のエッチャントとしてヒドラジン(N2 H6 )を用いる。ヒドラジンは結晶性珪素膜と非晶質珪素膜とのエッチング選択比が大きいためである。なお、非晶質珪素膜307のエッチングには、ドライエッチングを用いてもよい。
【0132】
上記のエッチング工程を経て、ニッケル元素の含有濃度を低くすることができた結晶性珪素膜308を得る。
【0133】
なお、図9(C)に示す加熱処理をHClを含有させた酸素雰囲気中で行っているため、非晶質珪素膜307表面に熱酸化膜が形成される場合もあるため、この場合には、非晶質珪素膜307のエッチングの前に、バッファードフッ酸等によるウエットエッチングや、ドライエッチングにより、先ず非晶質珪素膜307表面の酸化膜を除去する。
【0134】
〔実施例10〕
実施例9では、結晶化のために意図的に混入させたニッケル元素を結晶性珪素膜から除去するために、ハロゲン元素を含んだ雰囲気中で加熱処理を行うに際して、雰囲気を酸素にHClを1〜10%、例えば5%含有させた雰囲気としたが、本実施例では、窒素にHClを1〜10%含有させた雰囲気とする。
【0135】
他の条件は実施例9と同様にすればよい。この結果、実施例1のように、加熱処理において塩素を供給しない場合と比較して、ニッケル元素の濃度を最大で初期の1/10以下とすることができる。この効果は、他の金属元素を用いた場合でも同様に得られる。
【0136】
本実施例では、ハロゲン元素としてClを選択し、またその導入方法としてHClを用いる例を示した。HCl以外のガスとしては、HF、HBr、Cl2 、F2 、Br2 から選ばれた一種または複数種類のものを用いることができる。また一般にハロゲンの水素化物を用いることもできる。
【0137】
【発明の効果】
金属元素の作用によって、低温で結晶性珪素膜作製することができる。従って、ガラス基板上に結晶性珪素膜を形成することができる。
【0138】
また、金属元素の作用によって結晶化した珪素膜中の金属元素を非晶質珪素膜中に拡散させることによって、金属元素の濃度の低い結晶性珪素膜を得ることができる。従って、結晶性珪素膜を用いて、金属元素の悪影響のないデバイス、例えば薄膜トランジスタを得ることができる。
【0139】
また、金属元素の作用によって結晶化した珪素膜中の金属元素が偏在した部分を除去するようにしたため、金属元素が偏在した部分のない結晶性珪素膜を得ることができる。この結果、金属元素の影響のない半導体素子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 結晶性珪素膜の作製工程を示す図。
【図2】 結晶性珪素膜の作製工程を示す図。
【図3】 薄膜トランジスタの作製工程を示す図。
【図4】 結晶性珪素膜の作製工程を示す図。
【図5】 薄膜トランジスタの作製工程を示す図。
【図6】 結晶性珪素膜の作製工程を示す図。
【図7】 結晶性珪素膜の作製工程を示す図。
【図8】 ニッケル元素の濃度分布を示す図。
【図9】 結晶性珪素膜の作製工程を示す図。
【符号の説明】
100・・・・・・・・・スピナー
101・・・・・・・・・ガラス基板
102・・・・・・・・・下地膜(酸化珪素膜)
103・・・・・・・・・非晶質珪素膜
104・・・・・・・・・水膜
105・・・・・・・・・結晶性珪素膜
107・・・・・・・・・不純物を含有する非晶質珪素膜
108・・・・・・・・・結晶性珪素膜
Claims (14)
- 第1の非晶質珪素膜に珪素の結晶化を助長する金属元素を導入し、
前記第1の非晶質珪素膜を加熱して結晶性珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜上に1×10 19 〜1×10 21 原子cm -3 で酸素を含有する第2の非晶質珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜及び前記第2の非晶質珪素膜を、ハロゲンを含有する雰囲気において550℃〜1050℃で加熱し、
前記第2の非晶質珪素膜を除去することを特徴とする結晶性珪素膜の作製方法。 - 第1の非晶質珪素膜に珪素の結晶化を助長する金属元素を導入し、
前記第1の非晶質珪素膜を加熱して結晶性珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜上に1×10 17 〜1×10 20 原子cm -3 で炭素若しくは窒素を含有する第2の非晶質珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜及び前記第2の非晶質珪素膜を、ハロゲンを含有する雰囲気において550℃〜1050℃で加熱し、
前記第2の非晶質珪素膜を除去することを特徴とする結晶性珪素膜の作製方法。 - 第1の非晶質珪素膜に珪素の結晶化を助長する金属元素を導入し、
前記第1の非晶質珪素膜を加熱して結晶性珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜上に酸化珪素膜、窒化珪素膜又は酸化窒化珪素膜を形成し、
前記酸化珪素膜、窒化珪素膜又は酸化窒化珪素膜上に1×10 19 〜1×10 21 原子cm -3 で酸素を含有する第2の非晶質珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜及び前記第2の非晶質珪素膜を、ハロゲンを含有する雰囲気において550℃〜1050℃で加熱し、
前記第2の非晶質珪素膜を除去することを特徴とする結晶性珪素膜の作製方法。 - 第1の非晶質珪素膜に珪素の結晶化を助長する金属元素を導入し、
前記第1の非晶質珪素膜を加熱して結晶性珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜上に酸化珪素膜、窒化珪素膜又は酸化窒化珪素膜を形成し、
前記酸化珪素膜、窒化珪素膜又は酸化窒化珪素膜上に1×10 17 〜1×10 20 原子cm -3 で炭素若しくは窒素を含有する第2の非晶質珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜及び前記第2の非晶質珪素膜を、ハロゲンを含有する雰囲気において550℃〜1050℃で加熱し、
前記第2の非晶質珪素膜を除去することを特徴とする結晶性珪素膜の作製方法。 - 第1の非晶質珪素膜に珪素の結晶化を助長する金属元素を選択的に導入し、
前記第1の非晶質珪素膜を加熱して結晶性珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜上に1×10 19 〜1×10 21 原子cm -3 で酸素を含有する第2の非晶質珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜及び前記第2の非晶質珪素膜を550℃〜1050℃で加熱し、
前記第2の非晶質珪素膜を除去することを特徴とする結晶性珪素膜の作製方法。 - 第1の非晶質珪素膜に珪素の結晶化を助長する金属元素を選択的に導入し、
前記第1の非晶質珪素膜を加熱して結晶性珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜上に1×10 17 〜1×10 20 原子cm -3 で炭素若しくは窒素を含有する第2の非晶質珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜及び前記第2の非晶質珪素膜を550℃〜1050℃で加熱し、
前記第2の非晶質珪素膜を除去することを特徴とする結晶性珪素膜の作製方法。 - 第1の非晶質珪素膜に珪素の結晶化を助長する金属元素を選択的に導入し、
前記第1の非晶質珪素膜を加熱して結晶性珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜上に酸化珪素膜、窒化珪素膜又は酸化窒化珪素膜を形成し、
前記酸化珪素膜、窒化珪素膜又は酸化窒化珪素膜上に1×10 19 〜1×10 21 原子cm -3 で酸素を含有する第2の非晶質珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜及び前記第2の非晶質珪素膜を550℃〜1050℃で加熱し、
前記第2の非晶質珪素膜を除去することを特徴とする結晶性珪素膜の作製方法。 - 第1の非晶質珪素膜に珪素の結晶化を助長する金属元素を選択的に導入し、
前記第1の非晶質珪素膜を加熱して結晶性珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜上に酸化珪素膜、窒化珪素膜又は酸化窒化珪素膜を形成し、
前記酸化珪素膜、窒化珪素膜又は酸化窒化珪素膜上に1×10 17 〜1×10 20 原子cm -3 で炭素若しくは窒素を含有する第2の非晶質珪素膜を形成し、
前記結晶性珪素膜及び前記第2の非晶質珪素膜を550℃〜1050℃で加熱し、
前記第2の非晶質珪素膜を除去することを特徴とする結晶性珪素膜の作製方法。 - 請求項1から8のいずれか一項において、
前記珪素の結晶化を助長する金属元素は、Fe、Co、Ni、Pd、Ir、Pt、CuもしくはAuであることを特徴とする結晶性珪素膜の作製方法。 - 請求項1から9のいずれか一項において、
前記第2の非晶質珪素膜の膜厚は、前記第1の非晶質珪素膜の膜厚よりも厚いことを特徴とする結晶性珪素膜の作製方法。 - 請求項1、3、5又は7において、
前記第2の非晶質珪素膜に含有された酸素の濃度は、前記珪素の結晶化を助長する金属元素の濃度よりも高いことを特徴とする結晶性珪素膜の作製方法。 - 請求項2、4、6又は8において、
前記第2の非晶質珪素膜に含有された炭素若しくは窒素の濃度は、前記珪素の結晶化を助長する金属元素の濃度よりも高いことを特徴とする結晶性珪素膜の作製方法。 - 請求項1から12のいずれか一項において、
前記結晶性珪素膜及び前記第2の非晶質珪素膜を550℃〜1050℃で加熱した後、前記第2の非晶質珪素膜中の前記珪素の結晶化を助長する金属元素の濃度は、前記結晶性珪素膜中の前記珪素の結晶化を助長する金属元素の濃度よりも高くなることを特徴とする結晶性珪素膜の作製方法。 - 請求項1から13のいずれか一項において、
前記第2の非晶質珪素膜の代わりに非晶質のSixGe1-x(0<X<1)を用いることを特徴とする結晶性珪素膜の作製方法。
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