JP3905495B2 - ディスク記憶媒体の欠陥検査方法，ディスク記憶媒体の欠陥検査装置，検査スライス値の補正方法，検査スライス値の補正装置および検査ヘッドの選別方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，磁気ディスクなどのディスク記憶媒体の欠陥検査の技術に関するものであり，特に，磁気ディスク媒体の欠陥検出のための磁気ヘッド（以下，検査ヘッドという）ごとの補正値を用いて検査スライス値を補正することにより，安定した欠陥検査を行うディスク記憶媒体の欠陥検査方法，ディスク記憶媒体の欠陥検査装置，検査スライス値の補正方法，検査スライス値の補正装置および検査ヘッドの選別方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図７は，磁気ディスク媒体の欠陥検査を説明する図である。図７（Ａ）は，検査ヘッド１０２によるＷｒｉｔｅ，Ｒｅａｄの例である。磁気ディスク媒体の欠陥検査装置の測定回路１０１は検査ヘッド１０２にＷｒｉｔｅ信号１０４を送り，検査ヘッド１０２は欠陥検査対象の磁気ディスク媒体１０３の検査トラックにＷｒｉｔｅ信号１０４を書き込む。その後，検査ヘッド１０２は，磁気ディスク媒体１０３の検査トラックに書き込まれたデータを再生し，得られた再生信号（Ｒｅａｄ信号１０５）を測定回路１０１に送る。測定回路１０１は，得られたＲｅａｄ信号１０５から，検査スライスを用いてＤｅｆｅｃｔを検出する。
【０００３】
図７（Ｂ）は，Ｄｅｆｅｃｔがない場合のＲｅａｄ信号１０５の例であり，図７（Ｃ）は，Ｄｅｆｅｃｔがある場合のＲｅａｄ信号１０５の例である。ＴＡＡ（＋），ＴＡＡ（−）は，トラックアンプリチュードアベレージ（トラック一周の出力再生波形の平均値）であり，検査スライスが１００％のレベルである。
【０００４】
測定回路１０１によるＤｅｆｅｃｔの検出において，検出可能なＤｅｆｅｃｔのレベルは検査スライスのレベルによって変わる。例えば，図７（Ｃ）において，測定回路１０１が５０％のレベルの検査スライス（図７（Ｃ）では点線）を用いて検査すると，通常のＤｅｆｅｃｔ１０６が検出される。また，図７（Ｃ）において，測定回路１０１がｎ％のレベル（ｎ＞５０）の検査スライス（図７（Ｃ）では破線）を用いて検査すると，通常のＤｅｆｅｃｔ１０６と微小レベル変動のＤｅｆｅｃｔ１０７とが検出される。
【０００５】
ここで，通常のＤｅｆｅｃｔ１０６や微小レベル変動のＤｅｆｅｃｔ１０７などのＤｅｆｅｃｔの発生原因は，媒体加工上の傷，スパッタ工程におけるスパッタ膜抜け等である。
【０００６】
従来の磁気ディスク媒体の欠陥検出用検査ヘッドでは，ヘッド機種ごとに検査ヘッド動作パラメータ（例えば，Ｗｒｉｔｅ電流，センス電流）を決定すれば，ヘッド機種内では略同様のＤｅｆｅｃｔ検出感度を得ることができた。
【０００７】
図８は，従来の欠陥検査におけるバケットカーブの例を示す図である。図８のグラフでは，縦軸にＤｅｆｅｃｔ個数（検出されるＤｅｆｅｃｔの個数），横軸に検査スライス値をとっている。図８において，太実線で描かれているのがバケットカーブである。
【０００８】
従来では，検査ヘッド動作パラメータ（Ｗｒｉｔｅ電流，センス電流）を決定すれば，ヘッド機種ごとに略一様のＤｅｆｅｃｔ検出感度が得られたので，ほとんどの検査ヘッドのバケットカーブは，一様に図８に示すような平均的なバケットカーブを描いていた。よって，例えば，Ｄｅｆｅｃｔ許容個数（磁気ディスク媒体として許容されるＤｅｆｅｃｔ数）が決まれば，ヘッド機種ごとに一様のテストで使用する検査スライス値が決定していた。
【０００９】
このような環境でのＤｅｆｅｃｔテストの品質に大きな影響を持つ要因としては欠陥検査装置が持つ測定チャネルごとのバラツキがあり，これを打開するために，測定チャネルごとの補正値を検査スライス値に加味して実際の検査スライス値としていた。
【００１０】
図９は，従来の磁気ディスク媒体の欠陥検査装置の構成例を示す図である。図９の構成例は，図８に示すような均一なバケット特性を持った検査ヘッドに対応していた欠陥検査装置の構成例である。省略されているが，図９の欠陥検査装置は２つ以上の測定チャネルを持っているものとする。
【００１１】
すべての測定チャネルに一様に用いる検査スライス値２０１と，各測定チャネルごとのバラツキを補正するための測定チャネル補正値２０２とが加算器（Ａｄｄｅｒ）２０３によって加算され，実際の検査スライス値として比較器２０４に入力される。検査ヘッド２０５が磁気ディスク媒体２０６から再生したＲｅａｄ信号は，アンプ２０７を経由し，比較器２０４に入力される。
【００１２】
比較器２０４は，実際の検査スライス値とＲｅａｄ信号とを比較し，その結果を良否判定回路２０８に出力する。良否判定回路２０８は，比較器２０４の出力からＤｅｆｅｃｔを検出し，Ｄｅｆｅｃｔが検出されると，各磁気ディスク媒体ごとに検出されたＤｅｆｅｃｔの数をカウントし，Ｄｅｆｅｃｔの数がＤｅｆｅｃｔ許容個数を超えた磁気ディスク媒体を不良品と判定する。
【００１３】
また，従来の磁気ディスク媒体の欠陥検査に関する技術として，検査ヘッドのリードコア幅にバラツキがあっても，磁気ディスク媒体の欠陥に対する感度バラツキがないようにする技術がある（例えば，特許文献１参照）。特許文献１には，検査ヘッドの実効リードコア幅に対応したスライステーブルを作成する方法が挙げられている。
【００１４】
【特許文献１】
特開２００１−３５１２２８号公報
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
近年，磁気ディスク用磁気ヘッドのＷｒｉｔｅＧａｐおよびＲｅａｄＧａｐ幅寸法は狭小化が進展しており，検査ヘッドにも磁気ディスク用磁気ヘッドと同様のヘッドを使わなければ磁気ディスク上で問題となるＤｅｆｅｃｔの検出ができない状況となっている。
【００１６】
しかし，ＷｒｉｔｅＧａｐおよびＲｅａｄＧａｐ幅寸法の狭小化にともない発生した問題として，検査ヘッドごとに大きなＤｅｆｅｃｔ検出感度差が生じるという問題があった。この問題によって，従来のようなヘッド機種ごとに対する検査ヘッド動作パラメータの決定のみでは，Ｄｅｆｅｃｔテストができない状態となった。
【００１７】
図１０は，検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度を示す図である。図１０のグラフでは，縦軸にＤｅｆｅｃｔ個数，横軸に検査スライス値をとっている。図１０において，太実線で描かれたものは「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：平均」の検査ヘッドのバケットカーブであり，点線で描かれたものは「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：低」の検査ヘッドのバケットカーブであり，一点鎖線で描かれたものは「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高」の検査ヘッドのバケットカーブである。
【００１８】
実際には，図１０に示すように，検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度にはバラツキがあり，「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高」の検査ヘッドと「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：低」の検査ヘッドとの間には，大きなＤｅｆｅｃｔ検出感度差があった。
【００１９】
このような状態であるときにＤｅｆｅｃｔテストの品質を考えた場合，「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：低」の検査ヘッドの特性に合わせてテストで使用する検査スライス値を設定すれば，すべての検査ヘッドでＤｅｆｅｃｔテストを実施することが可能ではある。しかし，「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高〜平均」の検査ヘッドによって磁気ディスク媒体上のＤｅｆｅｃｔを過剰検出してしまうため，本来良品として扱える磁気ディスク媒体を不良品として棄てなければならず，満足な磁気ディスク媒体の生産歩留まりを得ることはできなくなってしまう。
【００２０】
また，「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高」の検査ヘッドの特性に合わせてテストで使用する検査スライス値を設定する場合には，「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：平均〜低」の検査ヘッドによるＤｅｆｅｃｔ見逃しが発生してしまい，Ｄｅｆｅｃｔテスト品質を低下させてしまう。
【００２１】
「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高」の検査ヘッドのみを適用することにより，過剰なＤｅｆｅｃｔテスト品質の磁気ディスク媒体を供給することができたとしても，検査ヘッド数量の確保難と生産歩留まりの低下を打開することはできない。
【００２２】
現状の欠陥検査装置の構成での運用を考えた場合，機器固有データにＤｅｆｅｃｔ検出感度の補正量を加味し実際の検査スライス値を得ることは可能であるが，操作および測定回路管理上，次のような欠点がある。
（１）機器固有データの元データを保管しておく必要がある。機器固有データを紛失した場合には，欠陥検査装置の補正ができなくなってしまう。
（２）機器固有データと補正値を加算し機器固有データに再設定する必要がある。この場合，作業者の誤りを皆無にすることはできず，実際の検査スライス値の信頼性が乏しい。
（３）新たな検査ヘッドを使用するために補正値を測定する場合には，機器固有データを元データに戻さなければならず，欠陥検査装置の操作が複雑になる。
【００２３】
また，前記特許文献１のようにリードコア幅と感度のバラツキに着目した方法は，Ｄｅｆｅｃｔ検出感度差のすべての要因を補正値に含ませているものではない。検査ヘッド取付け状態におけるＷｒｉｔｅ性能，Ｒｅａｄ性能および浮上姿勢などの総合的な感度変動要因を補正値に含ませる必要がある。
【００２４】
本発明は，上記問題点の解決を図り，前記特許文献１のようにリードコア幅測定用の特別なマイクロストリップトラックを作成しなくても，検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度を補正し，安定した欠陥検査を行うことができるようにすることを目的とする。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
本発明は，上記課題を達成するため，検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性を測定し，そのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性から検査ヘッドごとの補正値（以下，検査ヘッド補正値という）を求め，求められた検査ヘッド補正値を用いて検査スライス値を補正して欠陥検査を行うことを特徴とする。
【００２６】
これにより，検査ヘッドによるＤｅｆｅｃｔテスト判定のバラツキを除去し，安定したＤｅｆｅｃｔテストが可能となる。また，前記特許文献１のようなリードコア幅測定用の特別なマイクロストリップトラックの作成が不要となる。
【００２７】
また，本発明は，上記求められた検査ヘッドごとの検査ヘッド補正値を欠陥検査装置が固有に保持する測定チャネルごとの補正値（以下，測定チャネル補正値という）から独立して保持し，検査ヘッド補正値と測定チャネル補正値とを用いて検査スライス値を補正して欠陥検査を行うことを特徴とする。
【００２８】
これにより，本発明における磁気ディスク媒体の欠陥検査装置の操作環境が従来のものと同じものでよくなるため，不用意な操作誤りによるＤｅｆｅｃｔテストの信頼性低下も防止できる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の実施の形態について，図を用いて説明する。
【００３０】
図１は，本発明の実施の形態における磁気ディスク媒体の欠陥検査装置の構成例を示す図である。磁気ディスク媒体の欠陥検査装置において，検査スライス値１０は，欠陥検査装置全体で共通に用いるスライス値である。また，測定チャネル補正値１１は，各測定チャネルごとの補正値である。
【００３１】
検査ヘッド補正値１２は，検査ヘッド補正値算出手段２１により，検査ヘッド１６ごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性から求められた検査ヘッド１６ごとの補正値である。検査ヘッド補正値１２の求め方の詳細は，後述する。また，初期検査ヘッド補正値１３（＝０）は，検査ヘッド補正値１２を使用しない場合に使用する。欠陥検査装置の動作時には，検査ヘッド補正値１２と初期検査ヘッド補正値１３とのいずれか一方を，スイッチＳｗによって切替えて使用する。
【００３２】
初期検査ヘッド補正値１３（＝０）は，以下に示す状況で使用する。
（１）新たな検査ヘッド１６の検査ヘッド補正値１２を求めるためのＤｅｆｅｃｔ検出感度を測定するときに，それまで使用されていた検査ヘッド補正値１２の影響をなくす必要がある場合
新たな検査ヘッド１６の検査ヘッド補正値１２が正常に求められた場合には，新しい検査ヘッド１６に対応した検査ヘッド補正値１２が，対応する測定チャネルの検査ヘッド１６ごとの検査ヘッド補正値１２にセットされ，保持される。この時点で，初期検査ヘッド補正値１３はスイッチＳｗによって切り離される。
（２）検査ヘッド補正値１２を使用しないときに，検査ヘッド１６ごとの検査ヘッド補正値１２を０としなくても済むようにする場合
通常は，求めた検査ヘッド補正値１２が正常なものであるかを確認するために使用する。
【００３３】
ここで，初期検査ヘッド補正値１３とスイッチＳｗとを用いずに，検査ヘッド１６ごとの検査ヘッド補正値１２に０を与える方式も可能である。
【００３４】
検査スライス値１０と，測定チャネル補正値１１と，検査ヘッド補正値１２または初期検査ヘッド補正値１３（スイッチＳｗによって切替え）とを加算器１４によって加算し，実際の検査スライス値１５を求める。
【００３５】
検査ヘッド１６が検査対象となる磁気ディスク媒体２０から再生したＲｅａｄ信号は，アンプ１７を経由し，比較器１８によって実際の検査スライス値１５と比較される。その比較結果は，良否判定回路１９に出力される。
【００３６】
良否判定回路１９は，比較器１８の出力からＤｅｆｅｃｔを検出し，検出されたＤｅｆｅｃｔの数を磁気ディスク媒体２０ごとにカウントし，Ｄｅｆｅｃｔの数が所定のＤｅｆｅｃｔ許容個数を超えた磁気ディスク媒体２０を不良品と判定する。
【００３７】
検査ヘッド１６ごとの検査ヘッド補正値１２を算出する場合，検査ヘッド補正値算出手段２１は，良否判定回路１９からＤｅｆｅｃｔ個数を受け取り，検査ヘッド１６のＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性を求め，それをもとに検査ヘッド補正値１２を算出する。このとき，スイッチＳｗは初期検査ヘッド補正値１３側にしておく。
【００３８】
なお，図１では，検査ヘッド×２本，測定系×２チャネルでの構成を示したが，実際の欠陥検査装置は，テストタクト向上のために複数の検査ヘッド１６を用いて磁気ディスク媒体２０上の領域を分割しながらＤｅｆｅｃｔテストを行うため，検査ヘッド数分の検査ヘッド補正値１２を持つ構造となっている。例えば，８スピンドルの欠陥検査装置が，１スピンドルに４チャネルの測定系がある場合には，８×４＝３２の検査ヘッド補正値１２を持つ構造となる。
【００３９】
図２は，本実施の形態における各磁気ディスク媒体の欠陥検査装置が備える情報を説明する図である。磁気ディスク媒体の欠陥検査装置は，欠陥検査装置ごとの情報である機器固有データ３０を備え，機器固有データ３０は，測定チャネル補正値テーブル３１を備える。測定チャネル補正値テーブル３１には，欠陥検査装置の各スピンドル（Ｓｐ）の各測定チャネルごとの測定チャネル補正値１１が保持されている。
【００４０】
欠陥検査装置は，機器固有データ３０とは独立に，検査ヘッド補正値テーブル３２を備える。検査ヘッド補正値テーブル３２には，欠陥装置の各スピンドル（Ｓｐ）の各検査ヘッドごとの検査ヘッド補正値１２が保持されている。
【００４１】
欠陥検査装置は，共通の検査スライス値１０と，測定チャネル補正値テーブル３１の中の該当する測定チャネル補正値１１と，検査ヘッド補正値テーブル３２の中の該当する検査ヘッド補正値１２とを加算器１４によって加算し，各検査ヘッド１６に対応した実際の検査スライス値１５とする。ここで，スイッチＳｗが無効になっている場合には，検査ヘッド補正値１２の代わりに初期検査ヘッド補正値１３（＝０）が使用される。
【００４２】
実際の検査スライス値１５を用いることにより，各検査ヘッド１６のＤｅｆｅｃｔ検出感度に即したＤｅｆｅｃｔテストの実施が可能となる。
【００４３】
次に，検査ヘッド補正値算出手段２１による検査スライス値１０を補正するための検査ヘッド補正値１２の算出方法について，図３〜図５を用いて説明する。
【００４４】
図３は，本実施の形態における検査ヘッドのＤｅｆｅｃｔ検出感度の補正方法を説明する図である。図３のグラフでは，縦軸にＤｅｆｅｃｔ個数，横軸に検査スライス値をとっている。図３において，太実線で描かれたものは「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：平均」の検査ヘッドのバケットカーブであり，一点鎖線で描かれたものは「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高」の検査ヘッドのバケットカーブである。
【００４５】
図３において，「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：平均」の検査ヘッドのバケットカーブ上のＡ点は，Ｄｅｆｅｃｔテストの補正基準点となる点である。Ａ点は，欠陥検査装置の測定制御パラメータで任意の組合せが可能である。また，Ｎ（個）は，例えば，Ｄｅｆｅｃｔ許容個数やバケットカーブの立上がり点のＤｅｆｅｃｔ個数である。
【００４６】
いま，ある検査ヘッド１６についてＤｅｆｅｃｔ検出感度測定を行い，図３に一点鎖線で示す「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高」のバケットカーブが得られたものとする。得られた「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高」のバケットカーブ上の立上がり点（または，Ｄｅｆｅｃｔ個数がＤｅｆｅｃｔ許容個数である点など）の検査スライス値と，Ｄｅｆｅｃｔテストの補正基準点であるＡ点の検査スライス値との差を，補正量Ｖａｄとする。欠陥検査装置は，求められた補正量Ｖａｄを検査ヘッド補正値１２として検査ヘッド補正値テーブル３２に保持する。
【００４７】
なお，Ａ点より右側にバケットカーブが存在する場合と，Ａ点の左側にバケットカーブが存在する場合とでは，互いに補正量Ｖａｄの符号が逆となる。
【００４８】
図４は，本実施の形態におけるバケットカーブデータの平均化方法を説明する図である。Ｄｅｆｅｃｔ検出感度測定では，検査ヘッドをシークさせるキャリッジ機構の位置精度や，検査ヘッドの再生信号へ突発的に混入するノイズ信号による測定バラツキが発生することは否めない。よって，バケットカーブデータの平均化を行う必要がある。
【００４９】
図４に示す方法では，バケットカーブの測定を行う検査スライス幅（Ｓｓ〜Ｓｅ）を決定し，その範囲内で複数の検査スライス値Ｓｎについて測定を行っている。例えば，測定を行う検査スライス幅をＳｓ＝５５％〜Ｓｅ＝７５％にし，検査スライス値Ｓｎを５５％から７５％の間で１％刻みで変化させて測定を行う。
【００５０】
また，磁気ディスク媒体上の測定範囲として測定するＴｒａｃｋ数Ｍを指定し，Ｔｒａｃｋ“１”からＴｒａｃｋ“Ｍ”までのＴｒａｃｋについて，Ｔｒａｃｋごとの測定を行う。また，Ｔｒａｃｋごとの測定においては，さらにスライス種類（Ｍｐ，ＰＭ，ＮＭ，Ｅｐなど）ごとに測定を行う。また，Ｔｒａｃｋごとの測定回数ｍが指定されており，１Ｔｒａｃｋあたりｍ回の測定を行う。
【００５１】
図４において，まず，Ｔｒａｃｋ“１”について，検査スライス値がＳｎの場合のスライス種類ごとのＤｅｆｅｃｔ個数の測定をｍ回行い，スライス種類ごとにＤｅｆｅｃｔ個数平均値（＝ｍ回の測定によるＤｅｆｅｃｔ個数計／測定回数ｍ）を求める。
【００５２】
Ｔｒａｃｋ“２”からＴｒａｃｋ“Ｍ”まで，Ｔｒａｃｋ“１”の場合と同様の作業を繰り返す。スライス種類ごとにＴｒａｃｋ“１”からＴｒａｃｋ“Ｍ”までのＤｅｆｅｃｔ個数平均値を積算し，スライス種類ごとの検査スライス値ＳｎにおけるＤｅｆｅｃｔ個数を得る。
【００５３】
以上の作業を検査スライス幅（Ｓｓ〜Ｓｅ）の範囲内で検査スライス値Ｓｎを変えて実行することにより，スライス種類ごとのバケットカーブデータを得ることができる。
【００５４】
また，図４において平均化処理が不要な場合には，測定制御パラメータのＴｒａｃｋごとの測定回数ｍを１とすれば，１回の測定でバケットカーブデータを測定することができる。
【００５５】
図５は，本実施の形態における立上がり検査スライス値の近似方法を示す図である。図５のグラフでは，縦軸にＤｅｆｅｃｔ個数，横軸に検査スライス値をとっている。図４に示すようなＤｅｆｅｃｔ検出感度測定により測定点（測定した検査スライス値ごとのＤｅｆｅｃｔ個数）が得られ，その測定点を滑らかに結ぶことによりバケットカーブを得ることができる。
【００５６】
図５において，Ａ点は補正基準点であり，グラフでの座標（検査スライス値，Ｄｅｆｅｃｔ個数）は（Ｔｈｒ０，Ｎ）であるものとする。ここで，Ｎ（個）は，例えばＤｅｆｅｃｔ許容個数やバケットカーブの立上がり点のＤｅｆｅｃｔ個数である。Ｂ点は，Ｄｅｆｅｃｔ個数がＮより少なく，最もＮに近い測定点である。Ｃ点は，Ｄｅｆｅｃｔ個数がＮよりも多く，最もＮに近い測定点である。また，Ｄ点は，得られたバケットカーブ上でＤｅｆｅｃｔ個数がＮの点である。
【００５７】
図５に示すように，Ｂ点，Ｃ点は，必ずしも点Ａが示すＤｅｆｅｃｔ個数Ｎの直線上に出現するとは限らない。よって，補正量Ｖａｄを求めるためには，バケットカーブの立上がり検査スライス値（バケットカーブとＤｅｆｅｃｔ個数Ｎの直線との交点の検査スライス値）を，近似により求める必要がある。
【００５８】
図５の例では，Ｂ点とＣ点の２点を通る直線を求め，求められた直線とＤｅｆｅｃｔ個数Ｎの直線との交点（図５ではＥ点）の検査スライス値を立上がり検査スライス値（Ｔｈｒ２）としている。補正量Ｖａｄは，（Ｔｈｒ２−Ｔｈｒ０）により求められる。Ｄ点とＥ点との検査スライス値の差が近似誤差となる。
【００５９】
図５の例では立上がり検査スライス値の近似方法として直線近似による方法を用いているが，直線近似による方法では要求される近似誤差範囲を満たすことのできない場合には，要求される近似誤差範囲を満たす方法（例えば，多項式近似等の方法の適用）に置き換えれば，近似誤差を抑制することが可能となる。
【００６０】
以上，Ｄｅｆｅｃｔ検出感度を補正するための検査ヘッド補正値１２を求める方法について説明したが，検査ヘッドによっては補正の範囲を超えてしまうものもある。以下，Ｄｅｆｅｃｔ検出感度の測定時に，使用不可の検査ヘッドを選別（Ｒｅｊｅｃｔ）する方法について説明する。
【００６１】
図６は，本実施の形態におけるＤｅｆｅｃｔ検出感度による検査ヘッドの選別（Ｒｅｊｅｃｔ）方法を示す図である。図６（Ａ）では，検査ヘッドが選別（Ｒｅｊｅｃｔ）される場合の例を（ア）〜（エ）に示しており，図６（Ｂ）では，図６（Ａ）の（ア）〜（エ）に該当するバケットカーブの例を示している。図６（Ｂ）のグラフでは，縦軸にＤｅｆｅｃｔ個数，横軸に検査スライス値をとっている。Ｎ（個）は，例えばＤｅｆｅｃｔ許容個数である。
【００６２】
（ア）では，バケットスライス範囲内でバケットカーブがＤｅｆｅｃｔ許容個数に達しない検査ヘッドを選別（Ｒｅｊｅｃｔ）する。極端にＤｅｆｅｃｔ検出感度が低い検査ヘッドが選別（Ｒｅｊｅｃｔ）される。ここで，バケットスライス範囲は，例えば，図４のバケットカーブ測定の検査スライス範囲（Ｓｓ〜Ｓｅ）である。
【００６３】
（イ）では，バケットスライス範囲内でバケットカーブがＤｅｆｅｃｔ許容個数を複数回超える（バケットカーブがＤｅｆｅｃｔ許容個数の前後で増減している）検査ヘッドを選別（Ｒｅｊｅｃｔ）する。Ｄｅｆｅｃｔ検出感度が不安定な検査ヘッドが選別（Ｒｅｊｅｃｔ）される。
【００６４】
（ウ）では，バケットカーブがＬｏｗｅｒＬｉｍｉｔからＵｐｐｅｒＬｉｍｉｔの範囲内にない検査ヘッドを選別（Ｒｅｊｅｃｔ）する。ＬｏｗｅｒＬｉｍｉｔからＵｐｐｅｒＬｉｍｉｔは，任意に指定される。
【００６５】
（エ）では，バケットスライス範囲の下限でバケットカーブがＤｅｆｅｃｔ許容個数をすでに超えている検査ヘッドを選別（Ｒｅｊｅｃｔ）する。極端にＤｅｆｅｃｔ検出感度が高い検査ヘッドが選別（Ｒｅｊｅｃｔ）される。ここで，バケットスライス範囲の下限値は，例えば，図４のバケットカーブ測定の検査スライス範囲（Ｓｓ〜Ｓｅ）の開始測定値Ｓｎ＝Ｓｓである。
【００６６】
以上のように，検査ヘッドとして特性が満たないものの選別（Ｒｅｊｅｃｔ）が可能であるため，従来ではカットアンドトライ的に行っていた検査ヘッド交換作業を低減することが可能となり，欠陥検査装置の稼働率を向上させることも可能となる。
【００６７】
以上，本発明の実施の形態の特徴を列挙すると，以下の通りである。
【００６８】
（付記１）ディスク記憶媒体の欠陥を検出し，ディスク記憶媒体の良／不良を判定するディスク記憶媒体の欠陥検査方法であって，
検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性を測定する過程と，
前記検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性をもとに，検査ヘッドごとの補正値を求める過程と，
前記検査ヘッドごとの補正値を保持する過程と，
前記検査ヘッドごとの補正値を用いて検査スライス値を補正し，ディスク記憶媒体の欠陥検査を行う過程とを有する
ことを特徴とするディスク記憶媒体の欠陥検査方法。
【００６９】
（付記２）付記１に記載のディスク記憶媒体の欠陥検査方法において，
前記検査ヘッドごとの補正値を保持する過程では，前記検査ヘッドごとの補正値を，ディスク記憶媒体の欠陥検査装置が固有に保持する測定チャネルごとの補正値から独立して保持し，
前記ディスク記憶媒体の欠陥検査を行う過程では，前記検査スライス値を，前記検査ヘッドごとの補正値と前記測定チャネルごとの補正値とを用いて補正する
ことを特徴とするディスク記憶媒体の欠陥検査方法。
【００７０】
（付記３）ディスク記憶媒体の欠陥を検出し，ディスク記憶媒体の良／不良を判定するディスク記憶媒体の欠陥検査装置であって，
検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性をもとに，検査ヘッドごとの補正値を算出する手段と，
前記検査ヘッドごとの補正値を用いて検査スライス値を補正し，実際に使用する検査スライス値を算出する手段と，
欠陥検査の対象となるディスク記憶媒体から得られたＲｅａｄ信号と，前記実際に使用する検査スライス値とを比較した結果から，前記欠陥検査の対象となるディスク記憶媒体上の欠陥を抽出する手段と，
前記欠陥検査の対象となるディスク記憶媒体の欠陥数をもとに，前記欠陥検査の対象となるディスク記憶媒体の良／不良を判定する手段とを備える
ことを特徴とするディスク記憶媒体の欠陥検査装置。
【００７１】
（付記４）付記３に記載のディスク記憶媒体の欠陥検査装置において，
前記実際に使用する検査スライス値を算出する手段は，前記検査スライス値を，前記検査ヘッドごとの補正値と，前記ディスク記憶媒体の欠陥検査装置が固有に保持する測定チャネルごとの補正値とを用いて補正する
ことを特徴とするディスク記憶媒体の欠陥検査装置。
【００７２】
（付記５）ディスク記憶媒体の欠陥検査に使用する検査スライス値を検査ヘッドごとに補正する検査スライス値の補正方法であって，
検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性を測定する過程と，
前記検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性をもとに，前記検査ヘッドごとの補正値を求める過程とを有する
ことを特徴とする検査スライス値の補正方法。
【００７３】
（付記６）ディスク記憶媒体の欠陥検査に使用する検査スライス値を検査ヘッドごとに補正する検査スライス値の補正装置であって，
検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性を測定する手段と，
前記検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性をもとに，前記検査ヘッドごとの補正値を求める手段とを有する
ことを特徴とする検査スライス値の補正装置。
【００７４】
（付記７）ディスク記憶媒体の欠陥検査に使用する検査ヘッドの選別方法であって，
検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性を測定する過程と，
前記検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性をもとに，Ｄｅｆｅｃｔ検出感度の特性が異常な検査ヘッドを検出する過程と，
前記検出された異常な検査ヘッドを不良検査ヘッドとして選別する過程とを有する
ことを特徴とする検査ヘッドの選別方法。
【００７５】
（付記８）付記７に記載の検査ヘッドの選別方法において，
前記Ｄｅｆｅｃｔ検出感度の特性が異常な検査ヘッドを検出する過程では，ある所定の範囲内における前記Ｄｅｆｅｃｔ検出感度の特性と所定のＤｅｆｅｃｔ許容個数との大小関係により，異常な検査ヘッドを検出する
ことを特徴とする検査ヘッドの選別方法。
【００７６】
【発明の効果】
以上説明したように，本発明によれば，狭小化の進んだ磁気ヘッド等の検査ヘッドにおいても，使用者にとっては，検査ヘッドのＤｅｆｅｃｔ検出感度を意識せずに一様の検査スライス値でＤｅｆｅｃｔテストを実施することができ，欠陥検査装置の運用，Ｄｅｆｅｃｔテストのトレーサビリティの確保が可能となる。
【００７７】
以下に，本発明によって検査ヘッドのＤｅｆｅｃｔ検出感度を揃えることにより得られる効果を示す。
（１）Ｄｅｆｅｃｔの過剰検出による磁気ディスク媒体の生産歩留まりの低下を防止することが可能となる。実施データでは，Ｄｅｆｅｃｔ過剰検出を防ぐことにより，歩留まりを５〜１０％向上させることができている。
（２）微小レベル変動の欠陥を検出できる検査ヘッドが増える。実施データでは，Ｄｅｆｅｃｔ検出感度補正後の全検査ヘッドで，微小レベル変動の欠陥を検出させることができている。
（３）使用不可としていた検査ヘッドに適正な補正値を与えるため，検査ヘッド収率を上げることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における磁気ディスク媒体の欠陥検査装置の構成例を示す図である。
【図２】本実施の形態における各磁気ディスク媒体の欠陥検査装置が備える情報を説明する図である。
【図３】本実施の形態における検査ヘッドのＤｅｆｅｃｔ検出感度の補正方法を説明する図である。
【図４】本実施の形態におけるバケットカーブデータの平均化方法を説明する図である。
【図５】本実施の形態における立上がり検査スライス値の近似方法を示す図である。
【図６】本実施の形態におけるＤｅｆｅｃｔ検出感度による検査ヘッドの選別（Ｒｅｊｅｃｔ）方法を示す図である。
【図７】磁気ディスク媒体の欠陥検査を説明する図である。
【図８】従来の欠陥検査におけるバケットカーブの例を示す図である。
【図９】従来の磁気ディスク媒体の欠陥検査装置の構成例を示す図である。
【図１０】検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度を示す図である。
【符号の説明】
１０ 検査スライス値
１１ 測定チャネル補正値
１２ 検査ヘッド補正値
１３ 初期検査ヘッド補正値
１４ 加算器
１５ 実際の検査スライス値
１６ 検査ヘッド
１７ アンプ
１８ 比較器
１９ 良否判定回路
２０ 磁気ディスク媒体
２１ 検査ヘッド補正値算出手段
３０ 機器固有データ
３１ 測定チャネル補正値テーブル
３２ 検査ヘッド補正値テーブル
【発明の属する技術分野】
本発明は，磁気ディスクなどのディスク記憶媒体の欠陥検査の技術に関するものであり，特に，磁気ディスク媒体の欠陥検出のための磁気ヘッド（以下，検査ヘッドという）ごとの補正値を用いて検査スライス値を補正することにより，安定した欠陥検査を行うディスク記憶媒体の欠陥検査方法，ディスク記憶媒体の欠陥検査装置，検査スライス値の補正方法，検査スライス値の補正装置および検査ヘッドの選別方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図７は，磁気ディスク媒体の欠陥検査を説明する図である。図７（Ａ）は，検査ヘッド１０２によるＷｒｉｔｅ，Ｒｅａｄの例である。磁気ディスク媒体の欠陥検査装置の測定回路１０１は検査ヘッド１０２にＷｒｉｔｅ信号１０４を送り，検査ヘッド１０２は欠陥検査対象の磁気ディスク媒体１０３の検査トラックにＷｒｉｔｅ信号１０４を書き込む。その後，検査ヘッド１０２は，磁気ディスク媒体１０３の検査トラックに書き込まれたデータを再生し，得られた再生信号（Ｒｅａｄ信号１０５）を測定回路１０１に送る。測定回路１０１は，得られたＲｅａｄ信号１０５から，検査スライスを用いてＤｅｆｅｃｔを検出する。
【０００３】
図７（Ｂ）は，Ｄｅｆｅｃｔがない場合のＲｅａｄ信号１０５の例であり，図７（Ｃ）は，Ｄｅｆｅｃｔがある場合のＲｅａｄ信号１０５の例である。ＴＡＡ（＋），ＴＡＡ（−）は，トラックアンプリチュードアベレージ（トラック一周の出力再生波形の平均値）であり，検査スライスが１００％のレベルである。
【０００４】
測定回路１０１によるＤｅｆｅｃｔの検出において，検出可能なＤｅｆｅｃｔのレベルは検査スライスのレベルによって変わる。例えば，図７（Ｃ）において，測定回路１０１が５０％のレベルの検査スライス（図７（Ｃ）では点線）を用いて検査すると，通常のＤｅｆｅｃｔ１０６が検出される。また，図７（Ｃ）において，測定回路１０１がｎ％のレベル（ｎ＞５０）の検査スライス（図７（Ｃ）では破線）を用いて検査すると，通常のＤｅｆｅｃｔ１０６と微小レベル変動のＤｅｆｅｃｔ１０７とが検出される。
【０００５】
ここで，通常のＤｅｆｅｃｔ１０６や微小レベル変動のＤｅｆｅｃｔ１０７などのＤｅｆｅｃｔの発生原因は，媒体加工上の傷，スパッタ工程におけるスパッタ膜抜け等である。
【０００６】
従来の磁気ディスク媒体の欠陥検出用検査ヘッドでは，ヘッド機種ごとに検査ヘッド動作パラメータ（例えば，Ｗｒｉｔｅ電流，センス電流）を決定すれば，ヘッド機種内では略同様のＤｅｆｅｃｔ検出感度を得ることができた。
【０００７】
図８は，従来の欠陥検査におけるバケットカーブの例を示す図である。図８のグラフでは，縦軸にＤｅｆｅｃｔ個数（検出されるＤｅｆｅｃｔの個数），横軸に検査スライス値をとっている。図８において，太実線で描かれているのがバケットカーブである。
【０００８】
従来では，検査ヘッド動作パラメータ（Ｗｒｉｔｅ電流，センス電流）を決定すれば，ヘッド機種ごとに略一様のＤｅｆｅｃｔ検出感度が得られたので，ほとんどの検査ヘッドのバケットカーブは，一様に図８に示すような平均的なバケットカーブを描いていた。よって，例えば，Ｄｅｆｅｃｔ許容個数（磁気ディスク媒体として許容されるＤｅｆｅｃｔ数）が決まれば，ヘッド機種ごとに一様のテストで使用する検査スライス値が決定していた。
【０００９】
このような環境でのＤｅｆｅｃｔテストの品質に大きな影響を持つ要因としては欠陥検査装置が持つ測定チャネルごとのバラツキがあり，これを打開するために，測定チャネルごとの補正値を検査スライス値に加味して実際の検査スライス値としていた。
【００１０】
図９は，従来の磁気ディスク媒体の欠陥検査装置の構成例を示す図である。図９の構成例は，図８に示すような均一なバケット特性を持った検査ヘッドに対応していた欠陥検査装置の構成例である。省略されているが，図９の欠陥検査装置は２つ以上の測定チャネルを持っているものとする。
【００１１】
すべての測定チャネルに一様に用いる検査スライス値２０１と，各測定チャネルごとのバラツキを補正するための測定チャネル補正値２０２とが加算器（Ａｄｄｅｒ）２０３によって加算され，実際の検査スライス値として比較器２０４に入力される。検査ヘッド２０５が磁気ディスク媒体２０６から再生したＲｅａｄ信号は，アンプ２０７を経由し，比較器２０４に入力される。
【００１２】
比較器２０４は，実際の検査スライス値とＲｅａｄ信号とを比較し，その結果を良否判定回路２０８に出力する。良否判定回路２０８は，比較器２０４の出力からＤｅｆｅｃｔを検出し，Ｄｅｆｅｃｔが検出されると，各磁気ディスク媒体ごとに検出されたＤｅｆｅｃｔの数をカウントし，Ｄｅｆｅｃｔの数がＤｅｆｅｃｔ許容個数を超えた磁気ディスク媒体を不良品と判定する。
【００１３】
また，従来の磁気ディスク媒体の欠陥検査に関する技術として，検査ヘッドのリードコア幅にバラツキがあっても，磁気ディスク媒体の欠陥に対する感度バラツキがないようにする技術がある（例えば，特許文献１参照）。特許文献１には，検査ヘッドの実効リードコア幅に対応したスライステーブルを作成する方法が挙げられている。
【００１４】
【特許文献１】
特開２００１−３５１２２８号公報
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
近年，磁気ディスク用磁気ヘッドのＷｒｉｔｅＧａｐおよびＲｅａｄＧａｐ幅寸法は狭小化が進展しており，検査ヘッドにも磁気ディスク用磁気ヘッドと同様のヘッドを使わなければ磁気ディスク上で問題となるＤｅｆｅｃｔの検出ができない状況となっている。
【００１６】
しかし，ＷｒｉｔｅＧａｐおよびＲｅａｄＧａｐ幅寸法の狭小化にともない発生した問題として，検査ヘッドごとに大きなＤｅｆｅｃｔ検出感度差が生じるという問題があった。この問題によって，従来のようなヘッド機種ごとに対する検査ヘッド動作パラメータの決定のみでは，Ｄｅｆｅｃｔテストができない状態となった。
【００１７】
図１０は，検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度を示す図である。図１０のグラフでは，縦軸にＤｅｆｅｃｔ個数，横軸に検査スライス値をとっている。図１０において，太実線で描かれたものは「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：平均」の検査ヘッドのバケットカーブであり，点線で描かれたものは「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：低」の検査ヘッドのバケットカーブであり，一点鎖線で描かれたものは「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高」の検査ヘッドのバケットカーブである。
【００１８】
実際には，図１０に示すように，検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度にはバラツキがあり，「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高」の検査ヘッドと「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：低」の検査ヘッドとの間には，大きなＤｅｆｅｃｔ検出感度差があった。
【００１９】
このような状態であるときにＤｅｆｅｃｔテストの品質を考えた場合，「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：低」の検査ヘッドの特性に合わせてテストで使用する検査スライス値を設定すれば，すべての検査ヘッドでＤｅｆｅｃｔテストを実施することが可能ではある。しかし，「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高〜平均」の検査ヘッドによって磁気ディスク媒体上のＤｅｆｅｃｔを過剰検出してしまうため，本来良品として扱える磁気ディスク媒体を不良品として棄てなければならず，満足な磁気ディスク媒体の生産歩留まりを得ることはできなくなってしまう。
【００２０】
また，「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高」の検査ヘッドの特性に合わせてテストで使用する検査スライス値を設定する場合には，「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：平均〜低」の検査ヘッドによるＤｅｆｅｃｔ見逃しが発生してしまい，Ｄｅｆｅｃｔテスト品質を低下させてしまう。
【００２１】
「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高」の検査ヘッドのみを適用することにより，過剰なＤｅｆｅｃｔテスト品質の磁気ディスク媒体を供給することができたとしても，検査ヘッド数量の確保難と生産歩留まりの低下を打開することはできない。
【００２２】
現状の欠陥検査装置の構成での運用を考えた場合，機器固有データにＤｅｆｅｃｔ検出感度の補正量を加味し実際の検査スライス値を得ることは可能であるが，操作および測定回路管理上，次のような欠点がある。
（１）機器固有データの元データを保管しておく必要がある。機器固有データを紛失した場合には，欠陥検査装置の補正ができなくなってしまう。
（２）機器固有データと補正値を加算し機器固有データに再設定する必要がある。この場合，作業者の誤りを皆無にすることはできず，実際の検査スライス値の信頼性が乏しい。
（３）新たな検査ヘッドを使用するために補正値を測定する場合には，機器固有データを元データに戻さなければならず，欠陥検査装置の操作が複雑になる。
【００２３】
また，前記特許文献１のようにリードコア幅と感度のバラツキに着目した方法は，Ｄｅｆｅｃｔ検出感度差のすべての要因を補正値に含ませているものではない。検査ヘッド取付け状態におけるＷｒｉｔｅ性能，Ｒｅａｄ性能および浮上姿勢などの総合的な感度変動要因を補正値に含ませる必要がある。
【００２４】
本発明は，上記問題点の解決を図り，前記特許文献１のようにリードコア幅測定用の特別なマイクロストリップトラックを作成しなくても，検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度を補正し，安定した欠陥検査を行うことができるようにすることを目的とする。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
本発明は，上記課題を達成するため，検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性を測定し，そのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性から検査ヘッドごとの補正値（以下，検査ヘッド補正値という）を求め，求められた検査ヘッド補正値を用いて検査スライス値を補正して欠陥検査を行うことを特徴とする。
【００２６】
これにより，検査ヘッドによるＤｅｆｅｃｔテスト判定のバラツキを除去し，安定したＤｅｆｅｃｔテストが可能となる。また，前記特許文献１のようなリードコア幅測定用の特別なマイクロストリップトラックの作成が不要となる。
【００２７】
また，本発明は，上記求められた検査ヘッドごとの検査ヘッド補正値を欠陥検査装置が固有に保持する測定チャネルごとの補正値（以下，測定チャネル補正値という）から独立して保持し，検査ヘッド補正値と測定チャネル補正値とを用いて検査スライス値を補正して欠陥検査を行うことを特徴とする。
【００２８】
これにより，本発明における磁気ディスク媒体の欠陥検査装置の操作環境が従来のものと同じものでよくなるため，不用意な操作誤りによるＤｅｆｅｃｔテストの信頼性低下も防止できる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の実施の形態について，図を用いて説明する。
【００３０】
図１は，本発明の実施の形態における磁気ディスク媒体の欠陥検査装置の構成例を示す図である。磁気ディスク媒体の欠陥検査装置において，検査スライス値１０は，欠陥検査装置全体で共通に用いるスライス値である。また，測定チャネル補正値１１は，各測定チャネルごとの補正値である。
【００３１】
検査ヘッド補正値１２は，検査ヘッド補正値算出手段２１により，検査ヘッド１６ごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性から求められた検査ヘッド１６ごとの補正値である。検査ヘッド補正値１２の求め方の詳細は，後述する。また，初期検査ヘッド補正値１３（＝０）は，検査ヘッド補正値１２を使用しない場合に使用する。欠陥検査装置の動作時には，検査ヘッド補正値１２と初期検査ヘッド補正値１３とのいずれか一方を，スイッチＳｗによって切替えて使用する。
【００３２】
初期検査ヘッド補正値１３（＝０）は，以下に示す状況で使用する。
（１）新たな検査ヘッド１６の検査ヘッド補正値１２を求めるためのＤｅｆｅｃｔ検出感度を測定するときに，それまで使用されていた検査ヘッド補正値１２の影響をなくす必要がある場合
新たな検査ヘッド１６の検査ヘッド補正値１２が正常に求められた場合には，新しい検査ヘッド１６に対応した検査ヘッド補正値１２が，対応する測定チャネルの検査ヘッド１６ごとの検査ヘッド補正値１２にセットされ，保持される。この時点で，初期検査ヘッド補正値１３はスイッチＳｗによって切り離される。
（２）検査ヘッド補正値１２を使用しないときに，検査ヘッド１６ごとの検査ヘッド補正値１２を０としなくても済むようにする場合
通常は，求めた検査ヘッド補正値１２が正常なものであるかを確認するために使用する。
【００３３】
ここで，初期検査ヘッド補正値１３とスイッチＳｗとを用いずに，検査ヘッド１６ごとの検査ヘッド補正値１２に０を与える方式も可能である。
【００３４】
検査スライス値１０と，測定チャネル補正値１１と，検査ヘッド補正値１２または初期検査ヘッド補正値１３（スイッチＳｗによって切替え）とを加算器１４によって加算し，実際の検査スライス値１５を求める。
【００３５】
検査ヘッド１６が検査対象となる磁気ディスク媒体２０から再生したＲｅａｄ信号は，アンプ１７を経由し，比較器１８によって実際の検査スライス値１５と比較される。その比較結果は，良否判定回路１９に出力される。
【００３６】
良否判定回路１９は，比較器１８の出力からＤｅｆｅｃｔを検出し，検出されたＤｅｆｅｃｔの数を磁気ディスク媒体２０ごとにカウントし，Ｄｅｆｅｃｔの数が所定のＤｅｆｅｃｔ許容個数を超えた磁気ディスク媒体２０を不良品と判定する。
【００３７】
検査ヘッド１６ごとの検査ヘッド補正値１２を算出する場合，検査ヘッド補正値算出手段２１は，良否判定回路１９からＤｅｆｅｃｔ個数を受け取り，検査ヘッド１６のＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性を求め，それをもとに検査ヘッド補正値１２を算出する。このとき，スイッチＳｗは初期検査ヘッド補正値１３側にしておく。
【００３８】
なお，図１では，検査ヘッド×２本，測定系×２チャネルでの構成を示したが，実際の欠陥検査装置は，テストタクト向上のために複数の検査ヘッド１６を用いて磁気ディスク媒体２０上の領域を分割しながらＤｅｆｅｃｔテストを行うため，検査ヘッド数分の検査ヘッド補正値１２を持つ構造となっている。例えば，８スピンドルの欠陥検査装置が，１スピンドルに４チャネルの測定系がある場合には，８×４＝３２の検査ヘッド補正値１２を持つ構造となる。
【００３９】
図２は，本実施の形態における各磁気ディスク媒体の欠陥検査装置が備える情報を説明する図である。磁気ディスク媒体の欠陥検査装置は，欠陥検査装置ごとの情報である機器固有データ３０を備え，機器固有データ３０は，測定チャネル補正値テーブル３１を備える。測定チャネル補正値テーブル３１には，欠陥検査装置の各スピンドル（Ｓｐ）の各測定チャネルごとの測定チャネル補正値１１が保持されている。
【００４０】
欠陥検査装置は，機器固有データ３０とは独立に，検査ヘッド補正値テーブル３２を備える。検査ヘッド補正値テーブル３２には，欠陥装置の各スピンドル（Ｓｐ）の各検査ヘッドごとの検査ヘッド補正値１２が保持されている。
【００４１】
欠陥検査装置は，共通の検査スライス値１０と，測定チャネル補正値テーブル３１の中の該当する測定チャネル補正値１１と，検査ヘッド補正値テーブル３２の中の該当する検査ヘッド補正値１２とを加算器１４によって加算し，各検査ヘッド１６に対応した実際の検査スライス値１５とする。ここで，スイッチＳｗが無効になっている場合には，検査ヘッド補正値１２の代わりに初期検査ヘッド補正値１３（＝０）が使用される。
【００４２】
実際の検査スライス値１５を用いることにより，各検査ヘッド１６のＤｅｆｅｃｔ検出感度に即したＤｅｆｅｃｔテストの実施が可能となる。
【００４３】
次に，検査ヘッド補正値算出手段２１による検査スライス値１０を補正するための検査ヘッド補正値１２の算出方法について，図３〜図５を用いて説明する。
【００４４】
図３は，本実施の形態における検査ヘッドのＤｅｆｅｃｔ検出感度の補正方法を説明する図である。図３のグラフでは，縦軸にＤｅｆｅｃｔ個数，横軸に検査スライス値をとっている。図３において，太実線で描かれたものは「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：平均」の検査ヘッドのバケットカーブであり，一点鎖線で描かれたものは「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高」の検査ヘッドのバケットカーブである。
【００４５】
図３において，「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：平均」の検査ヘッドのバケットカーブ上のＡ点は，Ｄｅｆｅｃｔテストの補正基準点となる点である。Ａ点は，欠陥検査装置の測定制御パラメータで任意の組合せが可能である。また，Ｎ（個）は，例えば，Ｄｅｆｅｃｔ許容個数やバケットカーブの立上がり点のＤｅｆｅｃｔ個数である。
【００４６】
いま，ある検査ヘッド１６についてＤｅｆｅｃｔ検出感度測定を行い，図３に一点鎖線で示す「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高」のバケットカーブが得られたものとする。得られた「Ｄｅｆｅｃｔ検出感度：高」のバケットカーブ上の立上がり点（または，Ｄｅｆｅｃｔ個数がＤｅｆｅｃｔ許容個数である点など）の検査スライス値と，Ｄｅｆｅｃｔテストの補正基準点であるＡ点の検査スライス値との差を，補正量Ｖａｄとする。欠陥検査装置は，求められた補正量Ｖａｄを検査ヘッド補正値１２として検査ヘッド補正値テーブル３２に保持する。
【００４７】
なお，Ａ点より右側にバケットカーブが存在する場合と，Ａ点の左側にバケットカーブが存在する場合とでは，互いに補正量Ｖａｄの符号が逆となる。
【００４８】
図４は，本実施の形態におけるバケットカーブデータの平均化方法を説明する図である。Ｄｅｆｅｃｔ検出感度測定では，検査ヘッドをシークさせるキャリッジ機構の位置精度や，検査ヘッドの再生信号へ突発的に混入するノイズ信号による測定バラツキが発生することは否めない。よって，バケットカーブデータの平均化を行う必要がある。
【００４９】
図４に示す方法では，バケットカーブの測定を行う検査スライス幅（Ｓｓ〜Ｓｅ）を決定し，その範囲内で複数の検査スライス値Ｓｎについて測定を行っている。例えば，測定を行う検査スライス幅をＳｓ＝５５％〜Ｓｅ＝７５％にし，検査スライス値Ｓｎを５５％から７５％の間で１％刻みで変化させて測定を行う。
【００５０】
また，磁気ディスク媒体上の測定範囲として測定するＴｒａｃｋ数Ｍを指定し，Ｔｒａｃｋ“１”からＴｒａｃｋ“Ｍ”までのＴｒａｃｋについて，Ｔｒａｃｋごとの測定を行う。また，Ｔｒａｃｋごとの測定においては，さらにスライス種類（Ｍｐ，ＰＭ，ＮＭ，Ｅｐなど）ごとに測定を行う。また，Ｔｒａｃｋごとの測定回数ｍが指定されており，１Ｔｒａｃｋあたりｍ回の測定を行う。
【００５１】
図４において，まず，Ｔｒａｃｋ“１”について，検査スライス値がＳｎの場合のスライス種類ごとのＤｅｆｅｃｔ個数の測定をｍ回行い，スライス種類ごとにＤｅｆｅｃｔ個数平均値（＝ｍ回の測定によるＤｅｆｅｃｔ個数計／測定回数ｍ）を求める。
【００５２】
Ｔｒａｃｋ“２”からＴｒａｃｋ“Ｍ”まで，Ｔｒａｃｋ“１”の場合と同様の作業を繰り返す。スライス種類ごとにＴｒａｃｋ“１”からＴｒａｃｋ“Ｍ”までのＤｅｆｅｃｔ個数平均値を積算し，スライス種類ごとの検査スライス値ＳｎにおけるＤｅｆｅｃｔ個数を得る。
【００５３】
以上の作業を検査スライス幅（Ｓｓ〜Ｓｅ）の範囲内で検査スライス値Ｓｎを変えて実行することにより，スライス種類ごとのバケットカーブデータを得ることができる。
【００５４】
また，図４において平均化処理が不要な場合には，測定制御パラメータのＴｒａｃｋごとの測定回数ｍを１とすれば，１回の測定でバケットカーブデータを測定することができる。
【００５５】
図５は，本実施の形態における立上がり検査スライス値の近似方法を示す図である。図５のグラフでは，縦軸にＤｅｆｅｃｔ個数，横軸に検査スライス値をとっている。図４に示すようなＤｅｆｅｃｔ検出感度測定により測定点（測定した検査スライス値ごとのＤｅｆｅｃｔ個数）が得られ，その測定点を滑らかに結ぶことによりバケットカーブを得ることができる。
【００５６】
図５において，Ａ点は補正基準点であり，グラフでの座標（検査スライス値，Ｄｅｆｅｃｔ個数）は（Ｔｈｒ０，Ｎ）であるものとする。ここで，Ｎ（個）は，例えばＤｅｆｅｃｔ許容個数やバケットカーブの立上がり点のＤｅｆｅｃｔ個数である。Ｂ点は，Ｄｅｆｅｃｔ個数がＮより少なく，最もＮに近い測定点である。Ｃ点は，Ｄｅｆｅｃｔ個数がＮよりも多く，最もＮに近い測定点である。また，Ｄ点は，得られたバケットカーブ上でＤｅｆｅｃｔ個数がＮの点である。
【００５７】
図５に示すように，Ｂ点，Ｃ点は，必ずしも点Ａが示すＤｅｆｅｃｔ個数Ｎの直線上に出現するとは限らない。よって，補正量Ｖａｄを求めるためには，バケットカーブの立上がり検査スライス値（バケットカーブとＤｅｆｅｃｔ個数Ｎの直線との交点の検査スライス値）を，近似により求める必要がある。
【００５８】
図５の例では，Ｂ点とＣ点の２点を通る直線を求め，求められた直線とＤｅｆｅｃｔ個数Ｎの直線との交点（図５ではＥ点）の検査スライス値を立上がり検査スライス値（Ｔｈｒ２）としている。補正量Ｖａｄは，（Ｔｈｒ２−Ｔｈｒ０）により求められる。Ｄ点とＥ点との検査スライス値の差が近似誤差となる。
【００５９】
図５の例では立上がり検査スライス値の近似方法として直線近似による方法を用いているが，直線近似による方法では要求される近似誤差範囲を満たすことのできない場合には，要求される近似誤差範囲を満たす方法（例えば，多項式近似等の方法の適用）に置き換えれば，近似誤差を抑制することが可能となる。
【００６０】
以上，Ｄｅｆｅｃｔ検出感度を補正するための検査ヘッド補正値１２を求める方法について説明したが，検査ヘッドによっては補正の範囲を超えてしまうものもある。以下，Ｄｅｆｅｃｔ検出感度の測定時に，使用不可の検査ヘッドを選別（Ｒｅｊｅｃｔ）する方法について説明する。
【００６１】
図６は，本実施の形態におけるＤｅｆｅｃｔ検出感度による検査ヘッドの選別（Ｒｅｊｅｃｔ）方法を示す図である。図６（Ａ）では，検査ヘッドが選別（Ｒｅｊｅｃｔ）される場合の例を（ア）〜（エ）に示しており，図６（Ｂ）では，図６（Ａ）の（ア）〜（エ）に該当するバケットカーブの例を示している。図６（Ｂ）のグラフでは，縦軸にＤｅｆｅｃｔ個数，横軸に検査スライス値をとっている。Ｎ（個）は，例えばＤｅｆｅｃｔ許容個数である。
【００６２】
（ア）では，バケットスライス範囲内でバケットカーブがＤｅｆｅｃｔ許容個数に達しない検査ヘッドを選別（Ｒｅｊｅｃｔ）する。極端にＤｅｆｅｃｔ検出感度が低い検査ヘッドが選別（Ｒｅｊｅｃｔ）される。ここで，バケットスライス範囲は，例えば，図４のバケットカーブ測定の検査スライス範囲（Ｓｓ〜Ｓｅ）である。
【００６３】
（イ）では，バケットスライス範囲内でバケットカーブがＤｅｆｅｃｔ許容個数を複数回超える（バケットカーブがＤｅｆｅｃｔ許容個数の前後で増減している）検査ヘッドを選別（Ｒｅｊｅｃｔ）する。Ｄｅｆｅｃｔ検出感度が不安定な検査ヘッドが選別（Ｒｅｊｅｃｔ）される。
【００６４】
（ウ）では，バケットカーブがＬｏｗｅｒＬｉｍｉｔからＵｐｐｅｒＬｉｍｉｔの範囲内にない検査ヘッドを選別（Ｒｅｊｅｃｔ）する。ＬｏｗｅｒＬｉｍｉｔからＵｐｐｅｒＬｉｍｉｔは，任意に指定される。
【００６５】
（エ）では，バケットスライス範囲の下限でバケットカーブがＤｅｆｅｃｔ許容個数をすでに超えている検査ヘッドを選別（Ｒｅｊｅｃｔ）する。極端にＤｅｆｅｃｔ検出感度が高い検査ヘッドが選別（Ｒｅｊｅｃｔ）される。ここで，バケットスライス範囲の下限値は，例えば，図４のバケットカーブ測定の検査スライス範囲（Ｓｓ〜Ｓｅ）の開始測定値Ｓｎ＝Ｓｓである。
【００６６】
以上のように，検査ヘッドとして特性が満たないものの選別（Ｒｅｊｅｃｔ）が可能であるため，従来ではカットアンドトライ的に行っていた検査ヘッド交換作業を低減することが可能となり，欠陥検査装置の稼働率を向上させることも可能となる。
【００６７】
以上，本発明の実施の形態の特徴を列挙すると，以下の通りである。
【００６８】
（付記１）ディスク記憶媒体の欠陥を検出し，ディスク記憶媒体の良／不良を判定するディスク記憶媒体の欠陥検査方法であって，
検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性を測定する過程と，
前記検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性をもとに，検査ヘッドごとの補正値を求める過程と，
前記検査ヘッドごとの補正値を保持する過程と，
前記検査ヘッドごとの補正値を用いて検査スライス値を補正し，ディスク記憶媒体の欠陥検査を行う過程とを有する
ことを特徴とするディスク記憶媒体の欠陥検査方法。
【００６９】
（付記２）付記１に記載のディスク記憶媒体の欠陥検査方法において，
前記検査ヘッドごとの補正値を保持する過程では，前記検査ヘッドごとの補正値を，ディスク記憶媒体の欠陥検査装置が固有に保持する測定チャネルごとの補正値から独立して保持し，
前記ディスク記憶媒体の欠陥検査を行う過程では，前記検査スライス値を，前記検査ヘッドごとの補正値と前記測定チャネルごとの補正値とを用いて補正する
ことを特徴とするディスク記憶媒体の欠陥検査方法。
【００７０】
（付記３）ディスク記憶媒体の欠陥を検出し，ディスク記憶媒体の良／不良を判定するディスク記憶媒体の欠陥検査装置であって，
検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性をもとに，検査ヘッドごとの補正値を算出する手段と，
前記検査ヘッドごとの補正値を用いて検査スライス値を補正し，実際に使用する検査スライス値を算出する手段と，
欠陥検査の対象となるディスク記憶媒体から得られたＲｅａｄ信号と，前記実際に使用する検査スライス値とを比較した結果から，前記欠陥検査の対象となるディスク記憶媒体上の欠陥を抽出する手段と，
前記欠陥検査の対象となるディスク記憶媒体の欠陥数をもとに，前記欠陥検査の対象となるディスク記憶媒体の良／不良を判定する手段とを備える
ことを特徴とするディスク記憶媒体の欠陥検査装置。
【００７１】
（付記４）付記３に記載のディスク記憶媒体の欠陥検査装置において，
前記実際に使用する検査スライス値を算出する手段は，前記検査スライス値を，前記検査ヘッドごとの補正値と，前記ディスク記憶媒体の欠陥検査装置が固有に保持する測定チャネルごとの補正値とを用いて補正する
ことを特徴とするディスク記憶媒体の欠陥検査装置。
【００７２】
（付記５）ディスク記憶媒体の欠陥検査に使用する検査スライス値を検査ヘッドごとに補正する検査スライス値の補正方法であって，
検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性を測定する過程と，
前記検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性をもとに，前記検査ヘッドごとの補正値を求める過程とを有する
ことを特徴とする検査スライス値の補正方法。
【００７３】
（付記６）ディスク記憶媒体の欠陥検査に使用する検査スライス値を検査ヘッドごとに補正する検査スライス値の補正装置であって，
検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性を測定する手段と，
前記検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性をもとに，前記検査ヘッドごとの補正値を求める手段とを有する
ことを特徴とする検査スライス値の補正装置。
【００７４】
（付記７）ディスク記憶媒体の欠陥検査に使用する検査ヘッドの選別方法であって，
検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性を測定する過程と，
前記検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性をもとに，Ｄｅｆｅｃｔ検出感度の特性が異常な検査ヘッドを検出する過程と，
前記検出された異常な検査ヘッドを不良検査ヘッドとして選別する過程とを有する
ことを特徴とする検査ヘッドの選別方法。
【００７５】
（付記８）付記７に記載の検査ヘッドの選別方法において，
前記Ｄｅｆｅｃｔ検出感度の特性が異常な検査ヘッドを検出する過程では，ある所定の範囲内における前記Ｄｅｆｅｃｔ検出感度の特性と所定のＤｅｆｅｃｔ許容個数との大小関係により，異常な検査ヘッドを検出する
ことを特徴とする検査ヘッドの選別方法。
【００７６】
【発明の効果】
以上説明したように，本発明によれば，狭小化の進んだ磁気ヘッド等の検査ヘッドにおいても，使用者にとっては，検査ヘッドのＤｅｆｅｃｔ検出感度を意識せずに一様の検査スライス値でＤｅｆｅｃｔテストを実施することができ，欠陥検査装置の運用，Ｄｅｆｅｃｔテストのトレーサビリティの確保が可能となる。
【００７７】
以下に，本発明によって検査ヘッドのＤｅｆｅｃｔ検出感度を揃えることにより得られる効果を示す。
（１）Ｄｅｆｅｃｔの過剰検出による磁気ディスク媒体の生産歩留まりの低下を防止することが可能となる。実施データでは，Ｄｅｆｅｃｔ過剰検出を防ぐことにより，歩留まりを５〜１０％向上させることができている。
（２）微小レベル変動の欠陥を検出できる検査ヘッドが増える。実施データでは，Ｄｅｆｅｃｔ検出感度補正後の全検査ヘッドで，微小レベル変動の欠陥を検出させることができている。
（３）使用不可としていた検査ヘッドに適正な補正値を与えるため，検査ヘッド収率を上げることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における磁気ディスク媒体の欠陥検査装置の構成例を示す図である。
【図２】本実施の形態における各磁気ディスク媒体の欠陥検査装置が備える情報を説明する図である。
【図３】本実施の形態における検査ヘッドのＤｅｆｅｃｔ検出感度の補正方法を説明する図である。
【図４】本実施の形態におけるバケットカーブデータの平均化方法を説明する図である。
【図５】本実施の形態における立上がり検査スライス値の近似方法を示す図である。
【図６】本実施の形態におけるＤｅｆｅｃｔ検出感度による検査ヘッドの選別（Ｒｅｊｅｃｔ）方法を示す図である。
【図７】磁気ディスク媒体の欠陥検査を説明する図である。
【図８】従来の欠陥検査におけるバケットカーブの例を示す図である。
【図９】従来の磁気ディスク媒体の欠陥検査装置の構成例を示す図である。
【図１０】検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度を示す図である。
【符号の説明】
１０ 検査スライス値
１１ 測定チャネル補正値
１２ 検査ヘッド補正値
１３ 初期検査ヘッド補正値
１４ 加算器
１５ 実際の検査スライス値
１６ 検査ヘッド
１７ アンプ
１８ 比較器
１９ 良否判定回路
２０ 磁気ディスク媒体
２１ 検査ヘッド補正値算出手段
３０ 機器固有データ
３１ 測定チャネル補正値テーブル
３２ 検査ヘッド補正値テーブル
Claims (5)
- ディスク記憶媒体の欠陥を検出し，ディスク記憶媒体の良／不良を判定するディスク記憶媒体の欠陥検査方法であって，
検査ヘッドごとに，検査スライス値の大きさと検出されるＤｅｆｅｃｔ個数との関係を示すバケットカーブデータを，少なくとも所定の検査スライス幅において検査スライス値を所定の単位で変化させて各々の検査スライス値におけるＤｅｆｅｃｔ個数を計測することにより取得する過程と，
予め定められた平均的なＤｅｆｅｃｔ検出感度を持つ検査ヘッドのバケットカーブにおける立上がり点またはＤｅｆｅｃｔ許容個数に対応する検査スライス値を補正基準点として，前記取得したバケットカーブデータが示すバケットカーブにおける立上がり点または前記Ｄｅｆｅｃｔ許容個数に該当する検査スライス値と前記補正基準点の検査スライス値との差を，前記検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性に基づく補正値として算出する過程と，
前記検査ヘッドごとの補正値を保持する過程と，
前記検査ヘッドごとの補正値を用いて検査スライス値を補正し，ディスク記憶媒体の欠陥検査を行う過程とを有する ことを特徴とするディスク記憶媒体の欠陥検査方法。 - ディスク記憶媒体の欠陥を検出し，ディスク記憶媒体の良／不良を判定するディスク記憶媒体の欠陥検査装置であって，
検査ヘッドごとに，検査スライス値の大きさと検出されるＤｅｆｅｃｔ個数との関係を示すバケットカーブデータを，少なくとも所定の検査スライス幅において検査スライス値を所定の単位で変化させて各々の検査スライス値におけるＤｅｆｅｃｔ個数を計測することにより取得する手段と，
予め定められた平均的なＤｅｆｅｃｔ検出感度を持つ検査ヘッドのバケットカーブにおける立上がり点またはＤｅｆｅｃｔ許容個数に対応する検査スライス値を補正基準点として，前記取得したバケットカーブデータが示すバケットカーブにおける立上がり点または前記Ｄｅｆｅｃｔ許容個数に該当する検査スライス値と前記補正基準点の検査スライス値との差を，前記検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性に基づく補正値として算出する手段と，
前記検査ヘッドごとの補正値を保持する手段と，
前記検査ヘッドごとの補正値を用いて検査スライス値を補正し，実際に使用する検査スライス値を算出する手段と，
欠陥検査の対象となるディスク記憶媒体から得られたＲｅａｄ信号と，前記実際に使用する検査スライス値とを比較した結果から，前記欠陥検査の対象となるディスク記憶媒体上の欠陥を抽出する手段と，
前記欠陥検査の対象となるディスク記憶媒体の欠陥数をもとに，前記欠陥検査の対象となるディスク記憶媒体の良／不良を判定する手段とを備える ことを特徴とするディスク記憶媒体の欠陥検査装置。 - ディスク記憶媒体の欠陥検査に使用する検査スライス値を検査ヘッドごとに補正する検査スライス値の補正方法であって，
検査ヘッドごとに，検査スライス値の大きさと検出されるＤｅｆｅｃｔ個数との関係を示すバケットカーブデータを，少なくとも所定の検査スライス幅において検査スライス値を所定の単位で変化させて各々の検査スライス値におけるＤｅｆｅｃｔ個数を計測することにより取得する過程と，
予め定められた平均的なＤｅｆｅｃｔ検出感度を持つ検査ヘッドのバケットカーブにおける立上がり点またはＤｅｆｅｃｔ許容個数に対応する検査スライス値を補正基準点として，前記取得したバケットカーブデータが示すバケットカーブにおける立上がり点または前記Ｄｅｆｅｃｔ許容個数に該当する検査スライス値と前記補正基準点の検査スライス値との差を，前記検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性に基づく補正値として算出する過程と，
前記検査ヘッドごとの補正値を用いて，ディスク記憶媒体の欠陥検査に用いる検査スライス値を補正する過程とを有する ことを特徴とする検査スライス値の補正方法。 - ディスク記憶媒体の欠陥検査に使用する検査スライス値を検査ヘッドごとに補正する検査スライス値の補正装置であって，
検査ヘッドごとに，検査スライス値の大きさと検出されるＤｅｆｅｃｔ個数との関係を示すバケットカーブデータを，少なくとも所定の検査スライス幅において検査スライス値を所定の単位で変化させて各々の検査スライス値におけるＤｅｆｅｃｔ個数を計測することにより取得する手段と，
予め定められた平均的なＤｅｆｅｃｔ検出感度を持つ検査ヘッドのバケットカーブにおける立上がり点またはＤｅｆｅｃｔ許容個数に対応する検査スライス値を補正基準点として，前記取得したバケットカーブデータが示すバケットカーブにおける立上がり点または前記Ｄｅｆｅｃｔ許容個数に該当する検査スライス値と前記補正基準点の検査スライス値との差を，前記検査ヘッドごとのＤｅｆｅｃｔ検出感度の特性に基づく補正値として算出する手段と，
前記検査ヘッドごとの補正値を用いて，ディスク記憶媒体の欠陥検査に用いる検査スライス値を補正する手段とを有する ことを特徴とする検査スライス値の補正装置。 - ディスク記憶媒体の欠陥検査に使用する検査ヘッドの選別方法であって，
検査ヘッドごとに，検査スライス値の大きさと検出されるＤｅｆｅｃｔ個数との関係を示すバケットカーブデータを，少なくとも所定の検査スライス幅において検査スライス値を所定の単位で変化させて各々の検査スライス値におけるＤｅｆｅｃｔ個数を計測することにより取得する過程と，
前記検査スライス幅において取得したバケットカーブデータが示すバケットカーブと所定のＤｅｆｅｃｔ許容個数との大小関係により，異常な検査ヘッドを検出する過程と，
前記検出された異常な検査ヘッドを不良検査ヘッドとして選別する過程とを有する ことを特徴とする検査ヘッドの選別方法。
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