JP3897561B2

JP3897561B2 - Plastic sheet having inorganic material thin film and method for producing the same

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Publication number: JP3897561B2
Application number: JP2001325192A
Authority: JP
Inventors: 忠宏古川; 一郎別宮; 俊明菊地; 純一福岡; 亮一斉藤
Original assignee: Kyodo Printing Co Ltd
Current assignee: Kyodo Printing Co Ltd
Priority date: 2000-10-31
Filing date: 2001-10-23
Publication date: 2007-03-28
Anticipated expiration: 2021-10-23
Also published as: JP2002219766A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、無機材料薄膜を有するプラスチックシート及びその製造方法に関するものである。このようなプラスチックシートは、特に、無機材料薄膜として透明導電膜を用いて液晶表示素子の透明電極を形成するのに利用することができる。
【０００２】
【従来の技術】
従来、各種電子機器において液晶表示素子を用いた液晶表示装置が用いられている。液晶表示素子では、それぞれ片面に電極を形成した２枚の基板の間に液晶層を挟持しており、少なくとも一方の基板の電極をパターン状に形成し、また少なくとも一方の基板を電極を含めて透明なものとし、表示画素に対応する領域ごとに１対の基板上電極で液晶層の所要領域に所要の電圧を印加することで、表示を行っている。１対の基板の電極を互いに直交する方向のストライプ状に形成し、各基板上で多数のストライプ状電極を互いに並列に配置することで、所要の表示画素に対応する１対の電極を選択して表示を行うことも可能である。
【０００３】
このような液晶表示素子において、近年、軽量化のため及びその際の基板薄型化に伴う破損の危険性の低減のために、ＩＴＯなどの金属酸化物からなる電極を担持する基板として従来のガラス板に代えてプラスチック材料からなる基材が利用されており、このようなプラスチックシート基材上に無機材料からなる電極薄膜を形成したプラスチックシートが製造されている。
【０００４】
ところで、以上のような無機材料からなる電極薄膜を形成したプラスチックシートは、プラスチックシート基材上に直接ＩＴＯなどの透明導電膜をスパッタ法などで形成すると、成膜時の熱の影響を受けて、良好な性能のものが得られない。
【０００５】
そこで、透明導電膜を形成する際には、ガラス基板などの剛性の高いものの表面に剥離層を介して形成し、その上に接着剤を塗布し、以上のようにしてガラス基板上に形成された転写体層を所要のプラスチックシート基材の表面に上記転写体層の接着剤により接合し、該接着剤を常温で硬化させ、然る後に転写体層をプラスチックシート基材と一体的にガラス基板から剥離することで、プラスチックシート基材上に接着剤層により固着された透明導電膜からなる電極薄膜を有するプラスチックシートを形成する。
【０００６】
これによれば、プラスチックシート基材上に良好な性能（例えば低抵抗）の電極薄膜を形成することができる。
【０００７】
また、カラー表示用の液晶表示素子の場合には、プラスチックシート基材上に電極薄膜に加えてカラーフィルタも形成される。以上のような転写法でプラスチックシートを製造する場合には、ガラス基板上に転写体層を形成する際に該転写体層中にカラーフィルタ層をも作り込む。
【０００８】
以上のようなプラスチックシート及びその製造方法については、例えば、特開２０００−４７０２３号公報に記載がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、以上のような転写法を用いたプラスチックシートの製造においては、接着剤を硬化させると、該接着剤が収縮し、得られたプラスチックシートに反りが発生するという問題点があった。この反りは、透明導電膜の形成されている側が凹となるように発生する。
【００１０】
以上のようなプラスチックシートの製造における転写は、通常、液晶表示素子の表示画面の大きさのもの（単面）ごとになされることはなく、多数の表示素子のプラスチックシートを切り出しで得ることができるような（即ち、多数個［例えば４０〜５０個］採りができるような）大板でなされる。従って、転写法で製造されたプラスチックシートは、後工程で、各表示素子に適合する寸法及び形状に切断された上で、表示素子の製造に使用される。また、後工程として、各表示素子に適合する寸法及び形状に切断される前に、配向膜の付与やその配向処理などが行われる場合がある。
【００１１】
従って、以上のようなプラスチックシートの反りがあると、後工程での加工の際の位置決めなどを良好に行うことができなくなり、甚だしい場合には加工自体が困難になるという問題があった。
【００１２】
また、後工程で行われる処理であって各表示素子に適合する寸法及び形状に切断される前に行われる処理の際の加熱によっても、プラスチックシートの反りが発生することがある。例えば、配向膜の形成の際には前処理として水洗及びそれに続く加熱乾燥が行われ、その際にプラスチックシートは約１２０℃に加熱される。この加熱により、プラスチックシートを構成する部材の熱膨張率の差に基づきプラスチックシートに反りが発生し、この反りは室温に戻した時も直ちには解消せず解消に長い時間かかるという不利がある。
【００１３】
特に、プラスチックシートの外周部において、上記の反りが顕著に現れる。これは、外周部においては周囲が自由端縁とされているため、プラスチックシート内の反り発生の応力に従って容易に反りが発生するからである。
【００１４】
プラスチックシートに反りが発生した場合には、後工程で加工の際のプラスチックシートの搬送・位置決めのための真空吸着を自動的に行うことが困難になり、その都度搬送・位置決めのためにプラスチックシート外周部の反り即ちめくれ上りを作業者が修正し、真空吸着させることが必要となり、作業性は著しく低下する。
【００１５】
そこで、本発明は、反り特に外周部の反りの発生しにくい無機材料薄膜を有するプラスチックシート及びその製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１６】
また、本発明は、後工程での加熱処理により発生する反りを迅速に解消させることが可能な無機材料薄膜を有するプラスチックシート及びその製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
プラスチックからなるシート基材に硬化型接着剤からなる接着剤層を介して無機材料薄膜が形成されているプラスチックシートであって、
前記無機材料薄膜は、前記シート基材の中央部に対応する領域に所要パターンに形成された中央部分と、該中央部分の所要パターンから独立して前記シート基材の外周部に対応する領域に形成された外周部分とを含んでなることを特徴とする、無機材料薄膜を有するプラスチックシート、
が提供される。
【００１８】
本発明の一態様においては、前記無機材料薄膜の外周部分は、隣接する前記シート基材の辺の方向に対して非平行に延びる部分を少なくとも有するパターンに形成されている。本発明の一態様においては、前記無機材料薄膜は透明導電膜である。本発明の一態様においては、前記透明導電膜はヤング率が２×１０⁴ ｋｇｆ／ｍｍ² より大きく且つ結晶粒径が０．００５μｍ〜０．１μｍのＩＴＯを含んでなる。
【００１９】
本発明の一態様においては、前記シート基材と前記無機材料薄膜の中央部分との間には該中央部分の所要パターンに対応してカラーフィルタ層が形成されている。本発明の一態様においては、前記カラーフィルタ層と前記無機材料薄膜の中央部分との間には中間層が形成されている。
【００２０】
本発明の一態様においては、前記無機材料薄膜の中央部分の所要パターンは複数の単位パターン部を配列してなるものである。本発明の一態様においては、前記単位パターン部は複数のパターンの繰り返し配列からなる。本発明の一態様においては、前記無機材料薄膜の中央部分の所要パターンは互いに隣接する前記単位パターン部の間の領域に位置する中間パターン部を含んでなるものであり、該中間パターン部は前記単位パターン部の複数のパターンの方向に対して非平行に延びるパターン状に形成されている。
【００２１】
本発明の一態様においては、前記硬化型接着剤はカチオン重合型の光硬化型接着剤である。
【００２２】
また、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
プラスチックからなるシート基材に硬化型接着剤からなる接着剤層を介して無機材料薄膜が形成されているプラスチックシートであって、
前記無機材料薄膜は、それぞれが複数のパターンの繰り返し配列からなる複数の単位パターン部と、互いに隣接する前記単位パターン部の間の領域に位置する中間パターン部とを含んでなるものであり、該中間パターン部は前記単位パターン部の複数のパターンの方向に対して非平行に延びるパターン状に形成されていることを特徴とする、無機材料薄膜を有するプラスチックシート、
が提供される。
【００２３】
本発明の一態様においては、前記無機材料薄膜は透明導電膜である。本発明の一態様においては、前記透明導電膜はヤング率が２×１０⁴ ｋｇｆ／ｍｍ² より大きく且つ結晶粒径が０．００５μｍ〜０．１μｍのＩＴＯを含んでなる。
【００２４】
本発明の一態様においては、前記シート基材と前記無機材料薄膜の単位パターン部との間には該単位パターン部のパターンに対応してカラーフィルタ層が形成されている。本発明の一態様においては、前記カラーフィルタ層と前記無機材料薄膜の単位パターン部との間には中間層が形成されている。本発明の一態様においては、前記硬化型接着剤はカチオン重合型の光硬化型接着剤である。
【００２５】
更に、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
プラスチックからなるシート基材に硬化型接着剤からなる接着剤層を介して無機材料薄膜が形成されているプラスチックシートを製造する方法であって、
支持基板上に、剥離層を形成し、該剥離層上に前記無機材料薄膜を形成し、該無機材料薄膜の形成の際にその中央部分を所要パターンに形成し且つ該中央部分の所要パターンから独立して外周部分を形成し、その上に硬化型接着剤を塗布することで、転写体層を形成し、
該転写体層の硬化型接着剤に前記シート基材を貼合し、前記硬化型接着剤を硬化させ、前記転写体層を前記シート基材とともに前記剥離層にて前記基板から剥離することで、
前記シート基材の中央部に対応する領域に所要パターンに形成された中央部分と、該中央部分の所要パターンから独立して前記シート基材の外周部に対応する領域に形成された外周部分とを含んでなる前記無機材料薄膜を有するプラスチックシートを得ることを特徴とする、プラスチックシートの製造方法、
が提供される。
【００２６】
本発明の一態様においては、前記転写体層の形成に際して、前記無機材料薄膜の上に中間層を形成し、該中間層上に前記無機材料薄膜の中央部分に対応するようにカラーフィルタ層を形成する。
【００２７】
本発明の一態様においては、前記無機材料薄膜の形成の際に、その中央部分の所要パターンとして、それぞれが複数のパターンの繰り返し配列からなる複数の単位パターン部と、互いに隣接する前記単位パターン部の間の領域に位置し且つ前記単位パターン部の複数のパターンの方向に対して非平行に延びるパターンに形成されている中間パターン部とを含んでなるものを形成する。
【００２８】
本発明の一態様においては、前記硬化型接着剤としてカチオン重合型の光硬化型接着剤を使用し、該硬化型接着剤を硬化させるために光照射の後に行われる加熱の際に前記シート基材及び前記転写体層を固定する。
【００２９】
また、本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
プラスチックからなるシート基材に硬化型接着剤からなる接着剤層を介して無機材料薄膜が形成されているプラスチックシートを製造する方法であって、
支持基板上に、剥離層を形成し、該剥離層上に前記無機材料薄膜を形成し、該無機材料薄膜の形成の際に、それぞれが複数のパターンの繰り返し配列からなる複数の単位パターン部と、互いに隣接する前記単位パターン部の間の領域に位置し且つ前記単位パターン部の複数のパターンの方向に対して非平行に延びるパターンに形成されている中間パターン部とを形成し、その上に硬化型接着剤を塗布することで、転写体層を形成し、
該転写体層の硬化型接着剤に前記シート基材を貼合し、前記硬化型接着剤を硬化させ、前記転写体層を前記シート基材とともに前記剥離層にて前記基板から剥離することで、
前記複数の単位パターン部と前記中間パターン部とを含んでなる前記無機材料薄膜を有するプラスチックシートを得ることを特徴とする、プラスチックシートの製造方法、
が提供される。
【００３０】
本発明の一態様においては、前記転写体層の形成に際して、前記無機材料薄膜の上に中間層を形成し、該中間層上に前記無機材料薄膜の単位パターン部に対応するようにカラーフィルタ層を形成する。本発明の一態様においては、前記硬化型接着剤としてカチオン重合型の光硬化型接着剤を使用し、該硬化型接着剤を硬化させるために光照射の後に行われる加熱の際に前記シート基材及び前記転写体層を固定する。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【００３２】
図１は本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの一実施形態を示す模式的平面図であり、図２はその模式的断面図である。本実施形態は、液晶表示素子用の透明電極を有するプラスチックシートであり、無機材料薄膜として透明導電膜を使用している。
【００３３】
図において、符号２はシート基材（プラスチックシート基材）を示し、符号４は接着剤層を示し、符号６は透明導電膜を示す。また、符号１０は、矩形状をなすプラスチックシート基材２の中央部分を示し、符号１２は、プラスチックシート基材２の幅Ｗの外周部分を示す。
【００３４】
図１に示されているように、プラスチックシート基材中央部分１０は透明導電膜６のパターンにより形成される縦３×横４＝１２個の単位パターン部Ｐ１〜Ｐ１２を有する。これらの単位パターン部は、液晶表示素子の画面サイズと同等の寸法をなしている。各単位パターン部は、同等の透明導電膜パターン（例えば図示されているような一方向に互いに平行に配列された並列ストライプ状パターン）に形成されており、プラスチックシートから個別の液晶表示素子のための電極膜シートを得る際には、この単位パターン部ごとに切り出されるものである。
【００３５】
図１に示されているように、プラスチックシート基材外周部分１２には、プラスチックシート基材中央部分に形成されている透明導電膜６と同等の材料で同等の厚さに形成された透明導電膜６ａが形成されている。該導電膜６ａは、図１での矩形状プラスチックシート基材の上辺部において、該上辺と直交する方向に細長く形成されたストライプが多数並列配置されている。また、左右両辺にも、これら辺の上半部に図示されているように、各辺と直交する方向に細長く形成されたストライプが多数並列配置されている。そして、辺どうしが交わる隅部においては、例えば左上隅部に示されているように頂点から各辺に対し斜め４５度の方向を境界として、それぞれ隣接する辺と直交するような鍵形の形状とされている。或は、例えば右上隅部に示されているように、頂点から各辺に対し斜め４５度の方向を向いたストライプを配置してもよい。
【００３６】
プラスチックシート基材外周部分１２の幅Ｗは、例えば５〜１０ｍｍ程度である。また、透明導電膜６ａがプラスチックシート基材外周部分１２に占める面積割合は、例えば１０％〜９０％である。
【００３７】
透明導電膜６ａは、その他の形状が可能である。例えば、図１の右下隅部の近傍に記載されているように、隅部では右上隅部と同様に斜め４５度の方向となし且つ各辺に沿って隅部に近付くに従って次第にストライプの傾きを隅部ストライプのものに近づくように変化させたものが例示される。また、図１の左隅部の近傍に記載されているように、各辺に対して４５度をなすような直交格子状にしたものが例示される。
【００３８】
透明導電膜６ａは、プラスチックシートの外周部における反り又はめくれ上りの発生を防止するための補強部としての機能を有するものであり、上記のように各辺に対して非平行の方向性を有する形状にパターニングされているのが好ましい。換言すれば、各辺に対して直交する方向の成分（例えば４０〜９０度の方向性）を持つようにパターニングされているのが好ましい。
【００３９】
以上説明した透明導電膜６ａの形態では、プラスチックシート基材２の各辺での反り発生防止が隅部近傍に至るまで十分になされることに加えて、隅部においても反り発生防止に有効なように各辺に対して頂角の半分の角度だけ傾いた方向性（又はその方向の成分）を持つように形成しているので、隅部での反り発生が十分に防止される。
【００４０】
尚、本発明においては、透明導電膜６ａをプラスチックシート基材２の外周部の全面にいわゆるベタで形成してもよいが、プラスチックシート製造の際に後述のような転写法を利用する場合には、上記実施形態のような非ベタのパターンに形成するのが、剥離の際の損傷の発生を抑制し、剥離作業を容易にすることができるので、好ましい。
【００４１】
プラスチックシート基材２の材料としては、ポリエーテルスルホン、ポリエステル、ポリカーボネート、ナイロン、ポリアリレート、アクリル樹脂、ポリイミド等を用いることができる。プラスチックシート基材２の厚さは、例えば１００〜４００μｍの範囲である。このように、本発明でいうプラスチックシート基材はプラスチックフィルムをも含むものである。
【００４２】
接着剤層４を形成する接着剤は硬化型のものであり、特にラジカル重合型やカチオン重合型の紫外線硬化型などのエポキシ系やアクリル系の光硬化型ものが好ましい。なかでも、カチオン重合型の光硬化型の接着剤が好ましい。この接着剤は、カチオン重合の際に、光照射により酸が発生し、この酸が触媒となって重合が進行していくものであり、ラジカル重合型のものに比べて時間をかけて硬化していく特徴がある。この比較的長い硬化時間内に、硬化収縮による応力を緩和することができるため、発生する反りを小さくすることができる。接着剤層４の厚さは、例えば２〜１５μｍの範囲である。
【００４３】
透明導電膜６，６ａは、無機材料薄膜からなり、例えばＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）、酸化スズ、酸化亜鉛などが例示されるが、特にＩＴＯが好ましい。透明導電膜６の厚さは、例えば０．１〜０．４μｍの範囲である。
【００４４】
透明導電膜６，６ａは、上側表面層が酸化シリコンなどの無機絶縁薄膜（厚さが例えば５ｎｍ〜３０ｎｍ）からなる複合膜とすることができる。このような無機絶縁薄膜は、光透過性を損なうことが少なく、空気や水分などがＩＴＯなどに侵入するのをブロックする機能を有し、更にシートの反りなどに基づき歪みが生じた場合にＩＴＯなどにクラックが発生するのを防止する機能をも有する。
【００４５】
尚、透明導電膜６，６ａ上には、接着剤層４をも覆うようにして保護層が形成されていてもよい。このような保護層としては、アクリル樹脂やポリイミド樹脂、又はゾル・ゲル法で形成される無機酸化物からなるものが例示でき、その厚さは例えば０．５〜５μｍの範囲である。
【００４６】
以上の実施形態では、各単位パターン部の透明導電膜６がストライプ状である例が示されているが、本発明では透明導電膜６は各単位パターン部においてベタの電極であってもよい。この様な場合を含めて、本発明においては、無機材料薄膜の外周部分のパターンは、無機材料薄膜の中央部分のパターンに起因するプラスチックシートの反りを緩和、解消するように設定される。
【００４７】
図３は本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの他の実施形態を示す模式的断面図である。本実施形態は、上記図１及び図２に関し説明した実施形態のものに更に層を付加したものであり、模式的平面図は上記図１と同等である。
【００４８】
本実施形態では、接着剤層４上にカラーフィルタ層１４が形成されており、該カラーフィルタ層１４上には接着剤層４をも覆うようにして中間層１６が形成されており、該中間層１６上に透明導電膜６，６ａが形成されている。
【００４９】
カラーフィルタ層１４は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）のフィルタからなり、例えば各色の顔料を分散した感光性レジストにより形成することができる。カラーフィルタ層１４は、フィルタＲ、Ｇ及びＢが１組となるようにして多数の組が配列されており、Ｒ、Ｇ及びＢのフィルタの組でカラー画素を表示するのに利用される。カラーフィルタ層１４は、基体中央部分１０上の透明導電膜６と対応して配置されており、基体外周部分１２上の透明導電膜６ａと対応する位置には配置されていない。
【００５０】
中間層１６は、例えばアクリル系樹脂からなり、その厚さは例えば０．５〜５μｍの範囲である。
【００５１】
本実施形態のものも、反り発生の防止の機能は、上記図１及び図２に関し説明した実施形態のものと同様である。
【００５２】
次に、以上のような、本発明の無機材料薄膜を有するプラスチックシートの製造方法の実施形態を、具体的実施例と共に説明する。
【００５３】
図４〜図１２は、上記図３の実施形態のプラスチックシートの製造工程を示す模式的断面図である。
【００５４】
先ず、図４に示すように、耐熱性を有する転写のための支持基板２０として、例えば一辺が３００ｍｍ〜１０００ｍｍの四角形の、シリカコートされたガラス板を用意する［実施例では、支持基板２０としてシリカコートされた一辺が３００ｍｍのガラス板を用意した］。そして、転写のための剥離層２２を形成するための塗布性絶縁膜の塗布材料として、ピロメット酸無水物と４，４’−ジアミノジフェニルエーテルとを反応させて生成したポリイミド前駆体ワニス（ジメチルアセトアミド溶液、固形分比１０％）にシランカップリング剤ＫＢＭ−５７３（信越シリコン（株）製）を０．０５wt％（固形分比）添加したものを準備する。その後、支持基板２０上に上記の塗布材料をスピンコーターを用いて膜厚が例えば４μｍになるように回転数及び時間を調整した条件で塗膜を形成する。この塗膜をホットプレートを用いて２６０℃、１０分の条件で加熱、脱水閉環し、ポリイミドからなる剥離層２２を形成する。
【００５５】
次に、図５に示すように、剥離層２２の上にスパッタ法により２３０℃の基板温度でＳｉＯ₂ を１５ｎｍ、次いでＩＴＯ（indium tin oxide）を１５０ｎｍの膜厚で成膜し、透明導電層２４を形成する。
【００５６】
次に、図６に示すように、フォトリソグラフィー法により、レジスト膜を形成しパターニングして得られるレジストパターンをマスクとして用いて、透明導電層２４をエッチングして、所要パターンの透明導電膜６，６ａを形成する［実施例では、この際、透明導電膜６ａとして隣接する基板辺と垂直になるように長さ１０ｍｍで１００μｍのＬ／Ｓのパターンに形成した］。また、比較のために、外周部の透明導電膜６ａを形成しないサンプルを作製した。
【００５７】
ＩＴＯは、スパッタ法の他に、イオンプレーティング法あるいは電子ビーム蒸着法等の公知の方法によって形成することができる。これらの成膜法により形成されたＩＴＯを公知のエッチング法を用いてパターン化することができる。本発明では、このパターン化の際に、仮の基板（転写基板）として、セラミックス、ガラス、金属（４２アロイ、銅合金の熱膨張の小さい金属材料が好適である）の単体、あるいはそれらの複数を積層し複合したものなどの耐熱性及び寸法安定性に優れた基板、特に好ましくはガラス基板を用いるので、たとえば１００ｍｍに対し約±３μｍ以下の寸法精度でＩＴＯを得ることができる。
【００５８】
このようなＩＴＯに必要とされる膜特性としては、主に良好な光透過率と小さな抵抗値であるが、その他、転写後にプラスチックシートから受ける力（シートの伸縮、曲げ等による力）に対する適性も大事である。ＩＴＯは、たとえば１０００〜２０００オングストロームの薄い膜であり、その硬さについて、超微小硬さ試験機で測定することができる。この硬さ試験機は、圧子駆動部に変位計が装備され、圧子の押し込み深さを測定し、押し込み深さから硬さを求めるもので、これを連続的に測定することによって、弾性変形量、塑性変形量、試験力の保持中におけるクリープ変形量等の情報を得ることができる。この超微小硬さ試験機でＩＴＯの物性を測定したところ、本発明に適用する上で良好なＩＴＯとしては、ＩＴＯの膜厚の１０％相当分を押し込んだとき、弾性変形量が塑性変形量より大きいものが好ましく、そのヤング率は２×１０⁴ ｋｇｆ／ｍｍ² より大きいものがよいことがわかった。また、その好ましいＩＴＯをＳＥＭで観察したところ、その結晶のグレンサイズ（粒径）は０．００５μｍ〜０．１μｍであり、０．１μｍより大きい場合にはクラックやしわ等の欠陥が発生しやすいことが判明した。なお、グレンサイズが０．００５μｍより小さい膜の成膜は難しく、しかも低抵抗のものは得られない。なお、硬度の測定は、下地の影響を少なくするため、測定条件、環境を同一とし、素ガラス上にＩＴＯを成膜したもので行った。
【００５９】
次に、図７に示すように、透明導電膜６，６ａの上にアクリル系のコーティング剤を用いて、４μｍの膜厚の中間層１６を形成する。
【００６０】
次に、図８に示すように、中間層１６の上に、顔料分散タイプの感光性赤色レジストを塗布し、露光及び現像して、赤色画素部に赤色カラーフィルタＲを形成する。次に、同様にして、顔料分散タイプの感光性緑色レジストを塗布し、露光及び現像して、緑色画素部に緑色カラーフィルタＧを形成する。次に、同様にして、顔料分散タイプの感光性青色レジストを塗布し、露光及び現像して、青色画素部に青色カラーフィルタＢを形成する。これにより、Ｒ，Ｇ，Ｂからなるカラーフィルタ層１４が形成される。
【００６１】
その後、図９に示すように、カラーフィルタ層１４の上にカチオン重合型の紫外線硬化型接着剤ＫＲ−４００（旭電化（株）製）をロールコーターなどにより厚さ８μｍに塗布して、未硬化接着剤層２６を形成する。これにより、剥離層２２、透明導電膜６，６ａ、中間層１６、カラーフィルタ層１４及び未硬化接着剤層２６からなる転写体層を有する転写基板１００が完成する。
【００６２】
尚、上述した剥離層形成工程では、ガラス基板２０の側面を覆うように、スピンコート法でガラス基板上に剥離層２２を形成し、かつガラス基板２０の側面の剥離層はガラス基板２０の側面が露出しない程度の薄い膜厚に調整するのが好ましい。
【００６３】
次に、以下に、上述した方法で製造した転写基板１００の転写体層をプラスチックシート基材に転写する方法を説明する。
【００６４】
図１０に示すように、転写基板１００の接着剤層２６に１２０μｍの膜厚のポリカーボネート樹脂からなるプラスチックシート基材２を貼合する［実施例では、このプラスチックシート基材２は使用前において定盤上で使用面（接着剤層２６と貼合される面）を上に静置して反りの発生がないものを使用した］。次に、プラスチックシート基材２側からパルスキセノンランプで４００ショットのＵＶ（紫外線）照射を行い、光硬化型樹脂である接着剤層２６を硬化させることで、硬化接着剤層４によりプラスチックシート基材２を転写基板１００に接合する。
【００６５】
次に、図１１に示すように、転写基板１００に接合したプラスチックシート基材２の一端を直径２００ｍｍのロール８０に固定し、このロールを回転させながらプラスチックシート基材２を引き剥がす。このとき、転写基板１００のガラス基板２０と剥離層２２との界面で剥離が発生して、剥離層２２、透明導電膜６，６ａ、中間層１６、カラーフィルタ層１４及び接着剤層４がプラスチックシート基材２側に転写される。尚、ロール８０は、透明導電膜６のストライプの長手方向と平行になるように（即ち、図１の上下方向になるように）プラスチックシート基材２に固定するのが、剥離を容易にし、且つ透明導電膜６及びカラーフィルタ層１４の損傷を防止する点から好ましい。
【００６６】
次に、図１２に示すように、転写体層が転写されたプラスチックシート基材２を、ヒドラジンとエチレンジアミンとの混合液に１０分間浸漬して剥離層２２を除去し、水洗する。プラスチックシート基材２に転写された剥離層２２は、ヒドラジンとエチレンジアミンとの混合液で容易に溶解され、除去される。透明導電膜６，６ａの表面層としてＳｉＯ₂ 層が形成されているので、剥離層２２の除去の際にＩＴＯがダメージを受けるのを防止することができる。この透明導電膜６，６ａの表面層の機能は、剥離層２２の除去に酸素プラズマなどによる乾式エッチングを用いた場合にも発揮される。
【００６７】
次に、以上のようにして得られたプラスチックシートを平板上に置き、反り上がっている四つ角を軽く抑えた状態で加熱処理を行い、硬化型接着剤層４を完全に硬化させる［実施例では、１２０℃にて１時間の加熱処理を行った］。また、参考のために、プラスチックシートの四つ角を抑えない状態で加熱処理を行ったサンプルを作製した。
【００６８】
これにより、透明導電膜６，６ａ及びカラーフィルタ層１４を有するプラスチックシートが得られる。尚、これにより得られたプラスチックシートは、その端縁部分が接着剤などの異常膜厚や取扱に伴う汚染を伴い易いので、その場合には該端縁部分を切除することが望ましい。これにより、図３に示されるプラスチックシートが得られる。
【００６９】
以上のようにして実施して得られた透明導電膜６及びカラーフィルタ層１４を有するプラスチックシートを、プラスチックシート基材２側の面が定盤面に接するようにして静置すると、プラスチックシート基材２の外周部に対応する領域に透明導電膜６ａの１００μｍのＬ／Ｓパターンを形成し且つプラスチックシートの四つ角を抑えた状態で加熱処理して得られたもの（Ａ）は、加熱処理の当初からプラスチックシートに反りはなかった。また、プラスチックシート基材２の外周部に対応する領域に透明導電膜６ａの１００μｍのＬ／Ｓパターンを形成し且つプラスチックシートの四つ角を抑えない状態で加熱処理して得られたもの（Ｂ）は、加熱処理直後には反りがあったが、１時間後には反りが消滅した。これに対して、プラスチックシート基材２の外周部に対応する領域に透明導電膜６ａを形成せず且つプラスチックシートの四つ角を抑えない状態で加熱処理して得られたもの（Ｃ）は、加熱処理直後に反りがあり、１日後でも３ｍｍの反りが残留していた。
【００７０】
以上のプラスチックシート（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）を、それぞれ洗浄し、更に１２０℃にて２０分間の加熱処理（再加熱処理）をプラスチックシートの四つ角を抑えない状態で行ったところ、（Ａ）では、再加熱処理直後には反り（特に、単位パターンの透明導電膜６のストライプ状パターンと垂直の方向に関する反り）があったが、１０分後には反りが消滅した。（Ｂ）では、再加熱処理直後には反りがあったが、１時間後には反りが消滅した。（Ｃ）では、再加熱処理の前から反りがあり、再加熱処理の後においても反りが消滅しなかった。
【００７１】
図１及び図２の実施形態のプラスチックシートの製造も、同様にして行うことができる。この場合には、上記図４〜図１２の工程で、転写体層の形成に際してカラーフィルタ層１４及び中間層１６の形成を省略すれば良い。これにより得られる透明導電膜６を有するプラスチックシートについても、反りに関して図３の実施形態のプラスチックシートと同様な特性を示した。
【００７２】
図１３は本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの他の実施形態を示す模式的平面図であり、図１４はその模式的断面図である。
【００７３】
本実施形態では、無機材料薄膜としての透明導電膜は、上記実施形態と同様な透明導電膜６，６ａに加えて、単位パターン部Ｐ１〜Ｐ１２の互いに隣接するものどうしの間の領域に位置する中間パターン部Ｑをも含んでなるものである。該中間パターン部Ｑは、単位パターン部の複数のパターンの方向に対して非平行の方向に延びる複数のストライプパターンに形成されている。即ち、中間パターン部Ｑを構成する複数の透明導電膜６ｂは、単位パターン部Ｐ１〜Ｐ１２のストライプ状パターンの透明導電膜６の方向に対して直交する方向に延びている。但し、透明導電膜６ｂは、透明導電膜６の方向に対して必ずしも直交する必要はなく、例えば４０〜９０度の範囲内で傾いた方向に延びていてもよい。
【００７４】
透明導電膜６ｂは、透明導電膜６，６ａと同様な材質からなり同様な厚さに形成される。中間パターン部Ｑの幅Ｗ’は、例えば１０〜２０ｍｍ程度である。また、透明導電膜６ｂが中間パターン部Ｑに対応するプラスチックシート基材の領域に占める面積割合は、例えば５０％〜９０％であり，好ましくは７０％〜９０％である。透明導電膜６ｂは、例えば１００μｍＬ／１０μｍＳのパターンに形成することができる、その長さは適宜設定される。
【００７５】
また、本実施形態においては、図３に関し説明した実施形態と同様にして、カラーフィルタ層及び中間層をも形成することができる（透明導電膜６ｂに対応する位置にはカラーフィルタ層は形成されない）。
【００７６】
本実施形態において、透明導電膜６ａに基づく反り発生の防止の機能は、上記図１〜図３に関し説明した実施形態のものと同様である。更に、本実施形態においては、中間パターン部Ｑの透明導電膜６ｂが透明導電膜６の方向と非平行な方向である直交方向に延びているので、プラスチックシートが透明導電膜６の方向と直交する方向に関して反りを生ずるのを抑制することができる。更に、プラスチックシートが後工程で加熱処理を受ける際に発生する反りを常温復帰後に短時間で消滅させることができる。
【００７７】
本実施形態によれば、上記（Ａ）〜（Ｃ）に関して行ったと同様して得たプラスチックシートについて同様の工程を行ったところ、透明導電膜６ａに基づく反り発生の防止効果に加えて、透明導電膜６ｂに基づく反り発生の防止効果が得られることから、反り発生の防止または発生した反りの消滅の効果が一層大きくなった。
【００７８】
図１５は本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの他の実施形態を示す模式的部分平面図である。
【００７９】
本実施形態は、外周部分１２が存在しないことを除いて上記図１３〜１４の実施形態と同様である。本実施形態では、透明導電膜６ａに基づく反り発生の防止効果が得られない点で図１３〜１４の実施形態よりも劣るが、上記のような透明導電膜６ｂに基づく反り発生の防止効果は得られる。
【００８０】
本実施形態では、透明導電膜６ｂの方向と同一の方向に延びている中間パターン部Ｑにおいて、透明導電膜６ｂが千鳥状に配列されている。これにより、透明導電膜６ｂの方向に関して該透明導電膜６ｂが途切れることがなくなり、反り防止効果が高められる。
【００８１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、反り特に外周部の反りの発生しにくい無機材料薄膜を有するプラスチックシート及びその製造方法が提供される。
【００８２】
また、本発明によれば、後工程での加熱処理により発生する反りを迅速に解消させることが可能な無機材料薄膜を有するプラスチックシート及びその製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの一実施形態を示す模式的平面図である。
【図２】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの一実施形態の模式的断面図である。
【図３】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの他の実施形態を示す模式的断面図である。
【図４】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの製造工程を示す模式的断面図である。
【図５】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの製造工程を示す模式的断面図である。
【図６】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの製造工程を示す模式的断面図である。
【図７】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの製造工程を示す模式的断面図である。
【図８】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの製造工程を示す模式的断面図である。
【図９】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの製造工程を示す模式的断面図である。
【図１０】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの製造工程を示す模式的断面図である。
【図１１】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの製造工程を示す模式的断面図である。
【図１２】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの製造工程を示す模式的断面図である。
【図１３】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの他の実施形態を示す模式的平面図である。
【図１４】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの他の実施形態の模式的断面図である。
【図１５】本発明による無機材料薄膜を有するプラスチックシートの他の実施形態を示す模式的部分平面図である。
【符号の説明】
２プラスチックシート基材
４接着剤層
６，６ａ，６ｂ透明導電膜
１０プラスチックシート基材中央部
１２プラスチックシート基材外周部
１４カラーフィルタ層
１６中間層
Ｐ１〜Ｐ１２単位パターン部
Ｑ中間パターン部
Ｒ，Ｇ，Ｂカラーフィルタ
２０支持基板
２２剥離層
２４透明導電層
２６未硬化接着剤層
８０ロール
１００転写基板[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a plastic sheet having an inorganic material thin film and a method for producing the same. Such a plastic sheet can be particularly used to form a transparent electrode of a liquid crystal display element using a transparent conductive film as an inorganic material thin film.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, liquid crystal display devices using liquid crystal display elements have been used in various electronic devices. In a liquid crystal display element, a liquid crystal layer is sandwiched between two substrates each having an electrode formed on one side, electrodes on at least one substrate are formed in a pattern, and at least one substrate includes the electrodes. Display is performed by applying a required voltage to a required region of the liquid crystal layer with a pair of electrodes on the substrate for each region corresponding to the display pixel. A pair of electrodes on a substrate is formed in a stripe shape perpendicular to each other, and a plurality of stripe electrodes are arranged in parallel on each substrate to select a pair of electrodes corresponding to a required display pixel. It is also possible to perform display.
[0003]
In such a liquid crystal display element, in recent years, a conventional glass is used as a substrate for supporting an electrode made of a metal oxide such as ITO in order to reduce the weight and reduce the risk of breakage due to the thinning of the substrate. A base material made of a plastic material is used in place of the plate, and a plastic sheet in which an electrode thin film made of an inorganic material is formed on such a plastic sheet base material is manufactured.
[0004]
By the way, the plastic sheet in which the electrode thin film made of the inorganic material as described above is formed by directly forming a transparent conductive film such as ITO on the plastic sheet substrate by a sputtering method or the like is affected by the heat during film formation. A product with good performance cannot be obtained.
[0005]
Therefore, when forming a transparent conductive film, it is formed on the surface of a highly rigid material such as a glass substrate through a release layer, and an adhesive is applied on the surface. The transfer layer is bonded to the surface of the required plastic sheet substrate with the adhesive of the transfer layer, the adhesive is cured at room temperature, and then the transfer layer is made of glass integrally with the plastic sheet substrate. By peeling from the substrate, a plastic sheet having an electrode thin film made of a transparent conductive film fixed by an adhesive layer on the plastic sheet substrate is formed.
[0006]
According to this, the electrode thin film of favorable performance (for example, low resistance) can be formed on a plastic sheet base material.
[0007]
In the case of a liquid crystal display element for color display, a color filter is formed on the plastic sheet substrate in addition to the electrode thin film. When a plastic sheet is produced by the transfer method as described above, a color filter layer is also formed in the transfer material layer when the transfer material layer is formed on the glass substrate.
[0008]
About the above plastic sheet and its manufacturing method, Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-47023 has description, for example.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the production of a plastic sheet using the transfer method as described above, there is a problem that when the adhesive is cured, the adhesive shrinks and the resulting plastic sheet is warped. This warp occurs so that the side on which the transparent conductive film is formed is concave.
[0010]
The transfer in the production of the plastic sheet as described above is usually not performed for each display screen size (single surface) of the liquid crystal display element, and the plastic sheets of many display elements can be obtained by cutting out. It is made of a large plate that can be obtained (that is, a large number [for example, 40 to 50] can be picked). Therefore, the plastic sheet manufactured by the transfer method is cut into a size and shape suitable for each display element in a subsequent process, and then used for manufacturing the display element. Further, as a post process, there may be a case where an alignment film is applied or an alignment process is performed before cutting into dimensions and shapes suitable for each display element.
[0011]
Therefore, if the plastic sheet is warped as described above, there is a problem that the positioning in the subsequent process cannot be performed well, and the process itself becomes difficult in severe cases.
[0012]
Further, the plastic sheet may be warped by heating in a process performed in a subsequent process and performed before being cut into a size and shape suitable for each display element. For example, when forming the alignment film, washing with water and subsequent heating and drying are performed as pretreatment, and the plastic sheet is heated to about 120 ° C. at that time. Due to this heating, the plastic sheet is warped based on the difference in thermal expansion coefficient of the members constituting the plastic sheet, and this warp has a disadvantage that it takes a long time to resolve even if it is returned to room temperature.
[0013]
In particular, the warpage appears remarkably in the outer peripheral portion of the plastic sheet. This is because in the outer peripheral portion, the periphery is a free edge, so that the warp is easily generated according to the stress of warp generation in the plastic sheet.
[0014]
When warping occurs in a plastic sheet, it becomes difficult to automatically perform vacuum suction for transporting and positioning the plastic sheet during processing in the subsequent process. It is necessary for the worker to correct the warping of the outer peripheral portion, that is, to turn up, and to vacuum-suck the work, and workability is significantly reduced.
[0015]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a plastic sheet having an inorganic material thin film that is less likely to warp, particularly at the outer periphery, and a method for producing the same.
[0016]
Another object of the present invention is to provide a plastic sheet having an inorganic material thin film that can quickly eliminate warpage caused by heat treatment in a subsequent process, and a method for producing the same.
[0017]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, the object as described above is achieved.
A plastic sheet in which an inorganic material thin film is formed on an adhesive layer made of a curable adhesive on a sheet base made of plastic,
The inorganic material thin film has a central portion formed in a required pattern in a region corresponding to the central portion of the sheet base material, and a region corresponding to the outer peripheral portion of the sheet base material independently of the required pattern of the central portion. A plastic sheet having an inorganic material thin film, characterized by comprising a formed outer peripheral portion;
Is provided.
[0018]
In one aspect of the present invention, the outer peripheral portion of the inorganic material thin film is formed in a pattern having at least a portion extending non-parallel to the direction of the side of the adjacent sheet base material. In one aspect of the present invention, the inorganic material thin film is a transparent conductive film. In one embodiment of the present invention, the transparent conductive film has a Young's modulus of 2 × 10. ^Four kgf / mm ² It contains ITO having a larger crystal grain size of 0.005 μm to 0.1 μm.
[0019]
In one aspect of the present invention, a color filter layer is formed between the sheet base material and the central portion of the inorganic material thin film corresponding to a required pattern of the central portion. In one aspect of the present invention, an intermediate layer is formed between the color filter layer and a central portion of the inorganic material thin film.
[0020]
In one aspect of the present invention, the required pattern in the central portion of the inorganic material thin film is formed by arranging a plurality of unit pattern portions. In one aspect of the present invention, the unit pattern portion is composed of a repetitive arrangement of a plurality of patterns. In one aspect of the present invention, the required pattern of the central portion of the inorganic material thin film includes an intermediate pattern portion located in a region between the unit pattern portions adjacent to each other, and the intermediate pattern portion is The unit pattern portion is formed in a pattern extending non-parallel to the direction of the plurality of patterns.
[0021]
In one embodiment of the present invention, the curable adhesive is a cationic polymerization type photocurable adhesive.
[0022]
In addition, according to the present invention, the object as described above is achieved.
A plastic sheet in which an inorganic material thin film is formed on an adhesive layer made of a curable adhesive on a sheet base made of plastic,
The inorganic material thin film includes a plurality of unit pattern portions each composed of a repeated arrangement of a plurality of patterns, and an intermediate pattern portion located in a region between the unit pattern portions adjacent to each other, The intermediate pattern portion is formed in a pattern extending non-parallel to the direction of the plurality of patterns of the unit pattern portion, a plastic sheet having an inorganic material thin film,
Is provided.
[0023]
In one aspect of the present invention, the inorganic material thin film is a transparent conductive film. In one embodiment of the present invention, the transparent conductive film has a Young's modulus of 2 × 10. ^Four kgf / mm ² It contains ITO having a larger crystal grain size of 0.005 μm to 0.1 μm.
[0024]
In one aspect of the present invention, a color filter layer is formed between the sheet base material and the unit pattern portion of the inorganic material thin film corresponding to the pattern of the unit pattern portion. In one aspect of the present invention, an intermediate layer is formed between the color filter layer and the unit pattern portion of the inorganic material thin film. In one embodiment of the present invention, the curable adhesive is a cationic polymerization type photocurable adhesive.
[0025]
Furthermore, according to the present invention, the object as described above is achieved.
A method of producing a plastic sheet in which an inorganic material thin film is formed on an adhesive layer made of a curable adhesive on a sheet base made of plastic,
A release layer is formed on a support substrate, the inorganic material thin film is formed on the release layer, and a central portion of the inorganic material thin film is formed into a required pattern when the inorganic material thin film is formed. Independently forming the outer peripheral part, by applying a curable adhesive on it, forming a transfer body layer,
The sheet base material is bonded to the curable adhesive of the transfer body layer, the curable adhesive is cured, and the transfer body layer is peeled from the substrate together with the sheet base material with the release layer. ,
A central portion formed in a required pattern in a region corresponding to the central portion of the sheet base material, and an outer peripheral portion formed in a region corresponding to the outer peripheral portion of the sheet base material independently of the required pattern of the central portion; A method for producing a plastic sheet, characterized in that a plastic sheet having the inorganic material thin film comprising:
Is provided.
[0026]
In one aspect of the present invention, when forming the transfer material layer, an intermediate layer is formed on the inorganic material thin film, and a color filter layer is formed on the intermediate layer so as to correspond to a central portion of the inorganic material thin film. Form.
[0027]
In one aspect of the present invention, when forming the inorganic material thin film, as a required pattern of the central portion, a plurality of unit pattern portions each consisting of a repeated arrangement of a plurality of patterns, and the unit pattern portions adjacent to each other And an intermediate pattern portion formed in a pattern extending in non-parallel to the direction of the plurality of patterns of the unit pattern portion.
[0028]
In one embodiment of the present invention, a cationic polymerization type photocurable adhesive is used as the curable adhesive, and the sheet base is used during heating performed after light irradiation to cure the curable adhesive. The material and the transfer material layer are fixed.
[0029]
In addition, according to the present invention, the object as described above is achieved.
A method of producing a plastic sheet in which an inorganic material thin film is formed on an adhesive layer made of a curable adhesive on a sheet base made of plastic,
A peeling layer is formed on a supporting substrate, the inorganic material thin film is formed on the peeling layer, and when the inorganic material thin film is formed, a plurality of unit pattern portions each having a plurality of repeated patterns are formed. An intermediate pattern portion formed in a pattern located in a region between the unit pattern portions adjacent to each other and extending non-parallel to the direction of the plurality of patterns of the unit pattern portion, and By applying a curable adhesive, a transfer layer is formed,
The sheet base material is bonded to the curable adhesive of the transfer body layer, the curable adhesive is cured, and the transfer body layer is peeled from the substrate together with the sheet base material with the release layer. ,
Obtaining a plastic sheet having the inorganic material thin film comprising the plurality of unit pattern parts and the intermediate pattern part,
Is provided.
[0030]
In one aspect of the present invention, when forming the transfer material layer, an intermediate layer is formed on the inorganic material thin film, and a color filter layer is formed on the intermediate layer so as to correspond to a unit pattern portion of the inorganic material thin film. Form. In one embodiment of the present invention, a cationic polymerization type photocurable adhesive is used as the curable adhesive, and the sheet base is used during heating performed after light irradiation to cure the curable adhesive. The material and the transfer material layer are fixed.
[0031]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0032]
FIG. 1 is a schematic plan view showing an embodiment of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention, and FIG. 2 is a schematic sectional view thereof. This embodiment is a plastic sheet having a transparent electrode for a liquid crystal display element, and uses a transparent conductive film as an inorganic material thin film.
[0033]
In the figure, reference numeral 2 indicates a sheet substrate (plastic sheet substrate), reference numeral 4 indicates an adhesive layer, and reference numeral 6 indicates a transparent conductive film. Reference numeral 10 denotes a central portion of the plastic sheet base material 2 having a rectangular shape, and reference numeral 12 denotes an outer peripheral portion of the width W of the plastic sheet base material 2.
[0034]
As shown in FIG. 1, the central portion 10 of the plastic sheet substrate has 3 × 4 × 12 unit pattern portions P <b> 1 to P <b> 12 formed by the pattern of the transparent conductive film 6. These unit pattern portions have dimensions equivalent to the screen size of the liquid crystal display element. Each unit pattern portion is formed in an equivalent transparent conductive film pattern (for example, parallel stripe patterns arranged in parallel in one direction as shown in the figure) and is used for individual liquid crystal display elements from a plastic sheet. When the electrode film sheet is obtained, the unit pattern portion is cut out.
[0035]
As shown in FIG. 1, the transparent conductive material formed in the plastic sheet base material outer peripheral portion 12 with the same material and the same thickness as the transparent conductive film 6 formed in the central portion of the plastic sheet base material. A film 6a is formed. The conductive film 6a has a large number of stripes formed in parallel in the direction perpendicular to the upper side at the upper side of the rectangular plastic sheet substrate in FIG. Also, on both the left and right sides, as shown in the upper half of these sides, a large number of stripes that are elongated in the direction perpendicular to each side are arranged in parallel. And, at the corner where the sides meet, for example, as shown in the upper left corner, a key shape that is orthogonal to the adjacent sides, with the direction of 45 degrees oblique to each side from the apex as a boundary It is said that. Alternatively, for example, as shown in the upper right corner, a stripe may be disposed that is oriented at an angle of 45 degrees with respect to each side from the apex.
[0036]
The width W of the plastic sheet substrate outer peripheral portion 12 is, for example, about 5 to 10 mm. Moreover, the area ratio which the transparent conductive film 6a occupies for the plastic sheet base-material outer peripheral part 12 is 10%-90%, for example.
[0037]
The transparent conductive film 6a can have other shapes. For example, as described in the vicinity of the lower right corner of FIG. 1, the corner is inclined at 45 degrees in the same manner as the upper right corner, and the inclination of the stripe is gradually increased as it approaches the corner along each side. The thing changed so that it may approach the thing of a corner stripe is illustrated. In addition, as described in the vicinity of the left corner of FIG. 1, an example of an orthogonal lattice that forms 45 degrees with respect to each side is illustrated.
[0038]
The transparent conductive film 6a has a function as a reinforcing portion for preventing the occurrence of warping or turning-up at the outer peripheral portion of the plastic sheet, and has a non-parallel directionality with respect to each side as described above. It is preferably patterned into a shape. In other words, patterning is preferably performed so as to have a component in a direction orthogonal to each side (for example, a directivity of 40 to 90 degrees).
[0039]
In the form of the transparent conductive film 6a described above, the occurrence of warpage at each side of the plastic sheet substrate 2 is sufficiently prevented until reaching the vicinity of the corner, and also effective for preventing the occurrence of warpage at the corner. Thus, since it is formed so as to have a directivity (or a component in that direction) inclined by half of the apex angle with respect to each side, the occurrence of warping at the corner is sufficiently prevented.
[0040]
In the present invention, the transparent conductive film 6a may be formed as a so-called solid on the entire outer peripheral portion of the plastic sheet substrate 2, but when a transfer method as described later is used when manufacturing the plastic sheet. Is preferably formed in a non-solid pattern as in the above embodiment, because it can suppress the occurrence of damage during peeling and facilitate the peeling work.
[0041]
As a material of the plastic sheet substrate 2, polyethersulfone, polyester, polycarbonate, nylon, polyarylate, acrylic resin, polyimide, or the like can be used. The thickness of the plastic sheet substrate 2 is, for example, in the range of 100 to 400 μm. Thus, the plastic sheet substrate referred to in the present invention includes a plastic film.
[0042]
The adhesive forming the adhesive layer 4 is a curable adhesive, and in particular, an epoxy or acrylic photo-curable adhesive such as a radical polymerization type or a cationic polymerization type ultraviolet curing type is preferable. Of these, a cationic polymerization type photo-curing adhesive is preferable. In this adhesive, an acid is generated by light irradiation during the cationic polymerization, and the polymerization proceeds with this acid as a catalyst. The adhesive cures over time compared to the radical polymerization type. There is a characteristic to go. Since the stress due to curing shrinkage can be relaxed within the relatively long curing time, the generated warp can be reduced. The thickness of the adhesive layer 4 is, for example, in the range of 2 to 15 μm.
[0043]
The transparent conductive films 6 and 6a are made of an inorganic material thin film, and examples thereof include ITO (indium tin oxide), tin oxide, and zinc oxide. ITO is particularly preferable. The thickness of the transparent conductive film 6 is, for example, in the range of 0.1 to 0.4 μm.
[0044]
The transparent conductive films 6 and 6a can be a composite film whose upper surface layer is made of an inorganic insulating thin film (thickness is, for example, 5 nm to 30 nm) such as silicon oxide. Such an inorganic insulating thin film has a function of blocking the penetration of air, moisture, etc. into the ITO etc. with little impairing the light transmittance, and further when the distortion occurs due to the warp of the sheet etc. It also has a function of preventing cracks from occurring.
[0045]
A protective layer may be formed on the transparent conductive films 6 and 6a so as to cover the adhesive layer 4 as well. Examples of such a protective layer include an acrylic resin, a polyimide resin, or an inorganic oxide formed by a sol-gel method, and its thickness is, for example, in the range of 0.5 to 5 μm.
[0046]
In the above embodiment, an example in which the transparent conductive film 6 of each unit pattern portion is striped is shown. However, in the present invention, the transparent conductive film 6 may be a solid electrode in each unit pattern portion. Including the above case, in the present invention, the pattern of the outer peripheral portion of the inorganic material thin film is set so as to alleviate and eliminate the warp of the plastic sheet caused by the pattern of the central portion of the inorganic material thin film.
[0047]
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing another embodiment of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention. In this embodiment, a layer is further added to the embodiment described with reference to FIGS. 1 and 2, and a schematic plan view is equivalent to FIG.
[0048]
In the present embodiment, a color filter layer 14 is formed on the adhesive layer 4, and an intermediate layer 16 is formed on the color filter layer 14 so as to cover the adhesive layer 4. Transparent conductive films 6 and 6 a are formed on the layer 16.
[0049]
The color filter layer 14 includes red (R), green (G), and blue (B) filters, and can be formed of, for example, a photosensitive resist in which pigments of respective colors are dispersed. The color filter layer 14 has a large number of sets arranged such that the filters R, G, and B form one set, and is used to display color pixels with the set of R, G, and B filters. The color filter layer 14 is disposed corresponding to the transparent conductive film 6 on the substrate central portion 10, and is not disposed at a position corresponding to the transparent conductive film 6 a on the substrate outer peripheral portion 12.
[0050]
The intermediate layer 16 is made of, for example, an acrylic resin and has a thickness in the range of 0.5 to 5 μm, for example.
[0051]
Also in this embodiment, the function of preventing the occurrence of warping is the same as that of the embodiment described with reference to FIGS.
[0052]
Next, an embodiment of the method for producing a plastic sheet having the inorganic material thin film of the present invention as described above will be described together with specific examples.
[0053]
4-12 is typical sectional drawing which shows the manufacturing process of the plastic sheet of embodiment of the said FIG.
[0054]
First, as shown in FIG. 4, a silica-coated glass plate having a side of 300 mm to 1000 mm, for example, is prepared as a support substrate 20 for heat-resistant transfer. A glass plate with a 300 mm side coated with silica was prepared. A polyimide precursor varnish (dimethylacetamide solution) produced by reacting pyrometic anhydride and 4,4′-diaminodiphenyl ether as a coating material for the coating insulating film for forming the release layer 22 for transfer. , A silane coupling agent KBM-573 (manufactured by Shin-Etsu Silicon Co., Ltd.) added to 0.05 wt% (solid content ratio) is prepared. Thereafter, a coating film is formed on the support substrate 20 using the above-mentioned coating material under a condition in which the rotation speed and time are adjusted so that the film thickness becomes, for example, 4 μm using a spin coater. This coating film is heated and dehydrated using a hot plate at 260 ° C. for 10 minutes to form a release layer 22 made of polyimide.
[0055]
Next, as shown in FIG. 5, SiO 2 is deposited on the release layer 22 by a sputtering method at a substrate temperature of 230 ° C. ₂ 15 nm, and then ITO (indium tin oxide) is formed to a thickness of 150 nm to form the transparent conductive layer 24.
[0056]
Next, as shown in FIG. 6, the transparent conductive layer 24 is etched by using the resist pattern obtained by forming and patterning a resist film by photolithography as a mask, so that a transparent conductive film 6 having a required pattern is obtained. [In this example, the transparent conductive film 6a was formed into a L / S pattern of 10 mm in length and 100 μm so as to be perpendicular to the adjacent substrate side]. Moreover, the sample which does not form the transparent conductive film 6a of an outer peripheral part was produced for the comparison.
[0057]
In addition to sputtering, ITO can be formed by a known method such as ion plating or electron beam evaporation. ITO formed by these film forming methods can be patterned using a known etching method. In the present invention, during the patterning, as a temporary substrate (transfer substrate), ceramic, glass, metal (42 alloy, a metal material with small thermal expansion of copper alloy is preferable), or a plurality of them. Since a substrate excellent in heat resistance and dimensional stability, such as a laminate of the above materials, particularly preferably a glass substrate, is used, for example, ITO can be obtained with a dimensional accuracy of about ± 3 μm or less for 100 mm.
[0058]
The film characteristics required for such ITO are mainly good light transmittance and small resistance, but also suitable for the force received from the plastic sheet after transfer (force due to expansion / contraction, bending, etc. of the sheet). Is also important. ITO is a thin film of 1000 to 2000 angstroms, for example, and its hardness can be measured with an ultra-micro hardness tester. This hardness tester is equipped with a displacement meter in the indenter drive unit, measures the indentation depth of the indenter, and determines the hardness from the indentation depth. By continuously measuring this, the amount of elastic deformation It is possible to obtain information such as the amount of plastic deformation and the amount of creep deformation during holding of the test force. When the physical properties of ITO were measured with this ultra-small hardness tester, the amount of elastic deformation when plastic equivalent to 10% of the thickness of ITO was pushed in as a good ITO for application to the present invention was plastic deformation. Larger amount is preferred, and its Young's modulus is 2 × 10 ^Four kgf / mm ² I found that the bigger one was better. Further, when the preferable ITO was observed by SEM, the crystal grain size (particle size) was 0.005 μm to 0.1 μm, and if it was larger than 0.1 μm, defects such as cracks and wrinkles were likely to occur. It has been found. Note that it is difficult to form a film having a grain size smaller than 0.005 μm, and a film having a low resistance cannot be obtained. In addition, in order to reduce the influence of the base, the measurement of hardness was performed by using the same measurement conditions and environment, and depositing ITO on a raw glass.
[0059]
Next, as shown in FIG. 7, an intermediate layer 16 having a thickness of 4 μm is formed on the transparent conductive films 6 and 6a using an acrylic coating agent.
[0060]
Next, as shown in FIG. 8, a pigment dispersion type photosensitive red resist is applied on the intermediate layer 16, and is exposed and developed to form a red color filter R in the red pixel portion. Next, similarly, a pigment dispersion type photosensitive green resist is applied, exposed and developed to form a green color filter G in the green pixel portion. Next, similarly, a pigment dispersion type photosensitive blue resist is applied, exposed and developed to form a blue color filter B in the blue pixel portion. Thereby, the color filter layer 14 made of R, G, and B is formed.
[0061]
Thereafter, as shown in FIG. 9, a cationic polymerization type UV curable adhesive KR-400 (manufactured by Asahi Denka Co., Ltd.) is applied on the color filter layer 14 to a thickness of 8 μm by a roll coater or the like. A cured adhesive layer 26 is formed. As a result, the transfer substrate 100 having a transfer body layer composed of the release layer 22, the transparent conductive films 6 and 6a, the intermediate layer 16, the color filter layer 14, and the uncured adhesive layer 26 is completed.
[0062]
In the release layer forming step described above, the release layer 22 is formed on the glass substrate by spin coating so as to cover the side surface of the glass substrate 20, and the release layer on the side surface of the glass substrate 20 is the side surface of the glass substrate 20. It is preferable to adjust the film thickness so as not to expose the film.
[0063]
Next, a method for transferring the transfer body layer of the transfer substrate 100 manufactured by the above-described method to a plastic sheet substrate will be described.
[0064]
As shown in FIG. 10, a plastic sheet substrate 2 made of a polycarbonate resin having a thickness of 120 μm is bonded to the adhesive layer 26 of the transfer substrate 100. [In the embodiment, the plastic sheet substrate 2 is fixed before use. On the board, the surface to be used (the surface to be bonded to the adhesive layer 26) was allowed to stand on and a warp did not occur]. Next, 400 shots of UV (ultraviolet rays) are irradiated with a pulse xenon lamp from the side of the plastic sheet substrate 2 to cure the adhesive layer 26 that is a photocurable resin, whereby the cured adhesive layer 4 causes the plastic sheet base to be cured. The material 2 is bonded to the transfer substrate 100.
[0065]
Next, as shown in FIG. 11, one end of the plastic sheet substrate 2 bonded to the transfer substrate 100 is fixed to a roll 80 having a diameter of 200 mm, and the plastic sheet substrate 2 is peeled off while rotating this roll. At this time, peeling occurs at the interface between the glass substrate 20 and the peeling layer 22 of the transfer substrate 100, and the peeling layer 22, the transparent conductive films 6 and 6a, the intermediate layer 16, the color filter layer 14, and the adhesive layer 4 are made of plastic. Transferred to the sheet substrate 2 side. The roll 80 is fixed to the plastic sheet base material 2 so as to be parallel to the longitudinal direction of the stripe of the transparent conductive film 6 (that is, in the vertical direction in FIG. 1). And it is preferable from the point which prevents damage to the transparent conductive film 6 and the color filter layer 14.
[0066]
Next, as shown in FIG. 12, the plastic sheet substrate 2 to which the transfer material layer has been transferred is immersed in a mixed solution of hydrazine and ethylenediamine for 10 minutes to remove the release layer 22 and washed with water. The release layer 22 transferred to the plastic sheet substrate 2 is easily dissolved and removed with a mixed solution of hydrazine and ethylenediamine. SiO as a surface layer of the transparent conductive films 6 and 6a ₂ Since the layer is formed, it is possible to prevent ITO from being damaged when the release layer 22 is removed. The function of the surface layer of the transparent conductive films 6 and 6a is also exhibited when dry etching using oxygen plasma or the like is used to remove the release layer 22.
[0067]
Next, the plastic sheet obtained as described above is placed on a flat plate and heat-treated in a state where the warped four corners are lightly suppressed to completely cure the curable adhesive layer 4 [in the examples] And heat treatment at 120 ° C. for 1 hour]. For reference, a sample that was heat-treated without suppressing the four corners of the plastic sheet was prepared.
[0068]
Thereby, the plastic sheet which has the transparent conductive films 6 and 6a and the color filter layer 14 is obtained. In addition, since the edge part of the plastic sheet obtained by this is easy to be accompanied by abnormal film thickness, such as an adhesive agent, and the contamination accompanying handling, in that case, it is desirable to cut off the edge part. Thereby, the plastic sheet shown in FIG. 3 is obtained.
[0069]
When the plastic sheet having the transparent conductive film 6 and the color filter layer 14 obtained as described above is allowed to stand so that the surface on the plastic sheet substrate 2 side is in contact with the surface plate surface, the plastic sheet substrate is obtained. (A) obtained by forming a 100 μm L / S pattern of the transparent conductive film 6a in the region corresponding to the outer peripheral portion 2 and suppressing the four corners of the plastic sheet (A) The plastic sheet was not warped. Also obtained by forming a 100 μm L / S pattern of the transparent conductive film 6a in a region corresponding to the outer peripheral portion of the plastic sheet substrate 2 and heat-treating the plastic sheet without suppressing the four corners (B) Although there was warping immediately after the heat treatment, the warping disappeared after 1 hour. On the other hand, what was obtained by heat treatment without forming the transparent conductive film 6a in the region corresponding to the outer peripheral portion of the plastic sheet base material 2 and suppressing the four corners of the plastic sheet (C) There was warping immediately after the treatment, and 3 mm of warping remained even after one day.
[0070]
Each of the above plastic sheets (A), (B), (C) was washed and further subjected to a heat treatment (reheating treatment) at 120 ° C. for 20 minutes without suppressing the four corners of the plastic sheet. In (A), there was a warp (particularly, a warp in the direction perpendicular to the stripe pattern of the transparent conductive film 6 of the unit pattern) immediately after the reheating treatment, but the warp disappeared after 10 minutes. In (B), warping occurred immediately after the reheating treatment, but the warping disappeared after 1 hour. In (C), there was warping before the reheating treatment, and the warping did not disappear even after the reheating treatment.
[0071]
The plastic sheet of the embodiment of FIGS. 1 and 2 can be manufactured in the same manner. In this case, the formation of the color filter layer 14 and the intermediate layer 16 may be omitted in forming the transfer body layer in the steps of FIGS. The plastic sheet having the transparent conductive film 6 thus obtained also showed the same characteristics as the plastic sheet of the embodiment of FIG.
[0072]
FIG. 13 is a schematic plan view showing another embodiment of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention, and FIG. 14 is a schematic sectional view thereof.
[0073]
In the present embodiment, the transparent conductive film as the inorganic material thin film is located in a region between adjacent ones of the unit pattern portions P1 to P12 in addition to the transparent conductive films 6 and 6a similar to the above embodiment. The intermediate pattern portion Q is also included. The intermediate pattern portion Q is formed in a plurality of stripe patterns extending in a direction non-parallel to the direction of the plurality of patterns of the unit pattern portion. That is, the plurality of transparent conductive films 6b constituting the intermediate pattern portion Q extend in a direction orthogonal to the direction of the transparent conductive film 6 in the stripe pattern of the unit pattern portions P1 to P12. However, the transparent conductive film 6b does not necessarily need to be orthogonal to the direction of the transparent conductive film 6, and may extend in a direction inclined within a range of 40 to 90 degrees, for example.
[0074]
The transparent conductive film 6b is made of the same material as the transparent conductive films 6 and 6a and has the same thickness. The width W ′ of the intermediate pattern portion Q is, for example, about 10 to 20 mm. Moreover, the area ratio which the transparent conductive film 6b occupies for the area | region of the plastic sheet base material corresponding to the intermediate | middle pattern part Q is 50%-90%, for example, Preferably it is 70%-90%. The transparent conductive film 6b can be formed in a pattern of, for example, 100 μmL / 10 μmS, and the length thereof is appropriately set.
[0075]
In the present embodiment, a color filter layer and an intermediate layer can also be formed in the same manner as the embodiment described with reference to FIG. 3 (the color filter layer is not formed at a position corresponding to the transparent conductive film 6b). ).
[0076]
In the present embodiment, the function of preventing the occurrence of warping based on the transparent conductive film 6a is the same as that of the embodiment described with reference to FIGS. Furthermore, in this embodiment, since the transparent conductive film 6b of the intermediate pattern portion Q extends in an orthogonal direction that is a direction non-parallel to the direction of the transparent conductive film 6, the plastic sheet is orthogonal to the direction of the transparent conductive film 6. It is possible to suppress the occurrence of warping with respect to the direction of movement. Furthermore, the warp that occurs when the plastic sheet is subjected to heat treatment in a subsequent process can be eliminated in a short time after returning to normal temperature.
[0077]
According to this embodiment, when the same process was performed on the plastic sheet obtained in the same manner as in the above (A) to (C), in addition to the effect of preventing the warpage based on the transparent conductive film 6a, the transparent sheet Since the effect of preventing the occurrence of warping based on the conductive film 6b can be obtained, the effect of preventing the warpage from occurring or eliminating the generated warpage is further increased.
[0078]
FIG. 15 is a schematic partial plan view showing another embodiment of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
[0079]
This embodiment is the same as the embodiment of FIGS. 13 to 14 except that the outer peripheral portion 12 does not exist. Although this embodiment is inferior to the embodiment of FIGS. 13 to 14 in that the effect of preventing warpage generation based on the transparent conductive film 6a is not obtained, the effect of preventing warpage generation based on the transparent conductive film 6b as described above is can get.
[0080]
In the present embodiment, the transparent conductive films 6b are arranged in a staggered manner in the intermediate pattern portion Q extending in the same direction as the direction of the transparent conductive film 6b. Thereby, the transparent conductive film 6b is not interrupted with respect to the direction of the transparent conductive film 6b, and the warp prevention effect is enhanced.
[0081]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, there is provided a plastic sheet having an inorganic material thin film that is less likely to warp, particularly, a peripheral portion, and a method for manufacturing the same.
[0082]
Moreover, according to this invention, the plastic sheet which has an inorganic material thin film which can eliminate rapidly the curvature which generate | occur | produces by the heat processing in a post process, and its manufacturing method are provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic plan view showing an embodiment of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of an embodiment of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing another embodiment of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing process of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing process of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing process of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing process of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing process of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing process of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing process of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing process of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing a manufacturing process of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
FIG. 13 is a schematic plan view showing another embodiment of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
FIG. 14 is a schematic cross-sectional view of another embodiment of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
FIG. 15 is a schematic partial plan view showing another embodiment of a plastic sheet having an inorganic material thin film according to the present invention.
[Explanation of symbols]
2 Plastic sheet base material
4 Adhesive layer
6, 6a, 6b Transparent conductive film
10 Plastic sheet base material center
12 Outer periphery of plastic sheet base material
14 Color filter layer
16 Middle layer
P1 to P12 Unit pattern part
Q Intermediate pattern part
R, G, B color filters
20 Support substrate
22 Release layer
24 Transparent conductive layer
26 Uncured adhesive layer
80 rolls
100 Transfer substrate

Claims

A plastic sheet in which an inorganic material thin film is formed on an adhesive layer made of a curable adhesive on a sheet base made of plastic,
The inorganic material thin film has a central portion formed in a required pattern in a region corresponding to the central portion of the sheet base material, and a region corresponding to the outer peripheral portion of the sheet base material independently of the required pattern of the central portion. A plastic sheet having an inorganic material thin film, comprising a formed outer peripheral portion.

2. The inorganic material according to claim 1, wherein the outer peripheral portion of the inorganic material thin film is formed in a pattern having at least a portion extending non-parallel to the direction of the side of the adjacent sheet base material. A plastic sheet with a thin film.

The plastic sheet having an inorganic material thin film according to claim 1, wherein the inorganic material thin film is a transparent conductive film.

The inorganic material according to claim 3, wherein the transparent conductive film comprises ITO having a Young's modulus greater than 2 × 10 ⁴ kgf / mm ² and a crystal grain size of 0.005 μm to 0.1 μm. A plastic sheet with a thin film.

The color filter layer is formed between the sheet base material and the central portion of the inorganic material thin film corresponding to a required pattern of the central portion, according to any one of claims 1 to 4. A plastic sheet having the inorganic material thin film described.

6. The plastic sheet having an inorganic material thin film according to claim 5, wherein an intermediate layer is formed between the color filter layer and a central portion of the inorganic material thin film.

The plastic sheet having an inorganic material thin film according to any one of claims 1 to 6, wherein a required pattern of a central portion of the inorganic material thin film is formed by arranging a plurality of unit pattern portions.

The plastic sheet having an inorganic material thin film according to claim 7, wherein the unit pattern portion is composed of a repeated arrangement of a plurality of patterns.

The required pattern of the central portion of the inorganic material thin film includes an intermediate pattern portion located in a region between the unit pattern portions adjacent to each other, and the intermediate pattern portion includes a plurality of patterns of the unit pattern portion. 9. The plastic sheet having an inorganic material thin film according to claim 8, wherein the plastic sheet is formed in a pattern extending non-parallel to the direction.

The plastic sheet having an inorganic material thin film according to any one of claims 1 to 9, wherein the curable adhesive is a cationic polymerization type photocurable adhesive.

A plastic sheet in which an inorganic material thin film is formed on an adhesive layer made of a curable adhesive on a sheet base material made of plastic, and each of the inorganic material thin films has a plurality of repetitive arrangements of a plurality of patterns Unit pattern portions and an intermediate pattern portion located in a region between the unit pattern portions adjacent to each other, the intermediate pattern portion being in a direction of a plurality of patterns of the unit pattern portion. A plastic sheet having an inorganic material thin film, wherein the plastic sheet is formed in a non-parallel pattern.

The plastic sheet having an inorganic material thin film according to claim 11, wherein the inorganic material thin film is a transparent conductive film.

The inorganic material according to claim 12, wherein the transparent conductive film comprises ITO having a Young's modulus greater than 2 × 10 ⁴ kgf / mm ² and a crystal grain size of 0.005 μm to 0.1 μm. A plastic sheet with a thin film.

The color filter layer corresponding to the pattern of the unit pattern portion is formed between the sheet base material and the unit pattern portion of the inorganic material thin film. A plastic sheet comprising the inorganic material thin film described in 1.

The plastic sheet having an inorganic material thin film according to claim 14, wherein an intermediate layer is formed between the color filter layer and the unit pattern portion of the inorganic material thin film.

The plastic sheet having an inorganic material thin film according to any one of claims 11 to 15, wherein the curable adhesive is a cationic polymerization type photocurable adhesive.

A method of producing a plastic sheet in which an inorganic material thin film is formed on an adhesive layer made of a curable adhesive on a sheet base made of plastic,
A release layer is formed on a support substrate, the inorganic material thin film is formed on the release layer, and a central portion of the inorganic material thin film is formed into a required pattern when the inorganic material thin film is formed. Independently forming the outer peripheral part, by applying a curable adhesive on it, forming a transfer body layer,
The sheet base material is bonded to the curable adhesive of the transfer body layer, the curable adhesive is cured, and the transfer body layer is peeled from the substrate together with the sheet base material with the release layer. ,
A central portion formed in a required pattern in a region corresponding to the central portion of the sheet base material, and an outer peripheral portion formed in a region corresponding to the outer peripheral portion of the sheet base material independently of the required pattern of the central portion; A method for producing a plastic sheet, comprising: obtaining a plastic sheet having the inorganic material thin film comprising:

In forming the transfer body layer, an intermediate layer is formed on the inorganic material thin film, and a color filter layer is formed on the intermediate layer so as to correspond to a central portion of the inorganic material thin film. The method for producing a plastic sheet according to claim 17.

When forming the inorganic material thin film, as a required pattern of the central portion, each is located in a region between a plurality of unit pattern portions each composed of a repeated arrangement of a plurality of patterns and the unit pattern portions adjacent to each other; 19. The device according to claim 17, wherein the unit pattern portion includes an intermediate pattern portion formed in a pattern extending non-parallel to a plurality of pattern directions of the unit pattern portion. The manufacturing method of the plastic sheet of description.

A cationic polymerization type photo-curable adhesive is used as the curable adhesive, and the sheet base material and the transfer body layer are fixed during heating performed after light irradiation in order to cure the curable adhesive. The method for producing a plastic sheet according to any one of claims 17 to 19, wherein:

A method of producing a plastic sheet in which an inorganic material thin film is formed on an adhesive layer made of a curable adhesive on a sheet base made of plastic,
A peeling layer is formed on a supporting substrate, the inorganic material thin film is formed on the peeling layer, and when the inorganic material thin film is formed, a plurality of unit pattern portions each having a plurality of repeated patterns are formed. An intermediate pattern portion formed in a pattern located in a region between the unit pattern portions adjacent to each other and extending non-parallel to the direction of the plurality of patterns of the unit pattern portion, and By applying a curable adhesive, a transfer layer is formed,
The sheet base material is bonded to the curable adhesive of the transfer body layer, the curable adhesive is cured, and the transfer body layer is peeled from the substrate together with the sheet base material with the release layer. ,
A method for producing a plastic sheet, comprising: obtaining a plastic sheet having the inorganic material thin film comprising the plurality of unit pattern portions and the intermediate pattern portion.

In forming the transfer material layer, an intermediate layer is formed on the inorganic material thin film, and a color filter layer is formed on the intermediate layer so as to correspond to a unit pattern portion of the inorganic material thin film. The method for producing a plastic sheet according to claim 21.

A cationic polymerization type photo-curable adhesive is used as the curable adhesive, and the sheet base material and the transfer body layer are fixed during heating performed after light irradiation in order to cure the curable adhesive. The method for producing a plastic sheet according to any one of claims 21 to 22, wherein: