JP3896586B2

JP3896586B2 - 固体撮像装置及び固体撮像カメラ

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Publication number: JP3896586B2
Application number: JP2001388003A
Authority: JP
Inventors: 和弘星野
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2001-12-20
Filing date: 2001-12-20
Publication date: 2007-03-22
Anticipated expiration: 2021-12-20
Also published as: JP2003188366A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＣＣＤ等の固体撮像素子からなる固体撮像装置及びこの固体撮像装置を用いた固体撮像カメラに関し、さらに詳しくは、固体撮像素子及びその信号処理ＩＣ用半導体ベアチップの高密度実装と薄型化を可能にし、かつレンズの像面湾曲の影響を受けにくい固体撮像装置及びこの固体撮像装置を用いた固体撮像カメラに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の固体撮像装置及びこの固体撮像装置を用いた固体撮像カメラについて、図５を参照して説明する。図５は従来における固体撮像カメラの概略構成を示す断面図である。
この図５において、固体撮像カメラは、固体撮像装置５００及びレンズアッセンブリ−６００を備えている。
固体撮像装置５００は、上面に光取り込み用の開口部５０１Ａが形成され下面が開放されたセラミックパッケージ５０１を有し、このセラミックパッケージ５０１の下面には、その開口を閉鎖するようにして配線基板５０２が固着され、この配線基板５０２のパッケージ側内面には信号処理ＩＣを構成する半導体ベアチップ５０３が実装されている。
また、セラミックパッケージ５０１内の開口部５０１Ａと対向する箇所には平板状の固体撮像素子５０４がフリップチップ実装され、さらに、セラミックパッケージ５０１の上面には、その開口部５０１Ａを封止するシールガラス５０５が取り付けられている。
なお、配線基板５０２とセラミックパッケージ５０１は半田接合される。このとき、固体撮像素子５０４と信号処理ＩＣ用の半導体ベアチップ５０３の間には、０．２mm程度の空間的な隙間が寸法公差の兼ね合いから必ず発生していた。また、固体撮像素子５０４の厚みとしては、機械的強度を確保するために０．３mm程度の厚みが必要である。
【０００３】
レンズアッセンブリ−６００は、撮影光像を固体撮像装置５００の固体撮像素子５０４上に結像する結像光学系を構成するもので、セラミックパッケージ５０１の開口部５０１Ａ側上面に設けられたレンズ鏡筒６０１を備え、このレンズ鏡筒６０１内には撮像レンズ６０２がレンズ支持部材６０３により装着されている。また、レンズ支持部材６０３には絞り孔６０４が形成されており、さらに、レンズ鏡筒６０１内の撮像レンズ６０２の光出射側には赤外線カットフィルター６０５が配設されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような固体撮像カメラの結像光学系に使用されるレンズにおいては、像面湾曲と称される収差が発生する。この場合、図６に示すように、固体撮像素子５０４の受光表面の中心部Ａに撮像レンズ６０２の合焦位置を合わせても、固体撮像素子５０４の周辺部では、像面湾曲の影響により撮像レンズ６０２の焦点位置は点Ｂとなり、焦点ずれが発生してしまう。その結果、画像の中心部と周辺部で画質が不均一になるなど、撮像特性の劣化が発生していた。
また、携帯電話などに組み込まれる超小型カメラのように固体撮像カメラ全体の厚みを薄くしたいという要求に対して、薄くなるほど固体撮像カメラのレンズ設計は困難になり、画面全体に渡り焦点の合った薄型の固体撮像カメラを実現することは困難であった。
【０００５】
本発明の目的は、結像光学系の像面湾曲による収差を補正できるとともに、薄型化の容易な固体撮像装置及びこれを使用した薄型で小型化の容易な固体撮像カメラを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明の固体撮像装置は、一方の面に結像光学系の収差により生じる像面湾曲に対応した湾曲面が形成された半導体ベアチップと、前記半導体ベアチップの湾曲面に該湾曲形状に沿わせて貼り合わされた可撓性を有する固体撮像素子とを備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明の固体撮像装置においては、固体撮像素子が半導体ベアチップの湾曲面に該湾曲形状に沿わせて貼り合わされた構造になっているため、半導体ベアチップを含めた固体撮像装置全体を薄型化することができ、しかも、固体撮像素子の受光面は結像光学系の像面湾曲に沿って湾曲されているため、結像光学系の像面湾曲による収差を補正することができ、かつ固体撮像素子の受光面の全域にわたり焦点の合った固体撮像装置を提供することができ、周辺ボケの少ない良好な画質が得られる。
【０００８】
また、本発明は、固体撮像装置と、前記固体撮像装置の光入射側に配置され撮影光像を結像させる結像光学ユニットとを有する固体撮像カメラであって、前記固体撮像装置は半導体ベアチップと固体撮像素子とを備え、前記半導体ベアチップは、一方の面に結像光学系の収差により生じる像面湾曲に対応した湾曲面を有し、前記固体撮像素子は可撓性を有し、前記半導体ベアチップの湾曲面に該湾曲形状に沿わせて貼り合わされていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の固体撮像カメラにおいては、半導体ベアチップの一方の面に結像光学系の収差により生じる像面湾曲に対応した湾曲面を形成し、この湾曲面に固体撮像素子を貼り合わせて固体撮像装置を構成するとともに、この固体撮像装置を結像光学ユニットに組み付けることで固体撮像カメラを構成するようにしたので、固体撮像装置自体の薄型化に伴い、固体撮像カメラを小型化及び薄型化することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図１（Ａ），（Ｂ）は本発明の第１の実施の形態における固体撮像装置の製造過程を示す説明用断面図、図２は第１の実施の形態に示す固体撮像装置に結像光学ユニットを組み付けて固体撮像カメラを構成した場合の説明用断面図である。
【００１１】
図１において、固体撮像装置１０は、実装用の配線基板１２、半導体ベアチップ１４及び固体撮像素子１６等を備えている。
半導体ベアチップ１４は、固体撮像装置１０の信号処理ＩＣ（集積回路）を構成するためのもので、例えば固体撮像素子１６からのアナログ信号をＹＵＶ８Bitのフォーマットにして出力する機能、１２Ｃバス通信により外部からカメラ機能の入力信号を受けて制御を行う機能、または、不揮発性メモリを搭載して、ホワイトバランスのユーザー設定値、色再現設定値、欠陥補正パラメータなどの初期設定を行う機能などを備える。
また、半導体ベアチップ１４の裏面、すなわち、信号処理用ＩＣが形成される面と反対の面には、図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、結像光学系の収差により発生する像面湾曲に対応した球面状の湾曲面１４１が形成されている。
また、このような半導体ベアチップ１４は、その湾曲面１４１が上面を向くようにして、信号処理用ＩＣ形成面側が配線基板１２上にフリップチップ実装されている。
また、半導体ベアチップ１４の湾曲面１４１には、固体撮像素子１６が湾曲面１４１の湾曲形状に沿わせて貼り合わされている。
【００１２】
以下、本発明の固体撮像装置の製造方法について、図１を参照して説明する。
まず、半導体ベアチップ１４の裏面を結像光学系の撮像レンズの像面湾曲率に沿って、機械的切削工法などにより球面状に加工することにより湾曲面１４１を形成する。或いは、後退性レジストを用いて、半導体ベアチップ１４の中心に微小な開口部を設け、等方性ドライエッチング技術により、球面状の湾曲面１４１を加工するようにしても良い。この場合、最も薄い中心部の厚さは、２００μm程度とすることが機械強度的に安全であるが、１００μm 程度まで薄くしても良い。
【００１３】
次に、コンデンサなどの受動部品１８を配線基板１２に実装した後に、半導体ベアチップ１４を配線基板１２にフリップチップ実装する。この際、半導体ベアチップ１４のＡｌ電極にＡｕバンプ２０を形成して、配線基板１２の電極と超音波接合法により実装する。また、この時の半導体ベアチップ実装方法としては、Ａｇペーストによる接合などの方法であっても良い。また、半導体ベアチップ実装には、ＡＣＦ（異方性導電フィルム）による接合なども可能である。
半導体ベアチップ１４を配線基板１２に実装した後は、樹脂によるアンダーフィルを行い、半導体ベアチップ１４と配線基板１２との機械的結合強度を補強する。
【００１４】
次に、固体撮像素子１６の裏面、すなわち受光面と反対の面を研削することにより、固体撮像素子１６を５０μm 以下の厚さに加工する。好ましくは、２０μm程度の厚さに加工する。これにより、固体撮像素子１６に可撓性を持たせる。
次に、半導体ベアチップ１４の湾曲面１４１、もしくは固体撮像素子１６の裏面、もしくは両方に接着剤を塗布し、圧縮空気にて半導体ベアチップ１４と固体撮像素子１６の裏面同士を接着させる。こうすることによって、固体撮像素子１６の受光面を半導体ベアチップ１４の湾曲面１４１に沿って湾曲された状態、すなわち結像光学系の撮像レンズの像面湾曲率に湾曲させた状態に実装することができる。
次に、固体撮像素子１６のＡｌ電極と配線基板１２の電極との間をボンディングワイヤー２２により電気的に接続する。
【００１５】
このような第１の実施の形態における固体撮像装置１０によれば、配線基板１２にフリップチップ実装された半導体ベアチップ１４の裏面に結像光学系の撮像レンズの像面湾曲に応じた球面状の湾曲面１４１を形成し、半導体ベアチップ１４の湾曲面１４１に該湾曲形状に沿わせて固体撮像素子１６が貼り合わされた構造になっているため、半導体ベアチップ１４を含めた固体撮像装置１０全体を薄型化することができ、しかも、固体撮像素子１６の受光面は結像光学系の像面湾曲に沿って湾曲されているため、結像光学系の像面湾曲による収差を補正することができ、かつ固体撮像素子１６の受光面の全域にわたり焦点の合った固体撮像装置１０を提供することができ、周辺ボケの少ない良好な画質が得られる。
また、この実施の形態によれば、半導体ベアチップ１４と固体撮像素子１６の配線基板１２を共用化でき、固体撮像装置１０の薄型化及び小型化を更に促進できる。
【００１６】
因みに、図５に示す従来の固体撮像装置における半導体ベアチップ及び固体撮像素子を含む全体の厚さは、半導体ベアチップの厚み０．３mm＋半導体ベアチップと固体撮像素子チップとの間の空間的隙間０．２mm＋固体撮像素子チップの厚み０．３mm＝０．８mmとなる。
これに対して、本発明の実施の形態に示す固体撮像装置１０では、固体撮像素子１６が半導体ベアチップ１４の球面状の湾曲面１４１内に収容された構造になっているため、半導体ベアチップ１４及び固体撮像素子１６を含む全体の厚さは、実質的に半導体ベアチップ１４のみの厚み０．３mmとなる。したがって、この実施の形態に示す半導体ベアチップ及び固体撮像素子を含む固体撮像装置１０の厚さを従来の固体撮像装置の厚さの約１／３程度にすることができる。
【００１７】
上記実施の形態では、半導体ベアチップ１４の裏面を球面状に加工した場合について説明したが、本発明では円筒面状に加工してもレンズ収差による周辺ボケを改善できる効果がある。但し、球面状に加工する場合の方が、画面全体に亘り、レンズ収差による画面周辺のピンボケは改善される。また、固体撮像素子１６としては、ＣＣＤイメージセンサであってもＣＭＯＳイメージセンサであっても同様の効果が得られる。
【００１８】
次に、図２により上記第１の実施の形態に示す固体撮像装置に結像光学ユニットを組み付けた固体撮像カメラの構成について説明する。
図２において、固体撮像カメラ３０は、固体撮像装置１０と、この固体撮像装置１０の光入射側に組み付けられ、固体撮像装置１０の固体撮像素子１６に撮影光像を結像させる結像光学ユニット３２とを備える。
【００１９】
上記結像光学ユニット３２は、撮像レンズ３２１及びレンズ鏡筒３２２などを備えている。
レンズ鏡筒３２２は撮像レンズ３２１を装着できるとともに配線基板１２に実装された半導体ベアチップ１４をパッケージングするのに必要な長さを有し、このレンズ鏡筒３２２の後端は、レンズ鏡筒３２２の内側に半導体ベアチップ１４が収容されるようにして配線基板１２に結合されている。
また、このレンズ鏡筒３２２内の前端寄り箇所には撮像レンズ３２１がレンズ支持部材３２３によって装着されている。
上記レンズ支持部材３２３は、その外周面に形成した雄ねじ３２３Ａをレンズ鏡筒３２２の内周面に形成した雌ねじ３２２Ａに螺合される構造になっており、このレンズ支持部材３２３をレンズ鏡筒３２２に螺合してレンズ鏡筒３２２の軸線方向に移動することにより、固体撮像装置１０の固体撮像素子１６の受光面に対する撮像レンズ３２１のピント位置が調節できるようになっている。
【００２０】
また、レンズ鏡筒３２２の前端には視野を制限する視野絞り部材３２４が設けられている。
また、固体撮像装置１０の固体撮像素子１６と対向する撮像レンズ３２１の光出射側箇所には赤外線カットフィルター３２５が配設されている。
なお、固体撮像装置１０への塵埃の侵入を防止するために、レンズ鏡筒３２２の後端と配線基板１２との間の隙間は樹脂材により封止されている。
【００２１】
このような本実施の形態における固体撮像カメラ３０によれば、配線基板１２に実装された半導体ベアチップ１４の裏面に撮像レンズ３２１の像面湾曲に応じた湾曲面１４１を形成し、この湾曲面１４１に固体撮像素子１６を貼り合わせてなる固体撮像装置１０を結像光学ユニット３２に組み付けて固体撮像カメラ３０を構成したので、固体撮像装置１０自体を薄型化できることに伴い、固体撮像カメラ３０を小型化及び薄型化することができる。
また、この実施の形態によれば、固体撮像素子１６の受光面は結像光学系の像面湾曲に沿って湾曲されているため、半導体ベアチップ１４の曲率を変更することにより、各種の撮像レンズに対応可能である。
【００２２】
次に、図３及び図４により本発明の固体撮像装置及び固体撮像カメラの第２の実施の形態について説明する。
図３は、第２の実施の形態における固体撮像装置の説明用断面図、図４は第２の実施の形態に示す固体撮像装置に結像光学ユニットを組み付けて固体撮像カメラを構成した場合の説明用断面図である。
【００２３】
図３において、固体撮像装置４０は、上記第１の実施の形態に示す場合と同様に構成された半導体ベアチップ１４及び固体撮像素子１６と、これらを密封状態に収容するパッケージ４２などを備えている。
上記パッケージ４２は、プラスチックまたはセラミックなどにより形成されており、このパッケージ４２の底部は半導体ベアチップ１４が実装される配線基板４３により気密に覆われている。また、パッケージ４２の上面板４２Ａには開口４２Ｂが形成されている。
【００２４】
上記半導体ベアチップ１４は固体撮像素子１６の信号処理用ＩＣを構成するもので、その裏面には、上記第１の実施の形態に示す場合と同様に、結像光学系の収差により発生する像面湾曲に応じた球面状の湾曲面１４１が形成されている。
このように加工された半導体ベアチップ１４は、その湾曲面１４１が上を向くようにしてパッケージ４２内の配線基板４３上にフリップチップ実装される。
この実装に際しては、配線基板４３に半導体ベアチップ１４と接合するための引き出し電極パッドが設け、この引き出し電極パッドと半導体ベアチップ１４のＡｌ電極をＡｕバンプ４４により接合する。また、この接合方法には、超音波接合法またはＡｇペーストによる接合などがあり、別の方法であっても良い。
【００２５】
半導体ベアチップ１４が基板４２Ａに実装された後は、半導体ベアチップ１４と配線基板４３との間にアンダーフィル材を充填して、半導体ベアチップ１４とパッケージ４２との機械的結合強度を補強する。
次に、固体撮像素子１６の裏面を上記第１の実施の形態に示す場合と同様に研磨して５０μm以下、好ましくは２０μm程度の厚さに加工し、固体撮像素子１６可撓性を持たせる。
【００２６】
次に、半導体ベアチップ１４の湾曲面１４１、もしくは固体撮像素子１６の裏面、もしくは両方に接着剤を塗布し、圧縮空気にて半導体ベアチップ１４と固体撮像素子１６の裏面同士を接着させる。こうすることによって、固体撮像素子１６の受光面を半導体ベアチップ１４の湾曲面１４１に沿って湾曲された状態、すなわち結像光学系の撮像レンズの収差による像面湾曲を補正する曲面に湾曲された状態に実装することができる。
次いで、固体撮像素子１６のＡｌ電極と配線基板４３の電極との間をボンディングワイヤー４５により電気的に接続する。
次に、上記パッケージ４２の上面開口４２Ｂを透明なシールガラス４６により気密に封止する。また、シールガラス４４の外表面には、赤外線カットフィルター膜４７が蒸着などにより形成されている。
以上により、半導体ベアチップ１４の湾曲面１４１に固体撮像素子１６が湾曲して貼り合わされ、かつパッケージ４２でパッケージングされた固体撮像装置４０が構成される。
【００２７】
次に、図４により上記第２の実施の形態に示す固体撮像装置に結像光学ユニットを組み付けた固体撮像カメラの構成について説明する。
図４において、固体撮像カメラ５０は、パッケージングされた固体撮像装置４０と、この固体撮像装置４０の光入射側に組み付けられ、固体撮像装置４０の固体撮像素子１６に撮影光像を結像させる結像光学ユニット５２とを備える。
【００２８】
上記結像光学ユニット５２は、撮像レンズ５２１及びレンズ鏡筒５２２などを備えている。
レンズ鏡筒５２２は撮像レンズ５２１を装着するのに必要な長さを有し、このレンズ鏡筒５２２内の前端寄り箇所には撮像レンズ５２１がレンズ支持部材５２３によって装着されている。
上記レンズ支持部材５２３は、その外周面に形成した雄ねじ５２３Ａをレンズ鏡筒５２２の内周面に形成した雌ねじ５２２Ａに螺合される構造になっており、このレンズ支持部材５２３をレンズ鏡筒５２２に螺合してレンズ鏡筒５２２の軸線方向に移動することにより、固体撮像装置４０の固体撮像素子１６の受光面に対する撮像レンズ５２１のピント位置が調節できるようになっている。
また、レンズ鏡筒５２２の前端には視野を制限する視野絞り部材５２４が設けられている。
このような結像光学ユニット５２は、そのレンズ鏡筒３２２の後端をパッケージ４２の上端面に結合することにより固体撮像装置４０にマウントされている。
【００２９】
このような第２の実施形態における固体撮像装置４０によれば、上記第１の実施の形態に示す場合と同様に半導体ベアチップ１４の裏面に結像光学系の撮像レンズの像面湾曲に応じた球面状の湾曲面１４１を形成し、半導体ベアチップ１４の湾曲面１４１に該湾曲形状に沿わせて固体撮像素子１６が貼り合わされた構造になっているため、半導体ベアチップ１４を含めた固体撮像装置４０全体を薄型化することができ、しかも、固体撮像素子１６の受光面は結像光学系の像面湾曲に沿って湾曲されているため、結像光学系の像面湾曲による収差を補正することができ、かつ固体撮像素子１６の受光面の全域にわたり焦点の合った固体撮像装置１０を提供することができ、周辺ボケの少ない良好な画質が得られる。
また、この実施の形態によれば、半導体ベアチップ１４と固体撮像素子１６の配線基板４３を共用化できるとともに、パッケージ４２も共用化することができる。これにより、固体撮像装置４０の薄型化及び小型化を更に促進できる。
また、半導体ベアチップ１４を含む固体撮像素子１６をパッケージ４２でパッケージングすることにより、固体撮像素子表面へのゴミの侵入を完全に防ぐことができ、製造歩留まりを向上できる。
【００３０】
また、この第２の実施の形態による固体撮像装置４０を結像光学ユニット５２に組み付けることで固体撮像カメラ５０を構成するようにしたので、固体撮像装置４０自体の薄型化に伴い、固体撮像カメラ５０を小型化及び薄型化することができる。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の固体撮像装置によれば、信号処理系、駆動系などの機能を有する半導体ベアチップと固体撮像素子とを貼り合せることによって、薄型の固体撮像装置を実現できる。
また、半導体ベアチップの裏面を球面状もしくは円筒状に加工し、その曲面形状に沿って、薄く加工した固体撮像素子を接着することで、固体撮像素子の素子面をレンズの収差を吸収するように湾曲させることができ、薄型で且つ、画面の全領域に渡って焦点が合った固体撮像装置を得ることができる。
【００３２】
また、本発明の固体撮像カメラによれば、半導体ベアチップの一方の面に結像光学系の収差により生じる像面湾曲に対応した湾曲面を形成し、この湾曲面に固体撮像素子を貼り合わせて固体撮像装置を構成するとともに、この固体撮像装置を結像光学ユニットに組み付けることで固体撮像カメラを構成するようにしたので、固体撮像装置自体の薄型化に伴い、固体撮像カメラを小型化及び薄型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ），（Ｂ）は本発明の第１の実施の形態における固体撮像装置の製造過程を示す説明用断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に示す固体撮像装置に結像光学ユニットを組み付けて固体撮像カメラを構成した場合の説明用断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態における固体撮像装置の説明用断面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に示す固体撮像装置に結像光学ユニットを組み付けて固体撮像カメラを構成した場合の説明用断面図である。
【図５】従来における固体撮像カメラの概略構成を示す断面図である。
【図６】撮像レンズの収差により生じる像面湾曲の説明図である。
【符号の説明】
１０……固体撮像装置、１２……配線基板、１４……半導体ベアチップ、１６……固体撮像素子、１４１……湾曲面、３０……固体撮像カメラ、３２……結像光学ユニット３２、４０……固体撮像装置、４２……パッケージ、４３……配線基板、４６……シールガラス、５０……固体撮像カメラ、５２……結像光学ユニット。

Claims

一方の面に結像光学系の収差により生じる像面湾曲に対応した湾曲面が形成された半導体ベアチップと、
前記半導体ベアチップの湾曲面に該湾曲形状に沿わせて貼り合わされた可撓性を有する固体撮像素子と、
を備えることを特徴とする固体撮像装置。
前記半導体ベアチップの他方の面に信号処理用集積回路が形成され、この他方の面が基板またはパッケージにフリップチップ実装されることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
前記半導体ベアチップの湾曲面は円筒面状または球面状であることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
前記固体撮像素子は受光面と、この受光面と反対側の面をなす裏面を有し、前記半導体ベアチップの湾曲面に沿わせて貼り合わされる前記固体撮像素子の面は前記裏面であり、前記固体撮像素子が有する可撓性は、前記裏面が前記固体撮像素子が所定の厚さになるまで研削されることにより付与されていることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
前記半導体ベアチップの他方の面は前記基板またはパッケージに樹脂によりアンダーフィルされていることを特徴とする請求項２記載の固体撮像装置。
固体撮像装置と、前記固体撮像装置の光入射側に配置され撮影光像を結像させる結像光学ユニットとを有する固体撮像カメラであって、
前記固体撮像装置は半導体ベアチップと固体撮像素子とを備え、
前記半導体ベアチップは、一方の面に結像光学系の収差により生じる像面湾曲に対応した湾曲面を有し、
前記固体撮像素子は可撓性を有し、前記半導体ベアチップの湾曲面に該湾曲形状に沿わせて貼り合わされている、
ことを特徴とする固体撮像カメラ。
前記半導体ベアチップの他方の面に信号処理用集積回路が形成され、この他方の面が基板またはパッケージにフリップチップ実装されることを特徴とする請求項６記載の固体撮像カメラ。
前記半導体ベアチップの湾曲面は円筒面状または球面状であることを特徴とする請求項６記載の固体撮像カメラ。
前記固体撮像素子は受光面と、この受光面と反対側の面をなす裏面を有し、前記半導体ベアチップの湾曲面に沿わせて貼り合わされる前記固体撮像素子の面は前記裏面であり、前記固体撮像素子が有する可撓性は、前記裏面が前記固体撮像素子が所定の厚さになるまで研削されることにより付与されていることを特徴とする請求項６記載の固体撮像カメラ。
前記半導体ベアチップの他方の面は前記基板またはパッケージに樹脂によりアンダーフィルされていることを特徴とする請求項７記載の固体撮像カメラ。
前記固体撮像装置の光入射側に赤外線カットフィルターが設けられていることを特徴とする請求項６記載の固体撮像カメラ。