JP3895048B2 - 容量式センサ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、混合液の成分混合比等を計測する容量式センサ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
容量式センサ装置は、液体等の被検出流体の比誘電率が、成分混合比等の物理量に応じて変化することに着目した装置で、被検出流体中に電極を配設して電極を被検出流体の比誘電率に応じて静電容量が変化するキャパシタとなし、キャパシタの静電容量に基づいて上記物理量を測定する。静電容量は、例えば、このキャパシタを有するCR発振回路を構成し、キャパシタの充放電によりキャパシタの静電容量に比例した周期の発振出力を得ることで知られるようになっている。この場合、発振信号の周期はCR発振回路の時定数に比例し、原理的には、静電容量に比例する比誘電率は上記時定数に比例することになる。したがって、発振信号から一定数の振動がカウントされるまでの時間を測定すれば、その時間が比誘電率に比例することになり、計測時間から比誘電率が簡単に演算できる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
かかる容量式センサ装置において、高精度化を阻害するものに、電極と接地等間に生じる寄生容量の影響がある。例えば、キャパシタを被検出流体が流通するハウジング内に格納した構成の容量式センサ装置では、ハウジングは堅牢さや外部からのノイズの影響の防止の観点から金属で作られるため、図7に示すように、電極91とハウジング93の間に寄生容量92が発生する。この寄生容量は、電極91とハウジング93間の距離や被検出流体の比誘電率によって大きさが変化するから、被検出流体の比誘電率と計測時間の間の線形性がずれ、複雑な計算式や補正マップが必要になり、装置が複雑化する。なお、このように電極を格納するハウジングを有する装置では、ハウジングの形状を大きくしてハウジングと電極との距離をとることにより、寄生容量をある程度抑えることができるが、このような寄生容量防止策は、近年の装置の小型化の要請からは到底容認できるものではない。
【0004】
本発明は上記実情に鑑みなされたもので、寄生容量を低減して簡単な構成で高い測定精度が得られる容量式センサ装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明では、容量式センサ装置は、被検出流体中に電極を配設して、被検出流体の測定しようとする物理量に応じて比誘電率が変化することにより静電容量が変化するキャパシタとする。キャパシタの静電容量に基づいて上記物理量を測定する。電極の周囲に間隔をおいて低誘電性の絶縁材料で構成した包囲部材を設け、該包囲部材には被検出流体が流通する開口部を形成する。
【0006】
電極を囲む包囲部材により、電極と例えば接地間の寄生容量が小さく抑えられ、寄生容量による物理量の測定誤差を補正する必要がなくなる。また、本発明を、ハウジングを有する構成の容量式センサ装置に適用すると、寄生容量が小さく抑えられることで、ハウジングを大型にしたのと同じ効果を得ることができ、形状の小型化と寄生容量の低減とを両立せしめることができる。
【0007】
請求項2記載の発明では、上記キャパシタの充放電によりキャパシタの容量に応じた周波数で発振する発振回路を具備せしめて発振信号の周期変化に基づいて被検出流体の物理量を測定する構成とし、かつ発振回路を上記電極の電圧が接地電位に対して正負に交番する構成とする。
【0008】
上記電極の電圧が正負に交番するので、被検出流体の導電率によって電極と被検出流体間に電流が流れても、その電流は絶えず向きを反転させることになる。しかして、電極表面における電気腐食を防止することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
図1に燃料電池システムに適用した本発明の容量式センサ装置の実施形態を示す。容量式センサ装置1は、水とメタノールの混合器から被検出流体たる水/メタノール混合液をメタノール改質器に送出する管路の途中に設けられ、水とメタノールの混合比が水/メタノール混合液の比誘電率の関数であることを利用して上記混合比を計測するものである。燃料電池システムでは、容量式センサ装置1の計測結果は水およびメタノールの供給量を調整するバルブ制御に用いられ、水/メタノール混合液の混合比が管理される。
【0010】
容量式センサ装置1は、ハウジング2を有し、ハウジング2は5つのハウジングユニット21,22,23,24,25から構成されている。ハウジングユニット21,24,25はステンレススティール等の金属製で、ハウジングユニット22,23は、ポリエーテルケトン(PEEK)材を成形したものである。第1のハウジングユニット21は、厚肉のブロック状部材に凹部21aが形成されたもので、凹部21aを横切る横穴8が形成してある。
【0011】
第1のハウジングユニット21の凹部21aには、これを埋めるように、包囲部材たる第2、第3のハウジングユニット22,23が配設してある。
【0012】
第2、第3のハウジングユニット22,23には、第2のハウジングユニット22の凹部22aを第3のハウジングユニット23が上方より閉鎖することで、空間2aが形成してある。また、第2、第3のハウジングユニット22,23には、図の左右に開口部201,202が形成され、空間2aと上記横穴8とを連通せしめている。
【0013】
横穴8の両端部81,82は上記混合器およびメタノール改質器と接続するための接続部81,82としてあり、ハウジングユニット22,23の空間2aを、水/メタノール混合液Lが流通するようになっている。
【0014】
ハウジングユニット22,23の空間2aには、キャパシタたる検出キャパシタ41A、温度センサ7が配設してある。
【0015】
このように、ハウジング2は、ハウジングユニット21,24とで形成される外側のハウジング部とハウジングユニット22,23とで形成される内側のハウジング部とからなり、ハウジングユニット22,23は検出キャパシタ41A、温度センサ7を包囲している。
【0016】
第4、第5のハウジングユニット24,25は第3のハウジングユニット23の上方に設けられる。第4のハウジングユニット24は円形の箱状に成形されたもので、これを蓋となる第5のハウジングユニット25が上方より螺着されて閉鎖し、空間2bが形成してある。空間2bには回路基板31,32が配設してある。回路基板31,32は第4のハウジングユニット24に保持されている。
【0017】
また第4、第5のハウジングユニット24,25は、図略のボルトにより第1のハウジングユニット21に固定され、第2,第3のハウジングユニット22,23が第1のハウジングユニット21と、第4、第5のハウジングユニット24,25の間に挟持される。しかしてハウジング2はそのハウジングユニット21〜25が互いに密着して一体化する。
【0018】
検出キャパシタ41Aは、所定の間隔をおいて上下方向に積層する多数の電極たる電極板411,412により構成され、電極板411,412は、空間2aの上壁である第3のハウジングユニット23から垂下する支柱33、リード支柱34により保持されている。リード支柱34は、図示されないものが奥側にもう1つ設けてあり、いずれも第3、第4のハウジングユニット23,24を貫通して空間2bに進出している。2つのリード支柱34はキャパシタ41Aの正負のリード部をなしている。電極板411,412は交互にいずれかのリード支柱34を介して回路基板31,32と接続されており、交互に水/メタノール混合液を挟んで対向する正側電極411群と負側電極412群とを形成する。検出キャパシタ41Aの静電容量は空間2aの水/メタノール混合液Lの比誘電率に応じて変化する。
【0019】
温度センサ7は抵抗温度計等で構成され、第3のハウジングユニット23から垂下するケース35内に収容してある。温度センサ7のリード36は回路基板31,32と接続されている。
【0020】
図2に、キャパシタ41A、温度センサ7、回路基板31,32により形成される検出回路を示す。キャパシタ41A、温度センサ7以外の部分は回路基板31,32上に実装される。
【0021】
検出器側発振回路4Aと基準側発振回路4Bとは、インバータ43を直列に接続した等価な回路構成のCR発振回路で、発振信号は、「L」レベルと「H」レベルを繰り返すパルス信号となる。検出器側発振回路4Aの充放電回路は、検出キャパシタ41Aと抵抗42Aとで構成され、検出器側発振回路4Aの発振周波数(検出器側発振周波数)は水/メタノール混合液Lの比誘電率に応じて変化する。一方、基準側発振回路4Bの充放電回路は、基準キャパシタ41Bと抵抗42Bとで構成され、基準側発振回路4Bの発振周波数(基準側発振周波数)は設置環境が一定していれば一定値をとる。検出器側発振回路4Aの発振出力(検出器側発振出力)はカウンタ5Aに入力し、基準側発振回路4Bの発振出力(基準側発振出力)はカウンタ5Bに入力する。
【0022】
各カウンタ5A,5Bには、また、マイクロコンピュータ6から同時にリセット信号が入力し、各カウンタ5A,5Bは、リセット信号が入力すると、その時点から発振出力のパルスをカウントし、規定数のパルスをカウントすると規定パルス到達信号をマイクロコンピュータ6に返送するようになっている。
【0023】
マイクロコンピュータ6はCPU、メモリ等よりなる一般的な構成のもので、両カウンタ5A,5Bから規定パルス到達信号を受け取るとその時間差から後述するように水/メタノール混合液Lの混合比を演算するようになっている。
【0024】
マイクロコンピュータ6にはまた、温度センサ7から検出信号が入力し、マイクロコンピュータ6は、後述するように上記混合比の演算において温度センサ7による検出温度に応じて補正演算をするようになっている。
【0025】
本容量式センサ装置1の作動を説明する。図3にマイクロコンピュータ6で実行される制御フローを示す。ステップS101では、温度センサ7の検出信号を読み込み、水/メタノール混合液Lの温度を得る。
【0026】
ステップS102では、カウンタ5A,5Bにリセット信号を出力し、検出器側発振回路4Aと基準側発振回路4Bの規定パルス到達時間の差を計測する。
【0027】
規定パルス到達時間は規定パルス数を発振周波数で除した時間であるから、規定パルス到達時間差は、検出器側発振回路4Aと基準側発振回路4Bとの充放電回路の時定数偏差に比例し、時定数はキャパシタ41A,41Bの静電容量に比例する。
【0028】
ここで、従来の装置ではキャパシタ41Aの静電容量が上記のごとく寄生容量の影響を受ける。しかし、本容量式センサ装置1では、電極411,412を第2、第3のハウジングユニット22,23が包囲しているから、電極411,412と金属製の第1、第4のハウジングユニット21,24の間に生じる寄生容量は、PEEK材を誘電体とするものである。PEEK材は、比誘電率が、水の約80、メタノールの約30に対して2程度と、極めて低い値を示す。したがって、寄生容量の静電容量は、ハウジングユニット22,23がない場合よりも大幅に抑えられ、その結果、水/メタノール混合液Lの混合比が変化しても寄生容量は実質的に一定とみなせる小さなレベルとなる。
【0029】
したがって、被検出流体の比誘電率を、計測時間との直線的な対応関係に基づき演算しても計測誤差はごくわずかである。
【0030】
さらに、検出器側発振回路4Aとともに、これと等価な基準側発振回路4Bを設けることで、装置の設置環境による外乱の発振回路に与える影響を相殺し、測定誤差の低減を図っている。
【0031】
さて、検出器側発振回路4Aと基準側発振回路4Bとで、充放電回路を構成するキャパシタ41A,41Bの容量や抵抗42A,42Bの抵抗値が等しいと仮定すると、検出器側発振周波数と基準側発振周波数とは等しい。するとカウンタ5A,5Bからの規定パルス到達信号は同時にマイクロコンピュータ6に返送され、規定パルス到達時間差は0である。
【0032】
水/メタノール混合液Lの混合比が変化して水/メタノール混合液Lの比誘電率が変化すると、水/メタノール混合液Lの比誘電率に応じて、規定パルス到達時間差が直線的に変化する。
【0033】
このように規定パルス到達時間差は水/メタノール混合液Lの混合比に応じて変化するが、比誘電率が、水/メタノール混合液Lの混合比に加えてその温度の関数でもあるため、水/メタノール混合液Lの混合比は規定パルス到達時間差および水/メタノール混合液Lの温度で特定される。ステップS103では、ステップS101にて検出した水/メタノール混合液Lの温度に基づく補正を加味して、規定パルス到達時間差から水/メタノール混合液Lの混合比を演算する。すなわち、マイクロコンピュータ6のメモリ(ROM)には、予め、水/メタノール混合液Lの規定パルス到達時間差と混合比の関係式を記憶しており、水/メタノール混合液Lの検出温度に対応した関係式により、混合比を演算する。
【0034】
規定パルス到達時間差と温度センサ7の検出温度とに基づいて、上記のごとく水/メタノール混合液Lの混合比が求められ、上記バルブの制御用の制御装置に出力される(ステップS104)。
【0035】
図4は、規定パルス到達時間差の特性を示すグラフで、水/メタノール混合液Lの水の割合を変化させたときのものである。図中、本実施形態になる容量センサ式センサ装置(絶縁体あり)とともに、包囲部材(22,23)を有しない従来型の装置(絶縁体なし)のものを併せて示している。
【0036】
規定パルス到達時間差の計測値は、その回帰直線からのずれが、いずれも水の割合が90%のときに最も大きく、従来例(絶縁体なし)では26.4μsであったのに対し、本発明(絶縁体あり)では21.6μsであり、直線性が18%も向上した。
【0037】
このように、本発明によれば、簡単な構成で、寄生容量の発生を抑え、測定精度を向上させることができる。しかも、本実施形態のごとく電極を格納する金属製のハウジングを有する場合には、ハウジングを大型化することなく、寄生容量を抑えることができ、装置の小型化と寄生容量の低減との両立を実現できる。
【0038】
なお、本発明は、検出器側発振回路とともに基準側発振回路を設けて発振回路の温度特性を相殺する構成の装置に適用したが、検出器側発振回路単体の構成の装置にも適用し得る。
【0039】
(第2実施形態)
第1実施形態の構成では、イオン化傾向の高い成分が含まれる場合等、被検出流体の導電率が高いと、電極表面において電気腐食が生じるおそれがある。本実施形態はかかる電気腐食を防止する構成を提供するもので、第1実施形態の構成において、検出器側発振回路を別の構成に代えたものである。図5に、この発振回路の構成を示す。
【0040】
この発振回路4AAでは、インバータ43は東芝TC74HCU04等のインバータICで構成され、その電源として、インバータICのVDD端子には正電圧を印加し(例えば+2.5V)、VSS端子には負電圧を印加する(例えば−2.5V)。図6は、各電極411,412の電位を示すもので、A点(一方の電極側)およびB点(他方の電極側)は、電源の電位が負側にシフトすることにより、接地電位に対して正負に振れる波形となる。しかして、被検出流体の導通率が高く被検出流体と電極411,412間に電流が流れる場合であっても、電流の向きが交互に変わるから、電極411,412表面における電気腐食を防止することができる。
【0041】
なお、電気腐食を防止するには、各電極411,412の電位が接地電位を中心に正負に同じ大きさで振れるのが理想的である。したがって、上記のごとく、|VDD|=|−VSS|とするのが望ましい。
【0042】
なお、電極とハウジング間の寄生容量の他、電極とリード支柱間にも寄生容量が生じるから、さらに寄生容量の影響による測定誤差を抑えるには、リード支柱を上記PEEK等の絶縁材料により被覆するのがよい。
【0043】
また、包囲部材は、ポリエーテルケトンに限定されるものではなく、例えば、ポリアセタールやポリイミド等の低誘電性の絶縁材料が好適に用いられ得る。この場合、寄生容量の影響を抑えるには、比誘電率が被検出流体の比誘電率に比して十分に小さな絶縁材料が望ましいが、要求される測定精度や、絶縁材料の被検出流体に対する耐薬品性に応じて適宜選択する。
【0044】
また、温度変動等があまり大きくない場合等、比誘電率の測定値の温度の影響を無視してよければ、温度センサによる補正は省略した構成でもよい。
【0045】
また、本発明は燃料電池システムにおける水/メタノール混合液濃度の計測用だけではなく、他の液体等の物理量の計測に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の容量式センサ装置の断面図である。
【図2】本発明の容量式センサ装置の回路図である。
【図3】本発明の容量式センサ装置の作動を説明するフローチャートである。
【図4】本発明の容量式センサ装置の作動を説明するグラフである。
【図5】本発明の別の容量式センサ装置の要部回路図である。
【図6】本発明の別の容量式センサ装置の作動を説明するタイムチャートである。
【図7】従来の容量式センサ装置の課題を説明する回路図である。
【符号の説明】
1 容量式センサ装置
2 ハウジング
22,23 ハウンジングユニット(包囲部材)
201,202 開口部
4A 検出器側発振回路(発振回路)
41A 検出キャパシタ(キャパシタ)
411,412 電極
42A 抵抗
4B 基準側発振回路
41B 基準キャパシタ
42B 抵抗
5A,5B カウンタ
6 マイクロコンピュータ
7 温度センサ
L 水/メタノール混合液(被検出流体)
Claims (2)
- 被検出流体中に電極を配設してなるキャパシタであって被検出流体の測定しようとする物理量に応じて比誘電率が変化することにより静電容量が変化するキャパシタを設け、キャパシタの静電容量に基づいて上記物理量を測定するようになした容量式センサ装置において、電極の周囲に間隔をおいて低誘電性の絶縁材料で構成した包囲部材を設け、該包囲部材には被検出流体が流通する開口部を形成したことを特徴とする容量式センサ装置。
- 請求項1記載の容量式センサ装置において、上記キャパシタの充放電によりキャパシタの容量に応じた周波数で発振する発振回路を具備せしめて発振信号に基づいて上記被検出流体の物理量を測定する構成とし、かつ発振回路を上記電極の電圧が接地電位に対して正負に交番する構成とした容量式センサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19250898A JP3895048B2 (ja) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | 容量式センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19250898A JP3895048B2 (ja) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | 容量式センサ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000009673A JP2000009673A (ja) | 2000-01-14 |
JP3895048B2 true JP3895048B2 (ja) | 2007-03-22 |
Family
ID=16292463
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19250898A Expired - Fee Related JP3895048B2 (ja) | 1998-06-23 | 1998-06-23 | 容量式センサ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3895048B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3987386B2 (ja) * | 2001-11-20 | 2007-10-10 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ |
JP3983606B2 (ja) * | 2002-06-11 | 2007-09-26 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ |
JP5158513B2 (ja) | 2008-12-19 | 2013-03-06 | 株式会社デンソー | 燃料性状センサ |
JP5434853B2 (ja) * | 2010-01-12 | 2014-03-05 | 株式会社デンソー | 燃料アルコール濃度検出装置 |
JP2016090302A (ja) * | 2014-10-31 | 2016-05-23 | 株式会社鷺宮製作所 | 液体検知ユニット、圧縮機及び空気調和機 |
JP6516442B2 (ja) * | 2014-10-31 | 2019-05-22 | 株式会社鷺宮製作所 | 液体検知器、圧縮機及び空気調和機 |
JP6735882B2 (ja) * | 2019-06-27 | 2020-08-05 | 株式会社鷺宮製作所 | 液体検知ユニット、圧縮機及び空気調和機 |
-
1998
- 1998-06-23 JP JP19250898A patent/JP3895048B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000009673A (ja) | 2000-01-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050112 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060728 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060829 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061026 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091222 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101222 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111222 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121222 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131222 Year of fee payment: 7 |
|
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |