JP3869889B2

JP3869889B2 - Classification array device

Info

Publication number: JP3869889B2
Application number: JP14877396A
Authority: JP
Inventors: 俊司野口
Original assignee: Canon Machinery Inc
Current assignee: Canon Machinery Inc
Priority date: 1996-06-11
Filing date: 1996-06-11
Publication date: 2007-01-17
Anticipated expiration: 2016-06-11
Also published as: JPH09330973A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はペレットをその特性区分毎にトレーを異ならせて矩形状のトレーに整列状に詰める分類配列装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の装置の従来例を図面を用いて説明する。図３はその要部平面図、そのＡ−Ａ線の要部断面図を図４に示す。図４において分類配列装置１はピックアップポジションＰの下方には吸着パイプ２が配置され、その中には突き上げニードル３が上下動自在に設けられ、図外の場所に吸着パイプ２の周囲を取り囲む様に後述するウェーハリング（図示せず）を載置するための略リング形状をしたリングステージ（図示せず）がＸ，Ｙ，θ方向に移動自在に設けられて、その上にはペレット９が間隔を有して整列状に載置されたシート８を固定したウェーハリング（図示せず）が載置される。そしてピックアップポジションＰの上方には画像処理装置（図示せず）のカメラ（図示せず）が配置されていて、これらの部位でペレット９の供給部を構成する。
【０００３】
図４にはピックアップポジションＰの上方にピックアップ部（本体図示せず）の先端であるコレット７の先端部が図示されている。ピックアップ部（図示せず）はコレット７の先端でペレット９を真空吸着して上昇し図３のＡ−Ａ線（Ｙ方向）にその距離自在に搬送しトレー５の凹部６に詰める。
【０００４】
そして、図３に示す様にピックアップポジションＰに近接してその端部を配したトレーステージ４を備えている。トレーステージ４は方形で上面に矩形（方形も含む）のトレー５を複数載置する。トレー５はＸ，Ｙ方向に平行に位置精度良く載置されねばならず、そのためトレーステージ４はトレー５の位置決めの為の凹部１０を上面に備える。そしてトレーステージ４はＸ方向に移動自在である。
【０００５】
図４に示す様にステージ４の下側にシート８（図示していないウエーハリングやリングステージも）の一部がもぐりこむ構成としてピックアップポジションＰとトレーステージ４の端との距離ａを小さくしてコレット７の移動距離を可及的に小さくしている。
【０００６】
次にこの装置による半導体ペレットの分類配列作業に付いて説明する。
ａ）半導体ペレットはウェーハ上に多数整列した状態で完成する。その状態で個々のペレットの特性を測定し特性区分についてのマップをつくる。
ｂ）ウエーハをシート８に貼りつけ個々のペレット９に分割し、シート８を縦横に引き伸ばしペレット９，９間に間隔をもたせてウェーハリング（図示せず）に固定する。そうすればウェーハ時の配列を崩すことなくテープ８上にペレット９が貼りついた状態となる。
ｃ）このようなウェーハリング（図示せず）をリングステージ（図示せず）にセットして以下の様に分類配列動作を行なう。
１）マップの情報や画像処理装置（図示せず）の情報に基づきコンピュータ（図示せず）がリングステージ（図示せず）を制御して次にピックアップするペレット９をピックアップポジションＰに位置合わせする。
２）次にコレット７がピックアップポジションＰの上方に待機した状態で吸着パイプ３により真空吸着してシート８を固定して、突き上げニードル３を上方に動かしペレット９を突き上げペレット９がシート８より剥がれやすくすると共にコレット７が降下してペレット９を真空吸着する。
３）上記１）、２）の動作に並行して（場合により後述する４）の動作に並行して）コンピュータ（図示せず）がマップの情報やそれ以前にトレー５へペレット９の詰まった状況の情報に基づきトレーステージ４を制御してＸ方向に移動させそのペレット９が詰められるべきトレー９の詰められるべき凹部６を図３のＡ−Ａ線に移動する。
４）コンピュータ（図示せず）はマップの情報やそれ以前にトレー５へペレット９の詰まった状況の情報に基づきピックアップ部（図示せず）を制御して上記２）の様に先端にペレット９を真空吸着保持したコレット７を上昇させると共にＡ−Ａ線上（Ｙ方向）をペレット９が詰められるべき場所まで搬送させ、降下させ、真空を切りペレット９をプレイスする。
５）以上１）〜４）を繰り返してペレット９の分類配列動作が行なわれる。
６）特定のトレー５がいっぱいになると動作は一旦中断してトレーステージ４は例えば図３において左に移動する。その際分類配列の基本動作のための最も左に位置するときのトレーステージ４の左端の位置イを越えてハの位置までトレーステージの左端が移動する。なぜならば、イの位置で停止させた場合右端のトレー（５ａ等）は図示しないピックアップ部が上方に配置されているのでトレーの交換がやりにくいためである。そして作業者はいっぱいになったトレーを取出し空のトレーをセットして再スタートさせると、上記１）〜４）の動作を繰り返し分類配列動作が行なわれる。
【０００７】
以上説明したようにこの装置のトレーステージ４の動作に要する領域は図３に破線で示す範囲であり、Ｘ方向の移動に要する範囲Ｌ1 は位置ハ〜位置ロの範囲であり、トレーステージ４の幅を２ａとすると
Ｌ1 ＝４ａ＋α ……（１）
となる。ここでαはトレー交換のために要する追加の移動範囲である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記分類配列装置は分類の区分が多く、従ってトレーの数が多い場合はトレーステージが大きくて、例えば図３に▲印で示す位置からトレーの交換をするとき一番遠い行のトレー（５ａ等）は作業がやりにくい。さらにトレーステージの移動の幅も大きくなって装置が大型となる。そこでこの発明はトレー交換が容易な分類配列装置を提供する。さらに、トレーステージの移動の範囲を小さくし、装置の幅を小さくした分類配列装置を提供する。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明は、一定のピックアップポジションに供給される特性区分様々なペレットをその区分毎に準備した矩形状の複数のトレーに順次その特性区分に対応してしかも整列状態に詰める分類配列装置において、前記ピックアップポジションで前記ペレットをピックアップしてＹ方向にその距離自在に搬送して前記トレーに詰めるピックアップ部と、前記トレーを上面に載置し、Ｘ方向移動自在で、上面の略中心を軸として回転自在なトレーステージとを具備し、前記トレーステージはペレットをトレーに詰めるに際しＸ方向に移動してペレットを詰める位置をピックアップ部によるペレットの搬送線に移動させ、トレーの交換に際しては回転してそのトレーが交換容易な位置に移動することを特徴とする分類配列装置である。
上記の装置によれば、トレーの交換に際してはトレーステージを回転してそのトレーが交換容易な位置に移動するのでトレーの交換が容易である。
さらに、一定のピックアップポジションに供給される特性区分様々なペレットをその区分毎に準備した矩形状の複数のトレーに順次その特性区分に対応してしかも整列状態に詰める分類配列装置において、前記ピックアップポジションで前記ペレットをピックアップしてＹ方向にその距離自在に搬送して前記トレーに詰めるピックアップ部と、Ｘ方向に移動自在で、上面の略中心を軸として回転自在であり、前記軸を通り互いに直交する２本の区画線で４つの象限に区画され、前記トレーを区画線に平行に載置するトレーステージとを具備し、前記トレーステージはペレットをトレーに詰めるに際し回転して前記区画線がＸ方向またはＹ方向に平行で詰められるべきトレーを載置した象限を前記ピックアップポジションに最も近い位置に移動すると共にＸ方向に移動してペレットを詰める位置をピックアップ部によるペレットの搬送線に移動させ、トレーの交換に際しては回転してそのトレーが交換容易な位置に移動することを特徴とする分類配列装置である。
この装置によれば、トレーの交換に際してはトレーステージを回転してそのトレーが交換容易な位置に移動するのでトレーの交換が容易であると共にトレーステージはペレットをトレーに詰めるに際し回転して詰められるべきトレーを載置した象限を前記ピックアップポジションに最も近い位置にするのでＸ方向の移動範囲が少なくなり、装置の幅を小さくする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下本発明について、図面を参照して説明する。図１は本発明の一例の分類配列装置２１の要部平面図である。吸着パイプ、突き上げニードル、リングステージ、カメラを含む画像処理装置等で構成されるペレットの供給部とコレットを含むピックアップ部は従来の装置（図３，４参照）と同じでよく、シート８とトレーステージ２４との高さ方向の位置関係は従来の装置（図３，４参照）と同じであるので縦断面図は省略し図４を兼用する。図１にも図示を省略する。
【００１１】
本発明の装置のトレーステージ２４もピックアップポジションＰに近接してその端部を配して設けられる。トレーステージ２４も方形で上面に矩形（方形も含む）のトレー５を複数載置し、トレー５はＸ，Ｙ方向に平行に位置精度良く載置されねばならず、そのためトレーステージ２４はトレー５の位置決めの為の凹部（図示せず）を上面に備え、トレーステージ２４はＸ方向に移動自在である等に付いては従来の装置に似ている。特徴的には上面の中心を軸Ｃとして回転自在である。
【００１２】
次にこの装置の理解をしやすくする為に半導体ペレットの分類配列作業の説明を付して動作の説明と構成の説明をする。
半導体ペレットが特性区分についてのマップを有してシート８に貼りつけられ、ウェーハリングに固定されて供給され、それをリングステージ（図示せず）にセットする点は従来の方法と同じであり、その後以下の様に分類配列動作を行なう。
１）装置をスタートさせるとトレーステージ２４がトレー５の向きが所定の方向でＸ方向，Ｙ方向に平行な位置まで回転して固定される。
２）マップの情報や画像処理装置（図示せず）の情報に基づきコンピュータ（図示せず）がリングステージ（図示せず）を制御して次にピックアップするペレット９をピックアップポジションＰに位置合わせする。
３）次にコレット７がピックアップポジションＰの上方に待機した状態で吸着パイプ３により真空吸着してシート８を固定して、突き上げニードル３を上方に動かしペレット９を突き上げペレット９がシート８より剥がれやすくすると共にコレット７が降下してペレット９を真空吸着する。
４）上記２）、３）の動作に並行して（場合により後述する５）の動作にも並行して）コンピュータ（図示せず）がマップの情報やそれ以前にトレー５へペレット９の詰まった状況の情報に基づきトレーステージ２４を制御してＸ方向に移動させそのペレット９が詰められるべきトレー９の詰められるべき凹部を図３のＡ−Ａ線に移動する。
５）コンピュータ（図示せず）はマップの情報やそれ以前にトレー５へペレット９の詰まった状況の情報に基づきピックアップ部（図示せず）を制御して上記２）の様に先端にペレット９を真空吸着保持したコレット７を上昇させると共にＡ−Ａ線上（Ｙ方向）をペレット９が詰められるべき場所まで搬送させ、降下させ、真空を切りペレット９をプレイスする。
６）以上２）〜５）を繰り返してペレット９の分類配列動作が行なわれる。
７）特定のトレー５がいっぱいになると動作は一旦中断してトレーステージ２４は所定のトレー交換位置例えば図１の↑印に示すＸ方向位置に軸Ｃの位置を移動する。この位置はトレーステージ２４を回転しても分類配列の本来動作において最も左に位置する時のトレーステージ２４の左端のＸ方向位置イを越えてトレーステージ２４の角の部分が突出しない位置である。
８）そして作業者の手動により、もしくはコンピュータ（図示せず）の制御により自動にトレーステージ２４を回転し交換するトレー５を交換容易な位置に移動する。
９）いっぱいになったトレーを取出し空のトレーをセットして再スタートさせると、上記１）の動作を行い以後２）〜５）の動作を繰り返し分類配列動作が行なわれる。
【００１３】
この実施例によれば、交換されるべきトレー５を交換容易な位置に移動できるのでトレーの交換が容易である。
【００１４】
さらに、トレーステージ２４のＸ方向の移動に要する幅はトレー５の交換のためのみに必要な部分を要さないので、装置の幅を小さくできる。すなわち、Ｘ方向の移動に要する範囲Ｌ2 は位置イ〜位置ロの範囲であり、トレーステージ２４の幅を２ａとすると
Ｌ2 ＝４ａ ……（２）
となる。
【００１５】
上記実施例ではトレーの交換に際しての動作を７）の動作と８）の動作をシリーズに行なうものとしたが、並行して動作するように構成して動作を速めることもできる。但し、その場合トレーステージの移動の幅はその回転時に位置イや位置ロより外に突出する。
【００１６】
次に本発明の他の例を図面を参照して説明する。図２は本発明の他の例の分類配列装置１１の要部平面図である。吸着パイプ、突き上げニードル、リングステージ、カメラを含む画像処理装置等で構成されるペレットの供給部とコレットを含むピックアップ部は従来の装置（図３，４参照）と同じでよく、シート８とトレーステージ１４との高さ方向の位置関係は従来の装置（図３，４参照）と同じであるので縦断面図は省略し図４を兼用する。図１にも図示を省略する。
【００１７】
本発明の装置のトレーステージ１４もピックアップポジションＰに近接してその端部を配して設けられる。トレーステージ１４も方形で上面に矩形（方形も含む）のトレー５を複数載置する。トレー５はＸ，Ｙ方向に平行に位置精度良く載置されねばならず、そのためトレーステージ１４はトレー５の位置決めの為の凹部を上面に備える。そしてトレーステージ２４はＸ方向に移動自在である。等に付いては従来の装置に似ている。特徴的には上面の中心を軸Ｃとして回転自在であって、その軸を通り互いに直交する２本の区画線１２、１３で４つの象限に区画される。トレー５の位置決めの為の凹部はトレー５を区画線に平行に載置し、しかも各象限で１方向の回転方向の区画線１２，１３に対するトレー５の方向を統一して配置するようなものである。
【００１８】
次にこの装置の理解をしやすくする為に半導体ペレットの分類配列作業の説明を付して動作の説明と構成の説明をする。
半導体ペレットが特性区分についてのマップを有してシート８に貼りつけられ、ウェーハリングに固定されて供給され、それをリングステージ（図示せず）にセットする点は従来の方法と同じであり、その後以下の様に分類配列動作を行なう。
１）装置をスタートさせるとマップの情報や画像処理装置（図示せず）の情報に基づきコンピュータ（図示せず）がリングステージ（図示せず）を制御して次にピックアップするペレット９をピックアップポジションＰに位置合わせする。
２）次にコレット７がピックアップポジションＰの上方に待機した状態で吸着パイプ３により真空吸着してシート８を固定して、突き上げニードル３を上方に動かしペレット９を突き上げペレット９がシート８より剥がれやすくすると共にコレット７が降下してペレット９を真空吸着する。
３）上記１）、２）の動作に並行して（場合により後述する４）の動作に並行して）コンピュータ（図示せず）がマップの情報やそれ以前にトレー５へペレット９の詰まった状況の情報に基づきトレーステージ１４を制御して回転動させ区画線１２，１３がＸ方向またはＹ方向に平行でしかも詰められるべきトレー５を載置した象限がピックアップポジションＰに最も近い位置に移動させると共にＸ方向に移動させそのペレット９が詰められるべきトレー９の詰められるべき凹部（図示せず）を図２のＡ−Ａ線に移動する。
４）コンピュータ（図示せず）はマップの情報やそれ以前にトレー５へペレット９の詰まった状況の情報に基づきピックアップ部（図示せず）を制御して上記２）の様に先端にペレット９を真空吸着保持したコレット７を上昇させると共にＡ−Ａ線上（Ｙ方向）にペレット９が詰められるべき場所まで移動させ、降下させ、真空を切りペレット９をプレイスする。
５）以上１）〜４）を繰り返してペレット９の分類配列動作が行なわれる。
６）特定のトレー５がいっぱいになると動作は一旦中断してトレーステージ１４は所定のトレー交換位置例えば図２の様に分類配列の本来動作において最も左に位置する場所へＸ方向に移動すると共に回転して交換するトレー５が載置された象限を交換容易な位置に移動する。
７）いっぱいになったトレーを取出し空のトレーをセットして再スタートさせると、上記１）〜４）の動作を繰り返し分類配列動作が行なわれる。
【００１９】
この実施例においてはピックアップポジションＰとトレーステージ１４の端との距離ｂは従来の装置における距離ａより大きくなっている。それは、トレーステージ１４の回転によりピックアップポジションＰの上方に配置された画像処理装置のカメラ（図示せず）の視野が塞がれることがないようにするためである。
【００２０】
この実施例によれば、交換されるべきトレー５を交換容易な位置に移動できるのでトレーの交換が容易である。
【００２１】
さらに、トレーステージ１４のＸ方向の移動に要する幅Ｌ3 はトレーステージ１４の幅を２ａとすると
Ｌ3 ＝２＊２1/2 ＊ａ＋ａ＝３．８３ａ ……（３）
となり従来の装置に比較して小さくなる。
【００２２】
上記実施例ではトレーの交換に際してトレーステージ１４の回転動作とＸ方向動作とを並行して動作するように構成して動作を速めたが、一旦本来の分類配列動作に要する動作範囲の中心位置までＸ方向に移動し、そこで回転すれば（要すればさらにその後に取り替え容易な位置までＸ方向移動すれば）トレーステージの移動の幅は本来動作に必要な幅３ａとなる。
【００２４】
さらにペレット９のＹ方向の搬送距離は従来の半分近くに小さくなるので、搬送位置の精度が高まる。
【００２５】
上記各実施例において、トレーステージは方形としたが載置するトレーの数は少なくなるが角の部分を無くし、円形に近付けて回転時に必要領域を少なくすることもできる。また、ペレットの供給部はシート上に整列配置されたペレットが特性区分に関するマップを有して供給されるものを処理する場合に付いて説明したが、個々のペレットに分割された後個々に特性測定して順次ピックアップポジションＰに供給するものであっても良い。
【００２６】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明は、分類配列装置トレーの交換を容易にすると共に特定の態様によれば装置の幅寸法を小型化する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例の要部平面図である。
【図２】この発明の他の実施例の要部平面図である。
【図３】従来の装置の要部平面図である。
【図４】この発明の装置と従来の装置と共通な縦断面である。
【符号の説明】
Ｃ軸
Ｐピックアップポジション
５トレー
７コレット（ピックアップ部）
９ペレット
１１，２１分類配列装置
１４，２４トレーステージ
１２，１３区画線[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a sorting / arranging apparatus that packs pellets in a rectangular tray by arranging different trays for each characteristic category.
[0002]
[Prior art]
A conventional example of this type of apparatus will be described with reference to the drawings. FIG. 3 is a plan view of the main part thereof, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the main part of the AA line. In FIG. 4, the sorting and arranging apparatus 1 has a suction pipe 2 disposed below the pickup position P, and a push-up needle 3 is provided so as to be movable up and down, and surrounds the periphery of the suction pipe 2 in a place outside the figure. A ring stage (not shown) having a substantially ring shape for mounting a wafer ring (not shown) to be described later is provided so as to be movable in the X, Y, and θ directions, and a pellet 9 is provided thereon. A wafer ring (not shown) to which the sheets 8 placed in alignment with a space are fixed is placed. Above the pickup position P, a camera (not shown) of an image processing apparatus (not shown) is arranged, and these parts constitute a supply part of the pellets 9.
[0003]
In FIG. 4, the tip of the collet 7, which is the tip of the pickup part (body not shown), is shown above the pickup position P. A pick-up unit (not shown) ascends the pellet 9 by vacuum suction at the tip of the collet 7 and transports the pellet 9 freely along the line AA (Y direction) in FIG.
[0004]
Then, as shown in FIG. 3, a tray stage 4 is provided which has an end portion close to the pickup position P. The tray stage 4 is square and a plurality of rectangular (including square) trays 5 are placed on the upper surface. The tray 5 must be placed in parallel with the X and Y directions with high positional accuracy. For this reason, the tray stage 4 is provided with a recess 10 for positioning the tray 5 on the upper surface. The tray stage 4 is movable in the X direction.
[0005]
As shown in FIG. 4, the distance a between the pickup position P and the end of the tray stage 4 is reduced so that a part of the sheet 8 (including a wafer ring and a ring stage (not shown)) is embedded below the stage 4. The moving distance of the collet 7 is made as small as possible.
[0006]
Next, the semiconductor pellet sorting and arraying operation by this apparatus will be described.
a) A large number of semiconductor pellets are completed on the wafer. In that state, the characteristics of each pellet are measured, and a map of the characteristic classification is created.
b) The wafer is attached to the sheet 8 and divided into individual pellets 9. The sheet 8 is stretched vertically and horizontally, and is fixed to a wafer ring (not shown) with a space between the pellets 9,9. If it does so, it will be in the state which the pellet 9 adhered on the tape 8 without destroying the arrangement | sequence at the time of a wafer.
c) Such a wafer ring (not shown) is set on a ring stage (not shown), and the sorting and arranging operation is performed as follows.
1) A computer (not shown) controls a ring stage (not shown) on the basis of information on the map and information on an image processing device (not shown) to align the pellet 9 to be picked up next with the pickup position P. .
2) Next, in a state where the collet 7 is waiting above the pickup position P, the suction pipe 3 is vacuum-sucked to fix the sheet 8, the push-up needle 3 is moved upward, the pellet 9 is pushed up, and the pellet 9 is peeled off from the sheet 8. At the same time, the collet 7 is lowered and the pellets 9 are vacuum-adsorbed.
3) In parallel with the operations of 1) and 2) above (possibly in parallel with the operation of 4 described later), a computer (not shown) has jammed pellets 9 in the tray 5 before the information on the map. Based on the situation information, the tray stage 4 is controlled to move in the X direction, and the recess 6 to be packed in the tray 9 in which the pellet 9 is to be packed is moved to the line AA in FIG.
4) The computer (not shown) controls the pick-up unit (not shown) based on the information on the map and the information about the condition that the pellet 9 is clogged in the tray 5 before that, and the pellet 9 at the tip as in 2) above. The collet 7 that has been vacuum-sucked and held is raised and conveyed on the line AA (Y direction) to the place where the pellet 9 is to be packed, lowered, the vacuum is cut, and the pellet 9 is placed.
5) The sorting and arranging operation of the pellets 9 is performed by repeating the above 1) to 4).
6) When the specific tray 5 is full, the operation is temporarily stopped and the tray stage 4 moves to the left in FIG. 3, for example. At that time, the left end of the tray stage moves to the position C beyond the position (a) of the left end of the tray stage 4 at the leftmost position for the basic operation of the sorting array. This is because the tray at the right end (5a, etc.) when it is stopped at position a is difficult to replace the tray because a pick-up section (not shown) is arranged above. When the operator takes out the full tray, sets an empty tray and restarts the operation, the above-described operations 1) to 4) are repeated to perform the sorting and arranging operation.
[0007]
As described above, the region required for the operation of the tray stage 4 of this apparatus is the range indicated by the broken line in FIG. 3, and the range L1 required for movement in the X direction is the range of position c to position b. When the width is 2a, L1 = 4a + α (1)
It becomes. Here, α is an additional movement range required for tray replacement.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, the classification and arrangement apparatus has a large number of classification categories. Therefore, when the number of trays is large, the tray stage is large. For example, when replacing the tray from the position indicated by ▲ in FIG. 5a etc.) is difficult to work. Furthermore, the width of movement of the tray stage is increased and the apparatus becomes large. Therefore, the present invention provides a sorting / arranging apparatus in which tray replacement is easy. Furthermore, a sorting and arranging apparatus is provided in which the range of movement of the tray stage is reduced and the width of the apparatus is reduced.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
Accordingly, the present invention provides a sorting and arranging apparatus that sequentially packs various pellets supplied to a certain pickup position into a plurality of rectangular trays prepared for each section corresponding to the characteristic section and aligned. A pick-up unit that picks up the pellets at the pick-up position, transports the pellets in the Y direction freely and packs them in the tray, and places the tray on the upper surface and is movable in the X direction, with the approximate center of the upper surface as an axis The tray stage moves in the X direction when the pellets are packed in the tray, moves the position where the pellets are packed to the pellet conveyance line by the pickup unit, and rotates when replacing the tray. The tray is moved to a position where it can be easily replaced.
According to the above apparatus, when replacing the tray, the tray stage is rotated and the tray moves to a position where it can be easily replaced. Therefore, the tray can be easily replaced.
Further, in the sorting and arranging apparatus, in which various pellets supplied to a certain pickup position are packed into a plurality of rectangular trays prepared for each section in order corresponding to the characteristic section and aligned. The pick-up unit picks up the pellets, conveys them in the Y direction and packs them in the tray, and is movable in the X-direction and is rotatable about the center of the upper surface. And a tray stage on which the tray is placed in parallel with the partition line. The tray stage rotates when the pellets are packed in the tray so that the partition line is X Move the quadrant on which the tray to be packed parallel to the direction or Y direction is placed to the position closest to the pickup position And moving in the X direction to move the position where the pellets are packed to the pellet conveying line by the pickup unit, and when replacing the tray, the tray is rotated to move the tray to an easily replaceable position. It is.
According to this apparatus, when the tray is replaced, the tray stage is rotated and the tray is moved to a position where the tray can be easily replaced. Therefore, the tray can be easily replaced and the tray stage is rotated and packed when the pellets are packed in the tray. Since the quadrant on which the power tray is placed is positioned closest to the pickup position, the movement range in the X direction is reduced, and the width of the apparatus is reduced.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a main part of a classification and arrangement device 21 as an example of the present invention. The pellet supply unit and the pick-up unit including the collet composed of the suction pipe, push-up needle, ring stage, and image processing apparatus including a camera may be the same as the conventional apparatus (see FIGS. 3 and 4). Since the positional relationship with the stage 24 in the height direction is the same as that of the conventional apparatus (see FIGS. 3 and 4), the longitudinal sectional view is omitted and FIG. 4 is also used. The illustration is also omitted in FIG.
[0011]
The tray stage 24 of the apparatus of the present invention is also provided in the vicinity of the pickup position P with its end portion disposed. The tray stage 24 is also square and a plurality of rectangular (including square) trays 5 are placed on the upper surface, and the trays 5 must be placed in parallel with the X and Y directions with high positional accuracy. A recess (not shown) for positioning is provided on the upper surface, and the tray stage 24 is movable in the X direction. Characteristically, it is rotatable about the center of the upper surface as an axis C.
[0012]
Next, in order to facilitate understanding of this apparatus, explanation of the operation and configuration of the semiconductor pellet sorting and arranging operation will be given.
The semiconductor pellet is affixed to the sheet 8 with a map for the characteristic category, supplied fixedly to the wafer ring, and set on a ring stage (not shown). Thereafter, the classification and arrangement operation is performed as follows.
1) When the apparatus is started, the tray stage 24 is fixed by rotating the tray 5 to a position parallel to the X direction and the Y direction in a predetermined direction.
2) A computer (not shown) controls the ring stage (not shown) based on the map information and the information of the image processing apparatus (not shown) to align the pellet 9 to be picked up next with the pickup position P. .
3) Next, in a state where the collet 7 is waiting above the pickup position P, the suction pipe 3 is vacuum-sucked to fix the sheet 8, the push-up needle 3 is moved upward, the pellet 9 is pushed up, and the pellet 9 is peeled off from the sheet 8. At the same time, the collet 7 is lowered and the pellets 9 are vacuum-adsorbed.
4) In parallel with the above operations 2) and 3) (in some cases, also in parallel with the operation 5) described later), the computer (not shown) clogs the information on the map or the pellet 9 in the tray 5 before that. Based on the information on the situation, the tray stage 24 is controlled to move in the X direction, and the concave portion to be packed in the tray 9 in which the pellet 9 is to be packed is moved to the line AA in FIG.
5) The computer (not shown) controls the pick-up unit (not shown) based on the information on the map and the information on the condition that the pellet 9 is clogged in the tray 5 before that, and the pellet 9 at the tip as in 2) above. The collet 7 that has been vacuum-sucked and held is raised and conveyed on the line AA (Y direction) to the place where the pellet 9 is to be packed, lowered, the vacuum is cut, and the pellet 9 is placed.
6) By repeating the above 2) to 5), the sorting and arranging operation of the pellets 9 is performed.
7) When the specific tray 5 is full, the operation is temporarily stopped, and the tray stage 24 moves the position of the axis C to a predetermined tray replacement position, for example, the X direction position indicated by the ↑ mark in FIG. This position is a position where the corner portion of the tray stage 24 does not protrude beyond the position X in the X direction at the left end of the tray stage 24 when the tray stage 24 is rotated and positioned at the leftmost position in the original operation of the classification array. .
8) Then, the tray 5 to be exchanged is moved to an easily exchangeable position by rotating the tray stage 24 automatically by an operator's manual operation or automatically under the control of a computer (not shown).
9) When the full tray is taken out and an empty tray is set and restarted, the above-described operation 1) is performed, and then the operations 2) to 5) are repeated to perform the sorting and array operation.
[0013]
According to this embodiment, the tray 5 to be replaced can be moved to an easily replaceable position, so that the tray can be easily replaced.
[0014]
Furthermore, since the width required for the movement of the tray stage 24 in the X direction does not require a portion necessary only for the replacement of the tray 5, the width of the apparatus can be reduced. That is, the range L2 required for movement in the X direction is the range from position A to position B, and assuming that the width of the tray stage 24 is 2a, L2 = 4a (2)
It becomes.
[0015]
In the above-described embodiment, the operation at the time of replacing the tray is assumed to be the operation of 7) and the operation of 8) in series. However, the operation can be speeded up by being configured to operate in parallel. However, in this case, the width of the movement of the tray stage protrudes outside the position a and the position b when rotating.
[0016]
Next, another example of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 2 is a plan view of a main part of a sorting and arranging apparatus 11 according to another example of the present invention. The pellet supply unit and the pick-up unit including the collet composed of the suction pipe, push-up needle, ring stage, and image processing apparatus including a camera may be the same as the conventional apparatus (see FIGS. 3 and 4). Since the positional relationship with the stage 14 in the height direction is the same as that of the conventional apparatus (see FIGS. 3 and 4), the longitudinal sectional view is omitted and FIG. 4 is also used. The illustration is also omitted in FIG.
[0017]
The tray stage 14 of the apparatus of the present invention is also provided in the vicinity of the pickup position P with its end portion disposed. The tray stage 14 is also square and a plurality of rectangular (including square) trays 5 are placed on the upper surface. The tray 5 must be placed in parallel with the X and Y directions with high positional accuracy. Therefore, the tray stage 14 includes a concave portion for positioning the tray 5 on the upper surface. The tray stage 24 is movable in the X direction. Etc. are similar to conventional devices. Characteristically, the center of the upper surface is rotatable about an axis C, and is divided into four quadrants by two comparting lines 12 and 13 passing through the axis and orthogonal to each other. The concave portion for positioning the tray 5 is such that the tray 5 is placed in parallel to the dividing line, and the direction of the tray 5 with respect to the dividing lines 12 and 13 in one rotation direction is unified in each quadrant. It is.
[0018]
Next, in order to facilitate understanding of this apparatus, explanation of the operation and configuration of the semiconductor pellet sorting and arranging operation will be given.
The semiconductor pellet is affixed to the sheet 8 with a map for the characteristic category, supplied fixedly to the wafer ring, and set on a ring stage (not shown). Thereafter, the classification and arrangement operation is performed as follows.
1) When the apparatus is started, a computer (not shown) controls a ring stage (not shown) on the basis of map information and image processing apparatus (not shown) information and picks up a pellet 9 to be picked up next. Align with P.
2) Next, with the collet 7 waiting above the pick-up position P, the suction pipe 3 sucks and fixes the sheet 8, the push-up needle 3 is moved upward to push the pellet 9, and the pellet 9 is peeled off from the sheet 8. At the same time, the collet 7 is lowered and the pellets 9 are vacuum-adsorbed.
3) In parallel with the operations 1) and 2) above (possibly in parallel with the operation 4) to be described later, the computer (not shown) has jammed pellets 9 in the tray 5 before the map information. Based on the situation information, the tray stage 14 is controlled to rotate, and the quadrant on which the lane markings 12 and 13 are parallel to the X direction or the Y direction and the tray 5 to be packed is placed is moved to the position closest to the pickup position P. And move in the X direction to move a recess (not shown) to be packed in the tray 9 in which the pellet 9 is to be packed to the line AA in FIG.
4) The computer (not shown) controls the pick-up unit (not shown) based on the information on the map and the information about the condition that the pellet 9 is clogged in the tray 5 before that, and the pellet 9 at the tip as in 2) above. The collet 7 holding the vacuum is lifted and moved to the place where the pellet 9 should be packed on the AA line (Y direction), lowered, the vacuum is cut, and the pellet 9 is placed.
5) The sorting and arranging operation of the pellets 9 is performed by repeating the above 1) to 4).
6) When the specific tray 5 is full, the operation is temporarily stopped, and the tray stage 14 moves in the X direction to a predetermined tray replacement position, for example, the leftmost position in the original operation of the sorting array as shown in FIG. The quadrant on which the tray 5 to be exchanged by rotation is placed is moved to an easily exchangeable position.
7) When the full tray is taken out and an empty tray is set and restarted, the above-described operations 1) to 4) are repeated to perform the sorting and arrangement operation.
[0019]
In this embodiment, the distance b between the pickup position P and the end of the tray stage 14 is larger than the distance a in the conventional apparatus. This is to prevent the visual field of the camera (not shown) of the image processing apparatus disposed above the pickup position P from being blocked by the rotation of the tray stage 14.
[0020]
According to this embodiment, the tray 5 to be replaced can be moved to an easily replaceable position, so that the tray can be easily replaced.
[0021]
Further, the width L3 required for the movement of the tray stage 14 in the X direction is L3 = 2 * 21/2 * a + a = 3.83a when the width of the tray stage 14 is 2a (3).
It becomes smaller compared with the conventional device.
[0022]
In the above embodiment, the tray stage 14 is operated in parallel with the rotation operation of the tray stage 14 and the operation in the X direction at the time of replacing the tray, but the operation is accelerated. If it moves in the X direction and rotates there (if it moves further in the X direction to a position where it can be easily replaced later if necessary), the width of movement of the tray stage becomes the width 3a necessary for the operation.
[0024]
Further, since the transport distance in the Y direction of the pellet 9 is reduced to almost half of the conventional distance, the accuracy of the transport position is increased.
[0025]
In each of the above embodiments, the tray stage is square, but the number of trays to be placed is reduced, but the corner portion can be eliminated, and the necessary area can be reduced during rotation by approaching a circle. In addition, the pellet supply unit has been described for the case where the pellets arranged on the sheet are supplied with a map relating to the characteristic classification, but the characteristic is individually divided after being divided into individual pellets. It may be one that measures and sequentially supplies it to the pickup position P.
[0026]
【The invention's effect】
As described above, the present invention facilitates replacement of the sorting and arranging device tray and reduces the width of the device according to a particular embodiment.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of an essential part of one embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view of an essential part of another embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a plan view of a main part of a conventional apparatus.
FIG. 4 is a longitudinal section common to the device of the present invention and the conventional device.
[Explanation of symbols]
C axis P Pickup position 5 Tray 7 Collet (Pickup part)
9 Pellet 11, 21 Sorting and arranging device 14, 24 Tray stage 12, 13

Claims

In a sorting and arranging apparatus for aligning pellets to be supplied to a predetermined position on a plurality of trays prepared for each characteristic classification, a pickup unit that can be conveyed in the Y direction for picking up the pellets at the position, and the tray are mounted. A stage that is movable in the X direction and that is rotatable, wherein the stage is moved in the X direction when the pellets are packed in the tray, and the stage is rotated when the tray is replaced. Classification array device.

Characteristic classification supplied to a fixed pick-up position In a sorting and arranging apparatus that sequentially packs various pellets into a plurality of rectangular trays prepared for each characteristic classification corresponding to the characteristic classification and in an aligned state. A pick-up unit that picks up the pellets, conveys them freely in the Y direction and packs them in the tray, and places the tray on the upper surface, is movable in the X direction, and is rotatable about the approximate center of the upper surface. The tray stage moves in the X direction when the pellets are packed in the tray, moves the position where the pellets are packed to the pellet conveyance line by the pickup unit, and rotates to change the tray when replacing the tray. A sorting and arranging apparatus characterized by moving to an easily exchangeable position.

Characteristic classification supplied to a fixed pick-up position In a sorting and arranging apparatus that sequentially packs various pellets into a plurality of rectangular trays prepared for each characteristic classification corresponding to the characteristic classification and in an aligned state. A pick-up unit that picks up the pellets, conveys them freely in the Y direction and packs them in the tray, and is movable in the X direction and is rotatable about the approximate center of the upper surface, and is orthogonal to each other through the axis. A tray stage that is divided into four quadrants by two lane lines and that mounts the tray in parallel to the lane lines, and the tray stage rotates when the pellets are packed in the tray so that the lane lines are in the X direction. Alternatively, the quadrant on which the tray to be packed parallel to the Y direction is placed is moved to a position closest to the pickup position. Together moves in the X direction to move the position to pack the pellets to the transport line of the pellet by the pickup unit, classification sequence and wherein the moving to the tray exchange easily position being rotated upon replacement of the tray.