JP3858916B2 - 発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
ただし、da は前記液状の光学材料の一回当たりの塗布厚さである。
ただし、Vd は前記光学材料に印加される駆動電圧、db は前記液状の光学材料の各塗布厚さの和、rは前記液状の光学材料の濃度、Et は前記光学材料の光学特性変化が現れる最少の電界強度(しきい電界強度)である。
ただし、df は前記光学材料の完成時の厚さである。
ただし、Vd は前記光学材料に印加される駆動電圧、Et は前記光学材料の光学特性変化が現れる最少の電界強度(しきい電界強度)である。
を備えている。
図1乃至図5は、本発明の第1の実施の形態を示す図であって、この実施の形態は、本発明に係るマトリクス型表示素子及びその製造方法を、EL表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表示装置に適用したものである。より具体的には、配線としての走査線、信号線及び共通給電線を利用して、光学材料としての発光材料の塗布を行う例を示している。
da <dr ……(1)
という関係が成立するようにしておくことが望ましい。
Vd /(db ・r)>Et ……(2)
という関係が成立するようにすれば、塗布厚さと駆動電圧との関係が明確化され、有機半導体膜140Bの電気光学効果が発現することが補償される。
df =dr ……(3)
という関係を成立させればよい。
ただし、この場合のdfは、発光素子140全体ではなく、有機半導体膜140Bの完成時の厚さである。
図7は本発明の第2の実施の形態を示す図であって、この実施の形態は、本発明に係るマトリクス型表示素子及びその製造方法を、EL表示素子を用いたパッシブマトリクス型の表示装置に適用したものである。なお、図7(a)は、複数の第1のバス配線300と、これに直交する方向に配設された複数の第2のバス配線310と、の配置関係を示す平面図であり、図7(b)は、同(a)のB−B線断面図である。なお、上記第1の実施の形態と同様の構成には、同じ符号を付し、その重複する説明は省略する。また、細かな製造工程等も上記第1の実施の形態と同様であるため、その図示及び説明は省略する。
図8は本発明の第3の実施の形態を示す図であって、この実施の形態も、上記第1の実施の形態と同様に、本発明に係るマトリクス型表示素子及びその製造方法を、EL表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表示装置に適用したものである。より具体的には、画素電極141を利用して段差111を形成することにより、高精度のパターニングが行えるようにしたものである。なお、上記実施の形態と同様の構成には、同じ符号を付しておく。また、図8は製造工程の途中を示す断面図であり、その前後は上記第1の実施の形態と略同様であるためその図示及び説明は省略する。
図9は本発明の第4の実施の形態を示す図であって、この実施の形態も、上記第1の実施の形態と同様に、本発明に係るマトリクス型表示素子及びその製造方法を、EL表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表示装置に適用したものである。なお、上記実施の形態と同様の構成には、同じ符号を付しておく。また、図9は製造工程の途中を示す断面図であり、その前後は上記第1の実施の形態と略同様であるためその図示及び説明は省略する。
図10は本発明の第6の実施の形態を示す図であって、この実施の形態も、上記第1の実施の形態と同様に、本発明に係るマトリクス型表示素子及びその製造方法を、EL表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表示装置に適用したものである。なお、上記実施の形態と同様の構成には、同じ符号を付しておく。
図11は本発明の第6の実施の形態を示す図であって、この実施の形態も、上記第1の実施の形態と同様に、本発明に係るマトリクス型表示素子及びその製造方法を、EL表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表示装置に適用したものである。なお、上記実施の形態と同様の構成には、同じ符号を付しておく。また、図11は製造工程の途中を示す断面図であり、その前後は上記第1の実施の形態と略同様であるためその図示及び説明は省略する。
本発明の第7の実施の形態は、断面構造は上記第5の実施の形態で使用した図10と同様であるため、これを用いて説明する。
図12は本発明の第8の実施の形態を示す図であって、この実施の形態も、上記第1の実施の形態と同様に、本発明に係るマトリクス型表示素子及びその製造方法を、EL表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表示装置に適用したものである。なお、上記実施の形態と同様の構成には、同じ符号を付しておく。
特に、本実施の形態では、液状の光学材料114を帯電させているので、自発分極だけでなく帯電電荷も利用することにより、パターニングの精度を向上する効果が、さらに高まる。
Claims (1)
- 第1電極と、第2電極と、前記第1電極と前記第2電極の間に設けられた有機半導体膜と、を有する発光素子の製造方法であって、
前記第1電極の少なくとも一部を露出させ、前記露出された第1電極とその周囲との間に段差を形成することにより、前記露出された第1電極が前記段差により囲まれるように第1層間膜を絶縁膜により形成し、
前記第1層間膜上に、金属膜を形成し、
しかる後に、インクジェット法により、溶媒に溶かされた有機半導体材料を前記段差により囲まれた領域内に選択的に塗布し、前記溶媒を蒸発させて前記有機半導体膜を前記段差により囲まれた領域内に形成し、
前記有機半導体膜及び前記金属膜の上に前記第2電極を形成することを特徴とする発光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
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JP2004217364A JP3858916B2 (ja) | 1996-09-19 | 2004-07-26 | 発光素子の製造方法 |
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- 2004-07-26 JP JP2004217364A patent/JP3858916B2/ja not_active Expired - Lifetime
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