JP3855741B2 - 半導体装置接合部強度評価方法と評価装置及び半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体パッケージに搭載された接続用金属突起物(バンプ)の接合部,配線基板に搭載された半導体パッケージ,半導体素子,受動素子部品等の接合部に対する衝撃的な強度測定方法、及びその測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
プリント配線板への電子部品や電子素子の実装,電線と端子との接続等のために、従来よりはんだが用いられている。従来のはんだはSn−Pb共晶はんだ(以下SnPb系と記す)が一般的であったが、近年では環境汚染の問題からPbの全廃が推進されている。従来のSnPb系に代わる材料として、Snをベースに数種類の金属を添加したPbフリーはんだが各種提案されている。例えば、Pbの代わりにAgを含有させたSnAg系、Biを含有させたSnBi系、Znを含有させたSnZn系の各Pbフリーはんだが代表的である。
【0003】
ところで、BGA(ボールグリッドアレイ)パッケージやCSP(チップサイズパッケージ)等の半導体パッケージに搭載されたはんだボール(はんだバンプとも言う)の接合強度,プリント配線基板のような配線基板上に形成された導体パターンに搭載された電子部品の接合強度の大小は、搭載する電子部品の接続信頼性を評価する上で極めて重要である。半導体部品に搭載された配線基板との接続用はんだボール接続部,はんだを介して搭載された電子部品の接合部、あるいはワイヤボンディング部等の微小な接合部の接合強度を評価する方法として、引張試験,せん断試験等が従来より用いられている。せん断試験の例は特開2000−321196に開示されている。図22はその概略を示したもので、接触ツール300で測定物(例えばはんだボール)301をせん断破壊させ、破壊に要した最大荷重をせん断破壊強度として測定する。
【0004】
次に、引張試験方法の1例を図23に示す。測定物301を引張治具400で挟んで上方に引張り、はんだ部を破壊させる。破壊に要した最大荷重を引張破壊強度として測定する。図24は引張り試験のもう一つの例を示したものである。測定プローブ500を加熱して測定物301を最溶融させ、その後冷却して測定物を凝固させる。次に測定プローブ500を上方に引張り、はんだ部を破壊させる。破壊に要した最大荷重を引張破壊強度として測定する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記Pbフリーはんだ材を適用した場合、その接続部に対する信頼性確保のための課題が山積されているのが現状である。特に、機器の小型化・携帯化に伴い落下などの衝撃ではんだ接続部が破壊するケースが増えている。このため、Pbフリーはんだ材料を選定する上で接続部の耐衝撃性向上対策が重要になってきている。
【0006】
はんだ接続部の一般的な衝撃性評価は、BGA,CSP等のパッケージ単品を所定のトレー,ケースなどに固定し、所定の高さから床面に落下させ、落下回数に対するはんだボール脱落数をカウントするか、あるいは所定の基板にBGA,CSP等のパッケージを搭載して所定の高さから床面に落下させてパッケージ脱落有無を確認するといった定性的な方法のみで行われていた。図19は単品BGAパッケージに対して行った、リフロー回数に対するボール脱落個数の関係を示したものである。リフローは、ピーク温度260℃で15秒間、窒素フロー中で行った。トレー落下回数は5回である。パッケージのはんだボール搭載部のメタライズ構造はCu/Snめっき、はんだボール組成はSn−3Ag−0.5Cu 製である。はんだボールは260℃ピークで窒素フロー下で搭載した。リフロー条件は前記はんだボール搭載条件と同様である。リフロー回数に対してボール脱落数が増えていく傾向があることが確認できる。しかし、同一条件で同様のサンプルに対する試験結果(図20)に示すように、リフロー回数に対してボール脱落数が増えていく傾向は確認できるけれども、その軌跡は図19と一致しない。これはトレーの落下状態が一定ではないためである。つまり、ある落下時にはトレーが床面に平行に落下、別のある落下時にはトレーの端部が床面に激突、というように、その落下状態が一定にはならない。これでは許容できるリフロー回数を正確に設定することができない。
【0007】
さらに、従来の落下試験法では所定の位置に所定の力を正確に付与することは不可能である。従ってパッケージの構造に起因するはんだボール接合性優劣の評価は行えない。
【0008】
このように、上記落下試験方法は定量的に物理量を正確に測定する評価方法ではないため、信頼性確保のための境界を設けることができなかった。
【0009】
また、従来から行われているせん断破壊強度試験や引張破壊強度試験による評価では、はんだボール衝撃性評価が充分に評価できない問題もあった。図21は上記と同様のパッケージ、及びリフロー条件を用い、リフロー回数に対するせん断破壊強度変化を示したもので、リフロー回数に対するはんだボール脱落数も併せて示した。これによるとはんだボール脱落数が増え、明らかに耐衝撃性が低下しているにもかかわらず、せん断破壊強度はほとんど変化していないことが判る。この傾向は引張試験についても同様である。従って、従来から用いられている接合強度評価方法では衝撃破壊の優劣を評価することは困難である。
【0010】
このように従来から行われている衝撃性評価や接合強度評価方法では、適切な耐衝撃性評価とその接合信頼性向上対策が行えない大きな問題点を抱えていた。
【0011】
本発明の目的は、電子部品や電子素子の接続部の耐衝撃性評価を定量的に行い、長期信頼性を損なうことのない適切な材料選定,接合条件の特定が行える評価方法と、その評価装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記問題は、半導体装置の所定の位置に衝撃的な力を与えて接合部を破壊させ、その破壊に要したエネルギーを測定することにより達成される。
【0013】
例えば半導体装置のはんだボール搭載部に一定の加速度運動を行う治具を衝突させて前記はんだボールを接合部から破壊させ、その際、前記はんだボールに衝突する直前の前記治具の速度と、前記はんだボールを接合部から破壊させた直後の前記治具の速度を測定し、前記直後の速度の2乗と前記直前の速度の2乗の差から前記はんだボールの接合部破壊に要したエネルギーを算出し、前記はんだボール接合部の衝撃強度とする半導体実装部衝撃強度評価方法及びその評価装置とすることにより達成される。
【0014】
他方、例えば半導体装置のはんだボール搭載部に等速度運動を行う治具を衝撃的に衝突させて前記はんだボールを接合部から破壊させ、前記治具に加わる荷重の変化から前記はんだボールの接合部破壊に要したエネルギーを算出し、前記はんだボール搭載部の接合部の衝撃強度とする半導体実装部衝撃強度評価方法及びその評価装置とすることにより達成される。
【0015】
【発明の実施の形態】
(実施例1)
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【0016】
図1は本発明の実施例の一つの構成を示したもので光学式速度測定器をもつ衝撃試験機100の側面図である。図2は図1の左側方向から見た側面図である。衝撃試験機は主にベース板1と、ベース板1に固定された支柱2と、支柱2の上部に設置された軸受け3(図2に図示)と、その軸受け3に対応する回転軸を有するアーム4と、アーム4の先端に取り付けられた重り5と、測定サンプル6を載せる台7と、軸受け3に対応する回転軸と同一回転軸に装備されたアーム4の振り上げ角度を測定するための円板8と、アーム4を一時的に固定する固定解放装置9と、レーザー光を利用したアーム4の先端に取り付けられた重り5の運動を調べるための回折パターン認識装置10と、その回折パターン認識装置10からの信号を処理して重り5の速度を求める解析装置11と、その解析結果を表示する表示器12と、アーム4の振り上げ角度を測定する角度測定器13と、アーム4の振り上げ角度を表示する表示器14とから構成される。15ははんだボールである。
【0017】
なお、本実施例の装置は、アーム系(アーム4を含めた軸受け3の中心から重り5の先端までを指す)の弾性変形エネルギーは無視できうる構造として作製されている。
【0018】
図2において、15は軸受け3に対応する回転軸と同一回転軸を有し、アーム4を所定の角度にまで振り上げるためのモーターである。
【0019】
次にレーザー光を利用した速度測定の原理を説明する。
【0020】
レーザー光を粗面(拡散反射をする面;ここでは重りの側面)に当てるとスペックルパターンと呼ばれる干渉縞を生じる。これはレーザー光が粗面に当る時に微妙に粗面との距離に差ができることにより拡散光に位相差ができる。この位相差によって光の干渉が起き、明と暗の干渉縞となる。この干渉縞は粗面の状態により変化する。粗面が静止していれば干渉縞も静止している。粗面が移動すればこの干渉縞も移動し、粗面が移動することにより粗面の状態も変化する。よって干渉縞の縞模様も変化する。この干渉縞が変化し移動する状態をイメージセンサーで捉える。干渉縞は粗面の材質に影響を受けずに発生するけれども、センサーへの感度向上のため、白黒のスリット模様の入ったシールを粗面に貼り付けることが望ましい。
【0021】
レーザー光を粗面に当てると反射光が干渉してスペックルパターンとなり、粗面が移動するとパターンも移動するが、この移動量は以下のように測定する。
【0022】
回折パターン認識装置10の受光素子は1次元のイメージセンサーを使用している。イメージセンサーはちょうど受光素子が一定の間隔に並んでいるような形状をしている。例えば、リセット値がONの時に図3(1)のスペックルパターンがイメージセンサーに入光されたとする。リセット入力がOFFして図3(2)のパターンにイメージセンサーの入光が変化してプラス方向にイメージセンサー1個分(例えば20μm)移動したとすると、20μmの移動量を検出する。
ON→OFF→ONの一定時間間隔より速度が換算され、速度値が表示る。
【0023】
次に以上の構成による衝撃試験機の動作を説明する。
【0024】
図1において、回折パターン認識装置10から放射されるレーザー光を遮るように、重り5が通過するように高さ方向において調整されている。
【0025】
まず衝撃試験を行う前の準備から説明する。アーム4を鉛直方向に垂らした状態で測定サンプルを載せる台7に測定サンプル6を載せる。このとき測定サンプル6上のはんだボールが、重り5の先端部のすぐ横でかつ重り5の軌跡上に位置するように位置調整する。このとき角度測定器13でアーム4と重り5が鉛直方向にあることを確認しておく。
【0026】
次に、角度測定器13と角度測定円板8を用いて所定の振り上げ角を設定し、所定の振り上げ角にまでアーム4を振り上げ、固定解放装置9で一時固定する。その後固定を解除するとアーム4は回転運動を開始し、最下点に達したときに測定サンプル上のはんだボールに重り5の先端が衝突し、はんだボール接合部を衝撃的に破壊させる。
【0027】
このとき、重り5のはんだボールに衝突する直前とはんだボールを破壊した直後の速度を測定する。測定したそれぞれの速度を、アーム系(アーム4を含めた軸受け3の中心から重り5の先端までを指す)の重心位置の速度に換算し、衝突直前のアーム系重心速度をV1、衝突直後のそれをV2とすると、衝撃破壊に要したエネルギーWは、W=1/2×m×(V1の2乗−V2の2乗)で与えられる。mはアーム系の重心位置の重量である。必要に応じてパーソナルコンピュータにこれらの表示された数値を取り込むとデータ管理をすることが可能である。
【0028】
図4は、上記手法で求めた衝撃破壊に要したエネルギー(以下耐衝撃エネルギーと記す)をリフロー回数に対して示したものである。ボール脱落数も併せて示した。測定には重りの重量20グラム、重りの衝突直前の速度は1400mm/sとした。
【0029】
図4によるとせん断破壊強度の傾向とはまったく異なり、ボール脱落数が増加すると耐衝撃エネルギーが減少していく傾向があることが判る。この傾向を詳細に解析すると、ボール脱落がなくてもリフロー回数を増していくと耐衝撃エネルギーがわずかではあるが減少していくことが確認できる。さらに、ボール脱落が始まる条件時(図中のa)に急激に耐衝撃エネルギーが減少していることが判る。すなわち、本衝撃性評価方法によれば、従来のせん断破壊強度試験法や引張破壊強度試験法等では評価が困難であったはんだボール接合部の耐衝撃性評価が充分に行えるといえる。特に図4におけるボール脱落が始まるa点のような領域を見出す事ができるので、長期的なはんだボールの接合信頼性を確保するための条件設定が可能である。つまり、定量的評価が不可能で、かつ測定結果がばらつく落下試験を行わずに衝撃に対する信頼性評価が行える。環境保全のためのPbフリーはんだを用いたパッケージや電子基板搭載部品に対して特に有効である。
【0030】
なお、本発明における衝撃的な外力とは、衝突直前の重りの速度が100mm/s以上であることを指している。このとき、衝撃的な破壊は、破壊に要する時間が0.1ミリ 秒以上1000ミリ秒以下で行われることが望ましい。
【0031】
また本発明において、衝撃破壊はせん断破壊が支配的になる。図25は本発明による試験後のはんだボール形状の代表例を示したものである。外力が加わる方向とは逆向きにはんだボールが延びていることが判る。これはせん断で破壊されていることを示しており、シャルピー試験の曲げ破断とは決定的に異なる。
【0032】
(実施例2)
ところで、実施例1で測定した耐衝撃エネルギーは、厳密にははんだボールの弾性塑性変形エネルギー,はんだボール接合部の接合エネルギーの総和である。
【0033】
そこで、速度解析装置からの信号に対して高速にサンプリングできる装置を装備した衝撃試験機を作製した。図5は前記サンプリング装置20を装備した衝撃試験機100の概略を示した図である。図6はサンプリング装置20によってサンプリングした速度データを時間に対して示したものである。サンプリングデータの記録はパーソナルコンピュータによる。試験条件は上記と同様である。図6中のk点はアーム4の先端の重り5の先端がはんだボールに衝突する直前の速度、図6中のl点はアーム4の先端の重り5の先端がはんだボール接合部を衝撃破壊した直後の速度で、それぞれV1,V2に相当する。
【0034】
また、図6中のα領域は、重り5の先端がはんだボールに衝突してからはんだボールの弾性変形、及びはんだボールの塑性変形時の速度変化に対応する。図6中のβ領域ははんだボール接合部を破壊するのに要した速度変化に対応する。
【0035】
このように、本実施例装置でははんだボールの弾性塑性変形部、界面破断部とを分離して評価することも可能であるため、純粋にはんだボール接合部の衝撃性に対する接合エネルギーを評価することが可能である。このため、はんだボールの硬さやヤング率等の物理的定数を考慮することなく耐衝撃性評価が行える。
【0036】
さらに、接合部の面積で上記エネルギー値を割れば、耐衝撃エネルギー値の一般化も可能である。
【0037】
また、時間に対する速度変化からパーソナルコンピューターソフトなどを用いて加速度変化に変換することが可能である。このときの加速度の絶対値の最大値から衝撃破壊に要した最大荷重を算出することが可能である。この最大荷重を衝撃強度評価の指標とすることも可能である。
【0038】
なお、本実施例において、BGA,CSP等のパッケージに搭載されたはんだボールの他、配線基板上に形成したはんだボール,フリップチップ接続に用いる半導体素子上に形成した金属突起物(バンプ)等の接合部信頼性評価に対しても有効である。例えば図7に示すように、半導体チップ50上の電極パッド51上に形成した外部配線とのフリップチップ接続用Au製バンプ52の電極パッド51との接合部の衝撃強度を測定するのにも有効である。53はレジスト膜である。
【0039】
さらに、図8に示すようにAuバンプが多段構造(図8では2段構造)の場合は、重りの位置を調整することにより電極パッドとAuバンプとの接合部の接合強度の他、下段のAuバンプと上段のAuバンプとの接合部の衝撃強度を測定することにも有効である。
【0040】
(実施例3)
図9は本発明の実施例の一つの構成を示したもので荷重センサーをもつ衝撃試験機100の側面図である。衝撃試験機は主にベース板1と、ベース板1に固定された支柱2と、支柱2の上部に設置された丸棒30と、測定サンプル6を載せる台7と、荷重センサーを装備したはんだボール接合部破壊用治具31,はんだボール接合部破壊用治具31からの信号を記録,処理,表示する解析装置32とから構成される。15ははんだボールである。
【0041】
次に以上の構成の衝撃試験機によるサンプリング方法を説明する。
【0042】
はんだボール接合部破壊用治具31を10mm/sの一定速度でサンプル6上の所定のはんだボール15に衝突させ、はんだボール15を接合部から破壊させる。はんだボール接合部破壊用治具31はボール破壊後も一定速度を保ったまま所定の位置まで運動している。
【0043】
このとき、はんだボール接合部破壊用治具31に具備された荷重センサーからの信号を解析装置32でサンプリングする。図10ははんだボール接合部破壊用治具31が感知した、ボールに衝突してから破壊させるまでの時間に対する荷重の変化を示したものである。図10のαの領域ははんだボール接合部破壊用治具31がはんだボール15に衝突し、はんだボール15の弾性変形に要するエネルギー、図10のβ領域ははんだボール15の塑性変形に要するエネルギー、図10のγ領域ははんだボール15の接合部界面破壊に要するエネルギーに、それぞれが対応する。
【0044】
つまり、図10は実施例1の図6に相当する。このため、実施例1と同様に本実施例でも純粋にはんだボール接合部の衝撃性に対する接合エネルギーを評価することが可能であり、かつはんだボールの硬さやヤング率等の物理的定数を考慮することなく耐衝撃性評価が行える。接合部の面積で上記エネルギー値を割れば、耐衝撃エネルギー値の一般化も可能である。
【0045】
なお、本実施例においては、はんだボール接合部破壊用治具31の速度をさらに速く設定することが望ましい。例えば30mm/s,100mm/s、さらには500mm/sと高速に設定することによって、図4に示すように接合部の劣化状態が敏感に測定結果に反映される。
【0046】
また、本実施例において、BGA,CSP等のパッケージに搭載されたはんだボールの他、配線基板上に形成したはんだボール,フリップチップ接続に用いる半導体素子上に形成した金属突起物(バンプ)等の接合部信頼性評価に対しても有効である。例えば図7に示すように、半導体チップ50上の電極パッド51上に形成した外部配線とのフリップチップ接続用Au製バンプ52の電極パッド51との接合部の衝撃強度を測定するのにも有効である。53はレジスト膜である。
【0047】
さらに、図8に示すようにAuバンプが多段構造(図8では2段構造)の場合は、重りの位置を調整することにより電極パッドとAuバンプとの接合部の接合強度の他、下段のAuバンプと上段のAuバンプとの接合部の衝撃強度を測定することにも有効である。
【0048】
(実施例4)
図11は本発明の実施例の一つの構成を示したもので速度測定器をもつ衝撃試験機100の側面図である。衝撃試験機は主にベース板1と、ベース板1に固定された支柱2と、支柱2の上部に設置された軸受け(図示せず)と、その軸受けに対応する回転軸を有するアーム4と、アーム4の先端に取り付けられた重り5と、測定サンプル40を載せる台7と、軸受けに対応する回転軸と同一回転軸に装備されたアーム4の振り上げ角度を測定するための円板8と、アーム4を一時的に固定する固定解放装置9と、レーザー光を利用したアーム4の先端に取り付けられた重り5の運動を調べるための回折パターン認識装置10と、その回折パターン認識装置10からの信号を処理して重り5の速度を求める解析装置11と、その解析結果を表示する表示器12と、アーム4の振り上げ角度を測定する角度測定器13と、アーム4の振り上げ角度を表示する表示器14とから構成される。測定サンプル40は、配線基板に実装されたBGAパッケージである。
【0049】
次に以上の構成による衝撃試験機の動作を説明する。
【0050】
図11において、回折パターン認識装置10から放射されるレーザー光を遮るように、重り5が通過するように高さ方向において調整されている。
【0051】
まず衝撃試験を行う前の準備から説明する。アーム4を鉛直方向に垂らした状態で測定サンプルを載せる台7に測定サンプル6を載せる。このとき測定サンプル40の側面(BGAパッケージの側面)が、重り5の先端部のすぐ横でかつ重り5の軌跡上に位置するように位置調整する。このとき角度測定器13でアーム4と重り5が鉛直方向にあることを確認しておく。
【0052】
次に、角度測定器13と角度測定円板8を用いて所定の振り上げ角を設定し、所定の振り上げ角にまでアーム4を振り上げ、固定解放装置9で一時固定する。その後固定を解除するとアーム4は回転運動を開始し、最下点に達したときに測定サンプル40の側面に重り5の先端が衝突し、測定サンプル40のはんだ接合部を衝撃的に破壊させる。
【0053】
このとき、重り5の測定サンプル40の側面に衝突する直前とはんだ接合部を破壊した直後の速度を測定する。測定したそれぞれの速度を、アーム系(アーム4を含めた軸受け3の中心から重り5の先端までを指す)の重心位置の速度に換算し、衝突直前のアーム系重心速度をV1、衝突直後のそれをV2とすると、衝撃破壊に要したエネルギーWは、W=1/2×m×(V1の2乗−V2の2乗)で与えられる。mはアーム系の重心位置の重量である。必要に応じてパーソナルコンピュータにこれら表示された数値を取り込むとデータ管理をすることが可能である。
【0054】
なお、本実施例において、測定サンプル40はBGA,CSP等のパッケージ部品の他、フリップチップ接合、あるいはダイボンディングされた半導体素子のような能動素子、または図12に示すようなチップ抵抗,コンデンサ,ソレノイドコイル等のディスクリート部品60と呼ばれる受動素子のはんだ接合部に対しても有効である。特に図12に示したディスクリート部品60に対しては、図12中の矢印方向に衝撃的な力を与えるよりも図12中の●部に紙面に対して垂直方向に与えたほうが効果的である。なお、図12において、61は電極、62ははんだ、63は配線基板である。
【0055】
(実施例5)
図13は本発明の実施例の一つの構成を示したもので荷重センサーをもつ衝撃試験機100の側面図である。衝撃試験機は主にベース板1と、ベース板1に固定された支柱2と、支柱2の上部に設置された丸棒30と、測定サンプル40を載せる台7と、荷重センサーを装備した測定サンプル接合部破壊用治具41,測定サンプル接合部破壊用治具41からの信号を記録,処理,表示する解析装置32とから構成される。測定サンプル40は配線基板に実装されたBGAパッケージである。
【0056】
次に以上の構成の衝撃試験機によるサンプリング方法を説明する。
【0057】
測定サンプル接合部破壊用治具41を一定速度で測定サンプル40の側面(BGAパッケージの側面)に衝突させ、測定サンプル40を接合部から破壊させる。測定サンプル接合部破壊用治具41は測定サンプル破壊後も一定速度を保ったまま所定の位置まで運動している。このとき、測定サンプル接合部破壊用治具41に具備された荷重センサーからの信号を解析装置32でサンプリングする。
【0058】
なお、本実施例においては、測定サンプル接合部破壊用治具41の速度を100mm/s以上と高速に設定することが望ましく、接合部の劣化状態が敏感に測定結果に反映される。
【0059】
なお、本実施例において、実施例4と同様に測定サンプル40はBGA,CSP等のパッケージ部品の他、フリップチップ接合、あるいはダイボンディングされた半導体素子のような能動素子,チップ抵抗,コンデンサ,ソレノイドコイルといった受動素子等に対しても有効である。
【0060】
(実施例6)
図14は本発明の実施例の一つの構成を示したもので速度測定器をもつ衝撃試験機100の側面図である。衝撃試験機は主にベース板1と、ベース板1に固定された支柱2と、支柱2の上部に設置された軸受け(図示せず)と、その軸受けに対応する回転軸を有するアーム4と、アーム4の先端に取り付けられた重り5と、測定サンプル6を載せる台7と、軸受けに対応する回転軸と同一回転軸に装備されたアーム4の振り上げ角度を測定するための円板8と、アーム4を一時的に固定する固定解放装置9と、アーム4の振り上げ角度を測定する角度測定器13と、アーム4の振り上げ角度を表示する表示器14と、はんだボール15を叩いた後の重り5の最高点を測定する高さ測定器17で構成される。
【0061】
なお、本実施例の装置は、アーム系(アーム4を含めた軸受け3の中心から重り5の先端までを指す)の弾性変形エネルギーは無視できうる構造として作製されている。
【0062】
次に以上の構成による衝撃試験機の動作を説明する。
【0063】
まず衝撃試験を行う前の準備から説明する。アーム4を鉛直方向に垂らした状態で測定サンプルを載せる台7に測定サンプル6を載せる。このとき測定サンプル6のはんだボールが、重り5の先端部のすぐ横でかつ重り5の軌跡上に位置するように位置調整する。このとき角度測定器13でアーム4と重り5が鉛直方向にあることを確認しておく。
【0064】
次に、角度測定器13と角度測定円板8を用いて所定の振り上げ角を設定し、所定の振り上げ角にまでアーム4を振り上げ、固定解放装置9で一時固定する。その後、固定を解除するとアーム4は回転運動を開始し、最下点に達したときに測定サンプル上のはんだボールに重り5の先端が衝突し、はんだボール接合部を衝撃的に破壊させる。
【0065】
その後、アーム系は最高点に達し、再び振り降りてくる。最高点に達したときの重り5の最下点からの高さ測定器17で検出する。あらかじめ設定した振り上げ高さにある位置エネルギーと、前記最高点の位置エネルギーの差からはんだボール15の接合部耐衝撃エネルギーを算出する。
【0066】
本実施例はBGA,CSP等のパッケージ部品の配線基板との接合部,フリップチップ接合、あるいはダイボンディングされた半導体素子のような能動素子,チップ抵抗,コンデンサ,ソレノイドコイルといった受動素子等のはんだ接合部に対しても有効である。
【0067】
(実施例7)
図15は本発明の実施例の一つの構成を示したもので角度測定器をもつ衝撃試験機100の側面図である。衝撃試験機は主にベース板1と、ベース板1に固定された支柱2と、支柱2の上部に設置された軸受け(図示せず)と、その軸受けに対応する回転軸を有するアーム4と、アーム4の先端に取り付けられた重り5と、測定サンプル6を載せる台7と、軸受けに対応する回転軸と同一回転軸に装備されたアーム4の振り上げ角度を測定するための円板8と、アーム4を一時的に固定する固定解放装置9と、アーム4の振り上げ角度を測定する角度測定器13と、アーム4の振り上げ角度を表示する表示器14で構成される。15ははんだボールである。
【0068】
なお、本実施例の装置は、アーム系(アーム4を含めた軸受け3の中心から重り5の先端までを指す)の弾性変形エネルギーは無視できうる構造として作製されている。
【0069】
次に以上の構成による衝撃試験機の動作を説明する。
【0070】
まず衝撃試験を行う前の準備から説明する。アーム4を鉛直方向に垂らした状態で測定サンプルを載せる台7に測定サンプル6を載せる。このとき測定サンプル6上のはんだボールが、重り5の先端部のすぐ横でかつ重り5の軌跡上に位置するように位置調整する。このとき角度測定器13でアーム4と重り5が鉛直方向にあることを確認しておく。
【0071】
次に、角度測定器13と角度測定円板8を用いて所定の振り上げ角を設定し、所定の振り上げ角にまでアーム4を振り上げ、固定解放装置9で一時固定する。その後固定を解除するとアーム4は回転運動を開始し、最下点に達したときに測定サンプル上のはんだボールに重り5の先端が衝突し、はんだボール接合部を衝撃的に破壊させる。
【0072】
その後、アーム系は最高点に達する。最高点に達したときの角度を角度測定器13で測定する。設定した振り上げ角と最高点に達したときの角度から各々の位置エネルギーを算出し、その差を取ってはんだボール15の接合部耐衝撃エネルギーを算出する。
【0073】
本実施例はBGA,CSP等のパッケージ部品の配線基板との接合部,フリップチップ接合、あるいはダイボンディングされた半導体素子のような能動素子,チップ抵抗,コンデンサ,ソレノイドコイルといった受動素子等のはんだ接合部に対しても有効である。
【0074】
(実施例8)
図16はこれまで述べた実施例の変形例で、重り5のはんだボールとの打面に傾斜を設けた構造である。このような打面の傾斜を設けることによって、はんだボールはより衝撃的に破壊しやすくなる。このためはんだボールの弾性変形、塑性変形等に費やされるエネルギーをより少なくすることができ、より精度高く接合部の耐衝撃エネルギーを評価することが可能である。
【0075】
(実施例9)
図17は本発明の実施例の一つの構成を示したものである。実施例1で示したようにCSP単体パッケージに形成したはんだボールに所定の衝撃的な外力をせん断方向に加えてはんだボールを接合部から破壊させ、その後はんだボールが放物運動を行っていくが、はんだボールが水平に置かれた測定面70に最初に到達した位置までの距離L、及び放物運動の測定面70から最も高い位置までの高さHを測定して、これらの値をはんだボール接合部の衝撃強度指標とした実施例である。
【0076】
(実施例10)
図18は本発明の実施例の一つの構成を示したものである。実施例1で示したようにCSP単体パッケージに形成したはんだボールに所定の衝撃的な外力をせん断方向に加えてはんだボールを接合部から破壊させ、その後はんだボールが放物運動を行っていくが、はんだボールが鉛直に置かれた測定面70に衝突した位置での高さHを測定して、これらの値をはんだボール接合部の衝撃強度指標とした実施例である。
【0077】
本実施例の変形例で、測定面70に荷重センサーを装備して、はんだボールが衝突したときの荷重を測定し、この荷重からエネルギー値を算出してはんだボール接合部の衝撃強度とてもよい。
【0078】
以上までに、本発明の実施例について説明した。本発明における半導体装置100は、実施例記載の範囲に限定されるものではない。
【0079】
また、測定箇所は金属同志の接合部に限定されるものではない。
【0080】
【発明の効果】
本発明の半導体装置強度評価方法によれば、従来のせん断破壊強度試験法,引張破壊強度試験法や落下試験等では評価が困難であったはんだボール接合部の定量的な耐衝撃性評価が行え、長期的なはんだボールの接合信頼性評価や接合信頼性を確保するための条件設定が可能である。環境保全のためのPbフリーはんだを用いた、パッケージや電子基板搭載部品に対して特に有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の一つの構成を示したもので速度測定器をもつ衝撃試験機の側面図である。
【図2】図1の左側方向から見た側面図である。
【図3】イメージセンサーに入光されたスペックルパターンの例である。
【図4】衝撃破壊に要した耐衝撃エネルギーをリフロー回数に対して示したものである。
【図5】速度解析装置からの信号に対して高速にサンプリングできる装置を装備した衝撃試験機の概略を示した図である。
【図6】図5の装置によってサンプリングした速度データを時間に対して示したものである。
【図7】半導体チップ上の電極パッド上に形成した外部配線とフリップチップ接続用Au製バンプである。
【図8】半導体チップ上の電極パッド上に形成した外部配線とフリップチップ接続用Au製バンプである。
【図9】本発明の実施例の一つの構成を示したもので荷重センサーをもつ衝撃試験機の側面図である。
【図10】図9のはんだボール破壊用治具が感知した、ボールに衝突してから破壊させるまでの時間に対する荷重の変化を示したものである。
【図11】本発明の実施例の一つの構成を示したもので速度測定器をもつ衝撃試験機の側面図である。
【図12】配線基板上に搭載したディスクリート部品である。
【図13】本発明の実施例の一つの構成を示したもので荷重センサーをもつ衝撃試験機の側面図である。
【図14】本発明の実施例の一つの構成を示したものである。
【図15】本発明の実施例の一つの構成を示したものである。
【図16】重りの打面に傾斜を設けた構造の実施例である。
【図17】本発明の実施例の一つの構成を示したものである。
【図18】本発明の実施例の一つの構成を示したものである。
【図19】単品BGAパッケージに対して行った、リフロー回数に対するボール脱落個数の関係を示したものである。
【図20】リフロー回数に対するはんだボール脱落数を示したものである。
【図21】リフロー回数に対するせん断破壊強度変化を示したもので、リフロー回数に対するはんだボール脱落数も併せて示した。
【図22】従来のせん断試験方法の概略を示したものである。
【図23】従来の常温式引張試験方法の概略を示したものである。
【図24】従来の溶融式引張試験方法の概略を示したものである。
【図25】本発明法による試験後のはんだボール形状の代表例を示したものである。
【符号の説明】
1…ベース板、2…支柱、3…軸受け、4…アーム、5…重り、6…測定サンプル、7…測定サンプルを載せる台、8…角度測定円板、9…アーム固定解放装置、10…回折パターン認識装置、11…速度解析装置、12…速度表示器、
13…角度測定器、14…角度表示器、15…はんだボール、16…モーター、17…高さ測定器、20…サンプリング装置、30…丸棒、31…はんだボール接合部破壊用治具、32…解析装置、40…測定サンプル、41…測定サンプル接合部破壊用治具、50…半導体チップ、51…電極パッド、52…Auバンプ、53…レジスト、60…ディスクリート部品、61…電極、62…はんだ、
63…配線基板、70…測定面、100…衝撃試験機。
Claims (3)
- 半導体装置に搭載されたPbフリーはんだの接合部の接合部強度評価方法であって、加速度運動を行う治具により衝撃的な外力を前記Pbフリーはんだに付加して、前記Pbフリーはんだを接合部から破壊させ、前記治具の衝突前後の速度をそれぞれ測定し、前記速度変化から前記Pbフリーはんだの弾性変形及び塑性変形時の速度変化、前記Pbフリーはんだの接合部を破壊するのに要した速度変化を求め、前記Pbフリーはんだの弾性塑性変形部,界面破断部とを分離して評価し、それぞれをエネルギー値に換算し、それぞれのエネルギー値の差から接合部破壊に要したエネルギーを測定し、これを前記接合部の衝撃強度とする半導体装置接合部強度評価方法。
- 半導体装置のPbフリーはんだの接合部の接合部強度評価法であって、所定の衝撃的な外力を半導体装置の所定の接合部に付加して前記接合部を破壊させ、接合部から破壊された後の前記半導体装置の一部が、接合部から破壊させるために加えられた外力方向に放物運動を行って飛散していく際、前記半導体装置の飛散部分が持つエネルギーを測定し、これを前記接合部の衝撃強度指標とする半導体装置接合部強度評価方法。
- 半導体素子,半導体パッケージ、あるいは配線基板に形成されたPbフリーはんだに所定の衝撃的な外力を付加して前記Pbフリーはんだを接合部から破壊させ、接合部から破壊された後の前記Pbフリーはんだが、接合部から破壊させるために加えられた外力方向に放物運動を行って飛散していく際、前記金属突起物の持つエネルギーを測定し、これを前記接合部の衝撃強度指標とする半導体装置接合部強度評価方法。
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