JP3846116B2 - プラズマ特性測定装置及びプラズマ処理検査方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体等の電子デバイスやマイクロマシンの製造に利用されるドライエッチング、スパッタリング、プラズマCVD等のプラズマ処理装置内で発生させたプラズマ特性を測定するためのプラズマ特性測定装置及びプラズマ処理検査方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体等の電子デバイスを製造するためのプラズマ処理において、処理の速度や均一性に大きな影響をもつのが、プラズマ密度とその均一性である。プラズマ密度を測定する方法として、プローブ法、マイクロ波干渉法、レーザー散乱法などがあるが、とくにプローブ法は空間分解能に優れ、測定も簡便であることから、広く用いられている。
【0003】
図10は、平行平板型プラズマ処理装置にプローブを取り付けた場合の断面図である。図10において、真空容器1内にガス供給装置2から所定のガスを導入しつつ排気装置としてのポンプ3により排気を行い、真空容器1内を所定の圧力に保ちながら、上部電極用高周波電源4により高周波電力を、上部電極5に供給すると、真空容器1内にプラズマが発生し、基板電極14上に載置された基板15に対してエッチング、堆積、表面改質等のプラズマ処理を行うことができる。
【0004】
プローブは、セラミック筒16の中に金属棒17を挿入したもので、金属棒17には、電源18により任意の電圧を印加できるようになっており、また、金属棒17に流れ込む電流を測定するための電流計19が設けられる。金属棒17に印加する電圧を−80〜−30V程度に設定することにより、イオン飽和電流密度Iiを測定することができる。また、金属棒17に印加する電圧を、−50〜+80V程度に変化させたときの電子電流の変化の仕方から、電子温度Teを測定することができる。
【0005】
電子の電荷をe、電子密度をNe、ボルツマン定数をk、電子温度をTe、イオンの質量をMi、金属棒17のプラズマ暴露部の表面積をSとすると、イオン飽和電流密度Iiは、Ii=0.61eNeS(kTe/Mi)1/2となる。
【0006】
この関係式を用いることで、プラズマ密度を計算することができる。一般に、プローブは、真空容器1内で基板15に水平な面内で直線状に動かすことができるように設置され、プラズマ特性を1次元で測定することができるようになっている。
【0007】
電子温度Teの測定は精度が低いため、プラズマ密度の1次元分布を評価するには測定精度の高いイオン飽和電流密度Iiを用いた方が有利である。なぜなら、イオンの組成と電子温度が面内分布をもたないと仮定すると、IiはNeに比例するので、Iiの面内分布はNeの面内分布と等価となるためである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図10に示した従来の方式では、プラズマ特性の均一性を2次元で評価することが難しいという問題点があった。
【0009】
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、プラズマの特性を2次元で評価することができるプラズマ特性測定装置と、プラズマ特性測定方法、及びプラズマ処理検査方法を提供することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本願の第1発明のプラズマ特性測定装置は、金属板と、前記金属板に設けられた複数の貫通穴と、前記複数の貫通穴の各々に挿入され、かつ、前記金属板と絶縁された複数の導体棒と、前記複数の導体棒のうち任意の1つの導体棒に電圧を印加する第1電源と、前記導体棒に生じる電流を測定する電流計と、前記導体棒以外の導体棒に電圧を印加する第2電源とを有するプラズマ特性測定装置において、複数の導体棒のうち任意の1つの導体棒と第1電源との接続を行うと共に、前記導体棒以外の導体棒と第2電源との接続を行うスイッチング機構とを備えたことを特徴とする。
【0011】
本願の第1発明のプラズマ特性測定装置において、第1電源の電圧は負の固定電圧であってもよいし、正の固定電圧であってもよい。また、好適には、第1電源の電圧が所定の負電圧から所定の正電圧まで可変であることが望ましい。
【0012】
また、好適には、第2電源の電圧が負の固定電圧であることが望ましい。
【0013】
本願の第2発明のプラズマ特性測定装置は、金属板と、前記金属板に設けられた複数の貫通穴と、前記複数の貫通穴の各々に挿入され、かつ、前記金属板と絶縁された複数の導体棒と、前記複数の導体棒のうち任意の1つの導体棒に電圧を印加する第1電源と、前記1つの導体棒に発生する電流を測定する電流計とを備 えたプラズマ特性測定装置であって、前記金属板を中心に対して所定の角度だけ回転させたときの導体棒の位置が、前記金属板を回転させる以前の導体棒の位置に重なり合うように導体棒が配置され、かつ、複数の導体棒のうち任意の1つの導体棒と第1電源との接続を行うと共に、前記導体棒以外の導体棒と第2電源との接続を行うスイッチング機構とを備えたことを特徴とする。
【0014】
本願の第2発明のプラズマ特性測定装置において、第1電源の電圧は負の固定電圧であってもよいし、正の固定電圧であってもよい。また、好適には、第1電源の電圧が所定の負電圧から所定の正電圧まで可変であることが望ましい。
【0015】
また、好適には、第2電源の電圧が負の固定電圧であることが望ましい。
【0019】
本願の第3発明のプラズマ処理検査方法は、本願の第1または第2発明に係るプラズマ特性測定装置において、真空容器内に所定のプラズマ発生条件でプラズマを発生させ、第1電源により複数の導体棒のうちの任意の1つの導体棒に電圧を印加したときの導体棒に流れ込む電流が、所定の範囲内であるか否かにより、プラズマ特性測定装置の良否を判断することを特徴とする。
【0020】
本願の第4発明のプラズマ処理装置の検査方法において、第1電源の電圧は負の固定電圧であってもよいし、正の固定電圧であってもよい。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第1実施形態について、図1〜図4を参照して説明する。
【0022】
図1に、本発明の第1実施形態において用いたプラズマ処理装置の断面図を示す。図1において、真空容器1内に、ガス供給装置2から所定のガスを導入しつつ、排気装置としてのポンプ3により排気を行い、真空容器1内を所定の圧力に保ちながら、上部電極用高周波電源4により高周波電力を真空容器1内に設けられた上部電極5に供給することにより、真空容器1内にプラズマが発生する。上部電極5は、絶縁リング6により、真空容器1と絶縁されている。
【0023】
真空容器1の下部にプラズマ特性測定装置が設置されている。プラズマ特性測定装置は、金属板7と、金属板7に設けられた9個の貫通穴の各々に挿入され、かつ、金属板7と絶縁棒8により絶縁された9個の導体棒9と、9個の導体棒9の内の任意の1つの導体棒に電圧を印加するための第1電源10と、プラズマから9個の導体棒9の内の任意の1つの導体棒に流れ込む電流を測定するための電流計11と、9個の導体棒9の内の任意の1つ以外の導体棒に電圧を印加するための第2電源12と、9個の導体棒9の内の任意の1つの導体棒と第1電源10との接続を行い、かつ、9個の導体棒9の内の任意の1つ以外の導体棒と第2電源12との接続を行うためのスイッチング機構13とを備えている。
【0024】
図2に、プラズマ特性測定装置の平面図を示す。図2に示すように、金属板7を中心に対して90度だけ回転させたときの導体棒9の位置が、金属板7を回転させる前の導体棒9の位置に重なり合うように、導体棒9が配置されている。
【0025】
プラズマを発生させ、9個の導体棒9の内の導体棒9aと第1電源10とを接続し、第1電源10の電圧を−50Vに設定し、電流計11にてプラズマから導体棒9aに流れ込む電流を測定することができる。測定された電流値を、導体棒aのプラズマに露出している表面の面積で割ることにより、導体棒aに流れ込むイオン飽和電流密度を得ることができる。このとき、導体棒9a以外の8個の導体棒9b〜9iは第2電源12に接続され、第2電源12の電圧を−24Vに設定しておく。このように、電流を測定したい導体棒9a以外にも負の電圧を印加しておくと、プラズマ中に存在している正イオンが導体棒表面を高いイオンエネルギーでたたくため、導体棒の表面に膜が堆積し測定感度が低下してしまうのを防止することができる。
【0026】
スイッチング機構13を用いて、電流を測定したい導体棒を導体棒9aから9b、9c、・・・9iと順に切り換えていくとともに、電流を測定したい導体棒以外の全ての導体棒に第2電源による−24Vを印加していくことで、イオン飽和電流密度の2次元分布を取得することができる。図3に、測定例を示す。また、図4は、図3の結果を濃淡図で表現したものであり、濃い部分ほどイオン飽和電流密度が高いことを示している。
【0027】
次に、プラズマ特性測定装置の較正方法について説明する。真空容器1とプラズマ特性測定装置の位置関係を図5に示す。この位置関係では、真空容器1内での位置Aに、導体棒9aが一致している。この場合の測定例が図3であり、その電流値I1は1.79mA/cm2である。金属板を90度だけ回転させたときの、真空容器1とプラズマ特性測定装置の位置関係を図6に示す。この位置関係では、真空容器1内での位置Aに、導体棒9iが一致している。この場合の測定電流I2は、1.80mA/cm2であった。同様に、金属板をはじめの位置から180度(90度×2)だけ回転させたときの、真空容器1とプラズマ特性測定装置の位置関係を図7に示す。この位置関係では、真空容器1内での位置Aに、導体棒9eが一致している。この場合の測定電流I3は、1.83mA/cm2であった。同様に、金属板をはじめの位置から270度(90度×3)だけ回転させたときの、真空容器1とプラズマ特性測定装置の位置関係を図8に示す。この位置関係では、真空容器1内での位置Aに、導体棒9fが一致している。この場合の測定電流I4は、1.78mA/cm2であった。
【0028】
測定値の精度を悪化させる要因として、導体棒の加工精度、取付精度、配線抵抗、スイッチング機構の接触抵抗等のばらつきが考えられる。加工精度や取付精度は、導体棒のプラズマに露出している表面の面積に影響するが、この面積は測定される電流値と比例関係にある。また、配線抵抗や接触抵抗も、電流値と比例関係にある。したがって、これらの要因による測定値のばらつきは、あるひとつのプラズマ発生条件において評価することができ、他のプラズマ発生条件においてもそのばらつきの度合いは同じであると推測できる。すなわち、プラズマ特性測定装置の較正を、I1〜I4を用いて行うことができると考えられる。位置Aにおける導体棒に流れ込む電流の較正値は、I1〜I4の平均値=1.80mA/cm2とすることが考えられる。このとき、位置Aと導体棒9aが一致している場合に測定される電流に対し、9aに関する補正係数は1.80/1.79=1.006となる。
【0029】
真空容器1内の9つの位置について、同様に較正することによって、例えば、位置Aと導体棒9aが一致している場合に測定される電流に対し、導体棒9a〜9iに関する補正係数が求められる。この補正係数は、他のプラズマ発生条件においても用いることができるので、較正は一度だけ行っておけばよい。
【0030】
このようにして較正されたプラズマ特性測定装置を用いて、所定のプラズマ発生条件でプラズマを発生させ、第1電源により複数の導体棒の内の任意の1つの導体棒に電圧を印加したときの導体棒に流れ込む電流が、所定の範囲内であるか否かにより、プラズマ処理装置の良・不良を判断することができる。すなわち、プラズマ処理装置が所定の能力を満足しているか否かの検査を行うことが可能となる。
【0031】
以上述べた本発明の実施形態においては、第1電源の電圧が負の固定電圧−50Vである場合について説明したが、負の固定電圧は必ずしも−50Vである必要はなく、−80〜−30V程度であれば、イオン飽和電流を測定することができる。また、第1電源の電圧は、正の固定電圧であってもよく、この場合、電子飽和電流を測定することができる。電極間距離が極端に短い場合などは、負の固定電圧よりも正の固定電圧の方が実際のプラズマ処理の均一性との相関が得やすいことがある。また、第1電源の電圧が所定の負電圧から所定の正電圧まで可変であれば、イオン飽和電流、電子飽和電流のみならず、電子温度、プラズマ電位、浮動電位等の測定も可能となる。
【0032】
また、以上述べた本発明の実施形態においては、第2電源の電圧が負の固定電圧−24Vである場合について説明したが、負の固定電圧は必ずしも−24Vである必要はない。また、プラズマ電位が十分に高いプラズマを評価する場合には、接地電位であっても導体棒の表面に膜が堆積し測定感度が低下してしまうのを防止することができるので、第2電源が不要であることも考えられる。
【0033】
また、以上述べた本発明の実施形態においては、金属板を中心に対して90度だけ回転させたときの導体棒の位置が、金属板を回転させる前の導体棒の位置に重なり合うように、導体棒が配置されている場合について説明したが、他の任意の回転角を選択できることはいうまでもない。例えば、図9に示す本発明の第2実施形態のように、金属板を中心に対して45度だけ回転させたときの導体棒の位置が、金属板を回転させる前の導体棒の位置に重なり合うように、導体棒が配置されている場合も、本発明の適用範囲である。また、プラズマ特性測定装置の測定精度が十分得られるように配慮しておけば、金属板を中心に対して所定の角度だけ回転させたときの導体棒の位置が、金属板を回転させる前の導体棒の位置に重なり合わないような配置にしても、較正ができないという不利はあるものの、プラズマ特性の2次元分布を評価することができる。
【0034】
また、以上述べた本発明の実施形態においては、位置Aにおける導体棒に流れ込む電流の較正値を、I1〜I4の平均値とする場合について説明したが、少数の導体棒にのみ大きな誤差が含まれている可能性がある場合には、I1〜I4の内、最大値1.83mA/cm2及び最小値1.78mA/cm2を除く平均値=1.795mA/cm2とする方が、より正確な較正となると思われる。このように、場合によっては、複数の導体棒の内の任意の1つの導体棒の真空容器内での位置Aに着目したとき、所定のプラズマ発生条件でプラズマを発生させ、第1電源により位置Aの導体棒に電圧を印加したときの導体棒に流れ込む電流をI1とし、金属板を所定の角度θだけ回転させた後、所定のプラズマ発生条件でプラズマを発生させ、第1電源により位置Aの導体棒に電圧を印加したときの導体棒に流れ込む電流をI2とし、同様に、金属板を所定の角度nθだけ回転させた後、所定のプラズマ発生条件でプラズマを発生させ、第1電源により位置Aの導体棒に電圧を印加したときの導体棒に流れ込む電流をIn+1とし、位置Aにおける導体棒に流れ込む電流の較正値を、I1〜In+1の内、最大値及び最小値を除く平均値としてもよい。
【0035】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本願の第1発明のプラズマ特性測定装置によれば、金属板と、前記金属板に設けられた複数の貫通穴と、前記複数の貫通穴の各々に挿入され、かつ、前記金属板と絶縁された複数の導体棒と、前記複数の導体棒のうち任意の1つの導体棒に電圧を印加する第1電源と、前記導体棒に生じる電流を測定する電流計と、前記導体棒以外の導体棒に電圧を印加する第2電源とを有するプラズマ特性測定装置において、複数の導体棒のうち任意の1つの導体棒と第1電源との接続を行うと共に、前記導体棒以外の導体棒と第2電源との接続を行うスイッチング機構とを備えたため、プラズマの特性を2次元で評価することができる。
【0036】
また、本願の第2発明のプラズマ特性測定装置によれば、金属板と、前記金属板に設けられた複数の貫通穴と、前記複数の貫通穴の各々に挿入され、かつ、前記金属板と絶縁された複数の導体棒と、前記複数の導体棒のうち任意の1つの導体棒に電圧を印加する第1電源と、前記1つの導体棒に発生する電流を測定する電流計とを備えたプラズマ特性測定装置であって、前記金属板を中心に対して所定の角度だけ回転させたときの導体棒の位置が、前記金属板を回転させる以前の導体棒の位置に重なり合うように導体棒が配置され、かつ、複数の導体棒のうち任意の1つの導体棒と第1電源との接続を行うと共に、前記導体棒以外の導体棒と第2電源との接続を行うスイッチング機構とを備えたことから、プラズマの特性を2次元で評価することができ、かつ、プラズマ特性測定装置の較正を簡便に行うことができる。
【0038】
更に、本願の第3発明のプラズマ処理検査方法によれば、請求項1または2に記載のプラズマ特性測定装置において、真空容器内に所定のプラズマ発生条件でプラズマを発生させ、第1電源により複数の導体棒のうちの任意の1つの導体棒に電圧を印加したときの導体棒に流れ込む電流が、所定の範囲内であるか否かにより、プラズマ特性測定装置の良否を判断するため、プラズマ処理装置が所定の能力を満足しているか否かの検査を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態で用いたプラズマ処理装置の構成を示す断面図
【図2】本発明の第1実施形態で用いたプラズマ特性測定装置の平面図
【図3】本発明の第1実施形態におけるイオン飽和電流密度の測定例を示す図
【図4】本発明の第1実施形態におけるイオン飽和電流密度の濃淡図
【図5】本発明の第1実施形態における真空容器とプラズマ特性測定装置の位置関係を示す平面図
【図6】本発明の第1実施形態において、金属板を90度だけ回転させたときの、真空容器とプラズマ特性測定装置の位置関係を示す平面図
【図7】本発明の第1実施形態において、金属板を180度だけ回転させたときの、真空容器とプラズマ特性測定装置の位置関係を示す平面図
【図8】本発明の第1実施形態において、金属板を270度だけ回転させたときの、真空容器とプラズマ特性測定装置の位置関係を示す平面図
【図9】本発明の第2実施形態で用いたプラズマ特性測定装置の平面図
【図10】従来例で用いたプラズマ処理装置の構成を示す断面図
【符号の説明】
1 真空容器
2 ガス供給装置
3 ポンプ
4 上部電極用高周波電源
5 上部電極
6 絶縁リング
7 金属板
8 絶縁棒
9 導体棒
10 第1電源
11 電流計
12 第2電源
13 スイッチング機構
Claims (3)
- 金属板と、前記金属板に設けられた複数の貫通穴と、前記複数の貫通穴の各々に挿入され、かつ、前記金属板と絶縁された複数の導体棒と、前記複数の導体棒のうち任意の1つの導体棒に電圧を印加する第1電源と、前記導体棒に生じる電流を測定する電流計と、前記導体棒以外の導体棒に電圧を印加する第2電源とを有するプラズマ特性測定装置において、複数の導体棒のうち任意の1つの導体棒と第1電源との接続を行うと共に、前記導体棒以外の導体棒と第2電源との接続を行うスイッチング機構とを備えたこと
を特徴とするプラズマ特性測定装置。 - 金属板と、前記金属板に設けられた複数の貫通穴と、前記複数の貫通穴の各々に挿入され、かつ、前記金属板と絶縁された複数の導体棒と、前記複数の導体棒のうち任意の1つの導体棒に電圧を印加する第1電源と、前記1つの導体棒に発生する電流を測定する電流計とを備えたプラズマ特性測定装置であって、前記金属板を中心に対して所定の角度だけ回転させたときの導体棒の位置が、前記金属板を回転させる以前の導体棒の位置に重なり合うように導体棒が配置され、かつ、複数の導体棒のうち任意の1つの導体棒と第1電源との接続を行うと共に、前記導体棒以外の導体棒と第2電源との接続を行うスイッチング機構とを備えたこと
を特徴とするプラズマ特性測定装置。 - 請求項1または2に記載のプラズマ特性測定装置において、真空容器内に所定のプラズマ発生条件でプラズマを発生させ、第1電源により複数の導体棒のうちの任意の1つの導体棒に電圧を印加したときの導体棒に流れ込む電流が、所定の範囲内であるか否かにより、プラズマ特性測定装置の良否を判断することを特徴とするプラズマ処理検査方法。
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