KR20100051307A - 아킹을 이용한 내플라즈마 평가방법 - Google Patents
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Description
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- 반도체를 포함한 정밀기기에 사용되는 부품의 코팅성능을 평가하는 내플라즈마 평가방법에 있어서,코팅부품의 시편을 챔버에 장착하고, 챔버의 배기라인에는 OES(Optical emission spectroscopy) 장착하는 평가준비과정(P1)과;상기 챔버에 플라즈마를 걸어 측정대상 시편에 아킹이 발생되도록 하는 아킹발생실험과정(P2)과;상기 아킹에 의해 측정대상 시편으로부터 분리된 파티클을 OES 스펙트럼 분석하여 Al 또는 O 성분 피크크기를 정량화하는 OES분석과정(P3)과;상기 OES분석과정에서 분석된 데이터를 이용하여 내플라즈마를 평가하는 내플라즈마 평가과정(P4);을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 아킹을 이용한 내플라즈마 평가방법.
- 제1항에 있어서,상기 아킹발생실험과정과 OES분석과정 이전에 표준시편에 대한 표준아킹발생실험과정(P5)과 표준OES분석과정(P6)이 더 이루어지도록 하고,상기 내플라즈마평가과정(P4)에서는 표준시편의 분석데이터와 측정대상시편의 분석데이터를 비교하여 내플라즈마를 평가하도록 한 것을 특징으로 하는 아킹을 이용한 내플라즈마 평가방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 평가준비과정(P1)에는 챔버(10)의 내부 하측에 파티클 평가용 기판(70)을 더 장착하고,상기 분석과정 후에는 챔버에서 기판을 분리하고, 이의 성분을 분석하여 면적당 기판위의 Al 또는 O 성분을 정량적 평가하는 성분분석과정(P7)이 더 이루어짐을 특징으로 하는 아킹을 이용한 내플라즈마 평가방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 챔버의 전극(20)주위에 마그네틱을 붙여 플라즈마 밀도효율을 증가시키는 것을 특징으로 하는 아킹을 이용한 내플라즈마 평가방법.
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