JP3835067B2

JP3835067B2 - 表示素子の製造におけるクロス材塗布方法

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Inventors: 聖純鹿内
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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電気光学物質を用いる表示素子の製造におけるクロス材塗布方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電気光学物質を用いる表示素子は、一方の面に複数の表示用電極を設けた第１の基板と、一方の面に前記第１の基板の複数の表示用電極に対向する表示用電極を設けた第２の基板とを枠状のシール材を介して接合し、これらの基板間の前記シール材で囲まれた領域に電気光学物質（例えば液晶）を設けた構成となっている。
【０００３】
この種の表示素子には、その一対の基板の互いに異なる縁部にそれぞれ駆動回路接続用端子を設けたものと、全ての駆動回路接続用端子を一方の基板の縁部に設け、前記他方の基板の表示用電極を、一般にクロス材と呼ばれる接続部材を介して前記一方の基板の端子に電気的に接続したものとがある。
【０００４】
図４は、一方の基板に駆動回路接続用端子を設け、他方の基板の表示用電極を導電部材を含有したクロス材を介して前記一方の基板の前記端子に電気的に接続した表示素子の一例を示す分解斜視図である。
【０００５】
この表示素子は、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）をアクティブ素子とするアクティブマトリックス方式の液晶表示素子であり、枠状のシール材１０を介して接合される一対の透明基板１，２のうち、第１の基板（以下、ＴＦＴ基板という）１面に、マトリックス状に配列する複数の透明な画素電極（表示用電極）３と、これらの画素電極３にそれぞれ接続された複数のＴＦＴ４と、前記複数のＴＦＴ４にゲート信号およびデータ信号を供給する複数のゲートライン５およびデータライン６とが設けられ、第２の基板（以下、対向基板という）２面に、前記ＴＦＴ基板１の複数の画素電極３に対向する一枚膜状の透明な対向電極（表示用電極）７が設けられている。
【０００６】
なお、図４ではＴＦＴ４を簡略化して示しているが、このＴＦＴ４は、基板１上に形成されたゲート電極と、このゲート電極を覆うゲート絶縁膜と、このゲート絶縁膜の上に前記ゲート電極と対向させて形成されたｉ型半導体膜と、このｉ型半導体膜の両側部の上にｎ型半導体膜を介して形成されたソース電極およびドレイン電極とからなっている。
【０００７】
また、上記ゲートライン５は基板１上に配線されており、前記ＴＦＴ４のゲート電極は前記ゲートラインに一体に形成されている。さらに、前記ＴＦＴ４のゲート絶縁膜（透明膜）は、前記複数の画素電極３およびＴＦＴ４の配列領域全体にわたって形成されており、上記データライン６は、前記ゲート絶縁膜の上に配線されて前記ＴＦＴ４のドレイン電極に接続され、前記画素電極３は前記ゲート絶縁膜の上に形成されて前記ＴＦＴ４のソース電極に接続されている。
【０００８】
このアクティブマトリックス方式の液晶表示素子では、前記ＴＦＴ基板１の一端縁部と一側縁部とを前記シール材１０による基板接合部の外側に突出させ、前記一端縁部に前記複数のゲートライン５を駆動回路に接続するための複数のゲート端子５ａを配列形成し、前記一側縁部に前記複数のデータライン６を駆動回路に接続するための複数のデータ端子６ａを配列形成するとともに、そのいずれかの縁部に、前記対向基板２に設けられた対向電極７を駆動回路に接続するための対向電極端子７ａを設け、前記基板接合部の外周部の所定箇所（一般には複数個所）に、前記対向電極端子７ａにリード８ａを介して接続されたクロス電極８を設けている。
【０００９】
一方、前記対向基板２に設けられた対向電極７には、前記ＴＦＴ基板１のクロス電極８に対向するクロス電極９が一体に形成されており、この対向電極７は、そのクロス電極９と前記ＴＦＴ基板１のクロス電極８とをクロス材１１を介して電気的に接続することにより、前記対向電極端子７ａに接続されている。
【００１０】
なお、図では省略しているが、前記ＴＦＴ基板１および対向基板２の電極形成面上にはそれぞれ、前記シール材１０で囲まれた領域のほぼ全域にわたって配向膜が設けられている。
【００１１】
この表示素子は、前記一対の基板１，２のうちの一方の基板、例えばＴＦＴ基板１の電極形成面上に、熱硬化性樹脂からなる枠状のシール材１０を印刷し、他方の基板である対向基板２のクロス電極９上に、導電性ペーストからなるクロス材１１を塗布した後、前記ＴＦＴ基板１と対向基板２とをそれぞれの電極形成面を互いに対向させて重ね合わせ、加圧により前記シール材１０を所定の厚さに押しつぶして両基板１，２の間隔を調整するとともに、前記対向基板２のクロス電極９上に塗布された前記クロス材１１を前記ＴＦＴ基板１のクロス電極８に密着させ、その加圧状態で前記シール材１０およびクロス材１１を焼成し、両基板１，２を前記シール材１０を介して接合するとともに、それぞれの基板１，２のクロス電極８，９を前記クロス材１１により電気的に接続する方法で組立てられている。
【００１２】
なお、この表示素子は、その組立て後に、両基板１，２間のシール材１０で囲まれた領域に、前記シール材１０の一部をあらかじめ欠落させて形成しておい液晶注入口から真空注入法により液晶（図示せず）を充填し、前記液晶注入口を封止して完成される。
【００１３】
上記表示素子の製造において、前記いずれかの基板（図４では対向基板）２のクロス電極９上への前記クロス材１１の塗布は、従来、次のようにして行なわれている。
【００１４】
図５は従来のクロス材塗布に用いられているクロス材塗布装置の側面図、図６は図５のVI−VI線に沿う断面図であり、このクロス材塗布装置は、Ｘ方向およびＹ方向に水平移動されるステージ１２と、前記ステージ１２の上方に上下動可能に配置されたクロス材吐出手段１３とからなっている。
【００１５】
前記クロス材吐出手段１３は、エアー駆動型のシリンジ１４と、このシリンジ１４の下端に垂直に設けられた中空のニードル部１５とからなっており、前記シリンジ１４内にクロス材を収容し、このシリンジ１４へのエアー供給により前記クロス材を前記ニードル部１５の先端から吐出する。
【００１６】
このクロス材塗布装置によるクロス材の塗布は、次のようにして行なわれている。
【００１７】
まず、前記クロス材吐出手段１３を図５に実線で示すように上方に引き上げた状態で、ステージ１２上に基板２を支持させ、このステージ１２をＸ方向およびＹ方向に水平移動させることにより、前記基板２のクロス電極９を、前記クロス材吐出手段１３のニードル部１５に対して、前記クロス電極９の中心が前記ニードル部１５のほぼ真下にくるように位置合わせする。
【００１８】
次に、前記クロス材吐出手段１３を図５に鎖線で示すように下降させてそのニードル部１５の先端を前記基板２のクロス電極９上に接触させ、このクロス材吐出手段１３を上方に引き上げながら前記ニードル部１５の先端から一定量のクロス材を吐出させることにより、前記クロス電極９上にクロス材を所定の厚さに付着させる。
【００１９】
図７は、このようにして前記クロス電極９上に付着されたクロス材１１の塗布状態を示している。
【００２０】
なお、上記クロス材塗布装置は、基板２を支持させたステージ１２をＸ方向およびＹ方向に水平移動させて、前記クロス材吐出手段１３のニードル部１５に対する前記基板２のクロス電極９の位置合わせを行なうものであるが、クロス材塗布装置としては、前記位置合わせを、クロス材吐出手段１３をＸ方向およびＹ方向に水平移動させて行なうものや、前記クロス電極９に対するクロス材吐出手段１３のニードル部１５の接離を、前記ステージ１２を昇降させて行なうものもある。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のような従来のクロス材塗布方法では、前記基板２のクロス電極９上に正確にクロス材１１を塗布するために、前記クロス材吐出手段１３のニードル部１５に対する前記基板２のクロス電極９の位置合わせを精度良く行なう必要があり、したがって、その位置合わせに時間がかかり、クロス材１１の塗布を能率良く行なうことができない。
【００２２】
この発明は、表示素子を構成する一対の基板のいずれかの基板のクロス電極上へのクロス材の塗布を、正確にしかも能率良く行なうことができる、表示素子の製造におけるクロス剤塗布方法を提供することを目的としたものである。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
この発明は、一方の面に複数の第１の表示用電極と、前記第１の表示用電極を形成した領域から突出した位置に形成された第１のクロス電極と、複数の駆動回路接続用端子とを設け、前記複数の端子のうちの所定の端子を前記第１のクロス電極に接続した第１の基板と、一方の面に前記第１の基板の複数の第１の表示用電極に対向する第２の表示用電極を設け、この第２の表示用電極から突出させた位置に前記第１の基板の前記第１のクロス電極に対向する第２のクロス電極を形成した第２の基板とを枠状のシール材を介して接合するとともに、前記一方の基板の前記第１のクロス電極と前記他方の基板の前記第２のクロス電極とを、いずれかの基板のクロス電極上に塗布された導電部材を含有したクロス材を介して電気的に接続し、前記一対の基板間の前記シール材で囲まれた領域に電気光学物質を設けてなる表示素子の製造において、
前記いずれかの基板のクロス電極上への前記クロス材の塗布は、前記クロス材を収容するシリンジと、先端が前記基板面に対して所定の間隔で対向する中空のニードル部を有し、前記シリンジに供給されるエアーにより前記ニードル部から前記クロス材を一定量吐出するクロス材吐出手段の前記ニードル部を、前記基板のクロス電極に対して位置合わせした後、前記クロス電極に一方の極性の電圧を印加し、前記クロス材吐出手段の前記ニードル部の先端から他方の極性に帯電させたクロス材を吐出させて、前記クロス材を前記クロス電極上に電気的引力により誘導して塗布することを特徴とするものである。
【００２４】
このように、前記クロス電極に一方の極性の電圧を印加し、前記クロス材吐出手段のニードル部の先端から他方の極性に帯電させたクロス材を吐出させれば、前記クロス材吐出手段のニードル部に対して前記クロス電極の位置がある程度ずれていても、前記クロス材吐出手段のニードル部の先端から吐出されたクロス材が、その極性とは逆の極性の電圧が印加されている前記クロス電極との間に作用する電気的引力により前記クロス電極上に誘導される。
【００２５】
そのため、この発明のクロス材塗布方法によれば、前記クロス材吐出手段のニードル部に対する前記クロス電極の位置合わせは大まかでよく、したがって、その位置合わせを短時間で簡単に行なえるから、前記クロス電極上へのクロス材の塗布を、正確にしかも能率良く行なうことができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
この発明のクロス材塗布方法は、上記のように、クロス材吐出手段のニードル部に対してクロス電極を大まかに位置合わせし、前記クロス電極に一方の極性の電圧を印加し、前記クロス材吐出手段のニードル部の先端から他方の極性に帯電させたクロス材を吐出させて、前記クロス材を前記クロス電極上に前記クロス材を誘導し塗布させることにより、前記クロス電極上へのクロス材の塗布を、正確にしかも能率良く行なうようにしたものである。
【００２７】
このクロス材塗布方法では、前記クロス材吐出手段のニードル部の先端を前記クロス電極上に接触させなくても、その間隔がある程度以下でありさえすれば、前記クロス材吐出手段のニードル部の先端から吐出されたクロス材が、その極性とは逆の極性の電圧が印加されている前記クロス電極上に電気的引力により誘導し塗布されるため、前記クロス材吐出手段のニードル部の先端は、前記クロス電極が形成された基板面に対して所定の間隔で対向していればよい。
【００２８】
したがって、この発明のクロス材塗布方法によれば、前記基板を支持する水平なステージを備えるとともに、前記クロス材吐出手段を、そのニードル部の先端を前記ステージ上に支持される前記基板面に対して所定の高さに位置決めして配置し、前記ステージまたは前記クロス材吐出手段の水平移動により、前記基板の前記クロス電極に対する前記クロス材吐出手段のニードル部の位置合わせを行なうことが可能であり、このようにすることにより、従来のクロス材塗布方法におけるクロス電極に対するクロス材吐出手段のニードル部の接離を不要とし、さらに能率の良いクロス材塗布を行なうことができる。
【００２９】
【実施例】
以下、この発明の一実施例を、図４に示したアクティブマトリックス液晶表示素子の対向基板２のクロス電極９上へのクロス材の塗布を例にとって、図１〜図３を参照し説明する。
【００３０】
図１はクロス材塗布に用いるクロス材塗布装置の側面図、図２は図１のII−II線に沿う断面図であり、このクロス材塗布装置は、Ｘ方向およびＹ方向に水平移動される水平なステージ２０と、前記ステージ２０の上方に配置されたクロス材吐出手段２１とからなっている。
【００３１】
前記クロス材吐出手段２１は、エアー駆動型のシリンジ２２と、このシリンジ２２の下端に垂直に設けられた中空のニードル部２３とからなっており、前記シリンジ２２内にクロス材を収容し、このシリンジ２２へのエアー供給により前記クロス材を前記ニードル部２３の先端から吐出する。
【００３２】
そして、前記クロス材吐出手段２１は、前記ステージ２０の上方に、前記ニードル部２３の先端を前記ステージ２０上に支持される基板２面に対して所定の高さに位置決めして配置されている。
【００３３】
さらに、このクロス材塗布装置は、一方の電極と他方の電極との間に数百Ｖの電位差を生じさせることのできる電圧印加装置２４を備えている。この電圧印加装置２４は、一方の極と他方の極との間にコンデンサーを有し、前記コンデンサに電荷を蓄積し所定の電位差を生じさせる装置である。
【００３４】
前記一方の極、例えば＋極は、リード線２５を介して前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３の基端付近に接続されている。
【００３５】
すなわち、前記ニードル部２３には常に＋電圧が供給されており、そのため、このニードル部２３内のクロス材（導電性ペースト）は、＋の極性に帯電されている。
【００３６】
また、前記電圧印加装置２４の他方の極である−極には、前記ステージ２０上に支持された基板２の対向電極７に接触される給電端子２６がリード線２７を介して接続されている。
【００３７】
この給電端子２６は、例えばソレノイドを用いた昇降機構に支持されており、この昇降機構によって前記ステージ２０上に支持された基板２の対向電極７に自動的に接離される。
【００３８】
この実施例のクロス材塗布方法を説明すると、この実施例では、上記クロス材塗布装置により、次のようにして前記基板２のクロス電極９上にクロス材を塗布する。
【００３９】
まず、基板搬入出位置において、基板移し替え手段により前記ステージ２０上に前記基板２を搬入し、その基板２を真空吸着等の手段によりステージ２０上に支持させた後、前記ステージ２０をＸ方向およびＹ方向に水平移動させることにより、前記基板２のクロス電極９を、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３に対して大まかに位置合わせする。
【００４０】
図１および図２は、前記クロス電極９を前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３に対して大まかに位置合わせした状態を示しており、ここでは、前記クロス電極９が、その１つの角部の側方に前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３が対向するように位置合わせされた例を示している。
【００４１】
前記クロス電極９を前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３に対して大まかに位置合わせした後は、前記給電端子２６を前記対向電極７に接触させて、前記電圧印加装置２４から前記対向電極７を介してそのクロス電極９に−の極性の電圧を印加し、同時に前記クロス材吐出手段１３のシリンジ２２に一定時間エアーを供給し、そのエアー圧により前記ニードル部１５の先端から、上記のように＋の極性に帯電させたクロス材を一定量吐出させる。
【００４２】
このように、前記基板２のクロス電極９に一方の極性（−の極性）の電圧を印加し、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３の先端から他方の極性（＋の極性）に帯電させたクロス材を吐出させると、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３の先端から吐出されたクロス材が、その極性とは逆の極性の電圧が印加されている前記クロス電極９上に吸着される。
【００４３】
図３は、このようにして前記クロス電極９上に吸着されたクロス材１１の塗布状態を示している。前記クロス電極９が図１および図２に示したように、その１つの角部の側方に前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３が対向するように位置合わせされたときは、図のような状態にクロス材１１が塗布される。
【００４４】
なお、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３の先端から前記クロス電極９までの距離が、前記ニードル部２３から吐出された帯電クロス材が逆極性のクロス電極９に吸引される範囲内であれば、前記クロス電極９が前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３に対してどのような位置関係で位置を合わせたときでも、前記クロス電極９上に確実にクロス材１１を塗布することができる。
【００４５】
このように前記クロス電極９上にクロス材１１を塗布した後は、前記給電端子２６を前記対向電極７から離間させて前記ステージ２０を基板搬入出位置に移動させ、基板移し替え手段によりステージ２０上の基板２を取出し、次の基板２を前記ステージ２０上に搬入して、同様なクロス材塗布を行なう。
【００４６】
すなわち、このクロス材塗布方法は、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３に対して、クロス電極９を大まかに位置合わせし、前記クロス電極９に一方の極性の電圧を印加し、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３の先端から他方の極性に帯電させたクロス材を吐出させて、電気的引力により前記クロス材を前記クロス電極９上に誘導し塗布させるようにしたものである。
【００４７】
このように、前記クロス電極９に一方の極性の電圧を印加し、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３の先端から他方の極性に帯電させたクロス材を吐出させれば、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３に対して前記クロス電極９の位置がある程度ずれていても、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３の先端から吐出されたクロス材が、その極性とは逆の極性の電圧が印加されている前記クロス電極９との間に作用する電気的引力により前記クロス電極９上に誘導し塗布される。
【００４８】
そのため、このクロス材塗布方法によれば、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３に対する前記クロス電極９の位置合わせは大まかでよく、したがって、その位置合わせを短時間で簡単に行なえるから、前記クロス電極９上へのクロス材の塗布を、正確にしかも能率良く行なうことができる。
【００４９】
また、このクロス材塗布方法では、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３の先端を前記クロス電極９上に接触させなくても、その間隔がある程度以下でありさえすれば、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３の先端から吐出されたクロス材が、その極性とは逆の極性の電圧が印加されている前記クロス電極９上に吸着されるため、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３の先端は、前記クロス電極９が形成された基板２面に対して所定の間隔で対向していればよい。
【００５０】
したがって、上記実施例のように、前記基板２を支持する水平なステージ２０を備えるとともに、前記クロス材吐出手段２１を、そのニードル部２３の先端を前記ステージ２０上に支持される前記基板２面に対して所定の高さに位置決めして配置し、前記ステージ２０のＸ方向およびＹ方向への水平移動により、前記基板２のクロス電極９に対する前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３の位置合わせを行なうことが可能である。
【００５１】
そのため、このクロス材塗布方法によれば、従来のクロス材塗布方法におけるクロス電極に対するクロス材吐出手段のニードル部の接離を不要とし、さらに能率の良いクロス材塗布を行なうことができる。
【００５２】
なお、上記実施例では、電圧印加装置２４の一方の極をクロス材吐出手段２１のニードル部２３に接続し、このニードル部２３内においてクロス材を帯電させるようにしているが、電圧印加装置２４の一方の極を前記クロス材吐出手段２１のシリンジ２２に接続し、このシリンジ２２内においてクロス材を帯電させるようにしてもよい。
【００５３】
また、上記実施例では、クロス電極９に−の極性の電圧を印加し、クロス材吐出手段２１のニードル部２３の先端から＋の極性に帯電させたクロス材を吐出させているが、それと逆に、前記クロス電極９に＋の極性の電圧を印加し、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３の先端から−の極性に帯電させたクロス材を吐出させてもよい。
【００５４】
さらに、上記実施例では、前記クロス材吐出手段２１のニードル部２３に対する前記クロス電極９の位置合わせを、前記ステージ２０のＸ方向およびＹ方向への水平移動により行なっているが、この位置合わせは、前記ステージ２０を固定し、前記クロス材吐出手段２１をＸ方向およびＹ方向に水平移動させることにより行なってもよい。
【００５５】
また、この発明のクロス材塗布方法は、上述したアクティブマトリックス液晶表示素子の対向基板２のクロス電極９上へのクロス材塗布に限らず、一方の面に複数の表示用電極と、所定個所に形成されたクロス電極と、複数の駆動回路接続用端子とを設け、前記複数の端子のうちの所定の端子を前記クロス電極に接続した第１の基板と、一方の面に前記第１の基板の複数の表示用電極に対向する表示用電極を設け、この表示用電極に前記第１の基板の前記クロス電極に対向するクロス電極を形成した第２の基板とを枠状のシール材を介して接合するとともに、前記一方の基板の前記クロス電極と前記他方の基板の前記クロス電極とを、いずれかの基板のクロス電極上に塗布されたクロス材を介して電気的に接続し、前記一対の基板間の前記シール材で囲まれた領域に電気光学物質を設けてなる表示素子の製造における、前記いずれかの基板のクロス電極上への前記クロス材の塗布に広く適用することができる。
【００５６】
【発明の効果】
この発明のクロス材塗布方法によれば、シリンジに供給されるエアーにより前記ニードル部から前記クロス材を一定量吐出するクロス材吐出手段のニードル部を、表示用電極を形成した領域から突出した位置、或いは表示用電極から突出させた位置に設けたクロス電極に対して位置合わせした後、前記クロス電極に一方の極性の電圧を印加し、前記クロス材吐出手段のニードル部の先端から他方の極性に帯電させたクロス材を吐出させて、前記クロス電極上に前記クロス材を電気的引力により誘導して塗布するので、前記クロス電極上へのクロス材の塗布を、正確にしかも能率良く行なうことができる。
【００５７】
このクロス材塗布方法では、前記クロス材吐出手段のニードル部の先端を前記クロス電極上に接触させなくても、その間隔がある程度以下でありさえすれば、前記クロス材吐出手段のニードル部の先端から吐出されたクロス材が、その極性とは逆の極性の電圧が印加されている前記クロス電極上に電気的引力により誘導し塗布されるため、前記クロス材吐出手段のニードル部の先端は、前記クロス電極が形成された基板面に対して所定の間隔で対向していればよい。
【００５８】
したがって、この発明のクロス材塗布方法によれば、前記基板を支持する水平なステージを備えるとともに、前記クロス材吐出手段を、そのニードル部の先端を前記ステージ上に支持される前記基板面に対して所定の高さに位置決めして配置し、前記ステージまたは前記クロス材吐出手段の水平移動により、前記基板の前記クロス電極に対する前記クロス材吐出手段のニードル部の位置合わせを行なうことが可能であり、このようにすることにより、従来のクロス材塗布方法におけるクロス電極に対するクロス材吐出手段のニードル部の接離を不要とし、さらに能率の良いクロス材塗布を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のクロス材塗布方法の一実施例を示す、クロス材塗布に用いるクロス材塗布装置の側面図。
【図２】図１のII−II線に沿う断面図。
【図３】この発明のクロス材塗布方法によりクロス電極上に塗布されたクロス材の塗布状態を示す図。
【図４】一方の基板に駆動回路接続用端子を設け、他方の基板の表示用電極をクロス材を介して前記一方の基板の前記端子に電気的に接続した表示素子の一例を示す分解斜視図。
【図５】従来のクロス材塗布に用いられているクロス材塗布装置の側面図。
【図６】図５のVI−VI線に沿う断面図。
【図７】従来のクロス材塗布方法によりクロス電極上に塗布されたクロス材の塗布状態を示す図。
【符号の説明】
２…基板
９…クロス電極
１１…クロス材
２０…ステージ
２１…クロス材吐出手段
２２…シリンジ
２３…ニードル部

Claims

一方の面に複数の第１の表示用電極と、前記第１の表示用電極を形成した領域から突出した位置に形成された第１のクロス電極と、複数の駆動回路接続用端子とを設け、前記複数の端子のうちの所定の端子を前記第１のクロス電極に接続した第１の基板と、一方の面に前記第１の基板の複数の第１の表示用電極に対向する第２の表示用電極を設け、この第２の表示用電極から突出させた位置に前記第１の基板の前記第１のクロス電極に対向する第２のクロス電極を形成した第２の基板とを枠状のシール材を介して接合するとともに、前記一方の基板の前記第１のクロス電極と前記他方の基板の前記第２のクロス電極とを、いずれかの基板のクロス電極上に塗布された導電部材を含有したクロス材を介して電気的に接続し、前記一対の基板間の前記シール材で囲まれた領域に電気光学物質を設けてなる表示素子の製造において、
前記いずれかの基板のクロス電極上への前記クロス材の塗布は、前記クロス材を収容するシリンジと、先端が前記基板面に対して所定の間隔で対向する中空のニードル部を有し、前記シリンジに供給されるエアーにより前記ニードル部から前記クロス材を一定量吐出するクロス材吐出手段の前記ニードル部を、前記基板のクロス電極に対して位置合わせした後、前記クロス電極に一方の極性の電圧を印加し、前記クロス材吐出手段の前記ニードル部の先端から他方の極性に帯電させたクロス材を吐出させて、前記クロス材を前記クロス電極上に電気的引力により誘導して塗布することを特徴とするクロス材塗布方法。
基板を支持する水平なステージを備えるとともに、前記クロス材吐出手段を、そのニードル部の先端を前記ステージ上に支持される前記基板面に対して所定の高さに位置決めして配置し、前記ステージまたは前記クロス材吐出手段の水平移動により、前記基板の前記クロス電極に対する前記クロス材吐出手段のニードル部の位置合わせを行なうことを特徴とする請求項１に記載のクロス材塗布方法。