JP3830364B2 - 固体レーザ励起用光源装置 - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばレーザ加工装置等に搭載されて用いられるLD励起固体レーザ発生装置(半導体レーザの放出光で固体レーザ発振媒体を励起するレーザ発生装置、以下、同じ)で使用される励起用光源装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、YAGレーザのような固体レーザ発生装置が、金属あるいは非金属材料の切断、溶接などを行うレーザ加工装置等において広く使用されつつある。固体レーザ媒体の励起光源としては、従来から使用されてきたランプとともに、半導体レーザ(LD=レーザダイオード;以下、同じ)が用いられているが、後者を用いた場合の優位性から、今後はこの後者を用いたLD励起の方式が主流になると考えられている。
【0003】
即ち、LD励起の方式では、励起光の波長と固体レーザの吸収帯との間に高い一致性を持たせることが可能であり、従来のランプ励起の方式に比して、固体レーザ発振媒体へのエネルギ吸収効率を高めることが出来る。その結果、従来のランプ励起方式における発振効率が3%程度であったのに対し、LD励起の方式では10%以上の発振効率が実現されている。
【0004】
これにより、装置の大幅な小型化も可能になっている。また、LD励起では、固体レーザ発振媒体内部に発生する発熱量を低減させることが出来るために、発熱に起因して発生する熱レンズ効果が抑制され、ビーム品質の向上をもたらしている。更に、LD自体の寿命がランプの10倍以上と長いため、メンテナンスに要する労力や費用の大幅な低減が可能となる。
【0005】
このような背景において、LD励起に関しての研究開発が盛んに行われるようになっており、その多くは、LDの高性能化あるいはLD励起の最適構成の追究に向けられている。
【0006】
LDの高性能化については、LDの材料そのものの研究と、駆動時にLD内部に発生する熱の問題をいかにして解決するかという観点からの研究が主として進められている。後者の熱の問題については、現状のLDの発光効率が高々50%程度に過ぎず、駆動電力の50%あるいはそれ以上が熱に変換されてしまうという事実が解決を困難にしている。
【0007】
例えば、長さ1cmのLDバーから40Wの励起光が出射されるという構成においては、1cmの棒状の領域から40Wあるいはそれ以上の熱が放出されることになる。これを冷却する方式としては、例えば特開平10−209531号公報で提案された技術(冷却装置、光源装置、面発光装置、およびその製造方法)のように、冷却器内部に微細水路を設け、LDバーを実装する部分の直下を冷却するという方式がある。
【0008】
この方式では、LDバーを冷却器に実装した状態で、LDバーを積層していくことが可能であり、結果として面発光光源を形成し、その発光面出力密度(発光出力と発光領域の比)を高めることが可能である。このように発光面出力密度が高いということは、固体レーザ発生装置に性能の面で大きな利点をもたらすことになる。
【0009】
現在、特に高出力の固体レーザ発振媒体の形状としては、スラブ型とロッド型の2種類の開発が主流になっており、その励起方式は、いずれの型の媒体においても、励起光閉じ込め方式が用いられている。ここで、励起光閉じ込め方式とは、励起光を高反射面で覆われた筐体内部に閉じ込める方式であり、固体レーザ発振媒体を筐体内部に配置することで、励起光の固体レーザ発振媒体への吸収効率を高めることが可能になる。スラブ型の媒体に励起光閉じ込め方式を適用した例としては、例えば特願2000−326755号に係るLD励起スラブ型固体レーザ発生装置がある。
【0010】
この励起光閉じ込め方式では、LDの射出光をレンズ等の集光手段によって集光し、筐体表面部に設けられた開口部より筐体内部に注入するのが一般的である。その場合、LD射出光をできるだけ集光することが、励起光の閉じ込め効果を高めるという上で必要であり、従って、励起光を集光するのに適したLDの配置と励起光集光光学系が求められることになる。
【0011】
一般に、高出力LDの射出光の広がり角は、LDバーの長さ方向において10度程度、長さ方向に直交する方向では、40度程度である。ここで、広がり角は光強度の角度分布の半値全幅(角度で測った幅)で表わすものとする(以下の角度データにおいても同じ)。即ち、広がり角は長さ方向で小さく、それを直交する方向で大きい。
【0012】
LDバーを積層する場合、長さ方向と垂直の方向に積層するのが一般的である。この配置は、積層が容易であり、LDバーを冷却する冷却器の構成との整合性も良い。そして、積層によって得られたLDスタックの射出光の広がり角は、上記の各LDバーの広がり角と同等、即ち、LDバーの長さ方向については10度程度、積層方向については40度程度となる。
【0013】
このような励起光源を固体レーザの励起に用いる場合、積層方向(個々のLDバーの長さ方向と垂直の方向)と媒体の長さ方向とが平行となるように配置するのが適しており、LDバーの長さ方向について射出光の角度広がりをレンズ等の集光手段で絞る(集光する)のが良いと考えられる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような観点に基づいて励起用LDを設計する場合、積層するLDバーの数が多くなるに従い、次のように、多くの問題が生じて来る。
即ち、実際に励起用光源装置を構成するに際しては、積層されるLDバーは冷却器上に実装され、それら冷却器同士はゴム材でシールされる構造が採用されることなる。その場合、各冷却器に実装されたLDバー間の積層ピッチは、その大半は冷却器の厚みで占められるので、積層ピッチを所定値に保つために冷却器の厚みも一定に保たれる必要がある。そこで、個々の冷却器の厚みがわずかでも違えば、数多くのLDバーが積層されたスタック全体の厚みは大きく変わることになる。
【0015】
例えば、LDバーを50個積層し、その積層ピッチを2mmとした場合、積層後の長さは100mmとなるが、仮に、すべての冷却器の厚みが50μm縮小すれば、積層後の長さ(厚み)は2.5mmも小さくなる。ところが、厚みを減じた冷却器を多数用いた場合、シール材を押さえつける圧力が不足し、水漏れを起こし易くなる。
【0016】
この問題を回避するために、比較的少ない数を積層したLDスタックを独立に並べるという手法もある。しかしそような方法では、冷却水の流路構成および電気的な配線が複雑になり、更にLDスタックを並べる際に生じる非発光領域(デッドスペース)が無視出来なくなり、効率的な励起が困難になる。更にまた、LDスタックが破損した場合には、LDスタック全体を交換するか、LDスタックを分解して破損したLDバーを交換するか、いずれかの手段が必要になる。
【0017】
前者の方法をとった場合、まだ使用可能な多くのLDが無駄になる。また、後者の方法では、破損した個所を特定するのが容易でなく、仮に特定出来たとしても、それを交換する作業は容易ではない。
【0018】
そこで本発明の目的は、上記した従来技術の問題点を解消することにある。即ち、本発明は、固体レーザ発振媒体を励起するために積層されたLDバーを用いた励起用光源装置を、一部のLDバーの破損に際して無駄なく対応することができ、コンパクトな構成を持つように改良することを企図している。
【0019】
【課題を解決するための手段】
本発明は、固体レーザ励起用の半導体レーザに冷却水路を含む冷却器にアレイ状のLDバーが取り付けられた組立体を積層したLDスタックを複数のLDモジュールに分割可能な構成とし、LDモジュール同士を機械的に連結するための連結プレートを採用する。更に本発明では、この連結プレートには、各モジュール間で冷却水路を結合する機能や各モジュール間の電気的接続を確保する機能を持たせることが出来る。
【0020】
即ち、本発明では先ず基本構成として、「固体レーザ発振媒体を励起するために半導体レーザを用いた励起用光源装置において、複数のLDモジュールと、該複数のLDモジュールについて隣り合うLDモジュール同士を機械的に連結する連結プレートを含むLDスタックを備え、該連結プレートによる前記連結は解除可能であり、前記複数のLDモジュールの各々は、冷却水路を含む冷却器にアレイ状のLDバーを取り付けた組立体を、前記LDバーの長さ方向と垂直な方向に複数個積層して構成されており、前記連結プレートは、前記隣り合うLDモジュールを前記組立体の積層方向に連結し、前記隣り合うLDモジュール間で前記冷却器の冷却水路を結合する機能を有し、前記LDスタックは、前記LDバーの長さ方向が前記固体レーザ発振媒体の長さ方向に直交するように配置される、前記励起用光源装置」が提供される。
【0021】
ここで、前記連結プレートは、前記LDモジュールの各々の両側に配置されているとともに、前記LDモジュール同士を電気的に接続する機能を有し、それによって複数のLDモジュールが直列駆動可能となっていることが好ましい。
【0022】
また、前記連結プレートは前記LDモジュールの各々の両側に配置されているとともに、前記LDモジュール内において積層された前記組立体を固定する機能を有していることが好ましい。
【0023】
更に、典型的な発明の態様においては、前記LDスタックを構成する前記LDモジュールの連結個数をN(但し、Nは整数でN≧2)とし、前記LDスタック全体について発光領域を包括し得る最小の長方形の面積をAとし、更に、前記LDスタックに含まれる個々のLDモジュールについて発光領域を包括し得る最小の長方形の面積をBとした時、1−(NB/A)の値が0.2を越えないように、前記連結プレートの厚みが定められている。
【0024】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の実施形態に係る励起用光源装置について、LDスタックの基本構成と外観を示している。同図において右側には、符号5で1個のLDモジュールが示されている。LDモジュール5には、その両側に連結プレート3が設けられ、両連結プレート3間に複数の冷却器2が配置され、各冷却器2上にLDバー1が実装されている。ここで、LDバー1は、その長さ方向と垂直の方向に積層されており、LDスタックは、この積層方向(個々のLDバーの長さ方向と垂直の方向)と固体レーザ媒体(図示省略)の長さ方向とが平行となるように配置される。
【0025】
図1において左側に示されたLDスタックは、所要数のLDモジュール5を機械的に連結して構成される。この連結には、各LDモジュール5の両側に設けられた連結プレート3が利用される。即ち、隣り合うLDモジュール5の互いに向かい合う連結プレート3同士を連結することで、図1において左側に示されたように所要個数のLDモジュール5を備えたLDスタックが構成される。なお、連結プレート3同士の連結とその解除のためには、周知の任意の機構が利用されて良い。例えば、押し込みで連結され引っ張りで解除される弾性的な嵌め合い機構を各連結プレート自身に設けても良く、ネジ等を用いて連結プレート同士を結合しても良い。
【0026】
シール材4は、冷却水が漏れないようにシールする部材で、連結プレート3同士の連結に際して、両連結プレート3間に包み込まれる態様で各LDモジュール5間に組み込まれる。連結プレート3及びシール材4には、アセンブリング後に対応し合う位置に冷却水の通路を確保するための開口(図示した例では2段開口)が設けられている。これにより、隣り合うLDモジュールの冷却器2間で冷却水路が連結される。なお、図1に示したように、本実施形態では、LDスタックの輪郭を形成するハウジング6は、各LDモジュール5の側面を連結したもので構成されることになる。
【0027】
次に、図2には各LDモジュールの内部の様子を例示した。各LDバー1は、対応する冷却器2の縁部近くに実装されており、冷却器2の中央部付近は、冷却水の通路とされている。この冷却水の通路の位置は、上記した連結プレート3及びシール材4に設けられた開口部(冷却水通路)に対応している。
【0028】
ここに示した例では、各LDモジュール5の両側に設けられる連結プレート3にはシール部材4及び各端の冷却器2の輪郭に対応した凹状段部が設けられ、シール部材4及び各端の冷却器2をこの凹状段部に嵌入することで、冷却器2が固定、位置決めされる。
【0029】
また、ハウジング6を絶縁性の材料、例えば樹脂で作成しておき、連結プレート3を伝導性の金属で構成すれば、この連結プレート3が隣り合うLDモジュール5間の電気的接続を確保するために使用可能な電極としても兼用出来る。
【0030】
図3は、LDスタックを背面から見た様子を説明するための図で、(a)は仮に1個のLDモジュールでLDスタックを構成した場合を利用して電気的な接続の様子を説明するための描示、(b)は2個のLDモジュールでLDスタックを構成した場合について電気的な接続の様子を説明するための描示である。
連結プレート3の背面部には、電線9(太線で描示)を結合するための正極7用のネジ穴(図示略)及び負極8(図示略)用のネジ穴が形成されている。
【0031】
図3(a)に示したように、仮に1個のみのLDモジュールでLDスタックを構成する場合には、そのLDモジュール両端部の正極7及び負極8に電線が接続される。図3(b)に示したように2個のLDモジュールでLDスタックを構成する場合には、各LDモジュールの反対側の各端部の正極7及び負極8に電線が接続される。
【0032】
そして、ここで示された例では、各冷却器2に実装されたLDバー1同士の電気的な接続を各冷却器自身が果たす構成となっており、LDモジュール5両端部に位置した冷却器2と連結プレート3の機械的な結合によって、冷却器2と連結プレート3との電気的な接続が確保されている。接続の仕方は、LDモジュール数が増加しても、2個の場合と同様である。また、LDモジュールを電気的に独立にすることも容易である。
【0033】
なお、図4に示したように、LDモジュールを連結する際に、連結プレート3の間に絶縁性のあるプレート13を挿入し、この状態で機械的に結合すれば、2個のモジュールは、電気的には独立になる。この場合、結果として、LDの劣化等の診断が容易になり、LDスタックの一部が破損した場合に、破損した場所を特定するのが容易になる。
【0034】
次に、図5を参照して請求項4で規定した条件について説明する。先ず、符号10は、LDスタック全体についてLDの発光領域を包括するようにしてできる長方形を表わしている。この長方形10の面積がAである。一方、各LDモジュールについて、発光領域を包括し得る最小の長方形が符号11で示されている。この長方形の面積がBである。
【0035】
ここで、長方形10内には連結プレート3が含まれているが、長方形11内には連結プレート3が含まれていない。これに対応して、長方形10内におけるデッドスペース12は、おおよそ連結プレート3の厚みに依存して決まることが判る。この事実に照らして、デッドスペース12をできるだけ小さくするには、連結プレートの厚みを低減することが肝要である。
【0036】
このような観点で連結プレートの厚さを評価する指標として、請求項4で記述した1−(NB/A)を用いることが出来る。ここで、NはLDスタックを構成するLDモジュールの連結個数で(N≧2)あり、A、Bは上記した通り長方形10及び長方形11の面積である。
【0037】
指標1−(NB/A)は、その値が小さい程、連結プレート3の薄型化が進んでいると解釈出来る。仮想的に連結プレート3の厚さが限りなく0に近いとすると、上記定義から、NB=Aがほぼ成立し、指標1−(NB/A)はほぼ0となる。
【0038】
請求項4の発明では、このような指標で評価した連結プレート3の厚さについて、「0.2を越えない」という要件を課したものである。実際の設計において、この条件が満たされれば、少ないデッドスペースで高い発光面出力密度(発光出力と発光領域の比)をスタック全体について確保しながら、本発明の最大の利点である分割LDモジュール構成の優位性を発揮することが出来る。従って、この条件を守ることは、極めて好ましいことである。
【0039】
【発明の効果】
本発明においては、LDスタックをLDモジュールに分割することで、作業者の組立てが容易になり、各冷却器の厚みのばらつきによって生じるシール部の押さえ圧力不足による水漏れを回避することが可能になる。また、電気的にも冷却構成においても、LDモジュール同士を直列に結合出来るため、組み立てられたLDスタックは一つのモジュールとして扱うことが可能になる。
【0040】
更に、長さの大きな固体レーザ発振媒体を用いたとしても、その長さに合わせた発光面形状を提供することが可能になり、その場合におけるデッドスペースも小さい。また、LDモジュールを連結するためのプレートが、各モジュール内において冷却器を固定する働きも兼ね得るため、モジュールの構成が単純化される。なお、各モジュール同士の電気的結合は、モジュールを結合した場合にも独立とすることが可能になり、これにより、LD励起固体レーザシステムにおいて、各LDモジュールの劣化の度合いを診断することも可能となる。
【0041】
また更に、LDスタックの一部分が破損した場合には、破損したLDを含むモジュールのみを交換すれば良く、他のモジュールは続けて使用することが可能になる。従って、LDスタックを経済的に使用することが可能となる。同時に、LDモジュールを分解して、破損した箇所のみを交換する作業も容易になり、LDモジュールの修理自体が容易な構成となっている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る励起用光源装置について、LDスタックの基本構成と外観を説明する図である。
【図2】各LDモジュールの内部の様子を示した図である。
【図3】LDスタックを背面から見た様子を説明するための図で、(a)は仮に1個のLDモジュールでLDスタックを構成した場合を利用して電気的な接続の様子を説明するための描示、(b)は2個のLDモジュールでLDスタックを構成した場合について電気的な接続の様子を説明するための描示である。
【図4】隣り合うLDモジュールを電気的に独立とした例について説明する図である。
【図5】請求項4で規定した条件について説明する図である。
【符号の説明】
1 LDバー
2 冷却器
3 連結プレート
4 シール材
5 LDモジュール
6 ハウジング
7 正極
8 負極
9 電気ケーブル
10 領域A
11 領域B
12 非発光領域(デッドスペース)
13 絶縁プレート
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばレーザ加工装置等に搭載されて用いられるLD励起固体レーザ発生装置(半導体レーザの放出光で固体レーザ発振媒体を励起するレーザ発生装置、以下、同じ)で使用される励起用光源装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、YAGレーザのような固体レーザ発生装置が、金属あるいは非金属材料の切断、溶接などを行うレーザ加工装置等において広く使用されつつある。固体レーザ媒体の励起光源としては、従来から使用されてきたランプとともに、半導体レーザ(LD=レーザダイオード;以下、同じ)が用いられているが、後者を用いた場合の優位性から、今後はこの後者を用いたLD励起の方式が主流になると考えられている。
【0003】
即ち、LD励起の方式では、励起光の波長と固体レーザの吸収帯との間に高い一致性を持たせることが可能であり、従来のランプ励起の方式に比して、固体レーザ発振媒体へのエネルギ吸収効率を高めることが出来る。その結果、従来のランプ励起方式における発振効率が3%程度であったのに対し、LD励起の方式では10%以上の発振効率が実現されている。
【0004】
これにより、装置の大幅な小型化も可能になっている。また、LD励起では、固体レーザ発振媒体内部に発生する発熱量を低減させることが出来るために、発熱に起因して発生する熱レンズ効果が抑制され、ビーム品質の向上をもたらしている。更に、LD自体の寿命がランプの10倍以上と長いため、メンテナンスに要する労力や費用の大幅な低減が可能となる。
【0005】
このような背景において、LD励起に関しての研究開発が盛んに行われるようになっており、その多くは、LDの高性能化あるいはLD励起の最適構成の追究に向けられている。
【0006】
LDの高性能化については、LDの材料そのものの研究と、駆動時にLD内部に発生する熱の問題をいかにして解決するかという観点からの研究が主として進められている。後者の熱の問題については、現状のLDの発光効率が高々50%程度に過ぎず、駆動電力の50%あるいはそれ以上が熱に変換されてしまうという事実が解決を困難にしている。
【0007】
例えば、長さ1cmのLDバーから40Wの励起光が出射されるという構成においては、1cmの棒状の領域から40Wあるいはそれ以上の熱が放出されることになる。これを冷却する方式としては、例えば特開平10−209531号公報で提案された技術(冷却装置、光源装置、面発光装置、およびその製造方法)のように、冷却器内部に微細水路を設け、LDバーを実装する部分の直下を冷却するという方式がある。
【0008】
この方式では、LDバーを冷却器に実装した状態で、LDバーを積層していくことが可能であり、結果として面発光光源を形成し、その発光面出力密度(発光出力と発光領域の比)を高めることが可能である。このように発光面出力密度が高いということは、固体レーザ発生装置に性能の面で大きな利点をもたらすことになる。
【0009】
現在、特に高出力の固体レーザ発振媒体の形状としては、スラブ型とロッド型の2種類の開発が主流になっており、その励起方式は、いずれの型の媒体においても、励起光閉じ込め方式が用いられている。ここで、励起光閉じ込め方式とは、励起光を高反射面で覆われた筐体内部に閉じ込める方式であり、固体レーザ発振媒体を筐体内部に配置することで、励起光の固体レーザ発振媒体への吸収効率を高めることが可能になる。スラブ型の媒体に励起光閉じ込め方式を適用した例としては、例えば特願2000−326755号に係るLD励起スラブ型固体レーザ発生装置がある。
【0010】
この励起光閉じ込め方式では、LDの射出光をレンズ等の集光手段によって集光し、筐体表面部に設けられた開口部より筐体内部に注入するのが一般的である。その場合、LD射出光をできるだけ集光することが、励起光の閉じ込め効果を高めるという上で必要であり、従って、励起光を集光するのに適したLDの配置と励起光集光光学系が求められることになる。
【0011】
一般に、高出力LDの射出光の広がり角は、LDバーの長さ方向において10度程度、長さ方向に直交する方向では、40度程度である。ここで、広がり角は光強度の角度分布の半値全幅(角度で測った幅)で表わすものとする(以下の角度データにおいても同じ)。即ち、広がり角は長さ方向で小さく、それを直交する方向で大きい。
【0012】
LDバーを積層する場合、長さ方向と垂直の方向に積層するのが一般的である。この配置は、積層が容易であり、LDバーを冷却する冷却器の構成との整合性も良い。そして、積層によって得られたLDスタックの射出光の広がり角は、上記の各LDバーの広がり角と同等、即ち、LDバーの長さ方向については10度程度、積層方向については40度程度となる。
【0013】
このような励起光源を固体レーザの励起に用いる場合、積層方向(個々のLDバーの長さ方向と垂直の方向)と媒体の長さ方向とが平行となるように配置するのが適しており、LDバーの長さ方向について射出光の角度広がりをレンズ等の集光手段で絞る(集光する)のが良いと考えられる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような観点に基づいて励起用LDを設計する場合、積層するLDバーの数が多くなるに従い、次のように、多くの問題が生じて来る。
即ち、実際に励起用光源装置を構成するに際しては、積層されるLDバーは冷却器上に実装され、それら冷却器同士はゴム材でシールされる構造が採用されることなる。その場合、各冷却器に実装されたLDバー間の積層ピッチは、その大半は冷却器の厚みで占められるので、積層ピッチを所定値に保つために冷却器の厚みも一定に保たれる必要がある。そこで、個々の冷却器の厚みがわずかでも違えば、数多くのLDバーが積層されたスタック全体の厚みは大きく変わることになる。
【0015】
例えば、LDバーを50個積層し、その積層ピッチを2mmとした場合、積層後の長さは100mmとなるが、仮に、すべての冷却器の厚みが50μm縮小すれば、積層後の長さ(厚み)は2.5mmも小さくなる。ところが、厚みを減じた冷却器を多数用いた場合、シール材を押さえつける圧力が不足し、水漏れを起こし易くなる。
【0016】
この問題を回避するために、比較的少ない数を積層したLDスタックを独立に並べるという手法もある。しかしそような方法では、冷却水の流路構成および電気的な配線が複雑になり、更にLDスタックを並べる際に生じる非発光領域(デッドスペース)が無視出来なくなり、効率的な励起が困難になる。更にまた、LDスタックが破損した場合には、LDスタック全体を交換するか、LDスタックを分解して破損したLDバーを交換するか、いずれかの手段が必要になる。
【0017】
前者の方法をとった場合、まだ使用可能な多くのLDが無駄になる。また、後者の方法では、破損した個所を特定するのが容易でなく、仮に特定出来たとしても、それを交換する作業は容易ではない。
【0018】
そこで本発明の目的は、上記した従来技術の問題点を解消することにある。即ち、本発明は、固体レーザ発振媒体を励起するために積層されたLDバーを用いた励起用光源装置を、一部のLDバーの破損に際して無駄なく対応することができ、コンパクトな構成を持つように改良することを企図している。
【0019】
【課題を解決するための手段】
本発明は、固体レーザ励起用の半導体レーザに冷却水路を含む冷却器にアレイ状のLDバーが取り付けられた組立体を積層したLDスタックを複数のLDモジュールに分割可能な構成とし、LDモジュール同士を機械的に連結するための連結プレートを採用する。更に本発明では、この連結プレートには、各モジュール間で冷却水路を結合する機能や各モジュール間の電気的接続を確保する機能を持たせることが出来る。
【0020】
即ち、本発明では先ず基本構成として、「固体レーザ発振媒体を励起するために半導体レーザを用いた励起用光源装置において、複数のLDモジュールと、該複数のLDモジュールについて隣り合うLDモジュール同士を機械的に連結する連結プレートを含むLDスタックを備え、該連結プレートによる前記連結は解除可能であり、前記複数のLDモジュールの各々は、冷却水路を含む冷却器にアレイ状のLDバーを取り付けた組立体を、前記LDバーの長さ方向と垂直な方向に複数個積層して構成されており、前記連結プレートは、前記隣り合うLDモジュールを前記組立体の積層方向に連結し、前記隣り合うLDモジュール間で前記冷却器の冷却水路を結合する機能を有し、前記LDスタックは、前記LDバーの長さ方向が前記固体レーザ発振媒体の長さ方向に直交するように配置される、前記励起用光源装置」が提供される。
【0021】
ここで、前記連結プレートは、前記LDモジュールの各々の両側に配置されているとともに、前記LDモジュール同士を電気的に接続する機能を有し、それによって複数のLDモジュールが直列駆動可能となっていることが好ましい。
【0022】
また、前記連結プレートは前記LDモジュールの各々の両側に配置されているとともに、前記LDモジュール内において積層された前記組立体を固定する機能を有していることが好ましい。
【0023】
更に、典型的な発明の態様においては、前記LDスタックを構成する前記LDモジュールの連結個数をN(但し、Nは整数でN≧2)とし、前記LDスタック全体について発光領域を包括し得る最小の長方形の面積をAとし、更に、前記LDスタックに含まれる個々のLDモジュールについて発光領域を包括し得る最小の長方形の面積をBとした時、1−(NB/A)の値が0.2を越えないように、前記連結プレートの厚みが定められている。
【0024】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の実施形態に係る励起用光源装置について、LDスタックの基本構成と外観を示している。同図において右側には、符号5で1個のLDモジュールが示されている。LDモジュール5には、その両側に連結プレート3が設けられ、両連結プレート3間に複数の冷却器2が配置され、各冷却器2上にLDバー1が実装されている。ここで、LDバー1は、その長さ方向と垂直の方向に積層されており、LDスタックは、この積層方向(個々のLDバーの長さ方向と垂直の方向)と固体レーザ媒体(図示省略)の長さ方向とが平行となるように配置される。
【0025】
図1において左側に示されたLDスタックは、所要数のLDモジュール5を機械的に連結して構成される。この連結には、各LDモジュール5の両側に設けられた連結プレート3が利用される。即ち、隣り合うLDモジュール5の互いに向かい合う連結プレート3同士を連結することで、図1において左側に示されたように所要個数のLDモジュール5を備えたLDスタックが構成される。なお、連結プレート3同士の連結とその解除のためには、周知の任意の機構が利用されて良い。例えば、押し込みで連結され引っ張りで解除される弾性的な嵌め合い機構を各連結プレート自身に設けても良く、ネジ等を用いて連結プレート同士を結合しても良い。
【0026】
シール材4は、冷却水が漏れないようにシールする部材で、連結プレート3同士の連結に際して、両連結プレート3間に包み込まれる態様で各LDモジュール5間に組み込まれる。連結プレート3及びシール材4には、アセンブリング後に対応し合う位置に冷却水の通路を確保するための開口(図示した例では2段開口)が設けられている。これにより、隣り合うLDモジュールの冷却器2間で冷却水路が連結される。なお、図1に示したように、本実施形態では、LDスタックの輪郭を形成するハウジング6は、各LDモジュール5の側面を連結したもので構成されることになる。
【0027】
次に、図2には各LDモジュールの内部の様子を例示した。各LDバー1は、対応する冷却器2の縁部近くに実装されており、冷却器2の中央部付近は、冷却水の通路とされている。この冷却水の通路の位置は、上記した連結プレート3及びシール材4に設けられた開口部(冷却水通路)に対応している。
【0028】
ここに示した例では、各LDモジュール5の両側に設けられる連結プレート3にはシール部材4及び各端の冷却器2の輪郭に対応した凹状段部が設けられ、シール部材4及び各端の冷却器2をこの凹状段部に嵌入することで、冷却器2が固定、位置決めされる。
【0029】
また、ハウジング6を絶縁性の材料、例えば樹脂で作成しておき、連結プレート3を伝導性の金属で構成すれば、この連結プレート3が隣り合うLDモジュール5間の電気的接続を確保するために使用可能な電極としても兼用出来る。
【0030】
図3は、LDスタックを背面から見た様子を説明するための図で、(a)は仮に1個のLDモジュールでLDスタックを構成した場合を利用して電気的な接続の様子を説明するための描示、(b)は2個のLDモジュールでLDスタックを構成した場合について電気的な接続の様子を説明するための描示である。
連結プレート3の背面部には、電線9(太線で描示)を結合するための正極7用のネジ穴(図示略)及び負極8(図示略)用のネジ穴が形成されている。
【0031】
図3(a)に示したように、仮に1個のみのLDモジュールでLDスタックを構成する場合には、そのLDモジュール両端部の正極7及び負極8に電線が接続される。図3(b)に示したように2個のLDモジュールでLDスタックを構成する場合には、各LDモジュールの反対側の各端部の正極7及び負極8に電線が接続される。
【0032】
そして、ここで示された例では、各冷却器2に実装されたLDバー1同士の電気的な接続を各冷却器自身が果たす構成となっており、LDモジュール5両端部に位置した冷却器2と連結プレート3の機械的な結合によって、冷却器2と連結プレート3との電気的な接続が確保されている。接続の仕方は、LDモジュール数が増加しても、2個の場合と同様である。また、LDモジュールを電気的に独立にすることも容易である。
【0033】
なお、図4に示したように、LDモジュールを連結する際に、連結プレート3の間に絶縁性のあるプレート13を挿入し、この状態で機械的に結合すれば、2個のモジュールは、電気的には独立になる。この場合、結果として、LDの劣化等の診断が容易になり、LDスタックの一部が破損した場合に、破損した場所を特定するのが容易になる。
【0034】
次に、図5を参照して請求項4で規定した条件について説明する。先ず、符号10は、LDスタック全体についてLDの発光領域を包括するようにしてできる長方形を表わしている。この長方形10の面積がAである。一方、各LDモジュールについて、発光領域を包括し得る最小の長方形が符号11で示されている。この長方形の面積がBである。
【0035】
ここで、長方形10内には連結プレート3が含まれているが、長方形11内には連結プレート3が含まれていない。これに対応して、長方形10内におけるデッドスペース12は、おおよそ連結プレート3の厚みに依存して決まることが判る。この事実に照らして、デッドスペース12をできるだけ小さくするには、連結プレートの厚みを低減することが肝要である。
【0036】
このような観点で連結プレートの厚さを評価する指標として、請求項4で記述した1−(NB/A)を用いることが出来る。ここで、NはLDスタックを構成するLDモジュールの連結個数で(N≧2)あり、A、Bは上記した通り長方形10及び長方形11の面積である。
【0037】
指標1−(NB/A)は、その値が小さい程、連結プレート3の薄型化が進んでいると解釈出来る。仮想的に連結プレート3の厚さが限りなく0に近いとすると、上記定義から、NB=Aがほぼ成立し、指標1−(NB/A)はほぼ0となる。
【0038】
請求項4の発明では、このような指標で評価した連結プレート3の厚さについて、「0.2を越えない」という要件を課したものである。実際の設計において、この条件が満たされれば、少ないデッドスペースで高い発光面出力密度(発光出力と発光領域の比)をスタック全体について確保しながら、本発明の最大の利点である分割LDモジュール構成の優位性を発揮することが出来る。従って、この条件を守ることは、極めて好ましいことである。
【0039】
【発明の効果】
本発明においては、LDスタックをLDモジュールに分割することで、作業者の組立てが容易になり、各冷却器の厚みのばらつきによって生じるシール部の押さえ圧力不足による水漏れを回避することが可能になる。また、電気的にも冷却構成においても、LDモジュール同士を直列に結合出来るため、組み立てられたLDスタックは一つのモジュールとして扱うことが可能になる。
【0040】
更に、長さの大きな固体レーザ発振媒体を用いたとしても、その長さに合わせた発光面形状を提供することが可能になり、その場合におけるデッドスペースも小さい。また、LDモジュールを連結するためのプレートが、各モジュール内において冷却器を固定する働きも兼ね得るため、モジュールの構成が単純化される。なお、各モジュール同士の電気的結合は、モジュールを結合した場合にも独立とすることが可能になり、これにより、LD励起固体レーザシステムにおいて、各LDモジュールの劣化の度合いを診断することも可能となる。
【0041】
また更に、LDスタックの一部分が破損した場合には、破損したLDを含むモジュールのみを交換すれば良く、他のモジュールは続けて使用することが可能になる。従って、LDスタックを経済的に使用することが可能となる。同時に、LDモジュールを分解して、破損した箇所のみを交換する作業も容易になり、LDモジュールの修理自体が容易な構成となっている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る励起用光源装置について、LDスタックの基本構成と外観を説明する図である。
【図2】各LDモジュールの内部の様子を示した図である。
【図3】LDスタックを背面から見た様子を説明するための図で、(a)は仮に1個のLDモジュールでLDスタックを構成した場合を利用して電気的な接続の様子を説明するための描示、(b)は2個のLDモジュールでLDスタックを構成した場合について電気的な接続の様子を説明するための描示である。
【図4】隣り合うLDモジュールを電気的に独立とした例について説明する図である。
【図5】請求項4で規定した条件について説明する図である。
【符号の説明】
1 LDバー
2 冷却器
3 連結プレート
4 シール材
5 LDモジュール
6 ハウジング
7 正極
8 負極
9 電気ケーブル
10 領域A
11 領域B
12 非発光領域(デッドスペース)
13 絶縁プレート
Claims (4)
- 固体レーザ発振媒体を励起するために半導体レーザを用いた励起用光源装置において、
複数のLDモジュールと、該複数のLDモジュールについて隣り合うLDモジュール同士を機械的に連結する連結プレートを含むLDスタックを備え、
該連結プレートによる前記連結は解除可能であり、
前記複数のLDモジュールの各々は、冷却水路を含む冷却器にアレイ状のLDバーを取り付けた組立体を、前記LDバーの長さ方向と垂直な方向に複数個積層して構成されており、
前記連結プレートは、前記隣り合うLDモジュールを前記組立体の積層方向に連結し、前記隣り合うLDモジュール間で前記冷却器の冷却水路を結合する機能を有し、
前記LDスタックは、前記LDバーの長さ方向が前記固体レーザ発振媒体の長さ方向に直交するように配置される、前記励起用光源装置。 - 前記連結プレートは、前記LDモジュールの各々の両側に配置されているとともに、前記LDモジュール同士を電気的に接続する機能を有し、それによって複数のLDモジュールが直列駆動可能となっている、請求項1に記載の励起用光源装置。
- 前記連結プレートは前記LDモジュールの各々の両側に配置されているとともに、前記LDモジュール内において積層された前記組立体を固定する機能を有している、請求項1または請求項2に記載の励起用光源装置。
- 前記LDスタックを構成する前記LDモジュールの連結個数をN(但し、Nは整数でN≧2)とし、前記LDスタック全体について発光領域を包括し得る最小の長方形の面積をAとし、更に、前記LDスタックに含まれる個々のLDモジュールについて発光領域を包括し得る最小の長方形の面積をBとした時、
1−(NB/A)の値が0.2を越えないように、前記連結プレートの厚みが定められている請求項1乃至請求項3の内何れか1項に記載の励起用光源装置。
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