JP3819824B2 - リニアモータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明はリニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】
図4は従来のリニアモータの概念図、図5は図4に示すリニアモータの可動コイルが傾いて配置されたときの可動コイルに作用する力を示す概念図、図6は図5に示す力によって生じるサイドフォースを示す説明図である。
【0003】
なお、図示した従来例では後述のようにコイル203が往復動可能で、磁石205,205´,207,207´が固定されているが、コイルが固定され、コイルに作用する力の反作用によって磁石(可動マグネット)が往復動するタイプのリニアモータもある。コイルと磁石のどちらが動いても、コイルと磁石との間の相対的な運動は同じであるので、ここではコイルが往復動するタイプのリニアモータを説明する。
【0004】
図4に示すように、従来のリニアモータは可動コイル203と第1の磁石205,205´と第2の磁石207,207´とを備えている。
【0005】
可動コイル203はX軸に沿って往復動可能である。
【0006】
可動コイル203は第1及び第2の辺231,232並びに第3及び第4の辺233,234を有している。第1及び第2の辺231,232はY軸に平行である。第3及び第4の辺233,234はX軸に平行である。
【0007】
第1の磁石205,205´はZ軸上に配置され、第1の辺231を介して対向している。磁石205の下面205bはN極になっており、磁石205´の上面205a´はS極になっている。したがって、磁石205の下面205bと磁石205´の上面205a´との間には磁石205から磁石205´に至る第1の方向aの磁界が発生している。この第1の方向aはZ軸に平行である。
【0008】
第2の磁石207,207´はZ軸上に配置され、第2の辺232を介して対向している。磁石207の下面207bはS極になっており、磁石207´の上面207a´はN極になっている。したがって、磁石207の下面207bと磁石207´の上面207a´との間には磁石207´から磁石207に至る第2の方向bの磁界が発生している。この第2の方向bは第1の方向aと逆方向である。
【0009】
なお、a,b磁界によって生じる磁束のほとんどを辺231,232だけが貫くように、可動コイル203、磁石205,205´,207,207´が配置されている。
【0010】
可動コイル203に図4に示す方向の電流Iを流すと、フレミングの左手の法則により、第1及び第2の辺231,232に可動コイル203を図4上、左方へ動かす力Fxが生じる。電流Iを流す方向を逆にすると、第1及び第2の辺231,232には力Fxと逆方向の力が生じる。
【0011】
以上のように、電流Iの方向に応じて、可動コイル203はX軸に沿って往復動する。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
図5中の実線で示すように、可動コイル203が正しく配置されれば問題は生じないが、各部の寸法誤差や組立誤差等により、可動コイル203は傾いた状態で配置されることが多い。特に、図5中の点線で示すように、可動コイル203の第1及び第2の辺231,232がY軸に対して傾いていると次の問題が生じる。
【0013】
可動コイル203の辺231,232がY軸に対してθだけ傾いていると、辺231,232に生じる力Fx´の方向も傾いていないときの力Fxの方向に対してθだけ傾く。力Fx´の大きさの絶対値は図6に示すように、力Fxの大きさの絶対値に等しい。また、力Fx´は、X軸に平行で、大きさがFx´cosθの分力Fxと、Y軸に平行で、大きさがFx´sinθの分力Fsとに分けられる。以下、この力Fx´のY軸に平行な分力Fsをサイドフォースという。このサイドフォースFsは可動コイル203に対してY軸に平行な方向へ作用する。このように、可動コイル203にサイドフォースFsが加わった状態では、可動コイル203はY軸に平行な方向へぶれる。このような可動コイルのぶれは、特にリニアモータを精密機器の一部を駆動するモータや精密機器の制振装置として用いる場合等、好ましいものではない。
【0014】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は可動コイルに生じたサイドフォースを打ち消すことが可能なリニアモータを提供することである。
【0015】
【課題を解決するための手段】
前述の課題を解決するため請求項1の発明のリニアモータは、Y軸に平行な第1及び第2の辺と、前記Y軸と直交するX軸に平行な第3の辺とを有するコイルと、前記コイルの第1の辺を介して対向し、前記X,Y軸と直交するZ軸に平行な第1の方向へ磁界を発生させる第1の磁石と、前記コイルの第2の辺を介して対向し、前記第1の方向と反対の第2の方向へ磁界を発生させる第2の磁石と、前記コイルの第3の辺に対向し、前記コイルに生じた前記Y軸と平行な方向の力を打ち消す力を生じさせる前記第1又は第2の方向への磁界を発生させる電磁石とを備えていることを特徴とする。
【0016】
上述のようにコイルの第3の辺に対向し、そのコイルに生じたY軸と平行な方向の力を打ち消す力を生じさせる第1又は第2の方向への磁界を発生させる電磁石を備えているので、その電磁石に電流を供給して第1又は第2の方向へ磁界を発生させ、コイルに生じたY軸と平行な方向の力を打ち消す力を発生させることができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0018】
図1はこの発明の一実施形態に係るリニアモータの概念図、図2は図1に示すリニアモータを図1中の矢印A方向から見た側面図、図3は図1に示すリニアモータを上方から見た概念図である。
【0019】
図1に示すように、このリニアモータは可動コイル3と一対の永久磁石(第1の磁石)5,5´と一対の永久磁石(第2の磁石)7,7´と電磁石9,9´とを備えている。このリニアモータは、可動コイル3を永久磁石5,5´と永久磁石7,7´との間で往復動させることにより振動を発生させ、この振動によって制振対象物(例えば、半導体露光装置(図示せず))の振動を減衰させるためのものである。
【0020】
可動コイル3はX軸に沿って往復動可能である。X,Y,Z軸は互いに直交する。
【0021】
可動コイル3は一般的に矩形であり、第1及び第2の辺31,32並びに第3及び第4の辺33,34を有している。第1及び第2の辺31,32はY軸に平行である。第3及び第4の辺33,34はX軸に平行である。
【0022】
可動コイル3は図2に示すようにコイルハウジング11内に収容されている。コイルハウジング11にはコイル接続用コネクタ13が取り付けられている。
【0023】
永久磁石5,5´はZ軸上に配置され、第1の辺31を介して対向している。永久磁石5の上面5aはS極になっており、下面5bはN極になっている。永久磁石5´の上面5a´はS極になっており、下面5b´はN極になっている。したがって、永久磁石5の下面5bと永久磁石5´の上面5a´との間には永久磁石5から永久磁石5´に至る第1の方向aの磁界が発生している。この第1の方向aはZ軸に平行である。
【0024】
永久磁石7,7´はZ軸上に配置され、第2の辺32を介して対向している。永久磁石7の上面7aはN極になっており、下面7bはS極になっている。永久磁石7´の上面7a´はN極になっており、下面7b´はS極になっている。したがって、永久磁石7の下面7bと永久磁石7´の上面7a´との間には永久磁石7´から永久磁石7に至る第2の方向bの磁界が発生している。この第2の方向bは第1の方向aと逆方向である。
【0025】
電磁石9と電磁石9´とは同じ構成であるので、電磁石9についてのみ説明する。電磁石9はコイル91と電磁石用ヨーク92とからなる。コイル91は電磁石用ヨーク92の後述する第1の脚部92aに取り付けられた巻枠(図示せず)に巻かれている。電磁石用ヨーク92はほぼU字状であり、第1の脚部92aと第2の脚部92bと連結部92cとを有する。第1の脚部92aはZ軸に沿って延びている。第1の脚部92aは磁心を兼ねる。また、第1の脚部92aの一端面92dは第3の辺33に対向している。第2の脚部92bはZ軸に沿って延びている。第2の脚部92bの一端面92eは第4の辺34に対向している。連結部92cは第1の脚部92aと第2の脚部92bとを連結している。
【0026】
電磁石9´は電磁石9の下方に配置されている。電磁石9´の第1の脚部92a´の一端面92d´は第3の辺33を介して電磁石9の第1の脚部92aの一端面92dに対向している。電磁石9´の第2の脚部92b´の一端面92e´は第4の辺34を介して電磁石9の第2の脚部92bの一端面92eに対向している。したがって、電磁石9の第1の脚部92aの一端面92dと電磁石9´の第1の脚部92a´の一端面92d´との間、電磁石9の第2の脚部92bの一端面92eと電磁石9´の第2の脚部92b´の一端面92e´との間には、それぞれ磁界が発生する。これらの磁界の向き及び強さはコイル91,91´に流す電流iの方向及び強さにより決められる。また、電磁石9,9´の磁路はヨーク92,92´によって形成される。
【0027】
図2に示すように、可動コイル3、永久磁石5,5´、永久磁石7,7´及び電磁石9,9´はヨーク15内に収容されている。ヨーク15は両端面が開口した筒状である。永久磁石5は上面5aがヨーク15の天井面15aに接するように配置されている。永久磁石5´は下面5b´がヨーク15の底面15bに接するように配置されている。したがって、永久磁石5´の下面5b´から永久磁石5の上面5aに至る磁路がヨーク15に形成されている。永久磁石7は上面7aがヨーク15の天井面15aに接するように配置されている。永久磁石7´は下面7b´がヨーク15の底面15bに接するように配置されている。したがって、永久磁石7の上面7aから永久磁石7´の下面7b´に至る磁路がヨーク15に形成されている。電磁石9の電磁石用ヨーク92は非磁性体17を介してヨーク15の天井面15aに固定されている。電磁石9´の電磁石用ヨーク92´は非磁性体17´を介してヨーク15の底面15bに固定されている。ヨーク15内には電磁石接続コネクタ19が取り付けられている。
【0028】
次にこのリニアモータの動作について説明する。
【0029】
可動コイル3に電流Iを図1に示す方向へ流すと、フレミングの左手の法則に則り、可動コイル3の第1及び第2の辺31,32にそれぞれ力Fxが生じる。この力FxはX軸に平行で、図1上、左向きの力である。この力Fxによって可動コイル3は図1上、左方へ移動する。可動コイル3に電流Iを図1に示す方向と反対の方向へ流すと、可動コイル3の第1及び第2の辺31,32にそれぞれ力−Fx(図示せず)が生じる。この力−FxはX軸に平行で、図1上、右向きの力である。この力−Fxによって可動コイル3は図1上、右方へ移動する。したがって、例えば、加速度計を用いた振動計(図示せず)により制振対象物の振動を検出し、この振動計の出力信号に基づいてリニアモータを制御することにより、制振対象物の振動を相殺する振動をリニアモータに発生させることができる。
【0030】
図3に示すように、例えば、組立誤差により、可動コイル3の第1及び第2の辺31,32がY軸に対してθだけ傾いているとする。この状態で可動コイル3に電流Iを図3に示す方向へ流したときに第1及び第2の辺31,32にそれぞれ生じる力Fx´の方向はX軸に対してθだけ傾く。この力Fx´はX軸に平行な方向の分力FxとY軸に平行な方向の分力Fsとに分けられる。分力Fxは可動コイル3の推力となる。分力Fsは可動コイル3を図3上、上方へ押すサイドフォースとなる。
【0031】
図3に示すサイドフォースFsを打ち消す力を第3及び第4の辺33,34に生じさせるには、フレミングの左手の法則から、第1の脚部92aの一端面92dから第1の脚部92a´の一端面92d´に至る第1の方向aの磁界、第2の脚部92b´の一端面92e´から第2の脚部92bの一端面92eに至る第2の方向bの磁界を発生させればよいことが分かる。この磁界が発生するように電磁石9,9´のコイル91,91´にそれぞれ電流iを流すと、第3及び第4の辺33,34にそれぞれ力Feが生じる。この力FeのY軸に平行な方向の分力FyはサイドフォースFsと逆方向の力になる。したがって、分力Fyの大きさの絶対値がサイドフォーFsの大きさの絶対値に等しくなるように電流iをコイル91,91´に供給すれば、サイドフォースFsが分力Fyによって相殺される。電磁石9,9´の制御は、例えば、可動コイル3のY軸に平行な方向の加速度を検出するセンサの出力信号に基づいて行うようにするとよい。また、電磁石9,9´を用いないときに発生するサイドフォースを予め測定し、この測定値に基づいてコイル91,91´に流す電流Iの値を決め、常に一定の電流Iをコイル91,91´に流してサイドフォースFsを相殺するようにしてもよい。
【0032】
以上のように、この実施形態のリニアモータによれば、例えば、可動コイル3の第1及び第2の辺31,32がY軸に対して傾いた状態で配置されても、サイドフォースFsを相殺することができる。
【0033】
なお、この実施形態のリニアモータは制振用であるが、勿論、この発明を制振用リニアモータに限らず、リニアモータ一般に適用することができる。
【0034】
また、この実施形態では、可動コイル3は矩形であるが、可動コイル3の形状はこれに限らない。可動コイル3はY軸に平行な第1及び第2の辺31,32並びにX軸に平行な第3の辺33を有していればよく、それ以外の辺の形状は特に限定されない。
【0035】
なお、この実施形態では、電磁石を2つ設けてあるが、電磁石は1つ或いは3つ以上でもよい。
【0036】
また、この実施形態では、可動コイル3が可動で、永久磁石5,5´,7,7´が固定であるが、この発明の適用範囲はこれに限定されるものではなく、コイルが固定で、永久磁石が可動のタイプのリニアモータにも適用することができる。
【0037】
【発明の効果】
以上説明したように請求項1の発明のリニアモータによれば、電磁石によって第1又は第2の方向へ磁界を発生させることにより、第3の辺にサイドフォースと逆方向の力を発生させることができるので、電磁石による磁界の方向及び強さを制御することにより、サイドフォースを打ち消すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の一実施形態に係るリニアモータの概念図である。
【図2】図2は図1に示すリニアモータを図1中の矢印A方向から見た側面図である。
【図3】図3は図1に示すリニアモータを上方から見た概念図である。
【図4】図4は従来のリニアモータの概念図である。
【図5】図5は図4に示すリニアモータの可動コイルが傾いて配置されたときの可動コイルに作用する力を示す概念図である。
【図6】図6は図5に示す力によって生じるサイドフォースを示す説明図である。
【符号の説明】
3 可動コイル
31 第1の辺
32 第2の辺
33 第3の辺
5,5´ 永久磁石
7,7´ 永久磁石
9,9´ 電磁石
Claims (1)
- Y軸に平行な第1及び第2の辺と、前記Y軸と直交するX軸に平行な第3の辺とを有するコイルと、
前記コイルの第1の辺を介して対向し、前記X,Y軸と直交するZ軸に平行な第1の方向へ磁界を発生させる第1の磁石と、
前記コイルの第2の辺を介して対向し、前記第1の方向と反対の第2の方向へ磁界を発生させる第2の磁石と、
前記コイルの第3の辺に対向し、前記コイルに生じた前記Y軸と平行な方向の力を打ち消す力を生じさせる前記第1又は第2の方向への磁界を発生させる電磁石と
を備えていることを特徴とするリニアモータ。
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