JP3809713B2 - TDI circuit, image signal readout circuit, and imaging device - Google Patents

TDI circuit, image signal readout circuit, and imaging device Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、撮像センサから得られる画素信号のS/N比を向上させる時間遅延積分回路、いわゆる、TDI(time delay and integration)回路、画像信号読出回路及び撮像デバイスに関する。
【0002】
例えば、赤外線ラインセンサのように、被写体に対して相対的に機械走査する撮像センサにおいて、高いS/N比を得るためには、複数の画素を撮像センサの被写体に対する相対的走査方向に配列し、TDI回路を使用して同一の撮像点の画素信号を時間遅延積分する必要がある。
【0003】
【従来の技術】
従来、TDI回路として、例えば、撮像センサから出力される信号電荷をCCD(charge coupled device)からなる電荷転送路を転送させながら積分していくTDI回路が知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、CCDを使用したTDI回路は、撮像センサの欠陥画素を非選択にすることが困難であり、全ての走査チャネルで高いS/N比を実現することが困難であるという問題点を有していた。
【0005】
本発明は、かかる点に鑑み、欠陥画素からの画素信号を遮断できるようにし、高いS/N比を得ることができるようにしたTDI回路、画像信号読出回路及び撮像デバイスを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明中、第1の発明は、光学系の走査方向に配列されたn個(但し、nは2以上の整数である。)の受光素子から出力される画素信号を時間遅延積分するTDI回路であって、p個(但し、pはp=knを満足する整数であり、kは正の整数である。)の積分容量と、同一撮像点の画素信号は、同一の積分容量に供給されるように、n個の受光素子から出力される画素信号をp個の積分容量に供給するスイッチング回路網とを備えているというものである。
【0007】
本発明中、第1の発明によれば、スイッチング回路網は、同一撮像点の画素信号は同一の積分容量に供給されるように、n個の受光素子から出力される画素信号をp個の積分容量に供給するとしているので、p個の積分容量の蓄積電圧の所定のタイミングによるサンプリングとリセットを繰り返すことで、TDI機能を実現することができる。
【0008】
このように、本発明中、第1の発明によれば、n個の受光素子から出力される画素信号をスイッチング回路網を介してp個の積分容量に供給することにより、TDI機能を達成するようにしているので、n個の受光素子から出力される画素信号を入力するための入力端子とスイッチング回路網との間に、欠陥画素からの画素信号を遮断するスイッチング素子を設けてなる簡単な回路構成の画素選択回路を設けることができる。
【0009】
本発明中、第2の発明は、第1の発明において、スイッチング回路網は、p個の積分容量のそれぞれに対応させて設けられたp個のスイッチング単位回路網を有し、各スイッチング単位回路網は、n個の受光素子から同時に出力されるn個の画素信号の中の1個を選択し、対応する積分容量に供給するように制御されるというものである。
【0010】
本発明中、第3の発明は、第1の発明において、p個の積分容量のそれぞれに対応させて設けられ、対応する積分容量の蓄積電圧をサンプリングするp個のサンプリング回路と、p個の積分容量のそれぞれに対応させて設けられ、対応する積分容量の蓄積電圧を一定の電圧値にリセットするp個のリセット回路と、入力端をp個のサンプリング回路の出力端に共通接続された出力バッファ回路とを有し、p個のサンプリング回路は、所定の順番、かつ、周期的に、対応する積分容量の蓄積電圧をサンプリングするように制御され、p個のリセット回路は、蓄積電圧をサンプリングされた対応する積分容量を一定の電圧値にリセットするように制御されるというものである。
【0011】
本発明中、第4の発明は、第1の発明において、p個の積分容量のそれぞれに対応させて設けられ、入力端を対応する積分容量の画素信号が印加される電極に接続されたp個の出力バッファ回路と、p個の出力バッファ回路のそれぞれに対応させて設けられ、対応する出力バッファ回路の出力電圧をサンプリングするp個のサンプリング回路と、p個の積分容量のそれぞれに対応させて設けられ、対応する積分容量の蓄積電圧を一定の電圧値にリセットするp個のリセット回路とを有し、p個のサンプリング回路は、所定の順番、かつ、周期的に、対応する出力バッファ回路の出力電圧をサンプリングするように制御され、p個のリセット回路は、蓄積電圧をサンプリングされた対応する積分容量を一定の電圧値にリセットするように制御されるというものである。
【0012】
本発明中、第4の発明によれば、p個の積分容量のそれぞれに対応させて出力バッファ回路を設けているので、p個の積分容量から出力される画素信号間のクロストークを低減することができる。
【0013】
本発明中、第5の発明は、第1の発明において、n個の受光素子のそれぞれに対応させて設けられ、対応する受光素子から出力される画素信号を入力するためのn個の入力端子と、n個の入力端子のそれぞれに対応させて設けられ、第1の電流入出力電極を対応する入力端子に接続され、制御電極に一定電圧が印加されるn個の入力トランジスタと、n個の入力トランジスタのそれぞれに対応させて設けられ、第1の電流入出力電極を対応する入力トランジスタの第2の電流入出力電極に接続され、第2の電流入出力電極をスイッチング回路網に接続されたn個の画素選択トランジスタと、欠陥画素情報に基づいて、n個の画素選択トランジスタのそれぞれのオン、オフを制御する画素選択制御回路とを備えているというものである。
【0014】
本発明中、第5の発明によれば、n個の画素選択トランジスタと、画素選択制御回路とで、欠陥画素からの画素信号を遮断するための画素選択回路が構成されている。
【0015】
本発明中、第6の発明は、第5の発明において、第1の電流入出力電極を対応する入力トランジスタの第2の電流入出力電極に接続され、第2の電流入出力電極に所定の電圧が印加されるオフセット電流供給用トランジスタと、第1の電極をオフセット電流供給用トランジスタの制御電極に接続され、第2の電極をオフセット電流供給用トランジスタの第2の電流入出力電極に接続され、オフセット電流供給用トランジスタの制御電極に制御電圧を印加するための制御電圧印加用容量と、第1の電流入出力電極を対応する入力トランジスタの第2の電流入出力電極に接続され、第2の電流入出力電極を制御電圧印加用容量の第2の電極に接続され、制御電極にサンプルホールド信号が印加され、オフセット電流供給用トランジスタの制御電極に印加すべき制御電圧を制御電圧印加用容量にホールドさせるサンプルホールドトランジスタとを備えているカレントミラー回路をn個の入力トランジスタのそれぞれに対応させて備えているというものである。
【0016】
本発明中、第6の発明によれば、サンプルホールドトランジスタをオンとして、暗い被写体を撮像すると、オフセット電流供給用トランジスタを介して受光素子にオフセット電流が流れ、この時のオフセット電流供給用トランジスタの制御電圧を制御電圧供給用容量に記憶させることができるので、その後、サンプルホールドトランジスタをオフとしても、受光素子にオフセット電流を供給することができる。
【0017】
本発明中、第7の発明は、第2の発明において、n個の受光素子のそれぞれに対応させて設けられ、対応する受光素子が出力する画素信号を入力するためのn個の入力端子と、n個の入力端子のそれぞれに対応させて設けられ、第1の電流入出力電極を対応する入力端子に接続され、第2の電流入出力電極をスイッチング回路網に接続されたn個の画素選択トランジスタと、欠陥画素情報に基づいて、n個の画素選択トランジスタのそれぞれのオン、オフを制御する画素選択制御回路と、p個のスイッチング単位回路網のそれぞれに対応させて設けられ、第1の電流入出力電極を対応するスイッチング単位回路網の出力端に接続され、第2の電流入出力電極を対応する積分回路に接続され、制御電極に一定電圧が印加されるp個のトランジスタとを備えているというものである。
【0018】
本発明中、第7の発明によれば、n個の画素選択トランジスタと、画素選択制御回路とで、欠陥画素からの画素信号を遮断するための画素選択回路が構成されている。
【0019】
本発明中、第8の発明は、第5、第6又は第7の発明において、画素選択制御回路は、n個の画素選択トランジスタのそれぞれに対応させて設けられたn個のRSフリップフロップ回路と、n個のRSフリップフロップ回路のそれぞれに対応させて設けられ、欠陥画素情報を記憶させるレジスタと、n個のRSフリップフロップ回路のそれぞれに対応させて設けられ、一端を対応するレジスタの出力端に接続され、他端を対応するRSフリップフロップ回路のリセット信号入力端子に接続され、書込み信号によりオン、オフが制御されるn個の第1のスイッチ素子と、n個のRSフリップフロップ回路のそれぞれに対応させて設けられ、一端を高電位側の電源線に接続され、他端を対応するRSフリップフロップ回路のリセット信号入力端子に接続され、リセット信号によりオン、オフが制御されるn個の第2のスイッチ素子とを備えているというものである。
【0020】
本発明中、第9の発明は、画像信号読出回路の発明であり、走査方向にn個、走査方向と直交する方向にm個の受光素子を行列状に配列した撮像センサのm個の走査チャネル数のそれぞれに対応させて設けられたm個の第1、第2、第3、第4、第5、第6、第7又は第8の発明のTDI回路と、これらm個の第1、第2、第3、第4、第5、第6、第7又は第8の発明のTDI回路により得られるm個の走査チャネルの画素信号を1次元的に多重化された画像信号とするように、m個の第1、第2、第3、第4、第5、第6、第7又は第8の発明のTDI回路からの画素信号の読出しを制御する読出制御回路とを備えているというものである。
【0021】
本発明中、第10の発明は、撮像デバイスの発明であり、走査方向にn個、走査方向と直交する方向にm個の受光素子を行列状に配列された撮像センサと、第9の発明の画像信号読出回路とを備えているというものである。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のTDI回路の第1実施形態〜第4実施形態について、本発明の画像信号読出回路及び撮像デバイスの実施形態を含めて説明する。
【0023】
第1実施形態・・図1〜図9
図1は本発明のTDI回路の第1実施形態を赤外線ラインセンサに形成された受光素子の一部と共に示す回路図であり、図1中、1−1、1−2、1−3、1−4は赤外線ラインセンサの走査方向に一列に配列された受光素子、2は本発明のTDI回路の第1実施形態である。
【0024】
本発明のTDI回路の第1実施形態2において、3−1、3−2、3−3、3−4は受光素子1−1、1−2、1−3、1−4から出力される画素信号G1、G2、G3、G4を入力するための入力端子、4は入力回路である。
【0025】
また、5は入力回路4から出力される画素信号G1、G2、G3、G4を後述する積分回路に供給するスイッチング回路網、6−1、6−2、6−3、6−4はスイッチング回路網5から供給される画素信号を積分する積分回路である。
【0026】
また、7−1、7−2、7−3、7−4は積分回路6−1、6−2、6−3、6−4の蓄積電圧をサンプリングするサンプリング回路、8−1、8−2、8−3、8−4は積分回路6−1、6−2、6−3、6−4のリセットを行うリセット回路である。
【0027】
また、9はサンプリング回路8−1、8−2、8−3、8−4によりサンプリングされた蓄積電圧を画素信号として出力させるための出力バッファ回路である。
【0028】
また、10は他のTDI回路に共通の共通バス、11は出力制御信号SRによりオン、オフが制御され、出力バッファ回路9の出力端の共通バス10への接続を制御するnMOSトランジスタである。
【0029】
図2は入力回路4の構成を示す回路図であり、図2中、13−1、13−2、13−3、13−4は入力トランジスタをなすnMOSトランジスタ、VIGはnMOSトランジスタ13−1、13−2、13−3、13−4のゲートに印加するゲートバイアス電圧である。
【0030】
また、14−1、14−2、14−3、14−4は欠陥画素からの画素信号を遮断するための画素選択トランジスタをなすnMOSトランジスタ、15はnMOSトランジスタ14−1、14−2、14−3、14−4のオン、オフを制御する画素選択制御回路、DS1、DS2、DS3、DS4は画素選択制御回路15から出力される画素選択制御信号である。
【0031】
図3は画素選択制御回路15の構成を示す回路図であり、図3中、16はシフトレジスタ、17−1、17−2、17−3、17−4はシフトレジスタ16を構成する1ビットのレジスタ、18−1、18−2、18−3、18−4はRSフリップフロップ回路である。
【0032】
また、19−1、19−2、19−3、19−4は書込み信号Wによりオン、オフが制御されるpMOSトランジスタ、20−1、20−2、20−3、20−4はリセット信号Rによりオン、オフが制御されるpMOSトランジスタ、21は電源電圧Vddを供給する電源線である。
【0033】
図4はスイッチング回路網5、積分回路6−1〜6−4、サンプリング回路7−1〜7−4、リセット回路8−1〜8−4及び出力バッファ回路9の構成を示す回路図である。
【0034】
図4中、スイッチング回路網5において、23−1、23−2、23−3、23−4は画素信号G1、G2、G3、G4の選択を行うスイッチング単位回路網である。
【0035】
スイッチング単位回路網23−1において、24はスイッチング制御信号SW1によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G1の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0036】
また、25はスイッチング制御信号SW2によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G2の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0037】
また、26はスイッチング制御信号SW3によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G3の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0038】
また、27はスイッチング制御信号SW4によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G4の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0039】
また、スイッチング単位回路網23−2において、28はスイッチング制御信号SW4によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G1の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0040】
また、29はスイッチング制御信号SW1によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G2の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0041】
また、30はスイッチング制御信号SW2によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G3の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0042】
また、31はスイッチング制御信号SW3によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G4の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0043】
また、スイッチング単位回路網23−3において、32はスイッチング制御信号SW3によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G1の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0044】
また、33はスイッチングSW4によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G2の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0045】
また、34はスイッチング制御信号SW1によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G3の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0046】
また、35はスイッチング制御信号SW2によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G4の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0047】
また、スイッチング単位回路網23−4において、36はスイッチング制御信号SW2によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G1の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0048】
また、37はスイッチング制御信号SW3によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G2の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0049】
また、38はスイッチング制御信号SW4によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G3の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0050】
また、39はスイッチング制御信号SW1によりオン、オフが制御され、入力回路4から出力される画素信号G4の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0051】
また、積分回路6−1において、40−1はスイッチング単位回路網23−1から出力される画素信号を積分する積分容量であり、一方の電極をスイッチング単位回路網23−1の画素信号出力端に接続され、他方の電極を接地電圧VSSを供給する接地線41に接続されている。
【0052】
また、積分回路6−2において、40−2はスイッチング単位回路網23−2から出力される画素信号を積分する積分容量であり、一方の電極をスイッチング単位回路網23−2の画素信号出力端に接続され、他端を接地線41に接続されている。
【0053】
また、積分回路6−3において、40−3はスイッチング単位回路網23−3から出力される画素信号を積分する積分容量であり、一方の電極をスイッチング単位回路網23−3の画素信号出力端に接続され、他方の電極を接地線41に接続されている。
【0054】
また、積分回路6−4において、40−4はスイッチング単位回路網23−4から出力される画素信号を積分する積分容量であり、一方の電極をスイッチング単位回路網23−4の画素信号出力端に接続され、他方の電極を接地線41に接続されている。
【0055】
また、サンプリング回路7−1において、42−1はサンプリング信号SP1によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインを積分容量40−1の画素信号が印加される電極に接続され、ソースを出力バッファ回路9を構成するnMOSトランジスタ43のゲートに接続されている。
【0056】
また、サンプリング回路7−2において、42−2はサンプリング信号SP2によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインを積分容量40−2の画素信号が印加される電極に接続され、ソースを出力バッファ回路9を構成するnMOSトランジスタ43のゲートに接続されている。
【0057】
また、サンプリング回路7−3において、42−3はサンプリング信号SP3によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインを積分容量40−3の画素信号が印加される電極に接続され、ソースを出力バッファ回路9を構成するnMOSトランジスタ43のゲートに接続されている。
【0058】
また、サンプリング回路7−4において、42−4はサンプリング信号SP4によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインを積分容量40−4の画素信号が印加される電極に接続され、ソースを出力バッファ回路9を構成するnMOSトランジスタ43のゲートに接続されている。
【0059】
また、リセット回路8−1において、44−1はリセット信号RS1によりオン、オフが制御されるpMOSトランジスタであり、ソースを電源電圧Vddを供給する電源線45に接続され、ドレインを積分容量40−1の画素信号が印加される電極に接続されている。
【0060】
また、リセット回路8−2において、44−2はリセット信号RS2によりオン、オフが制御されるpMOSトランジスタであり、ソースを電源線45に接続され、ドレインを積分容量40−2の画素信号が印加される電極に接続されている。
【0061】
また、リセット回路8−3において、44−3はリセット信号RS3によりオン、オフが制御されるpMOSトランジスタであり、ソースを電源線45に接続され、ドレインを積分容量40−3の画素信号が印加される電極に接続されている。
【0062】
また、リセット回路8−4において、44−4はリセット信号RS4によりオン、オフが制御されるpMOSトランジスタであり、ソースを電源線45に接続され、ドレインを積分容量40−4の画素信号が印加される電極に接続されている。
【0063】
また、出力バッファ9を構成するnMOSトランジスタ43は、ドレインを電源線45に接続され、ソースをnMOSトランジスタ11のドレインに接続され、ソースフォロア回路を構成している。
【0064】
図5は本発明のTDI回路の第1実施形態2の使用態様を示す回路図であり、本発明の撮像デバイスの一実施形態を示している。
【0065】
図5中、47は受光素子を走査方向に4個、走査方向と直交する方向にm個配列してなる赤外線ラインセンサであり、48−i1、48−i2、48−i3、48−i4(但し、i=1、2、・・・mである。)は、第iの走査チャネルの受光素子である。
【0066】
また、49は本発明の画像信号読出回路の一実施形態であり、50−iは第iの走査チャネルの受光素子48−i1、48−i2、48−i3、48−i4に対応して設けられている本発明のTDI回路の第1実施形態2と同一構成とされたTDI回路である。
【0067】
また、51は本発明のTDI回路の第1実施形態2と同一構成とされたTDI回路50−1、50−2、・・・50−mから画素信号を順に出力させるためのシフトレジスタ、SR1、SR2、・・・SRmは順に、かつ、選択的にHレベルとされる出力制御信号であり、図1に示す出力制御信号SRに対応する信号である。
【0068】
図6は本発明のTDI回路の第1実施形態2の駆動タイミングを示すタイミングチャートであり、本発明のTDI回路の第1実施形態2においては、スイッチング制御信号SW1〜SW4、サンプリング信号SP1〜SP4及びリセット信号RS1〜RS4は、SW1→SP4→RS4→SW2→SP3→RS3→SW3→SP2→RS2→SW4→SP1→RS1の順に、かつ、選択的に活性レベルとされ、これが繰り返される。
【0069】
ここに、時刻T1になると、スイッチング制御信号SW1=Hレベルとされ、スイッチング回路網5においては、nMOSトランジスタ24、29、34、39=ONとされ、積分容量40−1、40−2、40−3、40−4には、それぞれ、図7に示すように、画素信号G1、G2、G3、G4が供給される。
【0070】
そして、画素信号供給期間ΔT1が終了すると、スイッチング制御信号SW1=Lレベルとされ、nMOSトランジスタ24、29、34、39=OFFとされると共に、サンプリング信号SP4=Hレベル、nMOSトランジスタ42−4=ONとされ、積分容量40−4の蓄積電圧がnMOSトランジスタ43のゲートに印加される。
【0071】
続いて、サンプリング信号SP4=Lレベル、nMOSトランジスタ42−4=OFFとされると共に、リセット信号RS4=Lレベル、pMOSトランジスタ44−4=ONとされ、積分容量40−4の蓄積電圧が電源電圧Vddにリセットされる。
【0072】
そして、時刻T2になると、リセット信号RS4=Hレベル、pMOSトランジスタ44−4=OFFとされると共に、スイッチング制御信号SW2=Hレベルとされ、nMOSトランジスタ25、30、35、36=ONとされ、積分容量40−1、40−2、40−3、40−4には、それぞれ、図7に示すように、画素信号G2、G3、G4、G1が供給される。
【0073】
そして、画素信号供給期間ΔT2が終了すると、スイッチング制御信号SW2=Lレベルとされ、nMOSトランジスタ25、30、35、36=OFFとされると共に、サンプリング信号SP3=Hレベル、nMOSトランジスタ42−3=ONとされ、積分容量40−3の蓄積電圧がnMOSトランジスタ43のゲートに印加される。
【0074】
続いて、サンプリング信号SP3=Lレベル、nMOSトランジスタ42−3=OFFとされると共に、リセット信号RS3=Lレベル、pMOSトランジスタ44−3=ONとされ、積分容量40−3の蓄積電圧が電源電圧Vddにリセットされる。
【0075】
そして、時刻T3になると、リセット信号RS3=Hレベル、pMOSトランジスタ44−3=OFFとされると共に、スイッチング制御信号SW3=Hレベルとされ、nMOSトランジスタ26、31、32、37=ONとされ、積分容量40−1、40−2、40−3、40−4には、それぞれ、図7に示すように、画素信号G3、G4、G1、G2が供給される。
【0076】
そして、画素信号供給期間ΔT3が終了すると、スイッチング制御信号SW3=Lレベルとされ、nMOSトランジスタ26、31、32、37=OFFとされると共に、サンプリング信号SP2=Hレベル、nMOSトランジスタ42−2=ONとされ、積分容量40−2の蓄積電圧がnMOSトランジスタ43のゲートに印加される。
【0077】
続いて、サンプリング信号SP2=Lレベル、nMOSトランジスタ42−2=OFFとされると共に、リセット信号RS2=Lレベル、pMOSトランジスタ44−2=ONとされ、積分容量40−2の蓄積電圧が電源電圧Vddにリセットされる。
【0078】
そして、時刻T4になると、リセット信号RS2=Hレベル、pMOSトランジスタ44−2=OFFとされると共に、スイッチング制御信号SW2=Hレベルとされ、nMOSトランジスタ27、28、33、38=ONとされ、積分容量40−1、40−2、40−3、40−4には、それぞれ、図7に示すように、画素信号G4、G1、G2、G3が供給される。
【0079】
そして、画素信号供給期間ΔT4が終了すると、スイッチング制御信号SW4=Lレベルとされ、nMOSトランジスタ27、28、33、38=OFFとされると共に、サンプリング信号SP1=Hレベル、nMOSトランジスタ42−1=ONとされ、積分容量40−1の蓄積電圧がnMOSトランジスタ43のゲートに印加される。
【0080】
続いて、サンプリング信号SP1=Lレベル、nMOSトランジスタ42−1=OFFとされると共に、リセット信号RS1=Lレベル、nMOSトランジスタ44−1=ONとされ、積分容量40−1の蓄積電圧が電源電圧Vddにリセットされる。以下、同様の動作が繰り返される。
【0081】
図8は本発明のTDI回路の第1実施形態2により得られる時間遅延積分結果を説明するための図であり、図8中、52は撮像対象、a〜jは画素信号を得るべき撮像対象52の撮像点である。
【0082】
この例は、受光素子1−1は撮像点d〜jを順に走査し、受光素子1−2は撮像点c〜iを順に走査し、受光素子1−3は撮像点b〜hを順に走査し、受光素子1−4は撮像点a〜gを順に走査するように、赤外線ラインセンサを走査方向に移動する場合を示している。なお、A〜Jは、それぞれ、1個の受光素子が各撮像点a〜jを撮像した場合に得られる画素信号を示している。
【0083】
図9は図8に示すように撮像対象52を走査した場合における画素信号供給期間ΔT1〜ΔT7と、受光素子1−1〜1−4から出力される画素信号G1〜G4の内容と、積分容量40−1〜40−4に分配される画素信号と、サンプリングされる蓄積電圧V0を形成した画素信号との関係を示す図である。
【0084】
このように、本発明のTDI回路の第1実施形態2においては、TDI走査開始後、撮像対象52の端部の撮像点aから3個目以降の撮像点d、e、f・・・の画素信号D、E、F・・・については、4回にわたり時間遅延積分を行うことによりTDI機能を達成することができる。
【0085】
また、本発明のTDI回路の第1実施形態2においては、図3に示す画素選択制御回路15において、セット信号S=Hレベルにすると、画素選択制御信号DS1〜DS4=Hレベルとなり、画素選択トランジスタをなすnMOSトランジスタ14−1〜14−4=ONとなる。
【0086】
また、スイッチング制御信号SW1=Hレベル、スイッチング制御信号SW2〜SW4=Lレベルとすると、スイッチングトランジスタをなすnMOSトランジスタ24、29、34、39=ON、スイッチングトランジスタをなすnMOSトランジスタ25〜27、28、30〜33、35〜38=OFFとなる。
【0087】
このようにすると、受光素子1−1〜1−4が出力する画素信号G1〜G4を個別に得ることができるので、この状態で、欠陥の画素(欠陥の受光素子)の判定を行う欠陥画素情報を得て、この欠陥画素情報を外部メモリ等に記憶させるようにする。
【0088】
そして、TDI走査を開始する前に、外部メモリ等に記憶させた欠陥画素情報をシフトレジスタ16に記憶させるようにする。この場合、シフトレジスタ16の欠陥のない画素に対応するレジスタにはLレベル、シフトレジスタ16の欠陥画素に対応するレジスタにはHレベルを記憶させるようにする。
【0089】
次に、セット信号S=Hレベルとし、画素選択制御信号DS1〜DS4=Hレベルとした後、書込み信号W=Lレベルとし、レジスタ17−1〜17−4の記憶レベルをRSフリップフロップ回路18−1〜18−4のリセット信号入力端子に印加する。
【0090】
このようにすると、RSフリップフロップ回路18−1〜18−4のうち、リセット信号入力端子にHレベルが印加されたRSフリップフロップ回路から出力される画素選択制御信号はLレベルとなるので、nMOSトランジスタ14−1〜14−4のうち、欠陥画素に対応して設けられているnMOSトランジスタはOFFとされ、欠陥画素からの画素信号はスイッチング回路網5には供給されないことになる。
【0091】
このように、本発明のTDI回路の第1実施形態2によれば、受光素子1−1〜1−4から出力される画素信号G1〜G4をスイッチング回路網5を介して積分容量40−1〜40−4に供給することによってTDI機能を達成するようにしたことにより、入力回路4に画素選択トランジスタをなすnMOSトランジスタ14−1〜14−4を備えてなる回路構成の簡単な画素選択回路を設け、欠陥画素からの画素信号を遮断することができるので、S/N比の向上を図ることができ、これを4個の画素を走査方向に配列してなる赤外線ラインセンサに使用する場合には、全ての走査チャネルで高いS/N比を得ることができる。
【0092】
第2実施形態・・図10〜図12
図10は本発明のTDI回路の第2実施形態を赤外線ラインセンサに形成された受光素子の一部と共に示す回路図であり、図10中、54は本発明のTDI回路の第2実施形態である。
【0093】
本発明のTDI回路の第2実施形態54は、本発明のTDI回路の第1実施形態2が備える入力回路4と回路構成の異なる入力回路55を設け、その他については、本発明のTDI回路の第1実施形態2と同様に構成したものである。
【0094】
図11は入力回路55の構成を示す回路図であり、入力回路55は、入力トランジスタ13−i(但し、i=1、2、3、4である。)と画素選択トランジスタ14−iとの間にカレントミラー回路57−iを接続し、その他については、本発明のTDI回路の第1実施形態2が備える入力回路4と同様に構成したものである。
【0095】
図12はカレントミラー回路57−iの構成を示す回路図であり、図12中、59は電源電圧Vddを供給する電源線、60は受光素子1−iに流れるオフセット電流を受光素子1−iに供給するオフセット電流供給用トランジスタをなすpMOSトランジスタ、61はpMOSトランジスタ60のゲートにゲート電圧を印加するゲート電圧印加用容量である。
【0096】
また、62は受光素子1−iにオフセット電流を供給するために必要なpMOSトランジスタ60のゲート電圧をゲート電圧印加用容量61にホールドさせるためのサンプリングトランジスタをなすpMOSトランジスタ、SHはpMOSトランジスタ62のON、OFFを制御するサンプルホールド信号である。
【0097】
ここに、例えば、画素選択制御信号DSi=Lレベル、nMOSトランジスタ14−i=OFFとすると共に、サンプルホールド信号SH=Lレベル、pMOSトランジスタ62=ONとし、冷たい被写体を撮像すると、電源線59からpMOSトランジスタ60、nMOSトランジスタ13−iを介して受光素子1−iにオフセット電流が流れ、この時のpMOSトランジスタ60のゲート電圧をゲート電圧供給用容量61に記憶させることができ、その後、サンプルホールド信号SH=Lレベル、pMOSトランジスタ62=OFFとしても、オフセット電流を受光素子1−iに供給することができる。
【0098】
このように構成された本発明のTDI回路の第2実施形態54によれば、積分容量40−1〜40−4が積分する電流から受光素子のオフセット電流を除去することができるので、4個の画素を走査方向に配列してなる赤外線ラインセンサに使用する場合には、全ての走査チャネルで、本発明のTDI回路の第1実施形態2よりも高いS/N比を得ることができる。
【0099】
第3実施形態・・図13、図14
図13は本発明のTDI回路の第3実施形態を赤外線ラインセンサに形成された受光素子の一部と共に示す回路図であり、図13中、64は本発明のTDI回路の第3実施形態である。
【0100】
本発明のTDI回路の第3実施形態64は、本発明のTDI回の第1実施形態2が備える出力バッファ回路9及びサンプリング回路7−1〜7−4と回路構成の異なる出力バッファ回路65−1〜65−4及びサンプリング回路66−1〜66−4を備えるようにし、その他については、本発明のTDI回路の第1実施形態2と同様に構成したものである。
【0101】
図14は出力バッファ回路65−1〜65−4及びサンプリング回路66−1〜66−4の構成を示す回路図である。
【0102】
出力バッファ回路65−1において、67−1はnMOSトランジスタであり、ドレインを電源線45に接続され、ゲートを積分容量40−1の画素信号が印加される電極に接続され、ソースフォロア回路を構成している。
【0103】
また、出力バッファ回路65−2において、67−2はnMOSトランジスタであり、ドレインを電源線45に接続され、ゲートを積分容量40−2の画素信号が印加される電極に接続され、ソースフォロア回路を構成している。
【0104】
また、出力バッファ回路65−3において、67−3はnMOSトランジスタであり、ドレインを電源線45に接続され、ゲートを積分容量40−3の画素信号が印加される電極に接続され、ソースフォロア回路を構成している。
【0105】
また、出力バッファ回路65−4において、67−4はnMOSトランジスタであり、ドレインを電源線45に接続され、ゲートを積分容量40−4の画素信号が印加される電極に接続され、ソースフォロア回路を構成している。
【0106】
また、サンプリング回路66−1において、68−1はサンプリング信号SP1によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインをnMOSトランジスタ67−1のソースに接続され、ソースをnMOSトランジスタ11のドレインに接続されている。
【0107】
また、サンプリング回路66−2において、68−2はサンプリング信号SP2によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインをnMOSトランジスタ67−2のソースに接続され、ソースをnMOSトランジスタ11のドレインに接続されている。
【0108】
また、サンプリング回路66−3において、68−3はサンプリング信号SP3によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインをnMOSトランジスタ67−3のソースに接続され、ソースをnMOSトランジスタ11のドレインに接続されている。
【0109】
また、サンプリング回路66−4において、68−4はサンプリング信号SP4によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインをnMOSトランジスタ67−4のソースに接続され、ソースをnMOSトランジスタ11のドレインに接続されている。
【0110】
このように構成された本発明のTDI回路の第3実施形態64によれば、積分容量40−1〜40−4から出力される画素信号間のクロストークを低減することができるので、4個の画素を走査方向に配列してなる赤外線ラインセンサに使用する場合には、全ての走査チャネルで、本発明のTDI回路の第1実施形態2よりも高いS/N比を得ることができる。
【0111】
第4実施形態・・図15〜図23
図15は本発明のTDI回路の第4実施形態を赤外線ラインセンサに形成された受光素子の一部と共に示す回路図である。
【0112】
図15中、70−1、70−2、70−3、70−4は赤外線ラインセンサの走査方向に配列された受光素子、71−1、71−2、71−3は1画素分の標本化点、72は本発明のTDI回路の第4実施形態である。
【0113】
本発明のTDI回路の第4実施形態72において、73−1、73−2、73−3、73−4は受光素子70−1、70−2、70−3、70−4から出力される画素信号G1、G2、G3、G4を入力するための入力端子、74は図2に示す入力回路4と同様に構成された入力回路である。
【0114】
また、75は入力回路74から出力される画素信号G1、G2、G3、G4を後述する積分回路に供給するスイッチング回路網、76−1、76−2、76−3、76−4、76−5、76−6、76−7、76−8はスイッチング回路網75から供給される画素信号を積分する積分回路である。
【0115】
また、77−1、77−2、77−3、77−4、77−5、77−6、77−7、77−8は積分回路76−1、76−2、76−3、76−4、76−5、76−6、76−7、76−8の蓄積電圧をサンプリングするサンプリング回路である。
【0116】
また、78−1、78−2、78−3、78−4、78−5、78−6、78−7、78−8は積分回路76−1、76−2、76−3、76−4、76−5、76−6、76−7、76−8のリセットを行うリセット回路である。
【0117】
また、79はサンプリング回路78−1、78−2、78−3、78−4、78−5、78−6、78−7、78−8によりサンプリングされた蓄積電圧を画素信号として出力させるための出力バッファ回路である。
【0118】
また、80は他のTDI回路に共通の共通バス、81は出力制御信号SRによりオン、オフが制御され、出力バッファ回路79の出力端の共通バス80への接続を制御するnMOSトランジスタである。
【0119】
図16及び図17はスイッチング回路網5の構成を分図して示す回路図であり、図16又は図17において、83−1、83−2、83−3、83−4、83−5、83−6、83−7、83−8は画素信号G1、G2、G3、G4の選択を行うスイッチング単位回路網である。
【0120】
スイッチング単位回路網83−1において、84はスイッチング制御信号SW2によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G1の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0121】
また、85はスイッチング制御信号SW4によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G2の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0122】
また、86はスイッチング制御信号SW6によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G3の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0123】
また、87はスイッチング制御信号SW8によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G4の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0124】
また、スイッチング単位回路網83−2において、88はスイッチング制御信号SW1によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G1の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0125】
また、89はスイッチング制御信号SW3によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G2の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0126】
また、90はスイッチング制御信号SW5によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G3の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0127】
また、91はスイッチング制御信号SW7によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G4の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0128】
また、スイッチング単位回路網83−3において、92はスイッチング制御信号SW4によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G1の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0129】
また、93はスイッチング制御信号SW6によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G2の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0130】
また、94はスイッチング制御信号SW8によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G3の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0131】
また、95はスイッチング制御信号SW2によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G4の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0132】
また、スイッチング単位回路網83−4において、96はスイッチング制御信号SW3によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G1の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0133】
また、97はスイッチング制御信号SW5によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G2の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0134】
また、98はスイッチング制御信号SW7によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G3の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0135】
また、99はスイッチング制御信号SW1によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G4の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0136】
また、スイッチング単位回路網83−5において、100はスイッチング制御信号SW6によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G1の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0137】
また、101はスイッチング制御信号SW8によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G2の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0138】
また、102はスイッチング制御信号SW2によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G3の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0139】
また、103はスイッチング制御信号SW4によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G4の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0140】
スイッチング単位回路網83−6において、104はスイッチング制御信号SW5によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G1の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0141】
また、105はスイッチング制御信号SW7によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G2の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0142】
また、106はスイッチング制御信号SW1によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G3の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0143】
また、107はスイッチング制御信号SW3によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G4の選択を行うnMOSトランジスタである。
【0144】
また、スイッチング単位回路網83−7において、108はスイッチング制御信号SW8によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G1の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0145】
また、109はスイッチング制御信号SW2によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G2の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0146】
また、110はスイッチング制御信号SW4によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G3の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0147】
また、111はスイッチング制御信号SW6によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G4の選択を行うnMOSトランジスタである。
【0148】
また、スイッチング単位回路網83−8において、112はスイッチング制御信号SW7によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G1の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0149】
また、113はスイッチング制御信号SW1によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G2の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0150】
また、114はスイッチング制御信号SW3によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G3の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0151】
また、115はスイッチング制御信号SW5によりオン、オフが制御され、入力回路74から出力される画素信号G4の選択を行うスイッチング素子をなすnMOSトランジスタである。
【0152】
図18は積分回路76−1〜76〜4、サンプリング回路77−1〜77〜4及びリセット回路78−1〜78〜4の構成を示す回路図、図19は積分回路76−5〜76〜8、サンプリング回路77−5〜77〜8、リセット回路78−5〜78〜8及び出力バッファ回路79の構成を示す回路図である。
【0153】
積分回路76−1において、117−1はスイッチング単位回路網83−1から出力される画素信号を積分する積分容量であり、一方の電極をスイッチング単位回路網83−1の出力端に接続され、他方の電極を接地電圧Vssを供給する接地線118に接続されている。
【0154】
また、積分回路76−2において、117−2はスイッチング単位回路網83−2から出力される画素信号を積分する積分容量であり、一方の電極をスイッチング単位回路網83−2の出力端に接続され、他方の電極を接地線118に接続されている。
【0155】
また、積分回路76−3において、117−3はスイッチング単位回路網83−3から出力される画素信号を積分する積分容量であり、一方の電極をスイッチング単位回路網83−3の出力端に接続され、他方の電極を接地線118に接続されている。
【0156】
また、積分回路76−4において、117−4はスイッチング単位回路網83−4から出力される画素信号を積分する積分容量であり、一方の電極をスイッチング単位回路網83−4の出力端に接続され、他方の電極を接地線118に接続されている。
【0157】
また、積分回路76−5において、117−5はスイッチング単位回路網83−5から出力される画素信号を積分する積分容量であり、一方の電極をスイッチング単位回路網83−5の出力端に接続され、他方の電極を接地線118に接続されている。
【0158】
また、積分回路76−6において、117−6はスイッチング単位回路網83−6から出力される画素信号を積分する積分容量であり、一方の電極をスイッチング単位回路網83−6の出力端に接続され、他方の電極を接地線118に接続されている。
【0159】
また、積分回路76−7において、117−7はスイッチング単位回路網83−7から出力される画素信号を積分する積分容量であり、一方の電極をスイッチング単位回路網83−7の出力端に接続され、他方の電極を接地線118に接続されている。
【0160】
また、積分回路76−8において、117−8はスイッチング単位回路網83−8から出力される画素信号を積分する積分容量であり、一方の電極をスイッチング単位回路網83−8の出力端に接続され、他方の電極を接地線118に接続されている。
【0161】
また、サンプリング回路77−1において、119−1はサンプリング信号SP1によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインを積分容量117−1の画素信号が印加される電極に接続され、ソースを出力バッファ回路79を構成するnMOSトランジスタ120のゲートに接続されている。
【0162】
また、サンプリング回路77−2において、119−2はサンプリング信号SP2によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインを積分容量117−2の画素信号が印加される電極に接続され、ソースをnMOSトランジスタ120のゲートに接続されている。
【0163】
また、サンプリング回路77−3において、119−3はサンプリング信号SP3によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインを積分容量117−3の画素電極が印加される電極に接続され、ソースをnMOSトランジスタ120のゲートに接続されている。
【0164】
また、サンプリング回路77−4において、119−4はサンプリング信号SP4によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインを積分容量117−4の画素信号が印加される電極に接続され、ソースをnMOSトランジスタ120のゲートに接続されている。
【0165】
また、サンプリング回路77−5において、119−5はサンプリング信号SP5によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインを積分容量117−5の画素信号が印加される電極に接続され、ソースをnMOSトランジスタ120のゲートに接続されている。
【0166】
また、サンプリング回路77−6において、119−6はサンプリング信号SP6によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインを積分容量117−6の画素信号が印加される電極に接続され、ソースをnMOSトランジスタ120のゲートに接続されている。
【0167】
また、サンプリング回路77−7において、119−7はサンプリング信号SP7によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインを積分容量117−7の画素信号が印加される電極に接続され、ソースをnMOSトランジスタ120のゲートに接続されている。
【0168】
また、サンプリング回路77−8において、119−8はサンプリング信号SP8によりオン、オフが制御されるnMOSトランジスタであり、ドレインを積分容量117−8の画素信号が印加される電極に接続され、ソースをnMOSトランジスタ120のゲートに接続されている。
【0169】
リセット回路78−1において、121−1はリセット信号RS1によりオン、オフが制御されるpMOSトランジスタであり、ソースを電源電圧Vddを供給する電源線122に接続され、ドレインを積分容量117−1の画素信号が印加される電極に接続されている。
【0170】
また、リセット回路78−2において、121−2はリセット信号RS2によりオン、オフが制御されるpMOSトランジスタであり、ソースを電源線122に接続され、ドレインを積分容量117−2の画素信号が印加される電極に接続されている。
【0171】
また、リセット回路78−3において、121−3はリセット信号RS3によりオン、オフが制御されるpMOSトランジスタであり、ソースを電源線122に接続され、ドレインを積分容量117−3の画素信号が印加される電極に接続されている。
【0172】
また、リセット回路78−4において、121−4はリセット信号RS4によりオン、オフが制御されるpMOSトランジスタであり、ソースを電源線122に接続され、ドレインを積分容量117−4の画素信号が印加される電極に接続されている。
【0173】
また、リセット回路78−5において、121−5はリセット信号RS5によりオン、オフが制御されるpMOSトランジスタであり、ソースを電源線122に接続され、ドレインを積分容量117−5の画素信号が印加される電極に接続されている。
【0174】
また、リセット回路78−6において、121−6はリセット信号RS6によりオン、オフが制御されるpMOSトランジスタであり、ソースを電源線122に接続され、ドレインを積分容量117−6の画素信号が印加される電極に接続されている。
【0175】
また、リセット回路78−7において、121−7はリセット信号RS7によりオン、オフが制御されるpMOSトランジスタであり、ソースを電源線122に接続され、ドレインを積分容量117−7の画素信号が印加される電極に接続されている。
【0176】
また、リセット回路78−8において、121−8はリセット信号RS8によりオン、オフが制御されるpMOSトランジスタであり、ソースを電源線122に接続され、ドレインを積分容量117−8の画素信号が印加される電極に接続されている。
【0177】
また、出力バッファ79を構成するnMOSトランジスタ120は、ドレインを電源線122に接続され、ソースをnMOSトランジスタ81のドレインに接続され、ソースフォロア回路を構成している。
【0178】
図20は本発明のTDI回路の第4実施形態72の駆動タイミングを示すタイミングチャートであり、本発明のTDI回路の第4実施形態72においては、スイッチング制御信号SW1〜SW8、サンプリング信号SP1〜SP8及びリセット信号RS1〜RS8は、SW1→SP8→RS8→SW2→SP7→RS7→SW3→SP6→RS6→SW4→SP5→RS5→SW5→SP4→RS4→SW6→SP3→RS3→SW7→SP2→RS2→SW8→SP1→RS1の順に、かつ、選択的に活性レベルとされ、これが繰り返される。
【0179】
ここに、時刻T1になると、スイッチング制御信号SW1=Hレベルとされ、スイッチング回路網75においては、nMOSトランジスタ88、99、106、113=ONとされ、積分容量117−2、117−4、117−6、117−8には、それぞれ、図21に示すように、画素信号G1、G4、G3、G2が供給される。
【0180】
そして、画素信号供給期間ΔT1が終了すると、スイッチング制御信号SW1=Lレベルとされ、nMOSトランジスタ88、99、106、113=OFFとされると共に、サンプリング信号SP8=Hレベル、nMOSトランジスタ119−8=ONとされ、積分容量117−8の蓄積電圧がnMOSトランジスタ120のゲートに印加される。
【0181】
続いて、サンプリング信号SP8=Lレベル、nMOSトランジスタ119−8=OFFとされると共に、リセット信号RS8=Lレベル、pMOSトランジスタ121−8=ONとされ、積分容量117−8の蓄積電圧が電源電圧Vddにリセットされる。
【0182】
そして、時刻T2になると、リセット信号RS8=Hレベル、pMOSトランジスタ121−8=OFFとされると共に、スイッチング制御信号SW2=Hレベルとされ、スイッチング回路網75においては、nMOSトランジスタ84、95、102、109=ONとされ、積分容量117−1、117−3、117−5、117−7には、それぞれ、図21に示すように、画素信号G1、G4、G3、G2が供給される。
【0183】
そして、画素信号供給期間ΔT2が終了すると、スイッチング制御信号SW2=Lレベルとされ、nMOSトランジスタ84、95、102、109=OFFとされると共に、サンプリング信号SP7=Hレベル、nMOSトランジスタ119−7=ONとされ、積分容量117−7の蓄積電圧がnMOSトランジスタ120のゲートに印加される。
【0184】
続いて、サンプリング信号SP7=Lレベル、nMOSトランジスタ119−7=OFFとされると共に、リセット信号RS7=Lレベル、pMOSトランジスタ121−7=ONとされ、積分容量117−7の蓄積電圧が電源電圧Vddにリセットされる。
【0185】
そして、時刻T3になると、リセット信号RS7=Hレベル、pMOSトランジスタ121−7=OFFとされると共に、スイッチング制御信号SW3=Hレベルとされ、スイッチング回路網75においては、nMOSトランジスタ89、96、107、114=ONとされ、積分容量117−2、117−4、117−6、117−8には、それぞれ、図21に示すように、画素信号G2、G1、G4、G3が供給される。
【0186】
そして、画素信号供給期間ΔT3が終了すると、スイッチング制御信号SW3=Lレベルとされ、nMOSトランジスタ89、96、107、114=OFFとされると共に、サンプリング信号SP6=Hレベル、nMOSトランジスタ119−6=ONとされ、積分容量117−6の蓄積電圧がnMOSトランジスタ120のゲートに印加される。
【0187】
続いて、サンプリング信号SP6=Lレベル、nMOSトランジスタ119−6=OFFとされると共に、リセット信号RS6=Lレベル、pMOSトランジスタ121−6=ONとされ、積分容量117−6の蓄積電圧が電源電圧Vddにリセットされる。
【0188】
そして、時刻T4になると、リセット信号RS6=Hレベル、pMOSトランジスタ121−6=OFFとされると共に、スイッチング制御信号SW4=Hレベルとされ、スイッチング回路網75においては、nMOSトランジスタ85、92、103、110=ONとされ、積分容量117−1、117−3、117−5、117−7には、それぞれ、図21に示すように、画素信号G2、G1、G4、G3が供給される。
【0189】
そして、画素信号供給期間ΔT4が終了すると、スイッチング制御信号SW4=Lレベルとされ、nMOSトランジスタ85、92、103、110=OFFとされると共に、サンプリング信号SP5=Hレベル、nMOSトランジスタ119−5=ONとされ、積分容量117−5の蓄積電圧がnMOSトランジスタ120のゲートに印加される。
【0190】
続いて、サンプリング信号SP5=Lレベル、nMOSトランジスタ119−5=OFFとされると共に、リセット信号RS5=Lレベル、pMOSトランジスタ121−5=ONとされ、積分容量117−5の蓄積電圧が電源電圧Vddにリセットされる。
【0191】
そして、時刻T5になると、リセット信号RS5=Hレベル、pMOSトランジスタ121−5=OFFとされると共に、スイッチング制御信号SW5=Hレベルとされ、スイッチング回路網75においては、nMOSトランジスタ90、97、104、115=ONとされ、積分容量117−2、117−4、117−6、117−8には、それぞれ、図21に示すように、画素信号G3、G4、G1、G2が供給される。
【0192】
そして、画素信号供給期間ΔT5が終了すると、スイッチング制御信号SW5=Lレベルとされ、nMOSトランジスタ90、97、104、115=OFFとされると共に、サンプリング信号SP4=Hレベル、nMOSトランジスタ119−4=ONとされ、積分容量117−4の積分値がnMOSトランジスタ120のゲートに印加される。
【0193】
続いて、サンプリング信号SP4=Lレベル、nMOSトランジスタ119−4=OFFとされると共に、リセット信号RS4=Lレベル、pMOSトランジスタ121−4=ONとされ、積分容量117−4の蓄積電圧が電源電圧Vddにリセットされる。
【0194】
そして、時刻T6になると、リセット信号RS4=Hレベル、pMOSトランジスタ121−4=OFFとされると共に、スイッチング制御信号SW6=Hレベルとされ、スイッチング回路網75においては、nMOSトランジスタ86、93、100、111=ONとされ、積分容量117−1、117−3、117−5、117−7には、それぞれ、図21に示すように、画素信号G3、G4、G1、G2が供給される。
【0195】
そして、画素信号供給期間ΔT6が終了すると、スイッチング制御信号SW6=Lレベルとされ、nMOSトランジスタ86、93、100、111=OFFとされると共に、サンプリング信号SP3=Hレベル、nMOSトランジスタ119−3=ONとされ、積分容量117−3の蓄積電圧がnMOSトランジスタ120のゲートに印加される。
【0196】
続いて、サンプリング信号SP3=Lレベル、nMOSトランジスタ119−3=OFFとされると共に、リセット信号RS3=Lレベル、pMOSトランジスタ121−3=ONとされ、積分容量117−3の蓄積電圧が電源電圧Vddにリセットされる。
【0197】
そして、時刻T7になると、リセット信号RS3=Hレベル、pMOSトランジスタ121−3=OFFとされると共に、スイッチング制御信号SW7=Hレベルとされ、スイッチング回路網75においては、nMOSトランジスタ91、98、105、112=ONとされ、積分容量117−2、117−4、117−6、117−8には、それぞれ、図21に示すように、画素信号G4、G1、G2、G3が供給される。
【0198】
そして、画素信号供給期間ΔT7が終了すると、スイッチング制御信号SW7=Lレベルとされ、nMOSトランジスタ91、98、105、112=OFFとされると共に、サンプリング信号SP2=Hレベル、nMOSトランジスタ119−2=ONとされ、積分容量117−2の蓄積電圧がnMOSトランジスタ120のゲートに印加される。
【0199】
続いて、サンプリング信号SP2=Lレベル、nMOSトランジスタ119−2=OFFとされると共に、リセット信号RS2=Lレベル、pMOSトランジスタ121−2=ONとされ、積分容量117−2の蓄積電圧が電源電圧Vddにリセットされる。
【0200】
その後、時刻T8になると、リセット信号RS2=Hレベル、pMOSトランジスタ121−2=OFFとされると共に、スイッチング制御信号SW8=Hレベルとされ、スイッチング回路網75においては、nMOSトランジスタ87、94、101、108=ONとされ、積分容量117−1、117−3、117−5、117−7には、それぞれ、図21に示すように、画素信号G4、G1、G2、G3が供給される。
【0201】
そして、画素信号供給期間ΔT8が終了すると、スイッチング制御信号SW8=Lレベルとされ、nMOSトランジスタ87、94、101、108=OFFとされると共に、サンプリング信号SP1=Hレベル、nMOSトランジスタ119−1=ONとされ、積分容量117−1の蓄積電圧がnMOSトランジスタ120のゲートに印加される。
【0202】
続いて、サンプリング信号SP1=Lレベル、nMOSトランジスタ119−1=OFFとされると共に、リセット信号RS1=Lレベル、pMOSトランジスタ121−1=ONとされ、積分容量117−1の蓄積電圧が電源電圧Vddにリセットされる。以下、同様の動作が繰り返される。
【0203】
図22は本発明のTDI回路の第4実施形態72により得られる時間遅延積分結果を説明するための図であり、図22中、124は撮像対象、a〜pは画像信号を得るべき撮像対象124の撮像点である。
【0204】
この例は、受光素子70−1は撮像点g〜pを順に走査し、受光素子70−2は撮像点e〜nを順に走査し、受光素子70−3は撮像点c〜lを順に走査し、受光素子70−4は撮像点a〜jを順に走査するように、赤外線ラインセンサを走査方向に移動する場合を示している。なお、A〜Pは、それぞれ、1個の受光素子が各撮像点a〜pを撮像した場合に得られる画素信号を示している。
【0205】
図23は図22に示すように撮像対象124を走査した場合における画素信号供給期間ΔT1〜ΔT10と、受光素子70−1〜70−4から出力される画素信号G1〜G4と、積分容量117−1〜117−4に供給される画素信号と、サンプリングされた蓄積電圧V0を形成した画素信号との関係を示す図である。
【0206】
即ち、本発明のTDI回路の第4実施形態72においては、TDI走査開始後、撮像対象124の端部の撮像点aから7個目以降の撮像点g、h、i・・・の画素信号G、H、I・・・については、4回にわたり時間遅延積分を行うことができる。
【0207】
このように、本発明のTDI回路の第4実施形態72によれば、受光素子70−1〜70−4から出力される画素信号G1〜G4をスイッチング回路網75を介して積分容量117−1〜117−8に供給することによりTDI機能を達成するようにしたことにより、入力回路74に画素選択トランジスタを備えてなる回路構成の簡単な画素選択回路を設け、欠陥画素からの画素信号を遮断することができるので、S/N比の向上を図ることができ、これを4個の画素を1画素分の間隔を開けて走査方向に配列してなる赤外線ラインセンサに使用する場合には、全ての走査チャネルで高いS/N比を得ることができる。
【0208】
なお、本発明のTDI回路の第4実施形態72の入力回路74においては、本発明のTDI回路の第2実施形態54の入力回路55が備えるカレントミラー回路57−1〜57−4を備えていないが、これらカレントミラー回路57−1〜57−4を入力回路74に設けるようにしても良い。
【0209】
また、本発明のTDI回路の第4実施形態72においては、サンプリング回路77−1〜77−4に共通の出力バッファ回路79を備えるようにしているが、この代わりに、本発明のTDI回路の第3実施形態64のように、積分容量ごとに出力バッファ回路を設けるようにしても良い。
【0210】
また、本発明のTDI回路の第1実施形態2、第2実施形態54、第3実施形態64及び第4実施形態72においては、入力端子と画素選択トランジスタとの間に入力トランジスタを設けるようにしているが、これら入力トランジスタと同様の機能を有するトランジスタをスイッチング回路網と積分容量との間に設けるようにしても良い。
【0211】
【発明の効果】
本発明中、第1、第2又は第3の発明によれば、n個の受光素子から出力される画素信号をスイッチング回路網を介してp個の積分容量に供給することにより、TDI機能を達成するようにしているので、n個の受光素子から出力される画素信号を入力するための入力端子とスイッチング回路網との間に、欠陥画素からの画素信号を遮断するスイッチング素子を設けてなる簡単な回路構成の画素選択回路を設けることができ、高いS/N比を得ることができる。
【0212】
本発明中、第4の発明によれば、積分容量ごとに出力バッファ回路を設けているので、積分容量から出力される画像信号間のクロストークを低減することができ、第3の発明よりも高いS/N比を得ることができる。
【0213】
本発明中、第5の発明によれば、n個の受光素子から出力される画素信号を入力するための入力端子とスイッチング回路網との間に、画素選択トランジスタと画素選択制御回路からなる画素選択回路を設けているので、高いS/N比を得ることができる。
【0214】
本発明中、第6の発明によれば、受光素子にオフセット電流を供給することができるようにしたことにより、積分容量が積分する電流から受光素子のオフセット電流分を除去することができるので、第5の発明よりも高いS/N比を得ることができる。
【0215】
本発明中、第7の発明によれば、n個の受光素子から出力される画素信号を入力するための入力端子とスイッチング回路網との間に、画素選択トランジスタと画素選択制御回路からなる画素選択回路を設けているので、高いS/N比を得ることができる。
【0216】
本発明中、第8の発明によれば、第5、第6、第7の発明と同様の効果を得ることができると共に、画素選択制御回路を簡単な回路構成とすることができる。
【0217】
本発明中、第9の発明によれば、第1、第2、第3、第4、第5、第6、第7又は第8の発明を備えるとしているので、走査方向にn個、走査方向と直交する方向にm個の受光素子を行列状に配列してなる撮像センサに使用する場合には、全ての走査チャネルで高いS/N比を得ることができる。
【0218】
本発明中、第10の発明によれば、第9の発明の画像信号読出回路を備えているので、全ての走査チャネルで高いS/N比を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のTDI回路の第1実施形態を赤外線ラインセンサに形成された受光素子の一部と共に示す回路図である。
【図2】本発明のTDI回路の第1実施形態が備える入力回路の構成を示す回路図である。
【図3】本発明のTDI回路の第1実施形態が備える入力回路が備える画素選択制御回路の構成を示す回路図である。
【図4】本発明のTDI回路の第1実施形態が備えるスイッチング回路網、積分回路、サンプリング回路、リセット回路及び出力バッファ回路の構成を示す回路図である。
【図5】本発明の撮像デバイスの一実施形態を示す回路図である。
【図6】本発明のTDI回路の第1実施形態の駆動タイミングを示すタイミングチャートである。
【図7】本発明のTDI回路の第1実施形態における積分容量と、積分容量に供給される画素信号との関係を示す図である。
【図8】本発明のTDI回路の第1実施形態により得られる時間遅延積分結果を説明するための図である。
【図9】図8に示すように撮像対象を走査した場合における画素信号供給期間と、受光素子から出力される画素信号と、積分容量に供給される画素信号と、サンプリングされた電圧V0を形成した画素信号との関係を示す図である。
【図10】本発明のTDI回路の第2実施形態を赤外線ラインセンサに形成された受光素子の一部と共に示す回路図である。
【図11】本発明のTDI回路の第2実施形態が備える入力回路の構成を示す回路図である。
【図12】本発明のTDI回路の第2実施形態が備える入力回路が備えるカレントミラー回路の構成を示す回路図である。
【図13】
本発明のTDI回路の第3実施形態を赤外線ラインセンサに形成された受光素子の一部と共に示す回路図である。
【図14】本発明のTDI回路の第3実施形態が備える出力バッファ回路及びサンプリング回路の構成を示す回路図である。
【図15】本発明のTDI回路の第4実施形態を赤外線ラインセンサに形成された受光素子の一部と共に示す回路図である。
【図16】本発明のTDI回路の第4実施形態が備えるスイッチング回路網の構成を分図して示す回路図である。
【図17】本発明のTDI回路の第4実施形態が備えるスイッチング回路網の構成を分図して示す回路図である。
【図18】本発明のTDI回路の第4実施形態が備える積分回路の一部、サンプリング回路の一部及びリセット回路の一部の構成を示す回路図である。
【図19】本発明のTDI回路の第4実施形態が備える積分回路の一部、サンプリング回路の一部、リセット回路の一部及び出力バッファ回路の構成を示す回路図である。
【図20】本発明のTDI回路の第4実施形態の駆動タイミングを示すタイミングチャートである。
【図21】本発明のTDI回路の第4実施形態における積分容量と、積分容量に供給される画素信号との関係を示す図である。
【図22】本発明のTDI回路の第4実施形態により得られる時間遅延積分結果を説明するための図である。
【図23】図22に示すように撮像対象を走査した場合における画素信号供給期間と、受光素子から出力される画素信号と、積分容量に供給される画素信号と、サンプリングされた蓄積電圧を形成した画素信号との関係を示す図である。
【符号の説明】
1−1〜1−4 受光素子
G1〜G4 画素信号
6−1〜6−4 積分回路
7−1〜7−4 サンプリング回路
8−1〜8−4 リセット回路
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a time delay integration circuit that improves the S / N ratio of a pixel signal obtained from an image sensor, a so-called TDI (time delay and integration) circuit, an image signal readout circuit, and an imaging device.
[0002]
For example, in an imaging sensor that performs mechanical scanning relative to a subject, such as an infrared line sensor, in order to obtain a high S / N ratio, a plurality of pixels are arranged in a relative scanning direction with respect to the subject of the imaging sensor. , It is necessary to perform time delay integration of pixel signals at the same imaging point using a TDI circuit.
[0003]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, as a TDI circuit, for example, a TDI circuit that integrates signal charges output from an image sensor while transferring them through a charge transfer path composed of a CCD (charge coupled device) is known.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, a TDI circuit using a CCD has a problem that it is difficult to deselect defective pixels of an image sensor, and it is difficult to realize a high S / N ratio in all scanning channels. It was.
[0005]
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above, an object of the present invention is to provide a TDI circuit, an image signal readout circuit, and an imaging device that can block a pixel signal from a defective pixel and obtain a high S / N ratio. And
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, the first invention is a TDI circuit for time-delay integrating pixel signals output from n light receiving elements (where n is an integer of 2 or more) arranged in the scanning direction of the optical system. And p (where p is an integer satisfying p = kn and k is a positive integer) and pixel signals at the same imaging point are supplied to the same integration capacitor. As described above, a switching circuit network that supplies pixel signals output from n light receiving elements to p integration capacitors is provided.
[0007]
In the present invention, according to the first invention, the switching circuit network converts the pixel signals output from the n light receiving elements to p pixels so that the pixel signals at the same imaging point are supplied to the same integration capacitor. Since the integration capacitor is supplied, the TDI function can be realized by repeating the sampling and resetting of the accumulated voltages of the p integration capacitors at a predetermined timing.
[0008]
Thus, according to the first aspect of the present invention, the pixel signal output from the n light receiving elements is supplied to the p integration capacitors via the switching circuit network, thereby achieving the TDI function. As a result, a switching element for blocking the pixel signal from the defective pixel is provided between the input terminal for inputting the pixel signal output from the n light receiving elements and the switching circuit network. A pixel selection circuit having a circuit configuration can be provided.
[0009]
In the present invention, the second invention is the first invention, wherein the switching circuit network has p switching unit circuits provided corresponding to each of the p integration capacitors, and each switching unit circuit The net is controlled so that one of n pixel signals simultaneously output from n light receiving elements is selected and supplied to a corresponding integration capacitor.
[0010]
In the present invention, a third invention is the first invention according to the first invention, wherein p sampling circuits are provided corresponding to each of the p integration capacitors, and sample the accumulated voltage of the corresponding integration capacitor, Outputs provided corresponding to each of the integration capacitors and resetting the accumulated voltage of the corresponding integration capacitor to a constant voltage value, and an input terminal commonly connected to the output terminals of the p sampling circuits The p sampling circuits are controlled to sample the accumulated voltage of the corresponding integration capacitor in a predetermined order and periodically, and the p reset circuits sample the accumulated voltage. The corresponding integrated capacitance is controlled so as to be reset to a constant voltage value.
[0011]
In the present invention, a fourth aspect of the present invention is the first aspect according to the first aspect, wherein each of the p integration capacitors is provided corresponding to each of the p integration capacitors, and the input terminal is connected to an electrode to which a pixel signal of the corresponding integration capacitor is applied. Corresponding to each of the p output buffer circuits and the p output buffer circuits, and corresponding to each of the p sampling circuits for sampling the output voltage of the corresponding output buffer circuit and the p integration capacitors. P reset circuits that reset the accumulated voltage of the corresponding integration capacitor to a constant voltage value, and the p sampling circuits correspond to the corresponding output buffers in a predetermined order and periodically. Controlled to sample the output voltage of the circuit, the p reset circuits are controlled to reset the corresponding integrated capacitance sampled of the stored voltage to a constant voltage value. Is that that.
[0012]
According to the fourth aspect of the present invention, since the output buffer circuit is provided corresponding to each of the p integration capacitors, crosstalk between pixel signals output from the p integration capacitors is reduced. be able to.
[0013]
In the present invention, a fifth aspect of the present invention is the first aspect of the present invention, wherein n input terminals are provided corresponding to each of the n light receiving elements and for inputting pixel signals output from the corresponding light receiving elements. N input transistors provided corresponding to each of the n input terminals, the first current input / output electrode is connected to the corresponding input terminal, and a constant voltage is applied to the control electrode, and n The first current input / output electrode is connected to the second current input / output electrode of the corresponding input transistor, and the second current input / output electrode is connected to the switching circuit network. And n pixel selection transistors and a pixel selection control circuit for controlling on / off of each of the n pixel selection transistors based on defective pixel information.
[0014]
According to the fifth aspect of the present invention, the n pixel selection transistors and the pixel selection control circuit constitute a pixel selection circuit for blocking the pixel signal from the defective pixel.
[0015]
In the present invention, in a sixth aspect based on the fifth aspect, the first current input / output electrode is connected to the second current input / output electrode of the corresponding input transistor, and the second current input / output electrode is connected to the predetermined current input / output electrode. The offset current supply transistor to which the voltage is applied, the first electrode is connected to the control electrode of the offset current supply transistor, and the second electrode is connected to the second current input / output electrode of the offset current supply transistor. A control voltage application capacitor for applying a control voltage to the control electrode of the offset current supply transistor, and a first current input / output electrode connected to a second current input / output electrode of the corresponding input transistor; Current input / output electrodes are connected to the second electrode of the control voltage application capacitor, a sample hold signal is applied to the control electrode, and the control electrode of the offset current supply transistor A current mirror circuit and a sample hold transistor for holding the control voltage to be applied to the control voltage applying capacitor is that comprises in correspondence with each of the n input transistor.
[0016]
According to the sixth aspect of the present invention, when the sample hold transistor is turned on and a dark subject is imaged, an offset current flows to the light receiving element via the offset current supply transistor, and the offset current supply transistor at this time Since the control voltage can be stored in the control voltage supply capacitor, the offset current can be supplied to the light receiving element even if the sample hold transistor is turned off thereafter.
[0017]
According to a seventh aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, in the second aspect, n input terminals are provided corresponding to each of the n light receiving elements, and input pixel signals output from the corresponding light receiving elements. , N pixels provided corresponding to each of the n input terminals, with the first current input / output electrodes connected to the corresponding input terminals, and the second current input / output electrodes connected to the switching network Based on the selection transistor and the defective pixel information, the pixel selection control circuit for controlling on / off of each of the n pixel selection transistors and the p number of switching unit networks are provided in correspondence with each other. Current input / output electrodes are connected to the output terminals of the corresponding switching unit networks, the second current input / output electrodes are connected to the corresponding integration circuits, and a constant voltage is applied to the control electrodes. Is that is equipped with a door.
[0018]
According to the seventh aspect of the present invention, the n pixel selection transistors and the pixel selection control circuit constitute a pixel selection circuit for blocking the pixel signal from the defective pixel.
[0019]
In the present invention, the eighth invention is the fifth, sixth or seventh invention, wherein the pixel selection control circuit is provided with n RS flip-flop circuits provided corresponding to each of the n pixel selection transistors. And a register for storing defective pixel information provided corresponding to each of the n RS flip-flop circuits and an output of the corresponding register provided for each of the n RS flip-flop circuits. N first switch elements connected to the other end, connected to the reset signal input terminal of the corresponding RS flip-flop circuit and controlled to be turned on / off by a write signal, and n RS flip-flop circuits The reset signal input terminal of the corresponding RS flip-flop circuit is connected to the high-potential side power line and the other end is provided corresponding to each of the Are connected, on the reset signal, is that off and an n second switching elements controlled.
[0020]
In the present invention, a ninth invention is an invention of an image signal readout circuit, wherein m scans of an imaging sensor in which n light receiving elements are arranged in a matrix in a scanning direction and in a direction orthogonal to the scanning direction. M first, second, third, fourth, fifth, sixth, seventh, or eighth TDI circuits provided corresponding to the number of channels, and the m first The pixel signals of the m scanning channels obtained by the TDI circuit of the second, third, fourth, fifth, sixth, seventh, or eighth invention are one-dimensionally multiplexed image signals. And a readout control circuit for controlling readout of the pixel signal from the TDI circuits of the first, second, third, fourth, fifth, sixth, seventh or eighth inventions. It is that.
[0021]
In the present invention, a tenth invention is an invention of an imaging device, an imaging sensor in which n light receiving elements are arranged in a matrix in a direction orthogonal to the scanning direction and n in the scanning direction, and the ninth invention. Image signal readout circuit.
[0022]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the first to fourth embodiments of the TDI circuit of the present invention will be described including the embodiments of the image signal readout circuit and the imaging device of the present invention.
[0023]
First Embodiment FIG. 1 to FIG. 9
FIG. 1 is a circuit diagram showing a first embodiment of a TDI circuit of the present invention together with a part of a light receiving element formed in an infrared line sensor. In FIG. 1, 1-1, 1-2, 1-3, 1 -4 is a light receiving element arranged in a line in the scanning direction of the infrared line sensor, and 2 is a first embodiment of the TDI circuit of the present invention.
[0024]
In the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention, 3-1, 3-2, 3-3, 3-4 are output from the light receiving elements 1-1, 1-2, 1-3, 1-4. Input terminals 4 for inputting pixel signals G1, G2, G3, G4 are input circuits.
[0025]
Reference numeral 5 denotes a switching network for supplying pixel signals G1, G2, G3, and G4 output from the input circuit 4 to an integration circuit described later. Reference numerals 6-1 to 6-2 and 6-3 and 6-4 denote switching circuits. It is an integration circuit that integrates pixel signals supplied from the network 5.
[0026]
Reference numerals 7-1, 7-2, 7-3, and 7-4 denote sampling circuits for sampling the accumulated voltages of the integrating circuits 6-1, 6-2, 6-3, and 6-4, and 8-1 and 8- Reference numerals 2, 8-3, and 8-4 denote reset circuits that reset the integrating circuits 6-1, 6-2, 6-3, and 6-4.
[0027]
Reference numeral 9 denotes an output buffer circuit for outputting the accumulated voltage sampled by the sampling circuits 8-1, 8-2, 8-3, and 8-4 as a pixel signal.
[0028]
Reference numeral 10 denotes a common bus common to other TDI circuits. Reference numeral 11 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the output control signal SR and controls connection of the output terminal of the output buffer circuit 9 to the common bus 10.
[0029]
FIG. 2 is a circuit diagram showing the configuration of the input circuit 4. In FIG. 2, reference numerals 13-1, 13-2, 13-3, and 13-4 denote nMOS transistors that form input transistors, V IG Is a gate bias voltage applied to the gates of the nMOS transistors 13-1, 13-2, 13-3, 13-4.
[0030]
Reference numerals 14-1, 14-2, 14-3, and 14-4 denote nMOS transistors that form pixel selection transistors for blocking pixel signals from defective pixels, and 15 denotes nMOS transistors 14-1, 14-2, and 14. -3, 14-4 are pixel selection control circuits for controlling on / off, DS1, DS2, DS3, DS4 are pixel selection control signals output from the pixel selection control circuit 15.
[0031]
FIG. 3 is a circuit diagram showing the configuration of the pixel selection control circuit 15. In FIG. 3, 16 is a shift register, and 17-1, 17-2, 17-3, and 17-4 are 1 bits constituting the shift register 16. The registers 18-1, 18-2, 18-3, and 18-4 are RS flip-flop circuits.
[0032]
Further, 19-1, 19-2, 19-3, 19-4 are pMOS transistors that are controlled to be turned on / off by a write signal W, and 20-1, 20-2, 20-3, 20-4 are reset signals. A pMOS transistor 21 that is controlled to be turned on and off by R, and a power supply line 21 for supplying a power supply voltage Vdd.
[0033]
4 is a circuit diagram showing the configuration of the switching network 5, the integrating circuits 6-1 to 6-4, the sampling circuits 7-1 to 7-4, the reset circuits 8-1 to 8-4, and the output buffer circuit 9. .
[0034]
In FIG. 4, in the switching circuit network 5, reference numerals 23-1, 23-2, 23-3, and 23-4 denote switching unit networks that select the pixel signals G1, G2, G3, and G4.
[0035]
In the switching unit network 23-1, reference numeral 24 denotes an nMOS transistor that is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW1 and that serves as a switching element that selects the pixel signal G1 output from the input circuit 4.
[0036]
Reference numeral 25 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW2 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G2 output from the input circuit 4.
[0037]
Reference numeral 26 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW3 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G3 output from the input circuit 4.
[0038]
Reference numeral 27 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW4 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G4 output from the input circuit 4.
[0039]
In the switching unit network 23-2, reference numeral 28 denotes an nMOS transistor which is turned on and off by the switching control signal SW4 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G1 output from the input circuit 4.
[0040]
Reference numeral 29 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW1 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G2 output from the input circuit 4.
[0041]
Reference numeral 30 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW2 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G3 output from the input circuit 4.
[0042]
Reference numeral 31 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW3 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G4 output from the input circuit 4.
[0043]
In the switching unit network 23-3, reference numeral 32 denotes an nMOS transistor that is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW3 and that serves as a switching element that selects the pixel signal G1 output from the input circuit 4.
[0044]
Reference numeral 33 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching SW4 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G2 output from the input circuit 4.
[0045]
Reference numeral 34 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW1 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G3 output from the input circuit 4.
[0046]
Reference numeral 35 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW2 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G4 output from the input circuit 4.
[0047]
In the switching unit network 23-4, reference numeral 36 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW2 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G1 output from the input circuit 4.
[0048]
Reference numeral 37 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW3 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G2 output from the input circuit 4.
[0049]
Reference numeral 38 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW4 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G3 output from the input circuit 4.
[0050]
Reference numeral 39 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW1 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G4 output from the input circuit 4.
[0051]
In addition, in the integrating circuit 6-1, 40-1 is an integrating capacitor for integrating the pixel signal output from the switching unit network 23-1, and one electrode is connected to the pixel signal output terminal of the switching unit network 23-1. The other electrode is connected to a ground line 41 that supplies a ground voltage VSS.
[0052]
In the integrating circuit 6-2, reference numeral 40-2 denotes an integrating capacitor for integrating the pixel signal output from the switching unit network 23-2, and one electrode is connected to the pixel signal output terminal of the switching unit network 23-2. The other end is connected to the ground line 41.
[0053]
In the integrating circuit 6-3, reference numeral 40-3 denotes an integrating capacitor for integrating the pixel signal output from the switching unit network 23-3, and one electrode is connected to the pixel signal output terminal of the switching unit network 23-3. And the other electrode is connected to the ground line 41.
[0054]
In the integrating circuit 6-4, reference numeral 40-4 denotes an integrating capacitor for integrating the pixel signal output from the switching unit network 23-4, and one electrode is connected to the pixel signal output terminal of the switching unit network 23-4. And the other electrode is connected to the ground line 41.
[0055]
In the sampling circuit 7-1, an nMOS transistor 42-1 is controlled to be turned on / off by a sampling signal SP1, and has a drain connected to an electrode to which a pixel signal of the integration capacitor 40-1 is applied, and a source connected to the drain. It is connected to the gate of the nMOS transistor 43 that constitutes the output buffer circuit 9.
[0056]
In the sampling circuit 7-2, reference numeral 42-2 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the sampling signal SP2. The drain is connected to the electrode to which the pixel signal of the integration capacitor 40-2 is applied, and the source is connected. It is connected to the gate of the nMOS transistor 43 that constitutes the output buffer circuit 9.
[0057]
In the sampling circuit 7-3, 42-3 is an nMOS transistor whose on / off is controlled by the sampling signal SP3, the drain is connected to the electrode to which the pixel signal of the integration capacitor 40-3 is applied, and the source is connected. It is connected to the gate of the nMOS transistor 43 that constitutes the output buffer circuit 9.
[0058]
In the sampling circuit 7-4, reference numeral 42-4 denotes an nMOS transistor whose on / off is controlled by the sampling signal SP4. The drain is connected to the electrode to which the pixel signal of the integration capacitor 40-4 is applied, and the source is connected. It is connected to the gate of the nMOS transistor 43 that constitutes the output buffer circuit 9.
[0059]
In the reset circuit 8-1, a pMOS transistor 44-1 is controlled to be turned on / off by a reset signal RS1, a source is connected to a power supply line 45 that supplies a power supply voltage Vdd, and a drain is connected to an integration capacitor 40- It is connected to an electrode to which one pixel signal is applied.
[0060]
In the reset circuit 8-2, 44-2 is a pMOS transistor whose on / off is controlled by a reset signal RS2, the source is connected to the power supply line 45, and the drain is applied with the pixel signal of the integration capacitor 40-2. Connected to the electrode.
[0061]
In the reset circuit 8-3, 44-3 is a pMOS transistor whose on / off is controlled by a reset signal RS3, the source is connected to the power supply line 45, and the drain is applied with a pixel signal of the integration capacitor 40-3. Connected to the electrode.
[0062]
In the reset circuit 8-4, 44-4 is a pMOS transistor whose on / off is controlled by a reset signal RS4, the source is connected to the power supply line 45, and the drain is applied with a pixel signal of the integration capacitor 40-4. Connected to the electrode.
[0063]
The nMOS transistor 43 constituting the output buffer 9 has a drain connected to the power supply line 45 and a source connected to the drain of the nMOS transistor 11 to form a source follower circuit.
[0064]
FIG. 5 is a circuit diagram showing how the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention is used, and shows one embodiment of the imaging device of the present invention.
[0065]
In FIG. 5, reference numeral 47 denotes an infrared line sensor in which four light receiving elements are arranged in the scanning direction and m in the direction orthogonal to the scanning direction, and 48-i1, 48-i2, 48-i3, 48-i4 ( (Where i = 1, 2,..., M) is the light receiving element of the i-th scanning channel.
[0066]
Reference numeral 49 denotes an embodiment of the image signal readout circuit of the present invention, and 50-i is provided corresponding to the light receiving elements 48-i1, 48-i2, 48-i3, 48-i4 of the i-th scanning channel. 3 is a TDI circuit having the same configuration as that of the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention.
[0067]
Reference numeral 51 denotes a shift register for sequentially outputting pixel signals from TDI circuits 50-1, 50-2,... 50-m having the same configuration as that of the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention, SR1 , SR2,..., SRm are output control signals that are sequentially and selectively set to the H level, and are signals corresponding to the output control signal SR shown in FIG.
[0068]
FIG. 6 is a timing chart showing the drive timing of the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention. In the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention, the switching control signals SW1 to SW4 and the sampling signals SP1 to SP4 are shown. The reset signals RS1 to RS4 are selectively activated in the order of SW1->SP4->RS4->SW2->SP3->RS3->SW3->SP2->RS2->SW4->SP1-> RS1, and this is repeated.
[0069]
Here, at time T1, the switching control signal SW1 is set to the H level, and in the switching network 5, the nMOS transistors 24, 29, 34, and 39 are set to ON, and the integration capacitors 40-1, 40-2, and 40 are set. As shown in FIG. 7, pixel signals G1, G2, G3, and G4 are supplied to −3 and 40-4, respectively.
[0070]
When the pixel signal supply period ΔT1 ends, the switching control signal SW1 = L level is set, the nMOS transistors 24, 29, 34, 39 = OFF, the sampling signal SP4 = H level, and the nMOS transistor 42-4 = The integrated voltage of the integration capacitor 40-4 is applied to the gate of the nMOS transistor 43.
[0071]
Subsequently, the sampling signal SP4 = L level, the nMOS transistor 42-4 = OFF, the reset signal RS4 = L level, the pMOS transistor 44-4 = ON, and the accumulated voltage of the integration capacitor 40-4 is the power supply voltage. Reset to Vdd.
[0072]
At time T2, the reset signal RS4 = H level, the pMOS transistor 44-4 = OFF, the switching control signal SW2 = H level, and the nMOS transistors 25, 30, 35, 36 = ON. As shown in FIG. 7, pixel signals G2, G3, G4, and G1 are supplied to the integration capacitors 40-1, 40-2, 40-3, and 40-4, respectively.
[0073]
When the pixel signal supply period ΔT2 ends, the switching control signal SW2 = L level is set, the nMOS transistors 25, 30, 35, and 36 = OFF, the sampling signal SP3 = H level, and the nMOS transistor 42-3 = The integrated voltage of the integration capacitor 40-3 is applied to the gate of the nMOS transistor 43.
[0074]
Subsequently, the sampling signal SP3 = L level, the nMOS transistor 42-3 = OFF, the reset signal RS3 = L level, the pMOS transistor 44-3 = ON, and the accumulated voltage of the integration capacitor 40-3 is the power supply voltage. Reset to Vdd.
[0075]
At time T3, the reset signal RS3 = H level, the pMOS transistor 44-3 = OFF, the switching control signal SW3 = H level, and the nMOS transistors 26, 31, 32, 37 = ON. As shown in FIG. 7, pixel signals G3, G4, G1, and G2 are supplied to the integration capacitors 40-1, 40-2, 40-3, and 40-4, respectively.
[0076]
When the pixel signal supply period ΔT3 ends, the switching control signal SW3 = L level is set, the nMOS transistors 26, 31, 32, 37 = OFF, the sampling signal SP2 = H level, and the nMOS transistor 42-2 = The integrated voltage of the integration capacitor 40-2 is applied to the gate of the nMOS transistor 43.
[0077]
Subsequently, the sampling signal SP2 = L level, the nMOS transistor 42-2 = OFF, the reset signal RS2 = L level, the pMOS transistor 44-2 = ON, and the accumulated voltage of the integration capacitor 40-2 is the power supply voltage. Reset to Vdd.
[0078]
At time T4, the reset signal RS2 = H level, the pMOS transistor 44-2 = OFF, the switching control signal SW2 = H level, and the nMOS transistors 27, 28, 33, 38 = ON, As shown in FIG. 7, pixel signals G4, G1, G2, and G3 are supplied to the integration capacitors 40-1, 40-2, 40-3, and 40-4, respectively.
[0079]
When the pixel signal supply period ΔT4 ends, the switching control signal SW4 is set to L level, the nMOS transistors 27, 28, 33, and 38 are turned OFF, the sampling signal SP1 is set to H level, and the nMOS transistor 42-1 is set. The integrated voltage of the integration capacitor 40-1 is applied to the gate of the nMOS transistor 43.
[0080]
Subsequently, the sampling signal SP1 = L level, the nMOS transistor 42-1 = OFF, the reset signal RS1 = L level, the nMOS transistor 44-1 = ON, and the accumulated voltage of the integration capacitor 40-1 is the power supply voltage. Reset to Vdd. Thereafter, the same operation is repeated.
[0081]
FIG. 8 is a diagram for explaining a time delay integration result obtained by the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention. In FIG. 8, 52 is an imaging target, and a to j are imaging targets from which pixel signals are to be obtained. 52 imaging points.
[0082]
In this example, the light receiving element 1-1 sequentially scans the imaging points d to j, the light receiving element 1-2 sequentially scans the imaging points c to i, and the light receiving element 1-3 sequentially scans the imaging points b to h. The light receiving element 1-4 moves the infrared line sensor in the scanning direction so as to sequentially scan the imaging points a to g. A to J indicate pixel signals obtained when one light receiving element images each of the imaging points a to j.
[0083]
9 shows pixel signal supply periods ΔT1 to ΔT7 when the imaging object 52 is scanned as shown in FIG. 8, the contents of the pixel signals G1 to G4 output from the light receiving elements 1-1 to 1-4, and the integration capacitance. It is a figure which shows the relationship between the pixel signal distributed to 40-1 to 40-4, and the pixel signal which formed the accumulated voltage V0 sampled.
[0084]
As described above, in the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention, after the TDI scan starts, the third and subsequent imaging points d, e, f... From the imaging point a at the end of the imaging target 52 are detected. For the pixel signals D, E, F..., The TDI function can be achieved by performing time delay integration four times.
[0085]
Further, in the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention, when the set signal S = H level in the pixel selection control circuit 15 shown in FIG. 3, the pixel selection control signals DS1 to DS4 = H level and the pixel selection is performed. The nMOS transistors 14-1 to 14-4 forming the transistors are turned ON.
[0086]
Further, when the switching control signal SW1 = H level and the switching control signals SW2 to SW4 = L level, the nMOS transistors 24, 29, 34, 39 = ON which are switching transistors, and the nMOS transistors 25-27, 28, which are switching transistors, 30-33, 35-38 = OFF.
[0087]
In this way, since the pixel signals G1 to G4 output from the light receiving elements 1-1 to 1-4 can be obtained individually, in this state, a defective pixel for determining a defective pixel (defective light receiving element). Information is obtained and this defective pixel information is stored in an external memory or the like.
[0088]
Then, before starting the TDI scanning, the defective pixel information stored in the external memory or the like is stored in the shift register 16. In this case, an L level is stored in a register corresponding to a pixel having no defect in the shift register 16 and an H level is stored in a register corresponding to a defective pixel in the shift register 16.
[0089]
Next, the set signal S = H level, the pixel selection control signals DS1 to DS4 = H level, the write signal W = L level, and the storage levels of the registers 17-1 to 17-4 are set to the RS flip-flop circuit 18. Applied to reset signal input terminals of -1 to 18-4.
[0090]
In this case, among the RS flip-flop circuits 18-1 to 18-4, the pixel selection control signal output from the RS flip-flop circuit in which the H level is applied to the reset signal input terminal becomes the L level. Among the transistors 14-1 to 14-4, the nMOS transistor provided corresponding to the defective pixel is turned off, and the pixel signal from the defective pixel is not supplied to the switching circuit network 5.
[0091]
As described above, according to the second embodiment of the TDI circuit of the present invention, the pixel signals G1 to G4 output from the light receiving elements 1-1 to 1-4 are supplied to the integrating capacitor 40-1 via the switching circuit network 5. ˜40-4 to achieve the TDI function so that the input circuit 4 includes nMOS transistors 14-1 to 14-4 that form pixel selection transistors. And the pixel signal from the defective pixel can be cut off, so that the S / N ratio can be improved, and this is used for an infrared line sensor in which four pixels are arranged in the scanning direction. In all, a high S / N ratio can be obtained in all scanning channels.
[0092]
Second Embodiment FIG. 10 to FIG.
FIG. 10 is a circuit diagram showing a second embodiment of the TDI circuit of the present invention together with a part of the light receiving element formed in the infrared line sensor, and in FIG. 10, 54 is the second embodiment of the TDI circuit of the present invention. is there.
[0093]
The second embodiment 54 of the TDI circuit of the present invention is provided with an input circuit 55 having a circuit configuration different from that of the input circuit 4 provided in the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention. The configuration is the same as in the first embodiment.
[0094]
FIG. 11 is a circuit diagram showing a configuration of the input circuit 55. The input circuit 55 includes an input transistor 13-i (where i = 1, 2, 3, 4) and a pixel selection transistor 14-i. A current mirror circuit 57-i is connected between them, and the others are configured in the same manner as the input circuit 4 provided in the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention.
[0095]
FIG. 12 is a circuit diagram showing the configuration of the current mirror circuit 57-i. In FIG. 12, 59 is a power supply line for supplying the power supply voltage Vdd, 60 is an offset current flowing through the light receiving element 1-i, and the light receiving element 1-i. Reference numeral 61 denotes a pMOS transistor serving as an offset current supply transistor to be supplied to the gate, and a gate voltage application capacitor for applying a gate voltage to the gate of the pMOS transistor 60.
[0096]
Reference numeral 62 denotes a pMOS transistor serving as a sampling transistor for holding the gate voltage of the pMOS transistor 60 necessary for supplying an offset current to the light receiving element 1-i in the gate voltage application capacitor 61, and SH is the pMOS transistor 62. This is a sample hold signal for controlling ON and OFF.
[0097]
Here, for example, when the pixel selection control signal DSi = L level, the nMOS transistor 14-i = OFF, the sample hold signal SH = L level, the pMOS transistor 62 = ON, and a cold subject is imaged, the power line 59 An offset current flows to the light receiving element 1-i via the pMOS transistor 60 and the nMOS transistor 13-i, and the gate voltage of the pMOS transistor 60 at this time can be stored in the gate voltage supply capacitor 61. Even if the signal SH = L level and the pMOS transistor 62 = OFF, the offset current can be supplied to the light receiving element 1-i.
[0098]
According to the second embodiment 54 of the TDI circuit of the present invention configured as described above, the offset current of the light receiving element can be removed from the current integrated by the integrating capacitors 40-1 to 40-4. In the case of using an infrared line sensor in which these pixels are arranged in the scanning direction, it is possible to obtain a higher S / N ratio than in the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention in all scanning channels.
[0099]
Third Embodiment FIG. 13 and FIG.
FIG. 13 is a circuit diagram showing a third embodiment of the TDI circuit of the present invention together with a part of the light receiving element formed in the infrared line sensor. In FIG. 13, reference numeral 64 denotes the third embodiment of the TDI circuit of the present invention. is there.
[0100]
The third embodiment 64 of the TDI circuit of the present invention is different from the output buffer circuit 9 and the sampling circuits 7-1 to 7-4 included in the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention in the output buffer circuit 65-. 1 to 65-4 and sampling circuits 66-1 to 66-4 are provided, and the others are configured in the same manner as in the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention.
[0101]
FIG. 14 is a circuit diagram showing configurations of the output buffer circuits 65-1 to 65-4 and the sampling circuits 66-1 to 66-4.
[0102]
In the output buffer circuit 65-1, 67-1 is an nMOS transistor, the drain is connected to the power supply line 45, the gate is connected to the electrode to which the pixel signal of the integration capacitor 40-1 is applied, and the source follower circuit is configured. is doing.
[0103]
In the output buffer circuit 65-2, 67-2 is an nMOS transistor, the drain is connected to the power supply line 45, the gate is connected to the electrode to which the pixel signal of the integration capacitor 40-2 is applied, and the source follower circuit Is configured.
[0104]
In the output buffer circuit 65-3, 67-3 is an nMOS transistor, the drain is connected to the power supply line 45, the gate is connected to the electrode to which the pixel signal of the integration capacitor 40-3 is applied, and the source follower circuit Is configured.
[0105]
In the output buffer circuit 65-4, 67-4 is an nMOS transistor, the drain is connected to the power supply line 45, the gate is connected to the electrode to which the pixel signal of the integration capacitor 40-4 is applied, and the source follower circuit Is configured.
[0106]
In the sampling circuit 66-1, 68-1 is an nMOS transistor whose on / off is controlled by the sampling signal SP1, the drain is connected to the source of the nMOS transistor 67-1, and the source is connected to the drain of the nMOS transistor 11. It is connected.
[0107]
In the sampling circuit 66-2, 68-2 is an nMOS transistor whose on / off is controlled by the sampling signal SP2, the drain is connected to the source of the nMOS transistor 67-2, and the source is connected to the drain of the nMOS transistor 11. It is connected.
[0108]
In the sampling circuit 66-3, 68-3 is an nMOS transistor whose on / off is controlled by the sampling signal SP3, the drain is connected to the source of the nMOS transistor 67-3, and the source is connected to the drain of the nMOS transistor 11. It is connected.
[0109]
In the sampling circuit 66-4, 68-4 is an nMOS transistor whose on / off is controlled by the sampling signal SP4, the drain is connected to the source of the nMOS transistor 67-4, and the source is connected to the drain of the nMOS transistor 11. It is connected.
[0110]
According to the third embodiment 64 of the TDI circuit of the present invention configured as described above, crosstalk between pixel signals output from the integration capacitors 40-1 to 40-4 can be reduced. In the case of using an infrared line sensor in which these pixels are arranged in the scanning direction, it is possible to obtain a higher S / N ratio than in the first embodiment 2 of the TDI circuit of the present invention in all scanning channels.
[0111]
Fourth Embodiment FIG. 15 to FIG.
FIG. 15 is a circuit diagram showing a fourth embodiment of a TDI circuit of the present invention together with a part of a light receiving element formed in an infrared line sensor.
[0112]
In FIG. 15, 70-1, 70-2, 70-3, 70-4 are light receiving elements arranged in the scanning direction of the infrared line sensor, 71-1, 71-2, 71-3 are samples for one pixel. The conversion point 72 is the fourth embodiment of the TDI circuit of the present invention.
[0113]
In the fourth embodiment 72 of the TDI circuit of the present invention, 73-1, 73-2, 73-3, 73-4 are output from the light receiving elements 70-1, 70-2, 70-3, 70-4. An input terminal 74 for inputting the pixel signals G1, G2, G3, G4 is an input circuit configured in the same manner as the input circuit 4 shown in FIG.
[0114]
Reference numeral 75 denotes a switching circuit network for supplying pixel signals G1, G2, G3, and G4 output from the input circuit 74 to an integration circuit to be described later, 76-1, 76-2, 76-3, 76-4, 76-. Reference numerals 5, 76-6, 76-7, and 76-8 are integration circuits that integrate the pixel signals supplied from the switching circuit network 75.
[0115]
77-1, 77-2, 77-3, 77-4, 77-5, 77-6, 77-7, and 77-8 are integration circuits 76-1, 76-2, 76-3, and 76-. 4, a sampling circuit that samples the accumulated voltage of 76-5, 76-6, 76-7, and 76-8.
[0116]
In addition, 78-1, 78-2, 78-3, 78-4, 78-5, 78-6, 78-7, 78-8 are integration circuits 76-1, 76-2, 76-3, 76-. 4, a reset circuit that resets 76-6, 76-6, 76-7, and 76-8.
[0117]
Reference numeral 79 denotes a sampling voltage output by the sampling circuits 78-1, 78-2, 78-3, 78-4, 78-5, 78-6, 78-7, 78-8 as a pixel signal. This is an output buffer circuit.
[0118]
Reference numeral 80 denotes a common bus common to other TDI circuits, and 81 denotes an nMOS transistor that is controlled to be turned on and off by the output control signal SR and controls connection of the output terminal of the output buffer circuit 79 to the common bus 80.
[0119]
16 and 17 are circuit diagrams showing the configuration of the switching circuit network 5 in a divided manner. In FIG. 16 or FIG. 17, reference numerals 83-1, 83-2, 83-3, 83-4, 83-5, Reference numerals 83-6, 83-7, and 83-8 denote switching unit networks for selecting the pixel signals G1, G2, G3, and G4.
[0120]
In the switching unit network 83-1, 84 is an nMOS transistor that is controlled to be turned on / off by the switching control signal SW <b> 2 and serves as a switching element that selects the pixel signal G <b> 1 output from the input circuit 74.
[0121]
Reference numeral 85 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW4 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G2 output from the input circuit 74.
[0122]
Reference numeral 86 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW6 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G3 output from the input circuit 74.
[0123]
Reference numeral 87 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW8 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G4 output from the input circuit 74.
[0124]
In the switching unit network 83-2, reference numeral 88 denotes an nMOS transistor which is turned on and off by the switching control signal SW1 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G1 output from the input circuit 74.
[0125]
Reference numeral 89 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW3 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G2 output from the input circuit 74.
[0126]
Reference numeral 90 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW5 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G3 output from the input circuit 74.
[0127]
Reference numeral 91 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW7 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G4 output from the input circuit 74.
[0128]
In the switching unit network 83-3, reference numeral 92 denotes an nMOS transistor which is turned on and off by the switching control signal SW4 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G1 output from the input circuit 74.
[0129]
Reference numeral 93 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW6 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G2 output from the input circuit 74.
[0130]
Reference numeral 94 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW8 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G3 output from the input circuit 74.
[0131]
Reference numeral 95 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW2 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G4 output from the input circuit 74.
[0132]
In the switching unit network 83-4, reference numeral 96 denotes an nMOS transistor which is turned on and off by the switching control signal SW3 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G1 output from the input circuit 74.
[0133]
Reference numeral 97 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW5 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G2 output from the input circuit 74.
[0134]
Reference numeral 98 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW7 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G3 output from the input circuit 74.
[0135]
Reference numeral 99 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW1 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G4 output from the input circuit 74.
[0136]
In the switching unit network 83-5, reference numeral 100 denotes an nMOS transistor that is turned on and off by a switching control signal SW 6 and serves as a switching element that selects the pixel signal G 1 output from the input circuit 74.
[0137]
Reference numeral 101 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW8 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G2 output from the input circuit 74.
[0138]
Reference numeral 102 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW2 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G3 output from the input circuit 74.
[0139]
Reference numeral 103 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW4 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G4 output from the input circuit 74.
[0140]
In the switching unit network 83-6, reference numeral 104 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on / off by a switching control signal SW 5 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G 1 output from the input circuit 74.
[0141]
Reference numeral 105 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW7 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G2 output from the input circuit 74.
[0142]
Reference numeral 106 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW1 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G3 output from the input circuit 74.
[0143]
Reference numeral 107 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW3 and selects the pixel signal G4 output from the input circuit 74.
[0144]
In the switching unit circuit network 83-7, reference numeral 108 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by a switching control signal SW8 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G1 output from the input circuit 74.
[0145]
Reference numeral 109 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW2 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G2 output from the input circuit 74.
[0146]
Reference numeral 110 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW4 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G3 output from the input circuit 74.
[0147]
Reference numeral 111 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW6 and selects the pixel signal G4 output from the input circuit 74.
[0148]
In the switching unit network 83-8, reference numeral 112 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW7 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G1 output from the input circuit 74.
[0149]
Reference numeral 113 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW1 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G2 output from the input circuit 74.
[0150]
Reference numeral 114 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW3 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G3 output from the input circuit 74.
[0151]
Reference numeral 115 denotes an nMOS transistor which is controlled to be turned on and off by the switching control signal SW5 and serves as a switching element for selecting the pixel signal G4 output from the input circuit 74.
[0152]
18 is a circuit diagram showing configurations of the integrating circuits 76-1 to 76-4, the sampling circuits 77-1 to 77-4, and the reset circuits 78-1 to 78-4. FIG. 19 is an integrating circuit 76-5 to 76-4. 8 is a circuit diagram showing configurations of sampling circuits 77-5 to 77-8, reset circuits 78-5 to 78-8, and output buffer circuit 79.
[0153]
In the integrating circuit 76-1, 117-1 is an integrating capacitor for integrating the pixel signal output from the switching unit network 83-1, and one electrode is connected to the output terminal of the switching unit network 83-1, The other electrode is connected to a ground line 118 that supplies a ground voltage Vss.
[0154]
In the integrating circuit 76-2, 117-2 is an integrating capacitor for integrating the pixel signal output from the switching unit network 83-2, and one electrode is connected to the output terminal of the switching unit network 83-2. The other electrode is connected to the ground line 118.
[0155]
In addition, in the integrating circuit 76-3, reference numeral 117-3 denotes an integrating capacitor for integrating the pixel signal output from the switching unit network 83-3, and one electrode is connected to the output terminal of the switching unit network 83-3. The other electrode is connected to the ground line 118.
[0156]
Further, in the integrating circuit 76-4, 117-4 is an integrating capacitor for integrating the pixel signal output from the switching unit network 83-4, and one electrode is connected to the output terminal of the switching unit network 83-4. The other electrode is connected to the ground line 118.
[0157]
In the integrating circuit 76-5, reference numeral 117-5 denotes an integrating capacitor for integrating the pixel signal output from the switching unit network 83-5, and one electrode is connected to the output terminal of the switching unit network 83-5. The other electrode is connected to the ground line 118.
[0158]
In the integrating circuit 76-6, 117-6 is an integrating capacitor for integrating the pixel signal output from the switching unit network 83-6, and one electrode is connected to the output terminal of the switching unit network 83-6. The other electrode is connected to the ground line 118.
[0159]
Further, in the integrating circuit 76-7, 117-7 is an integrating capacitor for integrating the pixel signal output from the switching unit network 83-7, and one electrode is connected to the output terminal of the switching unit network 83-7. The other electrode is connected to the ground line 118.
[0160]
Further, in the integrating circuit 76-8, 117-8 is an integrating capacitor for integrating the pixel signal output from the switching unit network 83-8, and one electrode is connected to the output terminal of the switching unit network 83-8. The other electrode is connected to the ground line 118.
[0161]
In the sampling circuit 77-1, 119-1 is an nMOS transistor whose on / off is controlled by the sampling signal SP1, the drain is connected to the electrode to which the pixel signal of the integration capacitor 117-1 is applied, and the source is connected. This is connected to the gate of the nMOS transistor 120 constituting the output buffer circuit 79.
[0162]
In the sampling circuit 77-2, 119-2 is an nMOS transistor whose on / off is controlled by the sampling signal SP2, the drain is connected to the electrode to which the pixel signal of the integration capacitor 117-2 is applied, and the source is connected. It is connected to the gate of the nMOS transistor 120.
[0163]
In the sampling circuit 77-3, reference numeral 119-3 denotes an nMOS transistor whose on / off is controlled by the sampling signal SP3. The drain is connected to the electrode to which the pixel electrode of the integration capacitor 117-3 is applied, and the source is connected. It is connected to the gate of the nMOS transistor 120.
[0164]
In the sampling circuit 77-4, reference numeral 119-4 denotes an nMOS transistor whose on / off is controlled by the sampling signal SP4. The drain is connected to the electrode to which the pixel signal of the integration capacitor 117-4 is applied, and the source is connected. It is connected to the gate of the nMOS transistor 120.
[0165]
In the sampling circuit 77-5, reference numeral 119-5 denotes an nMOS transistor whose on / off is controlled by the sampling signal SP5, the drain is connected to the electrode to which the pixel signal of the integration capacitor 117-5 is applied, and the source is connected. It is connected to the gate of the nMOS transistor 120.
[0166]
In the sampling circuit 77-6, reference numeral 119-6 denotes an nMOS transistor whose on / off is controlled by the sampling signal SP6, the drain is connected to the electrode to which the pixel signal of the integration capacitor 117-6 is applied, and the source is connected. It is connected to the gate of the nMOS transistor 120.
[0167]
In the sampling circuit 77-7, reference numeral 119-7 denotes an nMOS transistor whose on / off is controlled by the sampling signal SP7. The drain is connected to the electrode to which the pixel signal of the integration capacitor 117-7 is applied, and the source is connected. It is connected to the gate of the nMOS transistor 120.
[0168]
In the sampling circuit 77-8, 119-8 is an nMOS transistor whose on / off is controlled by the sampling signal SP8, the drain is connected to the electrode to which the pixel signal of the integration capacitor 117-8 is applied, and the source is connected. It is connected to the gate of the nMOS transistor 120.
[0169]
In the reset circuit 78-1, 121-1 is a pMOS transistor whose on / off is controlled by a reset signal RS 1. The source is connected to the power supply line 122 for supplying the power supply voltage Vdd, and the drain is connected to the integration capacitor 117-1. It is connected to an electrode to which a pixel signal is applied.
[0170]
In the reset circuit 78-2, reference numeral 121-2 denotes a pMOS transistor that is controlled to be turned on / off by a reset signal RS2. Connected to the electrode.
[0171]
In the reset circuit 78-3, 121-3 is a pMOS transistor whose on / off is controlled by a reset signal RS3, the source is connected to the power supply line 122, and the drain is applied with a pixel signal of the integration capacitor 117-3. Connected to the electrode.
[0172]
In the reset circuit 78-4, 121-4 is a pMOS transistor that is controlled to be turned on and off by a reset signal RS4. The source is connected to the power supply line 122, and the drain is applied with a pixel signal of the integration capacitor 117-4. Connected to the electrode.
[0173]
In the reset circuit 78-5, 121-5 is a pMOS transistor whose on / off is controlled by a reset signal RS5, the source is connected to the power supply line 122, and the drain is applied with a pixel signal of the integration capacitor 117-5. Connected to the electrode.
[0174]
In the reset circuit 78-6, 121-6 is a pMOS transistor whose on / off is controlled by a reset signal RS6, the source is connected to the power supply line 122, and the drain is applied with a pixel signal of the integration capacitor 117-6. Connected to the electrode.
[0175]
In the reset circuit 78-7, 121-7 is a pMOS transistor that is controlled to be turned on / off by a reset signal RS7. The source is connected to the power supply line 122, and the drain is applied with a pixel signal of the integration capacitor 117-7. Connected to the electrode.
[0176]
In the reset circuit 78-8, 121-8 is a pMOS transistor whose on / off is controlled by a reset signal RS8, the source is connected to the power supply line 122, and the drain is applied with a pixel signal of the integration capacitor 117-8. Connected to the electrode.
[0177]
The nMOS transistor 120 constituting the output buffer 79 has a drain connected to the power supply line 122 and a source connected to the drain of the nMOS transistor 81 to form a source follower circuit.
[0178]
FIG. 20 is a timing chart showing the drive timing of the fourth embodiment 72 of the TDI circuit of the present invention. In the fourth embodiment 72 of the TDI circuit of the present invention, the switching control signals SW1 to SW8 and the sampling signals SP1 to SP8 are shown. The reset signals RS1 to RS8 are SW1 → SP8 → RS8 → SW2 → SP7 → RS7 → SW3 → SP6 → RS6 → SW4 → SP5 → RS5 → SW5 → SP4 → RS4 → SW6 → SP3 → RS3 → SW7 → SP2 → RS2 → In the order of SW8 → SP1 → RS1 and selectively set to the active level, this is repeated.
[0179]
Here, at time T1, the switching control signal SW1 is set to H level, and in the switching network 75, the nMOS transistors 88, 99, 106, and 113 are set to ON, and the integration capacitors 117-2, 117-4, and 117 are set. As shown in FIG. 21, pixel signals G1, G4, G3, and G2 are supplied to −6 and 117-8, respectively.
[0180]
When the pixel signal supply period ΔT1 ends, the switching control signal SW1 = L level is set, the nMOS transistors 88, 99, 106, 113 = OFF, the sampling signal SP8 = H level, and the nMOS transistor 119-8 = The accumulated voltage of the integration capacitor 117-8 is applied to the gate of the nMOS transistor 120.
[0181]
Subsequently, the sampling signal SP8 = L level, the nMOS transistor 119-8 = OFF, the reset signal RS8 = L level, the pMOS transistor 121-8 = ON, and the accumulated voltage of the integration capacitor 117-8 is the power supply voltage. Reset to Vdd.
[0182]
At time T2, the reset signal RS8 = H level, the pMOS transistor 121-8 = OFF, and the switching control signal SW2 = H level. In the switching network 75, the nMOS transistors 84, 95, 102 are set. 109 = ON, and pixel signals G1, G4, G3, G2 are supplied to the integration capacitors 117-1, 117-3, 117-5, 117-7, respectively, as shown in FIG.
[0183]
When the pixel signal supply period ΔT2 ends, the switching control signal SW2 is set to L level, the nMOS transistors 84, 95, 102, and 109 are turned OFF, and the sampling signal SP7 is set to H level, and the nMOS transistor 119-7 is set. The accumulated voltage of the integration capacitor 117-7 is applied to the gate of the nMOS transistor 120.
[0184]
Subsequently, the sampling signal SP7 = L level, the nMOS transistor 119-7 = OFF, the reset signal RS7 = L level, the pMOS transistor 121-7 = ON, and the accumulated voltage of the integration capacitor 117-7 is the power supply voltage. Reset to Vdd.
[0185]
At time T3, the reset signal RS7 = H level, the pMOS transistor 121-7 = OFF, and the switching control signal SW3 = H level. In the switching network 75, the nMOS transistors 89, 96, 107 are set. 114 = ON, and pixel signals G2, G1, G4, and G3 are supplied to the integration capacitors 117-2, 117-4, 117-6, and 117-8, respectively, as shown in FIG.
[0186]
When the pixel signal supply period ΔT3 ends, the switching control signal SW3 = L level is set, the nMOS transistors 89, 96, 107, 114 = OFF, the sampling signal SP6 = H level, and the nMOS transistor 119-6 = The accumulated voltage of the integration capacitor 117-6 is applied to the gate of the nMOS transistor 120.
[0187]
Subsequently, the sampling signal SP6 = L level, the nMOS transistor 119-6 = OFF, the reset signal RS6 = L level, the pMOS transistor 121-6 = ON, and the accumulated voltage of the integration capacitor 117-6 is the power supply voltage. Reset to Vdd.
[0188]
At time T4, the reset signal RS6 = H level, the pMOS transistor 121-6 = OFF, and the switching control signal SW4 = H level. In the switching network 75, the nMOS transistors 85, 92, 103 are set. 110 = ON, and pixel signals G2, G1, G4, and G3 are supplied to the integration capacitors 117-1, 117-3, 117-5, and 117-7, respectively, as shown in FIG.
[0189]
When the pixel signal supply period ΔT4 ends, the switching control signal SW4 = L level is set, the nMOS transistors 85, 92, 103, 110 = OFF, the sampling signal SP5 = H level, and the nMOS transistor 119-5 = The integrated voltage of 117-5 is applied to the gate of the nMOS transistor 120.
[0190]
Subsequently, the sampling signal SP5 = L level, the nMOS transistor 119-5 = OFF, the reset signal RS5 = L level, the pMOS transistor 121-5 = ON, and the accumulated voltage of the integration capacitor 117-5 is the power supply voltage. Reset to Vdd.
[0191]
At time T5, the reset signal RS5 = H level, the pMOS transistor 121-5 = OFF, and the switching control signal SW5 = H level. In the switching network 75, the nMOS transistors 90, 97, 104 are set. 115 = ON, and pixel signals G3, G4, G1, and G2 are supplied to the integration capacitors 117-2, 117-4, 117-6, and 117-8, respectively, as shown in FIG.
[0192]
When the pixel signal supply period ΔT5 ends, the switching control signal SW5 is set to the L level, the nMOS transistors 90, 97, 104, and 115 are set to OFF, and the sampling signal SP4 is set to the H level, and the nMOS transistor 119-4 is set. The integrated value of the integration capacitor 117-4 is applied to the gate of the nMOS transistor 120.
[0193]
Subsequently, the sampling signal SP4 = L level, the nMOS transistor 119-4 = OFF, the reset signal RS4 = L level, the pMOS transistor 121-4 = ON, and the accumulated voltage of the integration capacitor 117-4 is the power supply voltage. Reset to Vdd.
[0194]
At time T6, the reset signal RS4 = H level, the pMOS transistor 121-4 = OFF, and the switching control signal SW6 = H level. In the switching network 75, the nMOS transistors 86, 93, 100 are set. 111 = ON, and pixel signals G3, G4, G1, and G2 are supplied to the integration capacitors 117-1, 117-3, 117-5, and 117-7, respectively, as shown in FIG.
[0195]
When the pixel signal supply period ΔT6 ends, the switching control signal SW6 = L level is set, the nMOS transistors 86, 93, 100, 111 = OFF, the sampling signal SP3 = H level, the nMOS transistor 119-3 = The integrated voltage of the integration capacitor 117-3 is applied to the gate of the nMOS transistor 120.
[0196]
Subsequently, the sampling signal SP3 = L level, the nMOS transistor 119-3 = OFF, the reset signal RS3 = L level, the pMOS transistor 121-3 = ON, and the accumulated voltage of the integration capacitor 117-3 is the power supply voltage. Reset to Vdd.
[0197]
At time T7, the reset signal RS3 = H level, the pMOS transistor 121-3 = OFF, and the switching control signal SW7 = H level. In the switching circuit network 75, the nMOS transistors 91, 98, 105 are set. 112 = ON, and pixel signals G4, G1, G2, and G3 are supplied to the integration capacitors 117-2, 117-4, 117-6, and 117-8, respectively, as shown in FIG.
[0198]
When the pixel signal supply period ΔT7 ends, the switching control signal SW7 = L level is set, the nMOS transistors 91, 98, 105, 112 = OFF, the sampling signal SP2 = H level, the nMOS transistor 119-2 = The integrated voltage of the integration capacitor 117-2 is applied to the gate of the nMOS transistor 120.
[0199]
Subsequently, the sampling signal SP2 = L level, the nMOS transistor 119-2 = OFF, the reset signal RS2 = L level, the pMOS transistor 121-2 = ON, and the accumulated voltage of the integration capacitor 117-2 is the power supply voltage. Reset to Vdd.
[0200]
Thereafter, at time T8, the reset signal RS2 = H level, the pMOS transistor 121-2 = OFF, and the switching control signal SW8 = H level. In the switching circuit network 75, the nMOS transistors 87, 94, 101 are set. 108 = ON, and pixel signals G4, G1, G2, and G3 are supplied to the integration capacitors 117-1, 117-3, 117-5, and 117-7, respectively, as shown in FIG.
[0201]
When the pixel signal supply period ΔT8 ends, the switching control signal SW8 = L level is set, the nMOS transistors 87, 94, 101, 108 = OFF, the sampling signal SP1 = H level, the nMOS transistor 119-1 = The accumulated voltage of the integration capacitor 117-1 is applied to the gate of the nMOS transistor 120.
[0202]
Subsequently, the sampling signal SP1 = L level, the nMOS transistor 119-1 = OFF, the reset signal RS1 = L level, the pMOS transistor 121-1 = ON, and the accumulated voltage of the integration capacitor 117-1 is the power supply voltage. Reset to Vdd. Thereafter, the same operation is repeated.
[0203]
FIG. 22 is a diagram for explaining the result of time delay integration obtained by the fourth embodiment 72 of the TDI circuit of the present invention. In FIG. 22, 124 is an imaging target, and ap are imaging targets from which an image signal is to be obtained. 124 imaging points.
[0204]
In this example, the light receiving element 70-1 sequentially scans the imaging points g to p, the light receiving element 70-2 sequentially scans the imaging points e to n, and the light receiving element 70-3 sequentially scans the imaging points c to l. The light receiving element 70-4 moves the infrared line sensor in the scanning direction so as to sequentially scan the imaging points a to j. A to P indicate pixel signals obtained when one light receiving element images each of the imaging points a to p.
[0205]
FIG. 23 shows pixel signal supply periods ΔT1 to ΔT10, pixel signals G1 to G4 output from the light receiving elements 70-1 to 70-4, and an integration capacitor 117− when the imaging object 124 is scanned as shown in FIG. It is a figure which shows the relationship between the pixel signal supplied to 1-117-4, and the pixel signal which formed the accumulated voltage V0 sampled.
[0206]
That is, in the fourth embodiment 72 of the TDI circuit of the present invention, after the TDI scan starts, the pixel signals of the seventh and subsequent imaging points g, h, i... From the imaging point a at the end of the imaging target 124. For G, H, I..., Time delay integration can be performed four times.
[0207]
As described above, according to the fourth embodiment 72 of the TDI circuit of the present invention, the pixel signals G1 to G4 output from the light receiving elements 70-1 to 70-4 are supplied to the integrating capacitor 117-1 via the switching circuit network 75. ˜117-8 is used to achieve the TDI function, so that the input circuit 74 is provided with a simple pixel selection circuit having a pixel configuration including a pixel selection transistor to block pixel signals from defective pixels. Therefore, the S / N ratio can be improved, and when this is used for an infrared line sensor in which four pixels are arranged in the scanning direction with an interval of one pixel, A high S / N ratio can be obtained in all scanning channels.
[0208]
Note that the input circuit 74 of the fourth embodiment 72 of the TDI circuit of the present invention includes current mirror circuits 57-1 to 57-4 included in the input circuit 55 of the second embodiment 54 of the TDI circuit of the present invention. However, the current mirror circuits 57-1 to 57-4 may be provided in the input circuit 74.
[0209]
Further, in the fourth embodiment 72 of the TDI circuit of the present invention, the output buffer circuit 79 common to the sampling circuits 77-1 to 77-4 is provided. Instead, the TDI circuit of the TDI circuit of the present invention is provided. As in the third embodiment 64, an output buffer circuit may be provided for each integration capacitor.
[0210]
In the first embodiment 2, the second embodiment 54, the third embodiment 64, and the fourth embodiment 72 of the TDI circuit of the present invention, an input transistor is provided between the input terminal and the pixel selection transistor. However, a transistor having the same function as these input transistors may be provided between the switching circuit network and the integration capacitor.
[0211]
【The invention's effect】
In the present invention, the first, second or According to the third invention Since the pixel signal output from the n light receiving elements is supplied to the p integration capacitors via the switching circuit network, the TDI function is achieved, so that the pixel signals output from the n light receiving elements are output. A pixel selection circuit having a simple circuit configuration in which a switching element that blocks a pixel signal from a defective pixel is provided between an input terminal for inputting a pixel signal and the switching circuit network can be provided. N ratio can be obtained.
[0212]
In the present invention, According to the fourth invention Since an output buffer circuit is provided for each integration capacitor, crosstalk between image signals output from the integration capacitor can be reduced, and a higher S / N ratio than that of the third invention can be obtained.
[0213]
In the present invention, According to the fifth invention Since a pixel selection circuit including a pixel selection transistor and a pixel selection control circuit is provided between an input terminal for inputting pixel signals output from n light receiving elements and a switching circuit network, a high S / N ratio can be obtained.
[0214]
In the present invention, According to the sixth invention Since the offset current can be supplied to the light receiving element, the offset current of the light receiving element can be removed from the current integrated by the integration capacitor, so that the S / N ratio is higher than that of the fifth invention. Can be obtained.
[0215]
In the present invention, According to the seventh invention Since a pixel selection circuit including a pixel selection transistor and a pixel selection control circuit is provided between an input terminal for inputting pixel signals output from n light receiving elements and a switching circuit network, a high S / N ratio can be obtained.
[0216]
In the present invention, According to the eighth invention The same effects as those of the fifth, sixth and seventh inventions can be obtained, and the pixel selection control circuit can have a simple circuit configuration.
[0217]
In the present invention, According to the ninth invention , 1st, 2nd, 3rd, 4th, 5th, 6th, 7th or 8th invention, so that n light receiving elements in the scanning direction and m light receiving elements in the direction orthogonal to the scanning direction Can be used in an imaging sensor arranged in a matrix, a high S / N ratio can be obtained in all scanning channels.
[0218]
In the present invention, According to the tenth invention Since the image signal readout circuit of the ninth invention is provided, a high S / N ratio can be obtained in all scanning channels.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a circuit diagram showing a first embodiment of a TDI circuit of the present invention together with a part of a light receiving element formed in an infrared line sensor.
FIG. 2 is a circuit diagram showing a configuration of an input circuit provided in the first embodiment of the TDI circuit of the present invention.
FIG. 3 is a circuit diagram showing a configuration of a pixel selection control circuit included in the input circuit included in the first embodiment of the TDI circuit of the present invention.
FIG. 4 is a circuit diagram showing configurations of a switching circuit network, an integration circuit, a sampling circuit, a reset circuit, and an output buffer circuit included in the first embodiment of the TDI circuit of the present invention.
FIG. 5 is a circuit diagram showing an embodiment of an imaging device of the present invention.
FIG. 6 is a timing chart showing drive timing of the first embodiment of the TDI circuit of the present invention.
FIG. 7 is a diagram showing a relationship between an integration capacitor and a pixel signal supplied to the integration capacitor in the first embodiment of the TDI circuit of the present invention.
FIG. 8 is a diagram for explaining a time delay integration result obtained by the first embodiment of the TDI circuit of the present invention.
9 forms a pixel signal supply period, a pixel signal output from a light receiving element, a pixel signal supplied to an integration capacitor, and a sampled voltage V0 when the imaging target is scanned as shown in FIG. It is a figure which shows the relationship with the obtained pixel signal.
FIG. 10 is a circuit diagram showing a TDI circuit according to a second embodiment of the present invention together with a part of a light receiving element formed in an infrared line sensor.
FIG. 11 is a circuit diagram showing a configuration of an input circuit included in a second embodiment of the TDI circuit of the present invention.
FIG. 12 is a circuit diagram showing a configuration of a current mirror circuit included in an input circuit included in the second embodiment of the TDI circuit of the present invention.
FIG. 13
It is a circuit diagram which shows 3rd Embodiment of the TDI circuit of this invention with a part of light receiving element formed in the infrared line sensor.
FIG. 14 is a circuit diagram showing configurations of an output buffer circuit and a sampling circuit included in a third embodiment of the TDI circuit of the present invention.
FIG. 15 is a circuit diagram showing a TDI circuit according to a fourth embodiment of the present invention together with a part of a light receiving element formed in an infrared line sensor.
FIG. 16 is a circuit diagram illustrating a configuration of a switching circuit network included in a fourth embodiment of a TDI circuit of the present invention.
FIG. 17 is a circuit diagram illustrating a configuration of a switching circuit network included in a fourth embodiment of the TDI circuit of the present invention.
FIG. 18 is a circuit diagram showing a configuration of a part of an integration circuit, a part of a sampling circuit, and a part of a reset circuit included in the fourth embodiment of the TDI circuit of the present invention;
FIG. 19 is a circuit diagram showing a configuration of a part of an integration circuit, a part of a sampling circuit, a part of a reset circuit, and an output buffer circuit included in the fourth embodiment of the TDI circuit of the present invention;
FIG. 20 is a timing chart showing drive timings of the fourth embodiment of the TDI circuit of the present invention.
FIG. 21 is a diagram showing a relationship between an integration capacitor and a pixel signal supplied to the integration capacitor in the fourth embodiment of the TDI circuit of the present invention.
FIG. 22 is a diagram for explaining the result of time delay integration obtained by the fourth embodiment of the TDI circuit of the present invention;
23 forms a pixel signal supply period, a pixel signal output from a light receiving element, a pixel signal supplied to an integration capacitor, and a sampled storage voltage when the imaging target is scanned as shown in FIG. It is a figure which shows the relationship with the obtained pixel signal.
[Explanation of symbols]
1-1 to 1-4 light receiving element
G1 to G4 pixel signals
6-1 to 6-4 Integration circuit
7-1 to 7-4 Sampling circuit
8-1 to 8-4 Reset circuit

Claims (9)

光学系の走査方向に配列されたn個(但し、nは2以上の整数である。)の受光素子から出力される画素信号を時間遅延積分するTDI回路であって、
p個(但し、pはp=knを満足する整数であり、kは正の整数である。)の積分容量と、
同一撮像点の画素信号は、同一の積分容量に供給されるように、前記n個の受光素子から出力される画素信号を前記p個の積分容量に供給するスイッチング回路網とを備え、
前記スイッチング回路網は、前記p個の積分容量のそれぞれに対応させて設けられたp個のスイッチング単位回路網を有し、
各スイッチング単位回路網は、対応する積分容量への画素信号の供給時、前記n個の受光素子から同時に出力されるn個の画素信号の中の1個を選択し、対応する積分容量に供給するように制御されることを特徴とするTDI回路
A TDI circuit for time-delay integrating pixel signals output from n light receiving elements (where n is an integer of 2 or more) arranged in the scanning direction of the optical system,
p integral capacitors (where p is an integer satisfying p = kn and k is a positive integer);
A switching circuit that supplies pixel signals output from the n light receiving elements to the p integration capacitors so that pixel signals at the same imaging point are supplied to the same integration capacitor;
The switching network includes p switching unit networks provided corresponding to the p integration capacitors,
Each switching unit network selects one of the n pixel signals simultaneously output from the n light receiving elements when supplying the pixel signal to the corresponding integration capacitor, and supplies the selected integration signal to the corresponding integration capacitor. A TDI circuit that is controlled to
光学系の走査方向に配列されたn個(但し、nは2以上の整数である。)の受光素子から出力される画素信号を時間遅延積分するTDI回路であって、
p個(但し、pはp=knを満足する整数であり、kは正の整数である。)の積分容量と、
同一撮像点の画素信号は、同一の積分容量に供給されるように、前記n個の受光素子から出力される画素信号を前記p個の積分容量に供給するスイッチング回路網と、
前記p個の積分容量のそれぞれに対応させて設けられ、対応する積分容量の蓄積電圧をサンプリングするp個のサンプリング回路と、
前記p個の積分容量のそれぞれに対応させて設けられ、対応する積分容量の蓄積電圧を一定の電圧値にリセットするp個のリセット回路と、
入力端を前記p個のサンプリング回路の出力端に共通接続された出力バッファ回路とを有し、
前記p個のサンプリング回路は、所定の順番、かつ、周期的に、対応する積分容量の蓄積電圧をサンプリングするように制御され、
前記p個のリセット回路は、蓄積電圧をサンプリングされた対応する積分容量を一定の電圧値にリセットするように制御されることを特徴とするTDI回路
A TDI circuit for time-delay integrating pixel signals output from n light receiving elements (where n is an integer of 2 or more) arranged in the scanning direction of the optical system,
p integral capacitors (where p is an integer satisfying p = kn and k is a positive integer);
A switching network for supplying pixel signals output from the n light receiving elements to the p integration capacitors so that pixel signals at the same imaging point are supplied to the same integration capacitor;
P sampling circuits provided corresponding to each of the p integration capacitors, and sampling a storage voltage of the corresponding integration capacitor;
P reset circuits provided corresponding to the p integral capacitors, respectively, for resetting the accumulated voltage of the corresponding integral capacitors to a constant voltage value;
An output buffer circuit having an input terminal commonly connected to the output terminals of the p sampling circuits;
The p sampling circuits are controlled to sample a storage voltage of a corresponding integration capacitor in a predetermined order and periodically.
Wherein p number of reset circuit, TDI circuit being controlled to reset the integrating capacitor corresponding sampled accumulated voltage constant voltage value.
光学系の走査方向に配列されたn個(但し、nは2以上の整数である。)の受光素子から出力される画素信号を時間遅延積分するTDI回路であって、
p個(但し、pはp=knを満足する整数であり、kは正の整数である。)の積分容量と、
同一撮像点の画素信号は、同一の積分容量に供給されるように、前記n個の受光素子から出力される画素信号を前記p個の積分容量に供給するスイッチング回路網と、
前記p個の積分容量のそれぞれに対応させて設けられ、入力端を対応する積分容量の画素信号が印加される電極に接続されたp個の出力バッファ回路と、
前記p個の出力バッファ回路のそれぞれに対応させて設けられ、対応する出力バッファ回路の出力電圧をサンプリングするp個のサンプリング回路と、
前記p個の積分容量のそれぞれに対応させて設けられ、対応する積分容量の蓄積電圧を一定の電圧値にリセットするp個のリセット回路とを有し、
前記p個のサンプリング回路は、所定の順番、かつ、周期的に、対応する出力バッファ回路の出力電圧をサンプリングするように制御され、
前記p個のリセット回路は、蓄積電圧をサンプリングされた対応する積分容量を一定の電圧値にリセットするように制御されることを特徴とするTDI回路
A TDI circuit for time-delay integrating pixel signals output from n light receiving elements (where n is an integer of 2 or more) arranged in the scanning direction of the optical system,
p integral capacitors (where p is an integer satisfying p = kn and k is a positive integer);
A switching network for supplying pixel signals output from the n light receiving elements to the p integration capacitors so that pixel signals at the same imaging point are supplied to the same integration capacitor;
P output buffer circuits provided corresponding to each of the p integration capacitors, and having input terminals connected to electrodes to which pixel signals of the corresponding integration capacitors are applied;
P sampling circuits provided corresponding to each of the p output buffer circuits and sampling an output voltage of the corresponding output buffer circuit;
P reset circuits provided corresponding to each of the p integration capacitors, and resetting a storage voltage of the corresponding integration capacitor to a constant voltage value,
The p sampling circuits are controlled to sample the output voltage of the corresponding output buffer circuit in a predetermined order and periodically,
Wherein p number of reset circuit, TDI circuit being controlled to reset the integrating capacitor corresponding sampled accumulated voltage constant voltage value.
光学系の走査方向に配列されたn個(但し、nは2以上の整数である。)の受光素子から出力される画素信号を時間遅延積分するTDI回路であって、
p個(但し、pはp=knを満足する整数であり、kは正の整数である。)の積分容量と、
同一撮像点の画素信号は、同一の積分容量に供給されるように、前記n個の受光素子から出力される画素信号を前記p個の積分容量に供給するスイッチング回路網と、
前記n個の受光素子のそれぞれに対応させて設けられ、対応する受光素子から出力される画素信号を入力するためのn個の入力端子と、
前記n個の入力端子のそれぞれに対応させて設けられ、第1の電流入出力電極を対応する入力端子に接続され、制御電極に一定電圧が印加されるn個の入力トランジスタと、
前記n個の入力トランジスタのそれぞれに対応させて設けられ、第1の電流入出力電極を対応する入力トランジスタの第2の電流入出力電極に接続され、第2の電流入出力電極を前記スイッチング回路網に接続されたn個の画素選択トランジスタと、
欠陥画素情報に基づいて、前記n個の画素選択トランジスタのそれぞれのオン、オフを制御する画素選択制御回路とを備えていることを特徴とするTDI回路
A TDI circuit for time-delay integrating pixel signals output from n light receiving elements (where n is an integer of 2 or more) arranged in the scanning direction of the optical system,
p integral capacitors (where p is an integer satisfying p = kn and k is a positive integer);
A switching network for supplying pixel signals output from the n light receiving elements to the p integration capacitors so that pixel signals at the same imaging point are supplied to the same integration capacitor;
N input terminals for inputting pixel signals output from the corresponding light receiving elements, provided corresponding to the n light receiving elements,
N input transistors provided corresponding to the n input terminals, the first current input / output electrodes are connected to the corresponding input terminals, and a constant voltage is applied to the control electrode;
The first current input / output electrode is provided corresponding to each of the n input transistors, the first current input / output electrode is connected to the second current input / output electrode of the corresponding input transistor, and the second current input / output electrode is connected to the switching circuit. N pixel selection transistors connected to the network;
A TDI circuit comprising: a pixel selection control circuit that controls on / off of each of the n pixel selection transistors based on defective pixel information.
第1の電流入出力電極を対応する入力トランジスタの第2の電流入出力電極に接続され、第2の電流入出力電極に所定の電圧が印加されるオフセット電流供給用トランジスタと、
第1の電極を前記オフセット電流供給用トランジスタの制御電極に接続され、第2の電極を前記オフセット電流供給用トランジスタの第2の電流入出力電極に接続され、前記オフセット電流供給用トランジスタの制御電極に制御電圧を印加するための制御電圧印加用容量と、
第1の電流入出力電極を対応する入力トランジスタの第2の電流入出力電極に接続され、第2の電流入出力電極を前記制御電圧印加用容量の第2の電極に接続され、制御電極にサンプルホールド信号が印加され、前記オフセット電流供給用トランジスタの制御電極に印加すべき制御電圧を前記制御電圧印加用容量にホールドさせるサンプルホールドトランジスタとを備えているカレントミラー回路を前記n個の入力トランジスタのそれぞれに対応させて備えていることを特徴とする請求項記載のTDI回路。
An offset current supply transistor in which a first current input / output electrode is connected to a second current input / output electrode of a corresponding input transistor, and a predetermined voltage is applied to the second current input / output electrode;
A first electrode is connected to a control electrode of the offset current supply transistor, a second electrode is connected to a second current input / output electrode of the offset current supply transistor, and a control electrode of the offset current supply transistor A control voltage application capacity for applying a control voltage to
The first current input / output electrode is connected to the second current input / output electrode of the corresponding input transistor, the second current input / output electrode is connected to the second electrode of the control voltage application capacitor, and the control electrode The n input transistors include a current mirror circuit including a sample and hold transistor to which a sample and hold signal is applied and a control voltage to be applied to the control electrode of the offset current supply transistor is held in the control voltage application capacitor. 5. The TDI circuit according to claim 4 , wherein the TDI circuit is provided so as to correspond to each of the TDI circuits.
前記n個の受光素子のそれぞれに対応させて設けられ、対応する受光素子が出力する画素信号を入力するためのn個の入力端子と、
前記n個の入力端子のそれぞれに対応させて設けられ、第1の電流入出力電極を対応する入力端子に接続され、第2の電流入出力電極を前記スイッチング回路網に接続されたn個の画素選択トランジスタと、
欠陥画素情報に基づいて、前記n個の画素選択トランジスタのそれぞれのオン、オフを制御する画素選択制御回路と、
前記p個のスイッチング単位回路網のそれぞれに対応させて設けられ、第1の電流入出力電極を対応するスイッチング単位回路網の出力端に接続され、第2の電流入出力電極を対応する積分回路に接続され、制御電極に一定電圧が印加されるp個のトランジスタとを備えていることを特徴とする請求項記載のTDI回路。
N input terminals provided to correspond to the n light receiving elements, respectively, for inputting pixel signals output from the corresponding light receiving elements;
N corresponding to each of the n input terminals, the first current input / output electrodes are connected to the corresponding input terminals, and the second current input / output electrodes are connected to the switching network. A pixel selection transistor;
A pixel selection control circuit for controlling on / off of each of the n pixel selection transistors based on defective pixel information;
Provided in correspondence with each of the p switching unit networks, the first current input / output electrodes are connected to the output terminals of the corresponding switching unit networks, and the second current input / output electrodes are connected to the corresponding integration circuits. TDI circuit according to claim 1, wherein the connected, a constant voltage to the control electrode, characterized in that it comprises a p number of transistors to be applied to.
画素選択制御回路は、前記n個の画素選択トランジスタのそれぞれに対応させて設けられたn個のRSフリップフロップ回路と、
前記n個のRSフリップフロップ回路のそれぞれに対応させて設けられ、欠陥画素情報を記憶させるレジスタと、
前記n個のRSフリップフロップ回路のそれぞれに対応させて設けられ、一端を対応するレジスタの出力端に接続され、他端を対応するRSフリップフロップ回路のリセット信号入力端子に接続され、書込み信号によりオン、オフが制御されるn個の第1のスイッチ素子と、
前記n個のRSフリップフロップ回路のそれぞれに対応させて設けられ、一端を高電位側の電源線に接続され、他端を対応するRSフリップフロップ回路のリセット信号入力端子に接続され、リセット信号によりオン、オフが制御されるn個の第2のスイッチ素子とを備えていることを特徴とする請求項又は記載のTDI回路。
The pixel selection control circuit includes n RS flip-flop circuits provided corresponding to each of the n pixel selection transistors,
A register provided corresponding to each of the n RS flip-flop circuits and storing defective pixel information;
Provided corresponding to each of the n RS flip-flop circuits, one end is connected to the output terminal of the corresponding register, the other end is connected to the reset signal input terminal of the corresponding RS flip-flop circuit, and the write signal N first switch elements that are controlled to be turned on and off;
Provided in correspondence with each of the n RS flip-flop circuits, one end is connected to the high-potential side power line, and the other end is connected to the reset signal input terminal of the corresponding RS flip-flop circuit. on, claims, characterized in that an n-number of the second switching element off controlled 4, 5 or 6 TDI circuit according.
走査方向にn個、走査方向と直交する方向にm個の受光素子を行列状に配列した撮像センサのm個の走査チャネル数のそれぞれに対応させて設けられたm個の請求項1、2、3、4、5、6又は7記載のTDI回路と、
前記m個の請求項1、2、3、4、5、6又は7記載のTDI回路により得られる前記m個の走査チャネルの画素信号を1次元的に多重化された画像信号とするように、前記m個の請求項1、2、3、4、5、6又は7記載のTDI回路からの画素信号の読出しを制御する読出し制御回路とを備えていることを特徴とする画像信号読出回路。
The number m of the imaging sensors provided corresponding to each of the number of m scanning channels of the imaging sensor in which n light receiving elements are arranged in a matrix in a direction orthogonal to the scanning direction and n in the scanning direction. A TDI circuit according to 3, 4, 5, 6 or 7 ;
The m scanning channel pixel signals obtained by the m TDI circuits according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6 or 7 are set as one-dimensionally multiplexed image signals. And a readout control circuit for controlling readout of pixel signals from the T TDI circuits according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6 or 7. .
走査方向にn個、走査方向と直交する方向にm個の受光素子を行列状に配列された撮像センサと、請求項記載の画像信号読出回路とを備えていることを特徴とする撮像デバイス。9. An imaging device comprising: an imaging sensor in which n light receiving elements are arranged in a matrix in a scanning direction and m orthogonal to the scanning direction; and an image signal readout circuit according to claim 8. .
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