JP3805787B2 - 干渉計及びフーリエ変換分光計 - Google Patents
干渉計及びフーリエ変換分光計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3805787B2 JP3805787B2 JP52340595A JP52340595A JP3805787B2 JP 3805787 B2 JP3805787 B2 JP 3805787B2 JP 52340595 A JP52340595 A JP 52340595A JP 52340595 A JP52340595 A JP 52340595A JP 3805787 B2 JP3805787 B2 JP 3805787B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interferometer
- beam splitter
- mirrors
- reflectors
- plane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 29
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
Description
本発明は、入射ビームから第1及び第2のビームを形成するビームスプリッタと、第1及び第2のビームを夫々受光し且つこれら第1及び第2のビームを再びビームスプリッタに向けて反射する第1及び第2の反射器とを備えた干渉計に関する。
また、本発明は、フーリエ変換分光計にも関係している。
発明の技術背景
マイケルソン干渉計は、必須の構成要件として、ビームスプリッタと第1及び第2のミラーとを備えており、一般的な干渉計の一例となっている。このようなマイケルソン干渉計において、ビームスプリッタに入射した入射ビームは、その一部のビームがビームスプリッタから反射して第1のミラー方向に進み、残りのビームがビームスプリッタを透過して第2のミラー方向に進む。第1及び第2のミラーは、夫々のビームを再びビームスプリッタ方向へ反射するように構成されており、これら第1及び第2のミラーによって再びビームスプリッタへ反射された夫々のビームは、ビームスプリッタによって単一ビームに重ね合わされ、検出器に照射される。この場合、ビームスプリッタと対応する各ミラーとの間の距離変化に応じて、上記夫々のビームの間に、整った又は壊れた干渉が生じる。そして、このような干渉は、検出器の補助素子に記録することが可能である。
例えば、マイケルソン型の干渉計は、広帯域光源からの光のスペクトルを決定するために、フーリエ変換分光計に用いることが可能である。一般的なフーリエ変換分光計では、ビームスプリッタから直線上に離間して配置された1つのミラーを走査ミラーとして機能させることによって、検出器上の干渉パターンを連続的に変化させている。このような方法において、インターフェログラムを検出器によって記録することが可能である。そして、フーリエ変換することによって、入射光のスペクトルを決定することができる。
一般的な干渉計の不利な点としては、使用上適当な干渉パターンを得る場合、光学部品を互いに正確に位置決めしなければならない点にある。
マイケルソン干渉計において、ビームスプリッタは、入射ビームの入射角度が45°になるように配置されている。更に、第1及び第2のミラーは、直交しており、ビームスプリッタにより分割された第1及び第2のビームは、第1及び第2のミラーに対して垂直に照射される。例えばビームが垂直に照射されない状態に1つのミラーが変位されていた場合、干渉パターンの縞密度は、大きくなる。そして、このような変位がかなり大きくなっている場合には、密度が極めて高くなるため、縞を観察することができなくなる。
フーリエ変換分光計では、走査ミラーが線形状に変位している間、光学部品を正確に位置決めさせておく必要がある。
このような変位状態において要求される高い位置決め精度を低く抑えるためには、既知の方法によって走査ミラーの代わりに再帰反射器を配置させることが好ましい。しかしながら、再帰反射器は、高価であると共に、製品自体に生じ得る種々の角度誤差、或いは、温度変化やエージング(枯化)等に起因した種々の角度誤差を補正することが不可能である。
光学部品の正確な位置決め状態を維持するためには、上記2つのビームを再びビームスプリッタに反射し且つ回転自在の素子例えば回転式エタロンによってその1つのビームの光路長を変化させるように固定されたミラーを用いることが知られている。文献EP0491435に開示された干渉計は、互いに平行に対向した2つのミラーを備えており、これらミラーは、その1つの固定ミラーまでの光路長を変化させるように、回転するようになっている。しかしながら、このような技術には、以下のような不利な点が存在する。即ち、夫々のビームが固定ミラーの面を横切って進む関係上、その技術について極めて高い質を要求される。更に、光路長は、僅かな範囲でしか変化させることができない。
また、上記文献には、上述した原理を改良して、2つのビームの間の光路長の変化を大きくする技術例が示されている。また、例えば文献FP0314103及び文献US5066990には、2重振子の夫々のアームに再帰反射器を備えた回転素子が示されている。このような2重振子を揺動させることによって、一方のビームの光路長が減少し、他方のビームの光路長が増加する。しかしながら、再帰反射器に関係する不利な点については、依然として解消されずに残されたままである。
また、文献US5159405及び文献5150172には、平行に配置された2つの平行ミラーから成る回転素子が示されており、これら2つの平行ミラーの間において、2つのビームは、複数回反射することになる。この場合、2つのミラーが回転すると、一方のビームの光路長が長くなり、他方のビームの光路長が短くなる。しかしながら、各ミラーを横切って進む夫々のビームについての不利な点については、依然として解消されずに残されたままである。
発明の概要
本発明の目的は、走査光学部品の変位誤差に対して適当な許容範囲を有しており、夫々のビーム間の光路差が変化した際に各ビームが走査光学部品を横切って進むことの無いコンパクトな干渉計を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、コンパクトなフーリエ変換分光計を提供することにある。
このような目的は、添付の請求の範囲第8項に記載した特徴を有するフーリエ変換分光計のみならず、添付の請求の範囲第1項に記載した特徴を有する干渉計によって達成される。
本発明の干渉計は、光路差が変化するように、第1及び第2のビームを再びビームスプリッタに反射する反射器を線形状に変位させるという原理に基づいて構成されている。この方法において、全ての走査が行われている間、2つのビームは、検出器の同一点に照射される。この場合、2つの反射器が同時に線形状に変位するため、光路差の変化と夫々のミラーの変位との割合は、4対1となる。これは、干渉計のコンパクト化を維持させながら、なかなり大きな光路差を実現できることを意味している。また、本発明の干渉計は、ビームスプリッタと第1及び第2の反射器との間を進む第1及び第2のビームの光路内に第3及び第4の反射器を備えている。これら第3及び第4の反射器は、ビームスプリッタと同様に、直交して配置されている。具体的には、ビームスプリッタの垂直方向、第3及び第4の反射器の垂直方向は、直交している。この結果、本発明の干渉計は、3次元形状を成していることになる。また、第3及び第4の反射器は、第1及び第2の反射器の線形変位の種々の誤差を補正するようになっており、第3の反射器は、一方向の誤差を補正し、一方、第4の反射器は、一方向に直交する他方向の誤差を補正する。このような補正によれば、第1及び第2の反射器は、安定した状態で相互に連結されることになる。この結果、上記線形状の変位が不完全であったときには、2つの反射器上に同一の効果となって現われる。従って、本発明の干渉計によれば、上記の各ビームは、数回程度反射され、また、夫々のビームの光路も短くなるといった利点が実現される。
なお、本発明の実施の形態については、添付図面を参照して詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
第1図,第2図及び第3図は、本発明の第1の実施の形態に係る干渉計の構成を3つの異なる直交方向から投影して示す図である。
第4図は、本発明の第2の実施の形態に係る干渉計の構成を投影して示す図である。
第5図は、本発明の第3の実施の形態に係る干渉計の構成を投影して示す図である。
発明の実施の形態
第1図〜第3図には、本発明の第1の実施の形態に係る干渉計の構成が3次元投影して示されており、この干渉計は、ビームスプリッタBSと、第1〜第4の平面ミラーM1,M2,M3,M4とを備えている。
第1及び第2の平面ミラーM1,M2は、平行且つ対向して配置されている。これら平面ミラーは、干渉計の走査ミラーとして構成されており、その端部には、ボールベアリング内に装着され且つ線形状に変位可能な摺動部材(図示しない)が設けられている。このような構成によれば、後述から明らかなように、完全な線形状の変位からある程度のずれた場合でも許容できるようになっている。
第3及び第4の平面ミラーM3,M4は、干渉計の補正ミラーとして構成されている。第3の平面ミラーM3は、ビームスプリッタBSと第1の平面ミラーM1との間の光路上に配置されており、同様に、第4の平面ミラーM4は、ビームスプリッタBSと第2の平面ミラーM2との間の光路上に配置されている。第3及び第4の平面ミラーM3と,M4と、ビームスプリッタBSとは、互いに直交している。
全ての図面に示す平面ミラーには、各平面ミラーの像相互の比較を容易にすると共に線形移動における不規則性を示すように、矢印が付加されている。
以下、本実施の形態の干渉計の動作について説明する。
光源(図示しない)からビームスプリッタBSに入射した入射ビームBinは、その一部がビームスプリッタBSから反射し、残りがビームスプリッタBSを透過する。このとき、ビームスプリッタBSは、入射ビームから第1のビームB1と第2のビームB2を形成することになる。
第1のビームB1は、第3の平面ミラーM3に照射され、この第3の平面ミラーM3から第1の平面ミラーM1に反射される。この後、第1のビームは、第3の平面ミラーM3を介してビームスプリッタBSに戻る。
第2のビームB2は、第4の平面ミラーM4に照射され、この第4の平面ミラーM4から第2の平面ミラーM2に反射される。この後、第2のビームは、第4の平面ミラーM4を介してビームスプリッタBSに戻る。
そして、第1及び第2のビームB1,B2は、ビームスプリッタBSによって重ね合わされて射出ビームButとなる。
第1図及び第3図に示すように、ビームスプリッタBSは、第4の平面ミラーM4に映った第2の平面ミラーM2の像に第1の平面ミラーM1の像を重ね合わせる。この場合、M1′BSは、ビームスプリッタBSに映った第1の平面ミラーM1の像を示し、M2′M4は、第4の平面ミラーM4に映った第2の平面ミラーM2の像を示す。
第1及び第2の平面ミラーM1,M2が装着されている摺動部材に僅かな位置決め誤差が有る場合、又は、摺動部材の位置が線形の変位状態に対して変化した場合、第1及び第2のビームB1,B2は、各平面ミラーに対して垂直方向に照射されない。このとき、第4の平面ミラーM4は、Y−Z平面内の種々のずれを補正することになり、また、第3の平面ミラーM3は、X−Y平面内の種々のずれを補正することになる。
Z−Y平面内において、摺動部材を移動させることによって、第1の平面ミラーM1を第1図の矢印方向に変位させると、第2の平面ミラーM2は、Z−Y平面内を第1図の矢印方向に変位する。このとき、ミラー像M1′BS及びM2′M4は、共に、ミラー像内の矢印で示す方向に変位する。この結果、これらミラー像は、一致した状態を維持する。このように、ビームスプリッタBSによって互いに重ね合わされた2つのビームB1,B2は、角度誤差があったとしても、常に一致することになる。
第1及び第2の平面ミラーM1,M2がX−Y平面内で変位した場合、ミラー像M1′BS及びM2′M4が一致し且つビームスプリッタBSから射出した第1及び第2のビームB1,B2が平行になるように、第3の平面ミラーM3は、同様に、その変位を補正する。
ビームスプリッタBSと第3及び第4の平面ミラーM3,M4とが直交し、第1及び第2の平面ミラーM1,M2が平行且つ対向配置されるといった要求に対応する構成は多数あるが、以下、その例を挙げる。
例 1
以下の例において、
垂直方向成分を示す。
入射ビームBinは、
に沿って到達する。
射出ビームButは、
に沿って射出される。
ビームスプリッタBSに入射する角度、第1及び第3の平面ミラーM1,M3に入射する角度は、ほぼ55°であり、また、第2及び第4の平面ミラーM2,M4に入射する角度は、90°である。
各ビームは、空間立方体の各対角線に平行となっている。
例 2
入射ビームBinは、
に沿って到達する。
射出ビームButは、
に沿って射出される。
ビームスプリッタBSに入射する角度は、ほぼ35°であり、第1及び第3の平面ミラーM1,M3に入射する角度は、ほぼ66°である。また、第2及び第4の平面ミラーM2,M4に入射する角度は、90°である。
第4図には、本発明の第2の実施の形態に係る干渉計の構成が示されている。本実施の形態において、ビームスプリッタBSと4つの平面ミラーM1〜M4とが第1の実施の形態と同様である。しかしながら、本実施の形態には、更に、第5及び第6の平面ミラーM5,M6が設けられており、これら平面ミラーは、ビームスプリッタBSと平行に配置されている。第5の平面ミラーM5は、ビームスプリッタBSと第3の平面ミラーM3との間の第1のビームB1の光路上に配置されており、第6の平面ミラーM6は、ビームスプリッタBSと第4の平面ミラーM4との間の第2のビームB2の光路上に配置されている。
本実施の形態において、干渉計の更なるコンパクト化を実現することができるように、走査ミラーM1,M2は、第1の実施の形態よりも僅かに互いに接近して配置されている。しかしながら、本実施の形態では、第1の実施の形態よりも更に2つのミラーが必要となる。
第5図には、本発明の第3の実施の形態に係る干渉計の構成が示されており、第2の実施の形態と同様の構成を有しているが、第5の平面ミラーM5は、第1の平面ミラーM1と第3の平面ミラーM3との間の光路上に配置されており、第6の平面ミラーM6は、第2の平面ミラーM2と第4の平面ミラーM4との間の光路上に配置されている。
第2及び第3の実施の形態の動作は、第1の実施の形態と同様である。
本発明の干渉計の利点としては、フーリエ変換分光計に用いられる点であり、フーリエ変換分光計をコンパクトに且つ低価格に製造することが可能である。
なお、本発明は、上述した各実施の形態の構成に限定されることはなく、請求の範囲内において種々変更することが可能である。例えば、第1及び第2の平面ミラーM1,M2の代わりに、再帰反射器のような他の反射器を用いても良い。
Claims (8)
- 入射ビーム(Bin)から第1及び第2のビーム(B1,B2)を形成するビームスプリッタ(BS)と、前記第1のビーム(B1)を受けてこのビームを前記ビームスプリッタ方向に反射する第1の反射器(M1)と、前記第2のビームを受けてこのビームを前記ビームスプリッタ方向に反射する第2の反射器(M2)と、を備えた干渉計であって、
前記第1及び第2の反射器(M1,M2)は、前記第1のビームと前記第2のビームとの光路差を変化させるように、互いに一定状態に連結され且つ線形状に変位するように構成されており、
更に、前記干渉計には、前記ビームスプリッタ(BS)と第1の反射器(M1)との間の第1のビーム(B1)の光路上に配置された第3の反射器(M3)と、ビームスプリッタ(BS)と第2の反射器(M2)との間の第2のビーム(B2)の光路上に配置された第4の反射器(M4)とが設けられており、
ビームスプリッタ(BS)と、第3の反射器(M3)と、第4の反射器(M4)とは、互いに直交していることを特徴とする干渉計。 - 前記第1のビーム(B1)の光路上には第5の反射器(M5)が、前記第2のビーム(B2)の光路上には、第6の反射器(M6)が、夫々配置されていることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の干渉計。
- 第5及び第6の反射器(M5,M6)は、ビームスプリッタ(BS)と夫々対応する第3及び第4の反射器(M3,M4)との間に配置されていることを特徴とする請求の範囲第2項に記載の干渉計。
- 第5及び第6の反射器(M5,M6)は、第1及び第3の反射器(M1,M3)の間、及び、第2及び第4の反射器(M2,M4)の間に夫々配置されていることを特徴とする請求の範囲第2項に記載の干渉計。
- 第3及び第4の反射器(M3,M4)は、平面ミラーであることを特徴とする請求の範囲第1項〜第4項のいずれか1に記載の干渉計。
- 第1及び第2の反射器(M1,M2)は、平面ミラーであることを特徴とする請求の範囲第1項〜第5項のいずれか1に記載の干渉計。
- 第5及び第6の反射器(M5,M6)は、平面ミラーであることを特徴とする請求の範囲第2項〜第6項のいずれか1に記載の干渉計。
- 請求の範囲第1項〜第7項のいずれか1に記載の干渉計を備えたフーリエ変換分光計。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE9400819A SE503758C2 (sv) | 1994-03-10 | 1994-03-10 | Interferometer och Fouriertransformspektrometer |
SE9400819-0 | 1994-03-10 | ||
PCT/SE1995/000248 WO1995024619A1 (en) | 1994-03-10 | 1995-03-09 | Interferometre and fourier transform spectrometer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10500769A JPH10500769A (ja) | 1998-01-20 |
JP3805787B2 true JP3805787B2 (ja) | 2006-08-09 |
Family
ID=20393239
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP52340595A Expired - Lifetime JP3805787B2 (ja) | 1994-03-10 | 1995-03-09 | 干渉計及びフーリエ変換分光計 |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5650848A (ja) |
EP (1) | EP0749566B1 (ja) |
JP (1) | JP3805787B2 (ja) |
KR (1) | KR100385438B1 (ja) |
CN (1) | CN1079157C (ja) |
AT (1) | ATE185422T1 (ja) |
AU (1) | AU2088895A (ja) |
CA (1) | CA2185006C (ja) |
DE (1) | DE69512640T2 (ja) |
RU (1) | RU2150090C1 (ja) |
SE (1) | SE503758C2 (ja) |
TW (1) | TW261663B (ja) |
WO (1) | WO1995024619A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DK78096A (da) * | 1996-07-12 | 1998-01-13 | Foss Electric As | Interferometer |
US20030020924A1 (en) * | 2001-06-19 | 2003-01-30 | Fuyuhiko Inoue | Interferometer system |
CN100385213C (zh) * | 2003-09-18 | 2008-04-30 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 干涉型超光谱成像仪数据处理方法 |
CN100401027C (zh) * | 2005-07-23 | 2008-07-09 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 高稳定度干涉成像光谱仪的成像方法及实现该方法的光谱仪 |
CN100485331C (zh) * | 2005-10-09 | 2009-05-06 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 高稳定度干涉成像光谱仪的成像方法及实现该方法的光谱仪 |
CN100443869C (zh) * | 2005-10-09 | 2008-12-17 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 高稳定度高光谱分辨率干涉成像光谱仪成像方法及光谱仪 |
CN101532880B (zh) * | 2008-03-12 | 2010-12-15 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 双动镜干涉仪 |
DE102016103295A1 (de) | 2016-02-24 | 2017-08-24 | Martin Berz | Dreidimensionales Interferometer und Verfahren zur Bestimmung einer Phase eines elektrischen Feldes |
US9952031B1 (en) * | 2016-10-26 | 2018-04-24 | University Corporation For Atmospheric Research | Interferometer |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4165183A (en) * | 1977-08-26 | 1979-08-21 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Fringe counting interferometric system for high accuracy measurements |
DE3005520C2 (de) * | 1980-02-14 | 1983-05-05 | Kayser-Threde GmbH, 8000 München | Zweistrahl-Interferometer zur Fourierspektroskopie |
US4319843A (en) * | 1980-02-25 | 1982-03-16 | Burleigh Instruments, Inc. | Interferometer apparatus for the direct measurement of wavelength and frequency |
GB2163548B (en) * | 1984-08-09 | 1987-11-25 | Perkin Elmer Ltd | Interferometric apparatus particularly for use in ft spectrophotometer |
DE3736694A1 (de) * | 1987-10-29 | 1989-06-01 | Kayser Threde Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum beruehrungslosen antrieb eines doppelpendel-interferometers |
US5150172A (en) * | 1988-01-11 | 1992-09-22 | Nicolet Instrument Corporation | Interferometer spectrometer having tiltable reflector assembly and reflector assembly therefor |
EP0369054B1 (de) * | 1988-11-17 | 1993-09-01 | Erwin Kayser-Threde Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Reflektorsystem für Michelson-Interferometer |
US5159405A (en) * | 1989-10-28 | 1992-10-27 | Horiba, Ltd. | Multibeam interferometer for use in a fourier transform spectrometer and a driving device for moving the mirrors used therein |
GB9027480D0 (en) * | 1990-12-19 | 1991-02-06 | Philips Electronic Associated | Interferometer |
-
1994
- 1994-03-10 SE SE9400819A patent/SE503758C2/sv not_active IP Right Cessation
-
1995
- 1995-03-09 AU AU20888/95A patent/AU2088895A/en not_active Abandoned
- 1995-03-09 CA CA002185006A patent/CA2185006C/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-03-09 KR KR1019960704977A patent/KR100385438B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-03-09 WO PCT/SE1995/000248 patent/WO1995024619A1/en active IP Right Grant
- 1995-03-09 EP EP95913459A patent/EP0749566B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-03-09 AT AT95913459T patent/ATE185422T1/de not_active IP Right Cessation
- 1995-03-09 CN CN95192476A patent/CN1079157C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1995-03-09 JP JP52340595A patent/JP3805787B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1995-03-09 RU RU96119926A patent/RU2150090C1/ru active
- 1995-03-09 DE DE69512640T patent/DE69512640T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-03-10 US US08/402,053 patent/US5650848A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-03-10 TW TW084102307A patent/TW261663B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1145114A (zh) | 1997-03-12 |
RU2150090C1 (ru) | 2000-05-27 |
KR100385438B1 (ko) | 2003-10-04 |
EP0749566A1 (en) | 1996-12-27 |
CN1079157C (zh) | 2002-02-13 |
SE9400819L (sv) | 1995-09-11 |
CA2185006A1 (en) | 1995-09-14 |
AU2088895A (en) | 1995-09-25 |
TW261663B (ja) | 1995-11-01 |
EP0749566B1 (en) | 1999-10-06 |
WO1995024619A1 (en) | 1995-09-14 |
SE9400819D0 (sv) | 1994-03-10 |
JPH10500769A (ja) | 1998-01-20 |
SE503758C2 (sv) | 1996-08-26 |
ATE185422T1 (de) | 1999-10-15 |
DE69512640T2 (de) | 2000-04-06 |
DE69512640D1 (de) | 1999-11-11 |
CA2185006C (en) | 2004-05-11 |
US5650848A (en) | 1997-07-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6208424B1 (en) | Interferometric apparatus and method for measuring motion along multiple axes | |
US4915502A (en) | Interferometer spectrometer having tiltable reflector assembly and reflector assembly therefor | |
US20060238769A1 (en) | Tilt compensated interferometers | |
JP2510457B2 (ja) | マイケルソン干渉計 | |
US20070041022A1 (en) | Interferometer for measuring perpendicular translations | |
US3809481A (en) | Single reflector interference spectrometer and drive system therefor | |
AU714286B2 (en) | An interferometer | |
JP3805787B2 (ja) | 干渉計及びフーリエ変換分光計 | |
US20070188767A1 (en) | Optics system for an interferometer | |
US5196902A (en) | Two-beam interferometer apparatus and method, and spectrometer utilizing the same | |
US20060087659A1 (en) | Low walk-off interferometer | |
US5150172A (en) | Interferometer spectrometer having tiltable reflector assembly and reflector assembly therefor | |
JPH07190714A (ja) | 干渉計 | |
US4391526A (en) | Interferometric surface contour measuring arrangement | |
US7738108B2 (en) | Interferometer | |
JP3356104B2 (ja) | 移動ステージのローリング角度測定方法及び装置 | |
JP2003021508A (ja) | ローリング角度測定装置 | |
JPS59136604A (ja) | 多重光路レ−ザ−干渉計 | |
JP2001041822A (ja) | 干渉分光光度計 | |
JP2805045B2 (ja) | 空間位置決め方法 | |
JP3728151B2 (ja) | 曲面形状測定装置 | |
JPS59164926A (ja) | 干渉分光計 | |
JP3064614B2 (ja) | 高精度座標測定装置 | |
JP3049809B2 (ja) | 二光束干渉計 | |
JP3525512B2 (ja) | 平面鏡の面特性測定方法及びテーブルの移動方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040622 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040922 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041221 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20050314 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20050425 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060411 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060511 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110519 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120519 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120519 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130519 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130519 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |