JP3801985B2 - エレクトレットコンデンサマイクロホン - Google Patents
エレクトレットコンデンサマイクロホン Download PDFInfo
- Publication number
- JP3801985B2 JP3801985B2 JP2002531443A JP2002531443A JP3801985B2 JP 3801985 B2 JP3801985 B2 JP 3801985B2 JP 2002531443 A JP2002531443 A JP 2002531443A JP 2002531443 A JP2002531443 A JP 2002531443A JP 3801985 B2 JP3801985 B2 JP 3801985B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- support member
- case
- diaphragm support
- condenser microphone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
- H04R19/04—Microphones
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
- H04R19/01—Electrostatic transducers characterised by the use of electrets
- H04R19/016—Electrostatic transducers characterised by the use of electrets for microphones
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R1/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones
- H04R1/02—Casings; Cabinets ; Supports therefor; Mountings therein
- H04R1/04—Structural association of microphone with electric circuitry therefor
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/43—Electric condenser making
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49005—Acoustic transducer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Description
(技術分野)
本発明はハイブリッド(Hybrid)方式のエレクトレットコンデンサマイクロホンに関するものであり,特に,携帯電話または情報通信機器に使用することができる,IC素子などの電子回路を合せた主要な構成部品をチップ化して小型化されたエレクトレットコンデンサマイクロホン(Electret Condenser Microphone)に関するものである。
【0002】
(背景技術)
マイク,電話機,携帯電話機,ビデオテープレコーダ,おもちゃ等に付着して音圧を電気的な信号に変化させるのに使用されるコンデンサマイクロホンとしては本出願人が1990年12月22日に特許出願して1993年4月17日付で登録を受けた韓国特許公報の公告番号特1993−3063号がある。
【0003】
上記公報に開示されているコンデンサマイクロホンは図1に詳細に図示されているようにケース3の下側中央に通孔1が形成されており,その外部表面上にカバー2が付着されたケース3の内部にポーラーリング4と振動板5が載置される。増幅素子9は,回路基板12にハンダ付け13で固定される。増幅素子9の出力線11は,回路基板12にハンダ付け13で接続されている。そして,振動板5の上部に増幅素子9の入力端子10と接続されて絶縁リング17で絶縁された固定電極16が配置されている。前記固定電極16の内側に静電気の物質が塗布された誘電体板20が設置されており,さらに前記固定電極16の外周縁に多数個の通孔21が形成されている。
【0004】
ところが,このように構成された従来のコンデンサマイクロホンは絶縁リング17によってケース3と絶縁された固定電極16が振動板5と正しく接続された状態で固定電極16の上部に誘電体板20が,別途,固定電極16に接着されているため,コンデンサマイクロホンの性能を顕著に向上させることはできるが,小型化することができない問題点があるだけでなく,その他に,増幅素子9の入力端子10と固定電極16との接触面積が限られており,増幅素子9の入力端子10と固定電極16との間で電気的な接触不良が発生して,生産効率を向上させることができないなどの問題点があった。
【0005】
(発明の開示)
したがって,本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり,本発明の目的は小型化させることができるエレクトレットコンデンサマイクロホンを提供することにある。
【0006】
本発明の他の目的は生産効率を向上させることができるエレクトレットコンデンサマイクロホンを提供することにある。
【0007】
上記の目的を達成するために本発明によるエレクトレットコンデンサマイクロホンは上部に開口部が形成され,
下部中央に音響を収集して通過させる多数の音孔が形成されて電気的に接地されているケースと,前記ケースの内側の底面に対して平行に,底面から一定間隔(△t)をおいて設置されて,前記ケースの音孔を通じて入る音圧により振動されて音響信号を振動に変換する振動板であって,振動板70は,電荷が充電されるエレクトレット膜72と,前記エレクトレット膜72の一側面に金属をスパッタリングまたは化学気相蒸着(CVD)により形成された導電膜74と,前記エレクトレット膜72に形成された前記導電膜74が前記ケース50の前記内面50aから一定間隔(△t)離れて位置されるように,前記導電膜74の下部の周辺枠に配設されるポーラーリング76とを備えており,上記振動板の上部に設置される振動板支持部材であって,前記振動板と振動板支持部材の間隔を一定に維持するように振動板支持部材の外部面に凹溝が形成されて,振動板支持部材の上部面に凹部が形成されて前記振動板が容易に振動するように上記振動板支持部材の一部である凹部の底面に多数の小さな音響ホールが形成されている振動板支持部材と,振動板支持部材上に付着され電気的な信号を増幅する集積回路と,前記ケースの上部に形成された開口部を覆うと同時に,前記振動板支持部材の上部面と側壁部とに接するように上部面と側壁部とを覆うことで前記ケース50に対して電気的に絶縁する絶縁キャップと,振動板支持部材上に付着された集積回路で増幅された信号を前記集積回路にリ―ド線を介在して接続された接触素子を通じて受信して,そして受信された信号をエレクトレットコンデンサマイクロホンの外部に伝達するように前記絶縁キャップ上に設置されて,接触素子から伝達される第1接触ピンと,振動板支持部材上に付着された集積回路で増幅された信号を,前記集積回路にリ―ド線を介して接続された接触素子を通じて受信して,受信された信号が,エレクトレットコンデンサマイクロホン外部へと伝達されるように,前記絶縁キャップ上に設置されて,上記接触素子から伝達される第2接触ピンとを具備することを特徴とする。
【0008】
(発明を実施するための最良の形態)
以下,本発明の一実施形態にかかるエレクトレットコンデンサマイクロホンに関して添付図面に基づいて詳細に説明する。
【0009】
図2は,本発明の一実施形態にかかるエレクトレットコンデンサマイクロホンを概略的に図示した外観斜視図であり,図3は,本発明の一実施形態にかかるエレクトレットコンデンサマイクロホンを切断した一部縦断面図であり,図4は,本発明の一実施形態にかかるエレクトレットコンデンサマイクロホンに適用される振動板を概略的に図示した斜視図であり,図5は,本発明の一実施形態によるエレクトレットコンデンサマイクロホンに適用されるIC回路がチップ化されたシリコン固定板の斜視図である。
【0010】
図2,図3,図4,または図5に図示されるように本発明の一実施形態にかかるエレクトレットコンデンサマイクロホンは,ケース50と,前記ケース50の音孔52を通じて入る音圧により振動されて音響信号を電気的な信号に変換する振動板70とを有する。
【0011】
振動板70上には,凹部82を有した,半導体ウェハで作成された振動板支持部材80が配置される。
【0012】
振動板70が容易に振動できるように凹部82の底面に多数の小さな音響ホール82aが形成される。
【0013】
さらにエレクトレットコンデンサマイクロホンは,振動板70で変換された電気的な信号を受信して増幅する集積回路100とを有する。
【0014】
またエレクトレットコンデンサマイクロホンは,ケース50の上部に形成された開口部を覆うと同時に,振動板支持部材80をケース50から電気的に絶縁する絶縁キャップ110とを具備している。
【0015】
さらに,エレクトレットコンデンサマイクロホンは,絶縁キャップ110上に設置された一対の接触ピン120,130とを有する。
【0016】
ここで,第1接触ピン120は,振動板支持部材80上に付着した集積回路100で増幅された信号がエレクトレットコンデンサマイクロホンの外部へ送信されるように,集積回路100のリ―ド線102aに連結された接触素子102に接続されて,さらに第2接触ピン130は,集積回路100のリ―ド線103aに連結された接触素子103に接続される。
【0017】
言い換えると,本発明のエレクトレットコンデンサマイクロホンのケース50は,上部に形成された開口部と,下部中央に形成された音響を収集して通過させる多数の音孔52とを有する,電気的に接地されている。ケース50の音孔52を通じて入る音圧により振動されて音響信号を電気的な信号に変換する振動板70は,ケース50の内側に一定間隙(△t)をおいて上記ケース50の底の内面50aに対して平行になるよう設置されている。
【0018】
さらに,振動板支持部材80は,半導体ウェハで作成されて,凹部82を有する。振動板70が容易に振動するように凹部82の底面には,多数の小さな音響ホール82aが形成されており,また振動板70と間隔をあけるように下部面に一定に,深さが通常5〜25μmである凹溝84が形成されている。
【0019】
特に,本発明であるエレクトレットコンデンサマイクロホンでは,振動板支持部材80が半導体ウェハで具現されるため,振動板70で変換された電気的な信号を増幅するための集積回路100は,単一チップ上に具現される。
【0020】
ケース50の上部に形成された開口部は,振動板支持部材80をケース50から電気的に絶縁する絶縁キャップ110で覆われている。
【0021】
絶縁キャップ110上には,振動板支持部材80上に付着された集積回路100で増幅された信号を,集積回路100にリ―ド線102aを介在して接続された接触素子102で受信して,エレクトレットコンデンサマイクロホンの外部へ伝送されるように第1接触ピン120が設置されている。
【0022】
さらに,絶縁キャップ110上には,振動板支持部材80上に付着された集積回路100で増幅された信号を集積回路100にリ―ド線103aを介在して接続された接触素子103と電気的に接続されてエレクトレットコンデンサマイクロホン外部へと電気的な接続が可能なように第2接触ピン130が設置されている。
【0023】
図4に詳細に図示すると,振動板70は,電荷が充電されるエレクトレット膜72と,エレクトレット膜72の一側面に金属をスパッタリングまたは化学気相蒸着(CVD;Chemical Vapor Deposition)により形成された導電膜74と,エレクトレット膜72に形成された導電膜74が,ケース50の内面50aから一定間隔(△t)離れて位置されるように導電膜74の下部周辺の枠に配設されたポーラーリング76とから構成されている。
【0024】
振動板70は,厚さが12.5〜25μmのフルオルエチレンプロピレン(FEP;fluoro ethylene propylene)またはテフロン(Teflon)のうちで選択された,いずれか一つが使用されることが望ましい。
【0025】
図6に図示されるように,集積回路100は,振動板が音圧により振動されて生成された電位信号を電流信号に変換して増幅するための増幅器104から構成されて,この増幅器104は,ゲート端子が振動板支持部材80に接続されて,ドレーン端子は,接触素子102に連結されて,ソース端子が接触素子103に連結されるマイクロホン用の電界効果トランジスター(FET)140と,ノイズフィルタ用のキャパシタ(capacitor)170で具現される。
【0026】
この場合,振動板支持部材80はシリコン材質,あるいはゲルマニウム材質のウェハを使用して不純物を適当に挿入して導電性を有するようにすることが望ましい。
【0027】
振動板支持部材80の凹部82の底面に,各々形成される直径が20〜100μmである多数の音響ホール82aは異方性のエッチングを利用して1次エッチング後,底面に2次エッチングして形成される。
【0028】
以下,このように構成された本発明の一実施形態によるエレクトレットコンデンサマイクロホンの作用及び効果について説明する。
【0029】
まず,本発明の一実施形態によるエレクトレットコンデンサマイクロホンの組立過程を説明する。
【0030】
組立過程では,ケース50の内部には,エレクトレット膜72と,エレクトレット膜72の一側面に金属で形成された導電膜74と,エレクトレット膜72に形成された導電膜74がケース50の内面50aから一定間隔(△t)離れて位置されて一定張力が維持されるように導電膜74の下部の枠に配設されたポーラーリング76とから構成された振動板70は,ポーラーリング76が下部に位置するようにケース50の底の内面50a上に配置される。
【0031】
次に,振動板70上に集積回路100が付着された振動板支持部材80を載置させると,振動板支持部材80の下部に形成された凹溝84により振動板支持部材80に形成された凹部82の底面の下部と一定間隔で離れた状態となる。
【0032】
その後,ケース50の上部開口部を絶縁キャップ110で覆うと,絶縁キャップ110の側壁部が,振動板支持部材80とケース50の側壁部の内側面に当接されて振動板支持部材80はケース50から電気的に絶縁の状態となる。
【0033】
この時,絶縁キャップ110に設置された接触ピン120は,振動板支持部材80に付着されている接触素子102と電気的に接続され,絶縁キャップ110に設置された接触ピン130は振動板支持部材80に付着されている接触素子103と電気的に接続される状態となる。
【0034】
この組立時では,ケース50の底の内面50a上にはポーラーリング76を介在して振動板70が一定間隔(△t)をおいて設置されている。
【0035】
また,振動板70の上には集積回路100が付着された振動板支持部材80が設置されている。
【0036】
このとき,振動板支持部材80の下部には凹溝84が形成されており,振動板支持部材80の凹部82底面には音響ホール82aが形成されているためにケース50の音孔52を通じて入った音圧により振動板70が容易に振動される。
【0037】
そして,振動板70が音圧により振動されながら音響信号が電位信号に変換され,この電位信号は振動板支持部材80を通じて集積回路100内にある電界効果トランジスター140に印加される。この時,振動板支持部材80は振動板70からの電位信号を電流信号に変換して増幅する電界効果トランジスターのゲート端子に接続される。
【0038】
増幅器104の電界効果トランジスター(FET)140では,振動板支持部材80を通じて伝えられた電位信号が,電流信号に変換,増幅される。
【0039】
それから,上記増幅された信号はキャパシタ(capacitor)170で雑音が除去された後,リ―ド線102a,103aと接触素子102,103を経てエレクトレットコンデンサマイクロホン外部に伝えられる。
【0040】
このとき,接触素子102は電界効果トランジスターのドレーン端子に接続され,接触素子103は電界効果トランジスターのソース端子に接続される。
【0041】
さらに,音響から変換されて集積回路100で増幅された電気的な信号は,接触素子102,103に各々接触された接触ピン120,130を通じて電話機,ビデオテープレコーダまたはおもちゃに出力される。
【0042】
上記説明において,エレクトレットコンデンサマイクロホンのケース50の形状を四角形の形状で設計された場合を実施の形態として説明したが,本発明はこれに限定されるものではなく,たとえば,円形または多角形に形成しても本発明の概念に含まれることはもちろんである。
【0043】
上記説明において,具体的な実施形態を挙げて図示して説明したが,本発明はこれに限定されるものではなく,たとえば,本発明の概念を離脱しない範囲内で,この技術分野の通常の知識を有した者により色々と設計の変更ができることはもちろんである。
【0044】
(産業上の利用の可能性)
上記説明したように,本発明のエレクトレットコンデンサマイクロホンによると,構成部品がケース,振動板,集積回路が付着された振動板支持部材及び一対の接触ピン,接触ピンが設置された絶縁キャップとから簡単に構成されており,小型化させることができる。
【0045】
さらに,組立工程が少なくすることにより,製造効率を向上させることができ,したがって製造コストを低減させることができる。
【0046】
また,振動板を支持して振動を容易にするための機能と振動板からの信号を伝達する機能を有する振動板支持部材が半導体ウェハにより具現されることによって,振動板と集積回路間に電気的な接続が良好になり,半導体ウェハ上に回路を直接に具現することができるためチップ化が容易な利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は,従来のコンデンサマイクロホンを概略的に図示した縦断面図であり,
【図2】 図2は,本発明の一実施形態によるエレクトレットコンデンサマイクロホンを概略的に図示した斜視図であり,
【図3】 図3は,本発明の一実施形態によるエレクトレットコンデンサマイクロホンの一部を示す縦断面図であり,
【図4】 図4は,本発明の一実施形態によるエレクトレットコンデンサマイクロホンに適用される振動板を概略的に図示した斜視図であり,
【図5】 図5は,本発明の一実施形態によるエレクトレットコンデンサマイクロホンに適用されるIC回路がチップに集積化されたシリコン固定板の斜視図であり,
【図6】 図6は,図5に図示された集積回路を概略的に図示した回路図である。
Claims (2)
- 上部に開口部が形成されて下部中央に音響を収集して通過させる多数の音孔が形成されるケース50と;
一定間隔をおいて前記ケース50の底の内面50a上に設置されて,前記ケース50の音孔52を通じて入る音圧により振動されて音響信号を電位信号に変換する振動板70であって,該振動板70は,電荷が充電されるエレクトレット膜72と,前記エレクトレット膜72の一側面に金属をスパッタリングまたは化学気相蒸着(CVD)により形成された導電膜74と,前記エレクトレット膜72に形成された前記導電膜74が前記ケース50の前記内面50aから一定間隔(△t)離れて位置されるように,前記導電膜74の下部の周辺枠に配設されるポーラーリング76とを備えており;
前記振動板70の上部に設置される振動板支持部材であって,前記振動板70と所定間隔離れて該振動板支持部材の下部面に凹溝84が形成されて,該振動板支持部材の上部面に凹部82が形成されて,前記振動板70が容易に振動するように前記振動板支持部材の一部である凹部82の底面に多数の音響ホール82aが形成されて,前記振動板70からの前記電位信号を伝達する半導体ウェハで形成された振動板支持部材80と;
前記振動板支持部材80上に付着されて前記電位信号を電気的な信号に変換して増幅し該振動板支持部材80上に付着された接触素子に伝達する集積回路100と;
前記ケース50の上部に形成された開口部を覆うと同時に,前記振動板支持部材80の上部面と側壁部とに接するように上部面と側壁部とを覆うことで前記ケース50に対して電気的に絶縁する絶縁キャップ110と;
前記絶縁キャップ110上に設置されて,前記接触素子から伝達される前記集積回路100で増幅された信号を外部に伝達する一対の接触ピン120および接触ピン130と;
を具備することを特徴とするエレクトレットコンデンサマイクロホン。 - 前記振動板支持部材80の下部面に形成された前記凹溝84の深さは,5〜25μmであることを特徴とする請求項1に記載のエレクトレットコンデンサマイクロホン。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2020000030483U KR200218653Y1 (ko) | 2000-11-01 | 2000-11-01 | 일렉트렛 콘덴서 마이크로폰 |
PCT/KR2001/001836 WO2002037893A1 (en) | 2000-11-01 | 2001-10-31 | An electret condenser microphone |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004510373A JP2004510373A (ja) | 2004-04-02 |
JP3801985B2 true JP3801985B2 (ja) | 2006-07-26 |
Family
ID=19671125
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002531443A Expired - Fee Related JP3801985B2 (ja) | 2000-11-01 | 2001-10-31 | エレクトレットコンデンサマイクロホン |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6694032B2 (ja) |
EP (1) | EP1332643A4 (ja) |
JP (1) | JP3801985B2 (ja) |
KR (1) | KR200218653Y1 (ja) |
CN (1) | CN1381156A (ja) |
AU (1) | AU2002215232A1 (ja) |
WO (1) | WO2002037893A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4145505B2 (ja) * | 2001-05-10 | 2008-09-03 | 松下電器産業株式会社 | エレクトレットコンデンサマイクロホン及びその製造方法 |
US7065224B2 (en) * | 2001-09-28 | 2006-06-20 | Sonionmicrotronic Nederland B.V. | Microphone for a hearing aid or listening device with improved internal damping and foreign material protection |
KR100469885B1 (ko) * | 2002-07-30 | 2005-02-02 | 주식회사 비에스이 | 반도체 백-일렉트릿의 제조방법 |
KR100469886B1 (ko) * | 2002-07-30 | 2005-02-02 | 주식회사 비에스이 | 콘덴서 마이크로폰용 다층 다이어프램의 제조방법 |
US7016262B2 (en) * | 2003-09-11 | 2006-03-21 | General Phosphorix, Llc | Seismic sensor |
US7035167B2 (en) * | 2003-09-11 | 2006-04-25 | General Phosphorix | Seismic sensor |
EP1686599A4 (en) | 2003-11-20 | 2009-04-15 | Panasonic Corp | ELECTRIC AND ELECTRIC CAPACITOR |
WO2005086534A1 (ja) | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | エレクトレットコンデンサーマイクロフォンユニット |
EP1722595A4 (en) * | 2004-03-05 | 2010-07-28 | Panasonic Corp | ELECTRET condenser |
WO2005086535A1 (ja) | 2004-03-09 | 2005-09-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | エレクトレットコンデンサーマイクロホン |
DE102004030748A1 (de) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Sennheiser Electronic Gmbh & Co. Kg | Elektro-akustischer Backelektret-Wandler |
US7415121B2 (en) * | 2004-10-29 | 2008-08-19 | Sonion Nederland B.V. | Microphone with internal damping |
CN1993000B (zh) * | 2005-12-30 | 2011-09-28 | 财团法人工业技术研究院 | 电声致动器及其制法 |
EP2220875A4 (en) * | 2007-11-20 | 2013-10-30 | Cochlear Ltd | IMPLANTABLE ELECTRIC MICROPHONE |
TWI339188B (en) * | 2007-11-21 | 2011-03-21 | Ind Tech Res Inst | A package structure for mems type microphone and method therefor |
US8855350B2 (en) * | 2009-04-28 | 2014-10-07 | Cochlear Limited | Patterned implantable electret microphone |
WO2011123552A1 (en) | 2010-03-30 | 2011-10-06 | Otologics, Llc | Low noise electret microphone |
CN103513194B (zh) * | 2013-10-06 | 2016-03-02 | 宁波大红鹰学院 | 一种波导耦合磁电器件 |
CN108156564A (zh) * | 2018-02-28 | 2018-06-12 | 深圳捷力泰科技开发有限公司 | 驻极体传声器 |
CN109379684B (zh) * | 2018-10-09 | 2020-05-29 | 歌尔股份有限公司 | 麦克风和电子设备 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4249043A (en) * | 1977-12-02 | 1981-02-03 | The Post Office | Electret transducer backplate, electret transducer and method of making an electret transducer |
JPS5754399Y2 (ja) * | 1978-02-20 | 1982-11-25 | ||
NL7802688A (nl) * | 1978-03-13 | 1979-09-17 | Philips Nv | Inrichting voor het omzetten van akoestische in elektrische trillingen en omgekeerd, voor- zien van tenminste een kondensator elektreet- element aangesloten op een elektronische schakeling. |
JPS5756640Y2 (ja) * | 1978-09-30 | 1982-12-06 | ||
US4188513A (en) * | 1978-11-03 | 1980-02-12 | Northern Telecom Limited | Electret microphone with simplified electrical connections by printed circuit board mounting |
JPS622879Y2 (ja) * | 1981-03-25 | 1987-01-22 | ||
US4492825A (en) * | 1982-07-28 | 1985-01-08 | At&T Bell Laboratories | Electroacoustic transducer |
US4558184A (en) * | 1983-02-24 | 1985-12-10 | At&T Bell Laboratories | Integrated capacitive transducer |
US4891843A (en) * | 1983-02-24 | 1990-01-02 | At&T Technologies, Inc. | Electret microphone |
US4764690A (en) * | 1986-06-18 | 1988-08-16 | Lectret S.A. | Electret transducing |
US4730283A (en) * | 1986-09-15 | 1988-03-08 | Industrial Research Products, Inc. | Acoustic transducer with improved electrode spacing |
NL8702589A (nl) * | 1987-10-30 | 1989-05-16 | Microtel Bv | Elektro-akoestische transducent van de als elektreet aangeduide soort, en een werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijke transducent. |
US4993072A (en) * | 1989-02-24 | 1991-02-12 | Lectret S.A. | Shielded electret transducer and method of making the same |
US5101543A (en) * | 1990-07-02 | 1992-04-07 | Gentex Corporation | Method of making a variable capacitor microphone |
US5272758A (en) * | 1991-09-09 | 1993-12-21 | Hosiden Corporation | Electret condenser microphone unit |
NL9101563A (nl) * | 1991-09-17 | 1993-04-16 | Microtel Bv | Elektroacoustische transducent van het elektreet type. |
FR2697675B1 (fr) * | 1992-11-05 | 1995-01-06 | Suisse Electronique Microtech | Procédé de fabrication de transducteurs capacitifs intégrés. |
US5452268A (en) * | 1994-08-12 | 1995-09-19 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Acoustic transducer with improved low frequency response |
WO1997039464A1 (en) * | 1996-04-18 | 1997-10-23 | California Institute Of Technology | Thin film electret microphone |
CA2256389C (en) * | 1996-05-24 | 2004-11-30 | Armand P. Neukermans | Improved microphones for an implantable hearing aid |
JPH1188992A (ja) * | 1997-09-03 | 1999-03-30 | Hosiden Corp | 集積型容量性変換器及びその製造方法 |
JP3440037B2 (ja) * | 1999-09-16 | 2003-08-25 | 三洋電機株式会社 | 半導体装置、半導体エレクトレットコンデンサマイクロホンおよび半導体エレクトレットコンデンサマイクロホンの製造方法。 |
-
2000
- 2000-11-01 KR KR2020000030483U patent/KR200218653Y1/ko not_active IP Right Cessation
-
2001
- 2001-10-31 EP EP01983834A patent/EP1332643A4/en not_active Withdrawn
- 2001-10-31 US US10/019,887 patent/US6694032B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-10-31 JP JP2002531443A patent/JP3801985B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-10-31 AU AU2002215232A patent/AU2002215232A1/en not_active Abandoned
- 2001-10-31 CN CN01801559A patent/CN1381156A/zh active Pending
- 2001-10-31 WO PCT/KR2001/001836 patent/WO2002037893A1/en active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20030007655A1 (en) | 2003-01-09 |
EP1332643A1 (en) | 2003-08-06 |
KR200218653Y1 (ko) | 2001-04-02 |
AU2002215232A1 (en) | 2002-05-15 |
WO2002037893A1 (en) | 2002-05-10 |
CN1381156A (zh) | 2002-11-20 |
EP1332643A4 (en) | 2009-03-25 |
US6694032B2 (en) | 2004-02-17 |
JP2004510373A (ja) | 2004-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3801985B2 (ja) | エレクトレットコンデンサマイクロホン | |
US20080219482A1 (en) | Condenser microphone | |
US8428281B2 (en) | Small hearing aid | |
US8031890B2 (en) | Electroacoustic transducer | |
JP2008054345A (ja) | 静電マイクロホン | |
US11905164B2 (en) | Micro-electro-mechanical system acoustic sensor, micro-electro-mechanical system package structure and method for manufacturing the same | |
KR101554364B1 (ko) | 리드프레임을 이용한 멤스 마이크로폰 패키지 | |
KR101776752B1 (ko) | 마이크로폰 | |
KR101601140B1 (ko) | 마이크로폰 및 그 제조 방법 | |
JP2005340961A (ja) | 音波受信装置 | |
US9357313B2 (en) | Microphone unit having a plurality of diaphragms and a signal processing unit | |
JP5402320B2 (ja) | マイクロホンユニット | |
JP2007208548A (ja) | 音響センサ | |
JP4244885B2 (ja) | エレクトレットコンデンサー | |
US11665485B2 (en) | Micro-electro-mechanical system acoustic sensor, micro-electro-mechanical system package structure and method for manufacturing the same | |
KR100464700B1 (ko) | 지향성 콘덴서 마이크로폰 | |
KR20090119268A (ko) | 실리콘 콘덴서 마이크로폰 및 이에 사용되는 실리콘칩의제조방법 | |
KR100526022B1 (ko) | 콘덴서 마이크로폰 | |
KR100368502B1 (ko) | 일렉트렛 콘덴서 마이크로폰 | |
JP2006157777A (ja) | エレクトレットコンデンサ型マイクロホン | |
CN219145557U (zh) | 一种麦克风结构及电子设备 | |
JP2002320294A (ja) | 半導体エレクトレットコンデンサマイクロホン | |
US8687827B2 (en) | Micro-electro-mechanical system microphone chip with expanded back chamber | |
KR20020081740A (ko) | 일렉트렛 진동판을 구비한 실리콘 마이크로폰 | |
JP2005086831A (ja) | 空間を効率的に用い、特性を変化させない可変容量マイクロフォン |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050222 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20050523 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050822 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060328 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060426 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20070713 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |