JP3793019B2 - 表面形状計測装置 - Google Patents

表面形状計測装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3793019B2
JP3793019B2 JP2000369835A JP2000369835A JP3793019B2 JP 3793019 B2 JP3793019 B2 JP 3793019B2 JP 2000369835 A JP2000369835 A JP 2000369835A JP 2000369835 A JP2000369835 A JP 2000369835A JP 3793019 B2 JP3793019 B2 JP 3793019B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
distance sensor
calibration
surface shape
distance
calibration member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000369835A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002168609A (ja
Inventor
田 衛 明 八
瀬 康 人 柳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2000369835A priority Critical patent/JP3793019B2/ja
Publication of JP2002168609A publication Critical patent/JP2002168609A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3793019B2 publication Critical patent/JP3793019B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被計測体の表面までの距離を計測することにより被計測体の表面形状を計測する表面形状計測装置に関し、より詳しくは、外部環境が変化したり経年変化が累積したりしても被計測体の表面形状を高い精度で計測できるように表面形状計測装置を改良する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、鉄道車両の集電装置としてパンタグラフが用いられているが、このパンタグラフの上面には架線と摺動接触するすり板が設けられている。このすり板は鉄道車両の走行に伴って次第に摩耗するため、定期的に摩耗量を計測し、摩耗量が限度を超えた場合にはすり板を交換して架線の損傷を防止する必要がある。
【0003】
すり板の摩耗量を計測する作業は、鉄道車両の屋根上に上がった作業者が目視によって若しくは計測器具を用いて手作業で行っており、作業性が悪いばかりでなく安全性の問題や計測精度の問題が伴っていた。そこで最近では、すり板の摩耗量を計測する計測装置を架線の上方に設置し、鉄道車両の走行中若しくは停車中にすり板の摩耗量を自動的に計測するようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
この種の計測装置は、すり板の表面に対して所定間隔を開けて対向する複数の距離センサを枕木方向に並設するとともに、各距離センサから得られる距離データに基づいてすり板の摩耗量を計測する構造になっている。
【0005】
ところが、周囲の温度変化に伴う各構成部品の熱膨張や電気部品の定数変化および経年変化等の累積が避けられないため、各距離センサの計測精度が変化し、すり板の摩耗量の計測精度を低下させる要因となっている。計測装置全体を一定温度に保持する構造とすれば周囲の温度変化に伴う影響は排除できるが、装置が複雑化かつ大型化し、計測装置の重量増およびコスト増を招く。
【0006】
そこで本発明の目的は、上述した従来技術が有する問題点を解消し、距離センサの計測精度を校正することにより被計測体の表面形状を高い精度で計測できるようにするとともに、校正を行わないときには装置全体をコンパクトなものとしつつ、距離センサを校正する作業を自動的に実行可能とした表面形状計測装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決する請求項1に記載の手段は、
複数の距離センサを用いて被計測体の表面までの距離を計測するとともに、前記距離センサからそれぞれ得られた計測データに基づいて前記被計測体の表面形状を計測する表面形状計測装置であって、
既知の表面形状を有する校正部材と、
前記被計測体に対向する位置と前記校正部材に対向する位置との間で前記距離センサを往復回動させる距離センサ変位手段と、
前記距離センサが前記校正部材の表面形状を計測して得られた表面形状計測データと前記校正部材の表面形状とを比較して前記距離センサの計測精度を校正する校正手段と、
前記距離センサが前記被計測体に対向する位置にあるときに前記距離センサ側に接近した接近位置と、前記距離センサが前記校正部材に対向する位置にあるときに前記距離センサと対向しつつ前記距離センサから所定距離だけ離間した校正位置との間で前記校正部材を往復変位させる校正部材変位手段と、を備えることを特徴とする。
【0008】
また、請求項2に記載の手段は、請求項1に記載の表面形状計測装置において、前記校正部材変位手段が、計測しようとしている前記被計測部材と前記距離センサとの間の距離に合わせた前記所定位置に前記校正部材を配置する ことを特徴とする。
【0009】
また、請求項3に記載の手段は、請求項1または2に記載の表面形状計測装置において、前記校正部材変位手段が、前記接近位置にある前記校正部材の表面が鉛直方向下方を向くように前記校正部材を支持することを特徴とする。
【0010】
また、請求項4に記載の手段は、請求項1乃至3のいずれかに記載の表面形状計測装置において、前記距離センサが、収納箱の内側に収納された光学センサであり、かつ前記収納箱に設けた透明部分を介して前記収納箱の外側にある前記被計測体および前記校正位置にある前記校正部材と対向することを特徴とする。
【0011】
また、請求項5に記載の手段は、請求項1乃至4のいずれかに記載の表面形状計測装置に、前記距離センサ、前記距離センサ変位手段および前記校正手段の作動を制御する制御手段をさらに設け、前記制御手段が、前記距離センサを校正する作業を自動的に実行する条件と、前記距離センサ、前記前記距離センサ変位手段および前記校正手段を作動させる手順とを記憶する記憶部を有することを特徴とする。
【0012】
すなわち、本発明の表面形状計測装置は、既知の表面形状を有した校正部材の表面形状を複数の距離センサを用いて計測するとともに、各距離センサから得られた表面形状計測データと校正部材の表面形状データとを比較し、両者の間に相違が有れば校正手段を用いて距離センサの計測精度を校正する。
これにより、周囲の温度変化に伴う各構成部品の熱膨張や電気部品の定数変化および経年変化等が累積しても、距離センサの計測精度を校正することによって距離センサの計測精度を高め、被計測体の表面形状を正確に計測することが可能となる。
そして、距離センサ変位手段を用いて距離センサを被計測部材に対向させることにより被計測部材の表面形状を計測し、かつ距離センサを校正部材に対向させることにより距離センサの校正を行うことができる。
なお、校正手段を用いた各距離センサの校正は、各距離センサ毎にその設定を調整する方法に加え、距離センサから得られた表面形状計測データを補正する方法をも用いることができる。
【0013】
距離センサと校正部材との間隔は、距離センサと被計測部材との間隔に等しいことが校正精度を高める上で好ましい。
ところが、距離センサと被計測部材との間隔が大きい場合には、距離センサと校正部材との間隔も大きくなり、表面形状計測装置が大型化してしまう。
これに対して、本発明の表面形状計測装置においては、校正部材変位手段を用いて校正部材を距離センサに対して接離させるので、校正部材を用いないときには装置全体をコンパクトなものとしつつ、校正部材を用いるときには距離センサと校正部材との間に必要な距離を確保することができる。
【0014】
加えて、被計測部材の種類によって距離センサと被計測部材との間の距離が変化する場合には、校正部材変位手段を用いることにより被計測部材の種類に応じた位置に校正部材を配置して距離センサの校正精度を高めることができる。
【0015】
また、校正部材の校正用表面が鉛直方向上方を向くように校正部材を配置すると、校正用表面上に埃が堆積したり雨水等が付着したりして距離センサの校正精度が低下するおそれがある。
そこで、本発明の表面形状計測装置においては、校正作業を行わないときには校正部材変位手段を用いて校正部材を変位させ、校正部材の校正用表面が鉛直方向下方を向くようにしている。
これにより、校正部材の校正用表面に埃が堆積したり雨水等が付着したりすることを防止して、距離センサの校正精度を高めることができるばかりでなく、校正部材の校正用表面を人手により清掃する必要をなくして省力化を図ることができる。
【0016】
また、本発明の表面形状計測装置においては、距離センサの計測精度を校正する作業を制御手段を用いて自動的に行うことができるから、人手による作業が発生せず、作業の省力化を図ることができる。
さらに、距離センサの計測精度を校正する作業を短い周期で定期的に行うことができるから、被計測部材の表面形状を計測する精度をより一層向上させることができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る表面形状計測装置の各参考例および一実施形態を、図1乃至図5を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明においては、同一の部分には同一の符号を用いてその説明を省略するとともに、鉄道車両の前後進方向を前後方向と、鉄道車両の車体幅方向(枕木方向)を左右方向と、鉛直方向を上下方向と言う。
【0018】
第1参考例
まず最初に図1および図2を参照し、第1参考例の表面形状計測装置について詳細に説明する。
【0019】
図1に示した第1参考例の表面形状計測装置100は、鉄道車両1のパンタグラフ2の上面に設けられて図示されない架線と摺動接触するすり板3の表面形状を計測し、すり板3の摩耗量を計測するためのものである。
【0020】
この表面形状計測装置100は、すり板3の上面に対して所定の間隔を開けて左右方向に水平に並設された複数の距離センサ4を、すり板3の上方に備えている。
これらの距離センサ4は、すり板3の上面に向かって照射したレーザ光の反射を観測することによりすり板3の上面との距離を計測するもので、センサ支持体5内に密閉収納され、かつ透明なガラス板を介してすり板3に対向している。
【0021】
センサ支持体5は、左右一対の支柱6,6間に架け渡された支持レール7上を転動する支持ローラ8によって支持され、すり板3に対向するA位置と支持台11上に載置された校正板(校正部材)12と対向するB位置との間で左右方向に往復変位可能である。
【0022】
校正板12は、すり板3と同等の大きさを有するセラミック製の板材で、その上面(校正用表面)12aは水平な平坦面であり、かつその上面12aとすり板3の上面とが上下方向にほぼ同じ高さとなるように支持台11上に載置されている。
【0023】
支持レール7には、センサ支持体5、したがって距離センサ4を往復変位させるための距離センサ変位手段20が配設されている。
この距離センサ変位手段20は、校正板12の上部に配設した駆動モータ21のスプロケット21aとすり板3の上方に配設したスプロケット22との間にチェーン23を巻き回すととともに、このチェーン23をセンサ支持体5の上部の係合端5aに係合させたものである。
これにより、駆動モータ21を正逆両方向に回転させることによって、センサ支持体5、したがって距離センサ4をA位置とB位置との間で往復変位させることができる。
【0024】
距離センサ4や距離センサ変位手段20の作動は、制御装置(制御手段)30によって制御される。
制御装置30は、ケーブル31を介して距離センサ4に接続され、距離センサ4からの計測データ信号を受信するとともに、距離センサ4の作動を制御しかつ計測精度を校正するための制御信号を送信する。
また、制御装置30は、ケーブル32を介して距離センサ変位手段20の駆動モータ21に接続され、距離センサ変位手段20の作動を制御する。
【0025】
一方、制御装置30は、距離センサ4の計測精度を校正するための校正部(校正手段)33を有している。この校正部33の作動を、図2を参照して以下に説明する。なお距離センサ4は、S1〜S6までの合計6個の距離センサから構成されるものとする。
【0026】
各センサS1〜S6と校正板12の上面12aとの間の距離が「L」である場合、校正板12の上面12aの表面形状を距離センサ4を用いて計測したときに得られる計測データは、図2(a)に示したものとなるはずである。
すなわち、各センサS1〜S6から得られる距離データの値はいずれも「L」のはずである。
【0027】
これに対して図2(b)に示したように、例えばセンサS2から得られる距離データが「L」の値より小さいマイナス側の値を示すとともに、センサS4から得られる距離データが「L」の値より大きいプラス側の値を示す場合は、センサS2およびS4の計測精度を校正する必要がある。
【0028】
すると校正部33は、センサS2およびセンサS6に制御信号を送出してセンサS2およびセンサS6の計測精度を校正し、図2(c)に示したように全てのセンサS1〜S6から得られる距離データの値が「L」となるようにする。
【0029】
したがって、このようにして計測精度が校正された各センサS1〜S6から成る距離センサ4を、距離センサ変位手段20を用いてすり板3側に変位させてすり板3の表面形状を計測すれば、すり板3の表面形状、すなわち架線との摺動接触によって生じたすり板3の摩耗量を正確に知ることができる。
【0030】
すなわち、周囲の温度変化に伴う各構成部品の熱膨張や電気部品の定数変化および経年変化等が累積しても、距離センサ4の計測精度を校正することによって距離センサ4の計測精度を高め、すり板3の表面形状を正確に計測することが可能となる。
【0031】
他方、制御装置30は、すり板3の表面形状を計測する作業、および距離センサ4の計測精度を校正する作業等を自動的に行うための手順を記憶した記憶部34を有している。
この記憶部34は、距離センサ4、距離センサ変位手段20、校正部33を作動させる手順に加えて、すり板3の表面形状計測作業および距離センサ4の校正作業を自動的に実施するスケジュール等のデータを記憶している。
これにより、距離センサ4の計測精度を校正する作業を自動的に行うことができるから、人手による校正作業が発生せず省力化を図ることができる。
さらに、距離センサ4の計測精度を校正する作業を短い周期で定期的に行うことにより、すり板3の表面形状計測精度をより一層向上させることができる。
【0032】
第2参考例
次に図3を参照し、第2参考例の表面形状計測装置ついて説明する。
【0033】
図1に示した第1参考例の表面形状計測装置100においては、校正板12の上面(校正用表面)12aが常に鉛直方向上方を向いている。
これにより、校正板12の上面12aに埃が堆積したり雨水が付着したりすると、距離センサ4の校正精度が低下するおそれがある。
そこで、本第2参考例の表面形状計測装置200においては、校正板変位手段(校正部材変位手段)40を用いて校正板12を上下方向に反転させ、校正作業を行わないときには校正板12の上面12aが鉛直方向下方を向くようにしている。
【0034】
すなわち、支柱6に取り付けられた支持台41には、校正板12を取り付けた回転板42が水平支軸43によって回転自在に装着されている。
さらに、水平支軸43に設けたスプロケット44および駆動モータ45に設けたスプロケット46間にはチェーン47が巻き回されている。
これにより、駆動モータ45を作動させることによって、図3(a)に示したように校正板12の上面12aが鉛直方向上方を向く位置と、図3(b)に示したように校正板12の上面12aが鉛直方向下方を向く位置との間で、校正板12を上下に反転させることができる。
【0035】
したがって、本第2参考例の表面形状計測装置200によれば、校正板12の上面(校正用表面)12aに埃が堆積したり雨水等が付着したりすることを防止できるから、距離センサ4の校正精度を高めることができるばかりでなく、校正板12の上面12aを人手により清掃する必要がなく省力化を図ることができる。
【0036】
なお、校正板12の向きを反転させることに代えて、校正板12を保護する保護カバーを設けるとともに、この保護カバーが校正板12を覆う保護位置と校正板12を覆わない校正位置との間で往復変位させることにより、校正板12の上面(校正用表面)12aに埃が堆積したり雨水等が付着したりすることを防止することも考えられる。
【0037】
第3参考例
次に図4および図5を参照し、第3参考例の表面形状計測装置について説明する。
【0038】
第3参考例の表面形状計測装置300においては、図4に示したように、距離センサ4および校正板12が共に単一の収納箱50内に配置されている。 収納箱50の上壁51から垂下された左右一対の支持腕52,52には、距離センサ4を支持するセンサ支持体5が水平支軸53によって回動自在に支持されている。
収納箱50の下壁54には透明なガラス板(透明部分)55が装着され、光学レーザ変位計等の距離センサ4はこのガラス板55を介してすり板3と対向することができる。
校正板12は収納箱50の一方の側壁56に取り付けられている。
なお、距離センサ4と校正板12との間の距離は、距離センサ4とすり板3との間の距離に等しい。
【0039】
収納箱50内には、センサ支持体5、したがって距離センサ4を往復回動させる距離センサ変位手段60が設けられている。
この距離センサ変位手段60は、収納箱50の他方の側壁57に装着された駆動モータ61のスプロケット62と支軸53に取り付けたスプロケット63との間に巻き回したチェーン64を有している。
これにより、駆動モータ61を作動させることによって、図4に示したように距離センサ4が鉛直方向下方を向いてすり板3と対向する位置と、図5に示したように距離センサ4が水平方向を向いて校正板12と対向する位置との間で、距離センサ4を往復回動させることができる。
【0040】
すなわち、本第3参考例の表面形状計測装置300においては、距離センサ4および校正板12を単一の収納箱50内に密閉収納しているので距離センサ4および校正板12を同一環境条件下に置くことができ、日照による照度変化や温度変化、雨水、埃等の影響を排除することができる。
これにより、距離センサ4の計測精度を高い精度で校正することができるから、すり板3の表面形状をより一層高い精度で計測することができる。
【0041】
実施形態
次に図6を参照し、本発明に係る表面形状計測装置の一実施形態について説明する。
【0042】
上述した第3参考例においては距離センサ4および校正板12の両方を収納箱50内に配置しているので、距離センサ4と校正板12との間の距離を大きく取る必要がある場合には収納箱50が大型化する。
そこで本実施形態の表面形状計測装置400においては、距離センサ4のみを収納箱70内に配置するとともに、校正板12を校正板変位手段80によって支持することにより距離センサ4に対して接離自在としている。
【0043】
距離センサ4は、前述した距離センサ変位手段60の作動によって、図6(a)に示したように鉛直方向下方を向く位置と図6(b)に示したように水平方向を向く位置との間で往復回動することができる。
距離センサ4は、図6(a)に示したように鉛直方向下方を向くと収納箱70の下壁71に設けたガラス板72を介してすり板3に対向し、かつ図6(b)に示したように水平方向を向くと収納箱70の側壁73に設けたガラス板74を介して校正板12に対向する。
【0044】
校正板変位手段80は、収納箱70の下端に水平支軸81によって揺動自在に支持されたL字形リンク82と、収納箱70の上面に取り付けられた駆動モータ83によって鉛直面内で揺動する直線リンク84、および両リンク82,84によってその両端が相対揺動自在に軸支されたリンク85とを有している。そして、校正板12はL字形リンク82の先端に取り付けられている。
【0045】
図6(a)に示したように距離センサ4を用いてすり板3の表面形状を計測する際には校正板12は必要としない。そこで、校正板変位手段80を折り畳んで校正板12を距離センサ4側に接近させ、収納箱70の上方に配置する。
このとき、校正板12は鉛直方向下方を向いているので、その校正用表面12aに埃等が付着することを防止できる。
【0046】
これに対して図6(b)に示したように校正板12を用いて距離センサ4の計測精度を校正する際には、校正板変位手段80を伸張させ、校正板12を距離センサ4に対して所定の間隔を開けて離間させる。
なお、距離センサ4と校正板12との間の距離は、距離センサ4とすり板3との間の距離に等しくする。
【0047】
すなわち、本実施形態の表面形状計測装置400においては、距離センサ4のみを収納箱70内に配置するので、距離センサ4と校正板12の間の距離を大きく取る必要があるときでも収納箱70が大型化することがない。
また、収納箱70に設けた校正板変位手段80を用いて校正板12を収納箱70、すなわち距離センサ4に対して接離させるので、校正板12を用いないときには装置全体をコンパクトなものとしつつ、校正板12を用いるときには距離センサ4と校正板12との間に必要な距離を確保することができる。
【0048】
以上、本発明に係る表面形状計測装置の各実施形態ついて詳しく説明したが、本発明は上述した実施形態によって限定されるものではなく、種々の変更が可能であることは言うまでもない。
また、上述した実施形態においては、校正板を距離センサから離間させて固定する位置が一ヶ所だけとなっている。
これに対して、距離センサと被計測体(すり板)との間の距離が変化する場合には、校正板変位手段の構造を変え、校正板を距離センサから離間させて固定する位置を距離センサと被計測体との間の距離に合わせることもできる。
【0049】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の表面形状計測装置は、既知の表面形状を有した校正部材の表面形状を複数の距離センサを用いて計測するとともに、距離センサから得られた表面形状計測データと校正部材の表面形状データとを比較し、両者の間に相違が有れば校正手段を用いて距離センサの計測精度を校正するものである。
これにより、周囲の温度変化に伴う各構成部品の熱膨張や電気部品の定数変化および経年変化等が累積しても、距離センサの計測精度を校正することによって距離センサの計測精度を高め、被計測体の表面形状を正確に計測することが可能となる。
【0050】
また、本発明の表面形状計測装置は、校正部材変位手段を用いて校正部材を距離センサに対して接離させるので、校正部材を用いないときには装置全体をコンパクトなものとしつつ、校正部材を用いるときには距離センサと校正部材との間に必要な距離を確保することができる。
加えて、被計測部材の種類によって距離センサと被計測部材との間の距離が変化する場合には、校正部材変位手段を用いることにより被計測部材の種類に応じた位置に校正部材を配置して距離センサの校正精度を高めることができる。
【0051】
また、本発明の表面形状計測装置は、校正作業を行わないときには校正部材変位手段を用いて校正部材を変位させ、校正部材の校正用表面が鉛直方向下方を向くようにするので、校正部材の校正用表面に埃が堆積したり雨水等が付着したりすることを防止し、距離センサの校正精度を高めることができるばかりでなく、校正部材の校正用表面を人手により清掃する必要をなくして省力化を図ることができる。
【0052】
また、本発明の表面形状計測装置は、距離センサの計測精度を校正する作業を自動的に行うことができるから、人手による作業が発生せず省力化を図ることができるばかりでなく、距離センサの計測精度を校正する作業を短い周期で定期的に行うことにより、被計測部材の表面形状計測精度をより一層向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1(a)は本発明に係る第1参考例の表面形状計測装置を示す正面図であり、図1(b)はその平面図。
【図2】 図1(b)中に示した校正部の作用を説明する図。
【図3】 本発明に係る第2参考例の表面形状計測装置を示す正面図。
【図4】 図4(a)は本発明に係る第3参考例の表面形状計測装置において距離センサが被計測体と対向した状態を示す側面断面図であり、図4(b)は図4(a)中に示した破断線に沿った正面断面図。
【図5】 図5(a)は本発明に係る第3参考例の表面形状計測装置において距離センサが校正板と対向した状態を示す側面断面図であり、図5(b)は図5(a)中に示した破断線に沿った正面断面図。
【図6】 図6(a)は本発明に係る一実施形態の表面形状計測装置において距離センサが被計測体と対向した状態を示す側面断面図であり、図6(b)は距離センサが校正板と対向した状態を示す側面断面図。
【符号の説明】
1 鉄道車両
2 パンタグラフ
3 すり板
4 距離センサ
5 センサ支持体
6 支柱
7 支持レール
8 支持ローラ
11 支持台
12 校正板
12a 上面(校正用表面)
20 距離センサ変位手段
21 駆動モータ
22 スプロケット
23 チェーン
30 制御装置
31,32 ケーブル
33 校正部
34 記憶部
40 校正部材変位手段
41 支持台
42 回転板
43 水平支軸
44 スプロケット
45 駆動モータ
46 スプロケット
47 チェーン
50 収納箱
51 上壁
52 支持腕
53 支軸
54 下壁
55 ガラス板
56 側壁
57 側壁
60 距離センサ変位手段
61 駆動モータ
62,63 スプロケット
64 チェーン
70 収納箱
71 下壁
72 ガラス板
73 側壁
74 ガラス板
80 校正板変位手段
81 水平支軸
82 L字形リンク
83 駆動モータ
84,85 リンク
100 第1参考例の表面形状計測装置
200 第2参考例の表面形状計測装置
300 第3参考例の表面形状計測装置
400 一実施形態の表面形状計測装置

Claims (5)

  1. 複数の距離センサを用いて被計測体の表面までの距離を計測するとともに、前記距離センサからそれぞれ得られた計測データに基づいて前記被計測体の表面形状を計測する表面形状計測装置であって、
    既知の表面形状を有する校正部材と、
    前記被計測体に対向する位置と前記校正部材に対向する位置との間で前記距離センサを往復回動させる距離センサ変位手段と、
    前記距離センサが前記校正部材の表面形状を計測して得られた表面形状計測データと前記校正部材の表面形状とを比較して前記距離センサの計測精度を校正する校正手段と、
    前記距離センサが前記被計測体に対向する位置にあるときに前記距離センサ側に接近した接近位置と、前記距離センサが前記校正部材に対向する位置にあるときに前記距離センサと対向しつつ前記距離センサから所定距離だけ離間した校正位置との間で前記校正部材を往復変位させる校正部材変位手段と、
    を備えることを特徴とする表面形状計測装置。
  2. 前記校正部材変位手段は、計測しようとしている前記被計測部材と前記距離センサとの間の距離に合わせた前記校正位置に前記校正部材を配置することを特徴とする請求項1に記載の表面形状計測装置。
  3. 前記校正部材変位手段は、前記接近位置にある前記校正部材の表面が鉛直方向下方を向くように前記校正部材を支持することを特徴とする請求項1または2に記載の表面形状計測装置。
  4. 前記距離センサは、収納箱の内側に収納された光学センサであり、かつ前記収納箱に設けた透明部分を介して前記収納箱の外側にある前記被計測体および前記校正位置にある前記校正部材と対向することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の表面形状計測装置。
  5. 前記距離センサ、前記距離センサ変位手段および前記校正手段の作動を制御する制御手段をさらに備え、
    前記制御手段は、前記距離センサを校正する作業を自動的に実行する条件と、前記距離センサ、前記前記距離センサ変位手段および前記校正手段を作動させる手順とを記憶する記憶部を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の表面形状計測装置。
JP2000369835A 2000-12-05 2000-12-05 表面形状計測装置 Expired - Fee Related JP3793019B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000369835A JP3793019B2 (ja) 2000-12-05 2000-12-05 表面形状計測装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000369835A JP3793019B2 (ja) 2000-12-05 2000-12-05 表面形状計測装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002168609A JP2002168609A (ja) 2002-06-14
JP3793019B2 true JP3793019B2 (ja) 2006-07-05

Family

ID=18839813

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000369835A Expired - Fee Related JP3793019B2 (ja) 2000-12-05 2000-12-05 表面形状計測装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3793019B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1798516A1 (en) * 2005-12-14 2007-06-20 Aktiebolaget SKF Method for generating a relation between an output signal of a distance gauge and a distance between the distance gauge and a measuring surface of a mechanical element
JP6071302B2 (ja) * 2012-07-26 2017-02-01 オリンパス株式会社 キャリブレーション装置およびプログラム
NL2014195B1 (en) 2015-01-27 2017-01-11 Vmi Holland Bv Validation tool and method for validating optical equipment.

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002168609A (ja) 2002-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101086868B1 (ko) 교량용 탄성받침의 변형량 측정 및 점검장치
RU2569069C2 (ru) Устройство для мониторинга состояния железнодорожной линии питания
CN110193837A (zh) 轨道巡检机器人
JP3793019B2 (ja) 表面形状計測装置
CN106949841B (zh) 自动点检卡匣支撑下垂量的测量装置
CN206914356U (zh) 动态测量钢轨端部轨头直线度装置
CN207775704U (zh) 一种道路桥梁施工测量装置
KR102487192B1 (ko) 차체 형상 측정 시스템
EP1787854A1 (en) Vehicle measuring railway line parameters
CN111322968B (zh) 一种新型地面平整度检测装置
KR101786736B1 (ko) 모델링된 교량시편을 이용한 교량 안전성 시험장치
CN107388930A (zh) 一种工件长度的测量工具及其测量方法
CN202092622U (zh) 爪极凸台高度测量装置
JP2002303611A (ja) トンネル覆工コンクリートの非破壊検査方法及び装置
CN115808134A (zh) 碳化硅晶体表面曲度测量系统和方法
CN206488741U (zh) 一种静压导轨直线度测量装置
CN212721389U (zh) 平台秤表面水平检定装置
TWI805905B (zh) 形狀測量裝置及形狀測量方法
JP3638724B2 (ja) 架線測定装置と渡り線測定方法
CN103292702A (zh) 一种硅棒几何尺寸测量仪
KR20080105585A (ko) 용접이면의 변형량 측정장치
JPH1172326A (ja) 路面形状測定装置
KR101269487B1 (ko) 플로팅 센서 유닛의 간극 제어장치 및 그 제어방법
CN216206098U (zh) 一种保温材料施工用墙面平整度测量装置
CN208530590U (zh) 一种带远程监控和无线数据传输功能的轨检仪

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20041220

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050412

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050613

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060331

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060406

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100414

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees