JP3770945B2 - 入射角が可変な光学膜を有する光デバイス - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的に、光通信システム等の光システムに適用可能な光デバイスに関し、さらに詳しくは、光学膜を有する光デバイスにおける光学膜への入射角を変化させるための構造に関する。
【０００２】
近年、シリカファイバを光伝送路とした光通信システムが実用化されており、この種の光通信システムに適用される光デバイスの小型化及び低コスト化が要求されている。
【０００３】
【従来の技術】
光ビームが伝搬する光学媒質中に、この光学媒質と異なる屈折率の単一又は複数の層からなる光学膜を配することによって、帯域通過フィルタ、長波長通過フィルタ、短波長通過フィルタ、その他の機能が生じることが知られている。例えば、光通信システムに用いられる帯域通過フィルタは、予め定められた厚みを有する低屈折率層及び高屈折率層を交互に積層することによって得られる。低屈折率層及び高屈折率層の材質は例えばそれぞれＳｉＯ2 及びＴｉＯ2 である。
【０００４】
Ｅｒ（エルビウム）等の希土類元素がドープされたドープファイバを備えた光増幅器においては、増幅された信号光を不要な雑音光から取り出すために、精度の高い特性を有する帯域通過フィルタが必要とされる。また、波長分割多重（ＷＤＭ）システムにおいては、近接した波長チャネルの複数の信号光を加え合わせ或いは分離するために、精度の高い特性を有する帯域通過フィルタが必要とされる。
【０００５】
光学膜を製造するに際して、光学膜の厚み或いは光学膜を構成している各層の厚みを厳密に制御することによって、精度の高い特性を得ることができる。しかしながら、例えば帯域通過フィルタにおいて、その製造技術のみによって透過中心波長を１ｎｍのオーダで制御するのには困難性が伴う。
【０００６】
そこで、従来は、光学膜の製造に際して厚みを制御することに加えて、製造された光学膜への入射角を調整して光学膜或いは各層の等価的光学厚みを変化させ、これにより光学膜の特性を微調整していた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
光学膜への入射角を変化させるためのメカニズムは、大きくしかも複雑になりがちであり、このようなメカニズムを備えた光デバイスが大型化、高コスト化するという問題があった。
【０００８】
よって、本発明の目的は、入射角が可変な光学膜を有する小型化及び低コスト化に適した光デバイスを提供することにある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明によれば、励振ポートから放射された光を平行ビームに変換して光路上に出力するコリメート手段と、上記平行ビームが通過するように設けられた光学膜と、上記光路に対して傾斜した軸を有し該軸を中心に上記光学膜を回転可能に支持するサポート手段とを備え、上記光学膜は上記軸と直交する平面に対して傾斜して配置され、上記励振ポートは光ファイバの励振端であり、上記コリメート手段は上記光ファイバの励振端に対向してレンズを設けて構成され、上記コリメート手段は、上記光ファイバが挿入される細孔を有するフェルールと、該フェルール及び上記レンズを支持する第１のスリーブとを含み、上記サポート手段は、上記第１のスリーブに対して回転可能に設けられる第２のスリーブと、該第２のスリーブの端面上に固着される第１面及び上記光学膜が形成される第２面を有する透明プレートとを含み、上記フェルールは上記軸に平行又は一致する中心軸を有し、上記細孔は該中心軸に対して偏心しており、これにより上記光路が上記軸に対して傾斜する光デバイスが提供される。
【００１０】
本発明の光デバイスにおいては、サポート手段の軸を中心に光学膜を回転させることによって、光学膜への入射角が変化する。従って、簡単な構造で入射角を変化させることができ、光デバイスの小型化及び低コスト化が可能になる。
【００１１】
上記光路と上記軸とがなす角を第１の傾斜角と称し、上記光学膜と上記平面とがなす角を第２の傾斜角と称することにすると、光学膜への入射角の可変範囲の上限は第１の傾斜角と第２の傾斜角の和で与えられ、下限は第１の傾斜角と第２の傾斜角の差の絶対値で与えられる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従って詳細に説明する。
図１は本発明の第１実施形態を示す光デバイスの縦断面図である。励振ポートは光ファイバ２の励振端２Ａであり、光ファイバ２を伝搬してきた光は、励振端２Ａから放射される。
【００１３】
励振端２Ａから放射された光を平行ビームに変換して光路ＯＰ上に出力するコリメート手段は、励振端２Ａに対向して設けられるレンズ４を含む。
コリメート手段は、さらに、光ファイバ２が挿入される細孔６Ａを有するフェルール６と、フェルール６及びレンズ４を支持するスリーブ８とを含む。光ファイバ２は、その励振端２Ａがフェルール６の端面に一致するように細孔６Ａに挿入固定される。光ファイバ２の固定には例えば光学接着剤が使用される。
【００１４】
スリーブ８は、比較的小径な挿入孔８Ａと比較的大径な挿入孔８Ｂとをこの実施例では同軸上に有している。レンズ４は例えば圧入により挿入孔８Ａ内に固定され、フェルール６は、励振端２Ａから放射された光がレンズ４によってほぼ平行ビームに変換されるような位置まで挿入孔８Ａ内に挿入され、例えばレーザ溶接によりスリーブ８に固定される。
【００１５】
フェルール６は中心軸ＣＡを仮想的に有しており、細孔６Ａは中心軸ＣＡに対して偏心している。これにより、コリメート手段が出力する平行ビームの光路ＯＰは中心軸ＣＡに対して傾斜する。
【００１６】
光学膜１４を支持するサポート手段は、光路ＯＰに対して傾斜した軸ＡＯＳを仮想的に有しており、光学膜１４は軸ＡＯＳを中心に回転可能である。サポート手段は、スリーブ８の挿入孔８Ｂの径よりもわずかに小さい外径を有するスリーブ１０を含む。
【００１７】
スリーブ１０の一方の端面１０Ａはサポート手段の軸ＡＯＳに対して垂直であり、他方の端面１０Ｂは軸ＡＯＳと垂直な面に対して傾斜している。スリーブ１０は、その端面１０Ａがスリーブ８の挿入孔８Ａ及び８Ｂ間の段差部に当接するようにスリーブ８に摺動可能に挿入されている。この例では、挿入孔８Ａ及び８Ｂが同軸上にあるので、サポート手段の軸ＡＯＳはフェルール６の中心軸ＣＡに一致する。挿入孔８Ｂを挿入孔８Ａに対して偏心させて、軸ＡＯＳと中心軸ＣＡが互いに平行になるようにしてもよい。
【００１８】
サポート手段はさらにガラス等からなる透明プレート１２を含む。透明プレート１２は、その外周縁部がスリーブ１０の傾斜端面１０Ｂに固着される第１面１２Ａと、そのほぼ全面に光学膜１４が形成される第２面１２Ｂとを有している。第１面１２Ａ及び第２面１２Ｂはこの実施形態では互いに平行である。
【００１９】
スリーブ１０が傾斜端面１０Ｂを有していること及び透明プレート１２の両面１２Ａ及び１２Ｂが互いに平行であることにより、光学膜１４はサポート手段の軸ＡＯＳに対して傾斜している。光学膜１４としては、例えば、ＳｉＯ2 の低屈折率層とＴｉＯ2 の高屈折率層とを交互に積層してなる誘電体多層膜を用いることができる。
【００２０】
光学膜１４の回転中心となるサポート手段の軸ＡＯＳが光路ＯＰに対して傾斜しており、且つ、光学膜１４が軸ＡＯＳと直交する平面に対して傾斜していることに基づき、スリーブ１０をスリーブ８に対して回転させることによって光学膜１４における入射角を変化させることができる。入射角は、屈折率が異なる二媒質間の境界面への入射光線とその入射点における境界面の垂線とがなす角によって定義される。
【００２１】
次に、光学膜１４における入射角の可変原理及び可変範囲について考察する。図１において、δは光路ＯＰに対するサポート手段の軸ＡＯＳの傾斜角を表し、θは軸ＡＯＳと直交する平面に対する光学膜１４の傾斜角を表している。
【００２２】
スリーブ１０がスリーブ８に対して回転可能であるという状況の下で、スリーブ８及び１０の相対的位置関係において、光路ＯＰとサポート手段の軸ＡＯＳとを含む面が光学膜１４に直交するという条件を満足するものは２通りある。
【００２３】
図２の（Ａ）及び図２の（Ｂ）はそれぞれその条件を満足する場合を示している。レンズ４、フェルール６及びスリーブ８が同一位置にあるとした場合、図２の（Ｂ）におけるスリーブ１０の位置は図２の（Ａ）におけるスリーブ１０を１８０°回転させた位置に対応している。
【００２４】
図２の（Ａ）に示される条件は最大入射角を与え、その値はθ＋δである。図２の（Ｂ）に示される条件は最小入射角を与え、その値は｜θ−δ｜である。
図２の（Ａ）に示される状態と図２の（Ｂ）に示される状態との間でスリーブ１０を回転していくと、光路ＯＰとサポート手段の軸ＡＯＳとを含む平面は光学軸１４に垂直な面に対して次第に傾斜してゆき、これに伴い、入射角は最大入射角と最小入射角との間で連続的に変化する。
【００２５】
このように、スリーブ１０について回転方向の位置調整を行うことによって、入射角を最大入射角と最小入射角との間で任意に設定することができる。例えば、δ＝４°，θ＝８°である場合、入射角は４°乃至１２°の範囲で調整可能である。
【００２６】
尚、上述の最大入射角及び最小入射角は正確には透明プレート１２の内面（第１面１２Ａ）についてのものであるが、透明プレート１２の外面（１２Ｂ）上に形成される光学膜１４に対しても近似的に適合するものである。
【００２７】
上述の実施形態においては、スリーブ１０がスリーブ８に対して自由に回転することができるようになっているが、所望の入射角或いは膜特性が得られたところでその入射角を維持するために、スリーブ１０をスリーブ８に対してロックする手段を設けてもよい。或いは、スリーブ１０は所望の入射角が得られたところでスリーブ８に対してレーザ溶接等により固定されてもよい。
【００２８】
本発明は、傾斜角δ及びθの両方が０°でないということのみによって限定される。即ち、傾斜角δ及びθの少なくともいずれか一方が０°である場合には、最大入射角と最小入射角とが等しくなり、スリーブ１０を回転させたとしても入射角は一定になる。
【００２９】
図３により入射角の変化に伴う光学膜の特性の変化の例を説明する。図３は、光学膜が光バンドパスフィルタの機能をなすとした場合における透過中心波長の変化と入射角との関係を表すグラフである。
【００３０】
入射角が増大するのに従って透過中心波長が連続的に変化していることが明らかである。このように、本発明のメカニズムにより入射角を変化させることによって、光学膜の所望の特性を得ることができる。また、図１の第１実施形態においては、スリーブ１０を回転させるためのメカニズムが極めてシンプルであるので、光デバイスの小型化及び低コスト化が可能になる。
【００３１】
図４は本発明の第２実施形態を示す光デバイスの縦断面図である。この実施形態では、図１のスリーブ１０及び透明プレート１２に代えて、それぞれ、互いに平行な両端面を有するスリーブ１０′と、光学膜１４が形成される一方の面が他方の面に対して傾斜している透明プレート１２′とが用いられている。これにより、図１の第１実施形態におけるのと同様に、サポート手段の軸ＡＯＳに垂直な面に対して光学膜１４を傾斜させることができる。
【００３２】
また、光路ＯＰに対して軸ＡＯＳを傾斜させるために、図１の第１実施形態と同様に、光ファイバ２が挿入されるフェルール６の細孔６Ａをフェルール６の中心軸ＣＡに対して偏心させている。
【００３３】
スリーブ１０′をスリーブ８に対して回転させることにより、前述した原理と同様の原理に従って、入射角が変化する。また、光学膜を回転可能に支持するためのメカニズムは極めてシンプルである。従って、この実施形態によっても、入射角が可変な光学膜を有する小型化及び低コスト化に適した光デバイスの提供が可能になる。
【００３４】
図５は本発明の第３実施形態を示す光デバイスの縦断面図である。光ファイバ２を支持するフェルール６′は、その中心に光ファイバ２が挿入される細孔６Ａ′を有している。従って、励振ポートとなる光ファイバ２の励振端２Ａはフェルール６′の中心軸ＣＡ上に位置する。
【００３５】
レンズ４及びフェルール６′は滑らかな外周面を有するスリーブ８′によってその内部に同軸上で保持される。このままでは、レンズ４によってコリメートされた平行ビームの光路をサポート手段の軸に対して傾斜させることができないので、スリーブ８′の端面には三角柱プリズム１６が固着されており、これによりコリメート手段から出力される平行ビームの光路ＯＰをサポート手段の軸に対して傾斜させている。
【００３６】
スリーブ８′の端面に三角柱プリズム１６を固着していることにより、サポート手段に含まれるスリーブをスリーブ８′に挿入することができないので、この実施形態では、逆にスリーブ８′をスリーブ１０′′に摺動可能に挿入している。
【００３７】
スリーブ１０′′の傾斜端面上には透明プレート１２が固着され、その上に光学膜１４が形成されている。
光学膜１４の回転中心となるサポート手段の軸ＡＯＳは、フェルール６′の中心軸ＣＡと一致する。
【００３８】
上述のような構成によると、光路ＯＰをサポート手段の軸ＡＯＳに対して傾斜させることができ、且つ、光学膜１４を軸ＡＯＳに垂直な面に対して傾斜させることができるので、スリーブ１０′′をスリーブ８′に対して回転させることによって、入射角を調整することができる。また、回転のためのメカニズムが極めてシンプルであるので、光デバイスの小型化及び低コスト化が可能になる。
【００３９】
図６は本発明の第４実施形態を示す光デバイスの縦断面図である。この実施形態では、図５の第３実施形態におけるのと同じフェルール６′が用いられており、レンズ４によってコリメートされた平行ビームの光路ＯＰは、フェルール６′の中心軸ＣＡに一致している。
【００４０】
サポート手段の軸ＡＯＳを光路ＯＰに対して傾斜させるために、スリーブ１０をスリーブ８′′に斜めに挿入している。
即ち、スリーブ８′′は、レンズ４及びフェルール６′を挿入して固定するための比較的小径な挿入孔８Ａと、挿入孔８Ａに対して傾斜するように形成されるスリーブ１０を挿入するための比較的大径な挿入孔８Ｂ′とを有している。
【００４１】
サポート手段の軸ＡＯＳに垂直な面に対して光学膜１４が傾斜しているのはこれまでの実施例と同様である。
スリーブ１０をスリーブ８′′に対して回転させることによって、光学膜１４に対する入射角を調整することができる。また、スリーブ１０をスリーブ８′′に対して回転させるためのメカニズムは極めてシンプルであるので、光デバイスの小型化及び低コスト化が可能になる。
【００４２】
図７及び図８はそれぞれ本発明の第５実施形態を示す光デバイスの縦断面図及び横断面図である。図８の横断面図の断面位置は、図７におけるＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿っている。
【００４３】
光ファイバ２は、フェルール６′の中心細孔６Ａ′に挿入固定されている。レンズ４及びフェルール６′はスリーブ８′により同軸上に保持されており、スリーブ８′は例えばレーザ溶接により基板１８上に固定されている。
【００４４】
レンズ４によりコリメートされた平行ビームの光路ＯＰは、フェルール６′の中心軸ＣＡに一致する。
サポート手段の軸ＡＯＳを光路ＯＰに対して傾斜させるために、スリーブ１０は基板１８上に斜めに形成された溝１８Ａ内に摺動可能に着座している。溝１８Ａは、光路ＯＰに対して一定角度で傾斜した母線の軌跡として定義される概略半円柱形状を有している。上記母線はサポート手段の軸ＡＯＳに対して平行である。
【００４５】
光学膜１４をサポート手段の軸ＡＯＳと垂直な平面に対して傾斜させるために、透明プレート１２はスリーブ１０の傾斜端面に固着される。
スリーブ１０を溝１８Ａ内で回転させることにより、光学膜１４における入射角を調整することができる。所望の入射角或いは膜特性が得られたところでスリーブ１０を基板１８に対して例えばレーザ溶接により固定することによって、その入射角を維持することができる。図示された例では、スリーブ１０の外径よりも溝１８Ａの方が大径であるが、これらをほぼ一致させておくことによって、光学膜１４の回転中心、即ちサポート手段の軸ＡＯＳの軸ぶれを小さくすることができる。
【００４６】
このように本実施形態によっても入射角が可変な光学膜を有する小型化及び低コスト化に適した光デバイスの提供が可能になる。
図９は図７及び図８の第５実施形態の変形例を示す光デバイスの横断面図である。ここでは、概略半円柱形状の溝１８Ａ（図８参照）に代えて、角柱形状の溝１８Ｂが基板１８に形成されている。
【００４７】
溝１８Ｂの長手方向（図９の紙面に垂直な方向）は光路ＯＰ（図７参照）に対して傾斜しており、溝１８Ｂの幅はスリーブ１０の外径よりも小さく設定されている。スリーブ１０は、その外周面が溝１８Ｂ上で溝１８Ｂの一対の互いに平行な縁に接触する状態で基板１８に対して摺動可能に設けられている。
【００４８】
このように互いに平行な溝１８Ｂの一対の縁によりスリーブ１０を支持することによって、スリーブ１０の正確な位置の確定が可能になる。
図１０は本発明の第６実施形態を示す光デバイスの縦断面図である。この光デバイスはＥｒ（エルビウム）等の希土類元素がドープされたドープファイバを備えた光増幅器の一部として使用可能である。
【００４９】
励振ポートは光ファイバ２の励振端２Ａであり、光ファイバ２はフェルール６によって偏心して保持されている。レンズ４はレンズホルダ（スリーブ）２０に挿入して固定されており、フェルール６はレンズホルダ２０に所定の位置まで挿入されて例えばレーザ溶接により固定されている。
【００５０】
レンズホルダ２０はスリーブ２１に挿入して固定され、スリーブ２１はハウジング２２に固定されている。スリーブ２１は円柱形の光アイソレータ２４を介してスリーブ２６に結合されている。
【００５１】
スリーブ２６は傾斜端面２６Ａを有しており、光学膜１４が形成される透明プレート１２は傾斜端面２６Ａに固着されている。
光アイソレータ２４はスリーブ２０に対しては固定されているが、スリーブ２６は光アイソレータ２４に対して摺動させて回転可能である。従って、スリーブ２６を回転させることによって、光学膜１４における入射角を調整可能である。
【００５２】
光学膜１４を透過した平行ビームは、カプラ膜２８によって反射ビームと透過ビームとに分岐される。
カプラ膜２８はガラス板３０上に形成されており、ガラス板３０はホルダ３２によって保持されている。ホルダ３２はハウジング２２に固定されている。
【００５３】
ホルダ３２にはレンズホルダ４０が挿入固定され、その内部にはレンズ４２が設けられている。レンズホルダ４０にはまたフェルール４４が挿入固定されており、出力側の光ファイバ４６がフェルール４４によって保持されている。
【００５４】
カプラ膜２８の透過ビームはレンズ４２によって収束されて光ファイバ４６の励振端４６Ａに結合される。
カプラ膜２８の反射ビームは、ハウジング２２に形成された開口２２Ａを介してフォトダイオード４８の受光領域に入射する。フォトダイオード４８はハウジング２２の外面に固着されている。
【００５５】
光ファイバ２の上流側には、図示しないポンプ光源によってポンピングされている同じく図示しないドープファイバが接続される。波長１．５５μｍ帯の信号光を増幅するためのドーパントとしては例えばＥｒが選択され、この場合ポンプ光の波長は例えば１．４８μｍ帯に設定される。
【００５６】
増幅された信号光のパワーをフォトダイオード４８によりモニタリングするために、光学膜１４として、光帯域通過フィルタの機能をなすものが用いられる。波長分割多重（ＷＤＭ）システムに適用される信号光の波長は１ｎｍのオーダまで正確である。従って、当該信号光のパワーを正確にモニタリングするためには、光学膜１４（光帯域通過フィルタ）の透過中心波長を１ｎｍ以下の精度で設定することが望ましい。
【００５７】
図１１は光帯域通過フィルタにおける透過損失（ｄＢ）と波長（ｎｍ）との関係の例を示すグラフである。
例えば信号光の波長が１５５２ｎｍに設定されている場合、図１０の光デバイスにおいては、光学膜１４に対しては符号５０で示されるような特性が要求される。
【００５８】
このような特性を光学膜の製造条件のみによって設定するのは困難である。図１０の光デバイスにおいては、スリーブ２６を回転させて光学膜１４における入射角を調整することによって、光学膜１４の特性を符号５２で示される特性と符号５４で示される特性との間で変化させることができ、高精度な特性を有する光帯域通過フィルタの製造条件を緩和することができる。
【００５９】
カプラ膜２８における反射ビームと透過ビームのパワー比は例えば１：２０である。フォトダイオード４８によるモニタリング結果は、例えば自動レベルコントロール（ＡＬＣ）に用いられる。一般的なＡＬＣループでは、フォトダイオードの出力レベルが一定になるようにポンプ光のパワーが制御され、これにより光増幅器の出力レベルが一定に保たれる。
【００６０】
尚、光アイソレータ２４を用いているのは、光増幅媒体としてのドープファイバを含む光共振器構造が構成されて発振等の不都合が生じることを防止するためである。
【００６１】
以上説明した実施形態では、励振ポートが光ファイバの励振端であるとしたが、本発明はこれに限定されない。励振ポートとしてレーザダイオード等の光源を用いることもできる。
【００６２】
また、コリメート手段が励振ポートから放射された光を平行ビームに変換して光路上に出力する、というときに、「平行ビーム」は広く解釈しなければならない。即ち、「平行ビーム」は、互いに平行な光線の集合としての光線束には限定されず、励振ポートにおける放射ビームの開口数よりも小さい程度の開口数で広がる或いは収束する光線束を含むものとして理解すべきである。
【００６３】
尚、コリメート手段が励振ポートから放射された光を互いに平行な光線の集合としての光線束に変換して光路上に出力する場合には、本発明においては、各光線の光学膜に対する入射角が厳密に一定になるので、光学膜の特性を高精度に設定することができる。
【００６４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によると、入射角が可変な光学膜を有する小型化及び低コスト化に適した光デバイスの提供が可能になるという効果が生じる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態を示す光デバイスの縦断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態における入射角の可変範囲の説明図である。
【図３】光帯域通過フィルタの透過中心波長の変化と入射角の関係の例を示すグラフである。
【図４】本発明の第２実施形態を示す光デバイスの縱断面図である。
【図５】本発明の第３実施形態を示す光デバイスの縱断面図である。
【図６】本発明の第４実施形態を示す光デバイスの縱断面図である。
【図７】本発明の第５実施形態を示す光デバイスの縱断面図である。
【図８】本発明の第５実施形態を示す光デバイスの横断面図である。
【図９】本発明の第５実施形態の変形例を示す光デバイスの横断面図である。
【図１０】本発明の第６実施形態を示す光デバイスの縱断面図である。
【図１１】光帯域通過フィルタにおける透過損失と波長の関係の例を示すグラフである。
【符号の説明】
２ 光ファイバ
２Ａ 光ファイバの励振端（励振ポート）
４，４２ レンズ
６，６′，４４ フェルール
８，８′，８′′，１０，１０′，１０′′，２０，２１，２６，４０ スリーブ
１４ 光学膜
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的に、光通信システム等の光システムに適用可能な光デバイスに関し、さらに詳しくは、光学膜を有する光デバイスにおける光学膜への入射角を変化させるための構造に関する。
【０００２】
近年、シリカファイバを光伝送路とした光通信システムが実用化されており、この種の光通信システムに適用される光デバイスの小型化及び低コスト化が要求されている。
【０００３】
【従来の技術】
光ビームが伝搬する光学媒質中に、この光学媒質と異なる屈折率の単一又は複数の層からなる光学膜を配することによって、帯域通過フィルタ、長波長通過フィルタ、短波長通過フィルタ、その他の機能が生じることが知られている。例えば、光通信システムに用いられる帯域通過フィルタは、予め定められた厚みを有する低屈折率層及び高屈折率層を交互に積層することによって得られる。低屈折率層及び高屈折率層の材質は例えばそれぞれＳｉＯ2 及びＴｉＯ2 である。
【０００４】
Ｅｒ（エルビウム）等の希土類元素がドープされたドープファイバを備えた光増幅器においては、増幅された信号光を不要な雑音光から取り出すために、精度の高い特性を有する帯域通過フィルタが必要とされる。また、波長分割多重（ＷＤＭ）システムにおいては、近接した波長チャネルの複数の信号光を加え合わせ或いは分離するために、精度の高い特性を有する帯域通過フィルタが必要とされる。
【０００５】
光学膜を製造するに際して、光学膜の厚み或いは光学膜を構成している各層の厚みを厳密に制御することによって、精度の高い特性を得ることができる。しかしながら、例えば帯域通過フィルタにおいて、その製造技術のみによって透過中心波長を１ｎｍのオーダで制御するのには困難性が伴う。
【０００６】
そこで、従来は、光学膜の製造に際して厚みを制御することに加えて、製造された光学膜への入射角を調整して光学膜或いは各層の等価的光学厚みを変化させ、これにより光学膜の特性を微調整していた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
光学膜への入射角を変化させるためのメカニズムは、大きくしかも複雑になりがちであり、このようなメカニズムを備えた光デバイスが大型化、高コスト化するという問題があった。
【０００８】
よって、本発明の目的は、入射角が可変な光学膜を有する小型化及び低コスト化に適した光デバイスを提供することにある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明によれば、励振ポートから放射された光を平行ビームに変換して光路上に出力するコリメート手段と、上記平行ビームが通過するように設けられた光学膜と、上記光路に対して傾斜した軸を有し該軸を中心に上記光学膜を回転可能に支持するサポート手段とを備え、上記光学膜は上記軸と直交する平面に対して傾斜して配置され、上記励振ポートは光ファイバの励振端であり、上記コリメート手段は上記光ファイバの励振端に対向してレンズを設けて構成され、上記コリメート手段は、上記光ファイバが挿入される細孔を有するフェルールと、該フェルール及び上記レンズを支持する第１のスリーブとを含み、上記サポート手段は、上記第１のスリーブに対して回転可能に設けられる第２のスリーブと、該第２のスリーブの端面上に固着される第１面及び上記光学膜が形成される第２面を有する透明プレートとを含み、上記フェルールは上記軸に平行又は一致する中心軸を有し、上記細孔は該中心軸に対して偏心しており、これにより上記光路が上記軸に対して傾斜する光デバイスが提供される。
【００１０】
本発明の光デバイスにおいては、サポート手段の軸を中心に光学膜を回転させることによって、光学膜への入射角が変化する。従って、簡単な構造で入射角を変化させることができ、光デバイスの小型化及び低コスト化が可能になる。
【００１１】
上記光路と上記軸とがなす角を第１の傾斜角と称し、上記光学膜と上記平面とがなす角を第２の傾斜角と称することにすると、光学膜への入射角の可変範囲の上限は第１の傾斜角と第２の傾斜角の和で与えられ、下限は第１の傾斜角と第２の傾斜角の差の絶対値で与えられる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従って詳細に説明する。
図１は本発明の第１実施形態を示す光デバイスの縦断面図である。励振ポートは光ファイバ２の励振端２Ａであり、光ファイバ２を伝搬してきた光は、励振端２Ａから放射される。
【００１３】
励振端２Ａから放射された光を平行ビームに変換して光路ＯＰ上に出力するコリメート手段は、励振端２Ａに対向して設けられるレンズ４を含む。
コリメート手段は、さらに、光ファイバ２が挿入される細孔６Ａを有するフェルール６と、フェルール６及びレンズ４を支持するスリーブ８とを含む。光ファイバ２は、その励振端２Ａがフェルール６の端面に一致するように細孔６Ａに挿入固定される。光ファイバ２の固定には例えば光学接着剤が使用される。
【００１４】
スリーブ８は、比較的小径な挿入孔８Ａと比較的大径な挿入孔８Ｂとをこの実施例では同軸上に有している。レンズ４は例えば圧入により挿入孔８Ａ内に固定され、フェルール６は、励振端２Ａから放射された光がレンズ４によってほぼ平行ビームに変換されるような位置まで挿入孔８Ａ内に挿入され、例えばレーザ溶接によりスリーブ８に固定される。
【００１５】
フェルール６は中心軸ＣＡを仮想的に有しており、細孔６Ａは中心軸ＣＡに対して偏心している。これにより、コリメート手段が出力する平行ビームの光路ＯＰは中心軸ＣＡに対して傾斜する。
【００１６】
光学膜１４を支持するサポート手段は、光路ＯＰに対して傾斜した軸ＡＯＳを仮想的に有しており、光学膜１４は軸ＡＯＳを中心に回転可能である。サポート手段は、スリーブ８の挿入孔８Ｂの径よりもわずかに小さい外径を有するスリーブ１０を含む。
【００１７】
スリーブ１０の一方の端面１０Ａはサポート手段の軸ＡＯＳに対して垂直であり、他方の端面１０Ｂは軸ＡＯＳと垂直な面に対して傾斜している。スリーブ１０は、その端面１０Ａがスリーブ８の挿入孔８Ａ及び８Ｂ間の段差部に当接するようにスリーブ８に摺動可能に挿入されている。この例では、挿入孔８Ａ及び８Ｂが同軸上にあるので、サポート手段の軸ＡＯＳはフェルール６の中心軸ＣＡに一致する。挿入孔８Ｂを挿入孔８Ａに対して偏心させて、軸ＡＯＳと中心軸ＣＡが互いに平行になるようにしてもよい。
【００１８】
サポート手段はさらにガラス等からなる透明プレート１２を含む。透明プレート１２は、その外周縁部がスリーブ１０の傾斜端面１０Ｂに固着される第１面１２Ａと、そのほぼ全面に光学膜１４が形成される第２面１２Ｂとを有している。第１面１２Ａ及び第２面１２Ｂはこの実施形態では互いに平行である。
【００１９】
スリーブ１０が傾斜端面１０Ｂを有していること及び透明プレート１２の両面１２Ａ及び１２Ｂが互いに平行であることにより、光学膜１４はサポート手段の軸ＡＯＳに対して傾斜している。光学膜１４としては、例えば、ＳｉＯ2 の低屈折率層とＴｉＯ2 の高屈折率層とを交互に積層してなる誘電体多層膜を用いることができる。
【００２０】
光学膜１４の回転中心となるサポート手段の軸ＡＯＳが光路ＯＰに対して傾斜しており、且つ、光学膜１４が軸ＡＯＳと直交する平面に対して傾斜していることに基づき、スリーブ１０をスリーブ８に対して回転させることによって光学膜１４における入射角を変化させることができる。入射角は、屈折率が異なる二媒質間の境界面への入射光線とその入射点における境界面の垂線とがなす角によって定義される。
【００２１】
次に、光学膜１４における入射角の可変原理及び可変範囲について考察する。図１において、δは光路ＯＰに対するサポート手段の軸ＡＯＳの傾斜角を表し、θは軸ＡＯＳと直交する平面に対する光学膜１４の傾斜角を表している。
【００２２】
スリーブ１０がスリーブ８に対して回転可能であるという状況の下で、スリーブ８及び１０の相対的位置関係において、光路ＯＰとサポート手段の軸ＡＯＳとを含む面が光学膜１４に直交するという条件を満足するものは２通りある。
【００２３】
図２の（Ａ）及び図２の（Ｂ）はそれぞれその条件を満足する場合を示している。レンズ４、フェルール６及びスリーブ８が同一位置にあるとした場合、図２の（Ｂ）におけるスリーブ１０の位置は図２の（Ａ）におけるスリーブ１０を１８０°回転させた位置に対応している。
【００２４】
図２の（Ａ）に示される条件は最大入射角を与え、その値はθ＋δである。図２の（Ｂ）に示される条件は最小入射角を与え、その値は｜θ−δ｜である。
図２の（Ａ）に示される状態と図２の（Ｂ）に示される状態との間でスリーブ１０を回転していくと、光路ＯＰとサポート手段の軸ＡＯＳとを含む平面は光学軸１４に垂直な面に対して次第に傾斜してゆき、これに伴い、入射角は最大入射角と最小入射角との間で連続的に変化する。
【００２５】
このように、スリーブ１０について回転方向の位置調整を行うことによって、入射角を最大入射角と最小入射角との間で任意に設定することができる。例えば、δ＝４°，θ＝８°である場合、入射角は４°乃至１２°の範囲で調整可能である。
【００２６】
尚、上述の最大入射角及び最小入射角は正確には透明プレート１２の内面（第１面１２Ａ）についてのものであるが、透明プレート１２の外面（１２Ｂ）上に形成される光学膜１４に対しても近似的に適合するものである。
【００２７】
上述の実施形態においては、スリーブ１０がスリーブ８に対して自由に回転することができるようになっているが、所望の入射角或いは膜特性が得られたところでその入射角を維持するために、スリーブ１０をスリーブ８に対してロックする手段を設けてもよい。或いは、スリーブ１０は所望の入射角が得られたところでスリーブ８に対してレーザ溶接等により固定されてもよい。
【００２８】
本発明は、傾斜角δ及びθの両方が０°でないということのみによって限定される。即ち、傾斜角δ及びθの少なくともいずれか一方が０°である場合には、最大入射角と最小入射角とが等しくなり、スリーブ１０を回転させたとしても入射角は一定になる。
【００２９】
図３により入射角の変化に伴う光学膜の特性の変化の例を説明する。図３は、光学膜が光バンドパスフィルタの機能をなすとした場合における透過中心波長の変化と入射角との関係を表すグラフである。
【００３０】
入射角が増大するのに従って透過中心波長が連続的に変化していることが明らかである。このように、本発明のメカニズムにより入射角を変化させることによって、光学膜の所望の特性を得ることができる。また、図１の第１実施形態においては、スリーブ１０を回転させるためのメカニズムが極めてシンプルであるので、光デバイスの小型化及び低コスト化が可能になる。
【００３１】
図４は本発明の第２実施形態を示す光デバイスの縦断面図である。この実施形態では、図１のスリーブ１０及び透明プレート１２に代えて、それぞれ、互いに平行な両端面を有するスリーブ１０′と、光学膜１４が形成される一方の面が他方の面に対して傾斜している透明プレート１２′とが用いられている。これにより、図１の第１実施形態におけるのと同様に、サポート手段の軸ＡＯＳに垂直な面に対して光学膜１４を傾斜させることができる。
【００３２】
また、光路ＯＰに対して軸ＡＯＳを傾斜させるために、図１の第１実施形態と同様に、光ファイバ２が挿入されるフェルール６の細孔６Ａをフェルール６の中心軸ＣＡに対して偏心させている。
【００３３】
スリーブ１０′をスリーブ８に対して回転させることにより、前述した原理と同様の原理に従って、入射角が変化する。また、光学膜を回転可能に支持するためのメカニズムは極めてシンプルである。従って、この実施形態によっても、入射角が可変な光学膜を有する小型化及び低コスト化に適した光デバイスの提供が可能になる。
【００３４】
図５は本発明の第３実施形態を示す光デバイスの縦断面図である。光ファイバ２を支持するフェルール６′は、その中心に光ファイバ２が挿入される細孔６Ａ′を有している。従って、励振ポートとなる光ファイバ２の励振端２Ａはフェルール６′の中心軸ＣＡ上に位置する。
【００３５】
レンズ４及びフェルール６′は滑らかな外周面を有するスリーブ８′によってその内部に同軸上で保持される。このままでは、レンズ４によってコリメートされた平行ビームの光路をサポート手段の軸に対して傾斜させることができないので、スリーブ８′の端面には三角柱プリズム１６が固着されており、これによりコリメート手段から出力される平行ビームの光路ＯＰをサポート手段の軸に対して傾斜させている。
【００３６】
スリーブ８′の端面に三角柱プリズム１６を固着していることにより、サポート手段に含まれるスリーブをスリーブ８′に挿入することができないので、この実施形態では、逆にスリーブ８′をスリーブ１０′′に摺動可能に挿入している。
【００３７】
スリーブ１０′′の傾斜端面上には透明プレート１２が固着され、その上に光学膜１４が形成されている。
光学膜１４の回転中心となるサポート手段の軸ＡＯＳは、フェルール６′の中心軸ＣＡと一致する。
【００３８】
上述のような構成によると、光路ＯＰをサポート手段の軸ＡＯＳに対して傾斜させることができ、且つ、光学膜１４を軸ＡＯＳに垂直な面に対して傾斜させることができるので、スリーブ１０′′をスリーブ８′に対して回転させることによって、入射角を調整することができる。また、回転のためのメカニズムが極めてシンプルであるので、光デバイスの小型化及び低コスト化が可能になる。
【００３９】
図６は本発明の第４実施形態を示す光デバイスの縦断面図である。この実施形態では、図５の第３実施形態におけるのと同じフェルール６′が用いられており、レンズ４によってコリメートされた平行ビームの光路ＯＰは、フェルール６′の中心軸ＣＡに一致している。
【００４０】
サポート手段の軸ＡＯＳを光路ＯＰに対して傾斜させるために、スリーブ１０をスリーブ８′′に斜めに挿入している。
即ち、スリーブ８′′は、レンズ４及びフェルール６′を挿入して固定するための比較的小径な挿入孔８Ａと、挿入孔８Ａに対して傾斜するように形成されるスリーブ１０を挿入するための比較的大径な挿入孔８Ｂ′とを有している。
【００４１】
サポート手段の軸ＡＯＳに垂直な面に対して光学膜１４が傾斜しているのはこれまでの実施例と同様である。
スリーブ１０をスリーブ８′′に対して回転させることによって、光学膜１４に対する入射角を調整することができる。また、スリーブ１０をスリーブ８′′に対して回転させるためのメカニズムは極めてシンプルであるので、光デバイスの小型化及び低コスト化が可能になる。
【００４２】
図７及び図８はそれぞれ本発明の第５実施形態を示す光デバイスの縦断面図及び横断面図である。図８の横断面図の断面位置は、図７におけるＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿っている。
【００４３】
光ファイバ２は、フェルール６′の中心細孔６Ａ′に挿入固定されている。レンズ４及びフェルール６′はスリーブ８′により同軸上に保持されており、スリーブ８′は例えばレーザ溶接により基板１８上に固定されている。
【００４４】
レンズ４によりコリメートされた平行ビームの光路ＯＰは、フェルール６′の中心軸ＣＡに一致する。
サポート手段の軸ＡＯＳを光路ＯＰに対して傾斜させるために、スリーブ１０は基板１８上に斜めに形成された溝１８Ａ内に摺動可能に着座している。溝１８Ａは、光路ＯＰに対して一定角度で傾斜した母線の軌跡として定義される概略半円柱形状を有している。上記母線はサポート手段の軸ＡＯＳに対して平行である。
【００４５】
光学膜１４をサポート手段の軸ＡＯＳと垂直な平面に対して傾斜させるために、透明プレート１２はスリーブ１０の傾斜端面に固着される。
スリーブ１０を溝１８Ａ内で回転させることにより、光学膜１４における入射角を調整することができる。所望の入射角或いは膜特性が得られたところでスリーブ１０を基板１８に対して例えばレーザ溶接により固定することによって、その入射角を維持することができる。図示された例では、スリーブ１０の外径よりも溝１８Ａの方が大径であるが、これらをほぼ一致させておくことによって、光学膜１４の回転中心、即ちサポート手段の軸ＡＯＳの軸ぶれを小さくすることができる。
【００４６】
このように本実施形態によっても入射角が可変な光学膜を有する小型化及び低コスト化に適した光デバイスの提供が可能になる。
図９は図７及び図８の第５実施形態の変形例を示す光デバイスの横断面図である。ここでは、概略半円柱形状の溝１８Ａ（図８参照）に代えて、角柱形状の溝１８Ｂが基板１８に形成されている。
【００４７】
溝１８Ｂの長手方向（図９の紙面に垂直な方向）は光路ＯＰ（図７参照）に対して傾斜しており、溝１８Ｂの幅はスリーブ１０の外径よりも小さく設定されている。スリーブ１０は、その外周面が溝１８Ｂ上で溝１８Ｂの一対の互いに平行な縁に接触する状態で基板１８に対して摺動可能に設けられている。
【００４８】
このように互いに平行な溝１８Ｂの一対の縁によりスリーブ１０を支持することによって、スリーブ１０の正確な位置の確定が可能になる。
図１０は本発明の第６実施形態を示す光デバイスの縦断面図である。この光デバイスはＥｒ（エルビウム）等の希土類元素がドープされたドープファイバを備えた光増幅器の一部として使用可能である。
【００４９】
励振ポートは光ファイバ２の励振端２Ａであり、光ファイバ２はフェルール６によって偏心して保持されている。レンズ４はレンズホルダ（スリーブ）２０に挿入して固定されており、フェルール６はレンズホルダ２０に所定の位置まで挿入されて例えばレーザ溶接により固定されている。
【００５０】
レンズホルダ２０はスリーブ２１に挿入して固定され、スリーブ２１はハウジング２２に固定されている。スリーブ２１は円柱形の光アイソレータ２４を介してスリーブ２６に結合されている。
【００５１】
スリーブ２６は傾斜端面２６Ａを有しており、光学膜１４が形成される透明プレート１２は傾斜端面２６Ａに固着されている。
光アイソレータ２４はスリーブ２０に対しては固定されているが、スリーブ２６は光アイソレータ２４に対して摺動させて回転可能である。従って、スリーブ２６を回転させることによって、光学膜１４における入射角を調整可能である。
【００５２】
光学膜１４を透過した平行ビームは、カプラ膜２８によって反射ビームと透過ビームとに分岐される。
カプラ膜２８はガラス板３０上に形成されており、ガラス板３０はホルダ３２によって保持されている。ホルダ３２はハウジング２２に固定されている。
【００５３】
ホルダ３２にはレンズホルダ４０が挿入固定され、その内部にはレンズ４２が設けられている。レンズホルダ４０にはまたフェルール４４が挿入固定されており、出力側の光ファイバ４６がフェルール４４によって保持されている。
【００５４】
カプラ膜２８の透過ビームはレンズ４２によって収束されて光ファイバ４６の励振端４６Ａに結合される。
カプラ膜２８の反射ビームは、ハウジング２２に形成された開口２２Ａを介してフォトダイオード４８の受光領域に入射する。フォトダイオード４８はハウジング２２の外面に固着されている。
【００５５】
光ファイバ２の上流側には、図示しないポンプ光源によってポンピングされている同じく図示しないドープファイバが接続される。波長１．５５μｍ帯の信号光を増幅するためのドーパントとしては例えばＥｒが選択され、この場合ポンプ光の波長は例えば１．４８μｍ帯に設定される。
【００５６】
増幅された信号光のパワーをフォトダイオード４８によりモニタリングするために、光学膜１４として、光帯域通過フィルタの機能をなすものが用いられる。波長分割多重（ＷＤＭ）システムに適用される信号光の波長は１ｎｍのオーダまで正確である。従って、当該信号光のパワーを正確にモニタリングするためには、光学膜１４（光帯域通過フィルタ）の透過中心波長を１ｎｍ以下の精度で設定することが望ましい。
【００５７】
図１１は光帯域通過フィルタにおける透過損失（ｄＢ）と波長（ｎｍ）との関係の例を示すグラフである。
例えば信号光の波長が１５５２ｎｍに設定されている場合、図１０の光デバイスにおいては、光学膜１４に対しては符号５０で示されるような特性が要求される。
【００５８】
このような特性を光学膜の製造条件のみによって設定するのは困難である。図１０の光デバイスにおいては、スリーブ２６を回転させて光学膜１４における入射角を調整することによって、光学膜１４の特性を符号５２で示される特性と符号５４で示される特性との間で変化させることができ、高精度な特性を有する光帯域通過フィルタの製造条件を緩和することができる。
【００５９】
カプラ膜２８における反射ビームと透過ビームのパワー比は例えば１：２０である。フォトダイオード４８によるモニタリング結果は、例えば自動レベルコントロール（ＡＬＣ）に用いられる。一般的なＡＬＣループでは、フォトダイオードの出力レベルが一定になるようにポンプ光のパワーが制御され、これにより光増幅器の出力レベルが一定に保たれる。
【００６０】
尚、光アイソレータ２４を用いているのは、光増幅媒体としてのドープファイバを含む光共振器構造が構成されて発振等の不都合が生じることを防止するためである。
【００６１】
以上説明した実施形態では、励振ポートが光ファイバの励振端であるとしたが、本発明はこれに限定されない。励振ポートとしてレーザダイオード等の光源を用いることもできる。
【００６２】
また、コリメート手段が励振ポートから放射された光を平行ビームに変換して光路上に出力する、というときに、「平行ビーム」は広く解釈しなければならない。即ち、「平行ビーム」は、互いに平行な光線の集合としての光線束には限定されず、励振ポートにおける放射ビームの開口数よりも小さい程度の開口数で広がる或いは収束する光線束を含むものとして理解すべきである。
【００６３】
尚、コリメート手段が励振ポートから放射された光を互いに平行な光線の集合としての光線束に変換して光路上に出力する場合には、本発明においては、各光線の光学膜に対する入射角が厳密に一定になるので、光学膜の特性を高精度に設定することができる。
【００６４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によると、入射角が可変な光学膜を有する小型化及び低コスト化に適した光デバイスの提供が可能になるという効果が生じる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態を示す光デバイスの縦断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態における入射角の可変範囲の説明図である。
【図３】光帯域通過フィルタの透過中心波長の変化と入射角の関係の例を示すグラフである。
【図４】本発明の第２実施形態を示す光デバイスの縱断面図である。
【図５】本発明の第３実施形態を示す光デバイスの縱断面図である。
【図６】本発明の第４実施形態を示す光デバイスの縱断面図である。
【図７】本発明の第５実施形態を示す光デバイスの縱断面図である。
【図８】本発明の第５実施形態を示す光デバイスの横断面図である。
【図９】本発明の第５実施形態の変形例を示す光デバイスの横断面図である。
【図１０】本発明の第６実施形態を示す光デバイスの縱断面図である。
【図１１】光帯域通過フィルタにおける透過損失と波長の関係の例を示すグラフである。
【符号の説明】
２ 光ファイバ
２Ａ 光ファイバの励振端（励振ポート）
４，４２ レンズ
６，６′，４４ フェルール
８，８′，８′′，１０，１０′，１０′′，２０，２１，２６，４０ スリーブ
１４ 光学膜
Claims (7)
- 励振ポートから放射された光を平行ビームに変換して光路上に出力するコリメート手段と、
上記平行ビームが通過するように設けられた光学膜と、
上記光路に対して傾斜した軸を有し該軸を中心に上記光学膜を回転可能に支持するサポート手段とを備え、
上記光学膜は上記軸と直交する平面に対して傾斜して配置され、
上記励振ポートは光ファイバの励振端であり、
上記コリメート手段は上記光ファイバの励振端に対向してレンズを設けて構成され、
上記コリメート手段は、上記光ファイバが挿入される細孔を有するフェルールと、該フェルール及び上記レンズを支持する第１のスリーブとを含み、
上記サポート手段は、上記第１のスリーブに対して回転可能に設けられる第２のスリーブと、該第２のスリーブの端面上に固着される第１面及び上記光学膜が形成される第２面を有する透明プレートとを含み、
上記フェルールは上記軸に平行又は一致する中心軸を有し、上記細孔は該中心軸に対して偏心しており、これにより上記光路が上記軸に対して傾斜する光デバイス。 - 励振ポートから放射された光を平行ビームに変換して光路上に出力するコリメート手段と、
上記平行ビームが通過するように設けられた光学膜と、
上記光路に対して傾斜した軸を有し該軸を中心に上記光学膜を回転可能に支持するサポート手段とを備え、
上記光学膜は上記軸と直交する平面に対して傾斜して配置され、
上記励振ポートは光ファイバの励振端であり、
上記コリメート手段は上記光ファイバの励振端に対向してレンズを設けて構成され、
上記コリメート手段は、上記光ファイバが挿入される細孔を有するフェルールと、該フェルール及び上記レンズを支持する第１のスリーブとを含み、
上記サポート手段は、上記第１のスリーブに対して回転可能に設けられる第２のスリーブと、該第２のスリーブの端面上に固着される第１面及び上記光学膜が形成される第２面を有する透明プレートとを含み、
上記コリメート手段は上記レンズに対向して設けられる三角柱プリズムをさらに含み、これにより上記光路が上記軸に対して傾斜する光デバイス。 - 上記第１のスリーブは、上記フェルール及び上記レンズが挿入固定される第１の挿入孔と、該第１の挿入孔に対して傾斜するように形成され上記第２のスリーブがその回転方向に摺動可能に挿入される第２の挿入孔とを有し、これにより上記光路が上記軸に対して傾斜する請求項１に記載の光デバイス。
- 上記第１のスリーブが固定される基板をさらに備え、
該基板は上記光路に対して傾斜した母線の軌跡として定義される半円柱形の溝を有し、
上記第２のスリーブは該溝内に摺動可能に着座し、これにより上記光路が上記軸に対して傾斜している請求項１に記載の光デバイス。 - 上記第１のスリーブが固定される基板をさらに備え、
該基板は上記光路に対して傾斜した角柱形の溝を有し、
上記第２のスリーブは該溝上に摺動可能に着座し、これにより上記光路が上記軸に対して傾斜している請求項１に記載の光デバイス。 - 上記第２のスリーブの端面は上記平面に対して傾斜しており、上記透明プレートの第１面及び第２面は互いに平行であり、これにより上記光学膜が上記平面に対して傾斜する請求項１に記載の光デバイス。
- 上記第２のスリーブの端面は上記軸に対してほぼ垂直であり、上記透明プレートの第１面は第２面に対して傾斜しており、これにより上記光学膜が上記平面に対して傾斜する請求項１に記載の光デバイス。
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