JP3770725B2 - Lead frame transfer device - Google Patents

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、銅等の酸化しやすい材質からなるリードフレーム（全体又はリード部分を銅系材料で形成した基板を含む）を酸化防止ガス雰囲気の中で搬送するリードフレーム搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、ワイヤボンディング装置において、銅等の酸化しやすい材質のリードフレームを用いる場合、リードフレームの搬送中、並びにボンディング作業位置でのボンディング中にリードフレームが酸化することを防止するために、図４、５に示すように、リードフレーム１を、窒素ガス等の酸化防止ガスで満たした搬送装置２の搬送路３内で搬送している。そして、この搬送路３内へは、搬送レール４の側壁部４ａ（図４）、或いは底部４ｂ（図５）に形成された吹出し孔５から、常に新しい酸化防止ガスが供給される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、吹出し孔５は、リードフレーム１の搬送方向に直交して形成されているため、吹出し孔５から噴出された酸化防止ガスは、図中矢印で示すように、対向する吹き出し孔５から噴出される酸化防止ガス（図４）や対向する蓋部６（図５）に衝突して上下左右に広がり、その後、隣り合う吹き出し孔５から噴出されて左右に広がった酸化防止ガスと衝突し、搬送路３において対流現象を引き起こす。そのため、常に新しい酸化防止ガスが吹出し孔５から供給されているにもかかわらず、酸化防止ガスの供給前に搬送路３を満たしていた空気と酸化防止ガスとの交換が良好に行なえないまま、搬送路３内に空気がいつまでも滞り、リードフレーム１の酸化を十分に防止できないという問題を生じていた。
【０００４】
本発明は、リードフレームの酸化を良好に防止することができるリードフレーム搬送装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、リードフレームを搬送するトンネル状の搬送空間を有する搬送路と、この搬送路に対して酸化防止ガスを供給する酸化防止ガス供給手段とを有するリードフレーム搬送装置において、前記搬送路内における前記酸化防止ガスの流れを、前記リードフレームの搬送方向に沿う方向にする流れ方向規制手段を設けたことを特徴とする。
【０００６】
また、本発明は、リードフレームを搬送するトンネル状の搬送空間を有する搬送路と、この搬送路に対して酸化防止ガスを供給する酸化防止ガス供給手段と、前記搬送路上に設定された前記リードフレームに対する作業位置とを有するリードフレーム搬送装置において、前記搬送路における前記酸化防止ガスの流れを、前記作業位置を基準として前記作業位置から遠ざかる方向とする流れ方向規制手段を設けたことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施の形態について図面を用いて説明する。図１は、本発明に係るリードフレーム搬送装置の第１の実施の形態を示す平面断面図、図２は本発明に係るリードフレーム搬送装置の第１の実施の形態を示す側面断面図である。
【０００８】
図において、リードフレーム搬送装置１０は、搬送レール１１と、搬送レール１１の上部を覆う蓋部１２と、搬送レール１１と蓋部１２にて形成されるトンネル状の搬送空間を有する搬送路１３に対して窒素ガス等の酸化防止ガスを供給する酸化防止ガス供給手段１４とを有する。
【０００９】
搬送レール１１は、不図示の送り機構にて搬送されるリードフレーム１をガイドする側壁部１１ａと底部１１ｂとを有し、底部１１ｂのボンディング位置に対応する部分には開口部１１ｃが形成され、この開口部１１ｃにはヒータブロック１５が配置される。
【００１０】
蓋部１２は、平板状に形成され、ボンディング位置に対応する部分には、ボンディングアーム１６の先端に保持されたキャピラリ１７が侵入可能な四角形状の開口部１２ａを有する。
【００１１】
酸化防止ガス供給手段１４は、窒素ガスボンベ等の酸化防止ガスの供給部１４ａ、供給配管１４ｂ、チャンバ室１４ｃ、吹出しノズル１４ｄを有する。チャンバ室１４ｃは、搬送レール１１の側壁部１１ａ内に、リードフレーム１の搬送方向（矢印Ａ方向）に沿って複数配置される。吹出しノズル１４ｄは、チャンバ室１４ｃと搬送路１３とを連通し、かつ酸化防止ガスの吹出し方向がリードフレーム１の搬送方向Ａに対して傾斜する方向を向くように形成される。すなわち、吹出しノズル１４ｄは、図１において、ボンディング位置Ｐを基準として、左側の搬送領域Ｌにおいては、リードフレーム１の反搬送方向（矢印Ｂ方向）を向き、かつ搬送方向Ａに対して傾斜して形成され、右側の搬送領域Ｒにおいては、リードフレーム１の搬送方向Ａを向き、かつ搬送方向Ａに対して傾斜して形成される。また、ボンディング位置に対応して配置された吹出しノズル１４ｄは、リードフレーム１の搬送方向に直交して形成される。
【００１２】
次に、作動について説明する。
【００１３】
ワイヤボンディング動作を実施するにあたり、ワイヤボンディング装置が起動されると、不図示のヒータがＯＮされてヒータブロック１５が加熱されるとともに、酸化防止ガス供給部１４ａの不図示の開閉弁が開かれ、供給配管１４ｂ、チャンバ室１４ｃ、吹出しノズル１４ｄを介して搬送路１３内に酸化防止ガスが供給される。ここで、搬送路１３に供給された酸化防止ガスは、右側搬送領域Ｒにおいては、リードフレーム１の搬送方向Ａへ向かって流れ、左側搬送領域Ｌにおいては、リードフレーム１の反搬送方向Ｂへ向かって流れ、それぞれ搬送路１３の端部から外に排出される。また、ボンディング位置Ｐにおいては、対向する吹出し孔１４ｄから噴出された酸化防止ガス同士が衝突して上下および左右に広がり、左右に広がった酸化防止ガスは、上述の搬送方向Ａ、或いは反搬送方向Ｂへ向かう酸化防止ガスの流れと合流して流れ、上方に広がった酸化防止ガスは、開口部１２ａから搬送路１３の外部へと噴出する。これにより、搬送路１３内は、所定時間経過後には酸化防止ガス雰囲気で満たされる。
【００１４】
所定時間が経過し、ヒータブロック１５が所定温度に加熱され、搬送路１３内が酸化防止ガス雰囲気で満たされた後、リードフレーム１が、不図示のリードフレーム供給手段により搬送装置１０に供給されて搬送路１３内をボンディング位置Ｐへと搬送される。そして、ボンディング位置Ｐにおいて、リードフレーム１は、キャピラリ１７により公知のワイヤボンディングが施される。この後、リードフレーム１は、さらに搬送路１３内を搬送されて不図示のリードフレーム収納手段へ収納される。
【００１５】
上記第１の実施の形態によれば、吹出しノズル１４ｄから噴出された酸化防止ガスは、搬送路１３内において、ボンディング位置Ｐを基準として右側搬送領域Ｒ、左側搬送領域Ｌに向かう流れを形成する。これにより、搬送路１３に供給された酸化防止ガスは、搬送路１３内で滞ることなく、搬送レール１１の両端部側からスムーズに搬送路１３の外へ排出される。従って、酸化防止ガスの供給前に、搬送路１３内を満たしていた空気と酸化防止ガスとの交換を良好に行なうことができ、よって、リードフレーム１の酸化を良好に防止することができる。
【００１６】
また、開口部１２ａから多量の酸化防止ガスが吹き上げると、キャピラリ１７から突出されたワイヤ１８と不図示の放電電極との間で成される放電が、吹き上げた酸化防止ガスの流れの影響を受けて不安定になり、ワイヤ１８の先端に所望するボールが形成できないという問題を生じ得るが、上記実施の形態によれば、この問題も防止することができる。つまり、吹出しノズル１４ｄから噴出された酸化防止ガスが、搬送路１３内において、ボンディング位置Ｐを基準として右側搬送領域Ｒ、左側搬送領域Ｌに向かう流れを形成することから、従来開口部１２ａ付近に滞っていた酸化防止ガスや開口部１２ａから噴出されていた酸化防止ガスの一部が、右側搬送領域Ｒ、或いは左側搬送領域Ｌの酸化防止ガスの流れに引き込まれ、搬送路１３の端部から外に排出されることとなる。従って、開口部１２ａから噴出される酸化防止ガスを従来に比べて減少させることができ、ワイヤ先端と不図示の放電電極との間で成される放電が、酸化防止ガスの影響で不安定になることを極力防止することができ、よって、従来に比べて安定したボールの形成状態を得ることができるのである。
【００１７】
次に、第２の実施の形態について説明する。図３は、本発明に係るリードフレーム搬送装置の第２の実施の形態を示す側面断面図である。
【００１８】
図において、図１と同一部品には同一符号を付し、説明を省略する。
【００１９】
リードフレーム搬送装置２０は、搬送レール１１と、蓋部１２と、酸化防止ガス供給手段１４とを有し、酸化防止ガス供給部１４ａから供給された酸化防止ガスは、供給配管１４ｂ、吹出しノズル１４ｄを介して搬送路１３に供給される。また、この実施の形態において、吹出しノズル１４ｄは、リードフレーム１の搬送方向Ａに対して直交して配置される。
【００２０】
蓋部１２は、天面１２ｂに段部２１、２２を有し、この段部２１、２２は、ボンディング位置Ｐから遠ざかるに従って、搬送路１３における搬送方向Ａに直交する方向の断面積が増大する階段状に形成される。
【００２１】
この実施の形態において、吹出しノズル１４ｄから噴出された酸化防止ガスは、天面１２ｂに衝突して左右方向に広がり、その後、隣り合う吹き出ノズル１４ｄから噴出されて左右に広がった酸化防止ガスと衝突して搬送路１３内に広がるが、搬送路１３は、段部２１、２２によって、ボンディング位置Ｐから遠ざかるに従って断面積、すなわち容積が増大するように形成されていることから、搬送路１３内の酸化防止ガスは、容積が大きくなる方向へと流れ出る。つまり、酸化防止ガスは、右側搬送領域Ｒにおいては、リードフレーム１の搬送方向Ａに向かって流れ、左側搬送領域Ｌにおいては、リードフレーム１の反搬送方向Ｂに向かって流れ、それぞれ搬送路１３の端部から外に排出される。また、ボンディング位置Ｐにおいては、広がった酸化防止ガスは、右側搬送領域Ｒ、或いは左側搬送領域Ｌに向かって流れるとともに、開口部１２ａから搬送路１３の外へ噴出する。
【００２２】
上記第２の実施の形態によれば、吹出しノズル１４ｄから噴出された酸化防止ガスは、搬送路１３内において、ボンディング位置Ｐを基準として右側搬送領域Ｒ、或いは左側搬送領域Ｌに向かう流れを形成する。したがって、搬送路１３内に供給された酸化防止ガスは、搬送路１３内で滞ることなく、搬送路１３の両端部側からスムーズに搬送路１３の外へ排出され、酸化防止ガスの供給前に、搬送路１３内を満たしていた空気と酸化防止ガスとの交換を良好に行なうことができ、よって、リードフレーム１の酸化を良好に防止することができる。
【００２３】
また、本実施の形態においても、第１の実施の形態と同様に、ワイヤ先端へのボール形成時の放電状態の安定化を図ることができる。
【００２４】
なお、上記実施の形態において、吹出しノズル１４をリードフレーム１の搬送方向に対して傾斜して設けた例、および蓋部１２に段部２１、２２を設けた例を用いて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば、段部２１、２２の代わりに蓋部１２の天面１２ｂに、ボンディング位置Ｐから遠ざかるにしたがって高くなる傾斜部を設けてもよい。また、傾斜配置した吹出しノズル１４ｄ、および段部２１、２２を共に設けるものであってもよい。
【００２５】
また、酸化防止ガスの流れ方向をボンディング位置Ｐを基準として左右の搬送領域に向かう方向に設定した例で説明したが、酸化防止ガスの流れ方向は、リードフレーム１の搬送方向、或いは反搬送方向のいずれか一方向であってもよい。
【００２６】
また、上記実施の形態において、ワイヤボンディング装置に適用した例で説明したが、他の装置、例えば、半導体レットをリードフレーム等にボンディングする半導体ペレットボンディング装置に適用してもよい。
【００２７】
【発明の効果】
本発明によれば、リードフレームの酸化を良好に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るリードフレーム搬送装置の第１の実施の形態を示す平面断面図である。
【図２】本発明に係るリードフレーム搬送装置の第１の実施の形態を示す側面断面図である。
【図３】本発明に係るリードフレーム搬送装置の第２の実施の形態を示す側面断面図である。
【図４】従来のリードフレーム搬送装置を示す平面断面図である。
【図５】他の従来のリードフレーム搬送装置を示す側面断面図である。
【符号の説明】
１ リードフレーム
１０、２０ リードフレーム搬送装置
１１ 搬送レール
１２ 蓋部
１３ 搬送路
１４ 酸化防止ガス供給手段
１４ａ 供給部
１４ｄ 吹出しノズル（吹出し孔）
１５ ヒータブロック
２１、２２、２３ 段部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a lead frame transport apparatus that transports a lead frame (including a substrate in which the whole or a lead portion is made of a copper-based material) made of an easily oxidizable material such as copper in an antioxidant gas atmosphere.
[0002]
[Prior art]
For example, in the case of using a lead frame made of an easily oxidizable material such as copper in a wire bonding apparatus, in order to prevent the lead frame from being oxidized during transport of the lead frame and bonding at the bonding work position, FIG. As shown in FIG. 5, the lead frame 1 is transported in a transport path 3 of a transport device 2 filled with an antioxidant gas such as nitrogen gas. And new antioxidant gas is always supplied into the conveyance path 3 from the blowout hole 5 formed in the side wall part 4a (FIG. 4) or the bottom part 4b (FIG. 5) of the conveyance rail 4. FIG.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, since the blowing hole 5 is formed orthogonally to the conveyance direction of the lead frame 1, the antioxidant gas ejected from the blowing hole 5 is ejected from the opposing blowing hole 5 as shown by an arrow in the figure. Colliding with the antioxidant gas (FIG. 4) and the opposite lid 6 (FIG. 5) and spreading vertically and horizontally, and then colliding with the antioxidant gas ejected from the adjacent blowing holes 5 and spreading left and right, A convection phenomenon is caused in the conveyance path 3. Therefore, despite the fact that a new antioxidant gas is always supplied from the blowout hole 5, the air that has filled the transport path 3 before the supply of the antioxidant gas and the antioxidant gas cannot be exchanged satisfactorily. There was a problem in that the air stayed in the conveyance path 3 indefinitely and the lead frame 1 could not be sufficiently prevented from being oxidized.
[0004]
An object of this invention is to provide the lead frame conveying apparatus which can prevent the oxidation of a lead frame favorably.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The present invention provides a lead frame transport apparatus having a transport path having a tunnel-shaped transport space for transporting a lead frame and an antioxidant gas supply means for supplying an antioxidant gas to the transport path. A flow direction restricting means is provided to make the flow of the antioxidant gas in the direction along the transport direction of the lead frame.
[0006]
The present invention also provides a transport path having a tunnel-shaped transport space for transporting a lead frame, an antioxidant gas supply means for supplying an antioxidant gas to the transport path, and the lead set on the transport path. A lead frame transport device having a work position with respect to a frame, characterized in that flow direction regulating means is provided for setting the flow of the antioxidant gas in the transport path in a direction away from the work position with respect to the work position. To do.
[0007]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
A first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan sectional view showing a first embodiment of the lead frame transport apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a side sectional view showing the first embodiment of the lead frame transport apparatus according to the present invention. .
[0008]
In the figure, a lead frame transfer device 10 is provided on a transfer path 11 having a transfer rail 11, a lid 12 that covers the upper portion of the transfer rail 11, and a tunnel-shaped transfer space formed by the transfer rail 11 and the cover 12. On the other hand, it has an antioxidant gas supply means 14 for supplying an antioxidant gas such as nitrogen gas.
[0009]
The conveyance rail 11 has a side wall portion 11a and a bottom portion 11b for guiding the lead frame 1 conveyed by a feed mechanism (not shown), and an opening portion 11c is formed at a portion corresponding to the bonding position of the bottom portion 11b. A heater block 15 is disposed in the opening 11c.
[0010]
The lid portion 12 is formed in a flat plate shape, and has a rectangular opening portion 12a into which the capillary 17 held at the tip of the bonding arm 16 can enter at a portion corresponding to the bonding position.
[0011]
The antioxidant gas supply means 14 includes an antioxidant gas supply unit 14a such as a nitrogen gas cylinder, a supply pipe 14b, a chamber chamber 14c, and a blowout nozzle 14d. A plurality of chambers 14 c are arranged in the side wall portion 11 a of the transport rail 11 along the transport direction (arrow A direction) of the lead frame 1. The blowing nozzle 14 d communicates with the chamber chamber 14 c and the transport path 13, and is formed so that the blowing direction of the antioxidant gas is directed in a direction inclined with respect to the transport direction A of the lead frame 1. That is, the blow nozzle 14d is directed in the opposite conveyance direction (arrow B direction) of the lead frame 1 and inclined with respect to the conveyance direction A in the left conveyance region L with respect to the bonding position P in FIG. In the right conveyance region R, the lead frame 1 is formed so as to face the conveyance direction A and to be inclined with respect to the conveyance direction A. Further, the blowing nozzles 14d arranged corresponding to the bonding positions are formed orthogonal to the transport direction of the lead frame 1.
[0012]
Next, the operation will be described.
[0013]
In performing the wire bonding operation, when the wire bonding apparatus is activated, the heater (not shown) is turned on to heat the heater block 15 and the opening / closing valve (not shown) of the antioxidant gas supply unit 14a is opened. An antioxidant gas is supplied into the transport path 13 through the supply pipe 14b, the chamber chamber 14c, and the blowout nozzle 14d. Here, the antioxidant gas supplied to the conveyance path 13 flows in the conveyance direction A of the lead frame 1 in the right conveyance region R, and in the counter conveyance direction B of the lead frame 1 in the left conveyance region L. It flows toward the outside and is discharged from the end of the transport path 13 to the outside. Further, at the bonding position P, the antioxidant gases ejected from the opposed blowing holes 14d collide with each other and spread in the vertical and horizontal directions. The antioxidant gas that flows together with the flow of the antioxidant gas toward B and spreads upward is ejected from the opening 12a to the outside of the conveyance path 13. Thereby, the inside of the conveyance path 13 is filled with an antioxidant gas atmosphere after a predetermined time has elapsed.
[0014]
After a predetermined time has elapsed, the heater block 15 is heated to a predetermined temperature, and the inside of the transport path 13 is filled with an antioxidant gas atmosphere, and then the lead frame 1 is supplied to the transport apparatus 10 by a lead frame supply means (not shown). Then, it is conveyed to the bonding position P in the conveyance path 13. At the bonding position P, the lead frame 1 is subjected to known wire bonding by the capillary 17. Thereafter, the lead frame 1 is further transported in the transport path 13 and stored in a lead frame storing means (not shown).
[0015]
According to the first embodiment, the antioxidant gas ejected from the blow nozzle 14d forms a flow toward the right transport region R and the left transport region L with respect to the bonding position P in the transport path 13. . Thereby, the antioxidant gas supplied to the transport path 13 is smoothly discharged from the both end portions of the transport rail 11 to the outside of the transport path 13 without stagnation in the transport path 13. Therefore, before the antioxidant gas is supplied, it is possible to satisfactorily exchange the air that has filled the inside of the transport path 13 with the antioxidant gas, and thus it is possible to satisfactorily prevent the lead frame 1 from being oxidized.
[0016]
When a large amount of antioxidant gas is blown up from the opening 12a, the discharge generated between the wire 18 protruding from the capillary 17 and a discharge electrode (not shown) is affected by the flow of the blown up antioxidant gas. However, according to the above embodiment, this problem can also be prevented. That is, the antioxidant gas ejected from the blow nozzle 14d forms a flow in the transport path 13 toward the right transport area R and the left transport area L with respect to the bonding position P. Part of the remaining antioxidant gas or the antioxidant gas ejected from the opening 12a is drawn into the flow of the antioxidant gas in the right transfer region R or the left transfer region L, and from the end of the transfer path 13 It will be discharged outside. Accordingly, the antioxidant gas ejected from the opening 12a can be reduced as compared with the conventional case, and the discharge generated between the wire tip and the discharge electrode (not shown) is unstable due to the antioxidant gas. Therefore, it is possible to obtain a ball formation state that is more stable than in the prior art.
[0017]
Next, a second embodiment will be described. FIG. 3 is a side cross-sectional view showing a second embodiment of the lead frame transport device according to the present invention.
[0018]
In the figure, the same parts as those in FIG.
[0019]
The lead frame transfer device 20 includes a transfer rail 11, a lid 12, and an antioxidant gas supply means 14. The antioxidant gas supplied from the antioxidant gas supply unit 14a is supplied with a supply pipe 14b and a blowout nozzle 14d. To the transport path 13. In this embodiment, the blowing nozzle 14 d is arranged orthogonal to the conveyance direction A of the lead frame 1.
[0020]
The lid portion 12 has step portions 21 and 22 on the top surface 12b. As the step portions 21 and 22 move away from the bonding position P, the cross-sectional area in the direction orthogonal to the transport direction A in the transport path 13 increases. It is formed in steps.
[0021]
In this embodiment, the antioxidant gas ejected from the blowing nozzle 14d collides with the antioxidant gas that collides with the top surface 12b and spreads in the left-right direction, and then blows out from the adjacent blowing nozzle 14d and spreads to the left and right. However, the conveyance path 13 is formed by the step portions 21 and 22 so that the cross-sectional area, that is, the volume increases as the distance from the bonding position P increases. The antioxidant gas flows out in the direction of increasing the volume. That is, the antioxidant gas flows toward the transport direction A of the lead frame 1 in the right transport region R, and flows toward the counter transport direction B of the lead frame 1 in the left transport region L, respectively. It is discharged outside from the end. Further, at the bonding position P, the expanded antioxidant gas flows toward the right transport region R or the left transport region L and is jetted out of the transport path 13 from the opening 12a.
[0022]
According to the second embodiment, the antioxidant gas ejected from the blow nozzle 14d forms a flow toward the right transport region R or the left transport region L with respect to the bonding position P in the transport path 13. To do. Accordingly, the antioxidant gas supplied into the conveyance path 13 is smoothly discharged from both ends of the conveyance path 13 to the outside of the conveyance path 13 without stagnation in the conveyance path 13 and before the supply of the antioxidant gas. In addition, it is possible to satisfactorily exchange the air that has filled the inside of the transport path 13 and the antioxidant gas, and thus it is possible to satisfactorily prevent the lead frame 1 from being oxidized.
[0023]
Also in the present embodiment, as in the first embodiment, it is possible to stabilize the discharge state at the time of ball formation on the wire tip.
[0024]
In the above embodiment, the blow nozzle 14 is described as being inclined with respect to the transport direction of the lead frame 1 and the example in which the step portions 21 and 22 are provided on the lid portion 12. The invention is not limited to this. For example, instead of the step portions 21 and 22, an inclined portion that becomes higher as the distance from the bonding position P increases may be provided on the top surface 12 b of the lid portion 12. Further, the blowout nozzle 14d and the stepped portions 21 and 22 that are inclined may be provided together.
[0025]
In addition, although the example in which the flow direction of the antioxidant gas is set to the direction toward the left and right transfer regions with respect to the bonding position P has been described, the flow direction of the antioxidant gas is the transfer direction of the lead frame 1 or the anti-transfer direction. Any one direction may be sufficient.
[0026]
In the above-described embodiment, the example applied to the wire bonding apparatus has been described. However, the present invention may be applied to other apparatuses such as a semiconductor pellet bonding apparatus that bonds a semiconductor let to a lead frame or the like.
[0027]
【The invention's effect】
According to the present invention, oxidation of the lead frame can be satisfactorily prevented.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan sectional view showing a first embodiment of a lead frame transport device according to the present invention.
FIG. 2 is a side sectional view showing a first embodiment of a lead frame carrying device according to the present invention.
FIG. 3 is a side cross-sectional view showing a second embodiment of the lead frame carrying device according to the present invention.
FIG. 4 is a plan sectional view showing a conventional lead frame transport device.
FIG. 5 is a side sectional view showing another conventional lead frame conveying apparatus.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lead frame 10 and 20 Lead frame conveying apparatus 11 Conveying rail 12 Lid part 13 Conveying path 14 Antioxidant gas supply means 14a Supply part 14d Blowing nozzle (blowing hole)
15 Heater blocks 21, 22, 23

Claims (4)

リードフレームを搬送するトンネル状の搬送空間を有する搬送路と、この搬送路に対して酸化防止ガスを供給する酸化防止ガス供給手段とを有するリードフレーム搬送装置において、前記搬送路内における前記酸化防止ガスの流れを、前記リードフレームの搬送方向に沿う方向にする流れ方向規制手段を設けたことを特徴とするリードフレーム搬送装置。In a lead frame transport apparatus having a transport path having a tunnel-shaped transport space for transporting a lead frame and an antioxidant gas supply means for supplying an antioxidant gas to the transport path, the oxidation prevention in the transport path A lead frame transport apparatus comprising a flow direction restricting means for making a gas flow in a direction along a transport direction of the lead frame. リードフレームを搬送するトンネル状の搬送空間を有する搬送路と、この搬送路に対して酸化防止ガスを供給する酸化防止ガス供給手段と、前記搬送路上に設定された前記リードフレームに対する作業位置とを有するリードフレーム搬送装置において、前記搬送路における前記酸化防止ガスの流れを、前記作業位置を基準として前記作業位置から遠ざかる方向とする流れ方向規制手段を設けたことを特徴とするリードフレーム搬送装置。A transport path having a tunnel-shaped transport space for transporting the lead frame, an antioxidant gas supply means for supplying an antioxidant gas to the transport path, and a work position for the lead frame set on the transport path. The lead frame transport apparatus according to claim 1, further comprising a flow direction restricting means for setting the flow of the antioxidant gas in the transport path in a direction away from the work position with respect to the work position. 流れ方向規制手段は、前記酸化防止ガスの噴出方向が前記リードフレームの搬送方向に対して傾斜するごとくに形成された吹出し孔であることを特徴とする請求項１または２記載のリードフレーム搬送装置。3. The lead frame transport device according to claim 1, wherein the flow direction regulating means is a blowout hole formed such that a jet direction of the antioxidant gas is inclined with respect to a transport direction of the lead frame. . 流れ方向規制手段は、前記搬送路における前記リードフレームの搬送方向に直交する方向の断面積が、前記リードフレームの搬送方向において徐々に増大するごとくに、前記搬送路の内壁に形成された段部であることを特徴とする請求項１または２記載のリードフレーム搬送装置。The flow direction restricting means has a step portion formed on the inner wall of the transport path such that a cross-sectional area in a direction perpendicular to the transport direction of the lead frame in the transport path gradually increases in the transport direction of the lead frame. The lead frame carrying device according to claim 1, wherein the lead frame carrying device is a lead frame conveying device.
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