JP3761700B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板などの基板に所定の処理を行う複数個の処理ユニットで構成された基板処理装置に係り、特に各処理ユニットを装置内情報通信網、いわゆる装置内ＬＡＮ(local area network)によって接続する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の基板処理装置として、例えば半導体ウエハ（以下、単に「基板」と呼ぶ）に回路パターンを形成するための工程であるフォトリソグラフィ工程で利用される、レジスト塗布処理ユニットや露光処理ユニットや現像処理ユニットなどの各種の処理ユニットから構成される基板処理装置がある。前記の他、拡散工程で利用される、基板に酸化膜の生成や不純物をドープする熱拡散処理ユニットや搬送処理ユニットなどで構成される基板処理装置や、基板に窒化膜を生成するＣＶＤ処理ユニット等で構成される基板処理装置などがある。これらの基板処理装置は、基板処理装置ごとにその各処理ユニットを制御するメインコントローラを備えていて、このメインコントローラの指示によって、各処理ユニットを制御して基板に一連の処理を行っている。
【０００３】
これらの基板処理装置のユーザである例えば半導体製造メーカでは、各種の基板処理装置が配備されたクリーンルーム内において基板の製造が行われていて、各基板処理装置ごとに生産量や稼動状況を管理している。この生産管理等には、基板処理装置ごとのメインコントローラに主にシリアル通信ケーブルで接続された例えばパソコンなどによって収集された、基板処理装置の各処理ユニットでの処理状況や処理枚数などの情報が利用されている。
【０００４】
図４に示すように、クリーンルーム１５内には、複数台の基板処理装置６０が配置されていて、各基板処理装置６０にはパソコン６１がそれぞれ接続されている。上述したように基板処理装置のメインコントローラ６０ａは、各処理ユニット６０ｂ1〜６０ｂnの動作を制御するとともに、各処理ユニットでの処理量および稼動状況の情報をパソコン６１に送信する。オペレータは、パソコン６１を操作して、必要な情報を取り出す。オペレータは、各基板処理装置から同様にして必要な情報を取り出して、各基板処理装置の稼動状況などを把握している。
【０００５】
しかし、上述した方法では、クリーンルーム１５の全体における稼動状況をリアルタイムに把握するのが困難であり、また、基板処理技術の複雑化に伴って、収集する情報量が膨大になり、シリアル通信による収集も困難になっている。
【０００６】
そこで、近年、コンピュータのネットワーク技術の向上に伴って、上述した各基板処理装置から収集した情報をリアルタイムに有効活用かつ統括的に管理するため、クリーンルーム内の各基板処理装置を構内情報通信網、いわゆるイーサネットなどのＬＡＮ(local area network) によって接続することが試みられている。これら半導体メーカの動向に対応して、基板処理装置６０内の各処理ユニット６０ｂ1〜６０ｂn等も、基板処理装置６０外からその稼動状況等を把握できるようにするため、ＬＡＮによって接続されつつある。
【０００７】
具体的には、ＬＡＮで構成された基板処理装置は、図５に示すように構成され、クリーンルーム１５内に配備される。基板処理装置７１は、各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃnと、これらを制御するメインコントローラ７１ｂと、さらに、基板処理装置７１内を統括的に管理するホストコントローラ７１ａとが装置内ＬＡＮ７４に接続されている。この装置内ＬＡＮ７４は、多量の情報を比較的高速で通信できるイーサネットなどのＬＡＮによって構築されているので、基板処理の複雑化に伴う情報量の増加に対応することもできる。ホストコントローラ７１ａには、ネットワークモジュールであるネットワークインターフェイスカード７３が取り付けられていて、このネットワークフェイスカード７３を介して、クリーンルーム内ＬＡＮ１６と接続される。
【０００８】
クリーンルーム内ＬＡＮ１６には、このクリーンルーム内ＬＡＮ１６を統括的に管理するホストコンピュータ７０が設けられている。このホストコンピュータ７０は、クリーンルーム１５内の全ての基板処理装置７１の各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃnの稼動状況や生産量などを詳細に把握することができるので、全基板処理装置７１を統括管理して、効率よく各基板処理装置７１を運用することが可能となる。さらに、クリーンルーム内ＬＡＮ１６内は、ホストコンピュータ７０を介して、クリーンルーム１５外のネットワーク１７にも接続されていて、クリーンルーム１５のある工場から離れた場所からも、携帯端末などによってクリーンルーム内ＬＡＮ１６のホストコンピュータ７０にアクセスすることで、このクリーンルーム１５内の稼動状況等を詳細に把握することが可能となる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
ＬＡＮに設けられたノード（ＬＡＮに接続される機器）から発信された情報は、ＬＡＮの通信回線上（以下、単に「ＬＡＮ上」と呼ぶ）を流通する。この発信された情報には、送信したい目的のノードに対応するアドレスが含まれているので、各ノードは、自分のアドレスに対応する情報だけを受信し、この情報の応じた対応をする。このとき、複数台のノードから情報が発信された場合、ＬＡＮ上には複数個の情報が流通することとなる。また、２つのグループのＬＡＮ同士が接続された場合、各ＬＡＮに接続された全てのノードは、それぞれ同一回線上に存在するとみることができ、各ノードから発信された情報は、２つのＬＡＮ上を流通することとなる。
【００１０】
上述した説明を従来例に当てはめて説明すると、クリーンルーム１５内の複数台の基板処理装置７１は、イーサネットによってクリーンルーム内ＬＡＮ１６が構築されていて、さらに、基板処理装置７１内も同様にして各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃnは装置内ＬＡＮ７４を構築している。したがって、クリーンルーム内ＬＡＮ１６を統括管理するホストコンピュータ７０は、各基板処理装置７１の各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃnから発信される情報をＬＡＮ上から取り出すだけで各処理ユニットで行われている動作状況などの情報を詳細に把握することができる。また、各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃnに対応するアドレスを含む命令情報を発信すれば、各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃnを制御をすることもできる。
【００１１】
したがって、近年、回路パターンの微細化に伴う基板処理の複雑化・高度化によって、各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃn内で行われる数多くの制御、例えば基板のレジスト塗布や現像を行う場合の基板の回転方法や、処理手順などの、いわゆる機密情報が、基板処理装置７１に数多く導入されている。これらの機密情報は、ＬＡＮを通じてユーザである半導体メーカのホストコンピュータ７０に把握され、また、ネットワーク１７を通じて進入してくる部外者等に知られ、機密を保持することができなくなるという問題がある。
【００１２】
また、比較的に多量の情報の流通を許容するイーサネットＬＡＮではあるが、各基板処理装置７１の各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃn間では、複雑で数多くの情報が相互に交換されるので、クリーンルーム内ＬＡＮ１６上には、各基板処置装置７１の各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃnから発信される多量の情報が氾濫することになる。したがって、装置内ＬＡＮ７４及びクリーンルーム内ＬＡＮ１６上では、トラフィックの増加による通信速度の低下によって、ホストコンピュータ７０及び基板処理装置７１間での情報の送受信や、ホストコントローラ７１ａ及び特定の処理ユニット間などでの情報の送受信を迅速に行うことができないという問題もある。
【００１３】
なお、これらの問題を解決するために、各基板処理装置７１から特定の情報だけをクリーンルーム内ＬＡＮ１６に送信するとともに、特定の情報のみを装置内ＬＡＮ７４に取り入れることができるスイッチングハブやルータ等のネットワーク管理機器を設置することもできるが、これらのネットワーク管理機器は高価なので、基板処理装置７１の製造コストの過大な増加を招くという問題もある。
【００１４】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、機密情報の流出を防止するために装置内情報通信網と装置外情報通信網とを物理的に切り離しつつも、同一の情報通信網上に存在するかのように特定の情報だけを流通させることができるとともに、安価に製造することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、複数個の処理ユニットとホストコントローラとを備えた基板処理装置において、前記複数個の処理ユニットの各々をそれぞれ情報流通可能に接続する装置内情報通信網は、複数の基板処理装置を統括的に管理・制御するホストコンピュータが接続されている装置外情報通信網と物理的に切り離され、前記ホストコントローラは、前記装置内情報通信網に接続された第１の情報通信手段と、前記装置外情報通信網に接続された第２の情報通信手段と、前記第１の情報通信手段と前記第２の情報通信手段との間で、機密情報を除いた処理の進捗状況を含む特定の情報であって、前記ホストコントローラで前記ホストコンピュータのネットワークアドレスを付した進捗状況情報、及び、所定の処理をするための情報に前記第２の情報通信手段のネットワークアドレスが付された命令情報であって、前記ホストコントローラで前記装置内情報通信網のネットワークアドレスを付した命令情報だけを流通可能にすることで、前記装置内情報通信網と前記装置外情報通信網とを仮想的に接続する情報通信制御手段とを備え、前記第１の情報通信手段と前記第２の情報通 信手段とに、それぞれ異なるネットワークアドレスが割り当てられることを特徴とするものである。
【００１６】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理装置において、前記第１の情報通信手段と前記第２の情報通信手段とは、それぞれネットワークインターフェイスカードによって構成されたものである。
【００１７】
【作用】
請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。
基板処理装置の各処理ユニットから発信される情報は、複数の基板処理装置を統括的に管理・制御するホストコンピュータが接続されている装置外情報通信網と物理的に切り離された装置内情報通信網内だけで流通する。情報通信制御手段は、装置内情報通信網内に流通する、機密情報を除いた処理の進捗状況を含む特定の情報であって、ホストコントローラでホストコンピュータのネットワークアドレスが付された進捗状況情報、及び、所定の処理をするための情報に前記第2の情報通信手段のネットワークアドレスが付された命令情報だけを、この装置内情報通信網に接続された第１の情報通信手段によって取得する。さらに、情報通信制御手段は、この特定の情報だけを第２の情報通信手段から装置外情報通信網に送信するので、基板処理に係る特定の情報以外の機密情報は、装置外情報通信網に送信されない。装置外情報通信網では、特定の情報だけが流通するので、装置外情報通信網に流通する情報量が比較的少なくなり、トラフィックが減少する。
【００１８】
また、第１の情報通信手段と第２の情報通信手段とには、それぞれ異なったネットワークアドレスが割り振られているので、情報通信制御手段は、第１の情報通信手段と第２の情報通信手段とを混同することなく情報を送受信する。
【００１９】
請求項２に記載の発明によれば、情報通信制御手段は、装置内情報通信網に接続されたネットワークインターフェイスカードを通じて、装置内情報通信網との情報のやり取りを行うとともに、装置外情報通信網に接続されたネットワークインターフェイスカードを通じて、装置外情報通信網との情報のやり取りを行うことで、装置外情報通信網と装置内情報通信網とを仮想的に接続して情報を流通させる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
図１は本発明の実施例に係る複数台の基板処理装置を配置したクリーンルーム内を示すブロック図である。図２は、本発明の実施例に係る基板処理装置を示すブロック図である。なお、この実施例では、各基板処理装置及び各基板処理装置内の各処理ユニットを情報通信網であるイーサネットによるＬＡＮ（Local area network) によって接続した場合について説明し、また、通信時には、例えばＴＣＰ／ＩＰ(Transmission Control Protocol/Internet Protocol) などの標準的なプロトコルが利用される。なお、本実施例では、イーサネットによるＬＡＮについて説明するが、本発明はこれに限定するものではなく、例えばトークンパッシング方式のトークリングなどのＬＡＮによって各基板処理装置及び各処理ユニットを接続することもできる。
【００２１】
図１に示すように、クリーンルーム１５内には、複数台の基板処理装置Ｍ1〜Ｍnと、ホストコンピュータ２が配備されていて、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnとホストコンピュータ２は、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に接続されている。また、このクリーンルーム内ＬＡＮ１６は、クリーンルーム１５の外側の例えばインターネットや社内ＬＡＮなどのネットワーク１７に接続されている。クリーンルーム内ＬＡＮ１６とネットワーク１７との接続は、ブリッジなどのネットワーク管理機器によって接続されている。したがって、ネットワーク管理機器は、ネットワーク１７上からのハッカーなどによる不必要なアクセスをキャンセルするとともに、クリーンルーム内ＬＡＮ１６上で流通する情報がネットワーク１７に流出するのを防止する。なお、図１中の破線の矢印は、情報の流れを示すものである。
【００２２】
ホストコンピュータ２は、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に接続された基板処理装置Ｍ1 〜Ｍnを統括的に管理・制御する、いわゆるサーバーマシンである。ホストコンピュータ２は、ネットワーク１７からのアクセスに対して応答したり、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnから特定の情報、例えば装置の稼動状況や基板の処理状況などの情報を収集したり、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnに対して基板処理の開始・終了・待機等の指示を行うものである。
【００２３】
クリーンルーム内ＬＡＮ１６を統括管理するためのホストコンピュータ２には、ネットワークアドレスであるＩＰアドレス（Internet Protocol アドレス） が割り当てられている。ホストコンピュータ２に割り当てられたＩＰアドレスは、ネットワークの規模に合わせたアドレスが割り当てられ、例えばＣクラスの場合２５０台分のアドレスを持つことができる、２４ビットのネットワーク識別子と８ビットのホスト識別子で構成される。なお、このＩＰアドレスは、ＴＣＰ／ＩＰの規格に準拠するものであり詳細は省略し、ここでは、ホストコンピュータ２に割り当てられたＩＰアドレスを「Ａ0」とする。さらに、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnは、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に接続されているので、これら各基板処理装置Ｍ1〜Ｍnに割り当てられるＩＰアドレスを「Ａ1」〜「Ａn」とする。
【００２４】
次に、上述したクリーンルーム内ＬＡＮ１６におけるホストコンピュータ２と基板処理装置Ｍ1〜Ｍnとの間で行われる情報の送受信について説明する。
【００２５】
特定の基板処理装置Ｍiに所定の処理を行わせる場合、ホストコンピュータ２は、所定の処理をするための情報に特定の基板処理装置ＭiのＩＰアドレスＡiを付した命令情報ＪＡiをクリーンルーム内ＬＡＮ１６に発信する。この命令情報ＪＡiは、クリーンルーム内ＬＡＮ１６上を流通する。基板処理装置Ｍ1〜Ｍnは、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に流通する情報を常に把握して、自分に割り当てられたＩＰアドレスの情報だけを受信するように構成されているので、特定の基板処理装置Ｍiは、クリーンルーム内ＬＡＮ１６上の命令情報ＪＡiを受信して、この命令に応じた処理を行う。
【００２６】
また、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnからホストコンピュータ２に向けて情報を送信する場合、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnは、例えば処理の進捗状況などの情報にホストコンピュータ２のＩＰアドレスＡ0を付した進捗状況情報ＳＡ0を、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に発信する。この進捗状況情報ＳＡ0も上記命令情報ＪＡiと同様に、クリーンルーム内ＬＡＮ１６上を流通する。ホストコンピュータ２も基板処理装置Ｍ1〜Ｍnと同様に、自分のＩＰアドレスの付された情報を常に把握し受信するので、ホストコンピュータ２は、進捗状況情報ＳＡ0を得ることができる。上述したように、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnおよびホストコンピュータ２への情報の送受信は、送信したい目的の装置に対応するＩＰアドレスを付した情報を、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に対して発信することで行われる。
【００２７】
次に、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に接続されている基板処理装置Ｍ1〜Ｍnは、それぞれ同様の構成となっているので、これらを代表する基板処理装置Ｍiについて説明する。図２に示すように、基板処理装置Ｍiは、複数台の処理ユニットＹ1〜Ｙnと、これら処理ユニットＹ1〜Ｙnを統括的に制御するメインコントローラと、クリーンルーム内ＬＡＮ１６と基板処理装置Ｍiとの間での通信を制御するホストコントローラ３とが装置内ＬＡＮ６によって接続されて構成されている。
【００２８】
処理ユニットＹ1〜Ｙnは、例えばレジスト塗布装置、現像装置、加熱装置、冷却装置、露光装置、基板搬送装置などの処理装置である。これら処理ユニットＹ1〜Ｙnは、メインコントローラ４によって制御され、所定の動作をするたびに、動作に対応する動作情報を装置内ＬＡＮ６に発信するものである。
【００２９】
ホストコントローラ３は、装置内ＬＡＮ６に接続された第１の通信処理部３ａと、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に接続された第２の通信処理部３ｂとを備えている。ホストコントローラ３は、装置内ＬＡＮ６に流通する、予め決められた特定の情報だけを第２の通信処理部３ｂを通じて、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に発信する。第１の通信処理部３ａと第２の通信処理部３ｂとは、それぞれネットワークインターフェイスカードであるイーサネットカードで構成されていて、ホストコントローラ３に備える拡張スロットにそれぞれ装着されているものである。したがって、装置内ＬＡＮ６とクリーンルーム内ＬＡＮ１６とは、物理的に切り離された状態で存在している。ホストコントローラ３で行われる処理は、本発明の情報通信制御手段の機能に相当する。
【００３０】
基板処理装置Ｍiには、上述したように、ホストコンピュータ２によって、例えばＩＰアドレスＡiが割り当てられていたが、具体的にこのＩＰアドレスＡiは、第２の通信処理部３ｂのイーサネットカードに割り当てられる。基板処理装置Ｍi内では、上記ＩＰアドレスＡiとは別個独立したＩＰアドレスが次のように割り当てられる。まず、処理ユニットＹ1〜Ｙnには、ＩＰアドレスＢ1〜Ｂnを、メインコントローラ４には、ＩＰアドレスＢn+1を、第１の通信処理部３ａのイーサネットカードには、ＩＰアドレスＢ0が割り当てられる。つまり、基板処理装置Ｍiには、２種類のＩＰアドレスＡiとＢ0とが割り振られていることになる。なお、ホストコンピュータ２は、装置内ＬＡＮ６とクリーンルーム内ＬＡＮ１６とが物理的に切り離されているので、ＩＰアドレスＢ0を認識することができない。つまり、ホストコンピュータ２は、基板処理装置Ｍi内の処理ユニットＹ1〜Ｙnに対して直接的にアクセスすることはできない。
【００３１】
上述した装置内ＬＡＮ６におけるホストコントローラ３と処理ユニットＹ1〜Ｙnとメインコントローラ４との間での情報の送受信を図３を参照して説明する。なお、図中の破線の矢印は、情報の流れを示すものである。
【００３２】
基板処理装置Ｍiのホストコントローラ３は、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に流通する自分宛の情報であるＩＰアドレスＡ1が付された情報ＪＡiを第２の通信処理部３ｂのイーサネットカードを通じて受信する。さらに、ホストコントローラ３は、この情報ＪＡiが正当な情報か否かを判断して、メインコントローラ４のＩＰアドレスＢn+1を付した情報ｊＢn+1を第１の通信処理部３ａのイーサネットカードから装置内ＬＡＮ６に発信する。発信された情報ｊＢn+1は、装置内ＬＡＮ６上を流通する。なお、上記情報ＪＡiが正当な情報か否かを判断は、例えば複数個の正当な情報を予めホストコントローラ３に記憶しておくことで、受信した情報ＪＡ1を記憶している情報とを比較することで、正当か否かを判断することができる。もし、受信した情報ＪＡiが正当な情報でない場合には、情報ＪＡiを破棄する。
【００３３】
装置内ＬＡＮ６に接続されている処理ユニットＹ1〜Ｙnやメインコントローラ４などは、常に装置内ＬＡＮ６上に流通する情報を把握して、自分のＩＰアドレスが付された情報だけを受信するように構成されているので、メインコントローラ４は、装置内ＬＡＮ６に流通する情報ｊＢn+1を受信する。メインコントローラ４は、この情報ｊＢn+1に基づいて、処理ユニットＹ1〜Ｙnを制御するために、処理ユニットＹ1〜ＹnのＩＰアドレスＢ1〜Ｂnを付した制御情報ｊＢ1〜ｊＢnを装置内ＬＡＮ６に発信する。例えば処理ユニットＹiは、自分のＩＰアドレスＢiに対応する制御情報ｊＢiだけを受信して、この制御情報ｊＢiに応じた一連の動作を行う。また、処理ユニットＹiは、制御情報ｊＢiに応じた一連の動作をしていることをメインコントローラ４及びホストコントローラ３に知らせるために、予め決められた動作をする度に、送信先のＩＰアドレスを付した動作情報ｋＢn+1、ｋＢ0を装置内ＬＡＮ６に発信する。
【００３４】
メインコントローラ４は、装置内ＬＡＮ６上に流通する動作情報ｋＢn+1を受信して、処理ユニットＹiが正常に動作していることを確認する。ホストコントローラ３は、装置内ＬＡＮ６上に流通する自分宛の動作情報ｋＢ0を逐一受信して、処理ユニットＹ1〜Ｙnの稼動状況や処理枚数などの情報を把握する。そして、基板処理装置Ｍiの機密情報に係わらない特定の情報だけを、ホストコンピュータ２のＩＰアドレスＡ0を付してクリーンルーム内ＬＡＮ１６に発信する。ホストコンピュータ２は、上述したように、自分のＩＰアドレスの付された情報を受信するので、各基板処理装置Ｍ1〜Ｍnの稼動状況などの情報をそれぞれ把握することができる。
【００３５】
上述したように、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnは、装置内ＬＡＮ６とクリーンルーム内ＬＡＮ１６とを物理的に切り離しているので、装置内ＬＡＮ６内に流通する情報がクリーンルーム内ＬＡＮ１６に流出しない。したがって、基板処理装置における機密情報を装置外に漏らさない。また、装置内ＬＡＮ６とクリーンルーム内ＬＡＮ１６とは、ホストコントーラ３によって、特定の情報だけが流通するように仮想的に接続されているので、装置内ＬＡＮ６とクリーンルーム内ＬＡＮ１６は、実質的に同一のＬＡＮに接続されているとみることができる。つまり、ホストコンピュータ２によってクリーンルーム１５内に配置された基板処理装置Ｍ1〜Ｍnを統括的に管理することができるので、効率よく各基板処理装置を運用することができる。
【００３６】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、基板処理装置の各処理ユニットが接続された装置内情報通信網と、基板処理装置が接続された装置外情報通信網とを物理的に切り離しているので、複数の基板処理装置を統括的に管理・制御するホストコンピュータが接続されている基板処理装置外から各処理ユニットに対する不必要なアクセスを防止することができるとともに、基板処理装置内の機密情報を基板処理装置外へ漏洩することを防止することができる。また、装置内情報通信網内と装置外情報通信網との間を、機密情報を除いた処理の進捗状況を含む特定の情報であって、ホストコントローラでホストコンピュータのネットワークアドレスが付された進捗状況情報、及び、所定の処理をするための情報に前記第2の情報通信手段のネットワークアドレスが付された命令情報を流通させることで仮想的に接続しているので、情報通信網としての機能を損なうことがない。さらに、装置外情報通信網には、特定の情報だけしか流通しないので、従来のように各基板処理装置の各処理ユニットからの情報が氾濫していた状態に比べて、比較的情報量が少なくなりトラフィックが減少し、その結果、通信速度を向上することができる。
【００３７】
また、第１の情報通信手段と第２の情報通信手段には、それぞれ異なったネットワークアドレスが割り振られているので、情報通信制御手段は、第１の情報通信手段と第２の情報通信手段とを混同することなく特定の情報を送受信することができる。また、装置外情報通信網から基板処理装置を見た場合、装置外情報通信網から認識できるネットワークアドレスは、装置外情報通信網に接続された第２の情報通信手段に割り当てられた単一のネットワークアドレスだけであり、第１の情報通信手段に割り当てられたネットワークアドレスを認識することができないので、より確実に装置内情報通信網へのアクセスを防止することができる。
【００３８】
請求項２に記載の発明によれば、第１の情報通信手段と第２の情報通信手段とは、ネットワークインターフェイスカードによって構成されているので、基板処理装置の製造コストを比較的安価にすることができる。また、ネットワークインターフェイスカードは、一般的なパソコン等の機器に使用されていて汎用性があるので、将来的に複数台の基板処理装置で構築される情報通信網（ＬＡＮ）の発達に伴う拡張の場合にも、ネットワークイン ターフェイスカードを交換するだけよく、経済的である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施例に係る基板処理装置がＬＡＮによって接続された様子を示すブロック図である。
【図２】 実施例に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
【図３】 基板処理装置とホストコンピュータとの情報の送受信の様子を示す図である。
【図４】 従来例の基板処理装置をクリーンルーム内に配置した様子を示すブロック図である。
【図５】 従来例の基板処理装置がＬＡＮによって接続された様子を示す図である。
【符号の説明】
２ …ホストコンピュータ
３ …ホストコントローラ
３ａ…第１の通信処理部
３ｂ…第２の通信処理部
４ …メインコントローラ
６ …装置内ＬＡＮ
１５…クリーンルーム
１６…クリーンルーム内ＬＡＮ
１７…ネットワーク
Ｍ1〜Ｍn…基板処理装置
Ａ0〜Ａn…基板処置装置等のアドレス
Ｂ0〜Ｂn…基板処理装置内の各処理ユニット等のアドレス
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板などの基板に所定の処理を行う複数個の処理ユニットで構成された基板処理装置に係り、特に各処理ユニットを装置内情報通信網、いわゆる装置内ＬＡＮ(local area network)によって接続する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の基板処理装置として、例えば半導体ウエハ（以下、単に「基板」と呼ぶ）に回路パターンを形成するための工程であるフォトリソグラフィ工程で利用される、レジスト塗布処理ユニットや露光処理ユニットや現像処理ユニットなどの各種の処理ユニットから構成される基板処理装置がある。前記の他、拡散工程で利用される、基板に酸化膜の生成や不純物をドープする熱拡散処理ユニットや搬送処理ユニットなどで構成される基板処理装置や、基板に窒化膜を生成するＣＶＤ処理ユニット等で構成される基板処理装置などがある。これらの基板処理装置は、基板処理装置ごとにその各処理ユニットを制御するメインコントローラを備えていて、このメインコントローラの指示によって、各処理ユニットを制御して基板に一連の処理を行っている。
【０００３】
これらの基板処理装置のユーザである例えば半導体製造メーカでは、各種の基板処理装置が配備されたクリーンルーム内において基板の製造が行われていて、各基板処理装置ごとに生産量や稼動状況を管理している。この生産管理等には、基板処理装置ごとのメインコントローラに主にシリアル通信ケーブルで接続された例えばパソコンなどによって収集された、基板処理装置の各処理ユニットでの処理状況や処理枚数などの情報が利用されている。
【０００４】
図４に示すように、クリーンルーム１５内には、複数台の基板処理装置６０が配置されていて、各基板処理装置６０にはパソコン６１がそれぞれ接続されている。上述したように基板処理装置のメインコントローラ６０ａは、各処理ユニット６０ｂ1〜６０ｂnの動作を制御するとともに、各処理ユニットでの処理量および稼動状況の情報をパソコン６１に送信する。オペレータは、パソコン６１を操作して、必要な情報を取り出す。オペレータは、各基板処理装置から同様にして必要な情報を取り出して、各基板処理装置の稼動状況などを把握している。
【０００５】
しかし、上述した方法では、クリーンルーム１５の全体における稼動状況をリアルタイムに把握するのが困難であり、また、基板処理技術の複雑化に伴って、収集する情報量が膨大になり、シリアル通信による収集も困難になっている。
【０００６】
そこで、近年、コンピュータのネットワーク技術の向上に伴って、上述した各基板処理装置から収集した情報をリアルタイムに有効活用かつ統括的に管理するため、クリーンルーム内の各基板処理装置を構内情報通信網、いわゆるイーサネットなどのＬＡＮ(local area network) によって接続することが試みられている。これら半導体メーカの動向に対応して、基板処理装置６０内の各処理ユニット６０ｂ1〜６０ｂn等も、基板処理装置６０外からその稼動状況等を把握できるようにするため、ＬＡＮによって接続されつつある。
【０００７】
具体的には、ＬＡＮで構成された基板処理装置は、図５に示すように構成され、クリーンルーム１５内に配備される。基板処理装置７１は、各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃnと、これらを制御するメインコントローラ７１ｂと、さらに、基板処理装置７１内を統括的に管理するホストコントローラ７１ａとが装置内ＬＡＮ７４に接続されている。この装置内ＬＡＮ７４は、多量の情報を比較的高速で通信できるイーサネットなどのＬＡＮによって構築されているので、基板処理の複雑化に伴う情報量の増加に対応することもできる。ホストコントローラ７１ａには、ネットワークモジュールであるネットワークインターフェイスカード７３が取り付けられていて、このネットワークフェイスカード７３を介して、クリーンルーム内ＬＡＮ１６と接続される。
【０００８】
クリーンルーム内ＬＡＮ１６には、このクリーンルーム内ＬＡＮ１６を統括的に管理するホストコンピュータ７０が設けられている。このホストコンピュータ７０は、クリーンルーム１５内の全ての基板処理装置７１の各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃnの稼動状況や生産量などを詳細に把握することができるので、全基板処理装置７１を統括管理して、効率よく各基板処理装置７１を運用することが可能となる。さらに、クリーンルーム内ＬＡＮ１６内は、ホストコンピュータ７０を介して、クリーンルーム１５外のネットワーク１７にも接続されていて、クリーンルーム１５のある工場から離れた場所からも、携帯端末などによってクリーンルーム内ＬＡＮ１６のホストコンピュータ７０にアクセスすることで、このクリーンルーム１５内の稼動状況等を詳細に把握することが可能となる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
ＬＡＮに設けられたノード（ＬＡＮに接続される機器）から発信された情報は、ＬＡＮの通信回線上（以下、単に「ＬＡＮ上」と呼ぶ）を流通する。この発信された情報には、送信したい目的のノードに対応するアドレスが含まれているので、各ノードは、自分のアドレスに対応する情報だけを受信し、この情報の応じた対応をする。このとき、複数台のノードから情報が発信された場合、ＬＡＮ上には複数個の情報が流通することとなる。また、２つのグループのＬＡＮ同士が接続された場合、各ＬＡＮに接続された全てのノードは、それぞれ同一回線上に存在するとみることができ、各ノードから発信された情報は、２つのＬＡＮ上を流通することとなる。
【００１０】
上述した説明を従来例に当てはめて説明すると、クリーンルーム１５内の複数台の基板処理装置７１は、イーサネットによってクリーンルーム内ＬＡＮ１６が構築されていて、さらに、基板処理装置７１内も同様にして各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃnは装置内ＬＡＮ７４を構築している。したがって、クリーンルーム内ＬＡＮ１６を統括管理するホストコンピュータ７０は、各基板処理装置７１の各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃnから発信される情報をＬＡＮ上から取り出すだけで各処理ユニットで行われている動作状況などの情報を詳細に把握することができる。また、各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃnに対応するアドレスを含む命令情報を発信すれば、各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃnを制御をすることもできる。
【００１１】
したがって、近年、回路パターンの微細化に伴う基板処理の複雑化・高度化によって、各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃn内で行われる数多くの制御、例えば基板のレジスト塗布や現像を行う場合の基板の回転方法や、処理手順などの、いわゆる機密情報が、基板処理装置７１に数多く導入されている。これらの機密情報は、ＬＡＮを通じてユーザである半導体メーカのホストコンピュータ７０に把握され、また、ネットワーク１７を通じて進入してくる部外者等に知られ、機密を保持することができなくなるという問題がある。
【００１２】
また、比較的に多量の情報の流通を許容するイーサネットＬＡＮではあるが、各基板処理装置７１の各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃn間では、複雑で数多くの情報が相互に交換されるので、クリーンルーム内ＬＡＮ１６上には、各基板処置装置７１の各処理ユニット７１ｃ1〜７１ｃnから発信される多量の情報が氾濫することになる。したがって、装置内ＬＡＮ７４及びクリーンルーム内ＬＡＮ１６上では、トラフィックの増加による通信速度の低下によって、ホストコンピュータ７０及び基板処理装置７１間での情報の送受信や、ホストコントローラ７１ａ及び特定の処理ユニット間などでの情報の送受信を迅速に行うことができないという問題もある。
【００１３】
なお、これらの問題を解決するために、各基板処理装置７１から特定の情報だけをクリーンルーム内ＬＡＮ１６に送信するとともに、特定の情報のみを装置内ＬＡＮ７４に取り入れることができるスイッチングハブやルータ等のネットワーク管理機器を設置することもできるが、これらのネットワーク管理機器は高価なので、基板処理装置７１の製造コストの過大な増加を招くという問題もある。
【００１４】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、機密情報の流出を防止するために装置内情報通信網と装置外情報通信網とを物理的に切り離しつつも、同一の情報通信網上に存在するかのように特定の情報だけを流通させることができるとともに、安価に製造することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、複数個の処理ユニットとホストコントローラとを備えた基板処理装置において、前記複数個の処理ユニットの各々をそれぞれ情報流通可能に接続する装置内情報通信網は、複数の基板処理装置を統括的に管理・制御するホストコンピュータが接続されている装置外情報通信網と物理的に切り離され、前記ホストコントローラは、前記装置内情報通信網に接続された第１の情報通信手段と、前記装置外情報通信網に接続された第２の情報通信手段と、前記第１の情報通信手段と前記第２の情報通信手段との間で、機密情報を除いた処理の進捗状況を含む特定の情報であって、前記ホストコントローラで前記ホストコンピュータのネットワークアドレスを付した進捗状況情報、及び、所定の処理をするための情報に前記第２の情報通信手段のネットワークアドレスが付された命令情報であって、前記ホストコントローラで前記装置内情報通信網のネットワークアドレスを付した命令情報だけを流通可能にすることで、前記装置内情報通信網と前記装置外情報通信網とを仮想的に接続する情報通信制御手段とを備え、前記第１の情報通信手段と前記第２の情報通 信手段とに、それぞれ異なるネットワークアドレスが割り当てられることを特徴とするものである。
【００１６】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理装置において、前記第１の情報通信手段と前記第２の情報通信手段とは、それぞれネットワークインターフェイスカードによって構成されたものである。
【００１７】
【作用】
請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。
基板処理装置の各処理ユニットから発信される情報は、複数の基板処理装置を統括的に管理・制御するホストコンピュータが接続されている装置外情報通信網と物理的に切り離された装置内情報通信網内だけで流通する。情報通信制御手段は、装置内情報通信網内に流通する、機密情報を除いた処理の進捗状況を含む特定の情報であって、ホストコントローラでホストコンピュータのネットワークアドレスが付された進捗状況情報、及び、所定の処理をするための情報に前記第2の情報通信手段のネットワークアドレスが付された命令情報だけを、この装置内情報通信網に接続された第１の情報通信手段によって取得する。さらに、情報通信制御手段は、この特定の情報だけを第２の情報通信手段から装置外情報通信網に送信するので、基板処理に係る特定の情報以外の機密情報は、装置外情報通信網に送信されない。装置外情報通信網では、特定の情報だけが流通するので、装置外情報通信網に流通する情報量が比較的少なくなり、トラフィックが減少する。
【００１８】
また、第１の情報通信手段と第２の情報通信手段とには、それぞれ異なったネットワークアドレスが割り振られているので、情報通信制御手段は、第１の情報通信手段と第２の情報通信手段とを混同することなく情報を送受信する。
【００１９】
請求項２に記載の発明によれば、情報通信制御手段は、装置内情報通信網に接続されたネットワークインターフェイスカードを通じて、装置内情報通信網との情報のやり取りを行うとともに、装置外情報通信網に接続されたネットワークインターフェイスカードを通じて、装置外情報通信網との情報のやり取りを行うことで、装置外情報通信網と装置内情報通信網とを仮想的に接続して情報を流通させる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
図１は本発明の実施例に係る複数台の基板処理装置を配置したクリーンルーム内を示すブロック図である。図２は、本発明の実施例に係る基板処理装置を示すブロック図である。なお、この実施例では、各基板処理装置及び各基板処理装置内の各処理ユニットを情報通信網であるイーサネットによるＬＡＮ（Local area network) によって接続した場合について説明し、また、通信時には、例えばＴＣＰ／ＩＰ(Transmission Control Protocol/Internet Protocol) などの標準的なプロトコルが利用される。なお、本実施例では、イーサネットによるＬＡＮについて説明するが、本発明はこれに限定するものではなく、例えばトークンパッシング方式のトークリングなどのＬＡＮによって各基板処理装置及び各処理ユニットを接続することもできる。
【００２１】
図１に示すように、クリーンルーム１５内には、複数台の基板処理装置Ｍ1〜Ｍnと、ホストコンピュータ２が配備されていて、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnとホストコンピュータ２は、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に接続されている。また、このクリーンルーム内ＬＡＮ１６は、クリーンルーム１５の外側の例えばインターネットや社内ＬＡＮなどのネットワーク１７に接続されている。クリーンルーム内ＬＡＮ１６とネットワーク１７との接続は、ブリッジなどのネットワーク管理機器によって接続されている。したがって、ネットワーク管理機器は、ネットワーク１７上からのハッカーなどによる不必要なアクセスをキャンセルするとともに、クリーンルーム内ＬＡＮ１６上で流通する情報がネットワーク１７に流出するのを防止する。なお、図１中の破線の矢印は、情報の流れを示すものである。
【００２２】
ホストコンピュータ２は、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に接続された基板処理装置Ｍ1 〜Ｍnを統括的に管理・制御する、いわゆるサーバーマシンである。ホストコンピュータ２は、ネットワーク１７からのアクセスに対して応答したり、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnから特定の情報、例えば装置の稼動状況や基板の処理状況などの情報を収集したり、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnに対して基板処理の開始・終了・待機等の指示を行うものである。
【００２３】
クリーンルーム内ＬＡＮ１６を統括管理するためのホストコンピュータ２には、ネットワークアドレスであるＩＰアドレス（Internet Protocol アドレス） が割り当てられている。ホストコンピュータ２に割り当てられたＩＰアドレスは、ネットワークの規模に合わせたアドレスが割り当てられ、例えばＣクラスの場合２５０台分のアドレスを持つことができる、２４ビットのネットワーク識別子と８ビットのホスト識別子で構成される。なお、このＩＰアドレスは、ＴＣＰ／ＩＰの規格に準拠するものであり詳細は省略し、ここでは、ホストコンピュータ２に割り当てられたＩＰアドレスを「Ａ0」とする。さらに、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnは、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に接続されているので、これら各基板処理装置Ｍ1〜Ｍnに割り当てられるＩＰアドレスを「Ａ1」〜「Ａn」とする。
【００２４】
次に、上述したクリーンルーム内ＬＡＮ１６におけるホストコンピュータ２と基板処理装置Ｍ1〜Ｍnとの間で行われる情報の送受信について説明する。
【００２５】
特定の基板処理装置Ｍiに所定の処理を行わせる場合、ホストコンピュータ２は、所定の処理をするための情報に特定の基板処理装置ＭiのＩＰアドレスＡiを付した命令情報ＪＡiをクリーンルーム内ＬＡＮ１６に発信する。この命令情報ＪＡiは、クリーンルーム内ＬＡＮ１６上を流通する。基板処理装置Ｍ1〜Ｍnは、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に流通する情報を常に把握して、自分に割り当てられたＩＰアドレスの情報だけを受信するように構成されているので、特定の基板処理装置Ｍiは、クリーンルーム内ＬＡＮ１６上の命令情報ＪＡiを受信して、この命令に応じた処理を行う。
【００２６】
また、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnからホストコンピュータ２に向けて情報を送信する場合、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnは、例えば処理の進捗状況などの情報にホストコンピュータ２のＩＰアドレスＡ0を付した進捗状況情報ＳＡ0を、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に発信する。この進捗状況情報ＳＡ0も上記命令情報ＪＡiと同様に、クリーンルーム内ＬＡＮ１６上を流通する。ホストコンピュータ２も基板処理装置Ｍ1〜Ｍnと同様に、自分のＩＰアドレスの付された情報を常に把握し受信するので、ホストコンピュータ２は、進捗状況情報ＳＡ0を得ることができる。上述したように、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnおよびホストコンピュータ２への情報の送受信は、送信したい目的の装置に対応するＩＰアドレスを付した情報を、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に対して発信することで行われる。
【００２７】
次に、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に接続されている基板処理装置Ｍ1〜Ｍnは、それぞれ同様の構成となっているので、これらを代表する基板処理装置Ｍiについて説明する。図２に示すように、基板処理装置Ｍiは、複数台の処理ユニットＹ1〜Ｙnと、これら処理ユニットＹ1〜Ｙnを統括的に制御するメインコントローラと、クリーンルーム内ＬＡＮ１６と基板処理装置Ｍiとの間での通信を制御するホストコントローラ３とが装置内ＬＡＮ６によって接続されて構成されている。
【００２８】
処理ユニットＹ1〜Ｙnは、例えばレジスト塗布装置、現像装置、加熱装置、冷却装置、露光装置、基板搬送装置などの処理装置である。これら処理ユニットＹ1〜Ｙnは、メインコントローラ４によって制御され、所定の動作をするたびに、動作に対応する動作情報を装置内ＬＡＮ６に発信するものである。
【００２９】
ホストコントローラ３は、装置内ＬＡＮ６に接続された第１の通信処理部３ａと、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に接続された第２の通信処理部３ｂとを備えている。ホストコントローラ３は、装置内ＬＡＮ６に流通する、予め決められた特定の情報だけを第２の通信処理部３ｂを通じて、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に発信する。第１の通信処理部３ａと第２の通信処理部３ｂとは、それぞれネットワークインターフェイスカードであるイーサネットカードで構成されていて、ホストコントローラ３に備える拡張スロットにそれぞれ装着されているものである。したがって、装置内ＬＡＮ６とクリーンルーム内ＬＡＮ１６とは、物理的に切り離された状態で存在している。ホストコントローラ３で行われる処理は、本発明の情報通信制御手段の機能に相当する。
【００３０】
基板処理装置Ｍiには、上述したように、ホストコンピュータ２によって、例えばＩＰアドレスＡiが割り当てられていたが、具体的にこのＩＰアドレスＡiは、第２の通信処理部３ｂのイーサネットカードに割り当てられる。基板処理装置Ｍi内では、上記ＩＰアドレスＡiとは別個独立したＩＰアドレスが次のように割り当てられる。まず、処理ユニットＹ1〜Ｙnには、ＩＰアドレスＢ1〜Ｂnを、メインコントローラ４には、ＩＰアドレスＢn+1を、第１の通信処理部３ａのイーサネットカードには、ＩＰアドレスＢ0が割り当てられる。つまり、基板処理装置Ｍiには、２種類のＩＰアドレスＡiとＢ0とが割り振られていることになる。なお、ホストコンピュータ２は、装置内ＬＡＮ６とクリーンルーム内ＬＡＮ１６とが物理的に切り離されているので、ＩＰアドレスＢ0を認識することができない。つまり、ホストコンピュータ２は、基板処理装置Ｍi内の処理ユニットＹ1〜Ｙnに対して直接的にアクセスすることはできない。
【００３１】
上述した装置内ＬＡＮ６におけるホストコントローラ３と処理ユニットＹ1〜Ｙnとメインコントローラ４との間での情報の送受信を図３を参照して説明する。なお、図中の破線の矢印は、情報の流れを示すものである。
【００３２】
基板処理装置Ｍiのホストコントローラ３は、クリーンルーム内ＬＡＮ１６に流通する自分宛の情報であるＩＰアドレスＡ1が付された情報ＪＡiを第２の通信処理部３ｂのイーサネットカードを通じて受信する。さらに、ホストコントローラ３は、この情報ＪＡiが正当な情報か否かを判断して、メインコントローラ４のＩＰアドレスＢn+1を付した情報ｊＢn+1を第１の通信処理部３ａのイーサネットカードから装置内ＬＡＮ６に発信する。発信された情報ｊＢn+1は、装置内ＬＡＮ６上を流通する。なお、上記情報ＪＡiが正当な情報か否かを判断は、例えば複数個の正当な情報を予めホストコントローラ３に記憶しておくことで、受信した情報ＪＡ1を記憶している情報とを比較することで、正当か否かを判断することができる。もし、受信した情報ＪＡiが正当な情報でない場合には、情報ＪＡiを破棄する。
【００３３】
装置内ＬＡＮ６に接続されている処理ユニットＹ1〜Ｙnやメインコントローラ４などは、常に装置内ＬＡＮ６上に流通する情報を把握して、自分のＩＰアドレスが付された情報だけを受信するように構成されているので、メインコントローラ４は、装置内ＬＡＮ６に流通する情報ｊＢn+1を受信する。メインコントローラ４は、この情報ｊＢn+1に基づいて、処理ユニットＹ1〜Ｙnを制御するために、処理ユニットＹ1〜ＹnのＩＰアドレスＢ1〜Ｂnを付した制御情報ｊＢ1〜ｊＢnを装置内ＬＡＮ６に発信する。例えば処理ユニットＹiは、自分のＩＰアドレスＢiに対応する制御情報ｊＢiだけを受信して、この制御情報ｊＢiに応じた一連の動作を行う。また、処理ユニットＹiは、制御情報ｊＢiに応じた一連の動作をしていることをメインコントローラ４及びホストコントローラ３に知らせるために、予め決められた動作をする度に、送信先のＩＰアドレスを付した動作情報ｋＢn+1、ｋＢ0を装置内ＬＡＮ６に発信する。
【００３４】
メインコントローラ４は、装置内ＬＡＮ６上に流通する動作情報ｋＢn+1を受信して、処理ユニットＹiが正常に動作していることを確認する。ホストコントローラ３は、装置内ＬＡＮ６上に流通する自分宛の動作情報ｋＢ0を逐一受信して、処理ユニットＹ1〜Ｙnの稼動状況や処理枚数などの情報を把握する。そして、基板処理装置Ｍiの機密情報に係わらない特定の情報だけを、ホストコンピュータ２のＩＰアドレスＡ0を付してクリーンルーム内ＬＡＮ１６に発信する。ホストコンピュータ２は、上述したように、自分のＩＰアドレスの付された情報を受信するので、各基板処理装置Ｍ1〜Ｍnの稼動状況などの情報をそれぞれ把握することができる。
【００３５】
上述したように、基板処理装置Ｍ1〜Ｍnは、装置内ＬＡＮ６とクリーンルーム内ＬＡＮ１６とを物理的に切り離しているので、装置内ＬＡＮ６内に流通する情報がクリーンルーム内ＬＡＮ１６に流出しない。したがって、基板処理装置における機密情報を装置外に漏らさない。また、装置内ＬＡＮ６とクリーンルーム内ＬＡＮ１６とは、ホストコントーラ３によって、特定の情報だけが流通するように仮想的に接続されているので、装置内ＬＡＮ６とクリーンルーム内ＬＡＮ１６は、実質的に同一のＬＡＮに接続されているとみることができる。つまり、ホストコンピュータ２によってクリーンルーム１５内に配置された基板処理装置Ｍ1〜Ｍnを統括的に管理することができるので、効率よく各基板処理装置を運用することができる。
【００３６】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、基板処理装置の各処理ユニットが接続された装置内情報通信網と、基板処理装置が接続された装置外情報通信網とを物理的に切り離しているので、複数の基板処理装置を統括的に管理・制御するホストコンピュータが接続されている基板処理装置外から各処理ユニットに対する不必要なアクセスを防止することができるとともに、基板処理装置内の機密情報を基板処理装置外へ漏洩することを防止することができる。また、装置内情報通信網内と装置外情報通信網との間を、機密情報を除いた処理の進捗状況を含む特定の情報であって、ホストコントローラでホストコンピュータのネットワークアドレスが付された進捗状況情報、及び、所定の処理をするための情報に前記第2の情報通信手段のネットワークアドレスが付された命令情報を流通させることで仮想的に接続しているので、情報通信網としての機能を損なうことがない。さらに、装置外情報通信網には、特定の情報だけしか流通しないので、従来のように各基板処理装置の各処理ユニットからの情報が氾濫していた状態に比べて、比較的情報量が少なくなりトラフィックが減少し、その結果、通信速度を向上することができる。
【００３７】
また、第１の情報通信手段と第２の情報通信手段には、それぞれ異なったネットワークアドレスが割り振られているので、情報通信制御手段は、第１の情報通信手段と第２の情報通信手段とを混同することなく特定の情報を送受信することができる。また、装置外情報通信網から基板処理装置を見た場合、装置外情報通信網から認識できるネットワークアドレスは、装置外情報通信網に接続された第２の情報通信手段に割り当てられた単一のネットワークアドレスだけであり、第１の情報通信手段に割り当てられたネットワークアドレスを認識することができないので、より確実に装置内情報通信網へのアクセスを防止することができる。
【００３８】
請求項２に記載の発明によれば、第１の情報通信手段と第２の情報通信手段とは、ネットワークインターフェイスカードによって構成されているので、基板処理装置の製造コストを比較的安価にすることができる。また、ネットワークインターフェイスカードは、一般的なパソコン等の機器に使用されていて汎用性があるので、将来的に複数台の基板処理装置で構築される情報通信網（ＬＡＮ）の発達に伴う拡張の場合にも、ネットワークイン ターフェイスカードを交換するだけよく、経済的である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施例に係る基板処理装置がＬＡＮによって接続された様子を示すブロック図である。
【図２】 実施例に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
【図３】 基板処理装置とホストコンピュータとの情報の送受信の様子を示す図である。
【図４】 従来例の基板処理装置をクリーンルーム内に配置した様子を示すブロック図である。
【図５】 従来例の基板処理装置がＬＡＮによって接続された様子を示す図である。
【符号の説明】
２ …ホストコンピュータ
３ …ホストコントローラ
３ａ…第１の通信処理部
３ｂ…第２の通信処理部
４ …メインコントローラ
６ …装置内ＬＡＮ
１５…クリーンルーム
１６…クリーンルーム内ＬＡＮ
１７…ネットワーク
Ｍ1〜Ｍn…基板処理装置
Ａ0〜Ａn…基板処置装置等のアドレス
Ｂ0〜Ｂn…基板処理装置内の各処理ユニット等のアドレス
Claims (2)
- 複数個の処理ユニットとホストコントローラとを備えた基板処理装置において、
前記複数個の処理ユニットの各々をそれぞれ情報流通可能に接続する装置内情報通信網は、複数の基板処理装置を統括的に管理・制御するホストコンピュータが接続されている装置外情報通信網と物理的に切り離され、
前記ホストコントローラは、
前記装置内情報通信網に接続された第１の情報通信手段と、
前記装置外情報通信網に接続された第２の情報通信手段と、
前記第１の情報通信手段と前記第２の情報通信手段との間で、機密情報を除いた処理の進捗状況を含む特定の情報であって、前記ホストコントローラで前記ホストコンピュータのネットワークアドレスを付した進捗状況情報、及び、所定の処理をするための情報に前記第２の情報通信手段のネットワークアドレスが付された命令情報であって、前記ホストコントローラで前記装置内情報通信網のネットワークアドレスを付した命令情報だけを流通可能にすることで、前記装置内情報通信網と前記装置外情報通信網とを仮想的に接続する情報通信制御手段とを備え、
前記第１の情報通信手段と前記第２の情報通信手段とに、それぞれ異なるネットワークアドレスが割り当てられることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項１に記載の基板処理装置において、
前記第１の情報通信手段と前記第２の情報通信手段とは、それぞれネットワークインターフェイスカードによって構成された基板処理装置。
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