JP3746191B2 - 希土類陽極が設けられたx線管 - Google Patents

希土類陽極が設けられたx線管 Download PDF

Info

Publication number
JP3746191B2
JP3746191B2 JP2000350060A JP2000350060A JP3746191B2 JP 3746191 B2 JP3746191 B2 JP 3746191B2 JP 2000350060 A JP2000350060 A JP 2000350060A JP 2000350060 A JP2000350060 A JP 2000350060A JP 3746191 B2 JP3746191 B2 JP 3746191B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ray tube
rare earth
anode
surface layer
anode body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2000350060A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001202910A (ja
Inventor
テオドルス ヘンリクス ファン デ フォルスト ミシェル
ルイス ドレセンス ヤコーブス
Original Assignee
パナリティカル ビー ヴィ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by パナリティカル ビー ヴィ filed Critical パナリティカル ビー ヴィ
Publication of JP2001202910A publication Critical patent/JP2001202910A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3746191B2 publication Critical patent/JP3746191B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/04Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/112Non-rotating anodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00X-ray tubes
    • H01J2235/08Targets (anodes) and X-ray converters
    • H01J2235/081Target material

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、X線を発生させる表面層が設けられた陽極組立体を含むX線管に係る。
【0002】
【従来の技術】
このような種類のX線管は、欧州特許出願第305547Al号から公知である。上記の特許出願に記載されるX線管には、タングステン又はタングステンレニウム合金からなる表面層が設けられたグラファイトからなる陽極体を含む陽極組立体が設けられる。この表面層は、医療適用、特にコンピュータ断層撮影(CT)適用に適した波長のX線を発生する。
【0003】
例えば、蛍光X線解析のような解析用途においては、地質学的に重要な元素の解析を可能にするスペクトル的に純粋なX線を発生させるX線源が利用可能であることがしばしば好適である。これらの元素はしばしば周期表の5列目にあり、例えば、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Te及びIである。次にこれらの元素のKラインを励起させることが好適である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来の解析X線管は、上記の元素を励起するために使用されうる、望ましいエネルギー範囲の特徴ラインを発生させない。例えば、(最もよく使用される陽極材料である)Rhを使用した場合、特徴ラインは全てRhのKラインの高エネルギー側に位置する。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記した元素に解析するために用いられるX線管を提供することを目的とする。このために、本発明のX線管は、表面層が少なくとも1つの希土類金属を含むことを特徴とする。このようなX線管は、例えば80kVの大きさのオーダの加速電圧で動作し、表面層の材料のKラインを発生させる。このKラインは、例えばLaBのようなLaを含む2次X線ターゲットを照射することが可能で、LaのKラインはこの処理の際の蛍光によって発生する。LaのKラインは、解析される5列目の上記元素のKラインを励起することができる。スペクトル的により高い純度を望む場合は、解析装置の幾何学的形状を、2次ターゲットに入射する放射線と、蛍光によってそこから発生した放射線の間の角度が略90度となるように選択する。既に小さい、2次ターゲットに入射し及びターゲットによって散乱される放射線の一部は、蛍光によって変換される代わりに偏光され、従ってこの偏光された放射線は、入射及び出射の方向から見た場合に可視でなくなる。従って、LaのK放射線のスペクトル純度は更に高められる。表面層の材料のLラインの影響下で、LaのLラインも形成される。このLaのLラインは、例えばクロム(Cr)又は低い原子番号を有する元素のような軽めの元素を励起するために用いられる。
【0006】
本発明の1つの実施例では、希土類金属は、62乃至71の原子番号を有する元素の群のうちの1つである。これらの元素は、ランタンを含む2次ターゲットに特に好適であるKラインの波長を有する。
【0007】
本発明の更なる実施例における希土類金属は、ガドリニウム又はジスプロシウムである。この実施例における利点は、これらの材料のLラインは、LiF結晶(即ち、220反射)上でブラッグ反射した際に、入射した放射線と反射した放射線の間の角度が略90度となるような波長を有することである。LiF結晶は、X線解析に一般的に使用されるモノクロメータ結晶である。解析される試料に到達するLラインの放射線は、上記説明されたブラック反射処理によって偏光し、試料上で散乱されたGdL放射線の寄与があったとしても、直角に見たときは可視ではない。
【0008】
本発明の実施例における陽極組立体は陽極体として構成され、表面層は、表面層と陽極体の間に設けられた中間層によって陽極体に接合され、チタン(Ti)及び/又はモリブデン(Mo)を含む。
【0009】
この実施例では以下の利点を提供する。一般的に、X線管の陽極組立体は、高い熱伝導性を有する陽極体、例えば銅又は銀から構成される。陽極体には、望ましい放射線に好適な材料、従って本発明の場合は希土類金属からなる表面層が接続される。表面層内に発生した熱は、冷却液体、例えば水によって陽極体を介して散逸される。X線管の陽極は高い温度強度を有し、従ってX線管の有効寿命を通して表面層が陽極体にしっかりと接続され、更に高温状態においても、及び表面全体への負荷が変更されても接続される。しかし、希土類金属は、貴金属(Ag、Au)若しくは銅(Cu)、又は鉄(Fe)、コバルト(Co)若しくはニッケル(Ni)のような遷移金属には直ぐに接合できない場合がある。このような困難な接合は「超高速拡散」と呼ばれる既知の現象によって引き起こされる。希土類金属は、低温において既に陽極体の上記された材料と金属間化合物を形成する。この化合物は低温においては液体である。例えば、Gd−Niは645℃で既に融解する。更に上記のような接合は、脆く堅いがしばしば熱による緊張にあまり良く耐えることができず、上記の層に裂け目が入りやすく、解析目的のための陽極は使えなくなってしまう。上記の現象に関する更なる詳細は、1978年のNorth Holland Publishing Companyによる「Handbook on the Physics and Chemistry of Rare Earths」の中の「Diffusion in Rare Earth Metals」なる記事に説明される。希土類金属は、Ti及び/又はMoからなる中間層が設けられた場合、陽極体の基礎となる材料と化合しないことが分かっている。中間層が、希土類金属と化合しても、それはほとんど又は全く拡散しない。更に、中間層は、例えば拡散接合によって陽極体に安定して接合されうる。
【0010】
本発明の有利な実施例における陽極体は、銅(Cu)及び/又は銀(Ag)を含む。例えば脆くなく「超高速拡散」しないという上記された中間層の好適な特性は、陽極体が上記された材料の化合物である場合に特に良好に現れる。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明を幾つかの図面を参照し以下に詳細に説明する。
【0012】
図1及び2は、筐体1と、筐体1内に電子放射要素3を有する陰極2が真空状態に置かれた反射X線管を示す。X線管は更に、陽極体4、表面層7及び中間層8から構成される陽極組立体を含む。動作の間、例えば80kVの高電圧が、陽極と陰極の間に印加される。放射要素3から放射される電子は、高電圧によって加速され、陽極に入射し、従ってX線が表面層7に発生される。X線解析装置によって検査される試料は、出口窓6を通過して放射されるX線によって照射される。陽極体4は銅(Cu)又は銀(Ag)のような好適に熱を伝導する材料から構成されることが好適である。電子が入射した際に発生した熱は、公知の方法で陽極体から、図示しない冷却媒体(例えば、水)に伝達される。表面層7は、希土類金属、好適にはガドリニウム(Gd)又はジスプロシウム(Dy)によって構成される。表面層7と陽極体4の間には、チタン又はモリブデンから構成される中間層8が設けられる。Ti及び/又はMoからなる中間層を配置することにより、希土類金属は陽極体4の基礎となっている銅又は銀と化合されない。中間層の材料は、希土類金属と化合されてもよいが、全く又はほとんど拡散を起こさない。
【0013】
中間層の材料は、拡散接合によって安定した方法で、陽極体に接合され得る。拡散接合処理の際に、銀又は銅からなる陽極体4、中間層8としてのチタンシート、及び表面層7としてのガドリニウム又はジスプロシウムのシートから構成されるスタックが形成される。このスタックは、アルゴンからなる保護ガス環境で約3.5×10Nmの圧力で圧縮され、一方約750℃で加熱される。この結果、上記金属間の接合は、解析X線管において陽極組立体を使用するのに十分に安定している。モリブデンが中間層を構成する材料として用いられる場合、モリブデンは、陽極体と接続する側に金からなる層が設けられる。このように形成された中間層は次に陽極体に接続され、更にチタンからなる中間層の場合と同様に表面層に接続される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のX線管を示す図である。
【図2】本発明の陽極組立体をより詳細に示す図である。
【符号の説明】
1 筐体
2 陰極
3 電子放射要素
4 陽極体
6 出口窓
7 表面層
8 中間層

Claims (4)

  1. X線を発生させる表面層が設けられた陽極組立体を有するX線管であって、
    前記表面層は少なくとも1つの希土類金属を含み、
    前記希土類金属は、62乃至71の原子番号を有する元素の群のうちの1つであることを特徴とするX線管。
  2. 前記希土類金属は、ガドリニウム又はジスプロシウムである請求項1記載のX線管。
  3. 前記陽極組立体は、前記表面層が中間層によって接合された陽極体として構成され、
    前記中間層は、前記表面層と前記陽極体の間に設けられ、
    前記中間層は、チタン及び/又はモリブデンを含む請求項1又は2記載のX線管。
  4. 前記陽極体は、銅及び/又は銀を含む請求項3記載のX線管。
JP2000350060A 1999-11-19 2000-11-16 希土類陽極が設けられたx線管 Expired - Lifetime JP3746191B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP99203872 1999-11-19
EP99203872.9 1999-11-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001202910A JP2001202910A (ja) 2001-07-27
JP3746191B2 true JP3746191B2 (ja) 2006-02-15

Family

ID=8240882

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000350060A Expired - Lifetime JP3746191B2 (ja) 1999-11-19 2000-11-16 希土類陽極が設けられたx線管

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6385295B1 (ja)
JP (1) JP3746191B2 (ja)
DE (1) DE10056623B4 (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10219173A1 (de) * 2002-04-30 2003-11-20 Philips Intellectual Property Verfahren zur Erzeugung von Extrem-Ultraviolett-Strahlung
JP3972986B2 (ja) * 2003-05-21 2007-09-05 独立行政法人科学技術振興機構 造影用x線管及びそれを用いたx線造影装置とx線造影方法
US20060219956A1 (en) * 2005-03-09 2006-10-05 Bergman Joshua J Device and method for generating characteristic radiation or energy
DE102007034742B4 (de) * 2007-07-25 2013-04-11 Siemens Aktiengesellschaft Anode
DE102009007857A1 (de) 2009-02-06 2010-05-12 Siemens Aktiengesellschaft Anode
DE102009012325A1 (de) 2009-03-09 2010-09-30 Siemens Aktiengesellschaft Anode
KR101445945B1 (ko) * 2009-12-24 2014-09-29 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 가돌리늄제 스퍼터링 타깃 및 동 타깃의 제조 방법
US9520262B2 (en) 2012-06-14 2016-12-13 Siemens Aktiengesellschaft X-ray source, method for producing X-rays and use of an X-ray source emitting monochromatic X-rays
AT14991U1 (de) 2015-05-08 2016-10-15 Plansee Se Röntgenanode

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3894239A (en) * 1973-09-04 1975-07-08 Raytheon Co Monochromatic x-ray generator
US3992633A (en) * 1973-09-04 1976-11-16 The Machlett Laboratories, Incorporated Broad aperture X-ray generator
US3934164A (en) * 1975-02-14 1976-01-20 The Machlett Laboratories, Incorporated X-ray tube having composite target
NL8301838A (nl) * 1983-05-25 1984-12-17 Philips Nv Roentgenbuis voor het opwekken van zachte roentgenstraling.
JPH0731993B2 (ja) 1987-03-18 1995-04-10 株式会社日立製作所 X線管用ターゲット及びそれを用いたx線管
US5159619A (en) * 1991-09-16 1992-10-27 General Electric Company High performance metal x-ray tube target having a reactive barrier layer
US5875228A (en) * 1997-06-24 1999-02-23 General Electric Company Lightweight rotating anode for X-ray tube
AU2003214929B2 (en) * 2002-01-31 2006-07-13 The Johns Hopkins University X-ray source and method for producing selectable x-ray wavelength

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001202910A (ja) 2001-07-27
US6385295B1 (en) 2002-05-07
DE10056623B4 (de) 2015-08-20
DE10056623A1 (de) 2001-05-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8406378B2 (en) Thick targets for transmission x-ray tubes
US4622688A (en) X-ray tube comprising two successive layers of anode material
Heo et al. Transmission-type microfocus x-ray tube using carbon nanotube field emitters
US20030185344A1 (en) X-ray tube and X-ray generator
JP3746191B2 (ja) 希土類陽極が設けられたx線管
US9653249B2 (en) Transmission type target, radiation generating tube having the transmission type target, radiation generator having the radiation generating tube, and radiation imaging apparatus having the radiation generator
WO2013118593A1 (en) Target structure and radiation generator
US7436931B2 (en) X-ray source for generating monochromatic x-rays
Leneman et al. The plasma source of the large plasma device at University of California, Los Angeles
TW201223506A (en) A transmission tpye X-ray tube and a reflection type X-ray tube
EP0127229B1 (en) X-ray tube for generating soft x-rays
JP5522347B2 (ja) X線画像検査装置
Chakera et al. Dependence of soft x-ray conversion on atomic composition in laser produced plasma of gold–copper mix-Z targets
Doig et al. Microanalysis of grain boundary segregation in embrittled iron‐3wt% nickel alloys using STEM
Ida et al. An X-ray fluorescence spectrometer with a pyroelectric X-ray generator and a secondary target for the determination of Cr in steel
Wagatsuma et al. Emission spectroscopic studies of sputtering in a low-power glow discharge
JP6362979B2 (ja) X線源及びこれを用いるx線照射装置並びにx線光電子分光装置
Görgl et al. Energy‐dispersive measurement and comparison of different spectra from diffraction x‐ray tubes
US20040125919A1 (en) X-ray tube with graphite window
US6829329B1 (en) Target for a stationary anode in an x-ray tube
Shi et al. A molybdenum nanostructured-film target for tunable x-ray sources: surface-structure controllable preparing and radiation intensity selecting
Sparks et al. X-ray microprobe for the microcharacterization of materials
Kleykamp Quantitative X-ray microanalysis of beryllium using a multilayer diffracting device
Muller et al. Experimental Measurement of the Local Electronic Structure of Grain Boundaries in Ni3Al
Cazaux et al. X-RAY PHOTOELECTRON MICROPROBE ANALYSIS AND RELATED TECHNIQUES

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040107

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050518

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050705

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050930

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20051025

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20051121

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 3746191

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091202

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091202

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101202

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111202

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111202

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121202

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131202

Year of fee payment: 8

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term