JP3734394B2

JP3734394B2 - Constant pressure regulator

Info

Publication number: JP3734394B2
Application number: JP32851299A
Authority: JP
Inventors: 敏広花田; 研郎吉野
Original assignee: Asahi Organic Chemicals Industry Co Ltd
Current assignee: Asahi Yukizai Corp
Priority date: 1999-11-18
Filing date: 1999-11-18
Publication date: 2006-01-11
Anticipated expiration: 2019-11-18
Also published as: JP2001141083A; WO2001036851A1; TW464739B; KR100430169B1; KR20010093116A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一次側（上流側）の流体圧力が変動しても二次側（下流側）の流体圧力を一定に保つ定圧レギュレータに関するものであり、さらに詳しくは主として超純水ラインや各種化学薬液ラインで好適に用いられるコンパクトで安定した圧力制御が得られ、且つ発塵が少ない定圧レギュレータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の定圧レギュレータは図５に示すようなものが一般的であった。図において３０は本体であり下部には第一弁室３５が設けられており、側面に第一弁室３５と連通した流体流入口３７及び後記第二弁室３６と連通した流出口３８が設けられている。本体３０の上部はダイヤフラム３２と共に第二弁室３６を形成している。３１は蓋体でありダイヤフラム３２とで気室３９を形成しており、上部に気室３９と連通したエア口４２を有している。尚、気室３９には常に一定のエア圧が加えられている。ダイヤフラム３２の中央にはロッド３３が接合されており、該ロッド３３の先端には本体３０の流路４１の径より大径なるプラグ３４が接合されている。
【０００３】
このような定圧レギュレータにおいて第二弁室３６の流体圧力はダイヤフラム３２に加わる力の釣り合いにより、気室３９に与えられた圧力とほぼ同じに保たれている。一次側の流体圧力が増大した場合、二次側の圧力も増大し、気室３９の圧力より流体圧の方が大きくなるためダイヤフラム３２は上方へ押し上げられる。このときダイヤフラム３２と接合されたロッド３３及びプラグ３４もこれにともなって上方へ移動し、プラグ３４と本体との間で形成された制御部４０の開口面積が小さくなり、制御部４０を通過する流体の圧力損失が大きくなり、第二弁室３６では再び気室内の圧力とほぼ同じ圧力にまで二次圧が低下する。一方、一次側の圧力が低下した場合では、流体圧より気室内の圧力の方が大きくなるので、ダイヤフラム３２は下方へ押し下げられ、前記の場合とは逆に制御部４０の開口面積が大きくなって、流体の圧力損失が小さくなり、第二弁室内の流体圧は再び気室内の圧力とほぼ同じ圧力にまで上昇する。以上のようにして従来の定圧レギュレータでは一次圧が変動しても二次圧が一定に保たれる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の定圧レギュレータでは、流路内をロッドが貫通する構造となっているため、一次側の流体圧力の変動が頻繁に起こる場合や、圧力変動が大きな場合では、ロッドが傾いて圧力制御が不安定になったり、ロッドと本体が接触して摩耗や発塵が起こるという問題があった。また、微少流量に対応するためには、流路の径を小さくする必要があるが、このような構造では流路の径を小さくすれば、ロッドの径も細くしなければならず、ロッドの強度不足、加工・組立が困難であるといった問題もあった。
【０００５】
本発明は上記従来の定圧レギュレータの問題点に鑑みなされたもので、腐食性の高い薬液ラインや発塵を嫌う薬液ラインにおいても使用可能なコンパクトで高精度な定圧レギュレータを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の構成は内部に第一の弁室、第一の弁室の上部に設けられた段差部及び第一の弁室と連通する流体流入口を有する円筒状の本体と、第二の弁室とそれに連通する流体流出口とを有し本体上部に接合される蓋体と、周縁部に設けられた環状突部が第一の弁室の上部周縁に設けられた接合部と接合された第一のダイヤフラムと、周縁部に設けられた環状突部が本体と蓋体とによって挟持された第二のダイヤフラムと、第一及び第二のダイヤフラムの中央に設けられた両環状接合部に接合され軸方向に移動自在となっているスリーブと、第一の弁室の底部に固定され該スリーブの下端部との間に流体制御部を形成しているプラグとからなり、また本体の段差部の内周面と第一及び第二のダイヤフラムとに包囲された気室を有し、第二のダイヤフラムの受圧面積が第一のダイヤフラムの受圧面積より大きく構成され、前記気室に連通するエア供給口が本体に設けられていることを特徴とする。
【０００７】
また、前記第二の弁室とそれに連通した流体流出口との間にオリフィス部を設けたことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施態様について図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に限定されないことは言うまでもない。
【０００９】
図１は本発明の定圧レギュレータの縦断面図である。図２は本発明の定圧レギュレータにおいて一次圧が上昇した状態を示す縦断面図である。
【００１０】
図において、１は円筒状の本体であり、側面には本体１の内部に設けられた第一の弁室９と連通している流体流入口７と後記気室１１と連通しているエア供給口１２とが設けられており、第一の弁室９の上部周縁には後記第一のダイヤフラム３の環状突部１７が接合される接合部（環状切欠部）１３を有している。更に第一の弁室９の上部には後記第一及び第二のダイヤフラムとともに後記気室１１を形成する段差部２１が設けられている。尚、該段差部２１は本体１と必ずしも一体で形成する必要はなく、円環状の別部品で形成しても構わない。
【００１１】
２は蓋体であり、内部に第二の弁室１０を有し外周側面には該第二の弁室１０と連通した流出口８を有し、本体１の上端部とボルト等（図示せず）で接合されている。下端部の第二の弁室１０の周縁部には後記第二のダイヤフラム４の環状突部１８が嵌合される環状溝部１４が設けられている。
【００１２】
３はドーナツ状に形成されたＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製の第一のダイヤフラムであり、中央部には環状接合部１５が設けられており、また、外周縁部には断面矩形状の環状突部１７が設けられている。第一のダイヤフラム３の環状接合部１５の内周面には後記スリーブ５が螺着され、一方、環状突部１７は本体１の内部に設けられた接合部１３に接合されている。
【００１３】
４は同じくＰＴＦＥ製の第二のダイヤフラムであり、前記第一のダイヤフラム３と同様に中央部には環状接合部１６、外周縁部には断面矩形状の環状突部１８が設けられている。環状突部１８は蓋体２の環状溝部１４に嵌合され且つ、蓋体２を本体１の上端面に接合させることにより、本体１と蓋体２とによって挟持されている。尚、第二のダイヤフラム４の受圧面積は前記第一ダイヤフラム３よりも十分に大きくなるように設計されている。
【００１４】
５は円筒状のスリーブであり、外周面には螺合部１９が設けられており、該螺合部１９が前記第一及び第二のダイヤフラム３，４の環状接合部１５，１６と螺着されることによって、両ダイヤフラムを一体化し、且つ軸方向に移動可能に保持されている。また、スリーブ５の内部は流体流路となっている。
【００１５】
６はプラグであり、第一の弁室９の底部に螺着等により固定されている。プラグ６の先端は、スリーブ５の下端面との間で流体制御部２０を形成しており、スリーブ５の上下動にともなって流体制御部２０の開口面積が変化し、第二の弁室１０内部の圧力すなわち、二次圧を一定に保つよう設計されている。
【００１６】
１１は本体１の段差部２１及び第一、第二のダイヤフラム３，４の三者で囲まれて形成された気室である。気室１１の内部には前記エア供給口１２から圧縮空気または不活性ガス等が導入され、常に一定の圧力に保たれている。
【００１７】
以上の説明からわかるごとく、スリーブ５で一体化された第一、第二のダイヤフラム３，４は本体１に設けられた段差部２１と蓋体２に設けられた第二の弁室１０とに囲まれた空間に配置され、又、それにより気室１１が形成された構造になっている。
【００１８】
尚、本体等の材質はＰＴＦＥ，ＰＦＡ等のフッ素樹脂が好適に使用されるが、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン等のその他のプラスチック或いは金属でも良く特に限定されない。また第一及び第二のダイヤフラムの材質はＰＴＦＥ等のフッ素樹脂が好適に使用されるが、ゴム及び金属でも良く特に限定されない。
【００１９】
次に本実施態様の定圧レギュレータの作動について説明する。
【００２０】
図１の状態において、第一のダイヤフラム３は第一の弁室９内部の圧力すなわち一次圧による上向きの力と、気室１１内部の圧力による下向きの力を受けている。一方、第二のダイヤフラム４は第二の弁室１０内部の圧力すなわち二次圧による下向きの力と、気室１１内部の圧力による上向きの力を受けており、これら４つの力の釣り合いによって第一及び第二のダイヤフラム３，４と接合されているスリーブ５の位置が決定されている。スリーブ５はプラグ６との間に流体制御部２０を形成しており、その面積によって二次側の流体圧力を制御している。
【００２１】
この状態において一次側の圧力が上昇した場合、一時的に二次側の圧力及び流量も増大する。このとき流体圧により第一のダイヤフラム３には上向きの力、第二のダイヤフラム４には下向きの力が働くが、第二のダイヤフラム４の受圧面積は第一のダイヤフラム３に比べ十分に大きく設計されているため、下向きの力の方が大きくなり、結果としてスリーブ５を下方へ押し下げることとなる（図２の状態）。これによって、流体制御部２０の開口面積は減少し、二次側の流体圧力は瞬時に元の圧力まで低下し、再び気室１１の内圧と流体圧による力の釣り合いが保たれる。通常、本発明の定圧レギュレータの下流側には、図示しない固定絞り或いはバルブが取り付けられている。固定絞り或いはバルブの下流側を大気開放としておけば、固定絞り或いはバルブ前後の差圧は常に一定に保たれることになり、固定絞り或いはバルブの流量係数に見合った流量が常に保たれることとなる。
【００２２】
一方、図２の状態において一次側の圧力が低下した場合、一時的に二次側の圧力及び流量も低下する。このとき第一及び第二のダイヤフラム３，４には気室１１の内圧によってそれぞれ下向き及び上向きの力が働くが、この場合でも受圧面積は第二のダイヤフラム４の方が大きいため、上向きの力の方が優勢となって、スリーブ５の位置を上方へ押し上げることとなる。これによって、流体制御部２０の開口面積は増大し（図１の状態）、二次側の流体圧力は瞬時に元の圧力まで上昇し、再び気室１１の内圧と流体圧による力の釣り合いが保たれ、元の流量も保たれる。
【００２３】
以上のように一次圧が増減しても、瞬時にスリーブ５の位置が変化して、常に二次側の圧力が一定に保たれ、従って設定した流量を得ることができる。
【００２４】
尚、気室１１の内圧を変更すれば、二次圧はそれに対応した値に保たれるため、下流側に設置された固定絞り或いはバルブに変更がなければ、設定流量を変更することができる。
【００２５】
次に本発明における定圧レギュレータの特性について説明する。
【００２６】
図６は本発明の定圧レギュレータの下流側に固定絞り（オリフィス径２mm）を設置し、レギュレータの一次側圧力を変化させたとき、二次側圧力がどのように変化するかを測定した結果を示している。図において実線及び破線は気室内の圧力をそれぞれ０．０４MPa 及び０．０８MPa とした場合を示している。どちらの場合も一次圧が上昇しても、二次圧は気室内の圧力とほぼ同じ圧力で一定となっている。
【００２７】
図３は本発明の第二の実施態様を示した縦断面図である。前記第一の実施態様と異なる点は第一及び第二のダイヤフラムとスリーブと本体とを全て一体で形成している点である。ここで、気室を形成している本体の段差部２１は本体とは別部品としている。弁の作動については前記と同一であるので説明は省略する。
【００２８】
図４は本発明の第三の実施態様を示した縦断面図である。前記第一の実施態様と異なる点は第二の弁室１０とそれに連通した流体流出口８との間にオリフィス部２２を設けている点である。オリフィス部２２の下流側を大気開放としておけば、一次側の圧力が変動してもオリフィス部前後の差圧は常に一定に保たれるため、オリフィス部２２を通過する流量は一定となり、定流量弁として使用することができる。弁の作動については前記と同一であるので説明は省略する。
【００２９】
【発明の効果】
本発明の定圧レギュレータは以上説明したような構造をしており、これを使用することによって以下の優れた効果が得られる。
【００３０】
（１）従来品のようなロッド部がないので、動作中のロッドの傾きによる制御不良がなく、安定した圧力制御が得られる。
【００３１】
（２）接液する部材は全てＰＴＦＥ等の耐薬品性に優れた材質を用いることができるため、その場合は不純物の溶出や薬液の汚染が極めて少ない。
【００３２】
（３）ロッド部がないので、摩耗・発塵がなく、コンパクトな製品でも、十分な部品強度が得られため、微少流量にも対応でき、且つ加工・組立も容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の定圧レギュレータの縦断面図である。
【図２】図１において一次圧が上昇した状態を示す縦断面図である。
【図３】第一及び第二のダイヤフラムとスリーブと本体とを全て一体で形成した第二の実施態様を示す縦断面図である。
【図４】第二の弁室とそれに連通した流体流出口との間にオリフィス部を設けた第三の実施態様を示す縦断面図である。
【図５】従来の定圧レギュレータの縦断面図である。
【図６】本発明の定圧レギュレータの特性を示すグラフである。
【符号の説明】
１…本体
２…蓋体
３…第一ダイヤフラム
４…第二ダイヤフラム
５…スリーブ
６…プラグ
７…流体流入口
８…流体流出口
９…第一弁室
１０…第二弁室
１１…気室
１２…エア供給口
１３…接合部
１４…環状溝部
１５…環状接合部
１６…環状接合部
１７…環状突部
１８…環状突部
１９…螺合部
２０…流体制御部
２１…段差部
２２…オリフィス部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a constant pressure regulator that keeps the fluid pressure on the secondary side (downstream side) constant even when the fluid pressure on the primary side (upstream side) fluctuates. More specifically, the present invention mainly relates to an ultrapure water line and various chemicals. The present invention relates to a constant pressure regulator that is suitably used in a chemical liquid line and that can obtain a compact and stable pressure control and generates less dust.
[0002]
[Prior art]
Conventional constant pressure regulators are generally as shown in FIG. In the figure, reference numeral 30 denotes a main body, and a lower portion is provided with a first valve chamber 35, and a fluid inlet 37 that communicates with the first valve chamber 35 and an outlet 38 that communicates with a second valve chamber 36 described later are provided on the side surfaces. It has been. The upper part of the main body 30 forms a second valve chamber 36 together with the diaphragm 32. Reference numeral 31 denotes a lid, which forms an air chamber 39 with the diaphragm 32, and has an air port 42 communicating with the air chamber 39 in the upper part. A constant air pressure is always applied to the air chamber 39. A rod 33 is joined to the center of the diaphragm 32, and a plug 34 having a diameter larger than the diameter of the flow path 41 of the main body 30 is joined to the tip of the rod 33.
[0003]
In such a constant pressure regulator, the fluid pressure in the second valve chamber 36 is kept substantially the same as the pressure applied to the air chamber 39 due to the balance of the forces applied to the diaphragm 32. When the fluid pressure on the primary side increases, the pressure on the secondary side also increases, and the fluid pressure becomes larger than the pressure in the air chamber 39, so that the diaphragm 32 is pushed upward. At this time, the rod 33 and the plug 34 joined to the diaphragm 32 are also moved upward accordingly, and the opening area of the control unit 40 formed between the plug 34 and the main body is reduced and passes through the control unit 40. The pressure loss of the fluid increases, and the secondary pressure in the second valve chamber 36 again decreases to the same pressure as the pressure in the air chamber. On the other hand, when the pressure on the primary side decreases, the pressure in the air chamber becomes larger than the fluid pressure, so that the diaphragm 32 is pushed downward, and the opening area of the control unit 40 is increased contrary to the above case. As a result, the pressure loss of the fluid is reduced, and the fluid pressure in the second valve chamber again rises to the same pressure as the pressure in the air chamber. As described above, in the conventional constant pressure regulator, even if the primary pressure varies, the secondary pressure is kept constant.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional constant pressure regulator has a structure in which the rod passes through the flow path. Therefore, when the fluctuation of the fluid pressure on the primary side frequently occurs or when the pressure fluctuation is large, the rod tilts and the pressure is increased. There was a problem that the control became unstable or the rod and the main body contacted to cause wear or dust generation. Moreover, in order to cope with a minute flow rate, it is necessary to reduce the diameter of the flow path. However, in such a structure, if the diameter of the flow path is reduced, the diameter of the rod must be reduced. There were also problems such as insufficient strength and difficulty in processing and assembly.
[0005]
The present invention has been made in view of the problems of the above-described conventional constant pressure regulator, and an object thereof is to provide a compact and highly accurate constant pressure regulator that can be used in a highly corrosive chemical liquid line or a chemical liquid line that does not like dust generation. To do.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The configuration of the present invention includes a cylindrical body having a first valve chamber, a step portion provided at an upper portion of the first valve chamber, and a fluid inlet communicating with the first valve chamber, and a second valve A lid having a chamber and a fluid outlet communicating therewith, joined to the upper part of the main body, and an annular projection provided on the peripheral part joined to a joint provided on the upper peripheral part of the first valve chamber The first diaphragm, the annular protrusion provided at the peripheral edge is joined to the second diaphragm sandwiched between the main body and the lid, and the both annular joints provided at the center of the first and second diaphragms A sleeve which is movable in the axial direction and a plug which is fixed to the bottom of the first valve chamber and forms a fluid control unit between the lower end of the sleeve, and a step portion of the main body Having an air chamber surrounded by the inner circumferential surface of the first diaphragm and the second diaphragm, and the second diaphragm Receiving area of the ram is configured larger than the pressure receiving area of the first diaphragm, an air supply port communicating with the air chamber, characterized in that provided in the main body.
[0007]
In addition, an orifice portion is provided between the second valve chamber and a fluid outlet that communicates with the second valve chamber.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, it goes without saying that the present invention is not limited to the embodiments.
[0009]
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a constant pressure regulator of the present invention. FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a state where the primary pressure is increased in the constant pressure regulator of the present invention.
[0010]
In the figure, reference numeral 1 denotes a cylindrical main body, and an air supply that communicates with a fluid inlet 7 that communicates with a first valve chamber 9 provided inside the main body 1 and an air chamber 11 that will be described later. The first valve chamber 9 has a joint 12 (annular notch) 13 to which an annular protrusion 17 of the first diaphragm 3 to be described later is joined. Further, a step portion 21 that forms the air chamber 11 together with the first and second diaphragms described later is provided on the upper portion of the first valve chamber 9. Note that the stepped portion 21 is not necessarily formed integrally with the main body 1 and may be formed as a separate annular part.
[0011]
Reference numeral 2 denotes a lid, which has a second valve chamber 10 inside, an outlet 8 communicating with the second valve chamber 10 on the outer peripheral side surface, an upper end of the main body 1, bolts and the like (not shown). )). An annular groove portion 14 into which an annular protrusion 18 of the second diaphragm 4 to be described later is fitted is provided at the peripheral edge portion of the second valve chamber 10 at the lower end portion.
[0012]
Reference numeral 3 denotes a PTFE (polytetrafluoroethylene) first diaphragm formed in a donut shape. An annular joint 15 is provided at the center, and an annular ring having a rectangular cross section is provided at the outer peripheral edge. A protrusion 17 is provided. A sleeve 5 to be described later is screwed onto the inner peripheral surface of the annular joint 15 of the first diaphragm 3, while the annular protrusion 17 is joined to a joint 13 provided inside the main body 1.
[0013]
Reference numeral 4 denotes a second diaphragm made of PTFE. Like the first diaphragm 3, an annular joint 16 is provided at the center and an annular protrusion 18 having a rectangular cross section is provided at the outer peripheral edge. The annular protrusion 18 is fitted in the annular groove 14 of the lid 2 and is sandwiched between the main body 1 and the lid 2 by joining the lid 2 to the upper end surface of the main body 1. The pressure receiving area of the second diaphragm 4 is designed to be sufficiently larger than that of the first diaphragm 3.
[0014]
Reference numeral 5 denotes a cylindrical sleeve, and a threaded portion 19 is provided on the outer peripheral surface. The threaded portion 19 is screwed to the annular joint portions 15 and 16 of the first and second diaphragms 3 and 4. Thus, both diaphragms are integrated and held so as to be movable in the axial direction. Further, the inside of the sleeve 5 is a fluid flow path.
[0015]
A plug 6 is fixed to the bottom of the first valve chamber 9 by screwing or the like. The tip of the plug 6 forms a fluid control unit 20 with the lower end surface of the sleeve 5, and the opening area of the fluid control unit 20 changes with the vertical movement of the sleeve 5, and the second valve chamber 10. The internal pressure, that is, the secondary pressure is designed to be kept constant.
[0016]
Reference numeral 11 denotes an air chamber formed by being surrounded by the stepped portion 21 of the main body 1 and the first and second diaphragms 3 and 4. Compressed air, inert gas, or the like is introduced into the air chamber 11 from the air supply port 12 and is always maintained at a constant pressure.
[0017]
As can be seen from the above description, the first and second diaphragms 3 and 4 integrated by the sleeve 5 are connected to the step portion 21 provided in the main body 1 and the second valve chamber 10 provided in the lid body 2. Arranged in the enclosed space, the air chamber 11 is thereby formed.
[0018]
The material of the main body or the like is preferably a fluororesin such as PTFE or PFA, but may be other plastics or metals such as polyvinyl chloride or polypropylene, and is not particularly limited. Further, the material of the first and second diaphragms is preferably a fluororesin such as PTFE, but may be rubber or metal and is not particularly limited.
[0019]
Next, the operation of the constant pressure regulator of this embodiment will be described.
[0020]
In the state of FIG. 1, the first diaphragm 3 receives an upward force due to the pressure inside the first valve chamber 9, that is, a primary pressure, and a downward force due to the pressure inside the air chamber 11. On the other hand, the second diaphragm 4 receives a downward force due to the pressure inside the second valve chamber 10, that is, a secondary pressure, and an upward force due to the pressure inside the air chamber 11. The position of the sleeve 5 joined to the first and second diaphragms 3 and 4 is determined. The sleeve 5 forms a fluid control unit 20 between the sleeve 5 and the plug 6, and the fluid pressure on the secondary side is controlled by the area.
[0021]
If the primary pressure increases in this state, the secondary pressure and flow rate also temporarily increase. At this time, an upward force acts on the first diaphragm 3 and a downward force acts on the second diaphragm 4 due to the fluid pressure, but the pressure receiving area of the second diaphragm 4 is designed to be sufficiently larger than that of the first diaphragm 3. Therefore, the downward force becomes larger, and as a result, the sleeve 5 is pushed downward (state shown in FIG. 2). As a result, the opening area of the fluid control unit 20 decreases, the fluid pressure on the secondary side instantaneously decreases to the original pressure, and the balance between the internal pressure of the air chamber 11 and the fluid pressure is maintained again. Usually, a fixed throttle or valve (not shown) is attached downstream of the constant pressure regulator of the present invention. If the downstream side of the fixed throttle or valve is open to the atmosphere, the differential pressure before and after the fixed throttle or valve will always be kept constant, and the flow rate corresponding to the flow coefficient of the fixed throttle or valve will always be maintained. It becomes.
[0022]
On the other hand, when the pressure on the primary side decreases in the state of FIG. 2, the pressure and flow rate on the secondary side also temporarily decrease. At this time, a downward force and an upward force are applied to the first and second diaphragms 3 and 4, respectively, due to the internal pressure of the air chamber 11. Even in this case, the pressure receiving area is larger in the second diaphragm 4, Becomes dominant, and the position of the sleeve 5 is pushed upward. As a result, the opening area of the fluid control unit 20 increases (the state shown in FIG. 1), the secondary fluid pressure instantaneously rises to the original pressure, and the balance between the internal pressure of the air chamber 11 and the fluid pressure is balanced again. The original flow rate is also maintained.
[0023]
As described above, even if the primary pressure increases or decreases, the position of the sleeve 5 changes instantaneously, and the pressure on the secondary side is always kept constant, so that the set flow rate can be obtained.
[0024]
If the internal pressure of the air chamber 11 is changed, the secondary pressure is maintained at a value corresponding thereto, so that the set flow rate can be changed if there is no change in the fixed throttle or valve installed on the downstream side. .
[0025]
Next, the characteristics of the constant pressure regulator in the present invention will be described.
[0026]
FIG. 6 shows the results of measuring how the secondary pressure changes when a fixed restrictor (orifice diameter 2 mm) is installed downstream of the constant pressure regulator of the present invention and the primary pressure of the regulator is changed. Show. In the figure, the solid line and the broken line indicate the case where the pressure in the air chamber is 0.04 MPa and 0.08 MPa, respectively. In either case, even if the primary pressure rises, the secondary pressure is constant at substantially the same pressure as the pressure in the air chamber.
[0027]
FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing a second embodiment of the present invention. The difference from the first embodiment is that the first and second diaphragms, the sleeve, and the main body are formed integrally. Here, the step portion 21 of the main body forming the air chamber is a separate component from the main body. Since the operation of the valve is the same as described above, the description thereof is omitted.
[0028]
FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a third embodiment of the present invention. The difference from the first embodiment is that an orifice portion 22 is provided between the second valve chamber 10 and the fluid outlet 8 communicating therewith. If the downstream side of the orifice part 22 is opened to the atmosphere, the differential pressure before and after the orifice part is always kept constant even if the pressure on the primary side fluctuates. Can be used as a valve. Since the operation of the valve is the same as described above, the description thereof is omitted.
[0029]
【The invention's effect】
The constant pressure regulator of the present invention has the structure as described above, and the following excellent effects can be obtained by using this regulator.
[0030]
(1) Since there is no rod portion as in the conventional product, there is no control failure due to the tilt of the rod during operation, and stable pressure control can be obtained.
[0031]
(2) Since all the members that come into contact with liquid can be made of a material having excellent chemical resistance such as PTFE, in that case, there is very little elution of impurities and contamination of chemicals.
[0032]
(3) Since there is no rod part, there is no wear or dust generation, and even a compact product can provide sufficient component strength, so that it can handle very small flow rates and is easy to process and assemble.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a constant pressure regulator of the present invention.
2 is a longitudinal sectional view showing a state in which the primary pressure has increased in FIG.
FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing a second embodiment in which the first and second diaphragms, the sleeve, and the main body are all integrally formed.
FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a third embodiment in which an orifice portion is provided between a second valve chamber and a fluid outlet that communicates with the second valve chamber.
FIG. 5 is a longitudinal sectional view of a conventional constant pressure regulator.
FIG. 6 is a graph showing characteristics of the constant pressure regulator of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Main body 2 ... Cover body 3 ... 1st diaphragm 4 ... 2nd diaphragm 5 ... Sleeve 6 ... Plug 7 ... Fluid inflow port 8 ... Fluid outflow port 9 ... 1st valve chamber 10 ... 2nd valve chamber 11 ... Air chamber 12 ... Air supply port 13 ... Joint part 14 ... Annular groove part 15 ... Annular joint part 16 ... Annular joint part 17 ... Annular protrusion 18 ... Annular protrusion 19 ... Screw part 20 ... Fluid control part 21 ... Step part 22 ... Orifice part

Claims

A cylindrical main body having a first valve chamber, a step provided at an upper portion of the first valve chamber, and a fluid inlet communicating with the first valve chamber, and a second valve chamber and the second valve chamber. A lid that has a fluid outlet and is joined to the upper part of the main body, and a first diaphragm in which an annular protrusion provided on the peripheral edge is joined to a joint provided on the upper peripheral edge of the first valve chamber; The annular protrusion provided at the peripheral edge is joined to the second diaphragm sandwiched between the main body and the lid, and the two annular joints provided at the center of the first and second diaphragms and moved in the axial direction. A free sleeve and a plug fixed to the bottom of the first valve chamber and forming a fluid control part between the lower end of the sleeve, and an inner peripheral surface of the stepped portion of the main body A pressure receiving surface of the second diaphragm having an air chamber surrounded by the first and second diaphragms There pressure regulator air supply port is configured larger than the pressure receiving area of the first diaphragm, communicating with the air chamber, characterized in that provided in the main body.

2. The constant pressure regulator according to claim 1, wherein the first and second diaphragms, the sleeve and the main body are integrally formed.

The constant pressure regulator according to claim 1 or 2, wherein a material of the diaphragm is polytetrafluoroethylene.

4. The constant pressure regulator according to claim 1, wherein an orifice portion is provided between the second valve chamber and a fluid outlet that communicates with the second valve chamber.