JP3724087B2 - 振動アクチュエータの駆動装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波モータ(振動波モータ)等のような振動アクチュエータに用いる圧電体を駆動するための圧電体駆動回路を備えた振動アクチュエータの駆動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
振動アクチュエータの一例として円環型の超音波モータが知られており、その一般的な構成を図4に示す。
図4(A)は超音波モータの断面図であり、この超音波モータ200は、互いに接着されているロータ201aと摺動材201bとからなる移動子201と、これと同様に互いに接着されている弾性体202aと圧電体202bとからなる固定子202によって構成されている。これらの移動子201と固定子202とは図示しない加圧手段により加圧接触された状態で駆動される。
【0003】
図4(B)は圧電体202bにおける電極の配置を示す平面図である。電極202b1、202b2は入力電極であり、相互にπ/2の位相差をもち、超音波モータ200毎に決められた周波数の正弦波電圧が印加される。電極202b3は接地される共通電極である。電極202b4はこの圧電体202bの励起には寄与しない電極である。
【0004】
図4(C)は圧電体202bの入力電極群202b1または202b2と接地電極202b3間の等価回路を示す。この等価回路は自己容量C0と、自己容量C0と並列接続されたインダクタンスL、容量C、抵抗Rの直列共振回路により表される。
【0005】
これらのインダクタンスL、容量C、抵抗Rの直列共振回路に流れる電流はモーショナル電流と呼ばれ、その大きさは超音波モータ200の駆動量すなわち回転速度に比例するものと考えられている。ここで、上述したインダクタンスL、容量C、抵抗Rによる直列回路のインピーダンスは、印加される周波電圧の周波数を変化させることで増減する。したがって、モーショナル電流の大きさは、振動体の振動周波数を可変制御することにより変化させることができ、その結果超音波モータ200の駆動量を制御することが可能となる。
【0006】
そこで、従来から超音波モータ200の駆動量を調整する方法として、二つの方法が知られている。
第一の方法は、周波電圧の周波数を一定に維持しつつ、周波電圧の電圧値を変えることによりモーショナル電流を変化させるものである。また、第2の方法は、周波電圧の電圧値を変更せずに、周波数を前記直列共振回路の共振周波数の近傍で増減させ、モーショナル電流を変化させるものである。
【0007】
次に、以上のようにロータ201a、摺動材201b、弾性体202a、圧電体202bにより構成された超音波モータ200の駆動量を、上述した第2の方法により調整する場合を一例として以下に説明する。
このような超音波モータ200の駆動回路としては、図5のブロック図に示すような構成によるものが考えられている。すなわち、図4に示すような超音波モータ200の駆動装置は、制御回路1と、VCO(電圧制御発振器;以下、VCOという)2と、移相回路5と、圧電体駆動回路3(3A,3B)、電源4等によって構成されている。
【0008】
前記制御回路1は、その出力端子がVCO2に接続され、VCO2に対して電圧Vfの制御信号を出力することにより、前記超音波モータ200の駆動量を制御する。
前記VCO2は、その出力端子が移相回路5に接続しており、入力信号Vfの電圧値に対応した周波数の論理信号Saを出力する。
【0009】
前記移相回路5は、VCO2の出力論理信号Saを、相互にπ/2だけ位相の異なった2種類の周波数信号にする回路であって、その出力は圧電体駆動回路3(3A,3B)に接続されている。
前記圧電体駆動回路3A、3Bは、移相回路5からの周波数信号を増幅した正弦波電圧を、それぞれ圧電体202bの電極202b1、202b2に入力する回路である。
【0010】
前記圧電体202b1,202b2には、前記超音波モータ200における固定子202によって決まる共振周波数近傍の周波数である正弦波電圧が、互いに時間的にπ/2位相をずらされて入力され、励振される。弾性体202aに進行性振動波を発生させることで、この弾性体202aに加圧接触された摺動材201bとロータ201aからなる移動子201を駆動する。このような超音波モータの構成および動作については、たとえば日経メカニカル1983年2月28日号や特開昭59−204477号公報等に示されている通りであり、ここでの具体的な説明は省略する。
【0011】
このような超音波モータ200について検討すると、その共振周波数は共振次数毎に存在し、通常はそれらの中で最良の駆動特性を示す次数の共振周波数帯を超音波モータ200の駆動周波数範囲として設定する。なお、駆動周波数範囲として予め設定された共振周波数帯域以外の共振周波数帯域でも超音波モータ200を駆動することは可能であるが、隣り合う次数では駆動方向が逆転する。
【0012】
たとえば前述した図4に示す圧電体202bでは、入力電極群202b1、202b2の中の一つの分極の周長がλ/2であるから、入力電極群202b1,202b2の周長はそれぞれ5λとなり、さらに接地電極202b3が3λ/4、検出電極202b4がλ/4であるから、電極全体の周長は11λとなる。
このような圧電体202bの分極による波数と、超音波モータ200を駆動したときにステータ(固定子202)上に発生する進行性振動波の波数が一致する状態、すなわち図4に示す例では11波の進行波が発生する11次の共振周波数帯が通常、超音波モータ200の駆動周波数として用いられる共振周波数帯である。
【0013】
この11次の駆動周波数範囲の低周波側および高周波側には、図6に示すように、10次の駆動周波数範囲と、12次の駆動周波数範囲がある。すなわち、図6は上述した図5に示す一般的な駆動回路からなる駆動装置で超音波モータ200を駆動した場合の駆動種波数fDに対する駆動量Nの関係を表している。
【0014】
前記超音波モータ200が駆動を開始する周波数をfb、制御上扱う振動波モータの最高速となる駆動周波数をfdとした場合、前記制御回路1は、Vf0からVfmaxの範囲で電圧制御を行い、VCO2は、それに対応した論理信号Snとして、f0からfmaxの範囲の周波数を出力する。
たとえばvLの回転数で超音波モータ200を回転させる場合、駆動周波数fDはfHである。また、vLよりも速い回転数vHで超音波モータを回転させる場合は、駆動周波数fDはfHよりも低い周波数であるfLを出力する。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
上述したような構成による超音波モータ200において、これに与える制御信号をステップ状に変化させ、ステップ応答の状態を測定したものが、図7である。
この図7では制御信号Vf、論理信号Saに由来する駆動周波数fD、その時の超音波モータ200の回転数Nを示している。
【0016】
同図において、時間t0からt1まで、制御信号VfはVfLであり、その時の駆動周波数fDはfL、回転数NはvLである。時間t1に制御信号VfをVfLからVfHに上げたとき、駆動周波数fDは、それに伴い、fHからfLへと下がるが、超音波モータ200の回転数Nは、加速にエネルギを必要とするため、直ちにvHにはならず、徐々に加速し、vHに収束するのは時間t1よりTuだけ時間がかかった時間t2となる。
【0017】
次に、制御信号VfをVfHに保っていたものを時間t3で、VfHからVfLに下げた場合、駆動周波数はfLからfHへと上がる。このとき、超音波モータ200の回転数Nは直ちにvHから減速し始める。減速した超音波モータ200は一時的にvLを下回った後、時間t3からTdだけ時間がかかった時間t4までにvLへと収束する。
【0018】
このように従来の超音波モータ200の駆動装置によれば、超音波モータ200を駆動した場合、加速にかかる時間Tuと、減速にかかる時間Tdが大きく変わってしまうことになる。
一般に、制御のパラメータを決定する際は、制御対象の特性より決まる伝達関数から数学的に決定されるが、このように加速の時間と減速の時間とが異なる場合、加速の伝達関数と、減速の伝達関数が異なってしまい、加速時と減速時で、別々のパラメータを決定しなくてはならない。
【0019】
特に、これらを制御しようとすると、制御アルゴリズムが複雑になってしまうという問題点があり、たとえばカメラやレンズ鏡筒のような携帯用の機器に搭載するような制御装置には適さない。
【0020】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、超音波モータのような振動アクチュエータを駆動するに加速にかかる時間と停止のための減速にかかる時間とをほぼ同等にし、駆動時の加速、減速制御を同じパラメータで決定できるようにし、制御アルゴリズムを簡素化することを可能とする振動アクチュエータの駆動装置を得ることを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】
このような目的に応えるために本発明に係る振動アクチュエータの駆動装置は、電気的エネルギを機械的エネルギに変換する電気機械変換素子の機械的振動運動を利用して駆動するにあたって、電源と、発振器と、振動アクチュエータに必要とされる変位速度の変化量に応じて制御信号を変化させる制御手段と、振動アクチュエータの運動エネルギが減少するときには、制御信号の変化が遅延するよう伝達関数を変換する伝達関数変換手段とを備えた構成としたものである。
【0022】
また、本発明に係る振動アクチュエータの駆動装置は、上述した伝達関数変換手段を、振動アクチュエータの運動エネルギが上昇するときの伝達関数と、前記振動アクチュエータの運動エネルギが減少するときの伝達関数とを同一に扱えるように構成したものである。
【0023】
本発明によれば、振動アクチュエータを駆動するにあたって、制御信号が振動アクチュエータに作用する途中過程において、振動アクチュエータの運動エネルギが減少するときには、制御信号の変化が遅延するよう伝達関数が変換される。
【0024】
また、本発明によれば、振動アクチュエータの運動エネルギが上昇するときの伝達関数と減少するときの伝達関数とを同一に扱えるようにする手段を設けることにより、振動アクチュエータの状態によらず、一つのパラメータを決めることができる。
【0025】
【発明の実施の形態】
図1ないし図3は本発明に係る振動アクチュエータの駆動装置の一つの実施の形態を示すものであり、これらの図において、前述した図4以下と同一または相当する部分には同一番号を付して詳細な説明は省略する。
【0026】
この実施の形態では、図1に示すように、制御回路1とVCO2の間に、応答時間変換回路6を設け、VCO2に入力される制御信号VfをVf’に変換している点において、図5に示した駆動装置と異なっている。
【0027】
図2は本発明を特徴づける応答時間変換回路6の回路構成の一例を示し、この回路6を、演算増幅器61、整流素子62、抵抗63、コンデンサ64によって構成している。前記演算増幅器61の「+」入力端子には制御回路1からの制御信号Vfが入力されている。また、前記演算増幅器61の出力端子は、整流素子62あるいは抵抗63を介して、VCO2に接続され、応答時間変換回路6の出力信号Vf’を出力するようになっている。
【0028】
さらに、演算増幅器61の「−」入力端子は、整流素子62あるいは抵抗63と、VOC2との接続点Aに接続され、応答時間変換回路6の出力信号Vf’の帰還がかけられている。前記抵抗63の前記演算増幅器61の出力端子と接続されている一端とは異なる一端、すなわち接続点A側の一端は、コンデンサ64を介して接地されている。
【0029】
図3は本発明を特徴づける応答時間変換回路6の動作を説明する図であって、前記図7に対応するものである。
たとえば時間t0のとき、制御信号VfがVfLである。この場合、演算増幅器61の「+」入力端子にVfLが入力され、接続点AにはVfLが出力されている。時間t1の時、制御信号VfをVfLからVfHに上げると、演算増幅器61の「+」入力端子にVfHが加わる。
【0030】
すると、演算増幅器61の出力は、演算増幅器61の「−」入力端子がVfHと同電位になるまで、電位を上げる方向に働こうとする。そして、この演算増幅器61の出力は、接続点Aより電位が高くなるため、整流素子62を電流が通過でき、演算増幅器61は一般的なボルテージ・フォロワとしての働きをし、接続点Aすなわち出力信号Vf’の出力は直ちにVfHとなる。
【0031】
次に、時間t3で制御信号VfをVfHからVfLに下げた場合、演算増幅器61の出力もそれに追随して電位を下げる方向に作用する。
しかし、接続点Aの電位に対して演算増幅器61の電位が低いため、整流素子62を電流が通ることができない。そのため、演算増幅器61の出力は、抵抗63を介して接続点Aから電流を吸い込む形となる。この場合、この接続点Aの電位すなわちコンデンサ64の接地とは異なる一端の電位は、演算増幅器61の出力する電位に対し、抵抗63の抵抗値と、コンデンサ64の容量値より決まる時定数をもって放電したときの過渡状態となる。そのため、演算増幅器61の出力電位が下がっても、接続点Aの電位は直ぐには下がらず、出力信号Vf’も時定数をもって下がる。
【0032】
したがって、制御信号VfをVfHからVfLにステップ状に下げたとき、出力信号Vf’がVfHからVfLになる時間が、Tuになるように、応答時間変換回路6の抵抗63とコンデンサ64の素子の値を決めることにより、出力信号Vf’はt3からTu時間後のt5でVfLになることになる。
【0033】
そして、駆動周波数fDは、出力信号Vf’に依存するため、時刻t0でfHであったものが、時間t1で直ちにfHからfLとなり、時間t3ではfLからTuだけ時間をかけて、時間t5でfHとなる。
したがって、超音波モー200の回転数Nは、時間t1でvLであり、t1から時間Tu後のt2においてvHに達する。次いで、回転数Nはt3でvHであるが、駆動周波数が時定数をもって、Tuだけ時間をかけてt5でfHとなるので、回転数Nもt5までかかって、vLへと達する。
【0034】
以上のように応答時間変換回路6を用いることにより、図3に示すように、制御回路1が出力する制御信号Vfによらず、振動は超音波モータ200の応答特性を加速時とも、減速時とも一定に保つことができる。したがって、制御回路1から見た制御対象の加速時と減速時の伝達関数は同一とみなすことができ、制御回路1内にもつ制御パラメータは超音波モータ200の加速、減速の状態によらないで一つのパラメータとして設定することができる。
【0035】
なお、本発明は上述した実施の形態で説明した構造には限定されず、各部の形状、構造等を適宜変形、変更し得ることはいうまでもない。
たとえば上述した実施の形態においては、駆動周波数を制御することで、超音波モータ(振動波モータ)200の変位速度(動作速度)の制御を行う場合を用いて説明したが、電圧を変化させることで制御する場合でも同様である。
【0036】
また、上述した実施の形態においては、円環型の超音波モータ(振動波モータ)200について説明をしたが、本発明はこれに限らず、リニア型の超音波(振動波)モータに対して適用することも可能である。
さらに、上述した実施の形態においては、振動アクチュエータの駆動装置における各機能を回路素子を用いて説明したが、同様の働きをするマイクロコンピュータなどを使用することも可能である。
【0037】
以上説明したように本発明に係る振動アクチュエータの駆動装置によれば、電気機械変換素子の機械的振動運動を利用して駆動するにあたって、電源と、発振器と、振動アクチュエータに必要とされる変位速度の変化量に応じて制御信号を変化させる制御手段と、振動アクチュエータの運動エネルギが減少するときには、制御信号の変化が遅延するよう伝達関数を変換する伝達関数変換手段を設けることにより、簡単な構成であるにもかかわらず、以下に述べる優れた効果を奏する。
【0038】
本発明によれば、振動アクチュエータを駆動するにあたって、制御信号が振動アクチュエータに作用する途中過程において、振動アクチュエータの運動エネルギが減少するときには制御信号の変化が遅延するよう伝達関数を変換することにより、加速時と減速時の伝達関数を同一とし、振動アクチュエータの駆動時の加速、減速制御を同じパラメータで決定するようにし、制御アルゴリズムを簡素化することができる。
【0039】
特に、本発明に係る振動アクチュエータの駆動装置によれば、伝達関数変換手段を、振動アクチュエータの運動エネルギが上昇するときの伝達関数と、前記振動アクチュエータの運動エネルギが減少するときの伝達関数とを同一に扱えるように構成することにより、振動アクチュエータの状態によらず、一つのパラメータを決めることができ、装置構成の簡素化を図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る振動アクチュエータとしての超音波モータの駆動装置の一つの実施の形態を示すブロック図である。
【図2】 図1における応答時間変換回路を示す回路図である。
【図3】 図1、図2の実施の形態での振動アクチュエータの駆動装置の動作特性を説明するための時間に対する制御信号、出力信号、駆動周波数、回転数の関係を示す特性図である。
【図4】 振動アクチュエータとしての円環型超音波モータの一般的な構成を示し、(A)は断面図、(B)は圧電体の電極配置を示す平面図、(C)は等価回路を示す回路図である。
【図5】 振動アクチュエータを駆動する駆動装置の一例を例示するブロック図である。
【図6】 振動アクチュエータの駆動特性を説明するための駆動周波数に対する駆動量を示す特性図である。
【図7】 一般的な振動アクチュエータの駆動装置の動作特性を説明するための時間に対する制御信号、駆動周波数、回転数の関係を示す特性図である。
【符号の説明】
1…制御回路、2…VCO(電圧制御発振器)、3(3A,3B)…圧電体駆動回路、4…電源、5…移相回路、6…応答時間変換回路、20…回路用電源、61…演算増幅器、63…抵抗、64…コンデンサ、200…超音波モータ(振動アクチュエータ)。
Claims (3)
- 電気的エネルギを機械的エネルギに変換する電気機械変換素子の機械的振動運動を利用して駆動する振動アクチュエータの駆動装置において、
電源と、
発振器と、
前記振動アクチュエータに必要とされる変位速度の変化量に応じて制御信号を変化させる制御手段と、
前記振動アクチュエータの運動エネルギが減少するときには、前記制御信号の変化が遅延するよう伝達関数を変換する伝達関数変換手段と
を備えたことを特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。 - 請求項1記載の振動アクチュエータの駆動装置において、
伝達関数変換手段を、
前記振動アクチュエータの運動エネルギが上昇するときの伝達関数と、前記振動アクチュエータの運動エネルギが減少するときの伝達関数とを同一に扱えるように構成したことを特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。 - 請求項1または請求項2記載の振動アクチュエータの駆動装置において、
前記制御手段は、前記電気機械変換素子に印加する周波電圧の周波数を変化させることを特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
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JPH10164873A JPH10164873A (ja) | 1998-06-19 |
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- 1996-11-29 JP JP32008796A patent/JP3724087B2/ja not_active Expired - Lifetime
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