JP3723897B2

JP3723897B2 - Wet film laminate sheet and polishing pad using the same

Info

Publication number: JP3723897B2
Application number: JP2002188539A
Authority: JP
Inventors: 浩二片山
Original assignee: Toray Coatex Co Ltd
Current assignee: Toray Coatex Co Ltd
Priority date: 2002-06-27
Filing date: 2002-06-27
Publication date: 2005-12-07
Anticipated expiration: 2022-06-27
Also published as: JP2004027126A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は湿式フィルム積層シート及びこれを用いてなる研磨パッドに関するものであり、詳しくは、ポリエステルフィルム上にウレタン多孔質層を積層した湿式フィルム積層シート、及びその表皮層を除去することにより得られる、液晶ガラス、ガラスディスク、ホトマスク、シリコンウエハー、ＣＣＤカバーグラス等の電子部品表面精密研磨に適した研磨パッドに関する。
【０００２】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】
ポリエステルフィルム上に、湿式凝固させたウレタンの蜂窩状多孔質フィルム（以下、これを湿式フィルムという）を積層した湿式フィルム積層シートは、従来より電子部品の表面精密研磨用の研磨パッド等に使用されている。
【０００３】
上記のような湿式フィルム積層シートは、ポリエステルフィルムの上に、ポリウレタンプレポリマーの溶液を塗布し、湿式フィルムを形成させたのち、このフィルムをポリエステルフィルムより剥離して、別のポリエステルフィルム上に接着剤を用いて貼付することにより得ていた。また、研磨パッドを形成する場合は、この湿式フィルムの表皮層を、予め、研削や研磨等により除去して表面スエード状のフィルムにしてから別のポリエステルフィルム上に貼付していた。
【０００４】
上記のように、湿式フィルムをポリエステルフィルムから一旦剥離して、別のポリエステルフィルムに接着剤で貼付するのは、従来のポリエステルフィルムと湿式フィルムとは、相互の接着性に乏しく、接着剤なしでそのまま研磨パッド等として使用することができなかったためであるが、この技術には以下のような問題点があった。
【０００５】
先ず第一に、湿式フィルムをポリエステルフィルムから剥離する際に、湿式フィルムの変形を生じ易く、時には破れや切断が発生するという問題があった。従って、使用するポリウレタンの種類が制限され、湿式フィルムの厚さも制限されていた。
【０００６】
また、精密研磨を行うための研磨パッドには、平坦度(表面の凹凸)の精度が要求され、近年、精密研磨面の測定機器の発達とあいまって、ユーザーからの要求品質が高くなり、ますます精度の高い研磨パットが必要になってきているが、上記のようにポリエステルフィルム上に接着剤を用いて湿式フィルムを貼付すると、接着剤の凹凸による影響が湿式フィルム表面に生じて平坦度の精度が悪くなるという問題もあった。
【０００７】
本発明は上記に鑑みてなされたものであって、上記のように湿式フィルムをポリエステルフィルムから一旦剥離して、別のポリエステルフィルムに貼付するという工程なしに得られ、研磨パッドとして使用したときに高い精度が実現できる湿式フィルム積層シートを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記の課題を解決するために鋭意研究を進めた結果、特開平７−４１５８４号公報（特許公報第３２７０２０５号公報）に開示された製造方法により製造されるポリエステルフィルムを基材として用いて湿式凝固法によりウレタン多孔質層を形成した場合に、形成された湿式フィルムの基材に対する接着性等が極めて優れ、上記のような剥離・貼付工程なしに、精密研磨用の研磨パッドとして好適に用いられる湿式フィルム積層シートが得られることを見出し、本発明に至った。
【０００９】
すなわち、本発明の湿式フィルム積層シートは、酸成分の７０モル％以上がテレフタル酸及び／又はナフタレンジカルボン酸からなるポリエステルの縦延伸フィルムの少なくとも片面に、二次転移点が２０〜１５０℃のポリエステル樹脂９９〜８０重量％と平均粒径０．０１〜０．１μｍの微粒子１〜２０重量％とを含む易接着水性塗液を最終的塗膜厚みが０．００５〜０．０３μｍとなる量塗布し、次いで乾燥及び横方向の延伸を施し、更に縦方向へ再延伸し、要すれば横方向の再延伸を行い、しかる後熱固定を施すことにより得られる塗膜の摩擦係数が０．４２〜０．４４であるポリエステルフィルムの前記塗液塗布面に、湿式凝固法によりウレタン多孔質層を形成させてなるものである。
【００１０】
また、本発明の研磨パッドは、上記した本発明の湿式フィルム積層シートのウレタン多孔質層の表皮部分の全部又は一部が除去されてなるものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明で使用するポリエステルフィルムは、上記のように、特開平７−４１５８４号公報に示された製造方法により得られるものである。同公報に記載のように、縦延伸フィルムを構成するポリエステルの例としては、ポリエチレンテレフタレートまたはポリエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレートが挙げられ、塗液を構成するポリエステル樹脂の例としては、分子内にスルホン酸塩基又はカルボン酸塩基を有するものが挙げられ、微粒子の例としては、シリカ、炭酸カルシウム、アルミナ、カオリン、酸化チタン、架橋アクリル樹脂、架橋ポリスチレン、シリコーン樹脂、カーボンブラック、酸化錫等が挙げられる。
【００１２】
上記ポリエステルフィルムを用いて本発明の湿式フィルム積層シートを製造するには、ポリエステルフィルムの易接着水性塗液塗布面に、例えばポリウレタンのＤＭＦ溶液を塗布し、凝固浴中にて処理し、上記ポリウレタンを湿式凝固させて所謂蜂窩状多孔質層を形成させた後、洗浄、乾燥すればよい。
【００１３】
上記において蜂窩状多孔質層を形成させるのに使用されるポリウレタンの例としては、ポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系、ポリカプロラクタン系等のポリウレタンが挙げられる。
【００１４】
上記ポリウレタンを溶解させる溶剤としては、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）が好適に用いられるが、これに限定されない。
【００１５】
上記のポリウレタン溶液には、他の樹脂、たとえばポリ塩化ビニル、ポリエステル樹脂、ポリエーテルスルホン、ポリスルホン等を適宜配合できる。また、必要に応じて、カーボンを代表とする有機顔料、表面張力を下げる界面活性剤、撥水性を付与できる撥水剤等を添加することもできる。
【００１６】
基材に上記ポリウレタン溶液を塗布する手段は特に限定されないが、例としては、ロールコーター、ナイフコーター、ナイフオーバーロールコーター、ダイコーター等が挙げられる。塗布した後、蜂窩状多孔質層を形成させる凝固浴には、ＤＭＦとは親和性が有るが、ポリウレタンは溶解しない溶媒を使用する。一般的には水または水とＤＭＦの混合溶液が使用される。
【００１７】
上記により得られる湿式フィルム積層シートは、湿式フィルムの剥離強度が３００ｇ／ｃｍ以上という高い接着性を有するので、上記した従来技術における剥離及び貼付という工程を経ずに、そのまま研磨パッド等の材料として好適に使用できるものとなる。
【００１８】
上記により得られた湿式フィルム積層シートから研磨パッドを製造するには、得られた蜂窩状多孔質層の表皮部分を全部又は一部除去すればよい。この表皮部分を除去する方法は特に限定されないが、サンドペーパーで研削する方法、ニードルで引っかく方法、ニードルで穴を開ける方法、グラビアロールを使ってＤＭＦを転写して表皮を溶解させる方法等が用いられる。
【００１９】
本発明の湿式フィルム積層シートの用途は研磨パッドに限定されず、例えば、表皮部分を除去せずに、ポリエステルフィルム側に両面粘着テープを貼付して、バックパッドとして使用することも可能である。
【００２０】
【実施例】
［実施例］
酸成分の７０モル％以上がテレフタル酸及び／又はナフタレンジカルボン酸からなるポリエステルの縦延伸フィルムの片面（表面）に、二次転移点が２０〜１５０℃のポリエステル樹脂９９〜８０重量％と平均粒径０．０１〜０．１μｍの微粒子１〜２０重量％とを含む易接着水性塗液を最終的塗膜厚みが０．００５〜０．０３μｍとなる量塗布し、次いで乾燥及び横方向の延伸を施し、更に縦方向へ再延伸し、要すれば横方向の再延伸を行い、しかる後熱固定を施すことにより得られた塗膜の摩擦係数が０．４２〜０．４４である易接着性ポリエステルフィルム（商品名「ＳＧ２」、帝人デュポンフィルム（株）製、厚さ１２５μｍ）を用い、このフィルムの表面（上記塗液を塗布して易接着処理を施した面、以下単に「処理面」という）に以下の要領で蜂窩状多孔質層を形成させた。
【００２１】
ポリブチレンアジペートジオールをポリオール成分として用い、ジフェニルメタン−４，４−ジイソシアネート、ジエチレングリコールをＤＭＦ中で溶液重合させ、固形分３０％のポリウレタン溶液を得た。このポリウリタン溶液１００部に、カーボンブラック７部、アニオン活性剤１部、ＤＭＦ７０部を混合してポリウレタン調合液を得た。
【００２２】
得られた調合液を易接着性ポリエステルフィルムの表面（処理面）に、ナイフオーバーロールコーターを用いて塗布量１１００ｇ／ｍ^２で塗布し、直ちに１０％ＤＭＦ水に浸漬して凝固させ、蜂窩状多孔質層を形成させた。次いで温水にて十分洗浄してＤＭＦを除去した後、１４０℃の熱風乾燥機で乾燥し、湿式フィルム積層シートを得た。
【００２３】
この形成膜表面にサンメルコＢＷ−２（サン化成製）巾２．５ｃｍ、長さ１５ｃｍを気泡の入らないように１２０℃のアイロンで密着させ、テープ巾に切り出し、１８０度で剥離した時の強度を測定し、ｃｍ巾に換算することにより剥離強度（ｇ／ｃｍ）を求めた。結果を表１に示す。
【００２４】
次に、この積層シートの湿式フィルムの表皮部分をベルトサンダー機により＃２４０ペーパーで５０μｍの厚さで除去して研磨パッドを製造した。
【００２５】
得られた研磨パッドを４Ｂ型両面研磨機（キャリアサイズ４インチ）の、上・下定盤に両面テープを用いて張りつけ、研磨荷重５０ｇ／ｃｍ^２、被研磨物とパッドの相対速度３０ｍ／分とし、研磨剤として酸化セリウム系研磨剤を使用してホウケイ酸ガラス５０ｍｍ×５０ｍｍ×０．７ｔを上下のパッドの間に挟んで両面研磨した。
【００２６】
この操作により両面研磨されたホウケイ酸ガラスを得、立ち上がり時間、研磨面の平坦性、キズの発生の有無を調べた。結果を表１に示す。
【００２７】
なお、立ち上がり時間は、次に示す方法で測定される平坦性が０．５ｎｍ以下になるまでの時間を求めた。
【００２８】
平坦性の測定は、工学干渉式フラットネス測定装置により行い、２５〜２５０ミクロンのパンドパスフィルターで処理したＲａ値（２５〜２５０ミクロンの波長成分の微少うねりを評価した数値）を示した。測定はＡ面のみ行った。
【００２９】
また、キズの発生の有無は、集中灯を用い、暗視野中にて被研磨物の研磨面で１０万ルクスに設定して目視により行った。
【００３０】
［比較例１］
実施例で使用した易接着性ポリエステルフィルムの裏面（非処理面）に実施例と同じ方法で蜂窩状多孔質層を形成させ、湿式フィルム積層シートを得た。この積層シートにつき、実施例１と同じ方法で剥離強度を測定した。結果を表１に示す。なお、この積層シートは剥離強度が低く、研磨パッドに供することのできるレベルではなかった。
【００３１】
［比較例２］
ウレタン樹脂（ニッポラン２３０４、日本ポリウレタン製）２５部、塩ビ・酢ビ樹脂（エスレックＡ、積水化学製）５０部、分散剤（レシオンＰ、理研ビタミン製）１部、磁性剤（ＣＴＸ−８６０、戸田化学製）５００部（以上、固形分換算）をメチルエチルケトン／トルエン／シクロヘキサノン混合溶剤に溶解して４０％に調整し、サンドグラインダーで２時間分散させた。次に架橋剤のコロネートＬ２５部（固形分換算）を添加し、十分攪拌して評価用磁性塗料を得た。
【００３２】
実施例で使用した易接着性ポリエステルフィルムの表面（処理面）に、この評価用塗料をワイヤーバーで乾燥後の厚さが４μｍになるように塗布し、１００℃で３分間乾燥することにより、乾式フィルム積層シートを得た。この積層シートにつき、実施例１と同じ方法で剥離強度を測定した。結果を表１に示す。
【００３３】
【表１】

【００３４】
【発明の効果】
本発明の湿式フィルム積層シートは、基材であるポリエステルフィルムとその上に形成される湿式フィルムとの接着性が非常に優れ、従来技術のもののようにポリエステルフィルム上に形成した湿式フィルムを一旦剥離して別のポリエステルフィルムに接着剤で貼付するという工程なしに得られる。従って、従来品と比較して表面の平滑性もより優れ、製造コストも削減することができる。
【００３５】
そして、これを用いて得られる本発明の研磨パッドは、積層シートの優れた表面の平滑性を活かした高品質のものとなり、この研磨パッドによれば精密研磨における作業効率と研磨対象の品質の大幅な向上が可能となる。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a wet film laminated sheet and a polishing pad using the wet film laminated sheet. Specifically, the wet film laminated sheet in which a urethane porous layer is laminated on a polyester film, and the skin layer thereof are obtained. The present invention relates to a polishing pad suitable for precision polishing of the surface of electronic parts such as liquid crystal glass, glass disk, photomask, silicon wafer, and CCD cover glass.
[0002]
[Prior art and problems to be solved by the invention]
A wet film laminate sheet in which a wet coagulated urethane bead-like porous film (hereinafter referred to as a wet film) is laminated on a polyester film has been used for polishing pads for surface precision polishing of electronic parts. ing.
[0003]
The wet film laminate sheet as described above, after applying a polyurethane prepolymer solution on a polyester film to form a wet film, this film is peeled off from the polyester film and bonded onto another polyester film. It was obtained by sticking with an agent. When forming a polishing pad, the skin layer of this wet film was previously removed by grinding, polishing, or the like to form a surface suede-like film, which was then pasted on another polyester film.
[0004]
As described above, once the wet film is peeled off from the polyester film and pasted on another polyester film with an adhesive, the conventional polyester film and the wet film are poor in mutual adhesiveness, without an adhesive. This is because it could not be used as a polishing pad as it was, but this technique had the following problems.
[0005]
First of all, when the wet film is peeled from the polyester film, there is a problem that the wet film is easily deformed and sometimes torn or cut. Therefore, the type of polyurethane used is limited, and the thickness of the wet film is also limited.
[0006]
In addition, polishing pads for precision polishing are required to have flatness (surface irregularities), and in recent years, coupled with the development of measuring equipment for precision polishing surfaces, the quality required by users has increased. A polishing pad with higher accuracy is required. However, when a wet film is applied to a polyester film using an adhesive as described above, the unevenness of the adhesive causes an influence on the wet film surface, resulting in a low degree of flatness. There was also a problem that accuracy deteriorated.
[0007]
The present invention has been made in view of the above, and when the wet film is used as a polishing pad, it is obtained without the step of once peeling the wet film from the polyester film and affixing it to another polyester film. It aims at providing the wet film lamination sheet which can implement | achieve high precision.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
As a result of diligent research in order to solve the above problems, the present inventor has made a polyester film produced by the production method disclosed in JP-A-7-41584 (Patent Publication No. 3270205) as a base material. When the urethane porous layer is formed by the wet coagulation method, the adhesion of the formed wet film to the substrate is extremely excellent, and the polishing pad for precision polishing without the above-described peeling / sticking process As a result, the inventors have found that a wet film laminated sheet that can be suitably used as a base material can be obtained.
[0009]
That is, the wet film laminated sheet of the present invention is a polyester having a secondary transition point of 20 to 150 ° C. on at least one side of a longitudinally stretched polyester film in which 70 mol% or more of the acid component is composed of terephthalic acid and / or naphthalenedicarboxylic acid. An easy-adhesive aqueous coating solution containing 99 to 80% by weight of resin and 1 to 20% by weight of fine particles having an average particle size of 0.01 to 0.1 μm is applied in an amount such that the final coating thickness becomes 0.005 to 0.03 μm. The film is then dried and stretched in the transverse direction, further re-stretched in the longitudinal direction, if necessary, re-stretched in the transverse direction, and then heat-fixed to give a coefficient of friction of 0.42 A urethane porous layer is formed by wet coagulation on the coating surface of the polyester film of ~ 0.44.
[0010]
Moreover, the polishing pad of this invention removes all or one part of the skin part of the urethane porous layer of the above-mentioned wet film lamination sheet of this invention.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The polyester film used in the present invention is obtained by the production method disclosed in JP-A-7-41584 as described above. As described in the publication, examples of the polyester constituting the longitudinally stretched film include polyethylene terephthalate or polyethylene-2,6-naphthalenedicarboxylate, and examples of the polyester resin constituting the coating liquid include molecular Examples of the fine particles include silica, calcium carbonate, alumina, kaolin, titanium oxide, crosslinked acrylic resin, crosslinked polystyrene, silicone resin, carbon black, tin oxide, and the like. Is mentioned.
[0012]
In order to produce the wet film laminated sheet of the present invention using the polyester film, for example, a DMF solution of polyurethane is applied to the surface of the polyester film where the easy-adhesion aqueous coating solution is applied, and the polyurethane film is treated in a coagulation bath. What is necessary is just to wash | clean and dry, after forming a so-called bead-like porous layer by wet coagulation.
[0013]
Examples of the polyurethane used for forming the honeycomb-like porous layer in the above include polyester-based, polyether-based, polycarbonate-based, polycaprolactan-based polyurethanes, and the like.
[0014]
As a solvent for dissolving the polyurethane, dimethylformamide (DMF) is preferably used, but is not limited thereto.
[0015]
Other resins such as polyvinyl chloride, polyester resin, polyethersulfone, polysulfone and the like can be appropriately blended with the polyurethane solution. If necessary, an organic pigment typified by carbon, a surfactant that lowers the surface tension, a water repellent capable of imparting water repellency, and the like can also be added.
[0016]
The means for applying the polyurethane solution to the substrate is not particularly limited, and examples include a roll coater, a knife coater, a knife over roll coater, and a die coater. For the coagulation bath that forms a honeycomb-like porous layer after coating, a solvent that has an affinity for DMF but does not dissolve polyurethane is used. Generally, water or a mixed solution of water and DMF is used.
[0017]
Since the wet film laminate sheet obtained as described above has a high adhesive property that the peel strength of the wet film is 300 g / cm or more, it does not go through the steps of peeling and sticking in the prior art as described above, and as it is as a material for a polishing pad or the like. It can be suitably used.
[0018]
In order to produce a polishing pad from the wet film laminated sheet obtained as described above, all or part of the skin portion of the obtained honeycomb-like porous layer may be removed. The method of removing the skin portion is not particularly limited, but a method of grinding with sandpaper, a method of scratching with a needle, a method of making a hole with a needle, a method of transferring DMF using a gravure roll, and a method of dissolving the skin are used. It is done.
[0019]
The use of the wet film laminated sheet of the present invention is not limited to the polishing pad. For example, it is possible to use a double-sided adhesive tape on the polyester film side without removing the skin portion and use it as a back pad.
[0020]
【Example】
[Example]
On one side (surface) of a polyester longitudinally stretched film in which 70 mol% or more of the acid component is composed of terephthalic acid and / or naphthalenedicarboxylic acid, 99-80% by weight of polyester resin having a secondary transition point of 20-150 ° C. and an average particle An easy-adhesive aqueous coating solution containing 1 to 20% by weight of fine particles having a diameter of 0.01 to 0.1 μm is applied in an amount such that the final coating thickness becomes 0.005 to 0.03 μm, and then dried and stretched in the transverse direction. The film has a coefficient of friction of 0.42 to 0.44, which is obtained by further stretching in the longitudinal direction, if necessary, by re-stretching in the lateral direction, and then heat setting. The surface of this film (the surface on which the coating solution was applied and subjected to an easy adhesion treatment, hereinafter simply referred to as “treated surface”) was used, using an adhesive polyester film (trade name “SG2”, manufactured by Teijin DuPont Films, Inc., thickness 125 μm). ") To form a cellulitis-like porous layer in the manner below.
[0021]
Using polybutylene adipate diol as a polyol component, diphenylmethane-4,4-diisocyanate and diethylene glycol were solution polymerized in DMF to obtain a polyurethane solution having a solid content of 30%. To 100 parts of this polyuritan solution, 7 parts of carbon black, 1 part of an anionic activator and 70 parts of DMF were mixed to obtain a polyurethane preparation liquid.
[0022]
The obtained prepared liquid was applied to the surface (treated surface) of the easily adhesive polyester film at a coating amount of 1100 g / m ² using a knife over roll coater, and immediately immersed in 10% DMF water to solidify, and then a honeycomb shape was formed. A porous layer was formed. Next, after sufficiently washing with warm water to remove DMF, it was dried with a hot air dryer at 140 ° C. to obtain a wet film laminated sheet.
[0023]
The strength of the surface of this formed film was Sanmerco BW-2 (manufactured by San Kasei) 2.5 cm wide and 15 cm long with a 120 ° C. iron so as not to contain bubbles, cut into a tape width, and peeled off at 180 degrees. Was measured, and the peel strength (g / cm) was determined by converting to cm width. The results are shown in Table 1.
[0024]
Next, the skin portion of the wet film of this laminated sheet was removed with a # 240 paper with a belt sander machine to a thickness of 50 μm to produce a polishing pad.
[0025]
The obtained polishing pad is attached to the upper and lower surface plates of a 4B type double-side polishing machine (carrier size 4 inches) using a double-sided tape, the polishing load is 50 g / cm ² , and the relative speed between the polishing object and the pad is 30 m / min. Using a cerium oxide-based abrasive as the abrasive, borosilicate glass 50 mm × 50 mm × 0.7 t was sandwiched between the upper and lower pads and polished on both sides.
[0026]
By this operation, double-side polished borosilicate glass was obtained, and the rise time, the flatness of the polished surface, and the presence or absence of scratches were examined. The results are shown in Table 1.
[0027]
The rise time was determined as the time required for the flatness measured by the following method to be 0.5 nm or less.
[0028]
The flatness was measured by an engineering interference flatness measuring apparatus, and the Ra value (numerical value obtained by evaluating a slight waviness of a wavelength component of 25 to 250 microns) treated with a pan-pass filter of 25 to 250 microns was shown. Measurement was performed only on the A side.
[0029]
In addition, the presence or absence of scratches was visually observed using a concentrated light and setting the polishing surface of the object to be polished to 100,000 lux in a dark field.
[0030]
[Comparative Example 1]
A bead-shaped porous layer was formed on the back surface (non-treated surface) of the easy-adhesive polyester film used in the examples by the same method as in the examples to obtain a wet film laminated sheet. With respect to this laminated sheet, the peel strength was measured by the same method as in Example 1. The results are shown in Table 1. This laminated sheet had low peel strength and was not at a level that could be used for a polishing pad.
[0031]
[Comparative Example 2]
25 parts urethane resin (Nipporan 2304, made by Nippon Polyurethane), 50 parts vinyl chloride / vinyl acetate resin (S-REC A, manufactured by Sekisui Chemical), 1 part dispersant (Recion P, manufactured by Riken Vitamin), magnetic agent (CTX-860, Toda) (Chemical) 500 parts (in terms of solid content) was dissolved in a methyl ethyl ketone / toluene / cyclohexanone mixed solvent, adjusted to 40%, and dispersed with a sand grinder for 2 hours. Next, 25 parts (corresponding to solid content) of coronate L25 as a crosslinking agent was added and stirred sufficiently to obtain a magnetic coating material for evaluation.
[0032]
By applying this evaluation paint to the surface (treated surface) of the easy-adhesive polyester film used in the examples so that the thickness after drying with a wire bar is 4 μm, and drying at 100 ° C. for 3 minutes, A dry film laminated sheet was obtained. With respect to this laminated sheet, the peel strength was measured by the same method as in Example 1. The results are shown in Table 1.
[0033]
[Table 1]

[0034]
【The invention's effect】
The wet film laminated sheet of the present invention has excellent adhesion between the polyester film as the base material and the wet film formed thereon, and once peels off the wet film formed on the polyester film as in the prior art Thus, it can be obtained without a step of attaching to another polyester film with an adhesive. Therefore, the surface smoothness is better than that of the conventional product, and the manufacturing cost can be reduced.
[0035]
And the polishing pad of the present invention obtained by using this is of high quality utilizing the excellent surface smoothness of the laminated sheet, and according to this polishing pad, the work efficiency in precision polishing and the quality of the object to be polished are improved. Significant improvement is possible.

Claims

On at least one surface of a polyester longitudinally stretched film in which 70 mol% or more of the acid component is composed of terephthalic acid and / or naphthalenedicarboxylic acid, a polyester resin having a secondary transition point of 20 to 150 ° C. and 99 to 80% by weight and an average particle size of 0 An easy-adhesive aqueous coating solution containing 0.01 to 0.1 μm of fine particles of 1 to 20% by weight is applied in an amount such that the final coating thickness becomes 0.005 to 0.03 μm, and then dried and stretched in the transverse direction. Further, the coating of the polyester film having a coefficient of friction of 0.42 to 0.44 is obtained by re-stretching in the longitudinal direction, if necessary, by re-stretching in the transverse direction, and then heat setting. A wet film laminated sheet in which a urethane porous layer is formed on a liquid application surface by a wet coagulation method.

A polishing pad formed by removing all or part of the skin portion of the urethane porous layer of the wet film laminated sheet according to claim 1.