JP2004027126A

JP2004027126A - Wet film laminated sheet and abrasive pad using the same

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Publication number: JP2004027126A
Application number: JP2002188539A
Authority: JP
Inventors: Koji Katayama; 片山　浩二
Original assignee: Toray Coatex Co Ltd
Current assignee: Toray Coatex Co Ltd
Priority date: 2002-06-27
Filing date: 2002-06-27
Publication date: 2004-01-29
Anticipated expiration: 2022-06-27
Also published as: JP3723897B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wet film laminated sheet that is a laminated film manufactured by laminating a urethane porous layer to a polyester film and in which high surface accuracy is obtained without a process in which the urethane film is peeled once from the polyester film and is stuck to another polyester film, and an abrasive pad using it. <P>SOLUTION: On at least one surface of a longitudinally oriented film of a polyester in which 70 mol% or more of an acid component consists of terephthalic acid and/or naphthalene dicarboxylic acid, a readily adhesive aqueous coating liquid comprising 99-80 wt.% of a polyester resin having a second order transition temperature of 20-150°C and 1-20 wt.% of a fine particle having a mean particle diameter of 0.01-0.1 μm is applied so as to form a final coating thickness of 0.005-0.03 μm. The coated polyester film is dried and oriented transversely, then reoriented in the longitudinal direction and reoriented transversely, if necessary, and then is set by heating. On the coated surface of the resultant polyester film having a coefficient of friction of 0.42-0.44, the urethane porous layer is formed by a wet coagulation method to form the wet film laminated sheet. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は湿式フィルム積層シート及びこれを用いてなる研磨パッドに関するものであり、詳しくは、ポリエステルフィルム上にウレタン多孔質層を積層した湿式フィルム積層シート、及びその表皮層を除去することにより得られる、液晶ガラス、ガラスディスク、ホトマスク、シリコンウエハー、ＣＣＤカバーグラス等の電子部品表面精密研磨に適した研磨パッドに関する。
【０００２】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】
ポリエステルフィルム上に、湿式凝固させたウレタンの蜂窩状多孔質フィルム（以下、これを湿式フィルムという）を積層した湿式フィルム積層シートは、従来より電子部品の表面精密研磨用の研磨パッド等に使用されている。
【０００３】
上記のような湿式フィルム積層シートは、ポリエステルフィルムの上に、ポリウレタンプレポリマーの溶液を塗布し、湿式フィルムを形成させたのち、このフィルムをポリエステルフィルムより剥離して、別のポリエステルフィルム上に接着剤を用いて貼付することにより得ていた。また、研磨パッドを形成する場合は、この湿式フィルムの表皮層を、予め、研削や研磨等により除去して表面スエード状のフィルムにしてから別のポリエステルフィルム上に貼付していた。
【０００４】
上記のように、湿式フィルムをポリエステルフィルムから一旦剥離して、別のポリエステルフィルムに接着剤で貼付するのは、従来のポリエステルフィルムと湿式フィルムとは、相互の接着性に乏しく、接着剤なしでそのまま研磨パッド等として使用することができなかったためであるが、この技術には以下のような問題点があった。
【０００５】
先ず第一に、湿式フィルムをポリエステルフィルムから剥離する際に、湿式フィルムの変形を生じ易く、時には破れや切断が発生するという問題があった。従って、使用するポリウレタンの種類が制限され、湿式フィルムの厚さも制限されていた。
【０００６】
また、精密研磨を行うための研磨パッドには、平坦度（表面の凹凸）の精度が要求され、近年、精密研磨面の測定機器の発達とあいまって、ユーザーからの要求品質が高くなり、ますます精度の高い研磨パットが必要になってきているが、上記のようにポリエステルフィルム上に接着剤を用いて湿式フィルムを貼付すると、接着剤の凹凸による影響が湿式フィルム表面に生じて平坦度の精度が悪くなるという問題もあった。
【０００７】
本発明は上記に鑑みてなされたものであって、上記のように湿式フィルムをポリエステルフィルムから一旦剥離して、別のポリエステルフィルムに貼付するという工程なしに得られ、研磨パッドとして使用したときに高い精度が実現できる湿式フィルム積層シートを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記の課題を解決するために鋭意研究を進めた結果、特開平７−４１５８４号公報（特許公報第３２７０２０５号公報）に開示された製造方法により製造されるポリエステルフィルムを基材として用いて湿式凝固法によりウレタン多孔質層を形成した場合に、形成された湿式フィルムの基材に対する接着性等が極めて優れ、上記のような剥離・貼付工程なしに、精密研磨用の研磨パッドとして好適に用いられる湿式フィルム積層シートが得られることを見出し、本発明に至った。
【０００９】
すなわち、本発明の湿式フィルム積層シートは、酸成分の７０モル％以上がテレフタル酸及び／又はナフタレンジカルボン酸からなるポリエステルの縦延伸フィルムの少なくとも片面に、二次転移点が２０〜１５０℃のポリエステル樹脂９９〜８０重量％と平均粒径０．０１〜０．１μｍの微粒子１〜２０重量％とを含む易接着水性塗液を最終的塗膜厚みが０．００５〜０．０３μｍとなる量塗布し、次いで乾燥及び横方向の延伸を施し、更に縦方向へ再延伸し、要すれば横方向の再延伸を行い、しかる後熱固定を施すことにより得られる塗膜の摩擦係数が０．４２〜０．４４であるポリエステルフィルムの前記塗液塗布面に、湿式凝固法によりウレタン多孔質層を形成させてなるものである。
【００１０】
また、本発明の研磨パッドは、上記した本発明の湿式フィルム積層シートのウレタン多孔質層の表皮部分の全部又は一部が除去されてなるものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明で使用するポリエステルフィルムは、上記のように、特開平７−４１５８４号公報に示された製造方法により得られるものである。同公報に記載のように、縦延伸フィルムを構成するポリエステルの例としては、ポリエチレンテレフタレートまたはポリエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレートが挙げられ、塗液を構成するポリエステル樹脂の例としては、分子内にスルホン酸塩基又はカルボン酸塩基を有するものが挙げられ、微粒子の例としては、シリカ、炭酸カルシウム、アルミナ、カオリン、酸化チタン、架橋アクリル樹脂、架橋ポリスチレン、シリコーン樹脂、カーボンブラック、酸化錫等が挙げられる。
【００１２】
上記ポリエステルフィルムを用いて本発明の湿式フィルム積層シートを製造するには、ポリエステルフィルムの易接着水性塗液塗布面に、例えばポリウレタンのＤＭＦ溶液を塗布し、凝固浴中にて処理し、上記ポリウレタンを湿式凝固させて所謂蜂窩状多孔質層を形成させた後、洗浄、乾燥すればよい。
【００１３】
上記において蜂窩状多孔質層を形成させるのに使用されるポリウレタンの例としては、ポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系、ポリカプロラクタン系等のポリウレタンが挙げられる。
【００１４】
上記ポリウレタンを溶解させる溶剤としては、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）が好適に用いられるが、これに限定されない。
【００１５】
上記のポリウレタン溶液には、他の樹脂、たとえばポリ塩化ビニル、ポリエステル樹脂、ポリエーテルスルホン、ポリスルホン等を適宜配合できる。また、必要に応じて、カーボンを代表とする有機顔料、表面張力を下げる界面活性剤、撥水性を付与できる撥水剤等を添加することもできる。
【００１６】
基材に上記ポリウレタン溶液を塗布する手段は特に限定されないが、例としては、ロールコーター、ナイフコーター、ナイフオーバーロールコーター、ダイコーター等が挙げられる。塗布した後、蜂窩状多孔質層を形成させる凝固浴には、ＤＭＦとは親和性が有るが、ポリウレタンは溶解しない溶媒を使用する。一般的には水または水とＤＭＦの混合溶液が使用される。
【００１７】
上記により得られる湿式フィルム積層シートは、湿式フィルムの剥離強度が３００ｇ／ｃｍ以上という高い接着性を有するので、上記した従来技術における剥離及び貼付という工程を経ずに、そのまま研磨パッド等の材料として好適に使用できるものとなる。
【００１８】
上記により得られた湿式フィルム積層シートから研磨パッドを製造するには、得られた蜂窩状多孔質層の表皮部分を全部又は一部除去すればよい。この表皮部分を除去する方法は特に限定されないが、サンドペーパーで研削する方法、ニードルで引っかく方法、ニードルで穴を開ける方法、グラビアロールを使ってＤＭＦを転写して表皮を溶解させる方法等が用いられる。
【００１９】
本発明の湿式フィルム積層シートの用途は研磨パッドに限定されず、例えば、表皮部分を除去せずに、ポリエステルフィルム側に両面粘着テープを貼付して、バックパッドとして使用することも可能である。
【００２０】
【実施例】
［実施例］
酸成分の７０モル％以上がテレフタル酸及び／又はナフタレンジカルボン酸からなるポリエステルの縦延伸フィルムの片面（表面）に、二次転移点が２０〜１５０℃のポリエステル樹脂９９〜８０重量％と平均粒径０．０１〜０．１μｍの微粒子１〜２０重量％とを含む易接着水性塗液を最終的塗膜厚みが０．００５〜０．０３μｍとなる量塗布し、次いで乾燥及び横方向の延伸を施し、更に縦方向へ再延伸し、要すれば横方向の再延伸を行い、しかる後熱固定を施すことにより得られた塗膜の摩擦係数が０．４２〜０．４４である易接着性ポリエステルフィルム（商品名「ＳＧ２」、帝人デュポンフィルム（株）製、厚さ１２５μｍ）を用い、このフィルムの表面（上記塗液を塗布して易接着処理を施した面、以下単に「処理面」という）に以下の要領で蜂窩状多孔質層を形成させた。
【００２１】
ポリブチレンアジペートジオールをポリオール成分として用い、ジフェニルメタン−４，４−ジイソシアネート、ジエチレングリコールをＤＭＦ中で溶液重合させ、固形分３０％のポリウレタン溶液を得た。このポリウリタン溶液１００部に、カーボンブラック７部、アニオン活性剤１部、ＤＭＦ７０部を混合してポリウレタン調合液を得た。
【００２２】
得られた調合液を易接着性ポリエステルフィルムの表面（処理面）に、ナイフオーバーロールコーターを用いて塗布量１１００ｇ／ｍ^２で塗布し、直ちに１０％ＤＭＦ水に浸漬して凝固させ、蜂窩状多孔質層を形成させた。次いで温水にて十分洗浄してＤＭＦを除去した後、１４０℃の熱風乾燥機で乾燥し、湿式フィルム積層シートを得た。
【００２３】
この形成膜表面にサンメルコＢＷ−２（サン化成製）巾２．５ｃｍ、長さ１５ｃｍを気泡の入らないように１２０℃のアイロンで密着させ、テープ巾に切り出し、１８０度で剥離した時の強度を測定し、ｃｍ巾に換算することにより剥離強度（ｇ／ｃｍ）を求めた。結果を表１に示す。
【００２４】
次に、この積層シートの湿式フィルムの表皮部分をベルトサンダー機により＃２４０ペーパーで５０μｍの厚さで除去して研磨パッドを製造した。
【００２５】
得られた研磨パッドを４Ｂ型両面研磨機（キャリアサイズ４インチ）の、上・下定盤に両面テープを用いて張りつけ、研磨荷重５０ｇ／ｃｍ^２、被研磨物とパッドの相対速度３０ｍ／分とし、研磨剤として酸化セリウム系研磨剤を使用してホウケイ酸ガラス５０ｍｍ×５０ｍｍ×０．７ｔを上下のパッドの間に挟んで両面研磨した。
【００２６】
この操作により両面研磨されたホウケイ酸ガラスを得、立ち上がり時間、研磨面の平坦性、キズの発生の有無を調べた。結果を表１に示す。
【００２７】
なお、立ち上がり時間は、次に示す方法で測定される平坦性が０．５ｎｍ以下になるまでの時間を求めた。
【００２８】
平坦性の測定は、工学干渉式フラットネス測定装置により行い、２５〜２５０ミクロンのパンドパスフィルターで処理したＲａ値（２５〜２５０ミクロンの波長成分の微少うねりを評価した数値）を示した。測定はＡ面のみ行った。
【００２９】
また、キズの発生の有無は、集中灯を用い、暗視野中にて被研磨物の研磨面で１０万ルクスに設定して目視により行った。
【００３０】
［比較例１］
実施例で使用した易接着性ポリエステルフィルムの裏面（非処理面）に実施例と同じ方法で蜂窩状多孔質層を形成させ、湿式フィルム積層シートを得た。この積層シートにつき、実施例１と同じ方法で剥離強度を測定した。結果を表１に示す。なお、この積層シートは剥離強度が低く、研磨パッドに供することのできるレベルではなかった。
【００３１】
［比較例２］
ウレタン樹脂（ニッポラン２３０４、日本ポリウレタン製）２５部、塩ビ・酢ビ樹脂（エスレックＡ、積水化学製）５０部、分散剤（レシオンＰ、理研ビタミン製）１部、磁性剤（ＣＴＸ−８６０、戸田化学製）５００部（以上、固形分換算）をメチルエチルケトン／トルエン／シクロヘキサノン混合溶剤に溶解して４０％に調整し、サンドグラインダーで２時間分散させた。次に架橋剤のコロネートＬ２５部（固形分換算）を添加し、十分攪拌して評価用磁性塗料を得た。
【００３２】
実施例で使用した易接着性ポリエステルフィルムの表面（処理面）に、この評価用塗料をワイヤーバーで乾燥後の厚さが４μｍになるように塗布し、１００℃で３分間乾燥することにより、乾式フィルム積層シートを得た。この積層シートにつき、実施例１と同じ方法で剥離強度を測定した。結果を表１に示す。
【００３３】
【表１】

【００３４】
【発明の効果】
本発明の湿式フィルム積層シートは、基材であるポリエステルフィルムとその上に形成される湿式フィルムとの接着性が非常に優れ、従来技術のもののようにポリエステルフィルム上に形成した湿式フィルムを一旦剥離して別のポリエステルフィルムに接着剤で貼付するという工程なしに得られる。従って、従来品と比較して表面の平滑性もより優れ、製造コストも削減することができる。
【００３５】
そして、これを用いて得られる本発明の研磨パッドは、積層シートの優れた表面の平滑性を活かした高品質のものとなり、この研磨パッドによれば精密研磨における作業効率と研磨対象の品質の大幅な向上が可能となる。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a wet film laminated sheet and a polishing pad using the same, and more particularly, to a wet film laminated sheet in which a urethane porous layer is laminated on a polyester film, and is obtained by removing a skin layer thereof. The present invention relates to a polishing pad suitable for precision polishing of electronic component surfaces such as liquid crystal glass, glass disks, photomasks, silicon wafers, and CCD cover glasses.
[0002]
[Prior Art and Problems to be Solved by the Invention]
A wet film laminated sheet in which a wet-solidified urethane cell-like porous film (hereinafter, referred to as a wet film) is laminated on a polyester film has been conventionally used as a polishing pad or the like for precision polishing of the surface of an electronic component. ing.
[0003]
A wet film laminated sheet as described above is formed by applying a solution of a polyurethane prepolymer on a polyester film to form a wet film, and then peeling the film from the polyester film and bonding it to another polyester film. It was obtained by sticking using an agent. In the case of forming a polishing pad, the skin layer of the wet film was removed in advance by grinding, polishing, or the like to form a surface suede-like film, and then attached to another polyester film.
[0004]
As described above, once the wet film is peeled off from the polyester film and then attached to another polyester film with an adhesive, the conventional polyester film and the wet film are poor in mutual adhesion, and without an adhesive. This is because it could not be used as a polishing pad or the like as it is, but this technique had the following problems.
[0005]
First, when the wet film is peeled from the polyester film, there is a problem that the wet film is apt to be deformed and sometimes torn or cut. Therefore, the type of polyurethane used is limited, and the thickness of the wet film is also limited.
[0006]
In addition, polishing pads for precision polishing require flatness (surface unevenness) precision, and in recent years, along with the development of measuring instruments for precision polishing surfaces, the quality required by users has increased. A polishing pad with higher precision is required, but when a wet film is pasted on a polyester film using an adhesive as described above, the influence of the unevenness of the adhesive occurs on the wet film surface and the flatness of the wet film is reduced. There was also a problem that accuracy deteriorated.
[0007]
The present invention has been made in view of the above, and is obtained without the step of once peeling a wet film from a polyester film as described above and attaching it to another polyester film, and when used as a polishing pad. It is an object of the present invention to provide a wet film laminated sheet capable of realizing high precision.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The present inventor has made intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, has found that a polyester film manufactured by the manufacturing method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-41584 (Japanese Patent No. 3270205) is used as a base material. When a urethane porous layer is formed by a wet coagulation method using a wet film, the formed wet film has extremely excellent adhesion to a substrate and the like, without the above-mentioned peeling / sticking step, and a polishing pad for precision polishing. It has been found that a wet film laminated sheet suitably used as the above is obtained, and the present invention has been achieved.
[0009]
That is, the wet film laminated sheet of the present invention has a polyester having a secondary transition point of 20 to 150 ° C on at least one side of a longitudinally stretched film of a polyester in which 70% by mole or more of an acid component is composed of terephthalic acid and / or naphthalenedicarboxylic acid. Application of an easily adhesive aqueous coating solution containing 99 to 80% by weight of resin and 1 to 20% by weight of fine particles having an average particle size of 0.01 to 0.1 μm in a final coating film thickness of 0.005 to 0.03 μm. Then, the film is dried and stretched in the transverse direction, stretched again in the machine direction, stretched in the transverse direction if necessary, and then heat-fixed to obtain a coating film having a coefficient of friction of 0.42. A urethane porous layer is formed by wet coagulation on the surface of the polyester film coated with the coating liquid of 0.44 to 0.44.
[0010]
Further, the polishing pad of the present invention is obtained by removing all or a part of the skin portion of the urethane porous layer of the above-mentioned wet film laminated sheet of the present invention.
[0011]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
As described above, the polyester film used in the present invention is obtained by the production method disclosed in JP-A-7-41584. As described in the publication, examples of the polyester constituting the longitudinally stretched film include polyethylene terephthalate or polyethylene-2,6-naphthalenedicarboxylate, and examples of the polyester resin constituting the coating liquid include molecular Among them, those having a sulfonic acid group or a carboxylic acid group are mentioned, and examples of the fine particles include silica, calcium carbonate, alumina, kaolin, titanium oxide, crosslinked acrylic resin, crosslinked polystyrene, silicone resin, carbon black, tin oxide and the like. Is mentioned.
[0012]
In order to produce the wet film laminated sheet of the present invention using the polyester film, for example, a DMF solution of polyurethane is applied to the surface of the polyester film coated with the easily-adhesive aqueous coating liquid, and the polyurethane film is treated in a coagulation bath. Is formed by wet coagulation to form a so-called cell-like porous layer, followed by washing and drying.
[0013]
In the above, examples of the polyurethane used for forming the cell-like porous layer include polyurethanes of polyester type, polyether type, polycarbonate type, polycaprolactan type and the like.
[0014]
Dimethylformamide (DMF) is preferably used as a solvent for dissolving the polyurethane, but is not limited thereto.
[0015]
Other resins such as polyvinyl chloride, polyester resin, polyether sulfone, polysulfone, and the like can be appropriately compounded in the above polyurethane solution. If necessary, an organic pigment represented by carbon, a surfactant that lowers the surface tension, a water repellent that can impart water repellency, and the like can be added.
[0016]
The means for applying the polyurethane solution to the substrate is not particularly limited, but examples include a roll coater, a knife coater, a knife over roll coater, and a die coater. After the application, a solvent having affinity for DMF but not dissolving polyurethane is used for a coagulation bath for forming a cell-like porous layer. Generally, water or a mixed solution of water and DMF is used.
[0017]
Since the wet film laminated sheet obtained as described above has a high adhesive property of a peel strength of the wet film of 300 g / cm or more, it can be directly used as a material for a polishing pad or the like without going through the steps of peeling and sticking in the above-described conventional technology. It can be suitably used.
[0018]
In order to produce a polishing pad from the wet film laminated sheet obtained as described above, all or part of the skin portion of the obtained cell-like porous layer may be removed. The method of removing the skin portion is not particularly limited, but a method of grinding with sandpaper, a method of scratching with a needle, a method of making a hole with a needle, a method of transferring DMF using a gravure roll to dissolve the skin, and the like are used. Can be
[0019]
The application of the wet film laminated sheet of the present invention is not limited to a polishing pad. For example, a double-sided pressure-sensitive adhesive tape may be attached to the polyester film side without removing a skin portion and used as a back pad.
[0020]
【Example】
[Example]
On one side (surface) of a vertically stretched polyester film in which 70% by mole or more of the acid component is made of terephthalic acid and / or naphthalenedicarboxylic acid, 99-80% by weight of a polyester resin having a secondary transition point of 20-150 ° C and an average particle size An easily adhesive aqueous coating liquid containing 1 to 20% by weight of fine particles having a diameter of 0.01 to 0.1 μm is applied in an amount to give a final coating film thickness of 0.005 to 0.03 μm, and then dried and stretched in the lateral direction. And then re-stretched in the machine direction and, if necessary, re-stretched in the transverse direction, and then heat-fixed, resulting in a coating having a coefficient of friction of 0.42 to 0.44. The surface of this film (surface coated with the above coating solution and subjected to easy adhesion treatment, hereinafter referred to simply as “treated surface”) is formed using a conductive polyester film (trade name “SG2”, manufactured by Teijin Dupont Film Co., Ltd., thickness 125 μm). ") To form a cellulitis-like porous layer in the manner below.
[0021]
Using polybutylene adipate diol as a polyol component, diphenylmethane-4,4-diisocyanate and diethylene glycol were solution-polymerized in DMF to obtain a polyurethane solution having a solid content of 30%. To 100 parts of this polyurethane solution, 7 parts of carbon black, 1 part of an anionic activator and 70 parts of DMF were mixed to obtain a polyurethane preparation.
[0022]
The resulting preparation was applied to the surface (treated surface) of the easily adhesive polyester film at a coating amount of 1100 g / m ² using a knife over roll coater, immediately immersed in 10% DMF water and coagulated to obtain a cell-like shape. A porous layer was formed. Next, the resultant was sufficiently washed with warm water to remove DMF, and dried with a hot-air dryer at 140 ° C. to obtain a wet film laminated sheet.
[0023]
A 2.5 cm wide and 15 cm long Sanmelco BW-2 (manufactured by San Kasei) was tightly adhered to the surface of the formed film with an iron at 120 ° C. so as to prevent air bubbles, cut into a tape width, and peeled at 180 °. Was measured and converted to cm width to determine the peel strength (g / cm). Table 1 shows the results.
[0024]
Next, the skin portion of the wet film of the laminated sheet was removed with a # 240 paper to a thickness of 50 μm using a belt sander to produce a polishing pad.
[0025]
The obtained polishing pad is stuck to the upper and lower platens of a 4B type double-side polishing machine (carrier size 4 inches) using a double-sided tape, the polishing load is 50 g / cm ² , and the relative speed between the object to be polished and the pad is 30 m / min. Using a cerium oxide abrasive as a polishing agent, borosilicate glass 50 mm × 50 mm × 0.7 t was sandwiched between upper and lower pads to perform double-side polishing.
[0026]
By this operation, borosilicate glass polished on both sides was obtained, and the rise time, the flatness of the polished surface, and the presence or absence of scratches were examined. Table 1 shows the results.
[0027]
The rise time was determined as the time until the flatness measured by the following method became 0.5 nm or less.
[0028]
The flatness was measured by an engineering interference type flatness measuring apparatus, and the Ra value (a numerical value for evaluating a slight undulation of a wavelength component of 25 to 250 μm) treated with a 25 to 250 μm pan-pass filter was shown. The measurement was performed only on the A side.
[0029]
The presence or absence of scratches was visually checked using a concentrated light at a setting of 100,000 lux on the polished surface of the workpiece in a dark field.
[0030]
[Comparative Example 1]
A honeycomb-shaped porous layer was formed on the back surface (non-treated surface) of the easily adhesive polyester film used in the example by the same method as in the example, to obtain a wet film laminated sheet. The peel strength of this laminated sheet was measured in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results. The laminate sheet had a low peel strength and was not at a level that could be used as a polishing pad.
[0031]
[Comparative Example 2]
25 parts of urethane resin (Nipporan 2304, manufactured by Nippon Polyurethane), 50 parts of polyvinyl chloride / vinyl acetate resin (Eslec A, manufactured by Sekisui Chemical), 1 part of dispersant (Ratio P, manufactured by Riken Vitamin), magnetic agent (CTX-860, Toda) 500 parts (manufactured by Chemical) (in terms of solid content) were dissolved in a mixed solvent of methyl ethyl ketone / toluene / cyclohexanone, adjusted to 40%, and dispersed with a sand grinder for 2 hours. Next, 25 parts (corresponding to solid content) of coronate L as a crosslinking agent were added, and sufficiently stirred to obtain a magnetic coating material for evaluation.
[0032]
The coating for evaluation was applied to the surface (treated surface) of the easily-adhesive polyester film used in the examples so that the thickness after drying with a wire bar was 4 μm, and the coating was dried at 100 ° C. for 3 minutes. A dry film laminated sheet was obtained. The peel strength of this laminated sheet was measured in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.
[0033]
[Table 1]

[0034]
【The invention's effect】
The wet film laminated sheet of the present invention has excellent adhesion between the polyester film as the base material and the wet film formed thereon, and once peels off the wet film formed on the polyester film as in the prior art. And then affixed to another polyester film with an adhesive. Therefore, the surface smoothness is more excellent than the conventional product, and the manufacturing cost can be reduced.
[0035]
The polishing pad of the present invention obtained by using the polishing pad is of high quality utilizing the excellent surface smoothness of the laminated sheet. According to this polishing pad, the working efficiency in precision polishing and the quality of the object to be polished are improved. Significant improvement is possible.

Claims

On at least one side of a longitudinally stretched polyester film in which 70% by mole or more of the acid component is made of terephthalic acid and / or naphthalenedicarboxylic acid, 99-80% by weight of a polyester resin having a secondary transition point of 20-150 ° C and an average particle size of 0 An easily adhesive aqueous coating solution containing 0.11 to 0.1 μm of fine particles of 1 to 20% by weight is applied in an amount such that the final coating film thickness becomes 0.005 to 0.03 μm, followed by drying and transverse stretching. The polyester film having a coefficient of friction of 0.42 to 0.44 obtained by further re-stretching in the longitudinal direction and, if necessary, re-stretching in the transverse direction and then performing heat setting. A wet film laminated sheet formed by forming a urethane porous layer on a liquid application surface by a wet coagulation method.

A polishing pad obtained by removing all or a part of a skin portion of a urethane porous layer of the wet film laminated sheet according to claim 1.