JP3713610B2 - 薄板用コンテナ - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄板用コンテナに係り、さらに詳しくは、平面表示装置などの部品などとして用いられる薄板を破損することなく良好に保管または搬送することができる薄板用コンテナに関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば液晶表示装置やプラズマ表示装置などの平面表示装置では、その製造過程で、ガラス基板の表面に電極や隔壁などをスクリーン印刷などにより形成し、そのガラス基板を、別の工場で組立あるいは再加工したい場合がある。その場合には、ガラス基板を破損しないように、且つ、基板表面が汚れないように、基板を保管および搬送するためのコンテナが必要となる。
【０００３】
また、このような基板を搬送する際には、空気遮断を行い、クリーンルーム間を直接往復できるようなコンテナ構造が必要となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のコンテナは、平面表示装置に用いるガラス基板などの薄板を、破損しないように、且つ、基板表面が汚れないように、クリーンルーム間を直接搬送することができるものではなかった。
【０００５】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、平面表示装置に用いるガラス基板などの複数の薄板を、破損しないように、且つ、薄板表面が汚れないように、保管あるいは搬送することができる薄板用コンテナを提供することを目的とする。本発明の他の目的は、クリーンルーム間を直接搬送することができる薄板用コンテナを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る薄板用コンテナは、コンテナ内に収容される薄板の下端部が挿入される下端保持溝の底部に配置された下端保持弾性部材と、前記薄板の上端部を長手方向に沿って覆う帯状の上端保持弾性部材とを有する。
【０００７】
前記上端保持弾性部材は、横断面が略Ｕ字形状をしており、長手方向両端部の両側には、長手方向に沿って延びる一対の取付ロッドが装着してあり、各取付ロッドの各端部は、コンテナ内に装着されたアダプタの係合溝内に着脱自在に装着してあることが好ましい。
【０００８】
前記下端保持弾性部材は、複数の下端保持溝が形成された下端保持ブロックの下端保持溝に対して略直角方向に延びるように形成された装着溝の底部に装着してある紐状ゴム材であることが好ましい。この下端保持ブロックは、コンテナの底部に装着されることが好ましい。
【０００９】
コンテナの両側部には、前記薄板の側部がスライド自在に差し込まれるガイド溝が形成された緩衝材が装着してあることが好ましい。
【００１０】
コンテナの内部は、不活性ガスでパージされることが好ましい。不活性ガスは、コンテナ内に保持される各薄板の間に吹き出されることが好ましい。不活性ガスとしては、取り扱い作業性および輸送コストなどを考慮し、窒素ガスが好ましい。
【００１１】
コンテナの内部には、取り外し自在に乾燥剤ボックスが装着してあることが好ましい。コンテナ内部の湿気を取るためである。この乾燥剤ボックスには、コンテナの内部圧力を調整するためのフィルター付き孔が形成してあることが好ましい。このコンテナが飛行機などで輸送されることを考慮するためである。
【００１２】
前記コンテナの外側は、解体および再組立が可能な外箱で覆われていることが好ましい。本発明に係るコンテナは、外箱内に収容された状態で保管および輸送が行われ、準クリーンルームで外箱が解体され、その内部のコンテナのみがクリーンルームへ搬送される構成とすることが好ましい。
【００１３】
【作用】
本発明に係る薄板用コンテナでは、コンテナ内に収容されるガラス基板などの薄板は、各薄板の上端部が上端保持弾性部材で保持され、各薄板の下端部が下端弾性保持部材により保持される。すなわち、複数の薄板は、上下方向に挟み込むように保持される。したがって、コンテナに振動が加わっても、薄板は上下方向に弾性保持してあるので、破損することはない。また、これらの薄板の間は、空間になっているので、薄板の表面が汚染されることはない。特に、薄板の間に窒素ガスなどの不活性ガスを吹き付けるように構成すれば、薄板の表面への埃やゴミの付着を効果的に防止することができる。
【００１４】
また、上端保持弾性部材を、横断面が略Ｕ字形状の帯部材で構成した場合には、薄板の上端縁部が上端保持弾性部材で覆われ、上端部の保持が確実になると共に、上下方向の振動のみ成らず前後左右方向の振動に対しても強い構造となる。
【００１５】
本発明において、コンテナの外側を外箱で覆う構成を採用すれば、コンテナ自体へのゴミや埃の付着をも防止することが可能になり、コンテナをクリーンルーム間で直接受け渡しすることが可能になる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
【００１７】
図１は本発明の１実施形態に係るコンテナの概略斜視図、図２はコンテナ内部の分解斜視図、図３（Ａ）、（Ｂ）は上端保持弾性部材による保持構造を示す概略図、図４（Ａ）は下端保持弾性部材の斜視図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）に示すＢ−Ｂ線に沿う要部断面図、図５は外箱の概略分解斜視図である。
【００１８】
図１に示すように、本実施形態に係る薄板用コンテナ２は、上部に開口部３を持つ矩形状のコンテナ本体４を有する。コンテナ本体４は、アルミニウムなどの金属と合成樹脂との複合材で構成してある。
【００１９】
コンテナ本体４の開口部３には、蓋６が着脱自在に装着される。蓋６はコンテナ本体４と同様な材質で構成してある。コンテナ本体４の対向する側壁の開口部近くには、ワンタッチ式ロック部材８が装着してあり、蓋６の対応位置に形成してある突片１０が着脱自在に係合可能になっている。突片１０がロック部材８に係合することにより、蓋６はコンテナ本体４の開口部に固定され、内部を密閉する。蓋６を開ける場合には、ロック部材８を操作することにより、突片１０との係合を解除し、ワンタッチ式に蓋６を外すことができる。
【００２０】
コンテナ本体４の一側壁（本実施形態では、横幅の狭い側壁）には、内部確認用サイトガラス１２が装着してあり、そこを通してコンテナ内部の確認が可能になっている。このサイトガラス１２は、コンテナ本体４の他の側壁にも装着しても良い。
【００２１】
本実施形態では、コンテナ本体４の幅の狭い両側壁に把手１４が装着してある。この把手１４を把持することにより、コンテナ２の持ち運びが可能となる。
【００２２】
コンテナ本体４の底部には、脚部１６が装着してある。また、コンテナ本体４の幅広側壁の下端部には、ボックス用開口部１８が形成してあり、ここに乾燥剤ボックス２０が着脱自在に装着してある。乾燥剤ボックス２０の内部には、たとえばシリカゲルなどの乾燥剤が収容してあり、コンテナ２の内部の湿気を除去可能になっている。
【００２３】
本実施形態では、この乾燥剤ボックスの前面壁２２に、コンテナ２の内部圧力を調整するためのフィルター付き孔２４が形成してある。このフィルター付き孔２４は、コンテナ２の内部と外部とを連通し、コンテナが飛行機などで輸送される際に、コンテナ２の内部圧力を調整する。この孔２４に装着されるフィルターとしては、たとえば紙製フィルターが用いられる。
【００２４】
本実施形態では、図４に示す下端保持ブロック３０が、図１に示すコンテナ本体４の内底壁部に、内底壁部の長手方向Ｘに沿って所定間隔で配置してある。ブロック３０は、たとえば発泡樹脂で構成してある。ブロック３０の底面には、取付板３１が装着してある。取付板３１は、たとえばステンレスなどの金属板で構成してあり、ボルトやビスなどを用いて、図１に示すコンテナ本体４の内底壁部に取り付けられる。
【００２５】
ブロック３０の上面には、複数の下端保持溝３２がＸ方向に沿って略平行にＹ方向（Ｘ方向と略直角）に所定間隔で形成してある。これらの下端保持溝３２内部に、図４（Ｂ）に示すように、ガラス基板３４の下端部が挿入される。すなわち、下端保持溝３２の形成数が、コンテナ２の内部に装着可能なガラス基板の個数となる。
【００２６】
また、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、ブロック３０の上面には、下端保持溝３２に対して略直角方向Ｙに延びる装着溝３６が、下端保持溝３２の中央部を横切るように形成してある。これら下端保持溝塗装着溝３６の溝深さは、略同一であり、好ましくは１０〜１５mm、さらに好ましくは１２〜１３mmである。下端保持溝３２の溝幅は、保持されるガラス基板３４の厚みの５０〜１１０％程度の幅が好ましく、さらに好ましくは８０〜９５％程度の幅である。この幅が小さすぎると、ガラス基板３４の下端の差込が容易ではなくなる傾向にあり、この幅が大きすぎると、ガラス基板３４の下端における保持が安定しなくなる傾向にある。
【００２７】
装着溝３６の溝幅は、その底部に装着される紐状の下端保持弾性部材３８の外径などに応じて決定され、好ましくは、下端保持溝３２の溝幅と略同一である。紐状の下端保持弾性部材３８は、本実施形態では、シリコーンゴム以外の弾力性を有する部材で構成してあり、たとえばスチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、ニトリルブタジエンゴム（ＮＢＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）などのジエン系ゴム、ブチルゴム（ＩＩＲ）、エチレン−プロピレン−ジエンターポリマーゴム（ＥＰＤＭ）、アクリルゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、多硫化ゴム、またはこれらの発泡体、またはウレタンもしくはナイロンの発泡体などで構成される。図４（Ｂ）に示すように、下端保持溝３２に沿って差し込まれたガラス基板３４の下端は、下端保持弾性部材３８の上に置かれ、その弾性力で保持される。
【００２８】
図１，２に示すように、コンテナ本体４の長手方向Ｘ両端に位置する側壁の内側には、スペーサ４０と緩衝材４２とが配置してある。スペーサ４０は、Ｘ方向幅の異なるガラス基板３４をコンテナ２の内部に収容するときの幅調整用のために用いられ、その材質は特に限定されないが、軽いものがよい。
【００２９】
緩衝材４２は、たとえば図４に示すブロック３０と同様な発泡プラスチックで構成してある。緩衝材４２には、その上下方向に沿って延びるガイド溝４４がＹ方向に所定間隔で略平行に形成してある。ガイド溝４４の配置間隔は、図４に示すブロック３０の下端保持溝３２の配置間隔と略同一である。これらガイド溝４４には、図２に示すように、ガラス基板３４の両側端部がスライド自在に装着される。ただし、ガラス基板３４の保持は、前述した下端保持弾性部材３８と、後述する上端保持弾性部材５０とにより行われ、緩衝材４２のガイド溝４４は、単なるガイドの役割を果たす。このような観点から、ガイド溝４４の溝幅は、図４に示す下端保持溝３２の溝幅よりも、好ましくは５〜４０％、さらに好ましくは１０〜２５％小さめに形成される。
【００３０】
緩衝材４２およびスペーサ４０には、ガイド溝４４の間およびガラス基板の積層方向両側位置に、貫通孔４６が形成してある。これらの貫通孔４６は、図１に示す配管チューブ５５と連通過可能になっている。配管チューブ５５には、弁６２と供給口６４とが装着してあり、供給口６４に窒素ボンベ（図示省略）を接続し、弁６２を調節することで、図２に示す貫通孔４６から窒素ガスが吹き出し、コンテナ２の内部を窒素パージするようになっている。これらの貫通孔４６は、ガイド溝４４の間に形成してあることから、窒素ガスは、コンテナ２の内部に保持されたガラス基板３４間に吹き出すようになっている。
【００３１】
図１，２に示すように、コンテナ本体４の内部において、スペーサ４０の上部（開口部３の近く）には、アダプタ５６が各々コンテナ内壁に取り付けてある。アダプタ５６には、係合溝５８が、Ｙ方向に沿って所定間隔に形成してある。これら係合溝５８は、図３に示すように、コンテナ内部に収容される各ガラス基板３４の両側位置に位置するように形成される。すなわち、図２に示すガイド溝４４と互い違いに形成される。
【００３２】
図２に示すように、各係合溝５８の溝壁部には、図２に示す上端保持弾性部材５０の長手方向両端の両側位置に装着してある取付ロッド５２の端部が係合するようになっている。
【００３３】
上端保持弾性部材５０は、図２及び図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、横断面が断面Ｕ字形状の帯状の弾性部材であり、たとえば図４に示す下端保持弾性部材３８と同様な材質で構成してあるが、好ましくは、スポンジの表面を帯電防止シートで被覆した構成であることが好ましい。帯電防止シートを用いるのは、静電気を防止するためである。
【００３４】
上端保持弾性部材５０の両側に長手方向に沿って保持してある取付ロッド５２は、たとえばステンレスで構成してあり、図２に示すように、弾性部材５０の長手方向両端部から突出するようになっている。これら取付ロッド５２の両端部は、図３（Ａ）に示すように、アダプタ５６の係合溝５８の溝壁部に係合するようになっている。アダプタ５６の上には、図２に示すストッパ部材５９が取り外し自在に装着され、これにより取り付けロッド５２がアダプタ５６の係合溝５８内に固定され、結果として、各上端保持弾性部材５０が、図３（Ａ）に示すように、各ガラス基板３４の上端縁部を覆うように長手方向Ｘに沿って保持することになる。なお、上端保持弾性部材５０は、図３（Ｂ）に示すように断面Ｕ字形状の帯状の弾性部材が連続的に形成されたものでも良く、所定間隔に配置された取り付けロッド５２により、アダプタ５５の係合溝５８に固定されるようにしてもよい。
【００３５】
本実施形態に係るコンテナ２は、図５に示すように、分解および再組立可能な外箱６０の内部に収容された状態で保管および搬送される。なお、コンテナ２の供給口６４には、窒素ガスボンベが接続された状態で、コンテナ２は外箱６０の内部に収容され、コンテナ２の内部は窒素ガスでパージされる。
【００３６】
外箱６０は、たとえば搬送用ローラ６４が装着してある底板６２と、その底板６２の四方に立設する側板６８，７０と、側板６８，７０の上を閉塞する把手７４付き蓋７２とから成る。これらは分解および再組立が可能である。
【００３７】
ガラス基板３４をコンテナ２から取り出す際には、まず、外箱６０を分解して、コンテナ２を取り出す。外箱６０を分解する作業は、準クリーン室内で行われる。外箱６０の内部から取り出したコンテナ２は、次に、クリーンルームへ搬送され、そこで、図１に示す蓋６をコンテナ本体４から外し、次に、図２に示すストッパ５９をアダプタ５６から取り外す。すると、上端保持弾性部材５０の取り外しが自由になり、それをアダプタ５６の係合溝５８から取り外す。そうすれば、各ガラス基板３４は、ガイド溝４４に沿って上方へ引き上げ可能となり、ガラス基板３４を取り出すことができる。
【００３８】
各ガラス基板３４をコンテナ２の内部に収容する場合には、上述した動作の逆を行えばよい。
【００３９】
本実施形態に係る薄板用コンテナ２では、コンテナ２内に収容されるガラス基板３４は、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、各基板３４の上端部が上端保持弾性部材５０で保持され、図４（Ｂ）に示すように、各基板３４の下端部が下端弾性保持部材３８により保持される。すなわち、複数のガラス基板３４は、上下方向に挟み込むように保持される。
【００４０】
したがって、コンテナ２に振動が加わっても、ガラス基板３４は上下方向に弾性保持してあるので、破損することはない。また、これらのガラス基板３４の間は、図２に示すように、空間になっているので、ガラス基板３４の表面が汚染されることはない。特に、図２に示す貫通孔４６を通して、ガラス基板３４の間に窒素ガスを吹き付けるように構成してあるので、ガラス基板３４の表面への埃やゴミの付着を効果的に防止することができる。
【００４１】
また、上端保持弾性部材５０は、横断面が略Ｕ字形状の帯部材で構成してあるので、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ガラス基板３４の上端縁部が上端保持弾性部材５０で覆われ、ガラス基板３４の上端部の保持が確実になると共に、上下方向の振動のみ成らず前後左右方向の振動に対しても強い構造となる。
【００４２】
さらに、本実施形態では、図５に示すように、コンテナ２の外側を外箱６０で覆う構成を採用しているので、コンテナ２自体へのゴミや埃の付着をも防止することが可能になり、コンテナ２をクリーンルーム間で直接受け渡しすることが可能になる。
【００４３】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
【００４４】
たとえば、本発明に係るコンテナに収容される薄板としては、ガラス基板に限らず、その他の電子部品用薄板を収容することもできる。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明に係る薄板用コンテナによれば、平面表示装置に用いるガラス基板などの複数の薄板を、破損せずに、且つ、薄板表面が汚れないように、保管あるいは搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の１実施形態に係るコンテナの概略斜視図である。
【図２】図２はコンテナ内部の分解斜視図である。
【図３】図３（Ａ）、（Ｂ）は上端保持弾性部材による保持構造を示す概略図である。
【図４】図４（Ａ）は下端保持弾性部材の斜視図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）に示すＢ−Ｂ線に沿う要部断面図である。
【図５】図５は外箱の概略分解斜視図である。
【符号の説明】
２… 薄板用コンテナ
４… コンテナ本体
６… 蓋
２０… 乾燥剤ボックス
３０… 下端保持ブロック
３２… 下端保持溝
３４… ガラス基板
３６… 装着溝
３８… 下端保持弾性部材
４０… スペーサ
４２… 緩衝材
４４… ガイド溝
４６… 貫通孔
５０… 上端保持弾性部材
５２… 取付ロッド
５５… 配管チューブ
５６… アダプタ
５８… 係合溝
６０… 外箱
６２… 弁
６４… 供給口
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄板用コンテナに係り、さらに詳しくは、平面表示装置などの部品などとして用いられる薄板を破損することなく良好に保管または搬送することができる薄板用コンテナに関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば液晶表示装置やプラズマ表示装置などの平面表示装置では、その製造過程で、ガラス基板の表面に電極や隔壁などをスクリーン印刷などにより形成し、そのガラス基板を、別の工場で組立あるいは再加工したい場合がある。その場合には、ガラス基板を破損しないように、且つ、基板表面が汚れないように、基板を保管および搬送するためのコンテナが必要となる。
【０００３】
また、このような基板を搬送する際には、空気遮断を行い、クリーンルーム間を直接往復できるようなコンテナ構造が必要となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のコンテナは、平面表示装置に用いるガラス基板などの薄板を、破損しないように、且つ、基板表面が汚れないように、クリーンルーム間を直接搬送することができるものではなかった。
【０００５】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、平面表示装置に用いるガラス基板などの複数の薄板を、破損しないように、且つ、薄板表面が汚れないように、保管あるいは搬送することができる薄板用コンテナを提供することを目的とする。本発明の他の目的は、クリーンルーム間を直接搬送することができる薄板用コンテナを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る薄板用コンテナは、コンテナ内に収容される薄板の下端部が挿入される下端保持溝の底部に配置された下端保持弾性部材と、前記薄板の上端部を長手方向に沿って覆う帯状の上端保持弾性部材とを有する。
【０００７】
前記上端保持弾性部材は、横断面が略Ｕ字形状をしており、長手方向両端部の両側には、長手方向に沿って延びる一対の取付ロッドが装着してあり、各取付ロッドの各端部は、コンテナ内に装着されたアダプタの係合溝内に着脱自在に装着してあることが好ましい。
【０００８】
前記下端保持弾性部材は、複数の下端保持溝が形成された下端保持ブロックの下端保持溝に対して略直角方向に延びるように形成された装着溝の底部に装着してある紐状ゴム材であることが好ましい。この下端保持ブロックは、コンテナの底部に装着されることが好ましい。
【０００９】
コンテナの両側部には、前記薄板の側部がスライド自在に差し込まれるガイド溝が形成された緩衝材が装着してあることが好ましい。
【００１０】
コンテナの内部は、不活性ガスでパージされることが好ましい。不活性ガスは、コンテナ内に保持される各薄板の間に吹き出されることが好ましい。不活性ガスとしては、取り扱い作業性および輸送コストなどを考慮し、窒素ガスが好ましい。
【００１１】
コンテナの内部には、取り外し自在に乾燥剤ボックスが装着してあることが好ましい。コンテナ内部の湿気を取るためである。この乾燥剤ボックスには、コンテナの内部圧力を調整するためのフィルター付き孔が形成してあることが好ましい。このコンテナが飛行機などで輸送されることを考慮するためである。
【００１２】
前記コンテナの外側は、解体および再組立が可能な外箱で覆われていることが好ましい。本発明に係るコンテナは、外箱内に収容された状態で保管および輸送が行われ、準クリーンルームで外箱が解体され、その内部のコンテナのみがクリーンルームへ搬送される構成とすることが好ましい。
【００１３】
【作用】
本発明に係る薄板用コンテナでは、コンテナ内に収容されるガラス基板などの薄板は、各薄板の上端部が上端保持弾性部材で保持され、各薄板の下端部が下端弾性保持部材により保持される。すなわち、複数の薄板は、上下方向に挟み込むように保持される。したがって、コンテナに振動が加わっても、薄板は上下方向に弾性保持してあるので、破損することはない。また、これらの薄板の間は、空間になっているので、薄板の表面が汚染されることはない。特に、薄板の間に窒素ガスなどの不活性ガスを吹き付けるように構成すれば、薄板の表面への埃やゴミの付着を効果的に防止することができる。
【００１４】
また、上端保持弾性部材を、横断面が略Ｕ字形状の帯部材で構成した場合には、薄板の上端縁部が上端保持弾性部材で覆われ、上端部の保持が確実になると共に、上下方向の振動のみ成らず前後左右方向の振動に対しても強い構造となる。
【００１５】
本発明において、コンテナの外側を外箱で覆う構成を採用すれば、コンテナ自体へのゴミや埃の付着をも防止することが可能になり、コンテナをクリーンルーム間で直接受け渡しすることが可能になる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
【００１７】
図１は本発明の１実施形態に係るコンテナの概略斜視図、図２はコンテナ内部の分解斜視図、図３（Ａ）、（Ｂ）は上端保持弾性部材による保持構造を示す概略図、図４（Ａ）は下端保持弾性部材の斜視図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）に示すＢ−Ｂ線に沿う要部断面図、図５は外箱の概略分解斜視図である。
【００１８】
図１に示すように、本実施形態に係る薄板用コンテナ２は、上部に開口部３を持つ矩形状のコンテナ本体４を有する。コンテナ本体４は、アルミニウムなどの金属と合成樹脂との複合材で構成してある。
【００１９】
コンテナ本体４の開口部３には、蓋６が着脱自在に装着される。蓋６はコンテナ本体４と同様な材質で構成してある。コンテナ本体４の対向する側壁の開口部近くには、ワンタッチ式ロック部材８が装着してあり、蓋６の対応位置に形成してある突片１０が着脱自在に係合可能になっている。突片１０がロック部材８に係合することにより、蓋６はコンテナ本体４の開口部に固定され、内部を密閉する。蓋６を開ける場合には、ロック部材８を操作することにより、突片１０との係合を解除し、ワンタッチ式に蓋６を外すことができる。
【００２０】
コンテナ本体４の一側壁（本実施形態では、横幅の狭い側壁）には、内部確認用サイトガラス１２が装着してあり、そこを通してコンテナ内部の確認が可能になっている。このサイトガラス１２は、コンテナ本体４の他の側壁にも装着しても良い。
【００２１】
本実施形態では、コンテナ本体４の幅の狭い両側壁に把手１４が装着してある。この把手１４を把持することにより、コンテナ２の持ち運びが可能となる。
【００２２】
コンテナ本体４の底部には、脚部１６が装着してある。また、コンテナ本体４の幅広側壁の下端部には、ボックス用開口部１８が形成してあり、ここに乾燥剤ボックス２０が着脱自在に装着してある。乾燥剤ボックス２０の内部には、たとえばシリカゲルなどの乾燥剤が収容してあり、コンテナ２の内部の湿気を除去可能になっている。
【００２３】
本実施形態では、この乾燥剤ボックスの前面壁２２に、コンテナ２の内部圧力を調整するためのフィルター付き孔２４が形成してある。このフィルター付き孔２４は、コンテナ２の内部と外部とを連通し、コンテナが飛行機などで輸送される際に、コンテナ２の内部圧力を調整する。この孔２４に装着されるフィルターとしては、たとえば紙製フィルターが用いられる。
【００２４】
本実施形態では、図４に示す下端保持ブロック３０が、図１に示すコンテナ本体４の内底壁部に、内底壁部の長手方向Ｘに沿って所定間隔で配置してある。ブロック３０は、たとえば発泡樹脂で構成してある。ブロック３０の底面には、取付板３１が装着してある。取付板３１は、たとえばステンレスなどの金属板で構成してあり、ボルトやビスなどを用いて、図１に示すコンテナ本体４の内底壁部に取り付けられる。
【００２５】
ブロック３０の上面には、複数の下端保持溝３２がＸ方向に沿って略平行にＹ方向（Ｘ方向と略直角）に所定間隔で形成してある。これらの下端保持溝３２内部に、図４（Ｂ）に示すように、ガラス基板３４の下端部が挿入される。すなわち、下端保持溝３２の形成数が、コンテナ２の内部に装着可能なガラス基板の個数となる。
【００２６】
また、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、ブロック３０の上面には、下端保持溝３２に対して略直角方向Ｙに延びる装着溝３６が、下端保持溝３２の中央部を横切るように形成してある。これら下端保持溝塗装着溝３６の溝深さは、略同一であり、好ましくは１０〜１５mm、さらに好ましくは１２〜１３mmである。下端保持溝３２の溝幅は、保持されるガラス基板３４の厚みの５０〜１１０％程度の幅が好ましく、さらに好ましくは８０〜９５％程度の幅である。この幅が小さすぎると、ガラス基板３４の下端の差込が容易ではなくなる傾向にあり、この幅が大きすぎると、ガラス基板３４の下端における保持が安定しなくなる傾向にある。
【００２７】
装着溝３６の溝幅は、その底部に装着される紐状の下端保持弾性部材３８の外径などに応じて決定され、好ましくは、下端保持溝３２の溝幅と略同一である。紐状の下端保持弾性部材３８は、本実施形態では、シリコーンゴム以外の弾力性を有する部材で構成してあり、たとえばスチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、ニトリルブタジエンゴム（ＮＢＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）などのジエン系ゴム、ブチルゴム（ＩＩＲ）、エチレン−プロピレン−ジエンターポリマーゴム（ＥＰＤＭ）、アクリルゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、多硫化ゴム、またはこれらの発泡体、またはウレタンもしくはナイロンの発泡体などで構成される。図４（Ｂ）に示すように、下端保持溝３２に沿って差し込まれたガラス基板３４の下端は、下端保持弾性部材３８の上に置かれ、その弾性力で保持される。
【００２８】
図１，２に示すように、コンテナ本体４の長手方向Ｘ両端に位置する側壁の内側には、スペーサ４０と緩衝材４２とが配置してある。スペーサ４０は、Ｘ方向幅の異なるガラス基板３４をコンテナ２の内部に収容するときの幅調整用のために用いられ、その材質は特に限定されないが、軽いものがよい。
【００２９】
緩衝材４２は、たとえば図４に示すブロック３０と同様な発泡プラスチックで構成してある。緩衝材４２には、その上下方向に沿って延びるガイド溝４４がＹ方向に所定間隔で略平行に形成してある。ガイド溝４４の配置間隔は、図４に示すブロック３０の下端保持溝３２の配置間隔と略同一である。これらガイド溝４４には、図２に示すように、ガラス基板３４の両側端部がスライド自在に装着される。ただし、ガラス基板３４の保持は、前述した下端保持弾性部材３８と、後述する上端保持弾性部材５０とにより行われ、緩衝材４２のガイド溝４４は、単なるガイドの役割を果たす。このような観点から、ガイド溝４４の溝幅は、図４に示す下端保持溝３２の溝幅よりも、好ましくは５〜４０％、さらに好ましくは１０〜２５％小さめに形成される。
【００３０】
緩衝材４２およびスペーサ４０には、ガイド溝４４の間およびガラス基板の積層方向両側位置に、貫通孔４６が形成してある。これらの貫通孔４６は、図１に示す配管チューブ５５と連通過可能になっている。配管チューブ５５には、弁６２と供給口６４とが装着してあり、供給口６４に窒素ボンベ（図示省略）を接続し、弁６２を調節することで、図２に示す貫通孔４６から窒素ガスが吹き出し、コンテナ２の内部を窒素パージするようになっている。これらの貫通孔４６は、ガイド溝４４の間に形成してあることから、窒素ガスは、コンテナ２の内部に保持されたガラス基板３４間に吹き出すようになっている。
【００３１】
図１，２に示すように、コンテナ本体４の内部において、スペーサ４０の上部（開口部３の近く）には、アダプタ５６が各々コンテナ内壁に取り付けてある。アダプタ５６には、係合溝５８が、Ｙ方向に沿って所定間隔に形成してある。これら係合溝５８は、図３に示すように、コンテナ内部に収容される各ガラス基板３４の両側位置に位置するように形成される。すなわち、図２に示すガイド溝４４と互い違いに形成される。
【００３２】
図２に示すように、各係合溝５８の溝壁部には、図２に示す上端保持弾性部材５０の長手方向両端の両側位置に装着してある取付ロッド５２の端部が係合するようになっている。
【００３３】
上端保持弾性部材５０は、図２及び図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、横断面が断面Ｕ字形状の帯状の弾性部材であり、たとえば図４に示す下端保持弾性部材３８と同様な材質で構成してあるが、好ましくは、スポンジの表面を帯電防止シートで被覆した構成であることが好ましい。帯電防止シートを用いるのは、静電気を防止するためである。
【００３４】
上端保持弾性部材５０の両側に長手方向に沿って保持してある取付ロッド５２は、たとえばステンレスで構成してあり、図２に示すように、弾性部材５０の長手方向両端部から突出するようになっている。これら取付ロッド５２の両端部は、図３（Ａ）に示すように、アダプタ５６の係合溝５８の溝壁部に係合するようになっている。アダプタ５６の上には、図２に示すストッパ部材５９が取り外し自在に装着され、これにより取り付けロッド５２がアダプタ５６の係合溝５８内に固定され、結果として、各上端保持弾性部材５０が、図３（Ａ）に示すように、各ガラス基板３４の上端縁部を覆うように長手方向Ｘに沿って保持することになる。なお、上端保持弾性部材５０は、図３（Ｂ）に示すように断面Ｕ字形状の帯状の弾性部材が連続的に形成されたものでも良く、所定間隔に配置された取り付けロッド５２により、アダプタ５５の係合溝５８に固定されるようにしてもよい。
【００３５】
本実施形態に係るコンテナ２は、図５に示すように、分解および再組立可能な外箱６０の内部に収容された状態で保管および搬送される。なお、コンテナ２の供給口６４には、窒素ガスボンベが接続された状態で、コンテナ２は外箱６０の内部に収容され、コンテナ２の内部は窒素ガスでパージされる。
【００３６】
外箱６０は、たとえば搬送用ローラ６４が装着してある底板６２と、その底板６２の四方に立設する側板６８，７０と、側板６８，７０の上を閉塞する把手７４付き蓋７２とから成る。これらは分解および再組立が可能である。
【００３７】
ガラス基板３４をコンテナ２から取り出す際には、まず、外箱６０を分解して、コンテナ２を取り出す。外箱６０を分解する作業は、準クリーン室内で行われる。外箱６０の内部から取り出したコンテナ２は、次に、クリーンルームへ搬送され、そこで、図１に示す蓋６をコンテナ本体４から外し、次に、図２に示すストッパ５９をアダプタ５６から取り外す。すると、上端保持弾性部材５０の取り外しが自由になり、それをアダプタ５６の係合溝５８から取り外す。そうすれば、各ガラス基板３４は、ガイド溝４４に沿って上方へ引き上げ可能となり、ガラス基板３４を取り出すことができる。
【００３８】
各ガラス基板３４をコンテナ２の内部に収容する場合には、上述した動作の逆を行えばよい。
【００３９】
本実施形態に係る薄板用コンテナ２では、コンテナ２内に収容されるガラス基板３４は、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、各基板３４の上端部が上端保持弾性部材５０で保持され、図４（Ｂ）に示すように、各基板３４の下端部が下端弾性保持部材３８により保持される。すなわち、複数のガラス基板３４は、上下方向に挟み込むように保持される。
【００４０】
したがって、コンテナ２に振動が加わっても、ガラス基板３４は上下方向に弾性保持してあるので、破損することはない。また、これらのガラス基板３４の間は、図２に示すように、空間になっているので、ガラス基板３４の表面が汚染されることはない。特に、図２に示す貫通孔４６を通して、ガラス基板３４の間に窒素ガスを吹き付けるように構成してあるので、ガラス基板３４の表面への埃やゴミの付着を効果的に防止することができる。
【００４１】
また、上端保持弾性部材５０は、横断面が略Ｕ字形状の帯部材で構成してあるので、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ガラス基板３４の上端縁部が上端保持弾性部材５０で覆われ、ガラス基板３４の上端部の保持が確実になると共に、上下方向の振動のみ成らず前後左右方向の振動に対しても強い構造となる。
【００４２】
さらに、本実施形態では、図５に示すように、コンテナ２の外側を外箱６０で覆う構成を採用しているので、コンテナ２自体へのゴミや埃の付着をも防止することが可能になり、コンテナ２をクリーンルーム間で直接受け渡しすることが可能になる。
【００４３】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
【００４４】
たとえば、本発明に係るコンテナに収容される薄板としては、ガラス基板に限らず、その他の電子部品用薄板を収容することもできる。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明に係る薄板用コンテナによれば、平面表示装置に用いるガラス基板などの複数の薄板を、破損せずに、且つ、薄板表面が汚れないように、保管あるいは搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の１実施形態に係るコンテナの概略斜視図である。
【図２】図２はコンテナ内部の分解斜視図である。
【図３】図３（Ａ）、（Ｂ）は上端保持弾性部材による保持構造を示す概略図である。
【図４】図４（Ａ）は下端保持弾性部材の斜視図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）に示すＢ−Ｂ線に沿う要部断面図である。
【図５】図５は外箱の概略分解斜視図である。
【符号の説明】
２… 薄板用コンテナ
４… コンテナ本体
６… 蓋
２０… 乾燥剤ボックス
３０… 下端保持ブロック
３２… 下端保持溝
３４… ガラス基板
３６… 装着溝
３８… 下端保持弾性部材
４０… スペーサ
４２… 緩衝材
４４… ガイド溝
４６… 貫通孔
５０… 上端保持弾性部材
５２… 取付ロッド
５５… 配管チューブ
５６… アダプタ
５８… 係合溝
６０… 外箱
６２… 弁
６４… 供給口
Claims (3)
- コンテナ内に収容される薄板の下端部が挿入される下端保持溝の底部に配置された下端保持弾性部材と、
前記薄板の上端部を長手方向に沿って覆う帯状の上端保持弾性部材とを有し、
前記上端保持弾性部材は、横断面が略Ｕ字形状をしており、長手方向両端部の両側には、長手方向に沿って延びる一対の取付ロッドが装着してあることを特徴とする薄板用コンテナ。 - 前記各取付ロッドの各端部は、コンテナ内に装着されたアダプタの係合溝内に着脱自在に装着してある請求項１に記載の薄板用コンテナ。
- コンテナの内部が、不活性ガスでパージされる請求項１または２に記載の薄板用コンテナ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02439697A JP3713610B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 薄板用コンテナ |
| SG1998000121A SG65727A1 (en) | 1997-01-23 | 1998-01-16 | Container for flat panel |
| US09/010,514 US5950817A (en) | 1997-01-23 | 1998-01-21 | Container for flat panel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02439697A JP3713610B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 薄板用コンテナ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10211938A JPH10211938A (ja) | 1998-08-11 |
| JP3713610B2 true JP3713610B2 (ja) | 2005-11-09 |
Family
ID=12137010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02439697A Expired - Fee Related JP3713610B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 薄板用コンテナ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5950817A (ja) |
| JP (1) | JP3713610B2 (ja) |
| SG (1) | SG65727A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6249990B1 (en) * | 1999-03-23 | 2001-06-26 | Alliedsignal, Inc. | Method and apparatus for transporting articles |
| US6598823B1 (en) * | 1999-10-29 | 2003-07-29 | Takata Corporation | Seat belt retractor |
| US7282889B2 (en) * | 2001-04-19 | 2007-10-16 | Onwafer Technologies, Inc. | Maintenance unit for a sensor apparatus |
| KR100480821B1 (ko) * | 2002-05-17 | 2005-04-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 정전기 방지용 패널 수납장치 |
| US7309460B2 (en) * | 2004-11-24 | 2007-12-18 | Entegris, Inc. | Photomask container |
| US7648035B2 (en) * | 2005-03-22 | 2010-01-19 | Guardian Industries Corp. | Storage rack for glass sheets |
| TWI321542B (en) | 2006-12-20 | 2010-03-11 | Au Optronics Corp | Cushion structure |
| CN103264845B (zh) * | 2013-04-08 | 2015-02-25 | 友达光电股份有限公司 | 包装纸箱 |
| CN103395569B (zh) * | 2013-08-06 | 2015-08-19 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶面板包装装置 |
| US20150047297A1 (en) * | 2013-08-13 | 2015-02-19 | Decor Grates Incorporated | Method and devices relating to product packaging and display |
| US11351092B2 (en) | 2018-12-17 | 2022-06-07 | John C. Sands | System and method for mixing and delivering a solution |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4815601A (en) * | 1987-09-29 | 1989-03-28 | Fluoroware, Inc. | Carrier for flat panel displays |
| US4930634A (en) * | 1987-09-29 | 1990-06-05 | Fluoroware, Inc. | Carrier for flat panel displays |
| US5025924A (en) * | 1988-11-16 | 1991-06-25 | Toppan Printing Co., Ltd. | Container |
| US5330053A (en) * | 1991-02-07 | 1994-07-19 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Case for photomask |
| JP3068986B2 (ja) * | 1993-08-04 | 2000-07-24 | 中央紙器工業株式会社 | 液晶パネル等用の梱包具 |
| US5423422A (en) * | 1994-03-14 | 1995-06-13 | Empak, Inc. | Flat panel display container |
-
1997
- 1997-01-23 JP JP02439697A patent/JP3713610B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-01-16 SG SG1998000121A patent/SG65727A1/en unknown
- 1998-01-21 US US09/010,514 patent/US5950817A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SG65727A1 (en) | 1999-06-22 |
| US5950817A (en) | 1999-09-14 |
| JPH10211938A (ja) | 1998-08-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041005 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041019 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041208 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050726 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050810 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |