JP3704585B2 - マルチ細線ワイヤソー装置 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、精密電子部品材料等に複数の細幅の溝を同時に入れる溝入れ加工、あるいは切断代の少ない切断を行う切断加工などを施工するのに好適な、マルチ細線ワイヤソー装置に関し、特に1本の細線ワイヤソーを、左右一対のピッチ決めローラの間で、所定のピッチで、ピッチ決めローラの軸線方向に複数回往復捲回して形成された複数列の細線ワイヤソーが、ワークに対向するように配設してワークに対し複数の前記加工を同時に行えるようにしたマルチ細線ワイヤソー装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、シリコン等の硬脆性材料のインゴットからウェハーを切り出す装置の一つとして、細線ワイヤソー装置が知られている。
【0003】
この細線ワイヤソー装置の原理を図7により概説すると、符号05は回転テ−ブル式のワーク固定台を示しており、ワーク固定台05の周面に複数個のワーク(インゴット)01が治具(図示せず)で固定されている。ワーク固定台05の中心軸05aにはワーク固定台用モータ(図示せず;以下単に「モータ」と呼ぶときは、このモータのことである。)が取り付けられていて、正逆方向に高速回転できるようになっている。
【0004】
符号04は細い鋼製の細線ワイヤソーを示している。この細線ワイヤソー04は供給ボビン06に巻き取られていて、供給ボビン06から繰り出された細線ワイヤソー04は、張力調整装置07を経てから、ガイドローラ08,09,010,011の順に案内され巻取りボビン012に到る。運転時、巻き取りボビン012に取り付けられているステッピングモータあるいは低速モータ(図示せず、以下「細線ワイヤソー移送モータ」と呼ぶ)により、細線ワイヤソー04は矢印B方向へ移動する。
【0005】
細線ワイヤソー04は、加工作業中、矢印B方向に少しずつ低速移動するものである。一方、ワーク固定台05は高速度で回転するので、ワーク固定台05上のワーク01に細線ワイヤソー04が高速度で当接し、これによりワーク01の切断が行われる。
【0006】
加工のための押圧力は、張力調整装置07によって細線ワイヤソー04に加えられる引張り力と供給ボビン06を制動回転するトルクモータと、ガイドローラ09,010にそれぞれ設けられている送りロッド013の矢印C方向へのガイドローラ09、010の移動とで調節される。図6は図7の装置により切断されたワーク01の切断部の断面図を示している。ガイドローラ09,010のワーク01に対する押圧力を調節することにより、一方端Xおよび他方端Yよりも中央部Zの突出した円弧曲線状となるように設定することができる。細線ワイヤソー2を切断部においてこのような円弧曲線状に設定することにより、細線ワイヤソー2が蛇行するのを減少でき、その結果、細線ワイヤソー2の切断事故を抑制することが可能となる。
【0007】
マルチ細線ワイヤソー装置は、前記の細線ワイヤソー04を、ワーク固定台05の中心軸(回転軸)05aにワークに対して、平行に、所定のピッチのもとに複数列配設したもので、その一例として、特開平11−207587号公報がある。図5は当該公報に記載の装置の概要を示している。図5に示すマルチ細線ワイヤソー装置は、ガイドローラ09A、010Aに複数の細線ワイヤソー04の案内用の溝が形成されており、細線ワイヤソー04は、供給ボビン06側から右側のガイドローラ09に入り、右側のガイドローラ09と左側のガイドローラ010との間の下側でワーク01に当接しワーク切断加工を行い、左側のガイドロ−ラ010を出たところで上側に移動し上側で右側のガイドローラ09の次の溝に移行して下側に回り、下側で前回の加工の隣の箇所を加工する。この切断加工を順次繰返えして、1本の細線ワイヤソーでワークに同時に複数の加工を施工できるようになっている。このガイドローラ09A、010Aに形成された複数の細線ワイヤソー04の案内用の溝は、所定のピッチものもとに形成されていて、細線ワイヤソー04の位置(ピッチ)を決めるものである。つまりガイドローラ09A、010Aは、この後に述べる「ピッチ決めローラ」に相当する。
【0008】
なお図5において、図7のものと同じ部材には同一符号を付して説明を省略し、また、図5において、符号014はワーク固定台05を高速度で矢印A方向に回転するモータを、021はテーブルを、051は支持部材を、052はワーク固定テーブルを示している。
【0009】
このほか、マルチ細線ワイヤソー装置として、図8、図9に示す特開昭59−42259号公報の装置も公知である。なお、図8、図9中、図5のものと同じ部材には同一符号が付してあり、図8、図9中符号017は軸受けフレーム、022は第5ローラ、023はワーク01固定用治具を示している。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、細線ワイヤソー装置では、加工精度を向上しながら細線ワイヤソーの断線を防止を図るためには、細線ワイヤソーの張力をある値に維持しなければならない。
【0011】
従来は、細線ワイヤソーの張力の調節を、図5に示すように、張力調整装置07によって細線ワイヤソー04に加えられる引張り力と供給ボビン06を制動回転するトルクモータと、ガイドローラ09,010にそれぞれ設けられている送りロッド013の矢印C方向へのガイドローラ09,010の移動とにより行う構成となっている。
【0012】
ところで、このような張力調節方式では、全細線ワイヤソーの平均的な張力調節を行うことができるものの、マルチ細線ワイヤソー装置の場合、ワークに当接して現に切削加工状態にある各細線ワイヤソーのそれぞれについて、張力の調節を個別に行うことができないという課題がある。本発明は、マルチ細線ワイヤソー装置におけるこのような課題を解決するものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明は、外周面にワークが固定され枠体に回転可能に支持された回転テーブル式のワーク固定台と、該ワーク固定台の回転軸と平行に配設された左右一対の軸と、該各軸に支持された左右一対のピッチ決めローラと、1本の細線ワイヤソーとを備え、該1本の細線ワイヤソーが、前記左右一対のピッチ決めロ−ラの間で、所定のピッチで、前記ピッチ決めローラの軸線方向に複数回往復捲回されて複数列の細線ワイヤソーが前記ワ−クに対向するように配設されたマルチ細線ワイヤソー装置であって、前記左右一対のピッチ決めローラの内の少なくとも1つのピッチ決めローラが、前記複数列の細線ワイヤソーの数と同じ数の複数枚のプーリを前記ピッチ決めローラの軸線方向に、前記ピッチのもとに並設し、かつ前記軸に回転可能に支持することにより構成され、前記各プーリに、前記細線ワイヤソーの案内用の溝が形成されているマルチ細線ワイヤソー装置において、前記各プーリは、隣接するプーリに対して摩擦係合するように構成されており、前記軸に対して別個のベアリングを介して支持されていることを特徴とする。
【0014】
また、前記マルチ細線ワイヤソー装置において、前記複数枚のプーリは、外側に位置する外側プーリと該外側プーリに挟まれて位置する内側プーリとから構成され、前記外側プーリには外周より若干内周側の側面に凹部が形成され、前記内側プーリには前記凹部と摩擦係合する凸部が形成されていることを特徴とする。
【0015】
更に、前記のマルチ細線ワイヤソー装置において、前記細線ワイヤソーの案内用の溝がV字型の溝であることを特徴とする。
【0017】
前記の本発明では、加工中、ワークに細線ワイヤソーが複数列で当接しているが、複数列の細線ワイヤソーの内の1本の細線ワイヤソーにかかる負荷が、他の細線ワイヤソーにかかる負荷と異なる事態が発生し、細線ワイヤソー間に張力の不均等な事態が発生すると、張力が不均等となった細線ワイヤソーを支持しているプーリが、当該プーリに作用する張力とこのプーリの隣りのプーリに作用する張力との差(の力)により、隣接するプーリに対して相対回転し、細線ワイヤソーに作用する張力の均等化が自動的に行われる。
【0018】
プーリはいずれも軸に対してベアリングにより回転可能に支持されているので、上記の相対回転はスム−ズに行われる。また、各プーリは、隣接するプーリ−に対して摩擦係合状態にあるので、細線ワイヤソーにおける張力不均等〔張力の差(力)〕が、各プーリ間の摩擦係合力よりも大きくないと、上記の相対回転は発生しない。その結果、微小な張力不均等が発生する度毎にプーリ間に相対回転が発生するのを抑制でき、プーリの摩擦係合部の磨耗を抑制することが可能となる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、図面により本発明の実施の形態について説明する。
図1はマルチ細線ワイヤソー装置の概略を示す側面図、図2は図1のA矢部の拡大図、図3は同上面図、図4はそのピッチ決めローラの側面図である。
【0020】
この実施形態のマルチ細線ワイヤソー装置も、図7で説明した原理に基ずいており、装置の概要は、図5に示した装置とほぼ同じ構成となっている。
即ち、このマルチ細線ワイヤソー装置は、高速回転可能なワーク固定台(ロータリテーブル)1と細線ワイヤソー2とを備え、細線ワイヤソー2の走行機構として、供給ボビン3、巻取りボビン4、方向転換ローラ5a,5b,5c、張力調整動滑車6及び左右一対のピッチ決めローラ10a,10b(これらのローラ10a,10bは同一構造であるので、以下の説明においては、ピッチ決めローラ10a,10bを「ピッチ決めローラ10」ということがある)が設けられている。なお、ピッチ決めローラ10は、図5に示した従来の装置におけるガイドローラ09A、010Aに相当する。
【0021】
この例では、同一構造の2基のピッチ決めローラ10が軸11に支持されている。各ピッチ決めローラ10は、軸11にそれぞれの3枚のプーリ12,13,14を軸11方向に並設して構成されており、各プーリ12,13,14は、それらの中心部に取り付けられたベアリング15により、軸11に、各別に、回転可能に支持されるようになっている。
【0022】
プーリ12,13,14には、それぞれV字型の溝12a,13a,14aが設けられていて、これらの溝12a,13a,14aに、後に述べるように、細線ワイヤソー2が捲回される。
【0023】
プーリ12と14とは同じ断面形状に形成されている。即ちプーリ12,14の各両側面に凹溝16が形成されている。一方、プーリ12と14との間に介挿されるプーリ13の両側面には、凹溝16に嵌入し、かつ凹溝16と摩擦係合する凸部17が突設されている。
【0024】
細線ワイヤソー2は、供給ボビン3側から右側のピッチ決めローラ10aに、プーリ12の溝12aへその外側から入り、右側のピッチ決めローラガイドローラ10aと左側のピッチ決めローラ10bとの間の下側でワーク20に当接しワーク切断加工を行い、左側のピッチ決めローラ10bのプーリ12の溝12aに到る。そして、左側のピッチ決めローラ10bのプーリ12の外側を半周して上側に回り、そこから右側のピッチ決めローラ10aのプーリ13に形成された次の溝13aに、上側で移行する。細線ワイヤソー2の下側での移行方向は、ワーク1の切断面に沿うが、細線ワイヤソー2の上側での移行方向は、ワーク1の切断面に対してやや斜めとなる。
【0025】
プーリ13では、その外側を半周して下側に回り、下側で前回の加工の隣の箇所を加工して、左側のピッチ決めローラ10bのプーリ13の溝13aに到る。この切断加工を繰返して、最終的には左側のピッチ決めローラ10bのプーリ14の溝14aに案内されて方向転換ローラ5bに至る。図1〜3における矢は、細線ワイヤソー2の移動方向を示している。
【0026】
このように、このマルチ細線ワイヤソー装置では、ピッチ決めローラ10が細線ワイヤソー2の位置(ピッチ)を決める機能を有しており、ワーク20はピッチ決めローラ10により決定されたピッチで切断される各プーリの間に、スペーサを挿入しそのスペーサの厚みを変えることにより、細線ワイヤソー2のピッチを簡単に変更することができる。
この実施形態のものでは、同じ構造のマルチ細線ワイヤソー機構が2基並設されているので、2本の細線ワイヤソー2の使用で、ワーク20に、同時に6ヵ所の切断加工を施工できることになる。
【0027】
上述のように、1本の細線ワイヤソー2により3ヵ所の切断加工が同時に行わる。つまり、加工中は、ワーク20には細線ワイヤソー2が3列で当接しているが、3列の細線ワイヤソー2の内の1本の細線ワイヤソーにかかる負荷が、他の2本の細線ワイヤソーにかかる負荷と異なる事態が発生すると、ワーク20に当接する3列の細線ワイヤソー2の張力が不均等となる。
このような事態が発生すると、張力が不均等となった細線ワイヤソー2を支持しているプーリ(プーリ12〜14の内のいずれかのプーリ、説明の都合上このプーリを「プーリP」という)が、プーリPに作用する張力とこのプーリPに隣接するプーリに作用する張力の差(の力)により、隣接するプーリに対して相対回転する。
【0028】
プーリ12〜14はいずれも軸11に対してベアリング15により回転可能に支持されているので、上記の相対回転はスムーズに行われる。そして、負荷(張力)が不均等となった細線ワイヤソー2を支持しているプーリPが、他のプーリに対して相対回転することにより、ワーク20に当接する3列の細線ワイヤソー2に作用する張力が均等になる。
【0029】
プーリ12,13,14は、互いに凹部16と凸部17との嵌合による摩擦係合状態にある。してがって、上記の、3列の細線ワイヤソー2における張力不均等がさほど大きいものでない時には、つまり上記の張力の差(力)が各プーリ間の摩擦係合力よりも大きくないと、上記の相対回転は発生しない。その結果、微小な張力不均等が発生する度毎にプーリ間に相対回転が発生するのを抑制でき、凹部16と凸部17との嵌合による摩擦係合部の磨耗を抑制することが可能となる。
なお、上記の説明は、ピッチ決めローラ10a,10bの両方をプーリ間に相対回転を発生可能な構成としているが、ピッチ決めローラ10a,10bの中のいずれか一方のみを、プーリ間に相対回転を発生可能な構成としてもよい。
【0030】
なお、この実施形態の装置においても、ワーク固定台1は円形盤状に形成されており、その外周面上に、多数のワーク固定パレット21が、取付け治具(図示せず)により固定されており、ワーク1はワーク固定パレット21に固定されている。
【0031】
回転テーブル式のワーク固定台1は、図1に示すように、装置のほぼ中心部に配置されており、その右側に、供給ボビン3が供給用トルクモータ(図示せず)により回転可能に装置枠体に取り付けられている。供給ボビン3には細線ワイヤソー2が巻き取られており、供給ボビン3の細線ワイヤソー2は、方向転換ローラ5a、張力調整動滑車6、方向転換ローラ5cに案内されて、ピッチ決めローラ10aに取り入れられるようになっている。
【0032】
ピッチ決めローラ5bから取り出された細線ワイヤソー2は、方向転換ローラ5bをへて、巻き取りボビン(回収ボビン)4に回収される。
【0033】
そして、ピッチ決めローラ10aと10bとの間で、3列の細線ワイヤソー2は、ワーク固定台1(の側面上のワーク20)に同時に押しつけられるようになっている。従って、ワーク固定台1が回転するとき、ワーク固定台1の側面上の複数のワーク20に、3列の細線ワイヤソー2が同時に圧接し、これにより、切断加工が施されることになる。
【0034】
各プーリ12,13,14には、それぞれV字型の細線ワイヤソー案内溝12a,13b,14cが形成れていて、細線ワイヤソー2はそれぞれの案内溝で案内されるようになっている。したがって、案内溝12a,13b,14c間の間隔(ピッチ)を変更するとき、ワーク切断ピッチ〔加工幅(切断幅)〕を変更することができる。
【0035】
また、供給ボビン3の巻取軸に取り付けられたトルクモータは、細線ワイヤソー2の張力検出センサ(図示せず)で検出された細線ワイヤソー2の張力変動に応じて、細線ワイヤソー2の送り出し量を調節するように作動する。
【0036】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、以下のような効果が得られる。
(1)加工中、ワークに細線ワイヤソーが複数列で当接しているが、複数列の細線ワイヤソーの内の1本の細線ワイヤソーにかかる負荷が、他の細線ワイヤソーにかかる負荷と異なる事態が発生し、細線ワイヤソー間に張力の不均等な事態が発生すると、張力が不均等となった細線ワイヤソーを支持しているプーリが、当該プーリに作用する張力とこのプーリに隣接するプーリに作用する張力の差(の力)により、隣接するプーリに対して相対回転し、細線ワイヤソーに作用する張力の均等化が自動的に行われる。
(2)ピッチ決めローラを構成するプーリは、いずれも軸に対してベアリングにより回転可能に支持されているので、上記の相対回転はスムーズに行われる。
(3)また、各プーリは、隣接するプーリに対して摩擦係合状態にあるので、細線ワイヤソーにおける張力不均等〔張力の差(力)〕が、各プーリ間の摩擦係合力よりも大きくないと、上記の相対回転は発生しない。その結果、微小な張力不均等が発生する度毎にプーリ間に相対回転が発生するのを抑制でき、プーリの摩擦係合部の磨耗を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施の形態に係るマルチ細線ワイヤソー装置の概略を示す側面図である。
【図2】図1のA矢部の拡大図である。
【図3】同上面図である。
【図4】図1の実施の形態に係るマルチ細線ワイヤソー装置のピッチ決めローラの側面図である。
【図5】従来のマルチ細線ワイヤソー装置の斜視図である。
【図6】細線ワイヤソー装置によるワーク切断部の断面図である。
【図7】細線ワイヤソー装置の原理を示す概略図である。
【図8】従来の他の細線ワイヤソー装置の正面図である。
【図9】図8の細線ワイヤソー装置のワーク固定台の斜視図である。
【符号の説明】
1:ワーク固定台
2:細線ワイヤソー
3:供給ボビン
4:巻き取りボビン
5a,5b,5c:方向転換ローラ
10a,10b:ピッチ決めローラ
11:軸
12,13,14:プーリ
12a,13a,14a:V字型の細線ワイヤソー案内溝
15:ベアリング
16:凹部
17:凸部
18:スペーサ
19:ローラベアリング
20:ワーク
21:ワーク固定パレット
Claims (3)
- 外周面にワークが固定され枠体に回転可能に支持された回転テーブル式のワーク固定台と、該ワーク固定台の回転軸と平行に配設された左右一対の軸と、該各軸に支持された左右一対のピッチ決めローラと、1本の細線ワイヤソーとを備え、該1本の細線ワイヤソーが、前記左右一対のピッチ決めロ−ラの間で、所定のピッチで、前記ピッチ決めローラの軸線方向に複数回往復捲回されて複数列の細線ワイヤソーが前記ワ−クに対向するように配設されたマルチ細線ワイヤソー装置であって、前記左右一対のピッチ決めローラの内の少なくとも1つのピッチ決めローラが、前記複数列の細線ワイヤソーの数と同じ数の複数枚のプーリを前記ピッチ決めローラの軸線方向に、前記ピッチのもとに並設し、かつ前記軸に回転可能に支持することにより構成され、前記各プーリに、前記細線ワイヤソーの案内用の溝が形成されているマルチ細線ワイヤソー装置において、前記各プーリは、隣接するプーリに対して摩擦係合するように構成されており、前記軸に対して別個のベアリングを介して支持されていることを特徴とするマルチ細線ワイヤソー装置。
- 請求項1に記載のマルチ細線ワイヤソー装置において、前記複数枚のプーリは、外側に位置する外側プーリと該外側プーリに挟まれて位置する内側プーリとから構成され、前記外側プーリには外周より若干内周側の側面に凹部が形成され、前記内側プーリには前記凹部と摩擦係合する凸部が形成されていることを特徴とするマルチ細線ワイヤソー装置
- 請求項1に記載のマルチ細線ワイヤソー装置において、前記細線ワイヤソーの案内用の溝がV字型の溝であることを特徴とするマルチ細線ワイヤソー装置。
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