JP3696904B2

JP3696904B2 - Static eliminator using soft X-ray

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Publication number: JP3696904B2
Application number: JP18163994A
Authority: JP
Inventors: 健吉和泉; 功菅野; 昌義石川
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK; Shishido Electrostatic Ltd
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK; Shishido Electrostatic Ltd
Priority date: 1994-08-02
Filing date: 1994-08-02
Publication date: 2005-09-21
Anticipated expiration: 2020-09-21
Also published as: JPH0845695A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、プラスチック、セラミックス、金属等に帯電した静電気を軟Ｘ線を利用して除電する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プラスチック、セラミックス、金属等に帯電した静電気を除電する装置としては、コロナ放電式の除電装置が知られている。かかる除電装置では、放電電極に電圧を印加することによって該放電電極に正，負の空気イオンを生成し、生成された空気イオンを送風ファン等を用いて帯電体に向けて吹き付けることにより該帯電体の電荷を中和するようにしたものである。
【０００３】
ところが、このようなコロナ放電式の除電装置においては、帯電体が放電電極から離れた位置にあると、放電電極で生成された空気イオンが帯電体まで十分に届かず、除電効果が極端に低くなってしまうという不都合があった。
【０００４】
このような不都合を解消するために、軟Ｘ線の空気イオン化能力を利用した除電装置が提案されている。かかる除電装置は軟Ｘ線照射装置を備えたもので、該装置の軟Ｘ線照射部から帯電体に向けて軟Ｘ線を照射することにより、該軟Ｘ線が帯電体に到達した位置で該軟Ｘ線による空気イオンの生成がなされ、該空気イオンによって帯電体の電荷を中和するようにしたものである。
【０００５】
かかる除電装置においては、軟Ｘ線が帯電体に到達した位置で空気イオンが生成されるため、帯電体が軟Ｘ線照射部から離れた位置にあっても良好な除電効果を得ることができる。
【０００６】
しかしながら、このように軟Ｘ線を利用した除電装置においては、放射線源による汚染を防止する等の理由から非常に弱いＸ線が用いられるため、前記軟Ｘ線照射部に空気中の塵埃等が付着して汚れてくると、この汚れによって軟Ｘ線の大部分が吸収されてしまい、除電に有効に利用できる軟Ｘ線量が減少して除電性能が低下するという不都合があった。また、上述した空気イオンは帯電体と軟Ｘ線照射部との間で生成されるが、該帯電体の除電に関与するのは主に軟Ｘ線により帯電体近傍で生成される空気イオンであるため、該帯電体の手前側の空間で生成された空気イオンを有効に利用することができないという不都合があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる不都合を解消するためになされたものであり、軟Ｘ線照射部の汚れによる軟Ｘ線量の減少を良好に防止して除電性能を高めることができる軟Ｘ線を利用した除電装置を提供することを目的とする。
【０００８】
また、本発明は、軟Ｘ線照射部の汚れによる軟Ｘ線量の減少を良好に防止することができるとともに、軟Ｘ線により生成されたガスイオンを帯電体に有効に作用させて除電性能をより高めることができる軟Ｘ線を利用した除電装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、かかる目的を達成するために、帯電体に軟Ｘ線を照射する軟Ｘ線照射部を有する軟Ｘ線照射装置を備え、前記軟Ｘ線により生成された正，負のガスイオンによって該帯電体に帯電した電荷を中和するようにした除電装置において、前記軟Ｘ線照射部を覆うようなガスの流れを形成するガス流形成手段を備え、該ガス流形成手段は、前記軟Ｘ線照射装置の周囲に設けられたガス流通路と、該ガス流通路に強制的にガスを供給するガス供給手段とを備え、該ガス流通路は、前記ガス供給手段によって供給されたガスが前記軟Ｘ線照射部を覆って流れ込むように形成され、該軟Ｘ線照射部の前方には、該軟Ｘ線照射部に流れ込んだガスが前記軟Ｘ線照射部から照射される軟Ｘ線の照射方向に向けて噴出されるガス噴出口が該ガス流通路に連通して形成されていることを特徴とする。
【００１１】
前記ガス流通路と前記ガス供給手段との間には、フィルタを設けるのが好ましい。この場合、該フィルタによる供給ガスの圧力損失が大きいときには、前記ガス供給手段によって前記ガス流通路に圧縮ガスを供給するとよい。
【００１２】
さらに、本発明は、前記ガス流通路の内部圧力を検知する圧力検知手段と、該圧力検知手段により検知される前記ガス流通路の内部圧力が所定値より低下した時、前記軟Ｘ線照射装置への通電を停止する通電停止手段とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明は、前記ガス噴出口の開口面積を調整する開口面積調整手段と、該ガス噴出口の開口面積に応じて前記ガス供給手段による前記ガス流通路へのガス供給量を調整するガス供給量調整手段とを備えたことを特徴とする。
【００１４】
この場合、前記ガス噴出口の開口面積を検知する開口面積検知手段を備え、前記ガス供給量調整手段が、該開口面積検知手段により検知される前記ガス噴出口の開口面積に応じて前記ガス供給手段によるガス流通路へのガス供給量を制御するのが好ましい。
【００１５】
さらに、本発明は、前記ガス噴出口から噴出されるガスの噴出方向を変化させる噴出方向可変手段を備えたことを特徴とする。
【００１６】
さらに、本発明は、前記噴出方向可変手段は、ガスの噴出方向を該噴出方向に対して直交する方向に変化させることを特徴とする。
【００１７】
さらに、本発明は、ガスの噴出方向を該噴出方向に対して直交する方向に変化させつつ該ガス噴出口を周方向に回動させることを特徴とする。
【００１８】
さらに、本発明は、前記帯電体の表面の所定箇所に複数個配置されて該帯電体の表面電位を検知する表面電位検知手段と、該表面電位検知手段により検知される帯電体の表面電位に応じて前記噴出方向可変手段を制御する噴出方向制御手段とを備え、該噴出方向制御手段は、前記複数の表面電位検知手段の内で最も高い表面電位が検知された帯電体の表面に向けてガスが噴出されるように前記噴出方向可変手段を制御することを特徴とする。
【００１９】
【作用】
本発明によれば、ガス供給手段によってガス流通路に供給されたガスを軟Ｘ線照射部を覆って流れ込むようにすることにより、軟Ｘ線照射部に塵埃等が付着しようとしても該軟Ｘ線照射部に流れ込んだガスによって該軟Ｘ線照射部に付着しようとする塵埃等が吹き飛ばされるので、従来のように該軟Ｘ線照射部の汚れによって軟Ｘ線が吸収されるのが回避され、良好なガスイオンの生成がなされる。更に、軟Ｘ線照射部を覆って流れ込んだガスをガス噴出口から軟Ｘ線の照射方向に向けて噴出させるので、塵埃等を吹き飛ばした後にガス噴出口から噴出するガス流が、帯電体と軟Ｘ線照射部との間の空間で生成されたガスイオンを帯電体まで移送して、該空間で生成されたガスイオンが該帯電体に有効に作用し、帯電体が良好に除電される。
【００２１】
ガス流通路とガス供給手段との間にフィルタを設けた場合には、軟Ｘ線照射部に清浄なガスを吹き付けることができるので、該軟Ｘ線照射部に塵埃等が付着するのをより効果的に防止することが可能となる。この場合、該フィルタによる供給ガスの圧力損失が大きいと、ガス噴出口から噴出されるガスの噴出圧力が低下するので、ガス流通路に所定の圧力の圧縮ガスを供給して該噴出圧力を調整する。
【００２２】
ところで、何らかの原因でガス供給手段からガス流通路内にガスが供給されなくなると、ガス流通路内の圧力は低下して外部の圧力と同一になり、外部の空気等がガス噴出口からガス流通路内に浸入してくる。この場合、装置の設置環境によっては外部の空気等に可燃性の溶剤ガスや粉体が含まれていることがあるので、軟Ｘ線照射装置への通電が継続されていると好ましくない。そこで、前記ガス流通路の内部圧力を圧力検知手段によって検知して、該内部圧力が所定値より低下した時に、通電停止手段によって軟Ｘ線照射装置への通電を停止する。
【００２３】
また、開口面積調整手段でガス噴出口の開口面積を調整することによって、帯電体に対するガスの吹きつけ範囲を調整する。この場合、ガス供給手段によってガス流通路に供給されるガス供給量が一定であると、該開口面積の大小によってガス噴出口から噴出されるガスの噴出圧力が異なり、ガス流の到達距離にばらつきが生じる。このため、ガス供給量調整手段で該開口面積に応じてガス流通路へのガス供給量を調整することによって、開口面積の大小にかかわらずガスの噴出圧力を一定にする。この場合、ガス噴出口の開口面積を検知する開口面積検知手段を備えて、ガス供給量調整手段が、該開口面積検知手段により検知される該開口面積に応じてガス供給手段によるガス流通路へのガス供給量を制御することによって、該開口面積に応じたガス供給量の調整を自動的に行うことが可能となる。
【００２４】
さらに、噴出方向可変手段によってガスの噴出方向を例えば該噴出方向と直交する方向に変化させることにより、帯電体に対するガスの吹き付け範囲を広くすることが可能となる。この場合、ガスの噴出方向を該噴出方向と直交する方向に変化させつつ該ガス噴出口を周方向に回動させるようにすると、帯電体に対するガスの吹き付け範囲をさらに広くすることが可能となる。
【００２５】
さらに、帯電体の表面の複数個所に表面電位検知手段を配置し、噴出方向制御手段によって、該複数の表面電位検知手段の内で最も高い表面電位が検知された帯電体の表面に向けてガスが噴出されるように前記噴出方向可変手段を制御することによって、帯電体の表面電位が高い箇所を局部的に効率よく除電することが可能となる。
【００２６】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図１〜図３を参照して説明する。図１は本発明の実施の一例である軟Ｘ線を利用した除電装置の説明的断面図、図２は該除電装置と従来の除電装置との相違を説明するために用いる実験装置の概略図、図３は本発明の他の実施例を説明するための説明的断面図である。
【００２７】
かかる除電装置は、図１に示すように、その基本的構成として、帯電体１に向けて軟Ｘ線を照射する軟Ｘ線照射装置２と、該軟Ｘ線照射装置２を包囲して該軟Ｘ線照射装置２との間に空気流通路３を形成する外箱４とを備える。
【００２８】
軟Ｘ線照射装置２は、円筒状のケース５と、該ケース５内に設けられた軟Ｘ線管６とを備える。該ケース５の前端部（左端部）には、軟Ｘ線管６から照射される軟Ｘ線の照射窓７が形成されている。軟Ｘ線管６は、高電圧ケーブル８を介して外部電源９に接続されている。
【００２９】
外箱４は、略円筒状に形成されてその内部に軟Ｘ線照射装置２が略同心に配置されている。配置に際しては、外箱４と軟Ｘ線照射装置２の前後端部及び外周部との間に空気流通路３が形成されるようにして配置する。外箱４内の軟Ｘ線照射装置２の後端側には、送風ファン１０が設けられている。
【００３０】
該送風ファン１０は、上述した外部電源９に低電圧ケーブル１１を介して接続されている。該送風ファン１０の前後には、それぞれエアフィルタ１２及びプレフィルタ１３が送風ファン１０を挟むようにして配置されている。送風ファン１０が駆動されることにより、外部の空気がプレフィルタ１３を介して外箱４内に吸引され、吸引された空気はエアフィルタ１２を通って清浄化された後、空気流通路３に供給される。そして空気流通路３に供給された清浄な空気は、外箱４の前端壁部４ａと軟Ｘ線照射装置２の照射窓７との間に流れ込んで合流し、これにより、照射窓７の表面を覆うような空気の流れが形成される。また、外箱４の前端壁部４ａには、該前端壁部４ａと照射窓７との間に流れ込んだ空気が照射窓７から照射される軟Ｘ線の照射方向と同一方向に噴出される空気噴出口１４が形成されている。
【００３１】
かかる除電装置においては、空気流通路３に供給された清浄な空気を外箱４の前端壁部４ａと照射窓７との間に流れ込ませて照射窓７の表面を覆うような空気の流れを形成しているので、照射窓７の表面に空気中の塵埃等が付着しようとしても、該空気の流れによって吹き飛ばされる。このため、照射窓７の表面に該塵埃等による汚れが発生するのが良好に防止され、従来のように照射窓７の汚れによって軟Ｘ線が吸収されることなく、該軟Ｘ線の線量が良好に維持される。
【００３２】
また、該塵埃等を吹き飛ばした後の空気流は、空気噴出口１４から軟Ｘ線の照射方向と同一方向に噴出されるので、帯電体１と照射窓７との間の空間で生成された空気イオンが該空気流によって帯電体１まで移送される。
【００３３】
上記記載から明らかなように、本実施例の除電装置においては、従来のように照射窓７の汚れによって軟Ｘ線が吸収されることなく、照射窓７から照射される軟Ｘ線の線量が良好に維持されるため、軟Ｘ線が帯電体に到達した位置で良好な正，負の空気イオンの生成がなされ、しかも、空気噴出口１４から噴出された空気流によって帯電体１と照射窓７との間の空間で生成された空気イオンが帯電体１まで移送されるので、該帯電体１に対しては、軟Ｘ線が該帯電体１に到達した位置で良好に生成された空気イオンに加えて、帯電体１の手前側の空間で生成された空気イオンを有効に作用させることができる。従って、これらの空気イオンによって帯電体１の電荷が良好に中和されて帯電体１の除電が効果的に行われ、除電装置の除電性能を大幅に向上させることができる。
【００３４】
次に、本実施例の除電装置と従来の除電装置との相違を明確にするために図２を参照してさらに詳述する。図２において符号１５は、１５０ｍｍ×１５０ｍｍの帯電プレート１６（静電容量２０ｐＦ±２ｐＦ）を有する帯電プレートモニターであり、帯電プレート１６から１ｍ離間した位置には本実施例の除電装置の空気噴出口１４が対向配置されている。ここで、空気噴出口１４から吹き出される空気の噴出量を２．５ｍ³／ｍｉｎとする。
【００３５】
そして、帯電プレート１６に＋５ｋＶ（又は−５ｋＶ）の電圧を印加して帯電させ、この状態で軟Ｘ線照射装置２から軟Ｘ線を帯電プレート１６に向けて照射すると共に、送風ファン１０により空気噴出口１４から空気流を噴出させて帯電プレート１６に吹き付け、帯電プレート１６の電圧が＋５００Ｖ（又は−５００Ｖ）に減衰するまでに要する時間（ｓｅｃ）を測定した。また、従来の除電装置については、送風ファン１０を停止して帯電プレート１６への軟Ｘ線の照射のみで代用して測定を行った。
【００３６】
測定の結果、従来の除電装置では、＋５ｋＶから＋５００Ｖに減衰するまでの時間が７ｓｅｃ、−５ｋＶから−５００Ｖに減衰するまでの時間が８ｓｅｃであった。これに対し、本実施例の除電装置では、＋５ｋＶから＋５００Ｖに減衰するまでの時間が５ｓｅｃ、−５ｋＶから−５００Ｖに減衰するまでの時間が５ｓｅｃとなり除電性能が大幅に向上した。
【００３７】
本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。例えば、上記実施例で、エアフィルタ１２を設けて清浄な空気を空気流通路３内に供給しているが、空気のクリーン度がそれほど要求されない場合には、該エアフィルタ１２を省略してもよい。
【００３８】
また、エアフィルタ１２として塵埃等の除去性能が高いＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタを用いる場合には、これらのフィルタは圧力損失が大きいため、空気噴出口１４から噴出される空気の噴出圧が低下して該空気が帯電体１に届かない虞れがある。従って、この場合は、図３に示すように、送風ファン１０による空気の供給に代えて、外箱４の後端部に空気圧縮機１７から所定の圧力の圧縮空気を供給して空気噴出口１４から噴出される空気の噴出圧を調整する。
【００３９】
さらに、図４は、外箱４に導管１８の一端を空気流通路３に連通させて接続し、該導管１８の他端に圧力スイッチ１９を取り付けたものである。圧力スイッチ１９と外部電源９との間にはリード線２０が介在されている。そして、圧力スイッチ１９は、空気流通路３内の圧力が設定値より低下した時に、リード線２０を介して外部電源９を停止して軟Ｘ線照射装置２への通電を停止する。
【００４０】
このようにすると、外部の空気に可燃性の溶剤ガスや粉体が含まれている環境で使用するのに適した装置となる。
【００４１】
すなわち、何らかの原因で送風ファン１０（又は空気圧縮機１７）から空気流通路３内に空気が供給されなくなると、空気流通路３内の圧力が低下して外部の圧力と同一になる。この場合、可燃性の溶剤ガスや粉体が含まれた外部の空気が空気噴出口１４から空気流通路３内に浸入してくる。このような場合に、前記設定値を外部の圧力に設定することにより、圧力スイッチ１９がリード線２０を介して外部電源９を停止し、軟Ｘ線照射装置２への通電を停止する。
【００４２】
次に、空気噴出口１４の変形例を図５を参照して説明する。図５は、外箱４の前端部に、空気噴出口１４に代えて、複数のシャッタ羽根２１から構成される絞りシャッタ装置２２を取り付けたものである。シャッタ羽根２１は、１０ｋｅＶまでの軟Ｘ線を遮蔽する材質からなる。絞りシャッタ装置２２は、その開口部が空気噴出口２３とされている。空気流通路３に供給された空気が照射窓７の表面を覆うような流れが形成した後、該空気噴出口２３から軟Ｘ線の照射方向に空気が噴出される。また、絞りシャッタ装置２２は、図示しない駆動手段によって空気噴出口２３の絞り、すなわち開口面積が調整されるようになっており、該駆動手段は駆動ケーブル２４を介して外部電源９に接続されている。
【００４３】
そして、駆動手段で空気噴出口２３の開口面積を調整することによって、該帯電体１に対する空気の吹きつけ範囲を調整する。これにより、帯電体１と照射窓７との間で生成された空気イオンを帯電体１に作用させる範囲を帯電体１の大きさ等に応じて調整することができる。この時、送風ファン１０（又は空気圧縮機１７）によって空気流通路３に供給される空気供給量が一定であると、該開口面積の大小によって空気噴出口２３から噴出される空気の噴出圧力が異なり、空気流の到達距離にばらつきが生じる。このため、該開口面積に応じて空気流通路３への空気供給量を調整して該開口面積の大小にかかわらず空気噴出口２３から噴出される空気の噴出圧力を一定にする必要がある。
【００４４】
そこで、空気噴出口２３の開口面積を絞りシャッタ装置２２に内蔵された図示しない開口面積検知センサで検知して、該検知信号を外部電源９に内蔵された空気供給量調整手段２５に出力し、該空気供給量調整手段２５が該検知信号に応じて送風ファン１０（又は空気圧縮機１７）への駆動電流を制御する。これにより、空気噴出口２３の開口面積に応じて送風ファン１０（又は空気圧縮機１７）から空気流通路３に供給される空気供給量が自動的に調整されて空気噴出口２３から噴出される空気の噴出圧力が一定にされる。
【００４５】
また、図６は空気噴出口１４の他の変形例を示すものである。図６は、外箱４の前端部に、空気噴出口１４に代えて、ルーバ装置２６を取り付けたものである。
【００４６】
ルーバ装置２６は、外箱４の前端部外周部に回動可能に装着された回動リング２７と、該回動リング２７の径方向に沿って等間隔で横架された複数のルーバ羽根２８とを備える。回転リング２７は、１０ｋｅＶまでの軟Ｘ線を遮蔽する材質からなり、図示しない駆動手段によって±１８０°の回転駆動がなされる。この回転駆動はルーバ羽根２８と一体となってなされる。ルーバ羽根２８は、軟Ｘ線を透過可能な材質からなり、各ルーバ羽根２８の間が空気噴出口２９とされている。空気流通路３に供給された空気は、照射窓７の表面を覆うような流れを形成した後、該空気噴出口２３から軟Ｘ線の照射方向に噴出される。また、各ルーバ羽根２８は、回転リング２７と同様に図示しない駆動手段によって図６において矢印ａ，ｂ方向に揺動される。該ルーバ羽根２８の揺動により空気噴出口２９から噴出される空気の噴出方向が外箱４の軸線に対して直交する方向に変化しつつ回転リング２７の回転により周方向に変化することにより、帯電体１に対する空気の吹きけ範囲、すなわち帯電体１と照射窓７との間で生成された空気イオンを帯電体１に作用させる範囲を広くしている。尚、図６において符号３０は、回転リング２７及びルーバ羽根２８の駆動手段と外部電源９との間に介在される接続ケーブルである。
【００４７】
さらに、図７及び図８に示すように、回転リング２７の回転角度及びルーバ羽根２８の揺動角度を制御して帯電体１の表面の所定の位置に空気を吹き付けることにより、該帯電体１の所定の位置を局部的に除電することができる。図７は連続搬送される樹脂フィルム１ａ（帯電体）の上方に図６に示す除電装置を配置した状態の平面図、図８は図７の左側面図である。
【００４８】
すなわち、図７に示すように、該除電装置は、空気噴出口２９を該樹脂フィルム１ａの表面に向けて配置されている。該除電装置より上流側（右側）の樹脂フィルム１ａの表面には、樹脂フィルム１ａの表面電位を測定する表面電位計センサ３１ａ，３１ｂ，３１ｃが該樹脂フィルム１ａの幅方向に等間隔で配置されている。各表面電位計センサ３１ａ，３１ｂ，３１ｃによって検知された電位は電位比較演算手段３２によって比較演算されて最も高い電位の位置が決定され、該位置信号に基づいてルーバ制御手段３３がルーバ装置２６の回転リング２７の回転角度及びルーバ羽根２８の揺動角度を制御して、空気噴出口２９を樹脂フィルム１ａの最も高い電位が検知された表面電位計センサ（本実施例では３１ａ）の位置に相当する部分に向ける（図８参照）。これにより、樹脂フィルム１ａの最も高い電位の部位に帯電体１と照射窓７との間で生成された空気イオンを局部的に効率よく作用させることができる。尚、この場合、帯電体の表面電位の大小に応じて空気圧縮機１７（又は送風ファン１０）の駆動電流を制御して空気噴出量を調整することも勿論可能である。
【００４９】
さらに、図９は、間欠的に搬送される円形のプラスチック成形品１ｂ（帯電体）の上方に図６に示す除電装置を配置した状態を示す平面図である。
【００５０】
この場合、除電装置は、樹脂フィルム１ａの場合と同様に、空気噴出口２９を該プラスチック成形品１ｂの表面に向けて配置される。また、該除電装置より上流側（右側）のプラスチック成形品１ｂの表面には、周方向に等間隔で４か所、中央部に１か所の合計５個の表面電位計センサ３４ａ〜３４ｅが配置される。各表面電位計センサ３４ａ〜３４ｅによって検知された電位は、上記同様に、電位比較演算手段３２によって比較演算されて最も高い電位の位置が決定され、該位置信号に基づいてルーバ制御手段３３がルーバ装置２６の回転リング２７の回転角度及びルーバ羽根２８の揺動角度を制御して、空気噴出口２９をプラスチック成形品１ｂの最も高い電位が検知された表面電位計センサ（本実施例では３４ａ）の位置に相当する部分に向ける。
【００５１】
尚、以上の実施例ではガスとして最も一般的な空気の場合について説明したが、空気の他に窒素ガスやヘリウム等の不活性ガス等を用いることができる。また、帯電体は空気中に存在し、送風ガスに窒素ガスを用いる場合のように、雰囲気のガスと異なるガスを送風に用いることもできる。
【００５２】
【発明の効果】
上記の説明から明らかなように、本発明によれば、軟Ｘ線照射部の汚れによって軟Ｘ線が吸収されることなく該軟Ｘ線の線量が良好に維持されるので、帯電体の静電気を良好に除電することができる除電性能の高い装置を提供することができる。
【００５３】
また、ガス供給手段によってガス流通路に供給されたガスを軟Ｘ線照射部を覆って流れ込むようにすると共に、該流れ込んだガスをガス噴出口から軟Ｘ線の照射方向に噴出させるようにした場合には、帯電体に対して、該軟Ｘ線が帯電体に到達した位置で良好に生成されたガスイオンの他に、従来、帯電体の除電に効果が少なかった軟Ｘ線照射部近傍で生成された高密度なガスイオンを有効に作用させることができるので、帯電体の除電がより効果的に行われて除電装置の除電性能を大幅に向上させることができる。
【００５４】
さらに、ガス流通路とガス供給手段との間にフィルタを設けた場合には、軟Ｘ線照射部に清浄なガスを吹き付けることができるので、該軟Ｘ線照射部に塵埃等による汚れが発生するのを効果的に防止することができる。該フィルタによる供給ガスの圧力損失が大きい場合には、ガス流通路に所定の圧力の圧縮ガスを供給することにより、ガス噴出口から噴出されるガスの噴出圧の低下を防止することができる。
【００５５】
さらに、ガス流通路の内部圧力を検知する圧力検知手段と、該圧力検知手段により検知されるガス流通路の内部圧力が所定値より低下した時、軟Ｘ線照射装置への通電を停止する通電停止手段とを備えることによって、外部の空気等に可燃性の溶剤ガスや粉体が含まれている環境で使用するのに適した装置を提供することができる。
【００５６】
さらに、開口面積調整手段でガス噴出口の開口面積を調整すると共に、ガス供給量調整手段で該開口面積に応じてガス流通路へのガス供給量を調整することによって、開口面積の大小にかかわらずガスの噴出圧力を一定に維持した状態で帯電体に対するガスの吹きつけ範囲を調整できるので、帯電体と軟Ｘ線照射部との間で生成されたガスイオンを帯電体に作用させる範囲の調整を帯電体の大きさ等に応じて良好に行うことができる。この場合、ガス噴出口の開口面積を検知する開口面積検知手段を備えて、ガス供給量調整手段が、該開口面積検知手段により検知される該開口面積に応じてガス供給量を制御することによって、該開口面積に応じたガス供給量の調整の自動化が図れる。
【００５７】
さらに、噴出方向可変手段によってガスの噴出方向を該噴出方向と直交する方向に変化させることにより、帯電体に対するガスの吹き付け範囲を広くすることができるので、該帯電体の広い範囲に正負のガスイオンを良好に作用させることができる。この場合、ガスの噴出方向を該噴出方向と直交する方向に変化させつつ該ガス噴出口を周方向に回動させるようにすると、該帯電体のより広い範囲に正負のガスイオンを良好に作用させることができる。
【００５８】
さらに、帯電体の表面の複数個所に表面電位検知手段を配置し、噴出方向制御手段によって、該複数の表面電位検知手段の内で最も高い表面電位が検知される前記帯電体の表面に向けてガスが噴出されるように前記噴出方向可変手段を制御することによって、帯電体の表面電位が高い箇所を局所的に効率よく除電することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一例である軟Ｘ線を利用した除電装置の説明的断面図である。
【図２】本実施例の装置と従来の装置との比較を説明するために用いる実験装置の概略図である。
【図３】本発明の他の実施例を説明するための説明的断面図である。
【図４】本発明の他の実施例を説明するための説明的断面図である。
【図５】空気噴出口の変形例を説明するための説明的断面図である。
【図６】空気噴出口の他の変形例を説明するための説明的断面図である。
【図７】図６に示す装置の好適な使用例を説明するための平面図である。
【図８】図７の左側面図である。
【図９】図６に示す装置の他の好適な使用例を説明するための平面図である。
【符号の説明】
１…帯電体、２…軟Ｘ線照射装置、３…空気流通路、４…外箱、７…照射窓、１０…送風ファン、１２…エアフィルタ、１４，２３，２９…空気噴出口、１７…空気圧縮機、１９…圧力スイッチ、２２…絞りシャッタ装置、２５…空気供給量調整手段、２６…ルーバ装置、２８…ルーバ羽根、２７…回転リング、３１ａ〜３１ｃ，３４ａ〜３４ｅ……表面電位計センサ、３２…電位比較演算手段、３３…ルーバ制御手段[0001]
[Industrial application fields]
The present invention relates to an apparatus for removing static electricity charged in plastic, ceramics, metal, or the like using soft X-rays.
[0002]
[Prior art]
As a device for removing static electricity charged in plastic, ceramics, metal, etc., a corona discharge type charge removal device is known. In such a static eliminator, positive and negative air ions are generated on the discharge electrode by applying a voltage to the discharge electrode, and the generated air ions are blown toward a charged body using a blower fan or the like to thereby charge the charge. It is designed to neutralize the body charge.
[0003]
However, in such a corona discharge type static eliminator, if the charged body is located away from the discharge electrode, the air ions generated at the discharge electrode do not reach the charged body sufficiently, and the static elimination effect is extremely low. There was the inconvenience of becoming.
[0004]
In order to eliminate such inconvenience, a static eliminator that utilizes the air ionization capability of soft X-rays has been proposed. Such a static eliminator is equipped with a soft X-ray irradiating device. By irradiating soft X-rays from the soft X-ray irradiating part of the device toward the charged body, the soft X-rays reach the charged body. Air ions are generated by the soft X-rays, and the charge of the charged body is neutralized by the air ions.
[0005]
In such a static eliminator, air ions are generated at the position where the soft X-rays reach the charged body. Therefore, even if the charged body is at a position away from the soft X-ray irradiating portion, a good static elimination effect can be obtained. .
[0006]
However, in the static eliminator using soft X-rays as described above, very weak X-rays are used for the purpose of preventing contamination by a radiation source and the like. When it adheres and becomes dirty, most of the soft X-rays are absorbed by the dirt, and there is a disadvantage that the soft X-ray dose that can be effectively used for static elimination decreases and the static elimination performance deteriorates. The above-mentioned air ions are generated between the charged body and the soft X-ray irradiating unit, and it is air ions generated mainly in the vicinity of the charged body by the soft X-rays that are involved in the charge removal of the charged body. Therefore, there is a disadvantage that the air ions generated in the space on the front side of the charged body cannot be used effectively.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention has been made in order to eliminate such inconveniences, and is a static elimination apparatus using soft X-rays that can satisfactorily prevent a reduction in the soft X-ray dose due to contamination of the soft X-ray irradiation part and improve the static elimination performance. The purpose is to provide.
[0008]
In addition, the present invention can satisfactorily prevent a decrease in the soft X-ray dose due to contamination of the soft X-ray irradiation part, and can effectively act on the charged body with the gas ions generated by the soft X-rays to improve the static elimination performance. It aims at providing the static elimination apparatus using the soft X-ray which can be raised more.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve this object, the present invention includes a soft X-ray irradiation apparatus having a soft X-ray irradiation unit that irradiates a charged body with soft X-rays, and positive and negative gas ions generated by the soft X-rays. In the static eliminator configured to neutralize the electric charge charged on the charged body by means of the above, the gas flow forming means for forming a gas flow so as to cover the soft X-ray irradiation part is provided. The gas flow forming means includes a gas flow passage provided around the soft X-ray irradiation device, and a gas supply means for forcibly supplying gas to the gas flow passage, The gas supplied by the gas supply means is formed so as to flow over the soft X-ray irradiation unit, and the gas flowing into the soft X-ray irradiation unit is located in front of the soft X-ray irradiation unit. A gas ejection port that is ejected in the irradiation direction of the soft X-rays irradiated from the line irradiation unit is formed in communication with the gas flow passage. It is characterized by that.
[0011]
It is preferable to provide a filter between the gas flow passage and the gas supply means. In this case, when the pressure loss of the supply gas by the filter is large, the compressed gas may be supplied to the gas flow passage by the gas supply means.
[0012]
Furthermore, the present invention provides pressure detecting means for detecting the internal pressure of the gas flow passage, and the soft X-ray irradiation device when the internal pressure of the gas flow passage detected by the pressure detection means falls below a predetermined value. And an energization stop means for stopping energization of the battery.
[0013]
Furthermore, the present invention provides an opening area adjusting unit that adjusts an opening area of the gas outlet, and a gas that adjusts a gas supply amount to the gas flow passage by the gas supplying unit according to the opening area of the gas outlet. And a supply amount adjusting means.
[0014]
In this case, an opening area detecting means for detecting an opening area of the gas outlet is provided, and the gas supply amount adjusting means is configured to supply the gas according to the opening area of the gas outlet detected by the opening area detecting means. It is preferable to control the amount of gas supplied to the gas flow passage by the means.
[0015]
Furthermore, the present invention is characterized by comprising a jet direction changing means for changing the jet direction of the gas jetted from the gas jet port.
[0016]
Furthermore, the present invention is characterized in that the ejection direction variable means changes a gas ejection direction to a direction orthogonal to the ejection direction.
[0017]
Furthermore, the present invention is characterized in that the gas ejection port is rotated in the circumferential direction while changing the gas ejection direction in a direction orthogonal to the ejection direction.
[0018]
Furthermore, the present invention provides a plurality of surface potential detecting means for detecting the surface potential of the charged body arranged at a predetermined location on the surface of the charged body, and the surface potential of the charged body detected by the surface potential detecting means. And a jetting direction control means for controlling the jetting direction varying means, the jetting direction control means facing the surface of the charged body where the highest surface potential is detected among the plurality of surface potential detecting means. The ejection direction varying means is controlled so that gas is ejected.
[0019]
[Action]
According to the present invention, By making the gas supplied to the gas flow path by the gas supply means flow over the soft X-ray irradiation unit, even if dust or the like tries to adhere to the soft X-ray irradiation unit, it flows into the soft X-ray irradiation unit. Because dust blows off the soft X-ray irradiation part by gas. As before, soft X-rays are absorbed by dirt on the soft X-ray irradiation part. Is avoided, Good gas ions are generated The Furthermore, Since the gas that has flowed over the soft X-ray irradiation unit is ejected from the gas ejection port in the direction of soft X-ray irradiation, the gas flow ejected from the gas ejection port after blowing off dust and the like is applied to the charged body and the soft X-ray. The gas ions generated in the space between the beam irradiation unit and the charged body are transferred to the charged body, and the gas ions generated in the space effectively act on the charged body, The charged body is well discharged.
[0021]
When a filter is provided between the gas flow passage and the gas supply means, it is possible to spray clean gas on the soft X-ray irradiation unit, so that dust or the like is more prevented from adhering to the soft X-ray irradiation unit. It can be effectively prevented. In this case, if the pressure loss of the supply gas by the filter is large, the jet pressure of the gas jetted from the gas jet port is lowered. Therefore, the jet pressure is adjusted by supplying a compressed gas having a predetermined pressure to the gas flow passage. To do.
[0022]
By the way, when the gas is not supplied from the gas supply means into the gas flow path for some reason, the pressure in the gas flow path decreases and becomes the same as the external pressure, and external air or the like flows from the gas outlet to the gas flow. It enters the street. In this case, depending on the installation environment of the apparatus, combustible solvent gas or powder may be contained in the external air or the like, so it is not preferable that the energization of the soft X-ray irradiation apparatus is continued. Therefore, the internal pressure of the gas flow passage is detected by the pressure detection means, and when the internal pressure drops below a predetermined value, the energization stop means stops energization of the soft X-ray irradiation apparatus.
[0023]
Further, by adjusting the opening area of the gas outlet with the opening area adjusting means, the gas blowing range to the charged body is adjusted. In this case, if the gas supply amount supplied to the gas flow passage by the gas supply means is constant, the jet pressure of the gas jetted from the gas jet port varies depending on the size of the opening area, and the reach of the gas flow varies. Occurs. For this reason, by adjusting the gas supply amount to the gas flow passage by the gas supply amount adjusting means according to the opening area, the gas ejection pressure is made constant regardless of the size of the opening area. In this case, an opening area detecting means for detecting the opening area of the gas outlet is provided, and the gas supply amount adjusting means is directed to the gas flow passage by the gas supplying means according to the opening area detected by the opening area detecting means. By controlling the gas supply amount, it is possible to automatically adjust the gas supply amount according to the opening area.
[0024]
Furthermore, by changing the gas jetting direction to, for example, a direction orthogonal to the jetting direction by the jetting direction varying means, it is possible to widen the gas spraying range on the charged body. In this case, if the gas ejection port is rotated in the circumferential direction while changing the gas ejection direction to a direction orthogonal to the ejection direction, the gas spray range to the charged body can be further widened. .
[0025]
Further, surface potential detecting means are arranged at a plurality of locations on the surface of the charged body, and the gas is directed toward the surface of the charged body where the highest surface potential is detected among the plurality of surface potential detecting means by the ejection direction control means. By controlling the ejecting direction varying means so that is ejected, it becomes possible to efficiently and locally eliminate the portion where the surface potential of the charged body is high.
[0026]
【Example】
Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is an explanatory sectional view of a static eliminator using soft X-rays as an example of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram of an experimental apparatus used to explain the difference between the static eliminator and a conventional static eliminator. FIG. 3 is an explanatory sectional view for explaining another embodiment of the present invention.
[0027]
As shown in FIG. 1, the static eliminator has, as its basic structure, a soft X-ray irradiation device 2 that irradiates a charged body 1 with soft X-rays and a soft X-ray irradiation device 2 that surrounds the soft X-ray irradiation device 2. An outer box 4 that forms an air flow passage 3 between the apparatus and the soft X-ray irradiation device 2 is provided.
[0028]
The soft X-ray irradiation device 2 includes a cylindrical case 5 and a soft X-ray tube 6 provided in the case 5. A soft X-ray irradiation window 7 irradiated from the soft X-ray tube 6 is formed at the front end (left end) of the case 5. The soft X-ray tube 6 is connected to an external power source 9 via a high voltage cable 8.
[0029]
The outer box 4 is formed in a substantially cylindrical shape, and the soft X-ray irradiation device 2 is disposed substantially concentrically therein. In the arrangement, the air flow passage 3 is formed between the outer box 4 and the front and rear end portions and the outer peripheral portion of the soft X-ray irradiation device 2. A blower fan 10 is provided on the rear end side of the soft X-ray irradiation device 2 in the outer box 4.
[0030]
The blower fan 10 is connected to the external power source 9 described above via a low voltage cable 11. An air filter 12 and a pre-filter 13 are arranged before and after the blower fan 10 so as to sandwich the blower fan 10, respectively. By driving the blower fan 10, external air is sucked into the outer box 4 through the prefilter 13, and the sucked air is purified through the air filter 12 and then into the air flow passage 3. Supplied. Then, the clean air supplied to the air flow passage 3 flows and joins between the front end wall portion 4a of the outer box 4 and the irradiation window 7 of the soft X-ray irradiating device 2, thereby the surface of the irradiation window 7. An air flow is formed to cover the surface. Further, the air flowing between the front end wall 4a and the irradiation window 7 is jetted to the front end wall 4a of the outer box 4 in the same direction as the irradiation direction of the soft X-rays irradiated from the irradiation window 7. An air outlet 14 is formed.
[0031]
In such a static eliminator, clean air supplied to the air flow passage 3 is caused to flow between the front end wall portion 4a of the outer box 4 and the irradiation window 7 so as to cover the surface of the irradiation window 7. Since it is formed, even if dust or the like in the air tries to adhere to the surface of the irradiation window 7, it is blown off by the air flow. For this reason, it is possible to satisfactorily prevent the surface of the irradiation window 7 from being contaminated with dust and the like, and the soft X-ray dose is not absorbed by the contamination of the irradiation window 7 as in the prior art. Is maintained well.
[0032]
Further, since the air flow after blowing off the dust and the like is ejected from the air ejection port 14 in the same direction as the soft X-ray irradiation direction, it is generated in the space between the charged body 1 and the irradiation window 7. Air ions are transferred to the charged body 1 by the air flow.
[0033]
As apparent from the above description, in the static eliminator of the present embodiment, the soft X-ray dose irradiated from the irradiation window 7 is not absorbed by the contamination of the irradiation window 7 as in the prior art. In order to maintain it well, good positive and negative air ions are generated at the position where the soft X-ray reaches the charged body, and the charged body 1 and the irradiation window are generated by the air flow ejected from the air ejection port 14. The air ions generated in the space between them are transferred to the charged body 1, so that the air generated well at the position where the soft X-rays reach the charged body 1 for the charged body 1. In addition to ions, air ions generated in the space on the front side of the charged body 1 can be effectively acted. Therefore, the charge of the charged body 1 is well neutralized by these air ions, the charge body 1 is effectively neutralized, and the neutralization performance of the neutralization device can be greatly improved.
[0034]
Next, in order to clarify the difference between the static eliminator of this embodiment and the conventional static eliminator, it will be described in further detail with reference to FIG. In FIG. 2, reference numeral 15 denotes a charging plate monitor having a 150 mm × 150 mm charging plate 16 (capacitance 20 pF ± 2 pF). An air outlet of the static eliminator of this embodiment is located 1 m away from the charging plate 16. 14 are arranged opposite to each other. Here, the amount of air blown from the air outlet 14 is 2.5 m. ^Three / Min.
[0035]
Then, a voltage of +5 kV (or −5 kV) is applied to the charging plate 16 to be charged. In this state, the soft X-ray irradiation device 2 irradiates the soft X-ray toward the charging plate 16 and air is blown by the blower fan 10. The time (sec) required until the voltage of the charging plate 16 was attenuated to +500 V (or -500 V) was measured by jetting an air flow from the jet port 14 and spraying it on the charging plate 16. For the conventional static eliminator, measurement was performed by substituting only the soft X-ray irradiation to the charging plate 16 with the blower fan 10 stopped.
[0036]
As a result of the measurement, in the conventional static eliminator, the time until it decays from +5 kV to +500 V was 7 sec, and the time until it decayed from −5 kV to −500 V was 8 sec. On the other hand, in the static eliminator of the present embodiment, the time until it decays from +5 kV to +500 V is 5 sec, and the time until it decays from −5 kV to −500 V is 5 sec.
[0037]
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be appropriately changed without departing from the gist of the present invention. For example, in the above embodiment, the air filter 12 is provided and clean air is supplied into the air flow passage 3, but the air filter 12 may be omitted if the air cleanliness is not so required. Good.
[0038]
In addition, when using a HEPA filter or ULPA filter with high dust removal performance as the air filter 12, these filters have a large pressure loss, so the jet pressure of the air jetted from the air jet port 14 decreases. The air may not reach the charged body 1. Therefore, in this case, as shown in FIG. 3, instead of supplying air by the blower fan 10, compressed air having a predetermined pressure is supplied from the air compressor 17 to the rear end portion of the outer box 4, and the air outlet The ejection pressure of the air ejected from 14 is adjusted.
[0039]
Further, FIG. 4 shows a case where one end of a conduit 18 is connected to the outer casing 4 in communication with the air flow passage 3 and a pressure switch 19 is attached to the other end of the conduit 18. A lead wire 20 is interposed between the pressure switch 19 and the external power source 9. The pressure switch 19 stops the external power supply 9 via the lead wire 20 and stops energization of the soft X-ray irradiation device 2 when the pressure in the air flow passage 3 falls below the set value.
[0040]
If it does in this way, it will become an apparatus suitable for using in the environment where the combustible solvent gas and powder are contained in external air.
[0041]
That is, when air is no longer supplied from the blower fan 10 (or the air compressor 17) into the air flow passage 3 for some reason, the pressure in the air flow passage 3 decreases to be the same as the external pressure. In this case, external air containing flammable solvent gas or powder enters the air flow passage 3 from the air jet port 14. In such a case, by setting the set value to an external pressure, the pressure switch 19 stops the external power supply 9 via the lead wire 20 and stops the energization of the soft X-ray irradiation device 2.
[0042]
Next, a modification of the air outlet 14 will be described with reference to FIG. In FIG. 5, a diaphragm shutter device 22 including a plurality of shutter blades 21 is attached to the front end portion of the outer box 4 in place of the air jet port 14. The shutter blade 21 is made of a material that shields soft X-rays up to 10 keV. The aperture shutter device 22 has an opening as an air outlet 23. After a flow is formed such that the air supplied to the air flow passage 3 covers the surface of the irradiation window 7, the air is ejected from the air ejection port 23 in the soft X-ray irradiation direction. The aperture shutter device 22 is configured such that the aperture of the air outlet 23, that is, the opening area, is adjusted by driving means (not shown). The driving means is connected to the external power source 9 via the driving cable 24. Yes.
[0043]
Then, by adjusting the opening area of the air outlet 23 by the driving means, the air blowing range to the charged body 1 is adjusted. Thereby, the range in which the air ions generated between the charged body 1 and the irradiation window 7 act on the charged body 1 can be adjusted according to the size of the charged body 1 and the like. At this time, if the air supply amount supplied to the air flow passage 3 by the blower fan 10 (or the air compressor 17) is constant, the jet pressure of the air jetted from the air jet port 23 due to the size of the opening area. In contrast, the reach of the air flow varies. For this reason, it is necessary to adjust the amount of air supplied to the air flow passage 3 in accordance with the opening area, and to make the ejection pressure of the air ejected from the air outlet 23 constant regardless of the size of the opening area.
[0044]
Therefore, the opening area of the air outlet 23 is detected by an opening area detection sensor (not shown) built in the aperture shutter device 22, and the detection signal is output to the air supply amount adjusting means 25 built in the external power source 9. The air supply amount adjusting means 25 controls the drive current to the blower fan 10 (or the air compressor 17) according to the detection signal. As a result, the amount of air supplied from the blower fan 10 (or the air compressor 17) to the air flow passage 3 is automatically adjusted according to the opening area of the air outlet 23 and ejected from the air outlet 23. The air ejection pressure is made constant.
[0045]
FIG. 6 shows another modification of the air jet port 14. In FIG. 6, a louver device 26 is attached to the front end portion of the outer box 4 instead of the air jet port 14.
[0046]
The louver device 26 includes a rotating ring 27 that is rotatably mounted on the outer peripheral portion of the front end portion of the outer box 4, and a plurality of louver blades 28 that are horizontally mounted at equal intervals along the radial direction of the rotating ring 27. With. The rotating ring 27 is made of a material that shields soft X-rays up to 10 keV, and is rotated by ± 180 ° by driving means (not shown). This rotational driving is performed integrally with the louver blade 28. The louver blades 28 are made of a material that can transmit soft X-rays, and a space between the louver blades 28 is an air outlet 29. The air supplied to the air flow passage 3 forms a flow that covers the surface of the irradiation window 7 and is then ejected from the air ejection port 23 in the soft X-ray irradiation direction. Each louver blade 28 is swung in the directions of arrows a and b in FIG. By changing the jet direction of the air jetted from the air jet port 29 by the swing of the louver blade 28 in the direction orthogonal to the axis of the outer box 4 and changing in the circumferential direction by the rotation of the rotary ring 27, The air blowing range with respect to the charged body 1, that is, the range in which air ions generated between the charged body 1 and the irradiation window 7 act on the charged body 1 is widened. In FIG. 6, reference numeral 30 denotes a connection cable interposed between the driving means for the rotating ring 27 and the louver blade 28 and the external power source 9.
[0047]
Further, as shown in FIGS. 7 and 8, the charging body 1 is controlled by controlling the rotation angle of the rotating ring 27 and the swinging angle of the louver blade 28 to blow air to a predetermined position on the surface of the charging body 1. The predetermined position can be removed locally. 7 is a plan view showing a state in which the static eliminator shown in FIG. 6 is arranged above the continuously transported resin film 1a (charged body), and FIG. 8 is a left side view of FIG.
[0048]
That is, as shown in FIG. 7, the static eliminator is arranged with the air outlet 29 facing the surface of the resin film 1 a. Surface potential meter sensors 31a, 31b, 31c for measuring the surface potential of the resin film 1a are arranged at equal intervals in the width direction of the resin film 1a on the surface of the resin film 1a upstream (right side) of the static eliminator. ing. The potentials detected by the surface electrometer sensors 31a, 31b, 31c are compared and calculated by the potential comparison calculation means 32, and the position of the highest potential is determined. Based on the position signal, the louver control means 33 is connected to the louver device 26. The rotation angle of the rotary ring 27 and the swing angle of the louver blade 28 are controlled to correspond to the position of the surface electrometer sensor (31a in this embodiment) at which the highest potential of the resin film 1a is detected at the air outlet 29. (Refer to FIG. 8). Thereby, the air ion produced | generated between the charged body 1 and the irradiation window 7 can be made to act locally efficiently at the site | part of the highest electric potential of the resin film 1a. In this case, it is of course possible to adjust the air ejection amount by controlling the drive current of the air compressor 17 (or the blower fan 10) according to the surface potential of the charged body.
[0049]
Further, FIG. 9 is a plan view showing a state in which the static eliminator shown in FIG. 6 is arranged above the circular plastic molded product 1b (charged body) conveyed intermittently.
[0050]
In this case, as in the case of the resin film 1a, the static eliminator is arranged with the air outlet 29 facing the surface of the plastic molded product 1b. Further, on the surface of the plastic molded product 1b upstream (right side) from the static eliminator, there are a total of five surface electrometer sensors 34a to 34e, four at regular intervals in the circumferential direction and one at the center. Be placed. The potential detected by each of the surface electrometer sensors 34a to 34e is compared and calculated by the potential comparison calculation means 32 to determine the position of the highest potential, and the louver control means 33 is controlled by the louver control means 33 based on the position signal. A surface electrometer sensor (34a in this embodiment) in which the highest potential of the plastic molded product 1b is detected at the air outlet 29 by controlling the rotation angle of the rotary ring 27 and the swing angle of the louver blade 28 of the device 26. Turn to the part corresponding to the position of.
[0051]
In the above embodiment, the case of the most common air as a gas has been described. However, in addition to air, an inert gas such as nitrogen gas or helium can be used. Further, the charged body exists in the air, and a gas different from the atmospheric gas can be used for blowing as in the case where nitrogen gas is used as the blowing gas.
[0052]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, according to the present invention, since the soft X-ray dose is maintained well without being absorbed by the dirt of the soft X-ray irradiating portion, It is possible to provide a device with high static elimination performance that can satisfactorily eliminate static electricity.
[0053]
In addition, the gas supplied to the gas flow passage by the gas supply means flows so as to cover the soft X-ray irradiation unit, and the flowed-in gas is ejected from the gas ejection port in the soft X-ray irradiation direction. In this case, in the vicinity of the charged X-ray irradiated part, which has been less effective for neutralizing the charged body, in addition to the gas ions that are well generated at the position where the soft X-ray reaches the charged body. Since the high-density gas ions generated in step 1 can be effectively acted, the charged body can be neutralized more effectively, and the neutralization performance of the neutralization apparatus can be greatly improved.
[0054]
Furthermore, when a filter is provided between the gas flow path and the gas supply means, clean gas can be sprayed onto the soft X-ray irradiation unit, so that dirt due to dust or the like is generated on the soft X-ray irradiation unit. Can be effectively prevented. When the pressure loss of the supply gas due to the filter is large, a decrease in the jet pressure of the gas jetted from the gas jet port can be prevented by supplying a compressed gas having a predetermined pressure to the gas flow passage.
[0055]
Further, pressure detecting means for detecting the internal pressure of the gas flow passage, and energization for stopping the power supply to the soft X-ray irradiation device when the internal pressure of the gas flow passage detected by the pressure detecting means falls below a predetermined value. By providing the stop means, it is possible to provide an apparatus suitable for use in an environment in which flammable solvent gas or powder is contained in external air or the like.
[0056]
Further, by adjusting the opening area of the gas outlet with the opening area adjusting means and adjusting the gas supply amount to the gas flow passage according to the opening area with the gas supply amount adjusting means, the size of the opening area can be increased or decreased. Since the gas blowing range to the charged body can be adjusted with the gas ejection pressure maintained constant, the range of the range in which the gas ions generated between the charged body and the soft X-ray irradiation unit act on the charged body. Adjustment can be performed satisfactorily according to the size of the charged body. In this case, by providing an opening area detecting means for detecting the opening area of the gas outlet, the gas supply amount adjusting means controls the gas supply amount according to the opening area detected by the opening area detecting means. The adjustment of the gas supply amount according to the opening area can be automated.
[0057]
Further, by changing the gas ejection direction to the direction perpendicular to the ejection direction by the ejection direction variable means, the gas spraying range to the charged body can be widened. Ions can act well. In this case, if the gas ejection port is rotated in the circumferential direction while changing the gas ejection direction to a direction perpendicular to the ejection direction, positive and negative gas ions can act well over a wider range of the charged body. Can be made.
[0058]
Furthermore, surface potential detection means are arranged at a plurality of locations on the surface of the charged body, and directed toward the surface of the charged body where the highest surface potential is detected among the plurality of surface potential detection means by the ejection direction control means. By controlling the ejection direction varying means so that the gas is ejected, a portion where the surface potential of the charged body is high can be efficiently removed locally.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory sectional view of a static eliminator using soft X-rays as an example of an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic view of an experimental apparatus used for explaining a comparison between the apparatus of the present embodiment and a conventional apparatus.
FIG. 3 is an explanatory sectional view for explaining another embodiment of the present invention.
FIG. 4 is an explanatory sectional view for explaining another embodiment of the present invention.
FIG. 5 is an explanatory cross-sectional view for explaining a modified example of the air ejection port.
FIG. 6 is an explanatory cross-sectional view for explaining another modified example of the air outlet.
7 is a plan view for explaining a preferred use example of the apparatus shown in FIG. 6; FIG.
8 is a left side view of FIG.
9 is a plan view for explaining another preferred use example of the apparatus shown in FIG. 6; FIG.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Charged body, 2 ... Soft X-ray irradiation apparatus, 3 ... Air flow path, 4 ... Outer box, 7 ... Irradiation window, 10 ... Blower fan, 12 ... Air filter, 14, 23, 29 ... Air outlet, 17 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Air compressor, 19 ... Pressure switch, 22 ... Aperture shutter device, 25 ... Air supply amount adjusting means, 26 ... Louver device, 28 ... Louver blade, 27 ... Rotating ring, 31a-31c, 34a-34e ... Surface potential Meter sensor 32 ... Potential comparison calculation means 33 ... Louver control means

Claims

A soft X-ray irradiation device having a soft X-ray irradiation unit for irradiating the charged body with soft X-rays is provided, and the charge charged to the charged body is neutralized by positive and negative gas ions generated by the soft X-ray. In the static eliminator thus made,
Comprising a gas flow forming means for forming a gas flow so as to cover the soft X-ray irradiation part ,
The gas flow forming means includes a gas flow path provided around the soft X-ray irradiation device, and a gas supply means for forcibly supplying gas to the gas flow path,
The gas flow passage is formed so that the gas supplied by the gas supply means flows over the soft X-ray irradiation unit,
In front of the soft X-ray irradiation unit, there is a gas outlet through which the gas flowing into the soft X-ray irradiation unit is ejected in the soft X-ray irradiation direction irradiated from the soft X-ray irradiation unit. A static eliminator using soft X-rays, wherein the static eliminator is formed in communication with a flow passage .

Wherein between the gas flow path and the gas supply means, charge removing device filters using soft X-ray according to claim 1, characterized in that it is interposed.

3. The static eliminator using soft X-rays according to claim 2 , wherein the gas supplied to the gas flow passage by the gas supply means is a compressed gas.

Pressure detecting means for detecting the internal pressure of the gas flow passage, and when the internal pressure of the gas flow passage detected by the pressure detection means falls below a predetermined value, the energization to the soft X-ray irradiation device is stopped. The static elimination apparatus using the soft X-ray according to any one of claims 1 to 3 , further comprising an energization stop unit.

An opening area adjusting means for adjusting an opening area of the gas outlet, and a gas supply amount adjusting means for adjusting a gas supply amount to the gas flow path by the gas supplying means according to the opening area of the gas outlet. The static elimination apparatus using the soft X-ray as described in any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned.

An opening area detecting means for detecting an opening area of the gas outlet is provided, and the gas supply amount adjusting means is a gas supplied by the gas supplying means according to the opening area of the gas outlet detected by the opening area detecting means. 6. The static eliminator using soft X-rays according to claim 5, wherein the amount of gas supplied to the flow passage is controlled.

5. The static eliminator using soft X-rays according to claim 1 , further comprising jet direction changing means for changing the jet direction of the gas jetted from the gas jet port.

8. The static eliminator using soft X-rays according to claim 7, wherein the ejection direction variable means changes the gas ejection direction to a direction orthogonal to the ejection direction.

8. The soft X-ray according to claim 7, wherein the jetting direction varying means rotates the gas jetting port in a circumferential direction while changing a gas jetting direction in a direction orthogonal to the jetting direction. The static eliminator used.

Surface potential detecting means disposed at a plurality of locations on the surface of the charged body to detect the surface potential of the charged body, and the ejection direction changing means according to the surface potential of the charged body detected by the surface potential detecting means An ejection direction control means for controlling the gas, and the ejection direction control means is configured to eject gas toward the surface of the charged body where the highest surface potential is detected among the plurality of surface potential detection means. The static eliminator using soft X-rays according to any one of claims 7 to 9 , wherein the ejection direction varying means is controlled.