JP3695891B2 - 表示パネルの隔壁形成方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、PDP(プラズマディスプレイパネル)のように表示領域内に隔壁を有した表示パネルを製造するための隔壁形成方法に関する。
【0002】
PDP、LCDなどの表示パネル(薄型表示デバイス)は、各種の分野で使用されている。特に視認性に優れ且つ高速表示が可能という特徴をもつPDPは、ハイビジョンの表示に好適である。表示品質の向上をめざして、パネル構造及び製造技術の開発が進められている。
【0003】
【従来の技術】
PDPは、一対の基板(通常はガラス板)を150〜200μm程度の微小間隙を設けて対向配置し、周囲を封止することによって内部に放電空間を形成した自己発光型の表示パネルである。マトリクス表示方式のPDPのうち、カラー表示に適した面放電形式のPDPは、表示の列毎に放電空間を仕切る隔壁を有している。隔壁によって列間の放電結合、色再現のクロストークが防止される。このような隔壁は低融点ガラスからなり、基板上に所定パターンの低融点ガラス層を設けるプロセスと低融点ガラス層を焼成するプロセスとを経て形成される。
【0004】
隔壁に対応したパターンの低融点ガラス層を形成する手法としては、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、感光性ペースト法(フォトリソグラフィ法)、及びアディティブ法(リフトオフ法)が知られている。スクリーン印刷法は、ガラスペーストを重ねて印刷するものである。サンドブラスト法は、ベタ膜状に塗布したペーストを研磨材の吹き付けによって部分的に除去するものである。感光性ペースト法は、感光材を混入したガラスペーストをベタ膜状に塗布してフォトリソグラフィによってパターニングするものである。アディティブ法は、隔壁パターンのネガパターンに相当するマスクを設け、マスクの開口部(空隙)にガラスペーストを埋め込んだ後にマスクを除去するものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述の4つの手法の中で最も量産に適しているのはアディティブ法である。すなわち、スクリーン印刷法では、所定高さの隔壁を得るため多重印刷が不可欠であり、工数が多く位置ずれのおそれもある。サンドブラスト法では、ガラスペーストの大半が研磨されるので、材料の無駄が多い。感光性ペースト法では、ガラス粉末による光の減衰により1回の露光の最大厚さが20〜30μmでしかないことから、所定高さの隔壁を得るために露光と現像とを繰り返す必要がある。
【0006】
しかし、アディティブ法では、ガラスペースト層が適度に固く且つ靱性を有していなければ、マスクを除去する際に欠けが生じてしまう。したがって、樹脂に代表されるバインダ、可塑剤などを添加することによってガラスペースト層の強度を最適化しなければならない。ところが、添加物を混合したガラスペーストをマスクの空隙に埋め込むと、焼成段階におけるガラスペースト層の体積減少量が多くなり、隔壁の型崩れ(傾斜、そり上がり)や疎密が生じるという問題があった。また、バインダの混合によってガラス粉末を均一に分散させるのが困難となるとともに、ガラスペーストの粘度を埋込みに適した値に設定するためのペースト組成の選択の自由度が制限されるという問題もあった。
【0007】
本発明は、埋込みによる隔壁形成における形状欠陥の発生を防止するとともに、形成に係わる制約の緩和を図ることを目的としている。他の目的は、量産コストを低減することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
図1は本発明の原理図である。隔壁形状を規定する空隙70aに隔壁材料ペーストを埋め込み、その後に所定の強度及び靱性を得るためのバインダ材料を溶解したビークル60をしみ込ませる。すなわち、空隙を埋める緻密な隔壁材料層91を設け、その隔壁材料層91の隔壁材料粒子間の隙間にビークルを浸透させる。これにより、隔壁材料層91の全体に均等にバインダ材料が行き渡るとともに、あらかじめバインダ材料を混合したペーストを埋め込む場合と違って、隔壁材料粒子間には余分なバインタが注入されず焼成時の体積減少が最小限に抑えられる。それは、ビークル60が浸透する以前の隔壁材料層91では隔壁材料粒子どうしが可能なかぎり接近しているからである。加えて、埋め込みの時点では隔壁材料ペーストには埋め込みに必要な最小限のバインダのみを混合すればよいので、ペースト粘度を小さくして埋め込み状態を良好にすることが容易である。
【0009】
請求項1の発明の方法は、表示領域を区画する隔壁を有した表示パネルの製造において、前記隔壁に対応した形状の凹部が設けられた型にバインダ材料の含有量が型抜きに必要な量よりも少ない隔壁材料ペーストを埋め込んで乾燥させ、前記凹部を埋める隔壁材料層にバインダ材料を含有するビークルをしみ込ませることによって当該隔壁材料層における隔壁材料粒子間にバインダ材料を入り込ませ、その後に隔壁材料層を前記型から隔壁支持基板に転写して焼成するものである。
【0010】
請求項2の発明の方法は、前記ビークルに転写のための接着材料を混合するものである。
請求項3の発明の方法は、表示領域を区画する隔壁を有した表示パネルの製造において、前記隔壁に対応した形状の空隙を有したネガパターンマスクを隔壁支持基板の上に形成し、前記空隙にバインダ材料の含有量がマスク除去に必要な量よりも少ない隔壁材料ペーストを埋め込んで乾燥させ、前記空隙を埋める隔壁材料層にバインダ材料を含有するビークルをしみ込ませることによって当該隔壁材料層における隔壁材料粒子間にバインダ材料を入り込ませ、その後に、前記ネガパターンマスクを除去し、隔壁材料層を焼成するものである。
【0011】
請求項4の発明の方法は、前記ネガパターンマスクの材料としてネガ型感光材を用い、膨潤処理によって前記ネガパターンマスクを除去するものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
図2は本発明に係るPDP1の内部構造を示す分解斜視図である。
PDP1は、マトリクス表示の単位表示領域EUに第1及び第2の表示電極X,Yとアドレス電極Aとが対応する3電極構造をもつ、面放電形式のAC型PDPである。前面側のガラス基板11の上に表示電極X,Y、誘電体層17及び保護膜18が設けられ、背面側のガラス基板21の上にアドレス電極A、隔壁29及び蛍光体層28R,28G,28Bが設けられている。表示電極X,Yは、それぞれが透明導電膜41と金属膜42とから構成され、一定の間隔(面放電ギャップ)を隔てて交互に配列されている。隔壁29の平面視形状は直線帯状であり、隔壁配置パターンはストライプパターンである。隔壁29によって放電空間30が列毎に区画され、且つその間隙寸法が例えば150μmに規定されている。
【0013】
表示の1ピクセル(画素)EGはライン方向に並ぶ3個のサブピクセル(単位表示領域)EUからなる。放電空間30のうちの各列に対応した部分は、全てのラインに跨がって列方向に連続している。各列内のサブピクセルEUの発光色は同一である。各サブピクセルEUに対応した構造体がセル(表示素子)である。
【0014】
このような構造のPDP1は、各ガラス基板11,21について別個に所定の構成要素を設けて前面パネル及び背面パネルを作製し、両パネルを重ね合わせて対向間隙の周縁を封止し、内部の排気及び放電ガスの充填を行う一連の工程によって製造される。背面パネルの作製においては、アドレス電極A、隔壁29、蛍光体層28R,28G,28Bが順にガラス基板21上に設けられる。以下、隔壁29の形成方法を説明する。
【0015】
図3は第1の隔壁形成方法の手順を示す図である。
まず、あらかじめ作製しておいた非接着性材料(シリコーンゴム、フッ素系ゴムなど)の型71の凹部71aに、低融点ガラスペースト290を例えばスクリーン印刷によって埋め込み、強制的に又は自然に乾燥させる〔図3(A)〕。凹部71aは隔壁29に対応した立体形状及び平面視パターンの空隙であり、その寸法は焼成時の体積減少を見込んで所望寸法の隔壁29が得られるように選定されている。後述の型抜き(転写)を容易にするため、凹部71aは底面側の幅が小さい逆錐台状とされている。このような凹部71aを有した型71は、金属製の元型を機械加工などによって作製し、材料のゴムを元型に流して硬化させることにより容易に作製することができる。
【0016】
使用する低融点ガラスペースト290は、型抜き時の欠けを防止するのに十分な量のバインダ材料を含んでいる必要はない。バインダ材料の含有量が少ないペーストは、含有量が多いものと比べて、粘度が小さく印刷性に優れるとともに、ペーストポットライフが長く作業性の点で有利である。
【0017】
次に、適量のバインダ材料を含有するビークル60を型71の表面に塗布する〔図3(B)〕。ここでのバインダ材料は、型抜き時の欠けを防止するための添加物であり、アクリル樹脂・エチルセルロースなどの有機物でもよいし、ヒドロキシシランに代表される無機物でもよい。埋込み用のバインダと同じ物質でもよいが、溶剤の選択性を考慮すれば異なる物質の方が望ましい。また、重合や縮合などの化学変化を経てバインダとなる物質(アクリルモノマーなど)を用いることも可能である。その場合には、反応開始剤をそのまま使用するか、又はビークルに混合する。また、適時に熱や紫外線を与えて反応を開始させればよい。ビークル60の作製に用いる溶剤としては、基本的にはバインダ材料を溶解するもの(アルコール、エステルアセテート、ペグミアなど)であればよい。ただし、埋込み用のバインダを溶解しないものが望ましい。溶剤の選択においては、しみ込み易さ(表面張力)、揮発性、型71の腐食なども考慮する。なお、低融点ガラス層の強度及び靱性を増大させるために、ピークル60にバインダ材料とともに可塑剤・柔軟剤を混合してもよい。
【0018】
乾燥状態の低融点ガラスペースト層291は、固体のガラス粉末が積み重なった微視的にはポーラスな層であるので、ガラス粉末どうしの隙間にビークル60がしみ込み、低融点ガラスペースト層291の全体にバインダ材料が行き渡る。
そのうえ、バインダ材料を混合したペーストを埋め込む場合とは違って、乾燥したペースト層にビークル60をしみ込ませる場合は、密集状態のガラス粉末どうしの隙間にバインダが入り込むので、層中のバインダ材料の含有量が必要最小限となる。つまり、しみ込みによってバインダ材料を注入すると、後の焼成でのバインダの消失による層の体積減少率が小さく、隔壁29の型崩れがほとんど起きない。
【0019】
次に、ビークル60のしみ込みが終わる時期を見計らって、型71から余ったビークル60を除去し、ビークル60のしみ込んだ低融点ガラスペースト層291を乾燥させる。すなわち、ビークル60中の溶剤を蒸発させる。溶剤の蒸発した後の低融点ガラス層292では、バインダ材料がガラス粉末どうしを付着させるバインダとして有効に機能する。続いて、型71にガラス基板21を重ね合わせて上下を反転し、型71とガラス基板21とを離す型抜きを行って低融点ガラス層292をガラス基板21に転写する〔図3(C)〕。転写を確実なものにするには、ビークル60又は埋込み用の低融点ガラスペースト290に接着剤を混合しておけばよい。接着剤としては、ガラス転移点の低い(−20〜−40℃)樹脂が好適であるが、粘着性の材料でもよい。
【0020】
その後、低融点ガラス層292を焼成して隔壁29を得る。焼成においては、低融点ガラス層292のバインダが最小限であるので、バインダの燃え残りがなく、良質の隔壁29を得ることができる。
【0021】
以上の隔壁形成方法は、型71を繰り返し使用することができるので、量産コストの低減に有利である。型71の材料は耐薬品性に優れたものであればよく、ゴムに限定されない。
【0022】
図4は第2の隔壁形成方法の手順を示す図である。
まず、ガラス基板21の上に隔壁配置に対するネガパターンのマスク80を形成する〔図4(A)〕。このとき、マスク材料としてネガ型感光性レジストを用いる。例えばドライフィルム状の感光性レジストをラミネータを用いて圧着し、パターン露光及び現像を行う。ネガ型レジストを用いることにより、厚さ方向の露光量の減衰特性を利用して上窄みの空隙80aを有したマスク80を容易に得ることができる。空隙80aの立体形状及び平面視パターンは隔壁29に対応しており、空隙80aの寸法は焼成時の体積減少を見込んで所望寸法の隔壁29が得られるように選定されている。
【0023】
続いて、低融点ガラスペースト290を埋め込んで乾燥させる〔図4(B)〕。埋め込みには、スクリーン印刷法、バーコータ法、スロットコータ法、カーテンコータ法などを用いることができる。低融点ガラスペースト290は、後に行うマスク除去での欠けを防止するのに十分な量のバインダ材料を含んではいないので、多量のバインダ材料を含むものと比べて粘度が小さく埋め込みに適している。
【0024】
次に、適量のバインダ材料を含有するビークル60をマスク80の表面に塗布する〔図4(C)〕。これにより、乾燥状態の低融点ガラスペースト層291にビークル60がしみ込み、低融点ガラスペースト層291の全体にバインダ材料が行き渡る。
【0025】
ビークル60のしみ込みが終わる時期を見計らって、マスク80の上の余ったビークル60を除去し、マスク80を例えばアルカリ水溶液に浸して膨張させる。バインダ材料がしみ込んだ低融点ガラス層292が上窄み形状であるので、膨張にともなってマスク80は自然に低融点ガラス層292の間から抜け出る。このように膨潤現象を利用したマスク80の除去は、容易且つ確実な処理であって、アッシングと比べて有機不純物の残留するおそれが少ない。
【0026】
その後、低融点ガラス層292を焼成して隔壁29を得る。上述の形成方法と同様に、低融点ガラス層292のバインダが最小限であるので、焼成においてバインダの燃え残りがなく、良質の隔壁29を得ることができる。
【0027】
上述の実施形態ではPDP1を例に挙げたが、本発明はPDP以外の表示パネルにおける隔壁形成にも適用可能である。
【0028】
【発明の効果】
請求項1乃至請求項4の発明によれば、埋込みによる隔壁形成における形状欠陥の発生を防止するとともに、形成に係わる制約を緩和することができる。
【0029】
請求項1の発明によれば、型を繰り返し使用して量産コストを低減することができる。
請求項2の発明によれば、転写の信頼性を高め、歩留りを向上させることができる。
【0030】
請求項4の発明によれば、マスク除去に適した形状のマスクを容易に形成することができるとともに、より確実にマスクを除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理図である。
【図2】本発明に係るPDPの内部構造を示す分解斜視図である。
【図3】第1の隔壁形成方法の手順を示す図である。
【図4】第2の隔壁形成方法の手順を示す図である。
【符号の説明】
1 PDP(表示パネル)
21 ガラス基板(隔壁支持基板)
29 隔壁
60 ビークル
70a 空隙
71 型
71a 凹部
80a 空隙
80 マスク(ネガパターンマスク)
90 乾燥状態の低融点ガラスペースト層(隔壁材料層
290 低融点ガラスペースト(隔壁材料ペースト)
291 乾燥状態の低融点ガラスペースト層(隔壁材料層)
292 低融点ガラス層(ビークルのしみ込んだ隔壁材料層)
Claims (4)
- 表示領域を区画する隔壁を有した表示パネルの製造において、前記隔壁に対応した形状の凹部が設けられた型にバインダ材料の含有量が型抜きに必要な量よりも少ない隔壁材料ペーストを埋め込んで乾燥させ、前記凹部を埋める隔壁材料層にバインダ材料を含有するビークルをしみ込ませることによって当該隔壁材料層における隔壁材料粒子間にバインダ材料を入り込ませ、その後に隔壁材料層を前記型から隔壁支持基板に転写して焼成する
ことを特徴とする表示パネルの隔壁形成方法。 - 前記ビークルに転写のための接着材料を混合する
請求項1記載の表示パネルの隔壁形成方法。 - 表示領域を区画する隔壁を有した表示パネルの製造において、前記隔壁に対応した形状の空隙を有したネガパターンマスクを隔壁支持基板の上に形成し、前記空隙にバインダ材料の含有量がマスク除去に必要な量よりも少ない隔壁材料ペーストを埋め込んで乾燥させ、前記空隙を埋める隔壁材料層にバインダ材料を含有するビークルをしみ込ませることによって当該隔壁材料層における隔壁材料粒子間にバインダ材料を入り込ませ、その後に、前記ネガパターンマスクを除去し、隔壁材料層を焼成する
ことを特徴とする表示パネルの隔壁形成方法。 - 前記ネガパターンマスクの材料としてネガ型感光材を用い、膨潤処理によって前記ネガパターンマスクを除去する
請求項3記載の表示パネルの隔壁形成方法。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP12360597A JP3695891B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | 表示パネルの隔壁形成方法 |
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JP12360597A JP3695891B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | 表示パネルの隔壁形成方法 |
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JPH10312163A JPH10312163A (ja) | 1998-11-24 |
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ID=14864756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP12360597A Expired - Lifetime JP3695891B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | 表示パネルの隔壁形成方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3695891B2 (ja) |
-
1997
- 1997-05-14 JP JP12360597A patent/JP3695891B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
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JPH10312163A (ja) | 1998-11-24 |
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