JP3680854B2 - Paste composition and dielectric composition using the same - Google Patents

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Description

本発明は、コンデンサやコンデンサとしての機能を有する回路材料用の層間絶縁材料や光配線材料として好適な特性を示す誘電体組成物に関する。   The present invention relates to a dielectric composition exhibiting characteristics suitable as a capacitor or an interlayer insulating material for a circuit material having a function as a capacitor or an optical wiring material.

近年、電子機器の小型化、信号の高速化や大容量化の要求に伴って、実装回路部品の高密度化が進んでいる。しかしながら、電気的ノイズが増大し、データエラーが発生することが問題になってきている。この電気的ノイズの発生を抑え、半導体デバイスを安定に動作させるためには、半導体デバイスに近い位置から必要量の電流を供給することが重要である。このためには、半導体デバイス直下に、容量の大きなコンデンサをデカップリングキャパシタとして配置することが有効である。   In recent years, with the demand for downsizing electronic devices, increasing the speed of signals, and increasing the capacity, the density of mounted circuit components has been increasing. However, electrical noise increases and data errors are becoming a problem. In order to suppress the generation of this electrical noise and to operate the semiconductor device stably, it is important to supply a necessary amount of current from a position close to the semiconductor device. For this purpose, it is effective to dispose a capacitor having a large capacity directly under the semiconductor device as a decoupling capacitor.

そこで、プリント配線板にコンデンサを配置する方法として、プリント配線板にチップコンデンサなどの外部コンデンサを配置する方法もある。しかし、小型化の点では、プリント配線板の内層に無機フィラーを加え、プリント配線板自体にコンデンサ機能を持たせる方法が有利であり、無機フィラーと樹脂を混合した複合体を層間絶縁材料として用いる方法(特許文献1、2参照)が知られている。しかしながら、上記の方法による複合体の比誘電率は10〜20程度と低いものであった。   Therefore, as a method of arranging a capacitor on the printed wiring board, there is a method of arranging an external capacitor such as a chip capacitor on the printed wiring board. However, from the viewpoint of miniaturization, it is advantageous to add an inorganic filler to the inner layer of the printed wiring board to give the printed wiring board itself a capacitor function, and a composite of inorganic filler and resin is used as an interlayer insulating material. A method (see Patent Documents 1 and 2) is known. However, the dielectric constant of the composite by the above method was as low as about 10-20.

無機フィラー含有の複合誘電体は、無機フィラーの添加量を増やすことにより比誘電率を上げることができるが、無機フィラーの含有率が50体積%を越えると無機フィラーの含有量を増加させても比誘電率が上がらないという問題があった。また、多量に高誘電率無機フィラーを樹脂に混合すると高粘度になるため、通常、溶剤多量に必要となる。 The composite dielectric containing an inorganic filler can increase the relative dielectric constant by increasing the amount of the inorganic filler added, but if the content of the inorganic filler exceeds 50% by volume, the content of the inorganic filler may be increased. There was a problem that the dielectric constant did not increase. Moreover, since a high viscosity is obtained when a high dielectric constant inorganic filler is mixed with a resin in a large amount, a large amount of solvent is usually required.

これまでの高誘電体組成物は、無機フィラー、樹脂および溶剤を含有しているペースト組成物を脱溶剤、固化して作製していた(特許文献3参照)。しかし、使用する溶剤の量が多いと、残留溶剤による耐熱性の低下や、表層に空隙が発生するなどの欠点が生じていた。   Conventional high dielectric compositions have been prepared by removing and solidifying a paste composition containing an inorganic filler, a resin and a solvent (see Patent Document 3). However, when the amount of the solvent used is large, there are disadvantages such as a decrease in heat resistance due to the residual solvent and a void in the surface layer.

高い比誘電率を得る方法として、2種以上の粒径を有するフィラーを添加し、フィラーの充填率を上げることで比誘電率を高くする方法(特許文献4、5参照)が知られている。しかしながら、これらに用いられているフィラーは、最大の平均粒径を有するフィラーの平均粒径が5μm以上と大きく、このフィラーと樹脂を混合し、得られる複合体の膜厚は、300μm程度と厚くならざるを得なかった。   As a method for obtaining a high relative dielectric constant, a method of increasing the relative dielectric constant by adding a filler having two or more particle sizes and increasing the filling rate of the filler (see Patent Documents 4 and 5) is known. . However, the filler used in these has a large average particle diameter of the filler having the maximum average particle diameter as large as 5 μm or more, and the film thickness of the composite obtained by mixing this filler and resin is as thick as about 300 μm. I had to be.

その他に、誘電率を高くする方法として、粒子径の大きな無機フィラーを用いる手法がある。フィラーの誘電率はフィラーの結晶構造に依存する。一般に無機結晶では、チタン酸バリウムなどに見られるように、陰イオンと陽イオンの重心位置ずれが大きな誘電率をもたらしている。フィラーとして用いる場合、その粒子径が小さくなると、一般に結晶粒子サイズも小さくなり、粒子の表面エネルギーが大きくなり、系全体のエネルギーを低下させるために結晶構造の対称性がより高いものとなる。結晶構造の対称性が高くなると陰イオンと陽イオンの重心位置ずれは小さくなるため、誘電率は小さくなる。したがって、粒子径の大きなフィラーを用いることで、誘電率を大きくすることができる。特にチタン酸バリウムにおいてはこの効果が顕著である。例えば、平均粒径15μmのチタン酸バリウムをフィラーに用い、エチルカルビトール(沸点が202℃)を用いた例(特許文献6参照)がある。しかしながら、フィラーの粒径が大きく、フィラーの比表面積が小さいため、沸点の高い溶剤を用いても、加熱時の脱溶剤が比較的低温で短時間に進む。すると、系全体の収縮に伴う樹脂やフィラーの移動より速い速度で脱溶剤が起きるため、空隙が多く発生する。空隙の発生は誘電率の低下の原因となる。フィラーの平均粒子径が大きいものを用いれば、フィラーそのものの誘電率は大きくなるものの、高沸点溶剤を用いても上記のように空隙の発生が抑制できず、結果として、誘電率は52となり大きな値を得ることができなかった。また、15μmという大きな平均粒径のフィラーを用いている(特許文献6参照)ため、膜厚が25μmと大きくならざるを得ず、従って静電容量密度は1.8nF/cm2と小さい。 In addition, as a method for increasing the dielectric constant, there is a method using an inorganic filler having a large particle size. The dielectric constant of the filler depends on the crystal structure of the filler. In general, in an inorganic crystal, as seen in barium titanate and the like, the displacement of the center of gravity of an anion and cation brings about a large dielectric constant. When used as a filler, when the particle size is reduced, the crystal particle size is generally reduced, the surface energy of the particles is increased, and the symmetry of the crystal structure becomes higher in order to reduce the energy of the entire system. When the symmetry of the crystal structure is increased, the displacement of the center of gravity of the anion and the cation is reduced, so that the dielectric constant is reduced. Therefore, the dielectric constant can be increased by using a filler having a large particle size. This effect is particularly remarkable in barium titanate. For example, there is an example (see Patent Document 6) in which barium titanate having an average particle size of 15 μm is used as a filler and ethyl carbitol (boiling point is 202 ° C.). However, since the particle size of the filler is large and the specific surface area of the filler is small, even when a solvent having a high boiling point is used, solvent removal during heating proceeds at a relatively low temperature in a short time. Then, since solvent removal occurs at a faster rate than the movement of the resin and filler accompanying the shrinkage of the entire system, a lot of voids are generated. The generation of voids causes a decrease in dielectric constant. If a filler having a large average particle diameter is used, the dielectric constant of the filler itself is increased, but even when a high boiling point solvent is used, the generation of voids cannot be suppressed as described above. As a result, the dielectric constant is 52, which is large. The value could not be obtained. Further, since a filler having a large average particle diameter of 15 μm is used (see Patent Document 6), the film thickness must be as large as 25 μm, and therefore the capacitance density is as small as 1.8 nF / cm 2 .

一方で、内部に実装されるシステムの小型・薄型化を実現するために、メモリだけでなく端子数の多いLSIを混載した高密度SiP(システムインパッケージ)の開発が急ピッチで行われているが、このSiPの中に内蔵されるコンデンサは、薄型化が強く要求され、このコンデンサ用層間絶縁材料の膜厚が10μm以下にすることが必要とされている。従って、これまでの技術では、10μm以下という薄型化の要求を満たすことができず、携帯電話などのモバイル機器の高性能化において急速に高まってきた薄型化へのニーズには対応できない。   On the other hand, in order to reduce the size and thickness of the system mounted inside, development of high-density SiP (system in package) not only with memory but also with LSI with a large number of terminals is being carried out at a rapid pace. However, a capacitor built in this SiP is strongly required to be thin, and the film thickness of this capacitor interlayer insulating material is required to be 10 μm or less. Therefore, the conventional technology cannot satisfy the demand for thinning of 10 μm or less, and cannot meet the demand for thinning that has been rapidly increased in the performance enhancement of mobile devices such as mobile phones.

さらには、コンデンサの静電容量は層間絶縁材料の膜厚に反比例するため、層間絶縁材料の膜厚を薄くすることは、コンデンサの大静電容量化の点からも好ましい。   Furthermore, since the capacitance of the capacitor is inversely proportional to the thickness of the interlayer insulating material, it is preferable to reduce the thickness of the interlayer insulating material from the viewpoint of increasing the capacitance of the capacitor.

また、層間絶縁材料に要求される重要な基本特性として、低線膨張係数が挙げられる。樹脂自体の線膨張係数は50ppm/℃以上であり、配線層となる金属、例えば、銅の線膨張係数(17ppm/℃)と比較して非常に大きい。従って、樹脂のみからなる層間絶縁材料を用いた場合、配線層との線膨張係数の相違のために、ストレスによる層間剥離や配線断裂などの不具合が生じる。これに対して、樹脂に無機フィラーを複合化させると線膨張係数を低くすることができるため、無機フィラーと樹脂を混合した複合体を層間絶縁材料として用いた場合には、配線層の線膨張係数の値に近づけることが可能となる。しかしながら、従来の方法では、無機フィラーを十分に高充填化することができず、配線層の線膨張係数にほぼ近い値まで下げることができなかった。
特開平5−57852号公報(特許請求の範囲) 特開平6−85413号公報(特許請求の範囲) 特開平10−158472号公報(特許請求の範囲) 特開昭53−88198号公報(特許請求の範囲) 特開2001−233669号公報(特許請求の範囲) 特開平8−293429号公報(第13〜20段落)
An important basic characteristic required for interlayer insulating materials is a low linear expansion coefficient. The linear expansion coefficient of the resin itself is 50 ppm / ° C. or higher, which is very large as compared with the linear expansion coefficient (17 ppm / ° C.) of a metal serving as a wiring layer, for example, copper. Therefore, when an interlayer insulating material made only of resin is used, problems such as delamination and wiring rupture due to stress occur due to the difference in coefficient of linear expansion from the wiring layer. On the other hand, when an inorganic filler is combined with a resin, the linear expansion coefficient can be lowered. Therefore, when a composite in which an inorganic filler and a resin are mixed is used as an interlayer insulating material, the linear expansion of the wiring layer It becomes possible to approximate the value of the coefficient. However, in the conventional method, the inorganic filler could not be sufficiently filled, and the value could not be lowered to a value almost close to the linear expansion coefficient of the wiring layer.
JP-A-5-57852 (Claims) JP-A-6-85413 (Claims) JP-A-10-158472 (Claims) JP-A-53-88198 (Claims) JP 2001-233669 A (Claims) JP-A-8-293429 (paragraphs 13 to 20)

かかる状況に鑑み、本発明は、線膨張係数が低い高誘電体組成物を得ることを目的とし、さらには、高密度SiPに内蔵される大静電容量コンデンサ用層間絶縁材料として十分な薄型化が達成された誘電体組成物と光配線材料を提供する。   In view of such a situation, the present invention aims to obtain a high dielectric composition having a low coefficient of linear expansion, and is further thinned sufficiently as an interlayer insulating material for large capacitance capacitors incorporated in high-density SiP. A dielectric composition and an optical wiring material are provided.

すなわち本発明は、無機フィラー、エポキシ樹脂、および溶剤を沸点160℃以上の溶剤を含有してなるペースト組成物であって、溶剤が沸点160℃以上の溶剤を1種以上有し、無機フィラーの平均粒径が5μm以下である無機フィラーを有し、全溶剤量がペースト組成物全量の25重量%以下であることを特徴とするペースト組成物である。 That is, the present invention is an inorganic filler, an epoxy resin, and a solvent a paste composition comprising a boiling point 160 ° C. or more solvents, the solvent has a boiling point 160 ° C. or more solvents one or more, the inorganic filler The paste composition has an inorganic filler having an average particle size of 5 μm or less, and the total amount of solvent is 25% by weight or less of the total amount of the paste composition.

また本発明のもう一つの態様は、無機フィラーと樹脂を有する誘電体組成物であって、無機フィラーが少なくとも2種類の平均粒径を有し、前記平均粒径のうちの最大の平均粒径が0.1〜5μmであり、最小の平均粒径に対し、最大の平均粒径が3倍以上であることを特徴とする誘電体組成物である。   Another embodiment of the present invention is a dielectric composition having an inorganic filler and a resin, wherein the inorganic filler has at least two types of average particle diameters, and the maximum average particle diameter of the average particle diameters The dielectric composition is characterized in that the maximum average particle size is 3 times or more with respect to the minimum average particle size.

本発明によれば、比誘電率が50以上と高い誘電体の組成物を容易に得ることができる。さらに本発明の組成物は、配線金属の線膨張係数にほぼ近い低線膨張係数を有しているため、層間絶縁材料として用いた場合、配線層との間での剥離や配線断裂などの不具合が生じにくく、高い信頼性を有するコンデンサを得ることができる。さらには、均一な膜厚、均一な物性を有する薄膜を容易に得ることができる。これは大静電容量に適しているため、高密度SiPに内蔵されるコンデンサやコンデンサとしての機能を有する回路基板材料用層間絶縁材料に有用である。   According to the present invention, a dielectric composition having a dielectric constant as high as 50 or more can be easily obtained. Furthermore, since the composition of the present invention has a low linear expansion coefficient almost similar to the linear expansion coefficient of the wiring metal, when used as an interlayer insulating material, problems such as peeling between the wiring layers and wiring tearing Therefore, a capacitor having high reliability can be obtained. Furthermore, a thin film having a uniform film thickness and uniform physical properties can be easily obtained. Since this is suitable for a large capacitance, it is useful for a capacitor incorporated in a high-density SiP and an interlayer insulating material for circuit board materials having a function as a capacitor.

本発明のペースト組成物は、無機フィラー、エポキシ樹脂、溶剤からなるものであって、無機フィラーの平均粒径が5μm以下である無機フィラーを有し、溶剤が沸点160℃以上の溶剤を含み、かつ、全溶剤量がペースト組成物全量の25重量%以下であることを特徴とするペースト組成物である。 The paste composition of the present invention comprises an inorganic filler, an epoxy resin, and a solvent, the inorganic filler has an inorganic filler having an average particle size of 5 μm or less, and the solvent contains a solvent having a boiling point of 160 ° C. or higher. And the total amount of solvent is 25 weight% or less of the total amount of paste composition, It is a paste composition characterized by the above-mentioned.

また本発明は、無機フィラーと樹脂を有する誘電体組成物であって、少なくとも2種類の平均粒径を有する無機フィラーを含み、そのうちの最大の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径が0.1〜5μmであり、最小の平均粒径に対し、最大の平均粒径が3倍以上であることを特徴とする誘電体組成物である。   The present invention also relates to a dielectric composition having an inorganic filler and a resin, including an inorganic filler having at least two types of average particle diameters, and the average particle diameter of the inorganic filler having the largest average particle diameter is 0. The dielectric composition is characterized in that the maximum average particle size is 3 times or more with respect to the minimum average particle size.

本発明のペースト組成物中の全溶剤量は、ペースト組成物全量の25重量%以下であることが必要である。好ましくは20重量%以下、より好ましくは10重量%以下である。また1重量%以上が好ましい。溶剤量が25重量%以下では、乾燥時の溶剤揮発による空隙の発生が抑制されて、誘電体組成物の比誘電率を高くすることができる。また吸湿の原因となりうる空隙量が小さいために、湿度、水分の影響による物性変化が小さくできる。さらに保存耐久性が優れている。溶剤量が25重量%より多いと、溶剤を除去する乾燥工程および熱硬化工程で空隙部が増加し、誘電体組成物の比誘電率が低下することが多い。溶剤量が1重量%未満では溶剤が少ないため、ペースト組成物の粘度や均一性が損なわれる。   The total amount of solvent in the paste composition of the present invention needs to be 25% by weight or less of the total amount of the paste composition. Preferably it is 20 weight% or less, More preferably, it is 10 weight% or less. Moreover, 1 weight% or more is preferable. When the amount of solvent is 25% by weight or less, generation of voids due to solvent volatilization during drying is suppressed, and the dielectric constant of the dielectric composition can be increased. In addition, since the amount of voids that can cause moisture absorption is small, changes in physical properties due to the influence of humidity and moisture can be reduced. Furthermore, the storage durability is excellent. When the amount of the solvent is more than 25% by weight, voids increase in the drying step and the thermosetting step for removing the solvent, and the relative dielectric constant of the dielectric composition often decreases. If the amount of the solvent is less than 1% by weight, the solvent is small and the viscosity and uniformity of the paste composition are impaired.

なお、無機フィラーの充填率が高くなるにつれて、上記溶剤量による影響は大きくなり、無機フィラーがペースト組成物に含まれる固形分の85重量%以上の場合に、本発明の効果が特に大きい。   As the filling rate of the inorganic filler increases, the influence of the amount of the solvent increases, and the effect of the present invention is particularly great when the inorganic filler is 85% by weight or more of the solid content contained in the paste composition.

本発明で用いられる溶剤は、少なくともその1種が、沸点160℃以上である必要がある。好ましくは180℃以上、さらに好ましくは200℃以上である。溶剤の沸点が160℃以上では、空隙の発生が抑制されて、誘電体組成物の比誘電率を高くすることができる。沸点が160℃より低いと、溶剤の揮発速度が速いため、熱処理時の物質移動による緻密化が追いつかず、空隙部が増加し、誘電体組成物の比誘電率が低下することが多くなる。また、本発明で用いられる溶剤は、沸点300℃以下であることが好ましく、より好ましくは280℃以下である。沸点が280℃より高くなると、脱溶剤のための処理が高温となり、高温化によって樹脂が分解し、誘電特性の劣化などが起こる。また300℃より大きくなると、樹脂の分解がより激しくなり、機械強度の低下が起きる。本発明のペースト組成物に使用する溶剤は、沸点160℃以上のもの1種のみでもよいが、沸点160℃以上の溶剤を含有していれば、それ以外の溶剤を含んでいても良い。   At least one of the solvents used in the present invention must have a boiling point of 160 ° C. or higher. Preferably it is 180 degreeC or more, More preferably, it is 200 degreeC or more. When the boiling point of the solvent is 160 ° C. or higher, the generation of voids is suppressed and the dielectric constant of the dielectric composition can be increased. When the boiling point is lower than 160 ° C., the volatilization rate of the solvent is fast, so that densification due to mass transfer during heat treatment cannot catch up, voids increase, and the dielectric constant of the dielectric composition often decreases. In addition, the solvent used in the present invention preferably has a boiling point of 300 ° C. or lower, more preferably 280 ° C. or lower. When the boiling point is higher than 280 ° C., the treatment for removing the solvent becomes high temperature, the resin is decomposed by the high temperature, and the dielectric property is deteriorated. On the other hand, when the temperature exceeds 300 ° C., the decomposition of the resin becomes more severe and the mechanical strength is lowered. The solvent used in the paste composition of the present invention may be only one solvent having a boiling point of 160 ° C. or higher, but may contain other solvents as long as it contains a solvent having a boiling point of 160 ° C. or higher.

沸点160℃以上の溶剤は、メシチレン、アセトニルアセトン、メチルシクロヘキサノン、ジイソブチルケトン、メチルフェニルケトン、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、イソホロン、ジエチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、γ−ブチロラクタム、エチレングリコールアセテート、3−メトキシ3−メチルブタノールおよびそのアセテート、3−メトキシブチルアセテート、2−エチルヘキシルアセテート、シュウ酸エステル、マロン酸ジエチル、マレイン酸エステル、炭酸プロピレン、ブチルセロソルブ、エチルカルビトール等がある。   Solvents having a boiling point of 160 ° C or higher are mesitylene, acetonylacetone, methylcyclohexanone, diisobutylketone, methylphenylketone, dimethylsulfoxide, γ-butyrolactone, isophorone, diethylformamide, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, γ-butyrolactam, ethylene glycol Examples thereof include acetate, 3-methoxy-3-methylbutanol and its acetate, 3-methoxybutyl acetate, 2-ethylhexyl acetate, oxalate ester, diethyl malonate, maleate ester, propylene carbonate, butyl cellosolve, ethyl carbitol and the like.

本発明において、エステル構造を含む溶剤が好ましく使用され、さらに好ましくはラクトン構造を含む溶剤が好ましい。最も好ましい溶剤はγ−ブチロラクトンである。本発明でいう沸点とは、1気圧、即ち1.013×10 N/mの圧力下での沸点である。沸点の測定は公知の技術を用いて行うことができ、特に限定されないが、例えば、Swietoslawskiの沸点計を用いることで測定できる。 In the present invention, a solvent containing an ester structure is preferably used, more preferably a solvent containing a lactone structure. The most preferred solvent is γ-butyrolactone. The boiling point as used in the field of this invention is a boiling point under the pressure of 1 atmosphere, ie, 1.013 * 10 < 5 > N / m < 2 >. The boiling point can be measured using a known technique and is not particularly limited. For example, the boiling point can be measured using a Swietoslawski boiling point meter.

それ以外の本発明で用いられる溶剤は、樹脂を溶解するものを適宜選択することができる。溶剤は、例えば、メチルセロソルブ、N,N−ジメチルホルムアミド、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、トルエン、クロロベンゼン、トリクロロエチレン、ベンジルアルコール、メトキシメチルブタノール、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルおよびそのアセテートなどや、これらのうちの1種類以上を含有する有機溶剤混合物が好ましく用いられる。   As other solvents used in the present invention, those capable of dissolving the resin can be appropriately selected. Solvents include, for example, methyl cellosolve, N, N-dimethylformamide, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, toluene, chlorobenzene, trichloroethylene, benzyl alcohol, methoxymethylbutanol, ethyl lactate , Propylene glycol monomethyl ether and its acetate, and organic solvent mixtures containing one or more of these are preferably used.

無機フィラーの形状は、球状、略球状、楕円球状、針状、板状、鱗片状、棒状などが挙げられるが、特に、球形あるいは略球形であることが好ましい。球状あるいは略球状のフィラーは、最も比表面積が少ないために充填時にフィラー凝集や樹脂流動性低下などを生じにくいからである。これらのうち1種を単独で用いたり、2種以上を混合して用いることができる。   Examples of the shape of the inorganic filler include a spherical shape, a substantially spherical shape, an elliptical spherical shape, a needle shape, a plate shape, a scale shape, and a rod shape, and a spherical shape or a substantially spherical shape is particularly preferable. This is because spherical or substantially spherical fillers have the smallest specific surface area, and therefore are less likely to cause filler aggregation and resin fluidity reduction during filling. One of these can be used alone, or two or more can be mixed and used.

低線膨張係数、および高比誘電率を得るためには、これらの無機フィラーを高充填率で樹脂に含有させることが望ましい。   In order to obtain a low linear expansion coefficient and a high relative dielectric constant, it is desirable to contain these inorganic fillers in the resin at a high filling rate.

層間絶縁材料として一般に使用される有機樹脂は、例えば、ポリイミドで30〜50ppm/℃、エポキシ樹脂で50ppm/℃以上の線膨張係数を有する。これは、配線金属、例えば、銅の線膨張係数17ppm/℃に比較して非常に大きいが、無機フィラーを混合させることにより、線膨張係数を下げることが可能となる。   An organic resin generally used as an interlayer insulating material has a linear expansion coefficient of, for example, 30 to 50 ppm / ° C. for polyimide and 50 ppm / ° C. or more for epoxy resin. This is very large as compared with a linear expansion coefficient of 17 ppm / ° C. of a wiring metal, for example, copper, but the linear expansion coefficient can be lowered by mixing an inorganic filler.

また、無機フィラーと樹脂からなる誘電体組成物において、その誘電体組成物の比誘電率は、複合体における比誘電率の導出式、いわゆる下記に記載した対数混合則(1)に従う(セラミックス材料科学入門(応用編)、内田老鶴圃新社、W.D.Kingery著、小松和蔵ら訳、p912)。高誘電率を有する無機フィラーの含有量が高いほど、得られる誘電体組成物の比誘電率は高くなる。   Further, in a dielectric composition composed of an inorganic filler and a resin, the relative dielectric constant of the dielectric composition is in accordance with a derivation formula for the relative dielectric constant of the composite, so-called logarithmic mixing rule (1) described below (ceramic material) Introduction to Science (Applied), Uchida Otsukuru Shinsha, WDKingery, translated by Komatsu Kazuzo et al., P912). The higher the content of the inorganic filler having a high dielectric constant, the higher the relative dielectric constant of the obtained dielectric composition.

Figure 0003680854
Figure 0003680854

ε :複合体の比誘電率
εi:複合体の各成分の比誘電率
Vi :複合体の各成分の体積分率。
ε: relative dielectric constant of the composite εi: relative dielectric constant of each component of the composite Vi: volume fraction of each component of the composite.

無機フィラーを高充填率で樹脂に含有させるために、2種類以上の異なる平均粒径を持つものを混合して用いることが好ましい。単一粒径のフィラーを充填した場合、特に、フィラーが球状あるいは略球状である場合には、高密度に充填するとフィラーとフィラーの間に菱形状の空隙が生じ、この空隙には、他のフィラーが侵入することは出来ない。しかし、この空隙以下の大きさのフィラーであればさらにこの隙間に侵入でき、容易に充填率を向上できる。   In order to contain the inorganic filler in the resin at a high filling rate, it is preferable to use a mixture of two or more types having different average particle diameters. When a filler having a single particle size is filled, particularly when the filler is spherical or substantially spherical, a diamond-shaped void is formed between the filler and the filler when filled at a high density. The filler cannot enter. However, if the filler has a size smaller than the gap, the filler can further enter the gap, and the filling rate can be easily improved.

本発明では含まれる無機フィラーにおいて、最大の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径と最小の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径の差比は、大きいほど好ましく、最大の平均粒径は最小の平均粒径に対し、3倍以上、さらには5倍以上であることが好ましい。差比が小さいと、小さいフィラーが効率よく大きいフィラー間の空隙に侵入しにくい。一方、差比が大きと、小さいフィラーが凝集しやすくなり、分散安定性が低下する。好ましくは30倍以下、さらには10倍以下であることが好ましい。   In the inorganic filler included in the present invention, the difference ratio between the average particle diameter of the inorganic filler having the maximum average particle diameter and the average particle diameter of the inorganic filler having the minimum average particle diameter is preferably as large as possible. Is preferably at least 3 times, more preferably at least 5 times the minimum average particle size. When the difference ratio is small, it is difficult for small fillers to efficiently enter the gaps between large fillers. On the other hand, when the difference ratio is large, small fillers tend to aggregate and the dispersion stability decreases. Preferably it is 30 times or less, more preferably 10 times or less.

少なくとも2種類の平均粒径を有した無機フィラーを用いる場合、その最大の平均粒径を持つ無機フィラーの総体積Vaと最小の平均粒径を持つ無機フィラーの総体積Vbが、0.05≦Vb/(Va+Vb)<0.5を満たすことが好ましい。つまり小さいフィラーの量は、体積比にしてフィラー全量の5%以上50%未満であることが好ましい。5%未満の場合には、空隙に侵入して充填量を上げる効果がほとんど得られず、また50%以上では、大きいフィラーが作る空隙よりも小さいフィラーの占める体積が大きくなり、相互侵入して充填量を増やす効果は小さくなる。   When an inorganic filler having at least two types of average particle diameter is used, the total volume Va of the inorganic filler having the maximum average particle diameter and the total volume Vb of the inorganic filler having the minimum average particle diameter are 0.05 ≦ It is preferable to satisfy Vb / (Va + Vb) <0.5. That is, the amount of the small filler is preferably 5% or more and less than 50% of the total amount of the filler in terms of volume ratio. If it is less than 5%, the effect of increasing the filling amount by entering the void is hardly obtained, and if it is 50% or more, the volume occupied by the small filler is larger than the void formed by the large filler, and the interpenetration occurs. The effect of increasing the filling amount is reduced.

これらの大きいフィラー、小さいフィラーの他に、更に他の粒径のフィラーを混合しても良く、3種類以上でも適宜粒径と配合比を選ぶことでフィラーを混合することによる充填率向上の効果が得られる。   In addition to these large fillers and small fillers, fillers of other particle sizes may be mixed, and the effect of improving the filling rate by mixing the fillers by appropriately selecting the particle size and blending ratio even if there are three or more types Is obtained.

本発明で用いられる無機フィラーは、少なくとも2種類の異なる平均粒径を有する無機フィラーを含み、そのうち最大の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径が5μm以下であることが好ましい。より好ましくは2μm以下、さらに好ましくは1μm以下である。また0.1μm以上、より好ましくは0.2μm以上、さらに好ましくは0.3μm以上である。ここで、最大の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径が5μmより大きいものを用いて、膜厚10μm以下のコンデンサを作製しようとすると、フィラーが膜表面に突出しやすくなるために、安定した誘電特性が得ることが難しい。また、最大の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径が2μm以下のものを用いた場合には、フィラー分散液のフィラーが沈降しにくい。さらに、最大の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径が1μm以下のものを用いた場合には、長期保管においてフィラーが沈降しにくく、保管条件が制限されないことがある。一方、比誘電率が大きい材料を得ようとした場合に、最大の平均粒径が0.1μmより小さい場合には、それらのフィラーの比表面積が大きいために結晶構造の対称性が高くなりやすく、高誘電率相が得られにくく、誘電体組成物の比誘電率が低下してしまう原因となる。また、最大の平均粒径が0.2μm以上だと、フィラー表面積が小さくなり、フィラー分散ペーストが凝集しにくく、粘度変化が小さく、混練、分散や塗布加工が影響を受けにくい。さらに、最大の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径が0.3μm以上だと、最大の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径と最小の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径の差比を十分大きくとれるので、充填率が左右されない。   The inorganic filler used in the present invention includes at least two kinds of inorganic fillers having different average particle diameters, and the average particle diameter of the inorganic filler having the largest average particle diameter is preferably 5 μm or less. More preferably, it is 2 micrometers or less, More preferably, it is 1 micrometer or less. Moreover, it is 0.1 micrometer or more, More preferably, it is 0.2 micrometer or more, More preferably, it is 0.3 micrometer or more. Here, when a capacitor having a film thickness of 10 μm or less was made using an inorganic filler having a maximum average particle diameter of an average particle diameter larger than 5 μm, the filler was likely to protrude on the film surface, so that it was stable. It is difficult to obtain dielectric properties. Moreover, when the average particle diameter of the inorganic filler having the maximum average particle diameter is 2 μm or less, the filler in the filler dispersion liquid hardly settles. Furthermore, when the inorganic filler having the maximum average particle diameter has an average particle diameter of 1 μm or less, the filler is less likely to settle during long-term storage, and storage conditions may not be limited. On the other hand, when trying to obtain a material having a large relative dielectric constant, if the maximum average particle size is smaller than 0.1 μm, the symmetry of the crystal structure tends to be high because the specific surface area of those fillers is large. It is difficult to obtain a high dielectric constant phase, which causes a decrease in the dielectric constant of the dielectric composition. On the other hand, when the maximum average particle size is 0.2 μm or more, the filler surface area becomes small, the filler-dispersed paste hardly aggregates, the viscosity change is small, and kneading, dispersion, and coating processing are hardly affected. Furthermore, when the average particle size of the inorganic filler having the maximum average particle size is 0.3 μm or more, the average particle size of the inorganic filler having the maximum average particle size and the average particle size of the inorganic filler having the minimum average particle size Therefore, the filling ratio is not affected.

また本発明では、最小の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径は0.01〜0.1μmであることが好ましい。さらには0.04〜0.06μmのものを用いることがより好ましい。なお最大の平均粒径と最小の平均粒径の差比をとる必要があるため、最小の平均粒径を有する無機フィラーは、最大の平均粒径によって、上記の範囲から適宜選択される。最小の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径は、最大の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径との差比を大きくとった方が、充填率を高めることができる。この理由により、最小の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径は、最大の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径の好ましい範囲から考えて、0.1μm以下が好ましく、より好ましくは、0.06μm以下である。最小の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径が0.04μm以上では、分散後の再凝集が起こりにくく、ペーストの分散安定性が良い。また、最小の平均粒径を有する無機フィラーの平均粒径が0.01μm以上では、それらのフィラーどうしが二次凝集しにくくなるために、凝集体を解し、分散させやすい。 Moreover, in this invention, it is preferable that the average particle diameter of the inorganic filler which has the minimum average particle diameter is 0.01-0.1 micrometer. Furthermore, it is more preferable to use a 0.04-0.06 micrometer thing. Since it is necessary to take a difference ratio between the maximum average particle size and the minimum average particle size, the inorganic filler having the minimum average particle size is appropriately selected from the above range depending on the maximum average particle size. The average particle size of the inorganic filler having the smallest average particle size can be increased by increasing the difference ratio from the average particle size of the inorganic filler having the largest average particle size. For this reason, the average particle diameter of the inorganic filler having the smallest average particle diameter is preferably 0.1 μm or less, more preferably, considering the preferred range of the average particle diameter of the inorganic filler having the largest average particle diameter. 0.06 μm or less. When the average particle size of the inorganic filler having the minimum average particle size is 0.04 μm or more, re-aggregation after dispersion hardly occurs and the dispersion stability of the paste is good. The average particle size of the inorganic filler having the minimum average particle size is 0 . When the thickness is 01 μm or more, the fillers are less likely to agglomerate, so that the aggregates are easily broken and dispersed.

本発明のペースト組成物及び誘電体組成物中に含まれる平均粒径の測定は、誘電体組成物薄膜を形成し、その薄膜の膜厚方向に膜断面を切り出した超薄切片に対してXMA測定、および透過型電子顕微鏡(TEM)観察を行うことにより測定できる。無機フィラーと樹脂で電子線に対する透過率が異なるので、TEM観察像中で無機フィラーと樹脂はコントラストの違いにより識別できる。複数種の無機フィラーが使用されている場合の各無機フィラーの同定はXMA測定に基づく元素分析および電子線回折像観察による結晶構造解析を行うことにより可能である。このようにして得られたフィラーと樹脂の面積の分布を画像解析により求め、無機フィラーの断面を円形と近似して面積から粒径を算出できる。粒径の評価は倍率5000倍と40000倍のTEM画像について行えばよい。算出された粒径の分布を倍率が5000倍のTEM画像において0.1μm刻みのヒストグラム、倍率が40000倍のTEM画像において0.01μm刻みのヒストグラムで表し、度数が極大値となる級の中心値を平均粒径とする。本発明でいう「少なくとも2種類の平均粒径を有する」とは、この極大値が2つ以上存在することを意味し、組成物に含まれる無機フィラーの粒径分布における極大値が2つ以上存在することである。なお、粒径分布の評価法としては上記の方法でTEMの代わりに走査型電子顕微鏡(SEM)を用いても良い。   The average particle size contained in the paste composition and the dielectric composition of the present invention is measured using XMA on an ultrathin slice obtained by forming a dielectric composition thin film and cutting the film cross section in the film thickness direction of the thin film. It can be measured by measurement and observation with a transmission electron microscope (TEM). Since the transmittance with respect to the electron beam is different between the inorganic filler and the resin, the inorganic filler and the resin can be identified by the difference in contrast in the TEM observation image. When a plurality of types of inorganic fillers are used, each inorganic filler can be identified by elemental analysis based on XMA measurement and crystal structure analysis by electron diffraction image observation. The distribution of the area of the filler and resin thus obtained is obtained by image analysis, and the particle diameter can be calculated from the area by approximating the cross section of the inorganic filler to be circular. The particle size may be evaluated for TEM images with a magnification of 5000 times and 40000 times. The calculated particle size distribution is represented by a histogram in increments of 0.1 μm in a TEM image with a magnification of 5000 times and a histogram in 0.01 μm increments in a TEM image with a magnification of 40000 times. Is the average particle size. In the present invention, “having at least two kinds of average particle diameters” means that there are two or more maximum values, and two or more maximum values in the particle size distribution of the inorganic filler contained in the composition. It exists. As an evaluation method of the particle size distribution, a scanning electron microscope (SEM) may be used instead of TEM in the above method.

また、他の手法として、フィラーのブラウン運動による散乱光の揺らぎを測定する動的光散乱法、フィラーを電気泳動したときの散乱光のドップラー効果を測定する電気泳動光散乱法などによって平均粒径を測定することができる。レーザー回折、散乱式の粒度分布測定装置としては例えば堀場製作所製LA−920や島津製作所製SALD−1100、日機装製MICROTRAC−UPA150等がある。   Other methods include a dynamic light scattering method that measures the fluctuation of the scattered light due to the Brownian motion of the filler, and an electrophoretic light scattering method that measures the Doppler effect of the scattered light when the filler is electrophoresed. Can be measured. Examples of laser diffraction and scattering type particle size distribution measuring apparatuses include LA-920 manufactured by Horiba, SALD-1100 manufactured by Shimadzu, and MICROTRAC-UPA150 manufactured by Nikkiso.

無機フィラーの誘電特性としては、比誘電率が50〜30000のものを用いることが好ましい。比誘電率が50未満の無機フィラーを用いると比誘電率が十分大きい誘電体組成物が得られない。また、比誘電率が30000を越えるものでは、比誘電率の温度特性が悪くなる傾向があるため、好ましくない。ここでいう無機フィラーの比誘電率とは、無機フィラーを原料粉末として、加熱、焼成して得られる焼結体の比誘電率をさす。焼結体の比誘電率は、例えば以下の手順によって測定する。無機フィラーをポリビニルアルコールのようなバインダー樹脂、有機溶剤もしくは水を混合して、ペースト状組成物を作製したのち、ペレット成型器の中に充填して、乾燥させ、ペレット状固形物を得る。そのペレット状固形物を、例えば900〜1200℃程度で焼成することにより、バインダー樹脂を分解、除去し、無機フィラーを焼結させ、無機成分のみからなる焼結体を得ることができる。このとき、焼結体の空隙は十分小さく、理論密度と実測密度から計算した空隙率が1%以下となっていることが必要である。この焼結体ペレットに上下電極を形成し、静電容量および寸法の測定結果から、比誘電率を計算する。   As the dielectric properties of the inorganic filler, those having a relative dielectric constant of 50 to 30,000 are preferably used. When an inorganic filler having a relative dielectric constant of less than 50 is used, a dielectric composition having a sufficiently large relative dielectric constant cannot be obtained. Moreover, when the relative dielectric constant exceeds 30000, the temperature characteristic of the relative dielectric constant tends to deteriorate, which is not preferable. The relative dielectric constant of the inorganic filler here refers to the relative dielectric constant of a sintered body obtained by heating and firing the inorganic filler as a raw material powder. The relative dielectric constant of the sintered body is measured, for example, by the following procedure. The inorganic filler is mixed with a binder resin such as polyvinyl alcohol, an organic solvent or water to prepare a paste-like composition, which is then filled into a pellet molding machine and dried to obtain a pellet-like solid. By baking the pellet-shaped solid material at, for example, about 900 to 1200 ° C., the binder resin can be decomposed and removed, the inorganic filler can be sintered, and a sintered body consisting only of the inorganic component can be obtained. At this time, the voids in the sintered body are sufficiently small, and the porosity calculated from the theoretical density and the measured density is required to be 1% or less. Upper and lower electrodes are formed on this sintered pellet, and the relative dielectric constant is calculated from the measurement results of capacitance and dimensions.

無機フィラーは、チタン酸バリウム系、チタン酸ジルコン酸バリウム系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸カルシウム系、チタン酸ビスマス系、チタン酸マグネシウム系、チタン酸バリウムネオジム系、チタン酸バリウム錫系、マグネシウムニオブ酸バリウム系、マグネシウムタンタル酸バリウム系、チタン酸鉛系、ジルコン酸鉛系、チタン酸ジルコン酸鉛系、ニオブ酸鉛系、マグネシウムニオブ酸鉛系、ニッケルニオブ酸鉛系、タングステン酸鉛系、タングステン酸カルシウム系、マグネシウムタングステン酸鉛系、二酸化チタン系、などを挙げることができる。チタン酸バリウム系とは、チタン酸バリウム結晶内の一部の元素を他の元素で置換したり、結晶構造内に他の元素を侵入させたりした、チタン酸バリウムを母材とする固溶体を含めた総称である。その他のチタン酸ジルコン酸バリウム系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸カルシウム系、チタン酸ビスマス系、チタン酸マグネシウム系、チタン酸バリウムネオジム系、チタン酸バリウム錫系、マグネシウムニオブ酸バリウム系、マグネシウムタンタル酸バリウム系、チタン酸鉛系、ジルコン酸鉛系、チタン酸ジルコン酸鉛系、ニオブ酸鉛系、マグネシウムニオブ酸鉛系、ニッケルニオブ酸鉛系、タングステン酸鉛系、タングステン酸カルシウム系、マグネシウムタングステン酸鉛系、二酸化チタン系もいずれも同様で、それぞれを母材とする固溶体を含めた総称である。   Inorganic fillers are barium titanate, barium zirconate titanate, strontium titanate, calcium titanate, bismuth titanate, magnesium titanate, barium neodymium titanate, barium tin titanate, magnesium niobium Barium oxide, barium magnesium tantalate, lead titanate, lead zirconate, lead zirconate titanate, lead niobate, lead magnesium niobate, lead nickel niobate, lead tungstate, tungsten Examples thereof include calcium oxide, lead magnesium tungstate, and titanium dioxide. The barium titanate system includes solid solutions based on barium titanate, in which some elements in the barium titanate crystal are replaced with other elements or other elements are infiltrated into the crystal structure. It is a generic name. Other barium zirconate titanate, strontium titanate, calcium titanate, bismuth titanate, magnesium titanate, barium neodymium titanate, barium tin titanate, barium magnesium niobate, magnesium tantalate Barium, lead titanate, lead zirconate, lead zirconate titanate, lead niobate, lead magnesium niobate, lead nickel niobate, lead tungstate, calcium tungstate, magnesium tungstic acid Both lead-based and titanium dioxide-based are the same, and are generic names including solid solutions that use each as a base material.

特に、ペロブスカイト型結晶構造、あるいは複合ペロブスカイト型結晶構造を有するフィラーを用いることが好ましい。これらのうち1種を単独で用いたり、2種以上を混合して用いたりすることができるが、少なくとも2種の異なる平均粒径を有する無機フィラーが同一化学組成である方が誘電特性の点から、好ましい。特に、高い比誘電率を有する誘電体組成物を得る場合には、商業的利便性との両立の点から、主としてチタン酸バリウムからなる化合物を用いることが好ましい。但し、誘電特性や温度安定性を向上させる目的で、シフター、デプレッサー剤などを少量添加して用いてよい。   In particular, it is preferable to use a filler having a perovskite crystal structure or a composite perovskite crystal structure. Of these, one kind can be used alone, or two or more kinds can be used in combination, but at least two kinds of inorganic fillers having different average particle diameters have the same chemical composition in terms of dielectric properties. Therefore, it is preferable. In particular, when obtaining a dielectric composition having a high dielectric constant, it is preferable to use a compound mainly composed of barium titanate from the viewpoint of compatibility with commercial convenience. However, for the purpose of improving dielectric properties and temperature stability, a small amount of a shifter, a depressor, etc. may be added.

無機フィラーの作製方法は、固相反応法、水熱合成法、超臨界水熱合成法、ゾルゲル法、しゅう酸塩法などの方法が挙げられる。最大の平均粒径を有する無機フィラーの作製方法としては、高い比誘電率と品質安定性の点から、固相反応法、あるいはしゅう酸塩法を用いることが好ましい。また、最小の平均粒径を有する無機フィラーの作製方法は、小粒径化が容易であるという理由から、水熱合成法、超臨界水熱合成法、ゾルゲル法のいずれかを用いることが好ましい。   Examples of the method for producing the inorganic filler include solid phase reaction methods, hydrothermal synthesis methods, supercritical hydrothermal synthesis methods, sol-gel methods, and oxalate methods. As a method for producing the inorganic filler having the maximum average particle size, it is preferable to use a solid phase reaction method or an oxalate method from the viewpoint of high relative dielectric constant and quality stability. In addition, it is preferable to use one of the hydrothermal synthesis method, the supercritical hydrothermal synthesis method, and the sol-gel method as the method for producing the inorganic filler having the minimum average particle size because it is easy to reduce the particle size. .

本発明のペースト組成物及び誘電体組成物に含まれる無機フィラーと樹脂の割合としては、無機フィラーの総体積と樹脂固形分の総体積の合計体積に対する無機フィラーの割合Vfが、50%以上95%以下を満たすことが好ましい。さらに好ましくは70%以上90%以下である。無機フィラー含有率Vfが50%以上では十分大きな比誘電率が得られ、小さい熱膨張率が得られる。また、無機フィラー含有率Vfが70%以上では、少なくとも2種類の平均粒径を有する無機フィラーを用いた効果が顕著になり、大きい比誘電率が得られる。一方、無機フィラー含有率Vfが95%以下では、組成物内部での空隙発生を抑制でき、十分に大きな比誘電率を得ることができ、空隙に起因する吸湿率が小さく、物性が水分や湿度の影響を受けにくい。また、無機フィラー含有率Vfが90%以下の場合、耐久性促進テストであるPCT(プレッシャークッカーテスト)後の接着性が、低下しにくい。   As a ratio of the inorganic filler and the resin contained in the paste composition and the dielectric composition of the present invention, the ratio Vf of the inorganic filler to the total volume of the total volume of the inorganic filler and the total volume of the resin solids is 50% or more and 95. % Or less is preferable. More preferably, it is 70% or more and 90% or less. When the inorganic filler content Vf is 50% or more, a sufficiently large relative dielectric constant can be obtained, and a small thermal expansion coefficient can be obtained. Further, when the inorganic filler content Vf is 70% or more, the effect of using the inorganic filler having at least two kinds of average particle diameters becomes remarkable, and a large relative dielectric constant is obtained. On the other hand, when the inorganic filler content Vf is 95% or less, the generation of voids in the composition can be suppressed, a sufficiently large relative dielectric constant can be obtained, the moisture absorption due to the voids is small, and the physical properties are moisture and humidity. It is hard to be affected by. Moreover, when the inorganic filler content Vf is 90% or less, the adhesiveness after PCT (pressure cooker test), which is a durability promotion test, is unlikely to decrease.

次に、本発明で用いられる樹脂は、熱可塑性、熱硬化性樹脂のいずれも選択することができる。   Next, as the resin used in the present invention, both thermoplastic and thermosetting resins can be selected.

熱可塑性樹脂は、例えば、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルイミド、液晶ポリマー、ポリスチレン、ポリエチレン、フッ素樹脂などを用いることができる。   As the thermoplastic resin, for example, polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polyether sulfone, polyether imide, liquid crystal polymer, polystyrene, polyethylene, fluorine resin, or the like can be used.

また、熱硬化性樹脂は、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シロキサン樹脂、ポリイミド、アクリル樹脂、シアネート樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂などのほか、一般的にプリント配線板の絶縁層に使用される樹脂を用いることができる。はんだ耐熱性などの点から、熱硬化性樹脂を用いることが好ましく、特に、熱硬化収縮性、粘性などの点からエポキシ樹脂が好ましく使用される。   Thermosetting resins include, for example, epoxy resins, phenol resins, siloxane resins, polyimides, acrylic resins, cyanate resins, benzocyclobutene resins, and other resins that are generally used for insulating layers of printed wiring boards. Can be used. From the viewpoint of solder heat resistance, it is preferable to use a thermosetting resin, and in particular, an epoxy resin is preferably used from the viewpoint of thermosetting shrinkage and viscosity.

ここで、エポキシ樹脂とは、分子構造中にエポキシ基(オキシラン環)を2個以上含むプレポリマーを有する樹脂である。プレポリマーは、誘電特性の点から、ビフェニル骨格あるいはジシクロペンタジエン骨格を有することが好ましい。また、硬化剤を有していてもよく、硬化剤には、フェノールノボラック樹脂、ビスフェノールA型ノボラック樹脂、アミノトリアジン化合物、ナフトール化合物などの硬化剤を用いることができる。さらに、トリフェニルホスフィン、ベンゾイミダゾール系化合物、トリス(2、4−ペンタンジオナト)コバルトなどの金属キレート化合物などの硬化促進剤を添加することも可能である。   Here, the epoxy resin is a resin having a prepolymer containing two or more epoxy groups (oxirane rings) in the molecular structure. The prepolymer preferably has a biphenyl skeleton or a dicyclopentadiene skeleton from the viewpoint of dielectric properties. Moreover, you may have a hardening | curing agent and hardening agents, such as a phenol novolak resin, a bisphenol A type novolak resin, an aminotriazine compound, a naphthol compound, can be used for a hardening | curing agent. Further, it is possible to add a curing accelerator such as a metal chelate compound such as triphenylphosphine, a benzimidazole compound, or tris (2,4-pentanedionato) cobalt.

本発明のペースト組成物は、無機フィラーを樹脂へ分散することによって得られる。例えば、無機フィラーを樹脂溶液に加えて、混合分散する方法や、予め無機フィラーを適当な溶中に分散した分散液を作製し、その分散液と樹脂溶液を混合するレットダウン法などによって作製される。また、樹脂または溶中へ無機フィラーを分散させる方法は特に限定されず、例えば、超音波分散、ボールミル、ロールミル、クレアミックス、ホモジナイザー、メディア分散機などの方法を用いることができるが、特に、分散性の点でボールミル、ホモジナイザーを用いることが好ましい。 The paste composition of the present invention is obtained by dispersing an inorganic filler in a resin. For example, making an inorganic filler in addition to the resin solution, mixing and method of dispersing, and the like in advance the inorganic filler to prepare a dispersion dispersed in a suitable solvent agents, letdown method of mixing the dispersion and the resin solution Is done. Further, a method of dispersing the inorganic filler into the resin or solvent dosage is not particularly limited, for example, ultrasonic dispersion, a ball mill, a roll mill, Clearmix, homogenizer, a method can be used such as media disperser, in particular, From the viewpoint of dispersibility, it is preferable to use a ball mill or a homogenizer.

無機フィラー分散の際、分散性を向上させるために、例えば、無機フィラーの表面処理、分散剤の添加、界面活性剤の添加、溶剤の添加などを行っても良い。無機フィラーの表面処理としては、シラン系、チタン系、アルミニウム系などの各種カップリング剤、脂肪酸、リン酸エステルなどによる処理のほか、ロジン処理、酸性処理、塩基性処理などが挙げられる。また、分散剤の添加の例としては、リン酸、カルボン酸、脂肪酸、およびそれらのエステル類などの酸基を有する分散剤などが挙げられ、特に、リン酸エステル骨格を有する化合物が好ましく用いられる。そのほか、ノニオン性、カチオン性、アニオン性の界面活性剤、多価カルボン酸などの湿潤剤、両親和性物質、高立体障害の置換基を有する樹脂などの添加が挙げられる。また、分散時または分散後の系の極性は、溶剤の添加で制御することができる。また、ペースト組成物は必要に応じて、安定化剤、分散剤、沈降防止剤、可塑剤、酸化防止剤などを含有してもよい。   When dispersing the inorganic filler, in order to improve dispersibility, for example, surface treatment of the inorganic filler, addition of a dispersant, addition of a surfactant, addition of a solvent, and the like may be performed. Examples of the surface treatment of the inorganic filler include rosin treatment, acid treatment, basic treatment and the like, in addition to treatment with various coupling agents such as silane, titanium, and aluminum, fatty acids, and phosphate esters. Examples of the addition of the dispersant include dispersants having an acid group such as phosphoric acid, carboxylic acid, fatty acid, and esters thereof. In particular, compounds having a phosphate ester skeleton are preferably used. . In addition, addition of nonionic, cationic, anionic surfactants, wetting agents such as polyvalent carboxylic acids, amphoteric substances, and resins having highly sterically hindered substituents can be mentioned. Moreover, the polarity of the system at the time of dispersion or after dispersion can be controlled by addition of a solvent. Moreover, the paste composition may contain a stabilizer, a dispersant, an anti-settling agent, a plasticizer, an antioxidant, and the like, if necessary.

本発明のペースト組成物中に含まれる固形分中に占める無機フィラーの含有量は85重量%以上99重量%以下であることが好ましく、より好ましくは90重量%以上、さらに好ましくは94重量%以上である。無機フィラーの含有量が85重量%以上だと、組成物の比誘電率を高くすることが容易にできる。本発明は、無機フィラーの含有率を増やすに従って、高い比誘電率を有する誘電体組成物を得ることができ、99重量%以下の含有率になると、製膜時の成形性が容易となり、無機フィラーの分散が制御しやすい。なお、固形分とは、無機フィラーと樹脂およびその他添加剤などを合わせたものを言う。   The content of the inorganic filler in the solid content contained in the paste composition of the present invention is preferably 85% by weight or more and 99% by weight or less, more preferably 90% by weight or more, and further preferably 94% by weight or more. It is. When the content of the inorganic filler is 85% by weight or more, the relative dielectric constant of the composition can be easily increased. According to the present invention, a dielectric composition having a high relative dielectric constant can be obtained as the content of the inorganic filler is increased. When the content is 99% by weight or less, the moldability during film formation is facilitated, and Easy to control filler dispersion. In addition, solid content means what combined the inorganic filler, resin, and other additives.

本発明の誘電体組成物は、無機フィラー、樹脂を含有してなる誘電体組成物であって、無機フィラーの量が誘電体組成物中に含まれる固形分全量の85〜99重量%であり、かつ空隙率が30体積%以下である。   The dielectric composition of the present invention is a dielectric composition comprising an inorganic filler and a resin, and the amount of the inorganic filler is 85 to 99% by weight of the total solid content contained in the dielectric composition. And the porosity is 30 volume% or less.

本発明の誘電体組成物を得る方法として、例えば、まず、無機フィラーを樹脂に混合させたペースト組成物を作製し、そのペースト組成物をある被着体(例えば基板)に塗布し、脱溶剤、固化を行うことにより、誘電体組成物を得る方法が挙げられる。このとき、固化の方法として、熱、光などによる固化が挙げられる。但し、本発明の誘電体組成物は焼結体ではないので、樹脂を完全に分解、除去する必要はなく、電子部品の耐熱温度範囲内、例えば、500℃以下の温度で加熱することが好ましい。   As a method for obtaining the dielectric composition of the present invention, for example, first, a paste composition in which an inorganic filler is mixed with a resin is prepared, the paste composition is applied to an adherend (for example, a substrate), and a solvent is removed. There is a method of obtaining a dielectric composition by solidifying. At this time, solidification by heat, light, etc. is mentioned as a solidification method. However, since the dielectric composition of the present invention is not a sintered body, it is not necessary to completely decompose and remove the resin, and it is preferable to heat at a temperature within the heat resistant temperature range of the electronic component, for example, 500 ° C. or less. .

誘電体組成物の空隙率は、30体積%以下であることが必要であり、好ましくは20体積%以下、さらに好ましくは10体積%以下である。空隙率が30体積%より大きい場合、膜体積中に占める無機フィラーの割合が低くなり、比誘電率が50以上の誘電体組成物が得られにくい。また絶縁抵抗の低下やリーク電流の増大、曲げ強さの低下などが起こるため好ましくない。   The porosity of the dielectric composition needs to be 30% by volume or less, preferably 20% by volume or less, and more preferably 10% by volume or less. When the porosity is larger than 30% by volume, the proportion of the inorganic filler in the film volume is low, and it is difficult to obtain a dielectric composition having a relative dielectric constant of 50 or more. Further, it is not preferable because a decrease in insulation resistance, an increase in leakage current, and a decrease in bending strength occur.

ここで、空隙率を30体積%以下にする方法としては、例えば、無機フィラー、樹脂、溶剤を上記した中から適宜選択することで達成可能であるが、ペースト組成物が、沸点160℃以上の溶剤を少なくとも1種含む、かつ、全容剤量がペースト組成物全量の25%以下であることで、容易に達成することができる。   Here, as a method of setting the porosity to 30% by volume or less, for example, it can be achieved by appropriately selecting the inorganic filler, resin, and solvent from the above, but the paste composition has a boiling point of 160 ° C. or higher. This can be easily achieved by including at least one solvent and having a total volume of 25% or less of the total amount of the paste composition.

また、例えば空隙率を20体積%以下にするには、ペースト組成物がラクトン構造を有する溶剤を少なくとも1種含有していると、空隙率を20体積%以下にすることができる。ラクトン構造を有する溶剤の中でも、γ−ブチロラクトンが最も好ましい。   For example, in order to make the porosity 20 volume% or less, the porosity can be made 20 volume% or less when the paste composition contains at least one solvent having a lactone structure. Of the solvents having a lactone structure, γ-butyrolactone is most preferred.

誘電体組成物の空隙率の測定方法は、ガス吸着法、水銀圧入法、陽電子消滅法、小角X線散乱法など、用途に合わせて適宜選択することができるが、本発明では、誘電体組成物の密度から、下記(1)〜(3)の手順で空隙率を求める。 Method of measuring the porosity of the dielectric composition, gas adsorption method, mercury porosimetry, positron annihilation method, such as small angle X-ray scattering method, can be appropriately selected according to the use, in the present invention, dielectrics From the density of the composition, the porosity is determined by the following procedures (1) to (3).

(1)重さを量った定形基板上にペースト組成物を塗布、脱溶剤、固化して得られた誘電体組成物の重さを量る。
(2)基板の重さをW1、基板と誘電体組成物の重さをW2、誘電体組成物の密度をD、体積をVとすると、誘電体組成物の密度D=(W2−W1)/Vとなる。
(3)熱重量測定装置(TGA)を用いて、該誘電体組成物を大気雰囲気中、昇温速度10℃/分にて、900℃まで昇温、900℃で30分間保持して脱バインダーを行い、誘電体組成物中に含まれる無機フィラーと樹脂の割合を測定した。無機フィラーの体積をWc、比重をρc、樹脂の体積をWp、比重をρp、空隙率をPとすると、空隙率Pは、以下の式で求められる。空隙率P(体積%)={(V−Wc/ρc−Wp/ρp)/V}×100。
(1) Weigh the dielectric composition obtained by applying the paste composition onto the weighed shaped substrate, removing the solvent, and solidifying it.
(2) When the weight of the substrate is W1, the weight of the substrate and the dielectric composition is W2, the density of the dielectric composition is D, and the volume is V, the density of the dielectric composition D = (W2-W1) / V.
(3) Using a thermogravimetry apparatus (TGA), the dielectric composition is heated to 900 ° C. at a temperature rising rate of 10 ° C./min in the air atmosphere and held at 900 ° C. for 30 minutes to remove the binder. And the ratio of the inorganic filler and the resin contained in the dielectric composition was measured. When the volume of the inorganic filler is Wc, the specific gravity is ρc, the volume of the resin is Wp, the specific gravity is ρp, and the porosity is P, the porosity P can be obtained by the following equation. Porosity P (volume%) = {(V−Wc / ρc−Wp / ρp) / V} × 100.

本発明のペースト組成物は、好ましくは、被着体(例えば基板)上に塗布され、脱溶剤、固化されて誘電体組成物を形成する。ペースト組成物を被着体上に塗布する方法としては特に限定されず、例えば、スピンナー、スクリーン印刷、ブレードコーター、ダイコーターなどが挙げられる。このようにして、塗布した膜をホットプレート、オーブンなどの加熱装置を用いて、溶剤の除去や熱硬化を行うことで、誘電体組成物を容易に得ることができる。   The paste composition of the present invention is preferably applied onto an adherend (for example, a substrate), and the solvent is removed and solidified to form a dielectric composition. The method for applying the paste composition onto the adherend is not particularly limited, and examples thereof include a spinner, screen printing, blade coater, and die coater. Thus, the dielectric composition can be easily obtained by removing the solvent and thermosetting the applied film using a heating device such as a hot plate or an oven.

ペースト組成物を塗布する被着体は、例えば、有機系基板、無機系基板、およびこれらの基板に回路の構成材料が配置されたものから選択できる。有機系基板の例としては、ガラス布・エポキシ銅張積層板などのガラス基材銅張積層板、ガラス不織布・エポキシ銅張積層板などのコンポジット銅張積層板、ポリエーテルイミド樹脂基板、ポリエーテルケトン樹脂基板、ポリサルフォン系樹脂基板などの耐熱・熱可塑性基板、ポリエステル銅張フィルム基板、ポリイミド銅張フィルム基板などのフレキシブル基板が挙げられる。   The adherend to which the paste composition is applied can be selected from, for example, an organic substrate, an inorganic substrate, and those in which circuit constituent materials are arranged on these substrates. Examples of organic substrates include glass-based copper-clad laminates such as glass cloth / epoxy copper-clad laminates, composite copper-clad laminates such as glass nonwoven fabrics / epoxy copper-clad laminates, polyetherimide resin substrates, polyethers Examples include heat-resistant / thermoplastic substrates such as ketone resin substrates and polysulfone resin substrates, polyester copper-clad film substrates, and polyimide copper-clad film substrates.

また、無機系基板の例は、アルミナ基板、窒化アルミニウム基板、炭化ケイ素基板などのセラミック基板、アルミニウムベース基板、鉄ベース基板などの金属系基板が挙げられる。回路の構成材料の例は、銀、金、銅などの金属を含有する導体、無機系酸化物などを含有する抵抗体、ガラス系材料および/または樹脂などを含有する低誘電体、樹脂や無機フィラーなどを含有する高誘電体、ガラス系材料などを含有する絶縁体などが挙げられる。   Examples of inorganic substrates include ceramic substrates such as alumina substrates, aluminum nitride substrates, and silicon carbide substrates, and metal substrates such as aluminum base substrates and iron base substrates. Examples of circuit components include conductors containing metals such as silver, gold and copper, resistors containing inorganic oxides, low dielectrics containing glassy materials and / or resins, resins and inorganics Examples thereof include a high dielectric material containing a filler and the like, and an insulator containing a glass-based material.

本発明の誘電体組成物の形態は特に限定されず、膜状、棒状、球状など、用途に合わせて選択することができるが、特に膜状であることが好ましい。ここでいう膜とは、フィルム、シート、板、ペレットなども含まれる。もちろん、導通のためのビアホール形成、インピーダンスや静電容量あるいは内部応力の調整、または、放熱機能付与など、用途にあわせたパターン形成を行うこともできる。   The form of the dielectric composition of the present invention is not particularly limited, and can be selected according to applications such as a film shape, a rod shape, a spherical shape, etc., but a film shape is particularly preferable. The membrane here includes a film, a sheet, a plate, a pellet and the like. Of course, it is also possible to perform pattern formation according to applications such as via hole formation for conduction, adjustment of impedance, capacitance or internal stress, or provision of a heat dissipation function.

誘電体組成物を膜として用いる場合の膜厚は、静電容量が所望の値を満たす範囲内で任意に設定することができるが、0.5μm以上20μm以下であることが好ましい。さらに好ましくは、2μm以上20μm以下のものである。コンデンサとして大きな静電容量を確保するには膜厚が薄い方が好ましいが、0.5μmより薄い場合にはピンホールなどが発生しやすく、電気的絶縁が得られにくくなる。また、2μm以上では、耐久性促進テストであるPCT(プレッシャークッカーテスト)後に誘電正接が増大しにくい。また、膜厚が20μmを越えると、十分なコンデンサ性能を得るために大きな比誘電率が必要となる上、実装密度向上が難しくなることがある。   When the dielectric composition is used as a film, the film thickness can be arbitrarily set within a range where the capacitance satisfies a desired value, but is preferably 0.5 μm or more and 20 μm or less. More preferably, it is not less than 2 μm and not more than 20 μm. In order to secure a large capacitance as a capacitor, it is preferable that the film thickness is thin. However, if the thickness is less than 0.5 μm, pinholes are easily generated, and electrical insulation is difficult to obtain. When the thickness is 2 μm or more, the dielectric loss tangent hardly increases after PCT (pressure cooker test) which is a durability promotion test. On the other hand, if the film thickness exceeds 20 μm, a large relative dielectric constant is required to obtain sufficient capacitor performance, and it may be difficult to improve the mounting density.

本発明のペースト組成物及び誘電体組成物の用途は特に限定されないが、例えば、高誘電率層としてプリント配線基板の内蔵コンデンサ用層間絶縁材料に用いられる他、多層基板の層間絶縁膜、周波数フィルター、無線用アンテナ、電磁シールド、光配線材料など、多種の電子部品、装置への適用が可能である。   The use of the paste composition and the dielectric composition of the present invention is not particularly limited. For example, the paste composition and the dielectric composition are used as an interlayer insulating material for a built-in capacitor of a printed wiring board as a high dielectric constant layer. It can be applied to various electronic parts and devices such as radio antennas, electromagnetic shields, and optical wiring materials.

本発明の誘電体組成物は、コンデンサ用層間絶縁材料として好ましく使用される。誘電体組成物を用いてコンデンサ用層間絶縁材料を形成する方法は特に限定されない。例えば、上記したように、基板上に高誘電体を形成した後、適宜電極を形成することで得ることができる。   The dielectric composition of the present invention is preferably used as an interlayer insulating material for capacitors. The method for forming the interlayer insulating material for capacitors using the dielectric composition is not particularly limited. For example, as described above, after a high dielectric is formed on a substrate, it can be obtained by appropriately forming an electrode.

本発明の誘電体組成物を用いて作製したコンデンサ用層間絶縁材料の面積あたりの静電容量としては、5nF/cm2以上の範囲にあることが好ましい。さらに好ましくは、10nF/cm2以上の範囲にあることが好ましい。5nF/cm2より小さい静電容量では、デカップリングキャパシタとして用いた場合に、システム全体の電源系との分離を十分に行うことができず、デカップリングキャパシタとして十分な機能を果たすことができない。 The capacitance per area of the capacitor interlayer insulating material produced using the dielectric composition of the present invention is preferably in the range of 5 nF / cm 2 or more. More preferably, it is in the range of 10 nF / cm 2 or more. When the capacitance is smaller than 5 nF / cm 2 , when used as a decoupling capacitor, the entire system cannot be sufficiently separated from the power supply system and cannot function sufficiently as a decoupling capacitor.

静電容量の温度変化、面内ばらつきは、小さい方が回路設計上好ましい。温度変化についても、できるだけ小さい方が好ましく、例えば、X7R特性(−55〜125℃において静電容量の温度変化率が±15%以内)を満たすことが好ましい。静電容量の面内ばらつきは、平均値に対して5%以下(静電容量の平均値−5%≦静電容量≦静電容量の平均値+5%)であることが好ましい。   The smaller the capacitance change in temperature and the in-plane variation, the better in terms of circuit design. The temperature change is preferably as small as possible. For example, it is preferable to satisfy the X7R characteristic (capacitance temperature change rate within −15% at −55 to 125 ° C.). The in-plane variation in capacitance is preferably 5% or less (average capacitance value−5% ≦ capacitance ≦ average capacitance value + 5%) with respect to the average value.

また、電源の電力損失を減らすためには、コンデンサの誘電正接は0.01〜5%の範囲にあることが好ましく、さらに好ましくは、0.01〜1%の範囲である。ここで、静電容量や誘電正接などの電気特性は、周波数20k〜1GHzでの測定値とする。   In order to reduce the power loss of the power source, the dielectric loss tangent of the capacitor is preferably in the range of 0.01 to 5%, and more preferably in the range of 0.01 to 1%. Here, electrical characteristics such as capacitance and dielectric loss tangent are measured values at a frequency of 20 k to 1 GHz.

本発明の誘電体組成物は、光配線材料としても、好ましく用いることができる。光配線とは、LSI、モジュール、ボードなどのそれぞれの間の信号伝送を通常の電気信号で行うのでなく、光信号で行う方式における配線のことである。実装基板上やその内部に光配線を形成する場合は、屈折率の高い層を屈折率の低い層でサンドイッチした構造をとる。屈接率が低い層を空間で代用することも可能である。光配線材料として用いる場合は、光配線内を導波する信号伝送用の光の散乱を小さくするために、その光の波長に比べ十分小さい無機フィラーを用いることが重要であり、光の波長の1/4以下の粒径とすることが好ましい。また、無機フィラー材料選択、含有量、樹脂材料選択から、屈折率、屈折率の温度依存性、熱膨張率を制御することができる。このことから光配線層を形成する基板材料の選択の幅が広がり、従来から用いられているシリコンやセラミックスなどの無機材料からなるものだけでなく、有機材料からなる基板をも用いることが可能になる。   The dielectric composition of the present invention can be preferably used as an optical wiring material. Optical wiring refers to wiring in a system in which signal transmission between LSIs, modules, boards, and the like is performed not by normal electrical signals but by optical signals. When an optical wiring is formed on or in the mounting substrate, a structure in which a layer having a high refractive index is sandwiched between layers having a low refractive index is employed. It is also possible to substitute a layer having a low refractive index with a space. When used as an optical wiring material, it is important to use an inorganic filler that is sufficiently smaller than the wavelength of the light in order to reduce the scattering of light for signal transmission guided in the optical wiring. The particle size is preferably ¼ or less. Further, the refractive index, the temperature dependency of the refractive index, and the thermal expansion coefficient can be controlled from the selection of the inorganic filler material, the content, and the selection of the resin material. This broadens the range of choice of substrate material for forming the optical wiring layer, making it possible to use not only conventional materials made of inorganic materials such as silicon and ceramics, but also substrates made of organic materials. Become.

以下、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples.

実施例1
チタン酸バリウムフィラー(堺化学(株)製、BT−05、平均粒径:0.5μm)323重量部、γ−ブチロラクトン18重量部をホモジナイザーを用いて氷冷下で1時間混合分散し、分散液A−1を得た。エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、EPPN502H)10重量部、フェノールノボラック樹脂(大日本インキ工業(株)製、TD−2131)10重量部、硬化促進剤(北興化学(株)製、トリフェニルホスフィン)0.6重量部、γ−ブチロラクトン20重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液B−1を得た。分散液A−1とエポキシ樹脂溶液B−1をボールミルを用いて混合し、ペースト組成物C−1を作製した。γ−ブチロラクトンの沸点は204℃である。このペースト組成物C−1を厚さ300μmのアルミ基板上にダイコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、80℃×15分間で乾燥させた後、175℃×1時間で硬化させ、膜厚10μmの高誘電体組成物を得た。
Example 1
323 parts by weight of barium titanate filler (manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd., BT-05, average particle size: 0.5 μm) and 18 parts by weight of γ-butyrolactone were mixed and dispersed for 1 hour under ice cooling using a homogenizer. A liquid A-1 was obtained. 10 parts by weight of epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., EPPN502H), 10 parts by weight of phenol novolac resin (manufactured by Dainippon Ink Industries, Ltd., TD-2131), curing accelerator (manufactured by Hokuko Chemical Co., Ltd.) 0.6 parts by weight of phenylphosphine) and 20 parts by weight of γ-butyrolactone were mixed to obtain an epoxy resin solution B-1. Dispersion A-1 and epoxy resin solution B-1 were mixed using a ball mill to prepare paste composition C-1. The boiling point of γ-butyrolactone is 204 ° C. The paste composition C-1 was applied onto a 300 μm thick aluminum substrate using a die coater, dried in an oven at 80 ° C. for 15 minutes, and then cured at 175 ° C. for 1 hour to form a film. A high dielectric composition having a thickness of 10 μm was obtained.

次に、この高誘電体組成物に直径11mmのアルミ電極を蒸着法により形成し、1MHzにおける誘電特性をインピーダンスアナライザHP4284AおよびサンプルホルダーHP16451B(共にヒューレットパッカード社製)を用いて、JIS K 6911に準じて測定した結果を表1に示した。高誘電体組成物の比誘電率は82、誘電正接は2.8%であり、面積あたりの静電容量は7.3nF/cm2であった。空隙率は9体積%であった。 Next, an aluminum electrode having a diameter of 11 mm is formed on this high dielectric composition by vapor deposition, and the dielectric characteristics at 1 MHz are determined in accordance with JIS K 6911 using impedance analyzer HP4284A and sample holder HP16451B (both manufactured by Hewlett Packard). Table 1 shows the measurement results. The dielectric constant of the high dielectric composition was 82, the dielectric loss tangent was 2.8%, and the capacitance per area was 7.3 nF / cm 2 . The porosity was 9% by volume.

実施例2
実施例1と同様にペースト組成物C−1を作製した。次にγ−ブチロラクトンを22.6重量部さらに添加し、ペースト組成物中の溶剤量が15重量%になるよう、ペースト組成物C−2を作製した。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作成し、誘電特性を評価した結果を表1に示した。高誘電体組成物の比誘電率は73、誘電正接は3.4%であり、面積あたりの静電容量は4.3nF/cm2であった。空隙率は12体積%であった。
Example 2
A paste composition C-1 was produced in the same manner as in Example 1. Next, 22.6 parts by weight of γ-butyrolactone was further added to prepare paste composition C-2 so that the amount of solvent in the paste composition was 15% by weight. Table 1 shows the results of preparing a high dielectric composition and evaluating the dielectric properties based on the method of Example 1. The high dielectric composition had a relative dielectric constant of 73, a dielectric loss tangent of 3.4%, and a capacitance per area of 4.3 nF / cm 2 . The porosity was 12% by volume.

実施例3〜4
ペースト組成物C−1にγ−ブチロラクトンをさらに添加し、ペースト組成物中の溶剤量が20、25重量%になるよう、溶剤量の異なるペースト組成物C−3〜C−4を作製した。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作成し、誘電特性を評価した結果を表1に示した。空隙率が20体積%以下、かつ比誘電率が50以上の高誘電体組成物が得られた。
Examples 3-4
Γ-Butyrolactone was further added to paste composition C-1, and paste compositions C-3 to C-4 having different solvent amounts were prepared so that the solvent amount in the paste composition was 20 and 25% by weight. Table 1 shows the results of preparing a high dielectric composition and evaluating the dielectric properties based on the method of Example 1. A high dielectric composition having a porosity of 20% by volume or less and a relative dielectric constant of 50 or more was obtained.

比較例1
ペースト組成物C−1にγ−ブチロラクトンを添加し、ペースト組成物中の溶剤量が40重量%であるペースト組成物D−1を作製した。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作成し、誘電特性を評価した結果を表4に示した。ペースト組成物中に含まれる溶剤量が全量の40重量%の時、空隙率は31体積%、比誘電率は41であった。
Comparative Example 1
Γ-Butyrolactone was added to paste composition C-1, and paste composition D-1 in which the amount of solvent in the paste composition was 40% by weight was produced. Table 4 shows the results of preparing a high dielectric composition and evaluating the dielectric properties based on the method of Example 1. When the amount of solvent contained in the paste composition was 40% by weight of the total amount, the porosity was 31% by volume and the relative dielectric constant was 41.

実施例5
チタン酸バリウム(堺化学(株)製、BT−05、平均粒径:0.5μm)323重量部、分散剤(ビックケミー(株)製、BYK−W903)0.2重量部、γ−ブチロラクトン18重量部をホモジナイザーを用いて混練を行い、分散液A−2を得た。分散液A−2とエポキシ樹脂溶液B−1をボールミルを用いて混合し、ペースト組成物C−5を作製した。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作成し、誘電特性を評価した結果を表1に示した。比誘電率は102、誘電正接は3.6%であり、面積あたりの静電容量は11.3nF/cm2、空隙率は6体積%であった。
Example 5
323 parts by weight of barium titanate (manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd., BT-05, average particle size: 0.5 μm), 0.2 part by weight of dispersant (BYK-W903, manufactured by BYK Chemie), γ-butyrolactone 18 A part by weight was kneaded using a homogenizer to obtain dispersion A-2. Dispersion A-2 and epoxy resin solution B-1 were mixed using a ball mill to prepare paste composition C-5. Table 1 shows the results of preparing a high dielectric composition and evaluating the dielectric properties based on the method of Example 1. The relative dielectric constant was 102, the dielectric loss tangent was 3.6%, the capacitance per area was 11.3 nF / cm 2 , and the porosity was 6% by volume.

実施例6
ペースト組成物C−5にγ−ブチロラクトンを添加し、ペースト組成物中の溶剤量が15重量%であるペースト組成物C−6を作製した。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作成し、誘電特性を評価した結果を表1に示した。比誘電率は95、誘電正接は3.1%であり、面積あたりの静電容量は8.4nF/cm2、空隙率は7体積%であった。
Example 6
Γ-butyrolactone was added to paste composition C-5 to prepare paste composition C-6 in which the amount of solvent in the paste composition was 15% by weight. Table 1 shows the results of preparing a high dielectric composition and evaluating the dielectric properties based on the method of Example 1. The relative dielectric constant was 95, the dielectric loss tangent was 3.1%, the capacitance per area was 8.4 nF / cm 2 , and the porosity was 7% by volume.

実施例7
溶剤がN−メチル2−ピロリドンである以外はペースト組成物C−2と同様にペースト組成物を作製し、ペースト組成物C−7を作製した。N−メチル2−ピロリドンの沸点は202℃である。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表1に示した。比誘電率は58、誘電正接は4.6%であり、面積あたりの静電容量は5.3nF/cm2、空隙率は26体積%であった。
Example 7
A paste composition was prepared in the same manner as the paste composition C-2 except that the solvent was N-methyl 2-pyrrolidone, thereby preparing a paste composition C-7. The boiling point of N-methyl 2-pyrrolidone is 202 ° C. Table 1 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric properties. The relative dielectric constant was 58, the dielectric loss tangent was 4.6%, the capacitance per area was 5.3 nF / cm 2 , and the porosity was 26% by volume.

実施例8
溶剤がエチレングリコールジアセテートである以外はペースト組成物C−2と同様にペースト組成物を作製し、ペースト組成物C−8を作製した。エチレングリコールジアセテートの沸点は190℃である。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表1に示した。比誘電率は64、誘電正接は4.8%であり、面積あたりの静電容量は5.7nF/cm2、空隙率は21体積%であった。
Example 8
A paste composition was prepared in the same manner as the paste composition C-2 except that the solvent was ethylene glycol diacetate, thereby preparing a paste composition C-8. The boiling point of ethylene glycol diacetate is 190 ° C. Table 1 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric properties. The relative dielectric constant was 64, the dielectric loss tangent was 4.8%, the capacitance per area was 5.7 nF / cm 2 , and the porosity was 21% by volume.

実施例9
溶剤がエチルカルビトールである以外はペースト組成物C−2と同様にペースト組成物を作製し、ペースト組成物C−9を作製した。エチルカルビトールの沸点は202℃である。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表2に示した。比誘電率は50、誘電正接は2.2%であり、面積あたりの静電容量は4.4nF/cm2、空隙率は30体積%であった。
Example 9
A paste composition was prepared in the same manner as the paste composition C-2 except that the solvent was ethyl carbitol to prepare a paste composition C-9. The boiling point of ethyl carbitol is 202 ° C. Table 2 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric properties. The relative dielectric constant was 50, the dielectric loss tangent was 2.2%, the capacitance per area was 4.4 nF / cm 2 , and the porosity was 30% by volume.

比較例2
溶剤がモルホリンである以外はペースト組成物C−2と同様にペースト組成物を作製し、ペースト組成物D−2を作製した。モルホリンの沸点は128℃である。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表4に示した。比誘電率は35、誘電正接は5.8%であり、面積あたりの静電容量は2.6nF/cmであり、電気特性劣っていた。空隙率は32体積%であった。
Comparative Example 2
A paste composition was prepared in the same manner as the paste composition C-2 except that the solvent was morpholine, and a paste composition D-2 was prepared. The boiling point of morpholine is 128 ° C. Table 4 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric properties. The relative dielectric constant was 35, the dielectric loss tangent was 5.8%, the capacitance per area was 2.6 nF / cm 2 , and the electrical characteristics were inferior. The porosity was 32% by volume.

比較例3
溶剤がプロピレングリコールモノメチルアセテートである以外はペースト組成物C−2と同様にペースト組成物を作製し、ペースト組成物D−3を作製した。プロピレングリコールモノメチルアセテートの沸点は146℃である。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表4に示した。比誘電率は46,誘電正接は4.7%であり、面積あたりの静電容量は2.7nF/cm2であり、電気特性に劣っていた。空隙率は35体積%であった。
Comparative Example 3
A paste composition was prepared in the same manner as the paste composition C-2 except that the solvent was propylene glycol monomethyl acetate to prepare a paste composition D-3. The boiling point of propylene glycol monomethyl acetate is 146 ° C. Table 4 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric properties. The relative dielectric constant was 46, the dielectric loss tangent was 4.7%, and the capacitance per area was 2.7 nF / cm 2 , indicating poor electrical characteristics. The porosity was 35% by volume.

実施例10
チタン酸バリウム(堺化学(株)製、BT−05、平均粒径:0.5μm)494重量部、γ−ブチロラクトン71重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液A−3を得た。分散液A−3とエポキシ樹脂溶液B−1をボールミルを用いて混合し、ペースト組成物C−10を作製した。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表2に示した。比誘電率は79、誘電正接は3.4%であり、面積あたりの静電容量は5.8nF/cm2、空隙率は13体積%であった。
Example 10
494 parts by weight of barium titanate (manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd., BT-05, average particle size: 0.5 μm) and 71 parts by weight of γ-butyrolactone were kneaded using a homogenizer to obtain dispersion A-3. Dispersion A-3 and epoxy resin solution B-1 were mixed using a ball mill to prepare paste composition C-10. Table 2 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric properties. The relative dielectric constant was 79, the dielectric loss tangent was 3.4%, the capacitance per area was 5.8 nF / cm 2 , and the porosity was 13% by volume.

実施例11
チタン酸バリウム(堺化学(株)製、BT−05、平均粒径:0.5μm)185重量部、γ−ブチロラクトン16重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液A−4を得た。分散液A−4とエポキシ樹脂溶液B−1をボールミルを用いて混合し、ペースト組成物C−11を作製した。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表2に示した。比誘電率は76、誘電正接は3.2%であり、面積あたりの静電容量は8.4nF/cm2、空隙率は5体積%であった。
Example 11
185 parts by weight of barium titanate (manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd., BT-05, average particle size: 0.5 μm) and 16 parts by weight of γ-butyrolactone were kneaded using a homogenizer to obtain dispersion A-4. Dispersion A-4 and epoxy resin solution B-1 were mixed using a ball mill to prepare paste composition C-11. Table 2 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric properties. The relative dielectric constant was 76, the dielectric loss tangent was 3.2%, the capacitance per area was 8.4 nF / cm 2 , and the porosity was 5% by volume.

実施例12
高誘電率無機フィラーとして、チタン酸バリウム(東邦チタニウム(株)製、SB05、平均粒径:0.5μm)を用いた以外は、実施例2と同様にして、ペースト組成物C−12を作製した。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表2に示した。比誘電率は70、誘電正接は2.9%であり、面積あたりの静電容量は6.2nF/cm2、空隙率は14体積%であった。
Example 12
A paste composition C-12 was produced in the same manner as in Example 2, except that barium titanate (manufactured by Toho Titanium Co., Ltd., SB05, average particle size: 0.5 μm) was used as the high dielectric constant inorganic filler. did. Table 2 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric properties. The relative dielectric constant was 70, the dielectric loss tangent was 2.9%, the capacitance per area was 6.2 nF / cm 2 , and the porosity was 14% by volume.

実施例13
高誘電率無機フィラーとして、チタン酸ストロンチウム(堺化学(株)製、ST−03、平均粒径:0.3μm)を用いた以外は、実施例2と同様にしてペースト組成物C−13を作製した。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表2に示した。比誘電率は65、誘電正接は1.2%であり、面積あたりの静電容量は3.8nF/cm2、空隙率は14体積%であった。
Example 13
A paste composition C-13 was prepared in the same manner as in Example 2 except that strontium titanate (manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd., ST-03, average particle size: 0.3 μm) was used as the high dielectric constant inorganic filler. Produced. Table 2 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric properties. The relative dielectric constant was 65, the dielectric loss tangent was 1.2%, the capacitance per area was 3.8 nF / cm 2 , and the porosity was 14% by volume.

実施例14〜16
表2に示した樹脂、硬化剤を用いた以外は、実施例2と同様にして、ペースト組成物C−14〜16を作製した。高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表2に示した。比誘電率が50以上の高誘電体組成物が得られた。
Examples 14-16
Paste compositions C-14 to 16 were produced in the same manner as in Example 2 except that the resins and curing agents shown in Table 2 were used. Table 2 shows the results of producing a high dielectric composition and evaluating the dielectric characteristics. A high dielectric composition having a relative dielectric constant of 50 or more was obtained.

実施例19
チタン酸バリウムフィラー(堺化学(株)製、BT−05、平均粒径:0.5μm)323重量部、γ−ブチロラクトン36重量部をホモジナイザーを用いて氷冷下で1時間混合分散し、分散液A−5を得た。エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、EPPN502H)12.8重量部、フェノールノボラック樹脂(大日本インキ工業(株)製、TD−2131)7.8重量部、硬化促進剤(北興化学(株)製、トリフェニルホスフィン)0.2重量部、γ−ブチロラクトン24.8重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液B−2を得た。分散液A−5とエポキシ樹脂溶液B−2をボールミルを用いて混合し、ペースト組成物C−19を作製した。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作成し、誘電特性を評価した結果を表3に示した。比誘電率は73、誘電正接は3.4%であり、面積あたりの静電容量は4.3nF/cm2、空隙率は12体積%であった。
Example 19
323 parts by weight of barium titanate filler (manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd., BT-05, average particle size: 0.5 μm) and 36 parts by weight of γ-butyrolactone were mixed and dispersed for 1 hour under ice-cooling using a homogenizer. A liquid A-5 was obtained. 12.8 parts by weight of epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., EPPN502H), 7.8 parts by weight of phenol novolac resin (manufactured by Dainippon Ink Industries, Ltd., TD-2131), curing accelerator (Hokuko Chemical Co., Ltd.) ), Triphenylphosphine) 0.2 parts by weight and γ-butyrolactone 24.8 parts by weight were mixed to obtain an epoxy resin solution B-2. Dispersion A-5 and epoxy resin solution B-2 were mixed using a ball mill to prepare paste composition C-19. Table 3 shows the results of preparing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric properties. The relative dielectric constant was 73, the dielectric loss tangent was 3.4%, the capacitance per area was 4.3 nF / cm 2 , and the porosity was 12% by volume.

実施例20
チタン酸バリウム(堺化学(株)製、BT−05、平均粒径:0.5μm)323重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー:ビックケミー(株)製、BYK−W9010)0.2重量部、γ−ブチロラクトン36重量部をホモジナイザーを用いて混練を行い、分散液A−6を得た。分散液A−6とエポキシ樹脂溶液B−2をボールミルを用いて混合し、ペースト組成物C−20を作製した。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作成し、誘電特性を評価した結果を表3に示した。比誘電率は95、誘電正接は3.1%であり、面積あたりの静電容量は8.4nF/cm2、空隙率は7体積%であった。
Example 20
323 parts by weight of barium titanate (manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd., BT-05, average particle size: 0.5 μm), dispersant (copolymer having an acid group having a phosphate ester skeleton: manufactured by BYK Chemie, BYK- W9010) 0.2 parts by weight and 36 parts by weight of γ-butyrolactone were kneaded using a homogenizer to obtain dispersion A-6. Dispersion A-6 and epoxy resin solution B-2 were mixed using a ball mill to prepare paste composition C-20. Table 3 shows the results of preparing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric properties. The relative dielectric constant was 95, the dielectric loss tangent was 3.1%, the capacitance per area was 8.4 nF / cm 2 , and the porosity was 7% by volume.

実施例21
エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、NC3000)15.3重量部、フェノールノボラック樹脂(日本化薬(株)製、”カヤハード”TPM(新名:”カヤハード”KTG−105))5.3重量部、硬化促進剤(北興化学(株)製、トリフェニルホスフィン)0.2重量部、γ−ブチロラクトン24.7重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液B−3を得た。分散液A−2とエポキシ樹脂溶液B−3をボールミルを用いて混合し、ペースト組成物C−21を作製した。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表3に示した。比誘電率は76、誘電正接は2.8%であり、面積あたりの静電容量は5.6nF/cm2、空隙率は14体積%であった。
Example 21
Epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd., NC3000) 15.3 parts by weight, phenol novolak resin (Nippon Kayaku Co., Ltd., “Kayahard” TPM (new name: “Kayahard” KTG-105)) 5.3 Part by weight, 0.2 part by weight of a curing accelerator (manufactured by Hokuko Chemical Co., Ltd., triphenylphosphine) and 24.7 parts by weight of γ-butyrolactone were mixed to obtain an epoxy resin solution B-3. Dispersion A-2 and epoxy resin solution B-3 were mixed using a ball mill to prepare paste composition C-21. Table 3 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric characteristics. The relative dielectric constant was 76, the dielectric loss tangent was 2.8%, the capacitance per area was 5.6 nF / cm 2 , and the porosity was 14% by volume.

実施例22
チタン酸バリウム(堺化学(株)製、BT−05:平均粒径0.5μm)62.3重量部、チタン酸バリウム(TPL,Inc.社製、HPB−1000:平均粒径0.059μm)21.9重量部、γ−ブチロラクトン15重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)0.8重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液A−7を得た。エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、EPPN502H)2.2重量部、フェノールノボラック樹脂(大日本インキ工業(株)製、TD−2131)1.4重量部、硬化促進剤(北興化学(株)製、トリフェニルホスフィン)0.04重量部、γ−ブチロラクトン7.1重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液B−4を得た。分散液A−7とエポキシ樹脂溶液B−4をボールミルを用いて混合し、ペースト組成物C−22を作製した。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表6に示した。比誘電率は123、誘電正接は3.1、静電容量は10.9nF/cm2、空隙率は4体積%であった。
Example 22
Barium titanate (manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd., BT-05: average particle size 0.5 μm) 62.3 parts by weight, barium titanate (manufactured by TPL, Inc., HPB-1000: average particle size 0.059 μm) Using a homogenizer, 21.9 parts by weight, 15 parts by weight of γ-butyrolactone, and 0.8 parts by weight of a dispersant (a copolymer having an acid group having a phosphate ester skeleton, BYK-W9010 manufactured by BYK Japan Japan Co., Ltd.) The mixture was kneaded to obtain dispersion A-7. 2.2 parts by weight of epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd., EPPN502H), 1.4 parts by weight of phenol novolac resin (manufactured by Dainippon Ink Industries, Ltd., TD-2131), curing accelerator (Hokuko Chemical Co., Ltd.) ), Triphenylphosphine) 0.04 parts by weight and γ-butyrolactone 7.1 parts by weight were mixed to obtain an epoxy resin solution B-4. Dispersion A-7 and epoxy resin solution B-4 were mixed using a ball mill to prepare paste composition C-22. Table 6 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric characteristics. The relative dielectric constant was 123, the dielectric loss tangent was 3.1, the capacitance was 10.9 nF / cm 2 , and the porosity was 4% by volume.

実施例23
エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、NC−3000)2.6重量部、フェノールノボラック樹脂(日本化薬(株)製、”カヤハード”TPM(新名:”カヤハード”KTG−105)0.9重量部、硬化促進剤(北興化学(株)製、トリフェニルホスフィン)0.04重量部、γ−ブチロラクトンを7.1重量部混合し、エポキシ樹脂溶液B−5を得た。分散液A−7とエポキシ樹脂溶液B−5をボールミルを用いて混合し、ペースト組成物C−23を作製した。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表6に示した。比誘電率は121、誘電正接は2.6%、面積あたりの静電容量は10.7nF/cm2、空隙率は4体積%であった。
Example 23
2.6 parts by weight of epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., NC-3000), phenol novolak resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., “Kayahard” TPM (new name: “Kayahard” KTG-105) 9 parts by weight, 0.04 part by weight of a curing accelerator (manufactured by Hokuko Chemical Co., Ltd., triphenylphosphine) and 7.1 parts by weight of γ-butyrolactone were mixed to obtain an epoxy resin solution B-5. -7 and epoxy resin solution B-5 were mixed using a ball mill to prepare paste composition C-23, and a high dielectric composition was prepared based on the method of Example 1, and the dielectric properties were evaluated. The results are shown in Table 6. The relative dielectric constant was 121, the dielectric loss tangent was 2.6%, the capacitance per area was 10.7 nF / cm 2 , and the porosity was 4% by volume.

実施例24
溶剤がエチレングリコールジアセテートである以外は、実施例23と同様にして、ペースト組成物C−24を作製した。エチレングリコールジアセテートの沸点は190℃である。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表6に示した。比誘電率は95、誘電正接は3.1%であり、面積あたりの静電容量は8.4nF/cm2、空隙率は8体積%であった。
Example 24
A paste composition C-24 was produced in the same manner as in Example 23 except that the solvent was ethylene glycol diacetate. The boiling point of ethylene glycol diacetate is 190 ° C. Table 6 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric characteristics. The relative dielectric constant was 95, the dielectric loss tangent was 3.1%, the capacitance per area was 8.4 nF / cm 2 , and the porosity was 8% by volume.

実施例25
溶剤がマロン酸ジエチルである以外は、実施例23と同様にして、ペースト組成物C−25を作製した。マロン酸ジエチルの沸点は199℃である。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した。比誘電率は85、誘電正接は2.7%、面積あたりの静電容量は7.5nF/cm2、空隙率は9体積%であった。
Example 25
A paste composition C-25 was produced in the same manner as in Example 23 except that the solvent was diethyl malonate. The boiling point of diethyl malonate is 199 ° C. Further, based on the method of Example 1, a high dielectric composition was prepared and the dielectric characteristics were evaluated. The relative dielectric constant was 85, the dielectric loss tangent was 2.7%, the capacitance per area was 7.5 nF / cm 2 , and the porosity was 9% by volume.

実施例26
溶剤がエチルカルビトールである以外は、実施例23と同様にして、ペースト組成物C−26を作製した。エチルカルビトールの沸点は202℃である。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した。比誘電率は99、誘電正接は2.9%であり、面積あたりの静電容量は8.8nF/cm2、空隙率は7体積%であった。
Example 26
A paste composition C-26 was produced in the same manner as in Example 23 except that the solvent was ethyl carbitol. The boiling point of ethyl carbitol is 202 ° C. Further, based on the method of Example 1, a high dielectric composition was prepared and the dielectric characteristics were evaluated. The relative dielectric constant was 99, the dielectric loss tangent was 2.9%, the capacitance per area was 8.8 nF / cm 2 , and the porosity was 7% by volume.

実施例27
溶剤が4−メチルシクロヘキサノンである以外は、実施例23と同様にして、ペースト組成物C−27を作製した。4−メチルシクロヘキサノンの沸点は169℃である。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表6に示した。比誘電率は79、誘電正接は2.1%であり、面積あたりの静電容量は7.0nF/cm2、空隙率は12体積%であった。
Example 27
A paste composition C-27 was produced in the same manner as in Example 23 except that the solvent was 4-methylcyclohexanone. The boiling point of 4-methylcyclohexanone is 169 ° C. Table 6 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric characteristics. The relative dielectric constant was 79, the dielectric loss tangent was 2.1%, the capacitance per area was 7.0 nF / cm 2 , and the porosity was 12% by volume.

実施例28
溶剤がイソホロンである以外は、実施例23と同様にして、ペースト組成物C−28を作製した。イソホロンの沸点は215℃である。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表6に示した。比誘電率は76、誘電正接は2.2%であり、面積あたりの静電容量は6.7nF/cm2、空隙率は11体積%であった。
Example 28
A paste composition C-28 was produced in the same manner as in Example 23 except that the solvent was isophorone. The boiling point of isophorone is 215 ° C. Table 6 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric characteristics. The relative dielectric constant was 76, the dielectric loss tangent was 2.2%, the capacitance per area was 6.7 nF / cm 2 , and the porosity was 11% by volume.

実施例29
溶剤がジエチルホルムアミドである以外は、実施例23と同様にして、ペースト組成物C−29を作製した。ジエチルホルムアミドの沸点は177℃である。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した結果を表6に示した。比誘電率は70、誘電正接は2.3%であり、面積あたりの静電容量は6.2nF/cm2、空隙率は15体積%であった。
Example 29
A paste composition C-29 was produced in the same manner as in Example 23 except that the solvent was diethylformamide. The boiling point of diethylformamide is 177 ° C. Table 6 shows the results of producing a high dielectric composition based on the method of Example 1 and evaluating the dielectric characteristics. The relative dielectric constant was 70, the dielectric loss tangent was 2.3%, the capacitance per area was 6.2 nF / cm 2 , and the porosity was 15% by volume.

実施例30
溶剤がジメチルアセトアミドである以外は、実施例23と同様にして、ペースト組成物C−30を作製した。ジメチルアセトアミドの沸点は165℃である。また実施例1の方法に基づき、高誘電体組成物を作製し、誘電特性を評価した。比誘電率は79、誘電正接は2.3%であり、面積あたりの静電容量は7.0nF/cm2、空隙率は11体積%であった。
Example 30
A paste composition C-30 was produced in the same manner as in Example 23 except that the solvent was dimethylacetamide. The boiling point of dimethylacetamide is 165 ° C. Further, based on the method of Example 1, a high dielectric composition was prepared and the dielectric characteristics were evaluated. The relative dielectric constant was 79, the dielectric loss tangent was 2.3%, the capacitance per area was 7.0 nF / cm 2 , and the porosity was 11% by volume.

合成例1;分散液X−1
チタン酸バリウムフィラー(堺化学工業(株)製、BT−05、平均粒径:0.5μm)5328重量部、チタン酸バリウムフィラー(TPL,Inc.社製、HPB−1000、平均粒径:0.059μm)1872重量部、γ−ブチロラクトン928重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー:ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)72重量部をホモジナイザーを用いて、氷冷下で1時間、混合分散し、分散液X−1を得た。
Synthesis Example 1; Dispersion X-1
Barium titanate filler (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., BT-05, average particle size: 0.5 μm) 5328 parts by weight, barium titanate filler (TPL, Inc., HPB-1000, average particle size: 0) 0.059 μm) 1872 parts by weight, 928 parts by weight of γ-butyrolactone, 72 parts by weight of a dispersant (copolymer having an acid group having a phosphate ester skeleton: BYK-W9010, manufactured by BYK-W9010) using a homogenizer, Under ice cooling, the mixture was dispersed for 1 hour to obtain dispersion X-1.

合成例2;分散液X−2
チタン酸バリウムフィラー(堺化学工業(株)製、BT−05、平均粒径:0.5μm)5328重量部、チタン酸バリウムフィラー(Cabot Corp.製、K−Plus16、平均粒径:0.06μm)1872重量部、γ−ブチロラクトン928重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー:ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)72重量部をホモジナイザーを用いて、氷冷下で1時間、混合分散し、分散液X−2を得た。
Synthesis Example 2; Dispersion X-2
Barium titanate filler (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., BT-05, average particle size: 0.5 μm) 5328 parts by weight, barium titanate filler (manufactured by Cabot Corp., K-Plus16, average particle size: 0.06 μm) ) 1872 parts by weight, 928 parts by weight of γ-butyrolactone, 72 parts by weight of a dispersant (copolymer having an acid group having a phosphate ester skeleton: BYK-W9010, manufactured by BYK-Japan Co., Ltd.) using a homogenizer and ice-cooling Then, the mixture was dispersed for 1 hour to obtain dispersion X-2.

合成例3;分散液X−3
チタン酸バリウムフィラー(堺化学工業(株)製、BT−02、平均粒径:0.18μm)5328重量部、チタン酸バリウムフィラー(TPL,Inc.製、HPB−1000、平均粒径:0.059μm)1872重量部、γ−ブチロラクトン928重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー:ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)72重量部をホモジナイザーを用いて、氷冷下で1時間、混合分散し、分散液X−3を得た。
Synthesis Example 3; Dispersion X-3
Barium titanate filler (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., BT-02, average particle size: 0.18 μm) 5328 parts by weight, barium titanate filler (manufactured by TPL, Inc., HPB-1000, average particle size: 0.001). 059 μm) 1872 parts by weight, 928 parts by weight of γ-butyrolactone, 72 parts by weight of a dispersant (copolymer having an acid group having a phosphate ester skeleton: BYK-W9010, manufactured by BYK-Japan Japan Co., Ltd.) using a homogenizer The mixture was dispersed for 1 hour under cooling to obtain a dispersion X-3.

合成例4;分散液X−4
チタン酸バリウムフィラー(堺化学工業(株)製、BT−03、平均粒径:0.28μm)5328重量部、チタン酸バリウムフィラー(TPL,Inc.製、HPB−1000、平均粒径:0.059μm)1872重量部、γ−ブチロラクトン928重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー:ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)72重量部をホモジナイザーを用いて、氷冷下で1時間、混合分散し、分散液X−4を得た。
Synthesis Example 4; Dispersion X-4
Barium titanate filler (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., BT-03, average particle size: 0.28 μm) 5328 parts by weight, barium titanate filler (TPL, Inc., HPB-1000, average particle size: 0.001) 059 μm) 1872 parts by weight, 928 parts by weight of γ-butyrolactone, 72 parts by weight of a dispersant (copolymer having an acid group having a phosphate ester skeleton: BYK-W9010, manufactured by BYK-Japan Japan Co., Ltd.) using a homogenizer The mixture was dispersed for 1 hour under cooling to obtain a dispersion X-4.

合成例5;分散液X−5
チタン酸バリウムフィラー(共立マテリアル(株)製、BT−HP3、平均粒径:1.2μm)5328重量部、チタン酸バリウムフィラー(TPL,Inc.製、HPB−1000、平均粒径:0.059μm)1872重量部、γ−ブチロラクトン928重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー:ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)72重量部をホモジナイザーを用いて、氷冷下で1時間、混合分散し、分散液X−5を得た。
Synthesis Example 5: Dispersion X-5
Barium titanate filler (manufactured by Kyoritsu Material Co., Ltd., BT-HP3, average particle size: 1.2 μm) 5328 parts by weight, barium titanate filler (manufactured by TPL, Inc., HPB-1000, average particle size: 0.059 μm) ) 1872 parts by weight, 928 parts by weight of γ-butyrolactone, 72 parts by weight of a dispersant (copolymer having an acid group having a phosphate ester skeleton: BYK-W9010, manufactured by BYK-Japan Co., Ltd.) using a homogenizer and ice-cooling Then, the mixture was dispersed for 1 hour to obtain a dispersion X-5.

合成例6;分散液X−6
チタン酸バリウムフィラー(共立マテリアル(株)製、BT−SA、平均粒径:2.1μm)5328重量部、チタン酸バリウムフィラー(TPL,Inc.製、HPB−1000、平均粒径:0.059μm)1872重量部、γ−ブチロラクトン928重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー:ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)72重量部をホモジナイザーを用いて、氷冷下で1時間、混合分散し、分散液X−6を得た。
Synthesis Example 6; Dispersion X-6
Barium titanate filler (manufactured by Kyoritsu Material Co., Ltd., BT-SA, average particle size: 2.1 μm) 5328 parts by weight, barium titanate filler (TPL, Inc., HPB-1000, average particle size: 0.059 μm) ) 1872 parts by weight, 928 parts by weight of γ-butyrolactone, 72 parts by weight of a dispersant (copolymer having an acid group having a phosphate ester skeleton: BYK-W9010, manufactured by BYK-Japan Co., Ltd.) using a homogenizer and ice-cooling The mixture was mixed and dispersed for 1 hour to obtain a dispersion X-6.

合成例7;分散液X−7
チタン酸バリウムフィラー(堺化学工業(株)製、BT−05、平均粒径:0.5μm)6067重量部、チタン酸ストロンチウムフィラー(TPL,Inc.製、HPS−2000、平均粒径:0.045μm)1613重量部、γ−ブチロラクトン1523重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー:ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)77重量部をホモジナイザーを用いて、氷冷下で1時間、混合分散し、分散液X−7を得た。
Synthesis Example 7; Dispersion X-7
Barium titanate filler (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., BT-05, average particle size: 0.5 μm) 6067 parts by weight, strontium titanate filler (manufactured by TPL, Inc., HPS-2000, average particle size: 0.00). 045 μm) 1613 parts by weight, 1523 parts by weight of γ-butyrolactone, 77 parts by weight of a dispersant (copolymer having an acid group having a phosphate ester skeleton: BYK-W9010, manufactured by BYK Japan Japan Co., Ltd.) using a homogenizer The mixture was dispersed for 1 hour under cooling to obtain dispersion X-7.

合成例8;分散液X−8
チタン酸バリウムフィラー(堺化学工業(株)製、BT−05、平均粒径:0.5μm)5261重量部、酸化チタンフィラー(東邦チタニウム(株)製、HT0514、平均粒径:0.2μm)2419重量部、γ−ブチロラクトン1523重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー:ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)77重量部をホモジナイザーを用いて、氷冷下で1時間、混合分散し、分散液X−8を得た。
Synthesis Example 8; Dispersion X-8
Barium titanate filler (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., BT-05, average particle size: 0.5 μm) 5261 parts by weight, titanium oxide filler (manufactured by Toho Titanium Co., Ltd., HT0514, average particle size: 0.2 μm) 2419 parts by weight, 1523 parts by weight of γ-butyrolactone, 77 parts by weight of a dispersant (copolymer having an acid group having a phosphate ester skeleton: BYK-W9010, manufactured by BYK-Chemie Japan Co., Ltd.) using a homogenizer under ice cooling And mixed for 1 hour to obtain dispersion X-8.

合成例9;分散液X−9
鉛系フィラー(Ferro社製、Y5V183U、平均粒径:0.9μm)6695重量部、チタン酸バリウムフィラー(TPL,Inc.製、HPB−1000、平均粒径:0.059μm)1145重量部、γ−ブチロラクトン1722重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー:ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)78重量部をホモジナイザーを用いて、氷冷下で1時間、混合分散し、分散液X−9を得た。
Synthesis Example 9; Dispersion X-9
6695 parts by weight of lead filler (manufactured by Ferro, Y5V183U, average particle size: 0.9 μm), 1145 parts by weight of barium titanate filler (manufactured by TPL, Inc., HPB-1000, average particle size: 0.059 μm), γ -1722 parts by weight of butyrolactone and 78 parts by weight of a dispersant (copolymer having an acid group having a phosphate ester skeleton: BYK-W9010, manufactured by BYK-Chemie Japan Co., Ltd.) were mixed for 1 hour under ice cooling using a homogenizer. Dispersion was performed to obtain dispersion X-9.

合成例10;分散液X−10
チタン酸バリウムフィラー(堺化学工業(株)製、BT−05、平均粒径:0.5μm)7200重量部、γ−ブチロラクトン928重量部、分散剤(リン酸エステル系の酸基を持つコポリマー:ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)72重量部をホモジナイザーを用いて、氷冷下で1時間、混合分散し、分散液X−10を得た。
Synthesis Example 10; Dispersion X-10
Barium titanate filler (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., BT-05, average particle size: 0.5 μm) 7200 parts by weight, γ-butyrolactone 928 parts by weight, dispersant (copolymer having phosphate ester acid group: 72 parts by weight of BYK-W9010 manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd. was mixed and dispersed for 1 hour under ice-cooling using a homogenizer to obtain a dispersion X-10.

合成例11;分散液X−11
チタン酸バリウムフィラー(共立マテリアル(株)製、BTHP−8YF、平均粒径:7μm)5328重量部、チタン酸バリウムフィラー(堺化学工業(株)製、BT−05、平均粒径:0.5μm)1872重量部、γ−ブチロラクトン928重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー:ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)72重量部をホモジナイザーを用いて、氷冷下で1時間、混合分散し、分散液X−11を得た。
Synthesis Example 11; Dispersion X-11
Barium titanate filler (manufactured by Kyoritsu Material Co., Ltd., BTHP-8YF, average particle size: 7 μm) 5328 parts by weight, barium titanate filler (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., BT-05, average particle size: 0.5 μm) ) 1872 parts by weight, 928 parts by weight of γ-butyrolactone, 72 parts by weight of a dispersant (copolymer having an acid group having a phosphate ester skeleton: BYK-W9010, manufactured by BYK-Japan Co., Ltd.) using a homogenizer and ice-cooling Then, the mixture was dispersed for 1 hour to obtain a dispersion X-11.

合成例12;分散液X−12
チタン酸バリウムフィラー(共立マテリアル(株)製、BT−SA、平均粒径:2.1μm)をボールミルを用いてアクリル樹脂バインダーに分散した後、スプレードライヤーを用いて一次粒子を凝集固化させた二次粒子を造粒した。次にこれを大気中1200℃で6時間焼成したのち、乳鉢で粉砕した後、500メッシュと300メッシュの篩で分級し、平均粒径 40μmのチタン酸バリウムフィラーAを得た。平均粒子径の測定には動的散乱式粒径分布測定装置((株)堀場製作所製 LB−500)を用いた。このチタン酸バリウムフィラーAを5328重量部、チタン酸バリウムフィラーB(共立マテリアル(株)製、BT−SA、平均粒径:2.1μm)1872重量部、γ−ブチロラクトン928重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー:ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)72重量部をホモジナイザーを用いて、氷冷下で1時間、混合分散し、分散液X−12を得た。
Synthesis Example 12; Dispersion X-12
Barium titanate filler (manufactured by Kyoritsu Material Co., Ltd., BT-SA, average particle size: 2.1 μm) was dispersed in an acrylic resin binder using a ball mill, and then primary particles were aggregated and solidified using a spray dryer. The next particles were granulated. Next, this was fired in the atmosphere at 1200 ° C. for 6 hours, and then pulverized in a mortar, followed by classification with a sieve of 500 mesh and 300 mesh, to obtain a barium titanate filler A having an average particle size of 40 μm. For the measurement of the average particle size, a dynamic scattering type particle size distribution measuring device (LB-500 manufactured by Horiba, Ltd.) was used. 5328 parts by weight of this barium titanate filler A, 1872 parts by weight of barium titanate filler B (manufactured by Kyoritsu Material Co., Ltd., BT-SA, average particle size: 2.1 μm), 928 parts by weight of γ-butyrolactone, dispersant ( 72 parts by weight of a copolymer having an acid group having a phosphate ester skeleton: BYK-W9010 manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd. was mixed and dispersed for 1 hour under ice cooling using a homogenizer, and dispersion X-12 was dispersed. Obtained.

合成例13;分散液X−13
1000メッシュと600メッシュの篩を用いた以外は合成例12のチタン酸バリウムフィラーAと同様にして、平均粒径20μmのチタン酸バリウムフィラーCを作製した。このチタン酸バリウムフィラーCを5328重量部、チタン酸バリウムフィラーB(共立マテリアル(株)製、BT−SA、平均粒径:2.1μm)1872重量部、γ−ブチロラクトン928重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー:ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)72重量部をホモジナイザーを用いて、氷冷下で1時間、混合分散し、分散液X−13を得た。
Synthesis Example 13; Dispersion X-13
A barium titanate filler C having an average particle size of 20 μm was prepared in the same manner as the barium titanate filler A of Synthesis Example 12 except that 1000 and 600 mesh sieves were used. 5328 parts by weight of this barium titanate filler C, 1872 parts by weight of barium titanate filler B (manufactured by Kyoritsu Material Co., Ltd., BT-SA, average particle size: 2.1 μm), 928 parts by weight of γ-butyrolactone, dispersant ( 72 parts by weight of a copolymer having an acid group having a phosphate ester skeleton: BYK-W9010 manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd. was mixed and dispersed for 1 hour under ice-cooling using a homogenizer, and dispersion X-13 was prepared. Obtained.

合成例14;エポキシ樹脂溶液Y−1
エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、”フェノライト”EPPN−502H)400重量部、フェノールノボラック樹脂(大日本インキ化学工業(株)製、TD−2131)400重量部、γ−ブチロラクトン1000重量部を混合し、樹脂溶液Y−1を得た。
Synthesis Example 14; epoxy resin solution Y-1
400 parts by weight of epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., “Phenolite” EPPN-502H), 400 parts by weight of phenol novolac resin (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, TD-2131), 1000 parts by weight of γ-butyrolactone Parts were mixed to obtain a resin solution Y-1.

合成例15;エポキシ樹脂溶液Y−2
エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、NC−3000)600重量部、フェノールノボラック樹脂(日本化薬(株)製、”カヤハード”TPM(新名:”カヤハード”KTG−105))200重量部、硬化促進剤(北興化学(株)製トリフェニルホスフィン)8重量部、γ−ブチロラクトン1000重量部を混合し、樹脂溶液Y−1を得た。
Synthesis Example 15: Epoxy resin solution Y-2
Epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd., NC-3000) 600 parts by weight, phenol novolac resin (Nippon Kayaku Co., Ltd., “Kayahard” TPM (new name: “Kayahard” KTG-105)) 200 parts by weight Then, 8 parts by weight of a curing accelerator (manufactured by Hokuko Chemical Co., Ltd.) and 1000 parts by weight of γ-butyrolactone were mixed to obtain a resin solution Y-1.

実施例31
攪拌機を備えた容器内に、82重量部の分散液X−1を仕込み、18重量部の樹脂溶液Y−1を徐々に加えて、レットダウン法を用いて混合したのち、さらにボールミルで1時間撹拌して、ペースト組成物を得た。このとき、無機フィラーと樹脂の合計量を100体積%としたときの無機フィラー含有量は約61体積%であった。
Example 31
In a container equipped with a stirrer, 82 parts by weight of the dispersion X-1 was charged, 18 parts by weight of the resin solution Y-1 was gradually added, and mixed using the let-down method, and then further for 1 hour in a ball mill. The paste composition was obtained by stirring. At this time, when the total amount of the inorganic filler and the resin was 100% by volume, the inorganic filler content was about 61% by volume.

次に、このペースト組成物をアルミニウム基板及び銅基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、120℃、10分間で乾燥させた後、175℃、1時間で硬化させ、誘電体組成物を得た。これら2種の基板上に形成した誘電体組成物の温度によるストレス変化をテンコール社製ストレス測定装置Flexusを用いて測定し、その変化率から、誘電体組成物の線膨張係数を算出した結果、18ppm/℃であり、銅(17ppm/℃)にほぼ一致した良好な値であった。   Next, this paste composition is applied onto an aluminum substrate and a copper substrate using a spin coater, dried at 120 ° C. for 10 minutes using an oven, and then cured at 175 ° C. for 1 hour to obtain a dielectric. A composition was obtained. As a result of measuring the stress change due to the temperature of the dielectric composition formed on these two types of substrates using a stress measuring device Flexus manufactured by Tencor, and calculating the linear expansion coefficient of the dielectric composition from the rate of change, The value was 18 ppm / ° C., which was a good value almost corresponding to copper (17 ppm / ° C.).

さらに、アルミニウム基板上の誘電体組成物の表面に、アルミニウム電極を蒸着法により形成し、これと基板のアルミニウムを電極として、1MHzにおける誘電特性をインピーダンスアナライザ(ヒューレットパッカード社製、HP4284A、HP16451B)を用いて、JIS K 6911に準じて測定した結果、比誘電率は55、誘電正接は3.3%、面積当たりの静電容量は4.9nF/cm2であった。 Further, an aluminum electrode is formed on the surface of the dielectric composition on the aluminum substrate by vapor deposition, and the impedance characteristics (HP4284A, HP16451B, manufactured by Hewlett-Packard Co., Ltd.) are used to determine the dielectric characteristics at 1 MHz using the aluminum of the substrate as an electrode. The relative dielectric constant was 55, the dielectric loss tangent was 3.3%, and the capacitance per area was 4.9 nF / cm 2 .

また、銅基板上の誘電体組成物をプレッシャークッカーテスト(PCT試験、100%RH、121℃、2気圧、100時間後)を行った結果、顕微鏡観察で何ら異常は観察されず、碁盤目テープ法による試験(JIS K5400)では、評価点数は10点であり、良好であった。   Moreover, as a result of performing a pressure cooker test (PCT test, 100% RH, 121 ° C., 2 atm, 100 hours later) on the dielectric composition on the copper substrate, no abnormality was observed by microscopic observation, and a cross-cut tape In the test by the method (JIS K5400), the evaluation score was 10 points, which was good.

なお、線膨張係数、誘電特性、PCT試験のいずれの測定においても、誘電体組成物の膜厚は、5、10、20μmの3水準で評価を行ったが、膜厚による差異はみられなかったため、表9には10μmでの結果をまとめた。   In all measurements of the linear expansion coefficient, dielectric characteristics, and PCT test, the film thickness of the dielectric composition was evaluated at three levels of 5, 10, and 20 μm, but there was no difference depending on the film thickness. Therefore, Table 9 summarizes the results at 10 μm.

実施例32
攪拌機を備えた容器内に、86重量部の分散液X−1を仕込み、11重量部の樹脂溶液Y−1とγ−ブチロラクトン3重量部を徐々に加えて、レットダウン法を用いて混合したのち、さらに、ボールミルで1時間撹拌して、ペースト組成物を得た。このとき、無機フィラーと樹脂の合計量を100体積%としたときの無機フィラー含有量は約72体積%であった。
Example 32
In a container equipped with a stirrer, 86 parts by weight of the dispersion X-1 was charged, 11 parts by weight of the resin solution Y-1 and 3 parts by weight of γ-butyrolactone were gradually added and mixed using the letdown method. After that, the mixture was further stirred for 1 hour with a ball mill to obtain a paste composition. At this time, when the total amount of the inorganic filler and the resin was 100% by volume, the inorganic filler content was about 72% by volume.

このようにして得られたペースト組成物を用いて、実施例31と同様にして誘電体組成物を得て、線膨張係数、誘電特性、PCT試験を測定した結果を表9に示した。   Using the paste composition thus obtained, a dielectric composition was obtained in the same manner as in Example 31, and the results of measuring the linear expansion coefficient, dielectric characteristics, and PCT test are shown in Table 9.

実施例33
攪拌機を備えた容器内に、88重量部の分散液X−1を仕込み、7重量部の樹脂溶液Y−1とγ−ブチロラクトン5重量部を徐々に加えて、レットダウン法を用いて混合したのち、さらに、ボールミルで1時間撹拌して、ペースト組成物を得た。このとき、無機フィラーと樹脂の合計量を100体積%としたときの無機フィラー含有量は約79体積%であった。このようにして得られたペースト組成物を用いて、実施例31と同様にして誘電体組成物を得て、線膨張係数、誘電特性、PCT試験を測定した結果を表9に示した。
Example 33
In a container equipped with a stirrer, 88 parts by weight of the dispersion X-1 was charged, and 7 parts by weight of the resin solution Y-1 and 5 parts by weight of γ-butyrolactone were gradually added and mixed using the letdown method. After that, the mixture was further stirred for 1 hour with a ball mill to obtain a paste composition. At this time, when the total amount of the inorganic filler and the resin was 100% by volume, the inorganic filler content was about 79% by volume. Using the paste composition thus obtained, a dielectric composition was obtained in the same manner as in Example 31, and the results of measuring the linear expansion coefficient, dielectric characteristics, and PCT test are shown in Table 9.

実施例34
攪拌機を備えた容器内に、89重量部の分散液X−1を仕込み、4重量部の樹脂溶液Y−1とγ−ブチロラクトン7重量部を徐々に加えて、レットダウン法を用いて混合したのち、さらに、ボールミルで1時間撹拌して、ペースト組成物を得た。このとき、無機フィラーと樹脂の合計量を100体積%としたときの無機フィラー含有量は約86体積%であった。このようにして得られたペースト組成物を用いて、実施例31と同様にして誘電体組成物を得て、線膨張係数、誘電特性、PCT試験を測定した結果を表9に示した。
Example 34
In a container equipped with a stirrer, 89 parts by weight of the dispersion X-1 was charged, and 4 parts by weight of the resin solution Y-1 and 7 parts by weight of γ-butyrolactone were gradually added and mixed using the letdown method. After that, the mixture was further stirred for 1 hour with a ball mill to obtain a paste composition. At this time, the inorganic filler content was about 86% by volume when the total amount of the inorganic filler and the resin was 100% by volume. Using the paste composition thus obtained, a dielectric composition was obtained in the same manner as in Example 31, and the results of measuring the linear expansion coefficient, dielectric characteristics, and PCT test are shown in Table 9.

実施例35
攪拌機を備えた容器内に、90重量部の分散液X−1を仕込み、2重量部の樹脂溶液Y−1とγ−ブチロラクトン8重量部を徐々に加えて、レットダウン法を用いて混合したのち、さらに、ボールミルで1時間撹拌して、ペースト組成物を得た。このとき、無機フィラーと樹脂の合計量を100体積%としたときの無機フィラー含有量は約91体積%であった。このようにして得られたペースト組成物を用いて、実施例31と同様にして誘電体組成物を得て、線膨張係数、誘電特性、PCT試験を測定した結果を表9に示した。
Example 35
In a container equipped with a stirrer, 90 parts by weight of the dispersion X-1 was charged, and 2 parts by weight of the resin solution Y-1 and 8 parts by weight of γ-butyrolactone were gradually added and mixed using the letdown method. After that, the mixture was further stirred for 1 hour with a ball mill to obtain a paste composition. At this time, the inorganic filler content was about 91% by volume when the total amount of the inorganic filler and the resin was 100% by volume. Using the paste composition thus obtained, a dielectric composition was obtained in the same manner as in Example 31, and the results of measuring the linear expansion coefficient, dielectric characteristics, and PCT test are shown in Table 9.

実施例36
攪拌機を備えた容器内に、91重量部の分散液X−1を仕込み、1重量部の樹脂溶液Y−1とγ−ブチロラクトン8重量部を徐々に加えて、レットダウン法を用いて混合したのち、さらに、ボールミルで1時間撹拌して、ペースト組成物を得た。このとき、無機フィラーと樹脂の合計量を100体積%としたときの無機フィラー含有量は約93体積%であった。このようにして得られたペースト組成物を用いて、実施例31と同様にして誘電体組成物を得て、線膨張係数、誘電特性、PCT試験を測定した結果を表9に示した。
Example 36
In a container equipped with a stirrer, 91 parts by weight of dispersion X-1 was charged, 1 part by weight of resin solution Y-1 and 8 parts by weight of γ-butyrolactone were gradually added, and mixed using a letdown method. After that, the mixture was further stirred for 1 hour with a ball mill to obtain a paste composition. At this time, the inorganic filler content was about 93% by volume when the total amount of the inorganic filler and the resin was 100% by volume. Using the paste composition thus obtained, a dielectric composition was obtained in the same manner as in Example 31, and the results of measuring the linear expansion coefficient, dielectric characteristics, and PCT test are shown in Table 9.

実施例37〜43
攪拌機を備えた容器内に、表5に示した分散液;88重量部を仕込み、表5に示した樹脂溶液;7重量部とγ−ブチロラクトン5重量部を徐々に加えて、レットダウン法を用いて混合したのち、さらに、ボールミルで1時間撹拌して、ペースト組成物を得た。このとき、無機フィラーと樹脂の合計量を100体積%としたときの無機フィラー含有量は約79体積%であった。このようにして得られたペースト組成物を用いて、実施例31と同様にして誘電体組成物を得て、線膨張係数、誘電特性、PCT試験を測定した結果を表9、表10に示した。
Examples 37-43
Into a container equipped with a stirrer, 88 parts by weight of the dispersion shown in Table 5 was charged, and 7 parts by weight of the resin solution shown in Table 5 and 5 parts by weight of γ-butyrolactone were gradually added to perform the letdown method. After using and mixing, the mixture was further stirred with a ball mill for 1 hour to obtain a paste composition. At this time, when the total amount of the inorganic filler and the resin was 100% by volume, the inorganic filler content was about 79% by volume. Using the paste composition thus obtained, a dielectric composition was obtained in the same manner as in Example 31, and the results of measuring the linear expansion coefficient, dielectric characteristics, and PCT test are shown in Tables 9 and 10. It was.

実施例44
攪拌機を備えた容器内に、93重量部の分散液X−7を仕込み、7重量部の樹脂溶液Y−1を徐々に加えて、レットダウン法を用いて混合したのち、さらに、ボールミルで1時間撹拌して、ペースト組成物を得た。このとき、無機フィラーと樹脂の合計量を100体積%としたときの無機フィラー含有量は約79体積%に調整した。このようにして得られたペースト組成物を用いて、実施例31と同様にして誘電体組成物を得て、線膨張係数、誘電特性、PCT試験を測定した結果を表10に示した。
Example 44
In a container equipped with a stirrer, 93 parts by weight of the dispersion X-7 was charged, and 7 parts by weight of the resin solution Y-1 was gradually added and mixed using the let-down method. The mixture was stirred for a time to obtain a paste composition. At this time, the inorganic filler content was adjusted to about 79% by volume when the total amount of the inorganic filler and the resin was 100% by volume. Using the paste composition thus obtained, a dielectric composition was obtained in the same manner as in Example 31, and the results of measuring the linear expansion coefficient, dielectric characteristics, and PCT test are shown in Table 10.

実施例45
攪拌機を備えた容器内に、93重量部の分散液X−8を仕込み、7重量部の樹脂溶液Y−1を徐々に加えて、レットダウン法を用いて混合したのち、さらに、ボールミルで1時間撹拌して、ペースト組成物を得た。このとき、無機フィラーと樹脂の合計量を100体積%としたときの無機フィラー含有量は約81体積%に調整した。このようにして得られたペースト組成物を用いて、実施例31と同様にして誘電体組成物を得て、線膨張係数、誘電特性、PCT試験を測定した結果を表10に示した。
Example 45
In a container equipped with a stirrer, 93 parts by weight of the dispersion X-8 was charged, 7 parts by weight of the resin solution Y-1 was gradually added and mixed using the let-down method. The mixture was stirred for a time to obtain a paste composition. At this time, the content of the inorganic filler when the total amount of the inorganic filler and the resin was 100% by volume was adjusted to about 81% by volume. Using the paste composition thus obtained, a dielectric composition was obtained in the same manner as in Example 31, and the results of measuring the linear expansion coefficient, dielectric characteristics, and PCT test are shown in Table 10.

実施例46
攪拌機を備えた容器内に、93重量部の分散液X−9を仕込み、7重量部の樹脂溶液Y−1を徐々に加えて、レットダウン法を用いて混合したのち、さらに、ボールミルで1時間撹拌して、ペースト組成物を得た。このとき、無機フィラーと樹脂の合計量を100体積%としたときの無機フィラー含有量は約86体積%に調整した。このようにして得られたペースト組成物を用いて、実施例31と同様にして誘電体組成物を得て、線膨張係数、誘電特性、PCT試験を測定した結果を表10に示した。
Example 46
In a container equipped with a stirrer, 93 parts by weight of the dispersion X-9 was charged, 7 parts by weight of the resin solution Y-1 was gradually added, and mixed using the let-down method. The mixture was stirred for a time to obtain a paste composition. At this time, when the total amount of the inorganic filler and the resin was 100% by volume, the inorganic filler content was adjusted to about 86% by volume. Using the paste composition thus obtained, a dielectric composition was obtained in the same manner as in Example 31, and the results of measuring the linear expansion coefficient, dielectric characteristics, and PCT test are shown in Table 10.

比較例4
合成例14のエポキシ樹脂溶液を用い、無機フィラー分散液を用いなかった他は実施例31と同様にして誘電体組成物を得て、線膨張係数、誘電特性、PCT試験を測定した結果を表10に示した。
Comparative Example 4
A dielectric composition was obtained in the same manner as in Example 31 except that the epoxy resin solution of Synthesis Example 14 was used and the inorganic filler dispersion was not used, and the results of measurement of the linear expansion coefficient, dielectric characteristics, and PCT test are shown. This is shown in FIG.

比較例5
攪拌機を備えた容器内に、88重量部の分散液X−10を仕込み、7重量部の樹脂溶液Y−1とγ−ブチロラクトン5重量部を徐々に加えて、レットダウン法を用いて混合したのち、さらに、ボールミルで1時間撹拌して、ペースト組成物を得た。このとき、無機フィラーと樹脂の合計量を100体積%としたときの無機フィラー含有量は約79体積%であった。このようにして得られたペースト組成物を用いて、実施例31と同様にして誘電体組成物を得て、線膨張係数、誘電特性、PCT試験を測定した結果を表10に示した。
Comparative Example 5
In a container equipped with a stirrer, 88 parts by weight of the dispersion X-10 was charged, and 7 parts by weight of the resin solution Y-1 and 5 parts by weight of γ-butyrolactone were gradually added and mixed using the letdown method. After that, the mixture was further stirred for 1 hour with a ball mill to obtain a paste composition. At this time, when the total amount of the inorganic filler and the resin was 100% by volume, the inorganic filler content was about 79% by volume. Using the paste composition thus obtained, a dielectric composition was obtained in the same manner as in Example 31, and the results of measuring the linear expansion coefficient, dielectric characteristics, and PCT test are shown in Table 10.

比較例6
攪拌機を備えた容器内に、88重量部の分散液X−11を仕込み、7重量部の樹脂溶液Y−1とγ−ブチロラクトン5重量部を徐々に加えて、レットダウン法を用いて混合したのち、さらに、ボールミルで1時間撹拌して、ペースト組成物を得た。このペースト組成物は、放置によりフィラーが沈降しやすかった。このとき、無機フィラーと樹脂の合計量を100体積%としたときの無機フィラー含有量は約79体積%であった。このようにして得られたペースト組成物を用いて、実施例31と同様にして誘電体組成物を得て、誘電特性の測定を試みたが、測定値が安定せず、測定することができなかった。
Comparative Example 6
In a container equipped with a stirrer, 88 parts by weight of the dispersion X-11 was charged, and 7 parts by weight of the resin solution Y-1 and 5 parts by weight of γ-butyrolactone were gradually added and mixed using the letdown method. After that, the mixture was further stirred for 1 hour with a ball mill to obtain a paste composition. In this paste composition, the filler was liable to settle upon standing. At this time, when the total amount of the inorganic filler and the resin was 100% by volume, the inorganic filler content was about 79% by volume. Using the paste composition thus obtained, a dielectric composition was obtained in the same manner as in Example 31 and an attempt was made to measure dielectric properties. However, the measured values were not stable and could be measured. There wasn't.

比較例7
攪拌機を備えた容器内に、88重量部の分散液X−12を仕込み、7重量部の樹脂溶液Y−1とγ−ブチロラクトン5重量部を徐々に加えて、レットダウン法を用いて混合したのち、さらに、ボールミルで1時間撹拌して、ペースト組成物を得た。このペースト組成物は、放置によりフィラーが沈降しやすかった。このとき、無機フィラーと樹脂の合計量を100体積%としたときの無機フィラー含有量は約79体積%であった。このようにして得られたペースト組成物を用いて、実施例31と同様にして誘電体組成物を得て、誘電特性の測定を試みたが、測定値が安定せず、測定することができなかった。
Comparative Example 7
In a container equipped with a stirrer, 88 parts by weight of dispersion X-12 was charged, and 7 parts by weight of resin solution Y-1 and 5 parts by weight of γ-butyrolactone were gradually added and mixed using the letdown method. After that, the mixture was further stirred for 1 hour with a ball mill to obtain a paste composition. In this paste composition, the filler was liable to settle upon standing. At this time, when the total amount of the inorganic filler and the resin was 100% by volume, the inorganic filler content was about 79% by volume. Using the paste composition thus obtained, a dielectric composition was obtained in the same manner as in Example 31 and an attempt was made to measure dielectric properties. However, the measured values were not stable and could be measured. There wasn't.

比較例8
攪拌機を備えた容器内に、8893重量部の分散液X−13を仕込み、7重量部の樹脂溶液Y−1とγ−ブチロラクトン5重量部を徐々に加えて、レットダウン法を用いて混合したのち、さらに、ボールミルで1時間撹拌して、ペースト組成物を得た。このペースト組成物は、放置によりフィラーが沈降しやすかった。このとき、無機フィラーと樹脂の合計量を100体積%としたときの無機フィラー含有量は約79体積%であった。このようにして得られたペースト組成物を用いて、実施例31と同様にして誘電体組成物を得て、誘電特性の測定を試みたが、測定値が安定せず、測定することができなかった。
Comparative Example 8
In a container equipped with a stirrer, 8893 parts by weight of dispersion X-13 was charged, 7 parts by weight of resin solution Y-1 and 5 parts by weight of γ-butyrolactone were gradually added, and mixed using the letdown method. After that, the mixture was further stirred for 1 hour with a ball mill to obtain a paste composition. In this paste composition, the filler was liable to settle upon standing. At this time, when the total amount of the inorganic filler and the resin was 100% by volume, the inorganic filler content was about 79% by volume. Using the paste composition thus obtained, a dielectric composition was obtained in the same manner as in Example 31 and an attempt was made to measure dielectric properties. However, the measured values were not stable and could be measured. There wasn't.

比較例9
大粒径フィラーであるチタン酸バリウムフィラー(堺化学工業(株)製、BT−05、平均粒径:0.5μm)をチタン酸バリウムフィラー(TPL,Inc.製、HPB−1000、平均粒径:0.059μm)に変更し、小粒径フィラーであるチタン酸バリウムフィラー(TPL,Inc.製、HPB−1000、平均粒径:0.059μm)をチタン酸ストロンチウムフィラー(TPL,Inc.製、HPS−2000、平均粒径:0.045μm)に変更する以外は合成例3と同様にして分散液を作製しようと試みたが、フィラーが凝集して分散液が不安定であり、ペースト組成物を得ることができなかった。
Comparative Example 9
Barium titanate filler (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., BT-05, average particle size: 0.5 μm) is a barium titanate filler (TPL, Inc., HPB-1000, average particle size) which is a large particle size filler. : 0.059 μm), barium titanate filler (manufactured by TPL, Inc., HPB-1000, average particle size: 0.059 μm), which is a small particle size filler, was replaced with strontium titanate filler (manufactured by TPL, Inc., An attempt was made to prepare a dispersion in the same manner as in Synthesis Example 3 except that the dispersion was changed to HPS-2000, average particle size: 0.045 μm). Could not get.

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Claims (16)

無機フィラー、エポキシ樹脂、および溶剤を含有してなるペースト組成物であって、溶剤が沸点160℃以上の溶剤を1種以上有し、無機フィラーの平均粒径が5μm以下である無機フィラーを有し、全溶剤量がペースト組成物全量の25重量%以下であることを特徴とするペースト組成物。 A paste composition comprising an inorganic filler, an epoxy resin, and a solvent, the solvent having at least one solvent having a boiling point of 160 ° C. or higher, and an inorganic filler having an average particle diameter of 5 μm or less. And the total amount of the solvent is 25% by weight or less of the total amount of the paste composition. 無機フィラーがチタン酸バリウム系、チタン酸ジルコン酸バリウム系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸カルシウム系、チタン酸ビスマス系、チタン酸マグネシウム系、チタン酸バリウムネオジウム系、チタン酸バリウム錫系、マグネシウムニオブ酸バリウム系、マグネシウムタンタル酸バリウム系、チタン酸鉛系、ジルコン酸鉛系、チタン酸ジルコン酸鉛系、ニオブ酸鉛系、マグネシウムニオブ酸鉛系、ニッケルニオブ酸鉛系、タングステン酸鉛系、タングステン酸カルシウム系、マグネシウムタングステン酸鉛系、二酸化チタン系から選ばれる少なくとも1種類である請求項1記載のペースト組成物。 Inorganic fillers are barium titanate, barium zirconate titanate, strontium titanate, calcium titanate, bismuth titanate, magnesium titanate, barium neodymium titanate, barium tin titanate, magnesium niobate Barium, magnesium barium tantalate, lead titanate, lead zirconate, lead zirconate titanate, lead niobate, lead magnesium niobate, lead nickel niobate, lead tungstate, tungstic acid The paste composition according to claim 1, wherein the paste composition is at least one selected from calcium, lead magnesium tungstate, and titanium dioxide. 無機フィラーが少なくとも2種類の平均粒径を有する無機フィラーを含み、前記平均粒径のうちの最大の平均粒径が0.1〜5μmであり、最小の平均粒径に対し、最大の平均粒径が3倍以上である請求項1記載のペースト組成物。 The inorganic filler includes an inorganic filler having at least two kinds of average particle diameters, the maximum average particle diameter among the average particle diameters is 0.1 to 5 μm, and the maximum average particle diameter with respect to the minimum average particle diameter The paste composition according to claim 1, wherein the diameter is 3 times or more. エステル構造を有する溶剤を少なくとも1種含有している請求項1記載のペースト組成物。 The paste composition according to claim 1, comprising at least one solvent having an ester structure. ラクトン構造を有する溶剤を少なくとも1種含有している請求項1記載のペースト組成物。 The paste composition according to claim 1, comprising at least one solvent having a lactone structure. リン酸エステル骨格を有する化合物を含有している請求項1記載のペースト組成物。 The paste composition according to claim 1, comprising a compound having a phosphate ester skeleton. 請求項1〜のいずれか記載のペースト組成物を、脱溶剤、固化して得られる誘電体組成物であって、無機フィラーの量が誘電体組成物中に含まれる固形分全量の85〜99重量%であり、かつ空隙率が30体積%以下である誘電体組成物。 A dielectric composition obtained by removing the solvent and solidifying the paste composition according to any one of claims 1 to 6 , wherein the amount of the inorganic filler is 85 to 85% of the total solid content contained in the dielectric composition. A dielectric composition having 99% by weight and a porosity of 30% by volume or less. 膜形状であり、膜厚が0.5μm以上20μm以下である請求項記載の誘電体組成物。 A film shape, thickness is 0.5μm or more 20μm or less claim 7 Yuden composition described. 無機フィラーと樹脂を有する誘電体組成物であって、無機フィラーが少なくとも2種類の平均粒径を有し、前記平均粒径のうちの最大の平均粒径が0.1〜5μmであり、最小の平均粒径に対し、最大の平均粒径が3倍以上であり、空隙率が30体積%以下であることを特徴とする誘電体組成物。 A dielectric composition having an inorganic filler and a resin, wherein the inorganic filler has at least two types of average particle diameters, and the maximum average particle diameter of the average particle diameters is 0.1 to 5 μm, and the minimum the relative average particle diameter, the largest average particle size is not less 3 times or more, the dielectric composition porosity characterized der Rukoto than 30 vol%. 無機フィラーが二酸化チタン系、チタン酸バリウム系、チタン酸ジルコン酸バリウム系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸カルシウム系、チタン酸ビスマス系、チタン酸マグネシウム系、チタン酸バリウムネオジウム系、チタン酸バリウム錫系、マグネシウムニオブ酸バリウム系、マグネシウムタンタル酸バリウム系、チタン酸鉛系、ジルコン酸鉛系、チタン酸ジルコン酸鉛系、ニオブ酸鉛系、マグネシウムニオブ酸鉛系、ニッケルニオブ酸鉛系、タングステン酸鉛系、タングステン酸カルシウム系、マグネシウムタングステン酸鉛系から選ばれる少なくとも1種類である請求項記載の誘電体組成物。 Inorganic filler is titanium dioxide, barium titanate, barium zirconate titanate, strontium titanate, calcium titanate, bismuth titanate, magnesium titanate, barium neodymium titanate, barium tin titanate , Barium magnesium niobate, barium magnesium tantalate, lead titanate, lead zirconate, lead zirconate titanate, lead niobate, lead magnesium niobate, lead nickel niobate, lead tungstate 10. The dielectric composition according to claim 9 , wherein the dielectric composition is at least one selected from the group consisting of calcium, tungstate, and lead magnesium tungstate. 無機フィラーの総体積と樹脂固形分の総体積に対する無機フィラーの総体積の割合Vfが、50%以上95%以下を満たす請求項記載の誘電体組成物。 The dielectric composition according to claim 9 , wherein a ratio Vf of the total volume of the inorganic filler to the total volume of the inorganic filler and the total volume of the resin solid satisfies 50% or more and 95% or less. 前記樹脂が熱硬化性樹脂を含有している請求項記載の誘電体組成物。 The dielectric composition according to claim 9, wherein the resin contains a thermosetting resin. 前記樹脂がエポキシ樹脂である請求項記載の誘電体組成物。 The dielectric composition according to claim 9 , wherein the resin is an epoxy resin. リン酸エステル骨格を有する化合物を含有している請求項記載の誘電体組成物。 The dielectric composition according to claim 9, comprising a compound having a phosphate ester skeleton. 請求項1または記載のペースト組成物または誘電体組成物を用いるコンデンサ。 Capacitors using claim 1 or 9 paste composition according or dielectric composition. 請求項1または記載のペースト組成物または誘電体組成物を用いる光配線。 Optical wiring using claim 1 or 9 paste composition according or dielectric composition.
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