JP3671567B2 - Electrical connection device for electronic components - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、突起電極を有する電子部品に電気的な接続を得るための電子部品の電気的接続装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品として、小型のチップ・スケール・パッケージ(チップ・サイズ・パッケージともいう:CSP)のようなものが実用化されている。このCSPチップは、突起電極であるバンプが、例えば0.5mmピッチで多数個マトリックス状に配列されたものである。このようなCSPチップの突起電極は、チップ自体に配列されているので、CSPチップは非常に小型のチップである。
このようなCSPチップの電気的な特性を試験する場合に、試験工程では、CSPチップの突起電極(以下バンプという)は、図8〜図14に示すような電気的接続装置を用いて、各バンプと試験用のテスター測定器との電気的な接続を行う。
【0003】
例えば図8の従来の電気的接続装置では、CSPチップ1のバンプ2は、ほぼY型のコンタクトピン3を用いて接続するようになっている。図9の電気的接続装置では、バンプ2は板状の部材4を用いて相手方のバンプ5に対して電気的に接続する。この板状の部材4には、ワイヤー6が配列されており、ワイヤー6を用いてバンプ2,5を電気的に接続する。
【0004】
図10の電気的接続装置では、バンプ2がコンタクトピン4に対して電気的に接続されるのであるが、このコンタクトピンは複雑な形状に曲げてある。図11の電気的接続装置では、バンプ2は、相手方のバンプに対してコンタクトピン8を用いて電気的に接続されている。このコンタクトピン8は内蔵するバネによりZ方向に押圧力で上下動できるようになっている。図12の電気的接続装置では、バンプ2はコンタクトピン8により電気的に接続されるが、このコンタクトピン8もバネ8aにより上下動できるようになっている。
【0005】
図13のバンプ2は相手方のバンプ5に対してゴム状の部材9を用いて電気的に接続されている。このゴム状の部材9内には、バンプ2,5に対応する部分に金属粒子(導電粒子)9cが入っており、バンプ2側から圧力が加わると金属粒子9cを介してバンプ2,5が電気的に接続できる。
図14のニードル方式の電気的接続装置では、バンプ2に対してニードル9aが電気的に接続できるようになっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところが上述した図8〜図14の従来の電気的接続装置では、次のような問題がある。
図8においてバンプ2の突出高さが50μm程度である場合には、コンタクトピン3がバンプ2に噛み合うことができず、電気的な接続が確実に行えない。図9の電気的接続装置では、ゴム状の部材4の耐久性が低く繰り返し使用する電気的接続装置には向かない。図10の電気的接続装置では、コンタクトピン7が複雑な形状に成形されているので、バンプ2が狭ピッチである場合には対応することができない。
【0007】
図11及び図12の電気的接続装置では、コンタクトピン8がバネにより弾性的に支持されている構造なので、構造が複雑であり、バンプ2が狭ピッチである場合には対応することができない。
図13の電気的接続装置では、バンプ2が狭ピッチである場合でも対応することができるが、ゴム状の部材9の耐久性が低く、繰り返し使用する電気的接続装置には向かない。
【0008】
図14の電気的接続装置では、ニードル9aを接触する方式であるが、狭ピッチには対応しにくく、接続の確実性にも不安がある。そこで本発明は上記課題を解消し、安価であるとともに、電子部品の電気的な試験を行う際に、多数の電子部品の電気的な接続を確実に行う電子部品の電気的接続装置を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、本発明にあっては、突起電極を有する電子部品に電気的な接続を得るための電子部品の電気的接続装置であり、複数本の導電性の接続部材と、その複数本の導電性の接続部材を通すための複数の穴を有するベース部材と、そのベース部材の複数の穴を含む周囲部分に配置して複数本の導電性の接続部材を電気絶縁状態で接続部材の長手方向に関して弾性的に移動可能に保持する絶縁性の弾性保持部材と、を有し、導電性の接続部材の一端部分電子部品の突起電極との電気的に接続する部分を設け導電性の接続部材の他端部分電子部品の測定用の回路基板との電気的に接続する部分を設け、電子部品の突起電極を導電性の接続部材の一端部分に押しつけると、電子部品の測定用の回路基板に電気的に接続するように導電性の接続部材の他端部分を備えた電子部品の電気的接続装置により、達成される。
【0010】
本発明では、突起電極を有する電子部品に電気的な接続を得る際に、ベース部材の各穴には、導電性の接続部材を通してある。この導電性の接続部材は、ベース部材に対して絶縁性の弾性保持部材により弾性的に支持され、かつ弾性的に接続部材の長手方向に関して移動可能である。接続部材の一端部分は、電子部品の突起電極に電気的に接続し、接続部材の他端部分は電子部品の測定用の回路基板に電気的に接続するようになっている。そして、電子部品の突起電極を接続部材の一端部分に押し付けて初めて接続部材の他端部分が電子部品の測定用の回路基板に電気的に接続するようになっている。
【0011】
これにより、電子部品の突起電極をベース部材の導電性の接続部材に押し付けることにより、導電性の接続部材は絶縁性の弾性保持部材により弾性的にベース部材において移動可能であるので、突起電極の高さに違いがあっても、各突起電極は対応する導電性の接続部材に確実に接続することができる。
また、電子部品の突起電極を接続部材の一端部分に押し付けて初めて接続部材の他端部分が電子部品の測定用の回路基板に電気的に接続するようにしたため、他端部分が常時測定用の回路基板に接続されていないので他端部分と回路基板の摩耗を防ぐことができるというメリットがある。
【0012】
本発明において絶縁性の弾性保持部材が、連結部分により連結されているので、弾性保持部材はベース部材に対してしっかりと保持でき、導電性の接続部材の移動時の負荷に充分耐えることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【0014】
図1は、本発明の電気的接続装置10及びそれに対応して配置された試験器100を示す断面図であり、図2は電気的接続装置10の平面図である。
図1と図2において、電子部品の電気的接続装置10は、例えばチップ・スケール・パッケージ(以下CSPと呼ぶ)のチップ17の電気的導通試験等に用いられる。CSPチップ17は、その裏面側に多数のバンプ17aが所定のパターン、例えばフルマトリックス状で配列されている。バンプ17aは、例えば0.5mmの狭ピッチでX方向とY方向に配列されている。
【0015】
この電気的接続装置10は、絶縁板(ベース部材)12、導電性の接続部材15、絶縁性の弾性保持部材16、位置決めガイド30、スペーサ18、ソケットベース(ベース部材)19等を有している。
ソケットベース19と絶縁板12は、ベース部材を構成している。ソケットベース19は、例えば金属製の長方形状の部材である。ソケットベース19の四隅にはネジ19aを通すための穴19bが形成されている。
絶縁板12は、絶縁材料、例えばプラスチックにより作られた例えば正方形状の板状の部材である。絶縁板12は、図1と図3に示すように、大きい穴12aと小さい穴21を有している。この絶縁板12は、ソケットベース19の穴19cの内部に挿入され、かつスペーサ18の上に載せている。従ってスペーサ18の中央部には、絶縁板12の大きさよりやや小さい穴18aが形成されている。
【0016】
スペーサ18は、金属あるいはプラスチックにより作ることができ、スペーサ18の厚みは、ソケットベース19の厚みに比べて小さく設定されている。ソケットベース19の厚みは、絶縁板12の厚みに比べてかなり大きく設定されており、このソケットベース19の穴19cには、絶縁板12と位置決めガイド30が完全にはめ込むことができる。位置決めガイド30は、例えば絶縁性を有するプラスチック等で作られており、CSPチップ17を絶縁板12に対応して位置決めするための部材である。詳細には、CSPチップ17の各バンプ17aが、絶縁板12の複数の接続部材15の上端部分に対応するように、位置決めガイド30がCSPチップ17を位置決めすることができる。
【0017】
複数本の接続部材15はピンもしくは針状の部材であり導電性がある。これら接続部材15は、図3に示すように絶縁板12の小さい穴21に対してそれぞれ挿入されている。
【0018】
図3の絶縁板12に対しては、絶縁性の弾性保持部材16が形成されている。つまり、絶縁性の弾性保持部材16は、例えばゴム製であり、絶縁板12の一方の面12fと他方の面12g及び穴12aに弾性保持部材16が配置されている。穴12aに配置された弾性保持部材は連結部分(第2部分)16aである。連結部分16aを形成することにより、絶縁板12の一方の面12fと他方の面12gに形成された弾性保持部材16の絶縁板12に対する接着力を充分に保持することができる。
また、絶縁板12の小さい穴21に対しても弾性保持部材16が一部入っているようにすれば、一方の面12fと他方の面12gの弾性保持部材16の接着性を更に向上することができる。つまり穴21内の弾性保持部材16の第1部分16bが接着性を向上する。
小さい穴21に対応して配置された弾性保持部材16は、各接続部材(コンタクトピンとも呼ぶ)15をZ方向に関して弾性的に移動可能に保持することができる。
【0019】
特に特徴的なのは、次の点である。図4に示すように、絶縁板12が、ソケットベース19の穴19cに設定されてスペーサ18の上に載った状態では、接続部材15の一端部分15aが、図3に示すようにCSPチップ17のバンプ17aにそれぞれ接触した状態になっている。これに対して接続部材15の他端部分15bと、回路基板102の電極47とは、図3と図6に示すように所定の間隔Dをおいて離れている。このように単にCSPチップ17を設定した状態では、接続ピン15の他端部分(他端)15bが電極47に接触しないようにすることで、回路基板102の電極47と接続部材15の他端部15bの摩耗を極力防ぐことができる。
図1と図2に示す絶縁板12の穴12aは、図5のように例えば絶縁板12の8ケ所に形成されている。
【0020】
次に図1の試験器100について説明する。
試験器100は、基板(回路基板)102と、接続ライン103及び判断部101を有している。基板102の各電極47は、ライン103を介して判断部101に電気的に接続されている。基板102の四隅には、ボルト19aが垂直上方に向けて設けられている。この判断部101は、例えばCSPチップ17の電気的特性や電気的接続性の検査を行うものである。
【0021】
次に、絶縁板12に対して複数の接続部材15を取り付ける方法について説明する。図5に示すように絶縁板12に対して穴21と穴12aを開ける。そして各穴21には図3のように接続部材15を通して、一端部分15aが絶縁板12の一方の面12fより突出し、かつ接続部材の他端部分15bが絶縁板12の他方の面12gから突出するように保持する。
【0022】
その状態を維持して、絶縁板12の一方の面12fと他方の面12gに対してゴムのような弾性保持部材16を流し込んで固める。これにより、各接続部材15は、絶縁板12に対して、Z方向にそれぞれ別個に弾性的に移動することができる。その接続部材15のZ方向の移動量は、例えば100μm前後である。接続部材15の太さは、CSPチップ17のバンプ17aの配列ピッチが、0.5mmである場合には0.2〜0.3mmであるのが望ましい。またバンプ17aの配列ピッチが0.8mmである場合には、接続部材15の太さは0.4〜0.5mmであるのが望ましい。
各接続部材はバンプ17aと電極47に対して電気的なコンタクト性を良好にするために、金めっきを施したりあるいは、図7に示すように一端部分15a及び他端部分15bを図7(A)と(B)に示すように円錐形状にしたりあるいは図7(C)に示すように半球状にすることもできる。
【0023】
接続部材15の一端部分15aと他端部分15bの形状を変えて、バンプ17aと電極47に対する接触面積を変えることにより、図1の押圧部材60がCSPチップ17に加える押圧力の大きさを調整することができる。また接続部材の移動に必要な力の大きさは、絶縁性の保持部材16の硬さや厚さの大きさで調整する。
このようにして作られた接続部材15を有する絶縁板12は、図1と図4に示すようにスペーサ18の上に置かれるとともに、位置決めガイド30がその絶縁板12の上に置かれる。この位置決めガイド30は、CSPチップの種類等に応じて予め用意されている。
【0024】
次に、図4のようにCSPチップ17が位置決めガイド30のガイド穴30aに挿入されて、図3と図6に示すようにCSPチップのバンプ17aが、各接続部材15の一端部分15aに接触するように載せる。
しかしこの状態では、押圧部材60がまだCSPチップ17を下方に押圧してないので、接続部材15は弾性保持部材16により弾性的に保持されていることから、電極47と他端部分15bとの間には間隔Dがある。
【0025】
押圧部材60がCSPチップ17を図1の矢印Z1方向に押すと、接続部材15の他端部分15bが対応する電極47に対して、弾性保持部材16の弾性力に抗して電気的に確実に接続することができる。この際に、バンプ17aの高さにばらつきがあったとしても、接続部材15はそのばらつきに対応して絶縁板12において個別に移動するので、バンプ17aと電極47の電気的な接続を確実に行うことができる。CSPチップ17がバンプ17a、接続部材15、電極47を介して図1の判断部101に電気的に接続されると、判断部101はCSPチップ17の電気的特性等の試験を行ってその結果を判断する。
このようにCSPチップ17が押圧部材60で押圧しない状態では、接続部材15の他端部分15bが電極47に接触していないので、電極47は押圧による測定時以外には接続部材と接触しないので電極47の摩耗をできる限り少なくすることができる。
【0026】
弾性保持部材16は、測定の度に接続部材15が移動する力を受けるのであるが、弾性保持部材16は、図3の穴12a内の連結部分の第2部分16aと、各小さい穴21内に少し入り込んだ弾性保持部材16の第1部分16bにより絶縁板12に対して接着力を高めて剥がれないように保持することができる。
以上のようにして、本発明の電気的接続装置では、絶縁板12に対してマトリックス状に穴21を開けて、その穴に針金のような接続部材15を挿入している。そしてゴムのような弾性保持部材16が絶縁板12と接続部材15を包む形で、絶縁板12の表と裏側から固めて、各接続部材を弾性的に保持している。
このことから、電気的接続装置は安価であり、電気的なコンタクト性の優れたものである。
【0027】
ところで本発明は上記実施の形態に限定されない。
上述した実施の形態では、電子部品としてCSPチップを例に挙げているが、これに限らず他の種類、例えばボール・グリッド・アレイ(BGA)のような電子部品等の試験にも勿論用いることができる。
【0028】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の電気的接続装置によれば、安価であるとともに、電子部品の電気的な試験を行う際に、多数の電子部品の電気的な接続を確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の電気的接続装置及びそのための試験器の例を示す断面図。
【図2】図1の電気的接続装置の平面図。
【図3】電気的接続装置の要部を示す拡大図。
【図4】電気的接続装置に対して電子部品であるCSPチップを搭載しようとする状態を示す図。
【図5】絶縁板及び弾性保持部材、接続部材等を示す断面図。
【図6】CSPチップ、接続ピン及び基板の電極との位置関係を示す図。
【図7】接続部材の端部の形状の例を示す図。
【図8】従来の電気的接続装置を示す図。
【図9】従来の電気的接続装置を示す図。
【図10】従来の電気的接続装置を示す図。
【図11】従来の電気的接続装置を示す図。
【図12】従来の電気的接続装置を示す図。
【図13】従来の電気的接続装置を示す図。
【図14】従来の電気的接続装置を示す図。
【符号の説明】
10・・・電気的接続装置、12・・・絶縁板、15・・・接続部材、15a・・・接続部材の一端部分、15b・・・接続部材の他端部分、16a・・・弾性保持部材の連結部分(第2部分)、16c・・・弾性保持部材の第1部分、17・・・CSPチップ(電子部品)、17a・・・バンプ(突起電極)、18・・・スペーサ、30・・・位置決めガイド、47・・・電極、100・・・試験器
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electrical connection device for an electronic component for obtaining an electrical connection to an electronic component having a protruding electrode.
[0002]
[Prior art]
Electronic components such as small chip scale packages (also referred to as chip size packages: CSP) have been put into practical use. This CSP chip has a large number of bumps, which are protruding electrodes, arranged in a matrix at a pitch of 0.5 mm, for example. Since the protruding electrodes of such a CSP chip are arranged on the chip itself, the CSP chip is a very small chip.
When testing the electrical characteristics of such a CSP chip, in the test process, the protruding electrodes (hereinafter referred to as bumps) of the CSP chip are each connected using an electrical connection device as shown in FIGS. Make electrical connection between bump and tester measuring instrument.
[0003]
For example, in the conventional electrical connection apparatus shown in FIG. 8, the bumps 2 of the CSP chip 1 are connected using substantially Y-type contact pins 3. In the electrical connection apparatus of FIG. 9, the bump 2 is electrically connected to the counterpart bump 5 using a plate-like member 4. Wires 6 are arranged on the plate-like member 4, and the bumps 2 and 5 are electrically connected using the wires 6.
[0004]
In the electrical connection apparatus of FIG. 10, the bump 2 is electrically connected to the contact pin 4, but the contact pin 7 is bent into a complicated shape. In the electrical connection device of FIG. 11, the bump 2 is electrically connected to the counterpart bump using the contact pin 8. The contact pin 8 can be moved up and down by a pressing force in the Z direction by a built-in spring. In the electrical connection device of FIG. 12, the bumps 2 are electrically connected by contact pins 8. The contact pins 8 can also be moved up and down by springs 8a.
[0005]
The bump 2 of FIG. 13 is electrically connected to the counterpart bump 5 using a rubber-like member 9. In the rubber-like member 9, metal particles (conductive particles) 9c are contained in portions corresponding to the bumps 2 and 5, and when pressure is applied from the bump 2 side, the bumps 2 and 5 are formed via the metal particles 9c. Can be connected electrically.
In the needle type electrical connection device of FIG. 14, the needle 9 a can be electrically connected to the bump 2.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional electrical connection devices shown in FIGS. 8 to 14 described above have the following problems.
In FIG. 8, when the protruding height of the bump 2 is about 50 μm, the contact pin 3 cannot be engaged with the bump 2, and electrical connection cannot be reliably performed. The electrical connection device of FIG. 9 is not suitable for an electrical connection device that is used repeatedly because the durability of the rubber-like member 4 is low. In the electrical connection device of FIG. 10, since the contact pins 7 are formed in a complicated shape, it is impossible to cope with the case where the bumps 2 have a narrow pitch.
[0007]
11 and 12, since the contact pin 8 is elastically supported by a spring, the structure is complicated, and the case where the bumps 2 have a narrow pitch cannot be handled.
The electrical connection device of FIG. 13 can cope with the case where the bumps 2 have a narrow pitch, but the durability of the rubber-like member 9 is low and is not suitable for an electrical connection device that is used repeatedly.
[0008]
In the electrical connection device of FIG. 14, the needle 9 a is contacted, but it is difficult to cope with a narrow pitch, and there is concern about the connection reliability. Therefore, the present invention solves the above-described problems , is inexpensive, and provides an electronic component electrical connection device that reliably connects a large number of electronic components when performing an electrical test of the electronic components. The purpose is that.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, the above object is an electronic component electrical connection device for obtaining an electrical connection to an electronic component having a protruding electrode, and includes a plurality of conductive connection members and the plurality of conductive connection members . a base member having a plurality of holes for the passage of the conductive connecting member, the longitudinal connecting member a plurality of conductive connecting members with an electrically insulating state placed around portion including a plurality of holes of the base member An insulating elastic holding member that is elastically movable with respect to the direction, and is provided with a portion that is electrically connected to the protruding electrode of the electronic component at one end portion of the conductive connecting member . When the other end portion of the connection member is electrically connected to the circuit board for measuring the electronic component, and the protruding electrode of the electronic component is pressed against the one end portion of the conductive connection member, the measurement for measuring the electronic component is performed. Conductive so as to electrically connect to the circuit board The electrical connecting device of an electronic component of the other end portion of the connection member, is achieved.
[0010]
In the present invention, when an electrical connection is obtained with an electronic component having a protruding electrode, a conductive connection member is passed through each hole of the base member. The conductive connecting member is elastically supported by an insulating elastic holding member with respect to the base member, and is elastically movable with respect to the longitudinal direction of the connecting member. One end portion of the connection member is electrically connected to the protruding electrode of the electronic component, and the other end portion of the connection member is electrically connected to the circuit board for measurement of the electronic component. Only after the protruding electrode of the electronic component is pressed against one end portion of the connection member, the other end portion of the connection member is electrically connected to the circuit board for measurement of the electronic component.
[0011]
Thus, by pressing the protruding electrode of the electronic component against the conductive connecting member of the base member, the conductive connecting member can be moved elastically by the insulating elastic holding member on the base member. Even if there is a difference in height, each protruding electrode can be reliably connected to the corresponding conductive connecting member.
Further, since the other end portion of the first connecting member is pressed against the one end portion of the connecting member protruding electrodes of the electronic component is to be connected to the circuit board electrically measured for electronic components, the other end portion for continuously measuring Since it is not connected to the circuit board, there is an advantage that wear of the other end portion and the circuit board can be prevented.
[0012]
In the present invention, since the insulating elastic holding member is connected by the connecting portion, the elastic holding member can be firmly held with respect to the base member and can sufficiently withstand the load when the conductive connecting member moves. .
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
The embodiment described below is a preferred specific example of the present invention, and thus various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention is particularly limited in the following description. Unless otherwise stated, the present invention is not limited to these forms.
[0014]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an electrical connection device 10 according to the present invention and a tester 100 arranged corresponding thereto, and FIG. 2 is a plan view of the electrical connection device 10.
1 and 2, an electronic component electrical connection device 10 is used for, for example, an electrical continuity test of a chip 17 of a chip scale package (hereinafter referred to as CSP). The CSP chip 17 has a large number of bumps 17a arranged on the back side thereof in a predetermined pattern, for example, a full matrix. The bumps 17a are arranged in the X direction and the Y direction at a narrow pitch of 0.5 mm, for example.
[0015]
The electrical connecting device 10 includes an insulating plate (base member) 12, a conductive connecting member 15, an insulating elastic holding member 16, a positioning guide 30, a spacer 18, a socket base (base member) 19, and the like. Yes.
The socket base 19 and the insulating plate 12 constitute a base member. The socket base 19 is, for example, a metal rectangular member. Holes 19b through which screws 19a are passed are formed at the four corners of the socket base 19.
The insulating plate 12 is, for example, a square plate-shaped member made of an insulating material such as plastic. As shown in FIGS. 1 and 3, the insulating plate 12 has a large hole 12 a and a small hole 21. The insulating plate 12 is inserted into the hole 19 c of the socket base 19 and placed on the spacer 18. Accordingly, a hole 18 a that is slightly smaller than the size of the insulating plate 12 is formed at the center of the spacer 18.
[0016]
The spacer 18 can be made of metal or plastic, and the thickness of the spacer 18 is set smaller than the thickness of the socket base 19. The thickness of the socket base 19 is set to be considerably larger than the thickness of the insulating plate 12, and the insulating plate 12 and the positioning guide 30 can be completely fitted into the hole 19 c of the socket base 19. The positioning guide 30 is made of, for example, an insulating plastic, and is a member for positioning the CSP chip 17 corresponding to the insulating plate 12. Specifically, the positioning guide 30 can position the CSP chip 17 such that each bump 17 a of the CSP chip 17 corresponds to the upper end portions of the plurality of connecting members 15 of the insulating plate 12.
[0017]
The plurality of connecting members 15 are pins or needle-like members and are conductive. These connecting members 15 are inserted into the small holes 21 of the insulating plate 12 as shown in FIG.
[0018]
An insulating elastic holding member 16 is formed on the insulating plate 12 of FIG. That is, the insulating elastic holding member 16 is made of, for example, rubber, and the elastic holding member 16 is disposed on the one surface 12f and the other surface 12g of the insulating plate 12 and the hole 12a. The elastic holding member disposed in the hole 12a is a connecting portion (second portion) 16a. By forming the connecting portion 16a, the adhesive force of the elastic holding member 16 formed on the one surface 12f and the other surface 12g of the insulating plate 12 to the insulating plate 12 can be sufficiently retained.
Further, if the elastic holding member 16 is partially included in the small hole 21 of the insulating plate 12, the adhesiveness of the elastic holding member 16 between the one surface 12f and the other surface 12g can be further improved. Can do. That is, the first portion 16b of the elastic holding member 16 in the hole 21 improves the adhesion.
The elastic holding member 16 arranged corresponding to the small hole 21 can hold each connection member (also referred to as a contact pin) 15 so as to be elastically movable in the Z direction.
[0019]
Particularly characteristic are the following points. As shown in FIG. 4, in a state where the insulating plate 12 is set in the hole 19c of the socket base 19 and rests on the spacer 18, the one end portion 15a of the connecting member 15 is connected to the CSP chip 17 as shown in FIG. The bumps 17a are in contact with each other. On the other hand, the other end portion 15b of the connection member 15 and the electrode 47 of the circuit board 102 are separated from each other with a predetermined distance D as shown in FIGS. When the CSP chip 17 is simply set as described above, the other end portion (the other end) 15b of the connection pin 15 is not in contact with the electrode 47, so that the electrode 47 of the circuit board 102 and the other end of the connection member 15 are provided. Wear of the portion 15b can be prevented as much as possible.
The holes 12a of the insulating plate 12 shown in FIGS. 1 and 2 are formed at, for example, eight locations on the insulating plate 12 as shown in FIG.
[0020]
Next, the tester 100 of FIG. 1 will be described.
The tester 100 includes a board (circuit board) 102, a connection line 103, and a determination unit 101. Each electrode 47 of the substrate 102 is electrically connected to the determination unit 101 via a line 103. Bolts 19a are provided at the four corners of the substrate 102 vertically upward. For example, the determination unit 101 tests the electrical characteristics and electrical connectivity of the CSP chip 17.
[0021]
Next, a method for attaching the plurality of connecting members 15 to the insulating plate 12 will be described. As shown in FIG. 5, a hole 21 and a hole 12 a are made in the insulating plate 12. As shown in FIG. 3, one end portion 15 a protrudes from one surface 12 f of the insulating plate 12 and the other end portion 15 b of the connecting member protrudes from the other surface 12 g of the insulating plate 12. Hold on.
[0022]
While maintaining this state, an elastic holding member 16 such as rubber is poured into the one surface 12f and the other surface 12g of the insulating plate 12 and hardened. Thereby, each connection member 15 can move elastically separately in the Z direction with respect to the insulating plate 12. The amount of movement of the connecting member 15 in the Z direction is, for example, around 100 μm. The thickness of the connection member 15 is preferably 0.2 to 0.3 mm when the arrangement pitch of the bumps 17a of the CSP chip 17 is 0.5 mm. When the arrangement pitch of the bumps 17a is 0.8 mm, the thickness of the connection member 15 is preferably 0.4 to 0.5 mm.
Each connecting member is plated with gold in order to improve electrical contact with the bumps 17a and the electrodes 47, or the one end portion 15a and the other end portion 15b as shown in FIG. ) And (B) can be conical or hemispherical as shown in FIG.
[0023]
The pressing member 60 in FIG. 1 adjusts the amount of pressing force applied to the CSP chip 17 by changing the shape of the one end portion 15a and the other end portion 15b of the connecting member 15 and changing the contact area between the bump 17a and the electrode 47. can do. Further, the magnitude of the force necessary for moving the connecting member is adjusted by the hardness and thickness of the insulating holding member 16.
The insulating plate 12 having the connecting member 15 made in this way is placed on the spacer 18 as shown in FIGS. 1 and 4, and the positioning guide 30 is placed on the insulating plate 12. The positioning guide 30 is prepared in advance according to the type of the CSP chip.
[0024]
Next, the CSP chip 17 is inserted into the guide hole 30a of the positioning guide 30 as shown in FIG. 4, and the bump 17a of the CSP chip contacts the one end portion 15a of each connection member 15 as shown in FIGS. Put it on.
However, in this state, since the pressing member 60 has not yet pressed the CSP chip 17 downward, the connecting member 15 is elastically held by the elastic holding member 16, so that the electrode 47 and the other end portion 15 b There is an interval D between them.
[0025]
When the pressing member 60 pushes the CSP chip 17 in the direction of the arrow Z1 in FIG. 1, the other end portion 15b of the connecting member 15 is electrically reliable against the corresponding electrode 47 against the elastic force of the elastic holding member 16. Can be connected to. At this time, even if there is a variation in the height of the bump 17a, the connection member 15 moves individually in the insulating plate 12 corresponding to the variation, so that the electrical connection between the bump 17a and the electrode 47 is ensured. It can be carried out. When the CSP chip 17 is electrically connected to the determination unit 101 of FIG. 1 via the bump 17a, the connection member 15, and the electrode 47, the determination unit 101 performs a test on the electrical characteristics of the CSP chip 17 and the result thereof. Judging.
Thus, in the state where the CSP chip 17 is not pressed by the pressing member 60, the other end portion 15b of the connecting member 15 is not in contact with the electrode 47. Therefore, the electrode 47 is not in contact with the connecting member except during measurement by pressing. Wear of the electrode 47 can be reduced as much as possible.
[0026]
The elastic holding member 16 receives a force for moving the connecting member 15 at every measurement, but the elastic holding member 16 is connected to the second portion 16a of the connecting portion in the hole 12a of FIG. The first holding portion 16b of the elastic holding member 16 that is slightly inserted into the insulating plate 12 can be held so as not to be peeled off by increasing the adhesive force with respect to the insulating plate 12.
As described above, in the electrical connection device of the present invention, the holes 21 are formed in a matrix in the insulating plate 12, and the connection member 15 such as a wire is inserted into the holes. Then, an elastic holding member 16 such as rubber wraps the insulating plate 12 and the connecting member 15 so that the connecting member is elastically held by hardening from the front and back sides of the insulating plate 12.
Therefore, the electrical connection device is inexpensive and has excellent electrical contact properties.
[0027]
By the way, the present invention is not limited to the above embodiment.
In the above-described embodiment, a CSP chip is taken as an example of an electronic component. However, the present invention is not limited to this, and it is of course used for testing other types, for example, an electronic component such as a ball grid array (BGA). Can do.
[0028]
【The invention's effect】
As described above, according to the electrical connection device of the present invention, it is inexpensive and can securely connect many electronic components when performing an electrical test of the electronic components. .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of an electrical connection device of the present invention and a tester therefor.
2 is a plan view of the electrical connection device of FIG. 1. FIG.
FIG. 3 is an enlarged view showing a main part of the electrical connection device.
FIG. 4 is a diagram illustrating a state in which a CSP chip that is an electronic component is to be mounted on an electrical connection device.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing an insulating plate, an elastic holding member, a connection member, and the like.
FIG. 6 is a diagram showing a positional relationship between a CSP chip, connection pins, and electrodes on a substrate.
FIG. 7 is a view showing an example of the shape of an end portion of a connection member.
FIG. 8 shows a conventional electrical connection device.
FIG. 9 is a diagram showing a conventional electrical connection device.
FIG. 10 is a diagram showing a conventional electrical connection device.
FIG. 11 is a diagram showing a conventional electrical connection device.
FIG. 12 is a diagram showing a conventional electrical connection device.
FIG. 13 is a diagram showing a conventional electrical connection device.
FIG. 14 is a diagram showing a conventional electrical connection device.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Electrical connection apparatus, 12 ... Insulating plate, 15 ... Connection member, 15a ... One end part of a connection member, 15b ... Other end part of a connection member, 16a ... Elastic holding Connection part (second part) of member, 16c ... first part of elastic holding member, 17 ... CSP chip (electronic component), 17a ... bump (projection electrode), 18 ... spacer, 30 ... Positioning guide, 47 ... Electrode, 100 ... Tester

Claims (4)

突起電極を有する電子部品に電気的な接続を得るための電子部品の電気的接続装置であり、
複数本の導電性の接続部材と、
該複数本の導電性の接続部材を通すための複数の穴を有するベース部材と、
ベース部材の前記複数の穴を含む周囲部分に配置して前記複数本の導電性の接続部材を電気絶縁状態で前記接続部材の長手方向に関して弾性的に移動可能に保持する絶縁性の弾性保持部材と、を有し、
前記導電性の接続部材の一端部分に前記電子部品の前記突起電極との電気的に接続する部分を設け前記導電性の接続部材の他端部分に前記電子部品の測定用の回路基板との電気的に接続する部分を設け、
前記電子部品の前記突起電極を前記導電性の接続部材の一端部分に押しつけると、前記電子部品の前記測定用の回路基板に電気的に接続するように前記導電性の接続部材の他端部分を備えた
ことを特徴とする電子部品の電気的接続装置。
An electronic component electrical connection device for obtaining an electrical connection to an electronic component having a protruding electrode,
A plurality of conductive connecting members;
A base member having a plurality of holes for passing the plurality of conductive connection members;
Elastically movable insulating elastic holding holding with respect to the longitudinal direction of said connecting member said plurality of conductive connecting members are disposed around the portion of an electrically insulating state including the plurality of holes of said base member A member, and
Said electrically connecting portion between the protrusion electrode of the electronic component provided at one end portion of the conductive connecting member, the circuit board for measurement of the electronic component to the other end portion of the conductive connecting member Provide an electrical connection part ,
When the protruding electrode of the electronic component is pressed against one end portion of the conductive connection member, the other end portion of the conductive connection member is electrically connected to the circuit board for measurement of the electronic component. electrical connecting device of the electronic component, characterized in <br/> that with.
前記絶縁性の弾性保持部材は、前記電子部品側に対面する前記ベース部材の一方の面と、前記測定用の回路基板側に対面する前記ベース部材の他方の面とに配置されており、前記ベース部材の前記一方の面の前記弾性保持部材と前記ベース部材の前記他方の面の前記弾性保持部材とは、連結部分により連結されている請求項1に記載の電子部品の電気的接続装置。The insulating elastic holding member is disposed on one surface of the base member facing the electronic component side and the other surface of the base member facing the measurement circuit board side, The electrical connection device for an electronic component according to claim 1, wherein the elastic holding member on the one surface of the base member and the elastic holding member on the other surface of the base member are connected by a connecting portion. 前記絶縁性の弾性保持部材の前記連結部分は、前記ベース部材の前記複数の穴内に配置された前記弾性保持部材の部分である請求項2に記載の電子部品の電気的接続装置。The electrical connection device for an electronic component according to claim 2, wherein the connecting portion of the insulating elastic holding member is a portion of the elastic holding member disposed in the plurality of holes of the base member. 前記絶縁性の弾性保持部材の前記連結部分は、前記ベース部材の前記複数の穴内に配置された前記弾性保持部材の第1部分と、前記ベース部材の別の連結用の穴内に配置された前記弾性保持部材の第2部分を含む請求項2に記載の電子部品の電気的接続装置。The connecting portion of the insulating elastic holding member includes a first portion of the elastic holding member arranged in the plurality of holes of the base member and the connecting portion of the base member arranged in another connecting hole. The electronic component electrical connection device according to claim 2, comprising a second portion of the elastic holding member.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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