JPH10178129A - Electrical bonding device for electronic part - Google Patents

Electrical bonding device for electronic part

Info

Publication number
JPH10178129A
JPH10178129A JP33974496A JP33974496A JPH10178129A JP H10178129 A JPH10178129 A JP H10178129A JP 33974496 A JP33974496 A JP 33974496A JP 33974496 A JP33974496 A JP 33974496A JP H10178129 A JPH10178129 A JP H10178129A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
electrical connection
elastic holding
connection device
holding member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP33974496A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3671567B2 (en
Inventor
Shigeo Ikeda
重男 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP33974496A priority Critical patent/JP3671567B2/en
Publication of JPH10178129A publication Critical patent/JPH10178129A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3671567B2 publication Critical patent/JP3671567B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrical bonding device for an electronic part which performs electrical bonding of a plurality of electronic parts with sure, when an electrical test of the electronic parts is performed. SOLUTION: An electrical bonding device 10 of an electronic part 7 for obtaining electrical bonding for the electronic part 17 having a bump electrode 17a has a plurality of conductive bonding members 15, a base member 12 provided with holes for passing of each bonding member 15, and an insulating elastic holding member 16 which is placed on the surrounding part of the base member 12 containing each hole 21 so as to hold each bonding member 15 under an electrical insulated condition, in an elastically transferable condition in a longitudinal direction. And one end part 15a of the bonding member is electrically bonded to the bump electrode 17a of the electronic part 17, and the other end part 15b of the bonding member is electrically bonded to a circuit substrate 102 for measuring the electronic part.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、突起電極を有する
電子部品に電気的な接続を得るための電子部品の電気的
接続装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrical connection device for an electronic component for obtaining an electrical connection to an electronic component having a protruding electrode.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子部品として、小型のチップ・スケー
ル・パッケージ(チップ・サイズ・パッケージともい
う:CSP)のようなものが実用化されている。このC
SPチップは、突起電極であるバンプが、例えば0.5
mmピッチで多数個マトリックス状に配列されたもので
ある。このようなCSPチップの突起電極は、チップ自
体に配列されているので、CSPチップは非常に小型の
チップである。このようなCSPチップの電気的な特性
を試験する場合に、試験工程では、CSPチップの突起
電極(以下バンプという)は、図8〜図14に示すよう
な電気的接続装置を用いて、各バンプと試験用のテスタ
ー測定器との電気的な接続を行う。
2. Description of the Related Art Small electronic devices such as a chip-scale package (also referred to as a chip-size package: CSP) have been put to practical use. This C
In the SP chip, bumps serving as protruding electrodes are, for example, 0.5 mm.
Many are arranged in a matrix at a pitch of mm. Since the projecting electrodes of such a CSP chip are arranged on the chip itself, the CSP chip is a very small chip. When testing the electrical characteristics of such a CSP chip, in the test process, the projecting electrodes (hereinafter referred to as bumps) of the CSP chip are each connected to an electrical connection device as shown in FIGS. Make an electrical connection between the bump and the tester tester.

【0003】例えば図8の従来の電気的接続装置では、
CSPチップ1のバンプ2は、ほぼY型のコンタクトピ
ン3を用いて接続するようになっている。図9の電気的
接続装置では、バンプ2は板状の部材4を用いて相手方
のバンプ5に対して電気的に接続する。この板状の部材
4には、ワイヤー6が配列されており、ワイヤー6を用
いてバンプ2,5を電気的に接続する。
For example, in the conventional electrical connection device shown in FIG.
The bumps 2 of the CSP chip 1 are connected using substantially Y-type contact pins 3. In the electrical connection device shown in FIG. 9, the bump 2 is electrically connected to the other bump 5 using the plate-shaped member 4. Wires 6 are arranged on the plate-shaped member 4, and the bumps 2 and 5 are electrically connected using the wires 6.

【0004】図10の電気的接続装置では、バンプ2が
コンタクトピン4に対して電気的に接続されるのである
が、このコンタクトピン7は複雑な形状に曲げてある。
図11の電気的接続装置では、バンプ2は、相手方のバ
ンプに対してコンタクトピン8を用いて電気的に接続さ
れている。このコンタクトピン8は内蔵するバネにより
Z方向に押圧力で上下動できるようになっている。図1
2の電気的接続装置では、バンプ2はコンタクトピン8
により電気的に接続されるが、このコンタクトピン8も
バネ8aにより上下動できるようになっている。
In the electrical connection device shown in FIG. 10, the bump 2 is electrically connected to the contact pin 4, and the contact pin 7 is bent in a complicated shape.
In the electrical connection device shown in FIG. 11, the bump 2 is electrically connected to the other bump using the contact pin 8. The contact pin 8 can be moved up and down by a pressing force in the Z direction by a built-in spring. FIG.
In the electrical connection device 2, the bump 2 is connected to the contact pin 8.
The contact pins 8 can also be moved up and down by springs 8a.

【0005】図13のバンプ2は相手方のバンプ5に対
してゴム状の部材9を用いて電気的に接続されている。
このゴム状の部材9内には、バンプ2,5に対応する部
分に金属粒子(導電粒子)9cが入っており、バンプ2
側から圧力が加わると金属粒子9cを介してバンプ2,
5が電気的に接続できる。図14のニードル方式の電気
的接続装置では、バンプ2に対してニードル9aが電気
的に接続できるようになっている。
The bump 2 shown in FIG. 13 is electrically connected to the other bump 5 using a rubber-like member 9.
In the rubber-like member 9, metal particles (conductive particles) 9c are contained in portions corresponding to the bumps 2 and 5, and the bump 2
When pressure is applied from the side, the bumps 2 are formed via the metal particles 9c.
5 can be electrically connected. In the needle type electrical connection device shown in FIG. 14, the needle 9a can be electrically connected to the bump 2.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところが上述した図8
〜図14の従来の電気的接続装置では、次のような問題
がある。図8においてバンプ2の突出高さが50μm程
度である場合には、コンタクトピン3がバンプ2に噛み
合うことができず、電気的な接続が確実に行えない。図
9の電気的接続装置では、ゴム状の部材4の耐久性が低
く繰り返し使用する電気的接続装置には向かない。図1
0の電気的接続装置では、コンタクトピン7が複雑な形
状に成形されているので、バンプ2が狭ピッチである場
合には対応することができない。
However, FIG.
14 have the following problems. In FIG. 8, when the protrusion height of the bump 2 is about 50 μm, the contact pin 3 cannot mesh with the bump 2 and electrical connection cannot be reliably performed. In the electrical connection device of FIG. 9, the durability of the rubber-like member 4 is low and is not suitable for an electrical connection device that is used repeatedly. FIG.
In the electrical connection device of No. 0, since the contact pins 7 are formed in a complicated shape, it is impossible to cope with the case where the bumps 2 have a narrow pitch.

【0007】図11及び図12の電気的接続装置では、
コンタクトピン8がバネにより弾性的に支持されている
構造なので、構造が複雑であり、バンプ2が狭ピッチで
ある場合には対応することができない。図13の電気的
接続装置では、バンプ2が狭ピッチである場合でも対応
することができるが、ゴム状の部材9の耐久性が低く、
繰り返し使用する電気的接続装置には向かない。
In the electrical connection device shown in FIGS. 11 and 12,
Since the structure is such that the contact pins 8 are elastically supported by springs, the structure is complicated, and it is impossible to cope with the case where the bumps 2 have a narrow pitch. The electrical connection device of FIG. 13 can cope with the case where the bumps 2 have a narrow pitch, but the durability of the rubber-like member 9 is low,
Not suitable for repeatedly used electrical connection devices.

【0008】図14の電気的接続装置では、ニードル9
aを接触する方式であるが、狭ピッチには対応しにく
く、接続の確実性にも不安がある。そこで本発明は上記
課題を解消し、電子部品の電気的な試験を行う際に、多
数の電子部品の電気的な接続を確実に行うことができる
電子部品の電気的接続装置を提供することを目的として
いる。
In the electrical connection device shown in FIG.
Although it is a method of contacting a, it is difficult to cope with a narrow pitch, and there is a concern about the reliability of the connection. Therefore, the present invention has been made to solve the above-described problem, and to provide an electronic component electrical connection device capable of reliably performing electrical connection of a large number of electronic components when performing an electrical test of the electronic components. The purpose is.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、突起電極を有する電子部品に電気的な接続を得
るための電子部品の電気的接続装置であり、複数本の導
電性の接続部材と、各接続部材を通すための穴を有する
ベース部材と、ベース部材の各穴を含む周囲部分に配置
して各接続部材を電気絶縁状態で接続部材の長手方向に
関して弾性的に移動可能に保持する絶縁性の弾性保持部
材と、を有し、接続部材の一端部分は、電子部品の突起
電極に電気的に接続する部分であり、接続部材の他端部
分は、電子部品の測定用の回路基板に電気的に接続する
部分である電子部品の電気的接続装置により、達成され
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is to provide an electronic component electrical connection device for obtaining electrical connection to an electronic component having a protruding electrode. A connecting member, a base member having a hole for passing each connecting member, and a peripheral member including each hole of the base member, and each connecting member is elastically moved in an electrically insulated state in a longitudinal direction of the connecting member. One end of the connection member is a portion electrically connected to the protruding electrode of the electronic component, and the other end of the connection member is used for measuring the electronic component. This is achieved by an electrical connection device for electronic components, which is a portion electrically connected to a circuit board for use.

【0010】本発明では、突起電極を有する電子部品に
電気的な接続を得る際に、ベース部材の各穴には、導電
性の接続部材を通してある。この導電性の接続部材は、
ベース部材に対して絶縁性の弾性保持部材により弾性的
に支持され、かつ弾性的に接続部材の長手方向に関して
移動可能である。接続部材の一端部分は、電子部品の突
起電極に電気的に接続し、接続部材の他端部分は電子部
品の測定用の回路基板に電気的に接続するようになって
いる。
According to the present invention, when electrical connection is made to the electronic component having the protruding electrode, a conductive connection member is passed through each hole of the base member. This conductive connection member
The base member is elastically supported by an insulating elastic holding member and is elastically movable in the longitudinal direction of the connection member. One end of the connection member is electrically connected to a protruding electrode of the electronic component, and the other end of the connection member is electrically connected to a circuit board for measurement of the electronic component.

【0011】これにより、電子部品の突起電極をベース
部材の導電性の接続部材に押し付けることにより、導電
性の接続部材は絶縁性の弾性保持部材により弾性的にベ
ース部材において移動可能であるので、突起電極の高さ
に違いがあっても、各突起電極は対応する導電性の接続
部材に確実に接続することができる。そして本発明にお
いて、電子部品の突起電極を接続部材の一端部分に押し
付けて初めて接続部材の他端部分が電子部品の測定用の
回路基板に電気的に接続するようになっている。このよ
うにすることで、他端部分が常時測定用の回路基板に接
続されていないので他端部分と回路基板の摩耗を防ぐこ
とができるというメリットがある。
[0011] By pressing the protruding electrode of the electronic component against the conductive connecting member of the base member, the conductive connecting member can be elastically moved on the base member by the insulating elastic holding member. Even if the height of the protruding electrodes is different, each protruding electrode can be reliably connected to the corresponding conductive connecting member. In the present invention, the other end of the connecting member is electrically connected to the circuit board for measurement of the electronic component only after the protruding electrode of the electronic component is pressed against one end of the connecting member. By doing so, there is an advantage that the other end portion and the circuit board can be prevented from being worn because the other end portion is not always connected to the circuit board for measurement.

【0012】本発明において絶縁性の弾性保持部材が、
連結部分により連結されているので、弾性保持部材はベ
ース部材に対してしっかりと保持でき、導電性の接続部
材の移動時の負荷に充分耐えることができる。電子部品
の突起電極と測定用の回路基板に加わる圧力は、接続部
材の一端部分と他端部分の先端面積の大きさで調整する
ようになっている。しかも接続部材の移動に必要な力の
大きさは、絶縁性の弾性保持部材の硬さと厚さの大きさ
で調整することができる。このようにして、測定をしよ
うとする電子部品の種類やその電子部品を導電性の接続
部材側に押し付ける圧力は自由に設定することができ
る。
In the present invention, the insulating elastic holding member is
Since the elastic holding member is connected by the connecting portion, the elastic holding member can be firmly held on the base member, and can sufficiently withstand a load when the conductive connecting member moves. The pressure applied to the protruding electrode of the electronic component and the circuit board for measurement is adjusted by the size of the tip area of one end and the other end of the connection member. Moreover, the magnitude of the force required for moving the connecting member can be adjusted by the hardness and thickness of the insulating elastic holding member. In this manner, the type of the electronic component to be measured and the pressure for pressing the electronic component against the conductive connection member can be freely set.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明
の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨
の記載がない限り、これらの形態に限られるものではな
い。
Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. Note that the embodiments described below are preferred specific examples of the present invention,
Although various technically preferable limits are given, the scope of the present invention is not limited to these modes unless otherwise specified in the following description.

【0014】図1は、本発明の電気的接続装置10及び
それに対応して配置された試験器100を示す断面図で
あり、図2は電気的接続装置10の平面図である。図1
と図2において、電子部品の電気的接続装置10は、例
えばチップ・スケール・パッケージ(以下CSPと呼
ぶ)のチップ17の電気的導通試験等に用いられる。C
SPチップ17は、その裏面側に多数のバンプ17aが
所定のパターン、例えばフルマトリックス状で配列され
ている。バンプ17aは、例えば0.5mmの狭ピッチ
でX方向とY方向に配列されている。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an electrical connection device 10 of the present invention and a tester 100 arranged correspondingly, and FIG. 2 is a plan view of the electrical connection device 10. FIG.
2 and FIG. 2, the electronic component electrical connection device 10 is used for, for example, an electrical continuity test of a chip 17 of a chip scale package (hereinafter referred to as CSP). C
The SP chip 17 has a large number of bumps 17a arranged on the back surface thereof in a predetermined pattern, for example, in a full matrix. The bumps 17a are arranged in the X direction and the Y direction at a narrow pitch of, for example, 0.5 mm.

【0015】この電気的接続装置10は、絶縁板(ベー
ス部材)12、導電性の接続部材15、絶縁性の弾性保
持部材16、位置決めガイド30、スペーサ18、ソケ
ットベース(ベース部材)19等を有している。ソケッ
トベース19と絶縁板12は、ベース部材を構成してい
る。ソケットベース19は、例えば金属製の長方形状の
部材である。ソケットベース19の四隅にはネジ19a
を通すための穴19bが形成されている。絶縁板12
は、絶縁材料、例えばプラスチックにより作られた例え
ば正方形状の板状の部材である。絶縁板12は、図1と
図3に示すように、大きい穴12aと小さい穴21を有
している。この絶縁板12は、ソケットベース19の穴
19cの内部に挿入され、かつスペーサ18の上に載せ
ている。従ってスペーサ18の中央部には、絶縁板12
の大きさよりやや小さい穴18aが形成されている。
The electrical connection device 10 includes an insulating plate (base member) 12, a conductive connection member 15, an insulating elastic holding member 16, a positioning guide 30, a spacer 18, a socket base (base member) 19, and the like. Have. The socket base 19 and the insulating plate 12 constitute a base member. The socket base 19 is, for example, a rectangular member made of metal. At the four corners of the socket base 19 are screws 19a
A hole 19b is formed to allow the air to pass therethrough. Insulating plate 12
Is a square plate-shaped member made of an insulating material, for example, plastic. The insulating plate 12 has a large hole 12a and a small hole 21 as shown in FIGS. The insulating plate 12 is inserted into the hole 19 c of the socket base 19 and is placed on the spacer 18. Therefore, the insulating plate 12
A hole 18a slightly smaller than the size of the hole 18a is formed.

【0016】スペーサ18は、金属あるいはプラスチッ
クにより作ることができ、スペーサ18の厚みは、ソケ
ットベース19の厚みに比べて小さく設定されている。
ソケットベース19の厚みは、絶縁板12の厚みに比べ
てかなり大きく設定されており、このソケットベース1
9の穴19cには、絶縁板12と位置決めガイド30が
完全にはめ込むことができる。位置決めガイド30は、
例えば絶縁性を有するプラスチック等で作られており、
CSPチップ17を絶縁板12に対応して位置決めする
ための部材である。詳細には、CSPチップ17の各バ
ンプ17aが、絶縁板12の複数の接続部材15の上端
部分に対応するように、位置決めガイド30がCSPチ
ップ17を位置決めすることができる。
The spacer 18 can be made of metal or plastic, and the thickness of the spacer 18 is set smaller than the thickness of the socket base 19.
The thickness of the socket base 19 is set to be considerably larger than the thickness of the insulating plate 12.
The insulating plate 12 and the positioning guide 30 can be completely fitted into the 9 holes 19c. The positioning guide 30
For example, it is made of insulating plastic, etc.
This is a member for positioning the CSP chip 17 corresponding to the insulating plate 12. Specifically, the positioning guide 30 can position the CSP chip 17 so that each bump 17a of the CSP chip 17 corresponds to the upper end of the plurality of connection members 15 of the insulating plate 12.

【0017】複数本の接続部材15はピンもしくは針状
の部材であり導電性がある。これら接続部材15は、図
3に示すように絶縁板12の小さい穴21に対してそれ
ぞれ挿入されている。
The plurality of connection members 15 are pins or needle-shaped members and are conductive. These connecting members 15 are inserted into small holes 21 of the insulating plate 12 as shown in FIG.

【0018】図3の絶縁板12に対しては、絶縁性の弾
性保持部材16が形成されている。つまり、絶縁性の弾
性保持部材16は、例えばゴム製であり、絶縁板12の
一方の面12fと他方の面12g及び穴12aに弾性保
持部材16が配置されている。穴12aに配置された弾
性保持部材は連結部分(第2部分)16aである。連結
部分16aを形成することにより、絶縁板12の一方の
面12fと他方の面12gに形成された弾性保持部材1
6の絶縁板12に対する接着力を充分に保持することが
できる。また、絶縁板12の小さい穴21に対しても弾
性保持部材16が一部入っているようにすれば、一方の
面12fと他方の面12gの弾性保持部材16の接着性
を更に向上することができる。つまり穴21内の弾性保
持部材16の第1部分16bが接着性を向上する。小さ
い穴21に対応して配置された弾性保持部材16は、各
接続部材(コンタクトピンとも呼ぶ)15をZ方向に関
して弾性的に移動可能に保持することができる。
An insulating elastic holding member 16 is formed on the insulating plate 12 shown in FIG. That is, the insulating elastic holding member 16 is made of, for example, rubber, and the elastic holding member 16 is disposed on one surface 12f, the other surface 12g, and the hole 12a of the insulating plate 12. The elastic holding member arranged in the hole 12a is a connecting portion (second portion) 16a. By forming the connecting portion 16a, the elastic holding member 1 formed on one surface 12f and the other surface 12g of the insulating plate 12 is formed.
6 can sufficiently maintain the adhesive strength to the insulating plate 12. Further, if the elastic holding member 16 is partially inserted into the small hole 21 of the insulating plate 12, the adhesion between the elastic holding member 16 on one surface 12f and the other surface 12g can be further improved. Can be. That is, the first portion 16b of the elastic holding member 16 in the hole 21 improves the adhesiveness. The elastic holding members 16 arranged corresponding to the small holes 21 can hold the respective connection members (also called contact pins) 15 so as to be elastically movable in the Z direction.

【0019】特に特徴的なのは、次の点である。図4に
示すように、絶縁板12が、ソケットベース19の穴1
9cに設定されてスペーサ18の上に載った状態では、
接続部材15の一端部分15aが、図3に示すようにC
SPチップ17のバンプ17aにそれぞれ接触した状態
になっている。これに対して接続部材15の他端部分1
5bと、回路基板102の電極47とは、図3と図6に
示すように所定の間隔Dをおいて離れている。このよう
に単にCSPチップ17を設定した状態では、接続ピン
15の他端部分(他端)15bが電極47に接触しない
ようにすることで、回路基板102の電極47と接続部
材15の他端部15bの摩耗を極力防ぐことができる。
図1と図2に示す絶縁板12の穴12aは、図5のよう
に例えば絶縁板12の8ケ所に形成されている。
Particularly characteristic is the following point. As shown in FIG. 4, the insulating plate 12
In the state set on 9c and placed on the spacer 18,
As shown in FIG. 3, the one end portion 15a of the connection member 15
The bumps 17a of the SP chip 17 are in contact with each other. On the other hand, the other end portion 1 of the connection member 15
5b and the electrode 47 of the circuit board 102 are separated by a predetermined distance D as shown in FIGS. In this state where the CSP chip 17 is simply set, the other end (the other end) 15 b of the connection pin 15 is prevented from contacting the electrode 47, so that the electrode 47 of the circuit board 102 and the other end of the connection member 15 are connected. Wear of the portion 15b can be prevented as much as possible.
The holes 12a of the insulating plate 12 shown in FIGS. 1 and 2 are formed at, for example, eight places of the insulating plate 12 as shown in FIG.

【0020】次に図1の試験器100について説明す
る。試験器100は、基板(回路基板)102と、接続
ライン103及び判断部101を有している。基板10
2の各電極47は、ライン103を介して判断部101
に電気的に接続されている。基板102の四隅には、ボ
ルト19aが垂直上方に向けて設けられている。この判
断部101は、例えばCSPチップ17の電気的特性や
電気的接続性の検査を行うものである。
Next, the tester 100 shown in FIG. 1 will be described. The tester 100 has a board (circuit board) 102, a connection line 103, and a determination unit 101. Substrate 10
2 are connected to the determination unit 101 via a line 103.
Is electrically connected to At the four corners of the substrate 102, bolts 19a are provided vertically upward. The determination unit 101 performs, for example, an inspection of electrical characteristics and electrical connectivity of the CSP chip 17.

【0021】次に、絶縁板12に対して複数の接続部材
15を取り付ける方法について説明する。図5に示すよ
うに絶縁板12に対して穴21と穴12aを開ける。そ
して各穴21には図3のように接続部材15を通して、
一端部分15aが絶縁板12の一方の面12fより突出
し、かつ接続部材の他端部分15bが絶縁板12の他方
の面12gから突出するように保持する。
Next, a method of attaching a plurality of connecting members 15 to the insulating plate 12 will be described. As shown in FIG. 5, a hole 21 and a hole 12a are formed in the insulating plate 12. Then, the connection member 15 is passed through each hole 21 as shown in FIG.
One end portion 15a protrudes from one surface 12f of the insulating plate 12, and the other end portion 15b of the connecting member is held so as to protrude from the other surface 12g of the insulating plate 12.

【0022】その状態を維持して、絶縁板12の一方の
面12fと他方の面12gに対してゴムのような弾性保
持部材16を流し込んで固める。これにより、各接続部
材15は、絶縁板12に対して、Z方向にそれぞれ別個
に弾性的に移動することができる。その接続部材15の
Z方向の移動量は、例えば100μm前後である。接続
部材15の太さは、CSPチップ17のバンプ17aの
配列ピッチが、0.5mmである場合には0.2〜0.
3mmであるのが望ましい。またバンプ17aの配列ピ
ッチが0.8mmである場合には、接続部材15の太さ
は0.4〜0.5mmであるのが望ましい。各接続部材
はバンプ17aと電極47に対して電気的なコンタクト
性を良好にするために、金めっきを施したりあるいは、
図7に示すように一端部分15a及び他端部分15bを
図7(A)と(B)に示すように円錐形状にしたりある
いは図7(C)に示すように半球状にすることもでき
る。
In this state, an elastic holding member 16 such as rubber is poured into one surface 12f and the other surface 12g of the insulating plate 12 and solidified. Thereby, each connecting member 15 can be elastically moved separately in the Z direction with respect to the insulating plate 12. The moving amount of the connecting member 15 in the Z direction is, for example, about 100 μm. When the arrangement pitch of the bumps 17a of the CSP chip 17 is 0.5 mm, the thickness of the connection member 15 is 0.2 to 0.
Preferably, it is 3 mm. When the arrangement pitch of the bumps 17a is 0.8 mm, the thickness of the connection member 15 is preferably 0.4 to 0.5 mm. Each connection member is plated with gold in order to improve electrical contact with the bump 17a and the electrode 47, or
As shown in FIG. 7, the one end portion 15a and the other end portion 15b may be formed in a conical shape as shown in FIGS. 7A and 7B, or may be formed in a hemispherical shape as shown in FIG. 7C.

【0023】接続部材15の一端部分15aと他端部分
15bの形状を変えて、バンプ17aと電極47に対す
る接触面積を変えることにより、図1の押圧部材60が
CSPチップ17に加える押圧力の大きさを調整するこ
とができる。また接続部材の移動に必要な力の大きさ
は、絶縁性の保持部材16の硬さや厚さの大きさで調整
する。このようにして作られた接続部材15を有する絶
縁板12は、図1と図4に示すようにスペーサ18の上
に置かれるとともに、位置決めガイド30がその絶縁板
12の上に置かれる。この位置決めガイド30は、CS
Pチップの種類等に応じて予め用意されている。
By changing the shape of the one end portion 15a and the other end portion 15b of the connecting member 15 to change the contact area between the bump 17a and the electrode 47, the pressing force applied by the pressing member 60 of FIG. Can be adjusted. The magnitude of the force required to move the connection member is adjusted by the hardness and thickness of the insulating holding member 16. The insulating plate 12 having the connecting member 15 thus formed is placed on the spacer 18 as shown in FIGS. 1 and 4, and the positioning guide 30 is placed on the insulating plate 12. This positioning guide 30 is
It is prepared in advance according to the type of the P chip and the like.

【0024】次に、図4のようにCSPチップ17が位
置決めガイド30のガイド穴30aに挿入されて、図3
と図6に示すようにCSPチップのバンプ17aが、各
接続部材15の一端部分15aに接触するように載せ
る。しかしこの状態では、押圧部材60がまだCSPチ
ップ17を下方に押圧してないので、接続部材15は弾
性保持部材16により弾性的に保持されていることか
ら、電極47と他端部分15bとの間には間隔Dがあ
る。
Next, the CSP chip 17 is inserted into the guide hole 30a of the positioning guide 30 as shown in FIG.
6, the bumps 17 a of the CSP chip are placed so as to be in contact with the one end portions 15 a of the connection members 15. However, in this state, since the pressing member 60 has not yet pressed the CSP chip 17 downward, the connecting member 15 is elastically held by the elastic holding member 16, so that the connection between the electrode 47 and the other end portion 15b is established. There is an interval D between them.

【0025】押圧部材60がCSPチップ17を図1の
矢印Z1方向に押すと、接続部材15の他端部分15b
が対応する電極47に対して、弾性保持部材16の弾性
力に抗して電気的に確実に接続することができる。この
際に、バンプ17aの高さにばらつきがあったとして
も、接続部材15はそのばらつきに対応して絶縁板12
において個別に移動するので、バンプ17aと電極47
の電気的な接続を確実に行うことができる。CSPチッ
プ17がバンプ17a、接続部材15、電極47を介し
て図1の判断部101に電気的に接続されると、判断部
101はCSPチップ17の電気的特性等の試験を行っ
てその結果を判断する。このようにCSPチップ17が
押圧部材60で押圧しない状態では、接続部材15の他
端部分15bが電極47に接触していないので、電極4
7は押圧による測定時以外には接続部材と接触しないの
で電極47の摩耗をできる限り少なくすることができ
る。
When the pressing member 60 presses the CSP chip 17 in the direction of arrow Z1 in FIG.
Can reliably be electrically connected to the corresponding electrode 47 against the elastic force of the elastic holding member 16. At this time, even if the height of the bump 17a varies, the connecting member 15 responds to the variation to the insulating plate 12a.
, The bump 17a and the electrode 47
Can be reliably connected. When the CSP chip 17 is electrically connected to the determination unit 101 of FIG. 1 via the bump 17a, the connection member 15, and the electrode 47, the determination unit 101 performs a test on the electrical characteristics of the CSP chip 17 and the result. Judge. In the state where the CSP chip 17 is not pressed by the pressing member 60, the other end portion 15b of the connecting member 15 is not in contact with the electrode 47.
The electrode 7 does not contact the connecting member except at the time of measurement by pressing, so that the wear of the electrode 47 can be reduced as much as possible.

【0026】弾性保持部材16は、測定の度に接続部材
15が移動する力を受けるのであるが、弾性保持部材1
6は、図3の穴12a内の連結部分の第2部分16a
と、各小さい穴21内に少し入り込んだ弾性保持部材1
6の第1部分16bにより絶縁板12に対して接着力を
高めて剥がれないように保持することができる。以上の
ようにして、本発明の電気的接続装置では、絶縁板12
に対してマトリックス状に穴21を開けて、その穴に針
金のような接続部材15を挿入している。そしてゴムの
ような弾性保持部材16が絶縁板12と接続部材15を
包む形で、絶縁板12の表と裏側から固めて、各接続部
材を弾性的に保持している。このことから、電気的接続
装置は安価であり、電気的なコンタクト性の優れたもの
である。
The elastic holding member 16 receives a force for moving the connecting member 15 every time the measurement is performed.
6 is a second portion 16a of the connecting portion in the hole 12a of FIG.
And the elastic holding member 1 slightly inserted into each small hole 21.
The first portion 16b of 6 can increase the adhesive strength to the insulating plate 12 and hold it so as not to peel off. As described above, in the electrical connection device of the present invention, the insulating plate 12
, Holes 21 are formed in a matrix, and a connection member 15 such as a wire is inserted into the holes 21. An elastic holding member 16 such as rubber wraps the insulating plate 12 and the connecting member 15 and is hardened from the front and back sides of the insulating plate 12 to elastically hold the connecting members. For this reason, the electrical connection device is inexpensive and has excellent electrical contact properties.

【0027】ところで本発明は上記実施の形態に限定さ
れない。上述した実施の形態では、電子部品としてCS
Pチップを例に挙げているが、これに限らず他の種類、
例えばボール・グリッド・アレイ(BGA)のような電
子部品等の試験にも勿論用いることができる。
The present invention is not limited to the above embodiment. In the above-described embodiment, the electronic component is CS
Although the P chip is taken as an example, other types,
For example, it can of course be used for testing electronic components such as a ball grid array (BGA).

【0028】[0028]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電子部品の電気的な試験を行う際に、多数の電子部品の
電気的な接続を確実に行うことができる。
As described above, according to the present invention,
When conducting an electrical test of an electronic component, electrical connection of a large number of electronic components can be reliably performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の電気的接続装置及びそのための試験器
の例を示す断面図。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of an electrical connection device of the present invention and a tester therefor.

【図2】図1の電気的接続装置の平面図。FIG. 2 is a plan view of the electrical connection device of FIG. 1;

【図3】電気的接続装置の要部を示す拡大図。FIG. 3 is an enlarged view showing a main part of the electrical connection device.

【図4】電気的接続装置に対して電子部品であるCSP
チップを搭載しようとする状態を示す図。
FIG. 4 is a CSP that is an electronic component for the electrical connection device.
The figure which shows the state which is going to mount a chip.

【図5】絶縁板及び弾性保持部材、接続部材等を示す断
面図。
FIG. 5 is a sectional view showing an insulating plate, an elastic holding member, a connecting member, and the like.

【図6】CSPチップ、接続ピン及び基板の電極との位
置関係を示す図。
FIG. 6 is a diagram showing a positional relationship among a CSP chip, connection pins, and electrodes on a substrate.

【図7】接続部材の端部の形状の例を示す図。FIG. 7 is a view showing an example of the shape of an end of a connection member.

【図8】従来の電気的接続装置を示す図。FIG. 8 is a diagram showing a conventional electrical connection device.

【図9】従来の電気的接続装置を示す図。FIG. 9 is a diagram showing a conventional electrical connection device.

【図10】従来の電気的接続装置を示す図。FIG. 10 is a diagram showing a conventional electrical connection device.

【図11】従来の電気的接続装置を示す図。FIG. 11 is a diagram showing a conventional electrical connection device.

【図12】従来の電気的接続装置を示す図。FIG. 12 is a diagram showing a conventional electrical connection device.

【図13】従来の電気的接続装置を示す図。FIG. 13 is a diagram showing a conventional electrical connection device.

【図14】従来の電気的接続装置を示す図。FIG. 14 is a diagram showing a conventional electrical connection device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・電気的接続装置、12・・・絶縁板、15・
・・接続部材、15a・・・接続部材の一端部分、15
b・・・接続部材の他端部分、16a・・・弾性保持部
材の連結部分(第2部分)、16c・・・弾性保持部材
の第1部分、17・・・CSPチップ(電子部品)、1
7a・・・バンプ(突起電極)、18・・・スペーサ、
30・・・位置決めガイド、47・・・電極、100・
・・試験器
10 ... electrical connection device, 12 ... insulating plate, 15
..Connection member, 15a... One end portion of connection member, 15
b ... the other end of the connection member, 16a ... the connection portion (second portion) of the elastic holding member, 16c ... the first portion of the elastic holding member, 17 ... CSP chip (electronic component), 1
7a: bump (projection electrode), 18: spacer,
30 ... positioning guide, 47 ... electrode, 100
..Test equipment

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 突起電極を有する電子部品に電気的な接
続を得るための電子部品の電気的接続装置であり、 複数本の導電性の接続部材と、 各接続部材を通すための穴を有するベース部材と、 ベース部材の各穴を含む周囲部分に配置して各接続部材
を電気絶縁状態で接続部材の長手方向に関して弾性的に
移動可能に保持する絶縁性の弾性保持部材と、を有し、 接続部材の一端部分は、電子部品の突起電極に電気的に
接続する部分であり、接続部材の他端部分は、電子部品
の測定用の回路基板に電気的に接続する部分であること
を特徴とする電子部品の電気的接続装置。
1. An electronic component electrical connection device for obtaining electrical connection to an electronic component having a protruding electrode, comprising: a plurality of conductive connection members; and a hole for passing each connection member. A base member, and an insulating elastic holding member that is arranged in a peripheral portion including each hole of the base member and holds each connection member elastically movable in a longitudinal direction of the connection member in an electrically insulated state. One end of the connection member is a portion electrically connected to the protruding electrode of the electronic component, and the other end of the connection member is a portion electrically connected to the circuit board for measurement of the electronic component. Characteristic electrical connection device for electronic components.
【請求項2】 接続部材は、ベース部材においてマトリ
ックス状に配置されている請求項1に記載の電子部品の
電気的接続装置。
2. The electrical connection device for electronic components according to claim 1, wherein the connection members are arranged in a matrix on the base member.
【請求項3】 電子部品の突起電極を接続部材の一端部
分に押しつけると、接続部材の他端部分が電子部品の測
定用の回路基板に電気的に接続する請求項1に記載の電
子部品の電気的接続装置。
3. The electronic component according to claim 1, wherein when the projecting electrode of the electronic component is pressed against one end of the connection member, the other end of the connection member is electrically connected to a circuit board for measuring the electronic component. Electrical connection device.
【請求項4】 絶縁性の弾性保持部材は、電子部品側に
対面するベース部材の一方の面と、測定用の回路基板側
に対面するベース部材の他方の面に配置されており、ベ
ース部材の一方の面の弾性保持部材とベース部材の他方
の面の弾性保持部材は、連結部分により連結されている
請求項1に記載の電子部品の電気的接続装置。
4. The insulating elastic holding member is disposed on one surface of the base member facing the electronic component and on the other surface of the base member facing the circuit board for measurement. The electrical connection device for an electronic component according to claim 1, wherein the elastic holding member on one surface of the base member and the elastic holding member on the other surface of the base member are connected by a connecting portion.
【請求項5】 絶縁性の弾性保持部材の連結部分は、ベ
ース部材の穴内に配置された弾性保持部材の部分である
請求項4に記載の電子部品の電気的接続装置。
5. The electrical connection device for an electronic component according to claim 4, wherein the connecting portion of the insulating elastic holding member is a portion of the elastic holding member disposed in the hole of the base member.
【請求項6】 絶縁性の弾性保持部材の連結部分は、ベ
ース部材の穴内に配置された弾性保持部材の第1部分
と、ベース部材の別の連結用の穴内に配置された弾性保
持部材の第2部分を含む請求項4に記載の電子部品の電
気的接続装置。
6. The connecting portion of the insulating elastic holding member includes a first portion of the elastic holding member disposed in the hole of the base member and a first portion of the elastic holding member disposed in another connecting hole of the base member. The electrical connection device for an electronic component according to claim 4, further comprising a second portion.
【請求項7】 電子部品はチップ・スケール・パッケー
ジであり、突起電極はこのチップ・スケール・パッケー
ジのバンプである請求項1に記載の電子部品の電気的接
続装置。
7. The electrical connection device for an electronic component according to claim 1, wherein the electronic component is a chip scale package, and the projecting electrodes are bumps of the chip scale package.
【請求項8】 電子部品の突起電極と測定用の回路基板
に加わる圧力は、接続部材の一端部分と他端部分の先端
面積の大きさで調整する請求項1に記載の電子部品の電
気的接続装置。
8. The electric component according to claim 1, wherein the pressure applied to the projecting electrode of the electronic component and the circuit board for measurement is adjusted by the size of the tip area of one end and the other end of the connection member. Connection device.
【請求項9】 接続部材の移動に必要な力の大きさは、
絶縁性の弾性保持部材の硬さと厚さの大きさで調整する
請求項1に記載の電子部品の電気的接続装置。
9. The magnitude of the force required to move the connecting member is:
The electrical connection device for an electronic component according to claim 1, wherein the adjustment is performed by adjusting the hardness and the thickness of the insulating elastic holding member.
JP33974496A 1996-12-19 1996-12-19 Electrical connection device for electronic components Expired - Fee Related JP3671567B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33974496A JP3671567B2 (en) 1996-12-19 1996-12-19 Electrical connection device for electronic components

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33974496A JP3671567B2 (en) 1996-12-19 1996-12-19 Electrical connection device for electronic components

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10178129A true JPH10178129A (en) 1998-06-30
JP3671567B2 JP3671567B2 (en) 2005-07-13

Family

ID=18330405

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP33974496A Expired - Fee Related JP3671567B2 (en) 1996-12-19 1996-12-19 Electrical connection device for electronic components

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3671567B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010061888A1 (en) * 2008-11-26 2010-06-03 日本発條株式会社 Base member for probe unit, and probe unit

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010061888A1 (en) * 2008-11-26 2010-06-03 日本発條株式会社 Base member for probe unit, and probe unit
EP2360482A1 (en) * 2008-11-26 2011-08-24 NHK Spring Co., Ltd. Base member for probe unit, and probe unit
JP5260678B2 (en) * 2008-11-26 2013-08-14 日本発條株式会社 Probe unit base member and probe unit
US8633724B2 (en) 2008-11-26 2014-01-21 Nhk Spring Co., Ltd. Probe-unit base member and probe unit
TWI424166B (en) * 2008-11-26 2014-01-21 Nhk Spring Co Ltd Probe unit and base member for use therewith
EP2360482A4 (en) * 2008-11-26 2014-05-28 Nhk Spring Co Ltd Base member for probe unit, and probe unit

Also Published As

Publication number Publication date
JP3671567B2 (en) 2005-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6489790B1 (en) Socket including pressure conductive rubber and mesh for testing of ball grid array package
KR100430208B1 (en) Test assembly
JP2002139529A (en) Electric resistance measuring connector, and electric resistance measuring device and measuring method for circuit board
KR20010085477A (en) IC socket for surface-mounting semiconductor device
JP2002022767A (en) Plane adjusting mechanism for probe contact system
US20080007280A1 (en) Probe card
TW201606322A (en) Socket for testing semiconductor device
JP2000180506A (en) Contact device for inspecting semiconductor device
JP4480258B2 (en) Electrical contact device in semiconductor device inspection equipment
JPH0529406A (en) Semiconductor inspection apparatus
JP2000241498A (en) Semiconductor element connecting device, and semiconductor element inspection device and its method
JP2001307851A (en) Test socket of semiconductor device
JP2004053409A (en) Probe card
KR102139584B1 (en) Socket for testing semiconductor device
US6486688B2 (en) Semiconductor device testing apparatus having a contact sheet and probe for testing high frequency characteristics
JPH11295342A (en) Probe card and its manufacture
JP2559242B2 (en) Probe card
JP3671567B2 (en) Electrical connection device for electronic components
JPH10177038A (en) Electrical connecting device for testing electronic parts
JP2000292484A (en) Semiconductor element-connecting apparatus, semiconductor element-inspecting apparatus and inspection method
JPH0562748A (en) Ic socket
KR200278989Y1 (en) Ring type contactor pad of integrated silicone contactor
JPH10260233A (en) Head for inspecting flat plate-like body
JPH10150130A (en) Semiconductor device socket
KR20210059861A (en) Probe card and test method for semiconductor chip using the same

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040518

A521 Written amendment

Effective date: 20040715

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Effective date: 20050329

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050411

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080428

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090428

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090428

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100428

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees