JP3664891B2

JP3664891B2 - Slider processing apparatus and slider processing aid

Info

Publication number: JP3664891B2
Application number: JP27225398A
Authority: JP
Inventors: 寛二小林; 正雄山口
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1998-09-25
Filing date: 1998-09-25
Publication date: 2005-06-29
Anticipated expiration: 2018-09-25
Also published as: JP2000094294A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、浮上型磁気ヘッド等に用いられるスライダのエッジ部分の面取り加工を行うためのスライダの加工装置およびスライダ加工用補助具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置等に用いられる浮上型磁気ヘッドは、一般的に、スライダの後端部に薄膜磁気ヘッド素子を形成して構成されるようになっている。スライダは、一般的に、表面が媒体対向面（エアベアリング面）となるレール部を有すると共に、空気流入側の端部近傍にテーパ部またはステップ部を有し、テーパ部またはステップ部より流入する空気流によってレール部が磁気ディスク等の記録媒体の表面からわずかに浮上するようになっている。
【０００３】
このようなスライダでは、例えば特開平６−２８２８３１号公報に示されるように、スライダが揺れたりして傾いたときに、レール部の媒体対向面とレール部の外側の側面との間のエッジ部分（以下、レール部のエッジ部分とも言う。）によって記録媒体を傷つけないように、レール部のエッジ部分に対して面取り加工を施すことが行われている。なお、この特開平６−２８２８３１号公報に示されているスライダでは、２本のレール部の外側の側面がそのままスライダの側面になっている。
【０００４】
ところで、磁気ヘッド用のスライダは、多数の磁気ヘッド素子がマトリクス状に形成されたウェハを一方向に切断して、一列に配列された複数の磁気ヘッド素子を含むバーと呼ばれるブロックを形成し、このバーに対してレール部を形成した後に、バーを切断して各スライダに分離することによって形成される。ここで、上記特開平６−２８２８３１号公報に示されているスライダでは、２本のレール部の外側の側面がそのままスライダの側面になっている。しかしながら、スライダを、上記特開平６−２８２８３１号公報に示されているような形状とした場合には、バーを切断してスライダを形成する際の機械加工によって、レール部に欠け（チッピング）が生じるという問題点がある。
【０００５】
そのため、図４７に示したように、スライダ２１１の側面２１２すなわちバーの切断部よりも所定距離だけ内側にレール部２１３の側面２１４が配置されるように、レール部２１３を形成したスライダが一般的になっている。以下、このような形状のスライダを、２段構造のスライダと言う。
【０００６】
このような２段構造のスライダにおいても、レール部のエッジ部分に対して面取り加工を施すことが行われている。レール部のエッジ部分に対する従来の面取り加工の方法としては、例えば特開平６−１２６４５号公報に示されるように、弾性体上に設けられたダイヤモンドラッピングシート上でスライダを摺動させる方法がある。図４８は、この従来の面取り加工の方法の概略を説明するための説明図である。この従来の面取り加工では、複数のスライダ２１１を、治具２１５に固定して、例えばシリコーンゴムによって形成された板状の弾性部材２１６上に設けられたダイヤモンドラッピングシート２１７に対して、図中符号２１８で示す矢印方向に押し付けながら、水平方向の２方向に摺動させて、レール部２１３のエッジ部分２１９の面取りを行うようになっている。
【０００７】
図４９は、図４８に示した方法によって面取り加工を施した後のレール部２１３のエッジ部分２１９近傍（図４８におけるＣ部）を拡大して示したものである。
【０００８】
従来の面取り加工の他の方法としては、特開平２−３０１０１４号公報に示されるように、研磨テープをガイドによって案内しながら往復運動させて、スライダのレール部に対して研磨テープを摺動させる方法がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、記録密度向上のため、スライダの浮上量を小さくすることが要望されている。また、アクセスの高速化のため、スライダの浮上安定性の向上が要望されている。これらの要望を満たすものとして、最近では、負圧スライダが用いられるようになってきた。一般的に、負圧スライダでは、２本のレール部間に、負圧を発生させるための凹部が形成されている。このような負圧スライダでは、記録媒体側となる面が微細な形状となり、特にレール部の高さが従来のスライダに比べて大幅に小さくなっている。
【００１０】
このような負圧スライダでは、レール部の高さが小さいために、図５０に示したように、スライダ２２１が傾いたときに、スライダ２２１の側面２２２とこれに直交するスライダ２２１の記録媒体側となる面２２３との間のエッジ部分（以下、スライダのエッジ部分と言う。）２２４が記録媒体２２５に接触して記録媒体２２５を傷つけるおそれがあるという問題点がある。特に、ノート型パーソナルコンピュータ等、可搬型の装置に用いられるハードディスク装置では、スライダが傾き易いため、上述の問題点が顕著となる。
【００１１】
そこで、本出願人は、例えば特願平１０−１０４２３５号において、ワイヤによってダイヤモンドラッピングシートを変形させて、スライダにおける段差を有する複数のエッジ部分を同時に研磨して面取り加工を施す技術を提案している。この場合、ワイヤの張力が不安定だと加工精度が低下するため、加工精度を向上させるためには、ワイヤの張力を安定にする必要がある。
【００１２】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、スライダにおける段差を有する複数のエッジ部分を同時に研磨して面取り加工を施すことを可能とすると共に、加工精度を向上させることができるようにしたスライダの加工装置およびスライダ加工用補助具を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るスライダの加工装置は、媒体対向面を有するスライダにおけるエッジ部分を研磨してエッジ部分の面取り加工を行うスライダの加工装置であって、スライダを保持するためのスライダ保持具と、このスライダ保持具によって保持されたスライダのエッジ部分を研磨するための可撓性を有する研磨部材と、スライダ保持具によって保持されたスライダに対して研磨部材を挟んで対向する位置に配置される補助具本体と、この補助具本体の外周部に巻き付けられ、研磨部材を変形させるためのワイヤとを有し、研磨部材によってスライダにおける段差を有する複数のエッジ部分が同時に研磨されるように、ワイヤによって研磨部材を変形させるスライダ加工用補助具と、研磨部材によってスライダのエッジ部分が研磨されるように、スライダ保持具によって保持されたスライダと研磨部材とを相対的に移動させる移動手段とを備えたものである。
【００１４】
このスライダの加工装置では、スライダ加工用補助具のワイヤによって研磨部材が変形され、この研磨部材によって、スライダにおける段差を有する複数のエッジ部分が同時に研磨される。ワイヤは、補助具本体の外周部に巻き付けられていることから、張力が安定している。
【００１５】
また、本発明のスライダの加工装置では、例えば、スライダ加工用補助具は、ワイヤのうちの、スライダ加工用補助具における上面部分に位置する部分の下側に配置された弾性部材を有する。
【００１６】
また、本発明のスライダの加工装置では、例えば、スライダ加工用補助具は、ワイヤのうちの、スライダ加工用補助具における上面部分に位置する部分の下側に配置された凸部を有する。
【００１７】
本発明のスライダ加工用補助具は、媒体対向面を有するスライダを保持するためのスライダ保持具と、このスライダ保持具によって保持されたスライダのエッジ部分を研磨するための可撓性を有する研磨部材と、研磨部材によってスライダのエッジ部分が研磨されるように、スライダ保持具によって保持されたスライダと研磨部材とを相対的に移動させる移動手段とを備え、スライダにおけるエッジ部分を研磨してエッジ部分の面取り加工を行うスライダの加工装置に用いられ、スライダ保持具によって保持されたスライダに対して研磨部材を挟んで対向する位置に配置される補助具本体と、この補助具本体の外周部に巻き付けられ、研磨部材によってスライダにおける段差を有する複数のエッジ部分が同時に研磨されるように、研磨部材を変形させるためのワイヤとを備えたものである。
【００１８】
このスライダ加工用補助具では、ワイヤが研磨部材を変形させる。そして、変形された研磨部材によって、スライダにおける段差を有する複数のエッジ部分が同時に研磨される。ワイヤは、補助具本体の外周部に巻き付けられていることから、張力が安定している。
【００１９】
また、本発明のスライダ加工用補助具は、例えば、更に、ワイヤのうちの、スライダ加工用補助具における上面部分に位置する部分の下側に配置された弾性部材を備えている。
【００２０】
また、本発明のスライダ加工用補助具は、例えば、更に、ワイヤのうちの、スライダ加工用補助具における上面部分に位置する部分の下側に配置された凸部を備えている。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施の形態に係るスライダの加工装置を一部切り欠いて示す正面図、図２は、図１の右側面図である。また、図３は、図１に示した加工装置におけるＸ−Ｙテーブルの近傍を拡大して示す正面図、図４は、図３の右側面図である。本実施の形態に係る加工装置１０は、スライダのエッジ部分を研磨してエッジ部分の面取り加工を行う装置である。なお、本実施の形態では、スライダとして、薄膜磁気ヘッドに利用されるスライダの例を挙げている。
【００２２】
加工装置１０は、装置本体１１を備えている。この装置本体１１の前端部には、操作パネル２３が設けられている。また、装置本体１１上には、ベース部１２が設けられている。ベース部１２上には、上面をＸ方向（図１における矢印が示す左右方向）およびＹ方向（図２における矢印が示す左右方向）に移動可能なＸ−Ｙテーブル１３が設けられている。Ｘ−Ｙテーブル１３は、本発明における移動手段に対応する。
【００２３】
Ｘ−Ｙテーブル１３は、ベース部１２に対して固定された固定プレート１４と、この固定プレート１４上に設けられたＹ方向揺動プレート１５と、このＹ方向揺動プレート１５上に固定されたプレート１６と、このプレート１６上に設けられたＸ方向揺動プレート１７と、このＸ方向揺動プレート１７上に固定されたプレート１８とを備えている。
【００２４】
図３に示したように、固定プレート１４の上面におけるＸ方向の両端部には、それぞれＹ方向に延び、ベアリングを有するガイド１９が設けられている。Ｙ方向揺動プレート１５の下面におけるＸ方向の両端部には、それぞれＹ方向に延び、固定プレート１４に設けられたガイド１９に移動可能に係合する係合部２０が設けられている。そして、この係合部２０が固定プレート１４上のガイド１９に沿って移動することにより、Ｙ方向揺動プレート１５がＹ方向に移動するようになっている。
【００２５】
また、図４に示したように、プレート１６の上面におけるＹ方向の両端部には、それぞれＸ方向に延び、ベアリングを有するガイド２１が設けられている。Ｘ方向揺動プレート１７の下面におけるＹ方向の両端部には、それぞれＸ方向に延び、プレート１６に設けられたガイド２１に係合する係合部２２が設けられている。そして、この係合部２２がプレート１６上のガイド２１に沿って移動することにより、Ｘ方向揺動プレート１７がＸ方向に移動するようになっている。
【００２６】
プレート１８上には、複数のワイヤ巻きブロック３０が固定されている。ワイヤ巻きブロック３０は、本発明におけるスライダ加工用補助具に対応する。このワイヤ巻きブロック３０の構成については、後で詳しく説明する。
【００２７】
図３に示したように、装置本体１１内には、Ｙ方向揺動用モータ４０が設けられている。装置本体１１内において、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１には、円板４２が取り付けられている。装置本体１１内には、この円板４２を挟むように、揺動原点センサ４３が設けられている。例えば、円板４２には、所定の箇所に孔が設けられ、揺動原点センサ４３には、アンプを内蔵した透過型のフォトセンサが用いられる。この場合、揺動原点センサ４３は、円板４２における孔の位置を検出して、Ｙ方向の揺動の原点を検出するようになっている。
【００２８】
また、ベース部１２の上面より上方の位置において、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１の上端部には、Ｙ方向揺動幅調整部材４４を介して、Ｙ方向揺動用回転軸４５が連結されている。Ｙ方向揺動幅調整部材４４は、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とをずらすことができると共に、そのずれ量を調節することができるようになっている。Ｙ方向揺動用回転軸４５の上端部には、ベアリングを有するカム４６が取り付けられている。Ｙ方向揺動プレート１５の上面には、Ｘ方向に延び、カム４６を誘導するためのガイド４７が設けられている。Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とがずれている場合には、Ｙ方向揺動用モータ４１を回転させると、カム４６が回転し、このカム４６がガイド４７に沿って移動することにより、ガイド４７、プレート１６およびＹ方向揺動プレート１５がＹ方向に揺動するようになっている。なお、ベース部１２、固定プレート１４、Ｙ方向揺動プレート１５およびプレート１６には、Ｙ方向揺動用回転軸４５が挿通される孔が形成されている。
【００２９】
また、装置本体１１内には、Ｘ方向揺動用モータ５０が設けられている。装置本体１１内において、Ｘ方向揺動用モータ５０の回転軸５１には、円板５２が取り付けられている。装置本体１１内には、この円板５２を挟むように、揺動原点センサ５３が設けられている。例えば、円板５２には、所定の箇所に孔が設けられ、揺動原点センサ５３には、アンプを内蔵した透過型のフォトセンサが用いられる。この場合、揺動原点センサ５３は、円板５２における孔の位置を検出して、Ｘ方向の揺動の原点を検出するようになっている。
【００３０】
本実施の形態では、加工処理の開始時に、揺動原点センサ４３，５３によって、Ｙ方向およびＸ方向の揺動の原点を検出し、Ｘ−Ｙテーブル１３の位置を揺動の原点に復帰させることにより、加工処理の開始時におけるＸ−Ｙテーブル１３の位置を常に一定にするようにしている。これにより、処理結果のばらつきをなくすことができる。
【００３１】
また、ベース部１２の上面より上方の位置において、Ｘ方向揺動用モータ５０の回転軸５１の上端部には、Ｘ方向揺動幅調整部材５４を介して、Ｘ方向揺動用回転軸５５が連結されている。Ｘ方向揺動幅調整部材５４は、Ｘ方向揺動用モータ５０の回転軸５１とＸ方向揺動用回転軸５５とをずらすことができると共に、そのずれ量を調節することができるようになっている。Ｘ方向揺動用回転軸５５の上端部には、ベアリングを有するカム５６が取り付けられている。Ｘ方向揺動プレート１７の下面には、Ｙ方向に延び、カム５６を誘導するためのガイド５７が設けられている。Ｙ方向揺動用モータ５０の回転軸５１とＸ方向揺動用回転軸５５とがずれている場合には、Ｘ方向揺動用モータ５０を回転させると、カム５６が回転し、このカム５６がガイド５７に沿って移動することにより、ガイド５７、Ｘ方向揺動プレート１７およびプレート１８がＸ方向に揺動するようになっている。なお、ベース部１２、固定プレート１４、Ｙ方向揺動プレート１５およびプレート１６には、Ｘ方向揺動用回転軸５５が挿通される孔が形成されている。
【００３２】
ここで、図５ないし図８を参照して、Ｙ方向揺動幅調整部材４４の構成および作用について説明する。図５は、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とのずれ量がゼロであるときのＹ方向揺動幅調整部材４４の正面図、図６は図５の側面図である。また、図７は、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とのずれ量がゼロより大きい所定の大きさであるときのＹ方向揺動幅調整部材４４の正面図、図８は図７の側面図である。
【００３３】
Ｙ方向揺動幅調整部材４４は、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１の上端部に固定され、一方向に延びる溝を有する固定部６１と、この固定部６１の溝内に移動可能に収納され、Ｙ方向揺動用回転軸４５の下端部に固定された可動部６２と、固定部６１の側部に取り付けられ、固定部６１に対して可動部６２を移動させるための駆動用ねじ６３と、固定部６１の他の側部に取り付けられ、固定部６１に対して可動部６２を固定するための固定用ねじ６４とを備えている。
【００３４】
このＹ方向揺動幅調整部材４４では、駆動用ねじ６３を回すことによって、固定部６１に対して可動部６２を移動させることができ、固定用ねじ６４を締め付けることによって、固定部６１に対して可動部６２を固定することができる。
【００３５】
Ｙ方向揺動幅調整部材４４では、図５および図６に示したように、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とのずれ量をゼロにした場合には、Ｙ方向揺動用モータ４０を駆動しても、Ｙ方向揺動用回転軸４５は回転するだけで、その位置は変わらない。従って、Ｙ方向揺動プレート１５の揺動幅はゼロとなる。
【００３６】
また、Ｙ方向揺動幅調整部材４４では、図７および図８に示したように、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とのずれ量をゼロより大きい所定の大きさにした場合には、Ｙ方向揺動用モータ４０を駆動すると、Ｙ方向揺動用回転軸４５は、回転軸４１に対して偏心した状態で回転し、その結果、Ｙ方向揺動プレート１５が揺動する。この場合、Ｙ方向揺動プレート１５の揺動幅は、回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とのずれ量の２倍となる。
【００３７】
なお、Ｘ方向揺動幅調整部材５４の構成および作用も、Ｙ方向揺動幅調整部材４４と同様である。
【００３８】
本実施の形態では、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転数は、０〜４０ｒｐｍの範囲内で制御され、Ｘ方向揺動用モータ５０の回転数は、０〜３０ｒｐｍの範囲内で制御されるようになっている。
【００３９】
また、本実施の形態では、Ｙ方向揺動プレート１５の揺動幅は、０〜１５ｍｍの範囲内で制御され、Ｘ方向揺動プレート１７の揺動幅は、０〜３０ｍｍの範囲内で制御されるようになっている。
【００４０】
図１に示したように、ベース部１２の上には、Ｘ−Ｙテーブル１３の左右方向の両側の位置において、Ｙ方向に延びる２本のレール部２９が固定されている。各レール部２９には、それぞれ、Ｙ方向に延びるガイド７１が設けられている。
【００４１】
一方、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方には、スライダ保持治具セットプレート７０が設けられている。このスライダ保持治具セットプレート７０は、スライダを保持するスライダ保持治具８０を位置決めするためのものである。スライダ保持治具８０は、本発明におけるスライダ保持具に対応する。スライダ保持治具セットプレート７０のＸ方向の両端部近傍における下面には、ガイド７１に係合する係合部７２が接合されている。そして、この係合部７２がガイド７１に沿って移動することにより、スライダ保持治具セットプレート７０がＹ方向に移動するようになっている。スライダ保持治具セットプレート７０は、最も前側に配置された状態でＸ−Ｙテーブル１３の上方の位置に配置され、この状態から後ろ側に移動することにより、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方の位置から退避するようになっている。
【００４２】
図９は、スライダ保持治具セットプレート７０が移動する様子を示したものである。スライダ保持治具セットプレート７０が最も後ろ側（図において右側）に配置された状態でスライダ保持治具セットプレート７０の後端部に対応する位置には、スライダ保持治具セットプレート７０の後ろ側への移動を規制するためのストッパ７５が設けられている。
【００４３】
また、図１０は、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方の位置におけるスライダ保持治具セットプレート７０の有無を検出するためのセンサを示す説明図である。この図に示したように、保持治具セットプレート７０の前端部には、センサ作動片７３が設けられている。スライダ保持治具セットプレート７０が最も前側に配置された状態でスライダ保持治具セットプレート７０の前端部に対応する位置には、センサ作動片７３を検出することによって、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方の位置におけるスライダ保持治具セットプレート７０の有無を検出するスライダ保持治具セットプレート検出センサ７４が設けられている。このセンサ７４には、例えば、アンプを内蔵した透過型のフォトセンサが用いられる。
【００４４】
本実施の形態では、スライダ保持治具セットプレート検出センサ７４によって、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方の位置からスライダ保持治具セットプレート７０が退避されたことが検出され、その後、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方の位置にスライダ保持治具セットプレート７０が配置されたことが検出された後でなければ、加工処理を行うことができないようにしている。これは、１回の加工処理が終了する毎に、一旦、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方の位置からスライダ保持治具セットプレート７０を退避させ、後述するダイヤモンドラッピングシートを張り替えるようにするためである。
【００４５】
また、図１に示したように、スライダ保持治具セットプレート７０上には、このスライダ保持治具セットプレート７０にスライダ保持治具８０が装着されているか否かを検出するためのスライダ保持治具検出センサ７５が設けられている。このセンサ７５には、例えば、スライダ保持治具８０を挟んで対向する位置に発光部および受光部が配置されたフォトセンサが用いられる。
【００４６】
本実施の形態に係る加工装置１０では、スライダ保持治具検出センサ７５によって、スライダ保持治具８０がないのを確認してから、Ｘ−Ｙテーブル１３の位置を揺動の原点に復帰させるようにしている。
【００４７】
本実施の形態に係る加工装置１０は、更に、スライダ保持治具８０によって保持されたスライダに対して下向きの荷重を付加すると共に、付加する荷重の大きさを調整可能な荷重付加部１００を備えている。荷重付加部１００の構成については、後で詳しく説明する。
【００４８】
次に、図１１ないし１５を参照して、ワイヤ巻きブロック３０の構成について説明する。図１１はワイヤ巻きブロック３０の側面図、図１２はワイヤ巻きブロック３０の正面図、図１３はワイヤ巻きブロック３０に用いられる弾性部材を示す斜視図、図１４はワイヤ巻きブロック３０に用いられる変形用部材を示す斜視図である。
【００４９】
図１１および図１２に示したように、ワイヤ巻きブロック３０は、ブロック本体３１を備えている。このブロック本体３１には、上面で開口する直方体形状の凹部３１ａが形成されている。凹部３１ａ内には、図１３に示したような直方体形状の弾性部材３２、または図１４に示したような変形用部材３３が収納されるようになっている。弾性部材３２は、例えばシリコーンゴムによって形成されている。弾性部材３２は、凹部３１ａ内に収納されたとき、その上面がブロック本体３１の上面と同一面となるようになっている。変形用部材３３の上面には、変形用部材３３の長手方向に直交する方向に延びる複数の凸部３３ａが形成されている。各凸部３３ａは、断面が矩形になっている。変形用部材３３は、例えばステンレス鋼によって形成されている。変形用部材３３は、凹部３１ａ内に収納されたとき、その凸部３３ａの上面がブロック本体３１の上面と同一面となるようになっている。
【００５０】
凹部３１ａ内に弾性部材３２または変形用部材３３が収納されたブロック本体３１の外周には、ワイヤ３４が複数回巻き付けられている。ワイヤ３４の各端部は、ブロック本体３１の長手方向の両端部近傍において、ワイヤ止めねじ３５によって、ブロック本体３１に対して固定されている。なお、凹部３１ａ内に変形用部材３３が収納されている場合には、ワイヤ３４のうち、ワイヤ巻きブロック３０における上面部分に位置する部分は、変形用部材３３の凸部３３ａの上に配置されるようになっている。
【００５１】
ブロック本体３１の長手方向の両端部近傍には、止めねじを通すための孔３６が形成されている。そして、図３および図４に示したように、ワイヤ巻きブロック３０は、止めねじ用の孔３６を通された止めねじ３７によって、プレート１８上に固定されている。
【００５２】
図１５は、ワイヤ巻きブロック３０と、その上に配置されるゴムシートおよびダイヤモンドラッピングシートを示す斜視図である。なお、この図では、ワイヤ巻きブロック３０として、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に変形用部材３３が収納されたものを示しているが、凹部３１ａ内に弾性部材３２が収納されたものでもよい。ワイヤ巻きブロック３０の上には、ゴムシート３８が配置され、このゴムシート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９が配置される。ゴムシート３８は、例えばシリコーンゴムによって形成されている。ダイヤモンドラッピングシート３９は、本発明における研磨部材に対応する。
【００５３】
なお、本実施の形態に係る加工装置１０では、目的によっては、ワイヤ巻きブロック３０の代わりに、図１６に示したようなプレート９０が用いられる。このプレート９０は、例えばステンレス鋼によって形成されている。プレート９０を使用する場合には、プレート９０がプレート１８上に固定され、プレート９０上に、ゴムシート３８が配置され、このゴムシート３８の上に、図１５に示したようなダイヤモンドラッピングシート３９が配置される。
【００５４】
ここで、図１７ないし図１９を参照して、ワイヤ巻きブロック３０の上に、ゴムシート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９を配置する方法の一例について説明する。図１７に示したように、プレート１８上には、複数のワイヤ巻きブロック３０が固定される。ゴムシート３８は、全てのワイヤ巻きブロック３０を覆うように配置される。図１７に示した例では、ゴムシート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９を配置する場合、まず、ダイヤモンドラッピングシート３９を台紙９１の上に載せる。このとき、ダイヤモンドラッピングシート３９の端が台紙９１の端よりも少しはみ出るようにする。次に、ダイヤモンドラッピングシート３９の台紙９１の端よりはみ出た部分を、ゴムシート３８上のダイヤモンドラッピングシート３９を配置する領域の端の部分に当て、その部分を手で押さえ、台紙９１を、矢印９２で示した方向に引っ張りながら、ゴムシート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９を張ってゆく。
【００５５】
図１８は、このようにしてゴムシート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９を張った後の状態を示す平面図、図１９は、その正面図である。図１８に示したように、本実施の形態に係る加工装置１０では、ワイヤ巻きブロック３０は、Ｘ方向（図１８における矢印が示す左右方向）に５個、Ｙ方向（図１８における矢印が示す上下方向）に２個配列され、合計１０個設けられている。また、ワイヤ３４は、Ｘ方向に沿って配置される。
【００５６】
次に、図２０ないし図２３を参照して、スライダ保持治具セットプレート７０について説明する。本実施の形態に係る加工装置１０では、スライダ保持治具セットプレート７０として２種類のものが用意されている。以下、第１の種類のスライダ保持治具セットプレートを符号７０Ａで表し、第２の種類のスライダ保持治具セットプレートを符号７０Ｂで表す。また、符号７０は、２種類のスライダ保持治具セットプレート７０Ａ，７０Ｂを代表して表すものとする。
【００５７】
図２０は、第１の種類のスライダ保持治具セットプレート７０Ａの平面図、図２１は、図２０のＡ−Ａ′線断面図である。これらの図に示したように、スライダ保持治具セットプレート７０Ａには、スライダ保持治具８０が挿通される１０個の孔７６Ａが形成されている。この１０個の孔７６Ａは、図１８における１０個のワイヤ巻きブロック３０と同様の位置関係となるように配置されている。また、孔７６Ａは、図２１に示したように、垂直方向に対して所定の角度で傾いている。これにより、孔７６Ａは、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダの媒体対向面が傾いた状態で、スライダがダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０を位置決めするようになっている。
【００５８】
図２２は、第２の種類のスライダ保持治具セットプレート７０Ｂの平面図、図２３は、図２２のＢ−Ｂ′線断面図である。これらの図に示したように、スライダ保持治具セットプレート７０Ｂには、スライダ保持治具８０が挿通される１０個の孔７６Ｂが形成されている。この１０個の孔７６Ｂは、図１８における１０個のワイヤ巻きブロック３０と同様の位置関係となるように配置されている。また、孔７６Ｂは、図２３に示したように、垂直方向に延びている。これにより、孔７６Ｂは、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダの媒体対向面が平行な状態で、スライダがダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０を位置決めするようになっている。
【００５９】
スライダ保持治具セットプレート７０Ａ，７０Ｂのいずれにも、図１および図２に示した係合部７２にプレート７０Ａ，７０Ｂを固定するためのねじが挿通される複数のねじ孔７７が形成されている。また、スライダ保持治具セットプレート７０Ａ，７０Ｂのいずれにも、スライダ保持治具検出センサ７５を取り付けるためのねじが挿通されるねじ孔７８が形成されている。
【００６０】
次に、図２４を参照して、本実施の形態に係る加工装置１０によって加工されるスライダの一例について説明する。この図に示したスライダ１５０は、薄膜磁気ヘッドに利用されるものであり、表面が媒体対向面（エアベアリング面）となるレール部を有すると共に、スライダ１５０の側面よりも内側にレール部の外側の側面が配置されるようにレール部が形成されたものである。
【００６１】
また、このスライダ１５０は、負圧スライダであり、表面が媒体対向面となる２本のレール部１５３を有すると共に、スライダ１５０の側面１５２すなわちバーの切断部よりも所定距離だけ内側にレール部１５３の外側の側面１５４が配置されるように、レール部１５３が形成されている。
【００６２】
図２４において、動作の際における空気の流れる方向を、符号１６６で示している。スライダ１５０では、空気が流入する側である空気流入側の面を流入側端面ＬＥとし、空気が流出する側である空気流出側の面を流出側端面をＴＲとする。また、それに対し、空気の流れに沿う方向に形成されており、流入側端面ＬＥ、流出側端面ＴＲおよび媒体対向面と交差する面を側面とする。ただし、流入側端面ＬＥ、流出側端面ＴＲと、媒体対向面と、側面とは、多くの場合には互いに直交している。また、図２４に示したスライダ１５０において、レール部１５３の外側の側面１５４とは、レール部１５３の側面のうち、スライダの側面１５２に最も近い２つの側面である。
【００６３】
２本のレール部１５３の間は、凹部形状の負圧発生部１５５になっている。レール部１５３の幅は、空気流入側から空気流出側まで均一ではなく、空気流入側の幅が大きく、次いで空気流出側の幅が大きく、中間部分の幅が最も小さくなっている。また、レール部１５３における空気流入側の端部近傍には、端部側ほど高さの低くなるテーパ部１６０が形成されている。また、スライダ１５０の空気流出側の端部には、磁気ヘッド素子１５７と、この磁気ヘッド素子１５７に接続された端子１５８が形成されている。このようなスライダ１５０では、レール部１５３の高さ（負圧発生部１５５の深さ）は、数μｍ（例えば０．５〜５μｍ）程度である。また、スライダ１５０の側面１５２とレール部１５３の外側の側面１５４との間の幅は、数十μｍ（例えば１０〜６０μｍ）程度である。
【００６４】
なお、図２４に示したスライダ１５０は、符号１５０ａで示した大部分が、例えばアルティック（Ａｌ₂Ｏ₃・ＴｉＣ）によって形成され、符号１５０ｂで示した空気流出側の一部が、磁気ヘッド素子１５７や端子１５８を囲うアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）によって形成されている。
【００６５】
次に、図２５および図２６を参照して、ワイヤ巻きブロック３０とスライダ１５０との関係について説明する。図２５は、加工時におけるスライダ１５０の近傍を示す説明図である。また、図２６は、図２５のＣ部を拡大して示したものである。なお、図２５は、ワイヤ巻きブロック３０として、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に変形用部材３３が収納されたものを用いた場合の例を表しており、図２５には、このワイヤ巻きブロック３０のうちの変形用部材３３およびワイヤ３４のみを示している。
【００６６】
図２５に示したように、スライダ保持治具８０には、その下端側に、複数のスライダ固定部８０ａが設けられており、各スライダ固定部８０ａに対して、加工対象となるスライダ１５０が、例えば接着によって固定されるようになっている。
【００６７】
変形用部材３３の凸部３３ａの上に配置されたワイヤ３４は、個々のスライダ１５０の分離位置に対応する位置に配置されている。個々のスライダ１５０の分離位置は、言い換えると、図２６に示したように、スライダ保持治具８０に固定されたスライダ１５０のレール部１５３の媒体対向面とレール部１５３の外側の側面１５４との間の第１のエッジ部分１６１およびスライダ１５０の側面１５２とこれに直交するスライダ１５０の記録媒体（磁気ディスク）側となる面１５９との間の第２のエッジ部分１６２に対応する位置である。そのため、ワイヤ３４上に配置されたゴムシート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９は、第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に対応する部分が第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２側に突出するように変形される。その結果、ダイヤモンドラッピングシート３９は、少なくとも、第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に当接するようになっている。
【００６８】
上述の作用は、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に弾性部材３２が収納された場合も同様である。ただし、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に変形用部材３３が収納されている場合には、凹部３１ａ内に弾性部材３２が収納されている場合に比べて、ワイヤ３４の移動が容易になる。そのため、凹部３１ａ内に収納する部材として変形用部材３３を用いた場合には、スライダ保持治具８０に対するスライダ１５０の固定位置が若干ずれている場合でも、ワイヤ３４によって隆起されたゴムシート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９が、個々のスライダ１５０の分離位置に入り込むことにより、ワイヤ３４が分離位置に対応する位置に移動する。その結果、隣接する２つのスライダ１５０に対して、ダイヤモンドラッピングシート３９が均一に当たり、スライダ１５０の面取り加工を均一に行うことが可能となる。
【００６９】
ところで、スライダ１５０の空気流出側の端部には、磁気ヘッド素子１５７が形成されている。従って、スライダ１５０の空気流出側の端部におけるエッジ部分は、面取り加工を行うにしても、加工の程度を抑えることが好ましい。
【００７０】
ブロック本体３１の凹部３１ａ内に収納する部材として変形用部材３３を用いた場合には、変形用部材３３の凸部３３ａ上にワイヤ３４が配置され、そのワイヤ３４上にゴムシート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９が配置されるため、隣接する凸部３３ａ間の部分では、変形用部材３３の上面とゴムシート３８との間に大きな隙間が生じる。その結果、隣接する凸部３３ａ間の部分では、スライダ１５０に対するダイヤモンドラッピングシート３９の当たり方が緩くなる。そのため、スライダ１５０の空気流出側の端部におけるエッジ部分の面取り加工の程度を抑えることが可能となる。
【００７１】
変形用部材３３の凸部３３ａの幅や高さは、スライダ保持治具８０に固定された隣り合うスライダ１５０間の距離（以下、分離幅と言う。）ｄ等に応じて適宜に設定されるが、凸部３３ａの幅は０．０５〜０．２０ｍｍの範囲内で設定されるのが好ましく、凸部３３ａの高さは０．１０〜０．５０ｍｍの範囲内で設定されるのが好ましい。ここでは、一例として、分離幅ｄを０．２ｍｍとし、凸部３３ａの幅を０．１５ｍｍ、高さを０．４０ｍｍとしている。
【００７２】
ワイヤ３４は、例えば、ナイロン（商品名）等の合成繊維やステンレス鋼等によって形成されている。ワイヤ３４の外径は、分離幅ｄ等に応じて適宜に設定されるが、本実施の形態では、０．０３〜０．２０ｍｍの範囲内で設定されるのが好ましい。ここでは、一例として、ワイヤ３４の外径を０．０９ｍｍとしている。
【００７３】
ゴムシート３８の硬度は、３０〜６０が好ましいが、研磨量を多くする場合ほど、柔らかいものを用いるのが好ましい。ここでは、一例として、ゴムシート３８の硬度を５０としている。また、ゴムシート３８の厚みは、０．１０〜０．３０ｍｍが好ましい。ここでは、一例として、ゴムシート３８の厚みを０．３０ｍｍとしている。
【００７４】
ダイヤモンドラッピングシート３９は、例えば、可撓性フィルム上に研磨材層を形成して構成されている。可撓性フィルムは、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）によって形成されている。研磨材層は、例えば、ダイヤモンド粒子をバインダと共に可撓性フィルム上に塗布した後、乾燥することによって形成される。また、ここでは、一例として、ダイヤモンド粒子の粒径を０．２５μｍとしている。可撓性フィルムの厚みは０〜６μｍが好ましい。可撓性フィルムの厚みが０μｍの場合とは、可撓性フィルムを用いずに、ダイヤモンド粒子とバインダによってダイヤモンドラッピングシート３９を形成する場合である。ここでは、一例として、可撓性フィルムの厚みを、４μｍまたは２μｍとしている。
【００７５】
また、Ｘ−Ｙテーブル１３によるＹ方向の揺動幅は、Ｘ方向の揺動幅よりも大きいことが好ましい。上述のように分離幅ｄを０．２ｍｍとし、ワイヤ３４の外径を０．０９ｍｍとした場合には、Ｘ方向の揺動幅は１〜５ｍｍが好ましく、Ｙ方向の揺動幅は０．０５〜０．１５ｍｍが好ましい。ここでは、一例として、Ｘ方向の揺動幅を３ｍｍとし、Ｙ方向の揺動幅を０．０８ｍｍとしている。
【００７６】
ところで、本実施の形態に係る加工装置１０では、プレート１８上に、複数のワイヤ巻きブロック３０を設けている。これに対し、プレート１８上に、１つの大きな弾性部材や変形用部材を固定し、この弾性部材や変形用部材の上に、ワイヤを配置し、その両端部をプレート１８の端部に固定することも考えられる。しかしながら、このような構成では、ワイヤの張力が不安定になり、加工精度が低下するおそれがある。
【００７７】
これに対し、本実施の形態では、各ワイヤ巻きブロック３０において、ワイヤ３４のうちブロック３０の上面部分に位置する部分の長さが短いため、上述のような構成の場合に比べて、ワイヤ３４の張力は安定する。従って、本実施の形態によれば、加工精度を向上させることができる。
【００７８】
次に、図２７および図２８を参照して、荷重付加部１００の構成について説明する。図２７は、荷重付加部１００を正面側から見た断面図、図２８は、荷重付加部１００を側面側から見た断面図である。これらの図に示したように、荷重付加部１００は、１段目の重り保持板１１０と、この重り保持板１１０の上に固定された、側壁のみからなる２つの枠１１１と、各枠１１１の上に固定された２段目の２つの重り保持板１２０と、各重り保持板１２０の上に固定された、側壁のみからなる２つの枠１２１と、各枠１２１の上に固定された３段目の２つの重り保持板１３０と、各重り保持板１３０の上に固定された、側面および上面を有する２つのカバー１３１とを備えている。２つずつ設けられた枠１１１、重り保持板１２０、枠１２１、重り保持板１３０およびカバー１３１は、前後方向に配列されている。
【００７９】
重り保持板１１０には、断面が矩形の１０個の孔１１２が形成されている。この孔１１２は、図２０または図２２に示したスライダ保持治具セットプレート７０における１０個の孔７６と同様の位置関係となるように配置されている。重り保持板１２０，１３０には、重り保持板１１０における孔１１２に対応する位置に、それぞれ、孔１１２と同様の形状の孔１２２，１３２が形成されている。各孔１１２，１２２，１３２には、それぞれ、重り保持具１４０が装着されている。各重り保持具１４０には、垂直方向に延びる断面円形の３個の孔１４１が形成されている。
【００８０】
１段目における各重り保持具１４０には、それぞれ３個の重り１１３が装着されている。この重り１１３は、細長い円柱形状の軸部材１１４と、この軸部材１１４の上端部側に固定された、軸部材１１４よりも径の大きな円柱形状の大径部材１１５とで構成されている。軸部材１１４の下端面は、球面状になっている。大径部材１１５には、下端面で開口する断面円形の凹部が形成され、この凹部内に軸部材１１４の上端側が挿入されている。そして、大径部材１１５は、軸部材１１４に対してねじ止めされている。このように軸部材１１４と大径部材１１５からなる重り１１３は、所定の重さを有するブロックとなる。なお、このブロックの重さは、任意でよい。つまり、使用用途等に応じて適宜変えればよい。本実施の形態では、例えば２５ｇとする。また、１段目の重り１１３では、軸部材１１４において大径部材１１５の下端面より下側に突出する部分が軸部１１３ａとなり、この軸部１１３ａより上側の部分が大径部１１３ｂとなる。従って、重り保持具１４０は、重り１１３の軸部１１３ａを挿通させ、大径部１１３ｂの挿通を阻止することによって、重り１１３を保持するようになっている。
【００８１】
２段目における各重り保持具１４０には、それぞれ３個の重り１２３が装着されている。この重り１２３は、細長い円柱形状の軸部材１２４と、この軸部材１２４の途中にねじ止めされたフランジ部材１２５と、軸部材１２４におけるフランジ部材１２５よりも上側の部分に装着された１個以上の荷重調整用ブロック１２６とで構成されている。軸部材１２４の下端面は、球面状になっている。フランジ部材１２５の外径は、軸部材１２４の外径よりも大きくなっている。また、荷重調整用ブロック１２６の外径は、フランジ部材１２５の外径と等しくなっている。荷重調整用ブロック１２６には、それぞれ、軸部材１２４を挿通可能な孔が形成されている。そして、この孔に軸部材１２４を挿通することで、複数の荷重調整用ブロック１２６を、フランジ部材１２５の上に積み重ねることができるようになっている。ここでは、最大４個まで、荷重調整用ブロック１２６を積み重ねることができるようになっている。
【００８２】
２段目の重り１２３では、軸部材１２４とフランジ部材１２５とを組み合わせたものが、所定の重さを有するブロックとなり、その重さは例えば２５ｇになっている。また、各荷重調整用ブロック１２６も、所定の重さを有するブロックとなり、その重さは例えば２５ｇになっている。従って、荷重調整用ブロック１２６の数を変えることで、重り１２３全体の重さを２５ｇ〜１２５ｇの範囲で、２５ｇ単位で変えることができる。
【００８３】
なお、２段目の重り１２３では、最も上に配置される荷重調整用ブロック１２６は、荷重調整用ブロック１２６の個数に関わらず、軸部材１２４に対して一定の位置、すなわち４個の荷重調整用ブロック１２６を積み重ねた場合における最上段のブロック１２６の位置でねじ止めされるようになっている。これは、最も上に配置される荷重調整用ブロック１２６によって、３段目の重り１３３を押し上げる必要があるためである。
【００８４】
また、２段目の重り１２３では、軸部材１２４においてフランジ部材１２５の下端面より下側に突出する部分が軸部１２３ａとなり、この軸部１２３ａより上側の部分が大径部１２３ｂとなる。従って、重り保持具１４０は、重り１２３の軸部１２３ａを挿通させ、大径部１２３ｂの挿通を阻止することによって、重り１２３を保持するようになっている。
【００８５】
３段目における各重り保持具１４０には、それぞれ３個の重り１３３が装着されている。この重り１３３は、細長い円柱形状の軸部材１３４と、この軸部材１３４の途中にねじ止めされたフランジ部材１３５と、軸部材１３４におけるフランジ部材１３５よりも上側の部分に装着された１個以上の荷重調整用ブロック１３６とで構成されている。軸部材１３４の下端面は、球面状になっている。フランジ部材１３５の外径は、軸部材１３４の外径よりも大きくなっている。また、荷重調整用ブロック１３６の外径は、フランジ部材１３５の外径と等しくなっている。荷重調整用ブロック１３６には、それぞれ、軸部材１３４を挿通可能な孔が形成されている。そして、この孔に軸部材１３４を挿通することで、複数の荷重調整用ブロック１３６を、フランジ部材１３５の上に積み重ねることができるようになっている。ここでは、最大４個まで、荷重調整用ブロック１３６を積み重ねることができるようになっている。
【００８６】
３段目の重り１３３では、軸部材１３４とフランジ部材１３５とを組み合わせたものが、所定の重さを有するブロックとなり、その重さは例えば２５ｇになっている。また、各荷重調整用ブロック１３６も、所定の重さを有するブロックにとなり、その重さは例えば２５ｇになっている。従って、荷重調整用ブロック１３６の数を変えることで、重り１３３全体の重さを２５ｇ〜１２５ｇの範囲で、２５ｇ単位で変えることができる。
【００８７】
なお、３段目の重り１３３では、最も上に配置される荷重調整用ブロック１３６を軸部材１３４に対して一定の位置でねじ止めする必要はない。
【００８８】
また、３段目の重り１３３では、軸部材１３４においてフランジ部材１３５の下端面より下側に突出する部分が軸部１３３ａとなり、この軸部１３３ａより上側の部分が大径部１３３ｂとなる。従って、重り保持具１４０は、重り１３３の軸部１３３ａを挿通させ、大径部１３３ｂの挿通を阻止することによって、重り１３３を保持するようになっている。
【００８９】
各重り１１３，１２３，１３３の軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３ａには、螺旋状の溝１３８が形成されている。この溝１３８は、軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３ａと重り保持具１４０の孔とが擦れて発生する削りくず（粉）を取り込んで、軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３ａの円滑な動作を維持させる機能を有している。
【００９０】
なお、図２９に示したように、重り保持具１４０の孔に、螺旋状の溝１３９を形成しても、同様の効果を得ることができる。この効果を得るためには、溝１３８と溝１３９の少なくとも一方を設ければよい。
【００９１】
図１に示したように、ベース部１２の上に設けられたレール部２９には、Ｙ方向に延びるガイド１０１が設けられている。このガイド１０１の上には、Ｙ方向可動部１０３が設けられている。この可動部１０３には、ガイド１０１に係合する係合部１０２が設けられている。そして、係合部１０２がガイド１０１に沿って移動することにより、可動部１０３がＹ方向に移動するようになっている。また、可動部１０３には、上下方向に延びるガイド１０４が設けられている。
【００９２】
一方、重り保持板１１０の左右方向の両端部は、上下方向可動部１０９に連結されている。この可動部１０９には、ガイド１０４に係合する係合部１０５が設けられている。そして、係合部１０５がガイド１０４に沿って移動することにより、可動部１０９が上下方向に移動するようになっている。
【００９３】
上下方向可動部１０９は、上下方向駆動シリンダ１０８によって上下方向に駆動されるようになっている。また、Ｙ方向可動部１０３は、図２に示したＹ方向駆動シリンダ１０７によってＹ方向に駆動されるようになっている。
【００９４】
このようにして、荷重付加部１００は、Ｙ方向および上下方向に移動可能になっている。図２には、荷重付加部１００を後方に移動させて、Ｘ−Ｙテーブル１３上から退避させた状態を示しているが、この状態から荷重付加部１００を前方に移動させると、荷重付加部１００をＸ−Ｙテーブル１３上に配置することができる。
【００９５】
また、荷重付加部１００は、最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部がスライダ保持治具８０に対して接触せずにスライダ保持治具８０の上方に位置する状態から、下方向に移動させることにより、複数段に配置された重り１１３，１２３，１３３が、下段側から順に、スライダ保持治具８０に対して荷重を付加する状態となる。以下、この作用について、図３０ないし図３３を参照して説明する。
【００９６】
図３０は、荷重付加部１００の最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部がスライダ保持治具８０の上方に位置する状態における荷重付加部１００を表している。この状態では、スライダ保持治具８０には、外部より荷重は付加されない。
【００９７】
図３１は、図３０に示した状態から荷重付加部１００を下方向に移動させて、最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部がスライダ保持治具８０の上端部に当接し、最下段における重り保持具１４０に対して、重り１１３が持ち上がった状態を表している。なお、図３１に示した状態では、重り１１３の上端部が２段目における重り１２３の軸部１２３ａの下端部には当接していない。この状態では、スライダ保持治具８０に対して、最下段における重り１１３による荷重のみが付加される。ここで、１つのスライダ保持治具８０には、３個の重り１１３によって荷重が付加されるので、１つの重り１１３を２５ｇとした場合には、１つのスライダ保持治具８０には、７５ｇの荷重が付加されることになる。
【００９８】
図３２は、図３１に示した状態から更に荷重付加部１００を下方向に移動させて、最下段における重り１１３の上端部が２段目における重り１２３の軸部１２３ａの下端部に当接し、２段目における重り保持具１４０に対して、重り１２３が持ち上がった状態を表している。なお、図３２に示した状態では、重り１２３の上端部が３段目における重り１３３の軸部１３３ａの下端部には当接していない。この状態では、スライダ保持治具８０に対して、最下段における重り１１３と２段目における重り１２３による荷重が付加される。ここで、１つのスライダ保持治具８０には、３個の重り１１３および３個の重り１２３によって荷重が付加されるので、１つの重り１１３を２５ｇ、１つの重り１２３を１２５ｇとした場合には、１つのスライダ保持治具８０には、４５０ｇの荷重が付加されることになる。
【００９９】
図３３は、図３２に示した状態から更に荷重付加部１００を下方向に移動させて、２段目における重り１２３の上端部が３段目における重り１３３の軸部１３３ａの下端部に当接し、３段目における重り保持具１４０に対して、重り１３３が持ち上がった状態を表している。この状態では、スライダ保持治具８０に対して、最下段における重り１１３と２段目における重り１２３と３段目における重り１３３による荷重が付加される。ここで、１つのスライダ保持治具８０には、３個の重り１１３、３個の重り１２３および３個の重り１３３によって荷重が付加されるので、１つの重り１１３を２５ｇ、１つの重り１２３を１２５ｇ、１つの重り１３３を１２５ｇとした場合には、１つのスライダ保持治具８０には、８２５ｇの荷重が付加されることになる。
【０１００】
このような荷重付加部１００の機能を実現するには、最下段における重り１１３が上下方向に移動できる距離が、スライダ保持治具８０に荷重を付加しない状態（図３０に示した状態）における重り１１３の上端部と重り１２３の軸部１２３ａの下端部との間の距離と、重り１２３の上端部と重り１３３の軸部１３３ａの下端部との間の距離とを足した距離よりも大きいことが必要である。
【０１０１】
このように、本実施の形態では、スライダ保持治具８０に対して複数の重り１１３，１２３，１３３による荷重を段階的に加えることによって、スライダ保持治具８０に付加する荷重を調整することができる。
【０１０２】
そのため、本実施の形態では、例えば、スライダ１５０のレール部のエッジ部分の面取りがまだ行われていないときや面取りの初期の段階では、スライダ保持治具８０に対して対して小さい荷重を付加してエッジ部分の面取り加工を行い、面取り加工の進行に応じて、スライダ保持治具８０に付加する荷重を増加させることができる。これにより、スライダ１５０のエッジ部分で、薄いダイヤモンドラッピングシート３９が切れることを防止することができる。なお、１つのスライダ保持治具８０に荷重を付加する１段あたりの重りの数は、３個に限らず、２個や４個以上でもよい。また、荷重付加部１００における各重り１１３，１２３，１３３の重さや、各重り１１３，１２３，１３３を構成するブロックの重さは、適宜変えてもよい。
【０１０３】
なお、本実施の形態に係る加工装置１０は、図示しないが、更に、操作パネル２３における操作に対応した信号や各センサの出力信号を入力し、各駆動部分を制御する制御部を備えている。
【０１０４】
次に、本実施の形態に係る加工装置１０の作用について説明する。なお、以下の説明は、本実施の形態に係るスライダの加工方法の説明を兼ねている。
【０１０５】
加工装置１０を用いてスライダ１５０を加工する場合には、まず、スライダ保持治具８０に対して、加工対象となる複数のスライダ１５０を、記録媒体側となる面が下側となるように、例えば接着によって固定する。なお、この時点におけるスライダ１５０は、一列に配列された複数の磁気ヘッド素子を含み媒体対向面となる面の研磨が終了した後のバーに対して、イオンミリング等によってレール部を形成した後に、バーを切断して得られたものである。
【０１０６】
本実施の形態では、スライダ１５０が固定されたスライダ保持治具８０に対して、好ましくは、以下で説明するような３段階の面取り加工を行う。
【０１０７】
図３４は、１段階目の面取り加工の様子を示す説明図である。１段階目の面取り加工では、ワイヤ巻きブロック３０の代わりに、図１６に示したようなプレート９０が用いられる。そして、このプレート９０上に、ゴムシート３８が配置され、このゴムシート３８の上に、ダイヤモンドラッピングシート３９が配置される。また、スライダ保持治具セットプレート７０としては、プレート７０Ａが用いられる。１段階目の面取り加工では、図３４に示したように、プレート７０Ａによって、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダ１５０の媒体対向面が傾いた状態で、スライダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０が位置決めされる。
【０１０８】
なお、本実施の形態では、スライダ保持治具８０がプレート７０Ａによって位置決めされたときに、スライダ１５０の媒体対向面のうちの空気流入端側が下側となるように、スライダ保持治具８０に対してスライダ１５０が固定されている。
【０１０９】
スライダ保持治具８０の側面とダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面とのなす角度θは、６０°以上で、９０°より小さい角度の範囲内が好ましく、特に、７０°±２．５°が好ましい。
【０１１０】
また、スライダ保持治具８０の上端部には、最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部が当接する。前述のように、スライダ保持治具８０に付加する荷重は調整することができる。スライダ保持治具８０に付加する荷重は、面取り加工の進行に応じて、段階的に増加させることが好ましい。
【０１１１】
１段階目の面取り加工では、図３４に示した状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動され、スライダ１５０の空気流入端側のエッジのみが面取り加工される。
【０１１２】
図３５は、２段階目の面取り加工の様子を示す説明図である。２段階目の面取り加工では、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に弾性部材３２が収納されたワイヤ巻きブロック３０が用いられる。従って、弾性部材３２の上にワイヤ３４が配置され、ワイヤ３４の上にゴムシート３８が配置され、ゴムシート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９が配置される。また、スライダ保持治具セットプレート７０としては、プレート７０Ａが用いられる。２段階目の面取り加工では、図３５に示したように、プレート７０Ａによって、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダ１５０の媒体対向面が傾いた状態で、スライダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０が位置決めされる。
【０１１３】
スライダ保持治具８０の側面とダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面とのなす角度θは、６０°以上で、９０°より小さい角度の範囲内が好ましく、特に、７０°前後が好ましい。
【０１１４】
また、スライダ保持治具８０の上端部には、最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部が当接する。前述のように、スライダ保持治具８０に付加する荷重は調整することができる。スライダ保持治具８０に付加する荷重は、面取り加工の進行に応じて、段階的に増加させることが好ましい。
【０１１５】
２段階目の面取り加工では、図２５に示したように、ワイヤ３４上に配置されたゴムシート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９は、スライダ１５０の第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に対応する部分が第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２側に突出するように変形される。その結果、ダイヤモンドラッピングシート３９は、少なくとも、第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に当接するようになっている。
【０１１６】
２段階目の面取り加工では、図３５に示した状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動され、スライダ１５０の空気流入端側のエッジが更に面取り加工されると共に、段差を有する第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２が同時に面取り加工される。このように、１段階目の面取り加工および２段階目の面取り加工によって、スライダ１５０の空気流入端側のエッジは、他のエッジよりも多く面取り加工が施される。このように、スライダ１５０の空気流入端側のエッジを多く面取り加工するのは、空気流入端側のエッジは、他のエッジよりも記録媒体に接触する可能性が大きいからである。また、１段階目の面取り加工および２段階目の面取り加工によって、スライダ１５０の空気流入端側のエッジは、斜面状に面取りされる。
【０１１７】
図３６は、３段階目の面取り加工の様子を示す説明図である。３段階目の面取りでは、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に変形用部材３３が収納されたワイヤ巻きブロック３０が用いられる。従って、弾性部材３３の凸部３３ａの上にワイヤ３４が配置され、ワイヤ３４の上にゴムシート３８が配置され、ゴムシート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９が配置される。また、スライダ保持治具セットプレート７０としては、プレート７０Ｂが用いられる。３段階目の面取り加工では、図３６に示したように、プレート７０Ｂによって、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダ１５０の媒体対向面が平行な状態で、スライダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０が位置決めされる。
【０１１８】
また、スライダ保持治具８０の上端部には、最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部が当接する。ここで、スライダ１５０の媒体対向面のうちの空気流入端側は、図３６におけるスライダ１５０の右側になっている。本実施の形態では、図３６に示したように、スライダ１５０の媒体対向面のうちの空気流入端側に対してより面取り加工を施すために軸部１１３ａの下端部は、スライダ保持治具８０の上端部のうちの右側に偏った位置に当接するようにしている。また、前述のように、スライダ保持治具８０に付加する荷重は調整することができる。スライダ保持治具８０に付加する荷重は、面取り加工の進行に応じて、段階的に増加させることが好ましい。
【０１１９】
３段階目の面取り加工では、ワイヤ３４上に配置されたゴムシート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９は、スライダ１５０の第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に対応する部分が第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２側に突出するように変形される。その結果、ダイヤモンドラッピングシート３９は、少なくとも、第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に当接するようになっている。
【０１２０】
３段階目の面取り加工では、図３６に示した状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動される。これにより、第１のエッジ部分１６１を含むスライダ１５０のレール部１５３のエッジ部分全体と、第２のエッジ部分１６２が同時に面取り加工される。また、３段階目の面取り加工では、第１および第２の面取り加工によって斜面状に面取り加工されたエッジ部分を含め、ダイヤモンドラッピングシート３９に当接するエッジ部分は、曲面状に面取り加工される。
【０１２１】
１段階目ないし３段階目の面取り加工は、１台の加工装置１０を用いて、各段階毎にワイヤ巻きブロック３０やスライダ保持治具セットプレート７０等を取り替えて行うことも可能であるが、各段階用に設定された３台の加工装置１０を用いて行う方が効率的である。
【０１２２】
このような本実施の形態に係るスライダの加工方法によれば、スライダ１５０の空気流入端側のエッジ部分に対して、他のエッジ部分よりも多く面取り加工を施すことができる。これにより、スライダ１５０の耐衝撃性を向上させることができる。
【０１２３】
ここで、スライダ１５０の空気流入端側のエッジ部分に対して、本実施の形態による３段階の面取り加工を施した場合と、他の方法で面取り加工を施した場合とで、エッジ部分の形状を比較する。
【０１２４】
なお、比較のための他の面取り加工の方法には、図３７に示した方法と、図３８に示した方法とを用いた。図３７に示した方法では、図３４に示した１段階目の面取り加工と同様に、ワイヤ巻きブロック３０の代わりに、図１６に示したようなプレート９０が用いられる。そして、このプレート９０上に、ゴムシート３８が配置され、このゴムシート３８の上に、ダイヤモンドラッピングシート３９が配置される。また、スライダ保持治具セットプレート７０としては、プレート７０Ｂが用いられる。従って、図３７に示した方法では、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダ１５０の媒体対向面が平行な状態で、スライダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０が位置決めされる。そして、この状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動されて、スライダ１５０のエッジ部分の面取り加工が施される。
【０１２５】
一方、図３８に示した方法では、図３５に示した２段階目の面取り加工と同様に、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に弾性部材３２が収納されたワイヤ巻きブロック３０が用いられる。従って、弾性部材３２の上にワイヤ３４が配置され、ワイヤ３４の上にゴムシート３８が配置され、ゴムシート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９が配置される。また、スライダ保持治具セットプレート７０としては、プレート７０Ｂが用いられる。従って、図３８に示した方法では、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダ１５０の媒体対向面が平行な状態で、スライダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０が位置決めされる。そして、この状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動されて、スライダ１５０のエッジ部分の面取り加工が施される。
【０１２６】
図３７に示した方法や図３８で示した方法によって面取り加工を施した場合におけるスライダ１５０の空気流入端側のエッジ部分の形状の一例を図３９に示す。また、本実施の形態による３段階の面取り加工を施した場合におけるスライダ１５０の空気流入端側のエッジ部分の形状の一例を図４０に示す。なお、図３９０および図４０に示した形状は、触針式表面粗さ計を用いて測定したものである。触針式表面粗さ計としては、英国ランクテーラーホブソン（Rank Taylor-Hobson）社製「タリステップ（Talystep）」（商品名）を用いた。なお、触針には、先端部の曲率半径が２μｍのものを用いた。図３９および図４０において、横軸は水平方向の位置、縦軸は垂直方向の位置を表している。
【０１２７】
図３９に示した形状において、面取り加工が施された領域の高さ方向の長さは、０．５μｍであった。これに対し、図４０に示した形状において、面取り加工が施された領域の高さ方向の長さは、５．０μｍであった。これらの図から、本実施の形態による３段階の面取り加工によれば、スライダ１５０の空気流入端側のエッジ部分に対して多く面取り加工を施すことができ、スライダ１５０の耐衝撃性を向上させることが可能となることが分かる。
【０１２８】
次に、図４１ないし図４６を参照して、本実施の形態におけるスライダ保持治具８０の側面とダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面とのなす角度θと、面取り加工後のエッジ部分の形状との関係について説明する。
【０１２９】
図４１に示したように、１段階目および２段階目の面取り加工におけるθを６０°とした場合、２段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状は、例えば図４２に示したようになり、３段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状は、例えば図４３に示したようになった。
【０１３０】
また、図４４に示したように、１段階目および２段階目の面取り加工におけるθを７５°とした場合、２段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状は、例えば図４５に示したようになり、３段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状は、例えば図４６に示したようになった。
【０１３１】
図４２、図４３、図４５および図４６に示した形状の測定方法は、図３９、図４０の場合と同様である。
【０１３２】
図４２に示した形状において、面取り加工が施された領域の高さ方向の長さは、３．５μｍであった。これに対し、図４５に示した形状において、面取り加工が施された領域の高さ方向の長さは、２．５μｍであった。これらの図からも分かるように、θが小さいほど、面取り加工が施された領域の高さ方向の長さが大きくなる。
【０１３３】
しかし、図４３と図４６とを比較すると分かるように、θが小さいほど、３段階目の面取り加工後においても、面取り加工が施された領域が斜面状に近いままであることが推測される。図４３に示した形状を許容範囲の限度とすると、θは６０°以上とする必要がある。
【０１３４】
以上説明したように、本実施の形態に係る加工装置１０および本実施の形態に係るスライダの加工方法によれば、スライダ１５０の空気流入端側のエッジに対してより多く面取り加工を施すことができると共に、段差を有する第１のエッジ部分１６１と第２のエッジ部分１６２に対して面取り加工を施すことができる。従って、本実施の形態によれば、傾いても、エッジ部分によって記録媒体の面を傷つけることを防止できるスライダ１５０を得ることができる。
【０１３５】
また、負圧を発生させないスライダに比べて負圧スライダの方が、傾いたときに第１のエッジ部分１６１が記録媒体に接触する可能性が大きいので、本実施の形態に係る加工装置１０および本実施の形態に係るスライダの加工方法は、特に、負圧スライダを加工する場合に効果が顕著になる。
【０１３６】
また、本実施の形態に係るスライダの加工方法によれば、スライダ１５０の空気流入端側のエッジや、第１のエッジ部分１６１や、第２のエッジ部分１６２だけではなく、それ以外の、レール部１５３における媒体対向面の周縁部、およびスライダ１５０の外周面の媒体対向面側の周縁部についても、十分に面取り加工を施すことができる。これにより、スライダ１５０が種々の態様で傾いたとしても、記録媒体を傷つけることを防止できるスライダ１５０を得ることができる。
【０１３７】
また、本実施の形態に係る加工装置１０および本実施の形態に係るスライダの加工方法では、ダイヤモンドラッピングシート３９を変形させて、このダイヤモンドラッピングシート３９をスライダ１５０の第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に当接させるようにしている。その際、ダイヤモンドラッピングシート３９を、弾性を有するゴムシート３８によって保持するようにしたので、ダイヤモンドラッピングシート３９が切れることを防止でき、安定してスライダ１５０の加工を行うことができる。
【０１３８】
また、本実施の形態では、スライダ保持治具８０に対して複数の重り１１３，１２３，１３３による荷重を段階的に加えることによって、スライダ保持治具８０に付加する荷重を調整することができる。そのため、本実施の形態によれば、スライダ１５０のエッジ部分で、薄いダイヤモンドラッピングシート３９が切れることを防止することができる。
【０１３９】
また、本実施の形態では、重り１１３，１２３，１３３の軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３ａと重り保持具１４０の孔との少なくとも一方に、螺旋状の溝１３８または溝１３９を形成したので、この溝１３８，１３９によって、軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３ａと重り保持具１４０の孔とが擦れて発生する削りくず（粉）を取り込んで、軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３ａの円滑な動作を維持させることができる。
【０１４０】
また、本実施の形態では、スライダ保持治具セットプレート７０の１種類として、垂直方向に対して所定の角度で傾いた孔７６Ａを有するスライダ保持治具セセットプレート７０Ａを用意している。このプレート７０Ａは、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダの媒体対向面が傾いた状態で、スライダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０を位置決めする。従って、本実施の形態によれば、スライダ保持治具セセットプレート７０Ａを用いることにより、スライダ１５０の特定のエッジ部分、例えばスライダ１５０の空気流入端側のエッジに対して、他のエッジ部分よりも多く面取り加工を施すことが可能となる。
【０１４１】
また、本実施の形態では、段差を有する第１のエッジ部分１６１と第２のエッジ部分１６２を同時に面取り加工するために、ワイヤ３４によってゴムシート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９を変形させるようにしている。本実施の形態では、ワイヤ３４を、プレート１８上の全面に張らずに、複数のワイヤ巻きブロック３０を用いて、複数の部分に分けて張っている。そのため、本実施の形態によれば、ワイヤ３４の張力が安定し、加工精度を向上させることができる。
【０１４２】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、実施の形態では、スライダ１５０を固定し、Ｘ−Ｙテーブル１３によってダイヤモンドラッピングシート３９を移動させるようにしたが、ダイヤモンドラッピングシート３９を固定し、スライダ保持治具８０を動かしてスライダ１５０を移動（揺動）させるようにしてもよい。
【０１４３】
また、本発明は、図２４に示した形状のスライダに限らず、他の形状のスライダの加工にも適用することができる。また、本発明は、２段構造のスライダに限らず、３段以上の構造のスライダの加工にも適用することができる。
【０１４４】
また、実施の形態では、加工対象としてのスライダとして、負圧スライダの例を挙げたが、本発明は、負圧を発生させないスライダの加工にも適用することができる。
【０１４５】
また、本発明は、磁気ヘッド用以外の他の用途のスライダ、例えば光記録方式や光磁気記録方式による情報の記録または再生を行うためのヘッド（ピックアップ）用のスライダ等にも適用することが可能である。
【０１４６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のスライダの加工装置または本発明のスライダ加工用補助具によれば、スライダにおける段差を有する複数のエッジ部分が同時に研磨されるように研磨部材を変形させるためのワイヤを、補助具本体の外周部に巻き付けたので、ワイヤの張力が安定し、スライダにおける段差を有する複数のエッジ部分を同時に研磨して面取り加工を施すことが可能になると共に、加工精度を向上させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るスライダの加工装置を一部切り欠いて示す正面図である。
【図２】図１の右側面図である。
【図３】図１におけるＸ−Ｙテーブルの近傍を拡大して示す正面図である。
【図４】図３の右側面図である。
【図５】図１におけるＹ方向揺動幅調整部材の正面図である。
【図６】図５の側面図である。
【図７】図１におけるＹ方向揺動幅調整部材の正面図である。
【図８】図７の側面図である。
【図９】図２におけるスライダ保持治具セットプレートが移動する様子を示す説明図である。
【図１０】図９に示したスライダ保持治具セットプレートの有無を検出するためのセンサを示す説明図である。
【図１１】図１におけるワイヤ巻きブロックの側面図である。
【図１２】図１１に示したワイヤ巻きブロックの正面図である。
【図１３】図１１に示したワイヤ巻きブロックに用いられる弾性部材を示す斜視図である。
【図１４】図１１に示したワイヤ巻きブロックに用いられる変形用部材を示す斜視図である。
【図１５】図１１に示したワイヤ巻きブロックとその上に配置されるゴムシートおよびダイヤモンドラッピングシートを示す斜視図である。
【図１６】図１１に示したワイヤ巻きブロックの代わりに用いられるプレートとその上に配置されるゴムシートを示す正面図である。
【図１７】図１１に示したワイヤ巻きブロックの上にゴムシートおよびダイヤモンドラッピングシートを配置する方法の一例を説明するための説明図である。
【図１８】図１７に示した方法によってワイヤ巻きブロックの上にゴムシートおよびダイヤモンドラッピングシートを張った後の状態を示す平面図である。
【図１９】図１８の正面図である。
【図２０】本発明の一実施の形態に係る加工装置で使用するスライダ保持治具セットプレートの平面図である。
【図２１】図２０のＡ−Ａ′線断面図である。
【図２２】本発明の一実施の形態に係る加工装置で使用する他のスライダ保持治具セットプレートの平面図である。
【図２３】図２２のＢ−Ｂ′線断面図である。
【図２４】本発明の一実施の形態に係る加工装置によって加工されるスライダの一例を示す斜視図である。
【図２５】本発明の一実施の形態に係る加工装置による加工時におけるスライダの近傍を示す断面図である。
【図２６】図２５のＣ部を拡大して示す説明図である。
【図２７】図１における荷重付加部を正面側から見た断面図である。
【図２８】図１における荷重付加部を側面側から見た断面図である。
【図２９】図２８に示した重り保持具の孔に螺旋状の溝を形成した場合における重り保持具を示す断面図である。
【図３０】図１における荷重付加部の作用を説明するための断面図である。
【図３１】図１における荷重付加部の作用を説明するための断面図である。
【図３２】図１における荷重付加部の作用を説明するための断面図である。
【図３３】図１における荷重付加部の作用を説明するための断面図である。
【図３４】本発明の一実施の形態に係る加工方法における１段階目の面取り加工の様子を示す断面図である。
【図３５】本発明の一実施の形態に係る加工方法における２段階目の面取り加工の様子を示す断面図である。
【図３６】本発明の一実施の形態に係る加工方法における３段階目の面取り加工の様子を示す断面図である。
【図３７】本発明の一実施の形態に係る加工方法と比較するための他の面取り加工の方法を示す断面図である。
【図３８】本発明の一実施の形態に係る加工方法と比較するための他の面取り加工の方法を示す断面図である。
【図３９】図３７に示した方法や図３８で示した方法によって面取り加工を施した場合におけるスライダの空気流入端側のエッジ部分の形状の一例を示す説明図である。
【図４０】本発明の一実施の形態による３段階の面取り加工を施した場合におけるスライダの空気流入端側のエッジ部分の形状の一例を示す説明図である。
【図４１】本発明の一実施の形態におけるスライダ保持治具の側面とダイヤモンドラッピングシートの研磨面とのなす角度を６０°とした場合のスライダ保持治具を示す説明図である。
【図４２】図４１に示した場合における２段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状の一例を示す説明図である。
【図４３】図４１に示した場合における３段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状の一例を示す説明図である。
【図４４】本発明の一実施の形態におけるスライダ保持治具の側面とダイヤモンドラッピングシートの研磨面とのなす角度を７５°とした場合のスライダ保持治具を示す説明図である。
【図４５】図４４に示した場合における２段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状の一例を示す説明図である。
【図４６】図４４に示した場合における３段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状の一例を示す説明図である。
【図４７】スライダの形状の一例を示す斜視図である。
【図４８】従来のスライダに対する面取り加工の方法の概略を説明するための説明図である。
【図４９】図４８に示した方法によって面取り加工を施した後のレール部のエッジ近傍Ｃ部を拡大して示す説明図である。
【図５０】スライダの傾き方の態様を示す説明図である。
【符号の説明】
１０…加工装置、１１…装置本体、１３…Ｘ−Ｙテーブル、３０…ワイヤ巻きブロック、３１…ブロック本体、３２…弾性部材、３３…変形用部材、３４…ワイヤ、３８…ゴムシート、３９…ダイヤモンドラッピングシート、７０，７０Ａ，７０Ｂ…スライダ保持治具セットプレート、８０…スライダ保持治具、１００…荷重付加部、１１３，１２３，１３３…重り、１１３ａ，１２３ａ，１３３ａ…軸部、１３８，１３９…溝、１５０…スライダ。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a slider processing apparatus and a slider processing auxiliary tool for chamfering an edge portion of a slider used in a floating magnetic head or the like.
[0002]
[Prior art]
A floating magnetic head used in a magnetic disk device or the like is generally configured by forming a thin film magnetic head element at the rear end of a slider. The slider generally has a rail portion whose surface is a medium facing surface (air bearing surface), and has a tapered portion or a step portion near the end on the air inflow side, and flows from the tapered portion or the step portion. The air flow causes the rail portion to slightly float from the surface of a recording medium such as a magnetic disk.
[0003]
In such a slider, as shown in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 6-282831, an edge portion between the medium facing surface of the rail portion and the outer side surface of the rail portion when the slider swings and tilts. The edge portion of the rail portion is chamfered so as not to damage the recording medium (hereinafter also referred to as the edge portion of the rail portion). In the slider disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 6-282831, the outer side surfaces of the two rail portions are the side surfaces of the slider as they are.
[0004]
By the way, a slider for a magnetic head cuts a wafer in which a large number of magnetic head elements are formed in a matrix shape in one direction to form a block called a bar including a plurality of magnetic head elements arranged in a row, After the rail portion is formed on the bar, the bar is cut and separated into the sliders. Here, in the slider disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 6-282831, the outer side surfaces of the two rail portions are the side surfaces of the slider as they are. However, when the slider is shaped as shown in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-282831, chipping (chipping) is caused in the rail portion by machining when the bar is cut to form the slider. There is a problem that it occurs.
[0005]
Therefore, as shown in FIG. 47, a slider in which the rail portion 213 is formed is generally arranged such that the side surface 214 of the rail portion 213 is disposed at a predetermined distance from the side surface 212 of the slider 211, that is, the cut portion of the bar. It has become. Hereinafter, such a slider is referred to as a two-stage slider.
[0006]
Even in such a two-stage slider, the edge portion of the rail portion is chamfered. As a conventional chamfering method for the edge portion of the rail portion, for example, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 6-12645, there is a method of sliding a slider on a diamond wrapping sheet provided on an elastic body. FIG. 48 is an explanatory diagram for explaining the outline of this conventional chamfering method. In this conventional chamfering process, a plurality of sliders 211 are fixed to a jig 215, and a diamond wrapping sheet 217 provided on a plate-like elastic member 216 made of, for example, silicone rubber is denoted by reference numerals in the figure. The edge portion 219 of the rail portion 213 is chamfered by sliding in two horizontal directions while pressing in the direction indicated by the arrow 218.
[0007]
FIG. 49 is an enlarged view of the vicinity of the edge portion 219 (C portion in FIG. 48) of the rail portion 213 after chamfering is performed by the method shown in FIG.
[0008]
As another conventional chamfering method, as shown in JP-A-2-301014, the polishing tape is reciprocated while being guided by a guide, and the polishing tape is slid with respect to the rail portion of the slider. There is a way.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
In recent years, it has been desired to reduce the flying height of the slider in order to improve the recording density. In addition, there is a demand for improving the flying stability of the slider in order to increase the access speed. In order to satisfy these demands, a negative pressure slider has recently been used. Generally, in a negative pressure slider, a recess for generating a negative pressure is formed between two rail portions. In such a negative pressure slider, the surface on the recording medium side has a fine shape, and in particular, the height of the rail portion is significantly smaller than that of a conventional slider.
[0010]
In such a negative pressure slider, since the height of the rail portion is small, as shown in FIG. 50, when the slider 221 is inclined, the side surface 222 of the slider 221 and the recording medium side of the slider 221 orthogonal to the side surface 222 are provided. Therefore, there is a problem that an edge portion (hereinafter referred to as an edge portion of a slider) 224 between the surface 223 and the surface 223 may come into contact with the recording medium 225 and damage the recording medium 225. In particular, in a hard disk device used for a portable device such as a notebook personal computer, the above-described problem becomes significant because the slider is easily tilted.
[0011]
Therefore, for example, in Japanese Patent Application No. 10-104235, the present applicant has proposed a technique for performing chamfering by deforming a diamond wrapping sheet with a wire and simultaneously polishing a plurality of edge portions having steps in the slider. Yes. In this case, if the tension of the wire is unstable, the machining accuracy is lowered. Therefore, in order to improve the machining accuracy, it is necessary to stabilize the tension of the wire.
[0012]
The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to simultaneously grind a plurality of edge portions having steps in a slider to perform chamfering and to improve machining accuracy. It is an object of the present invention to provide a slider processing apparatus and a slider processing auxiliary tool which can be made.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
A slider processing apparatus according to the present invention is a slider processing apparatus that polishes an edge portion of a slider having a medium facing surface and chamfers the edge portion, and includes a slider holder for holding the slider, A polishing member having flexibility for polishing an edge portion of the slider held by the slider holder, and an auxiliary tool disposed at a position facing the slider held by the slider holder with the polishing member interposed therebetween. Polished by the wire so that a plurality of edge portions having steps on the slider are simultaneously polished by the polishing member having a main body and a wire wound around the outer peripheral portion of the auxiliary tool main body and deforming the polishing member So that the edge portion of the slider is polished by the auxiliary tool for slider processing that deforms the member and the polishing member, It is obtained by a moving means for relatively moving a slider which is held and the polishing member by the rider retainer.
[0014]
In this slider processing apparatus, the polishing member is deformed by the wire of the slider processing auxiliary tool, and the polishing member simultaneously polishes a plurality of edge portions having steps in the slider. Since the wire is wound around the outer peripheral portion of the auxiliary tool body, the tension is stable.
[0015]
In the slider processing apparatus of the present invention, for example, the slider processing auxiliary tool includes an elastic member disposed below a portion of the wire located on the upper surface portion of the slider processing auxiliary tool.
[0016]
In the slider processing apparatus of the present invention, for example, the slider processing aid has a convex portion disposed below a portion of the wire located on the upper surface portion of the slider processing aid.
[0017]
An auxiliary tool for slider processing according to the present invention includes a slider holder for holding a slider having a medium facing surface, and a flexible polishing member for polishing an edge portion of the slider held by the slider holder. And a moving means for relatively moving the slider held by the slider holder and the polishing member so that the edge portion of the slider is polished by the polishing member. Auxiliary tool body that is used in a slider processing apparatus that performs chamfering processing and is disposed at a position facing the slider held by the slider holder across the polishing member, and wound around the outer periphery of the auxiliary tool body The polishing member so that a plurality of edge portions having steps in the slider are polished simultaneously by the polishing member. It is obtained by a wire in order to form.
[0018]
In this slider processing aid, the wire deforms the polishing member. The deformed polishing member simultaneously polishes a plurality of edge portions having steps in the slider. Since the wire is wound around the outer peripheral portion of the auxiliary tool body, the tension is stable.
[0019]
In addition, the slider processing aid of the present invention further includes, for example, an elastic member disposed below a portion of the wire located on the upper surface portion of the slider processing aid.
[0020]
In addition, the slider processing aid of the present invention further includes, for example, a convex portion disposed below a portion of the wire located on the upper surface portion of the slider processing aid.
[0021]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view of a slider processing apparatus according to an embodiment of the present invention, partly cut away, and FIG. 2 is a right side view of FIG. 3 is an enlarged front view showing the vicinity of the XY table in the processing apparatus shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a right side view of FIG. The processing apparatus 10 according to the present embodiment is an apparatus that chamfers the edge portion by polishing the edge portion of the slider. In this embodiment, an example of a slider used for a thin film magnetic head is given as the slider.
[0022]
The processing apparatus 10 includes an apparatus main body 11. An operation panel 23 is provided at the front end of the apparatus main body 11. A base portion 12 is provided on the apparatus main body 11. On the base portion 12, an XY table 13 is provided that can move the upper surface in the X direction (left and right direction indicated by arrows in FIG. 1) and Y direction (left and right direction indicated by arrows in FIG. 2). The XY table 13 corresponds to the moving means in the present invention.
[0023]
The XY table 13 is fixed to the base plate 12, a fixed plate 14, a Y-direction swing plate 15 provided on the fixed plate 14, and the Y-direction swing plate 15. A plate 16, an X-direction swing plate 17 provided on the plate 16, and a plate 18 fixed on the X-direction swing plate 17 are provided.
[0024]
As shown in FIG. 3, guides 19 having bearings are provided at both ends in the X direction on the upper surface of the fixed plate 14 and extend in the Y direction. Engaging portions 20 that extend in the Y direction and are movably engaged with guides 19 provided on the fixed plate 14 are provided at both ends in the X direction on the lower surface of the Y direction swinging plate 15. Then, when the engaging portion 20 moves along the guide 19 on the fixed plate 14, the Y-direction swinging plate 15 moves in the Y direction.
[0025]
Further, as shown in FIG. 4, guides 21 having bearings are provided at both ends in the Y direction on the upper surface of the plate 16, extending in the X direction. Engaging portions 22 that extend in the X direction and engage with guides 21 provided on the plate 16 are provided at both ends in the Y direction on the lower surface of the X direction swing plate 17. The engaging portion 22 moves along the guide 21 on the plate 16 so that the X-direction swing plate 17 moves in the X direction.
[0026]
A plurality of wire winding blocks 30 are fixed on the plate 18. The wire winding block 30 corresponds to the auxiliary tool for slider processing in the present invention. The configuration of the wire winding block 30 will be described in detail later.
[0027]
As shown in FIG. 3, a Y-direction swinging motor 40 is provided in the apparatus main body 11. In the apparatus main body 11, a disc 42 is attached to the rotation shaft 41 of the Y-direction swinging motor 40. A swing origin sensor 43 is provided in the apparatus main body 11 so as to sandwich the disk 42. For example, a hole is provided in a predetermined location in the circular plate 42, and a transmission type photosensor incorporating an amplifier is used as the swing origin sensor 43. In this case, the swing origin sensor 43 detects the position of the hole in the disc 42 and detects the origin of the swing in the Y direction.
[0028]
Further, at a position above the upper surface of the base portion 12, a Y-direction swinging rotation shaft 45 is connected to an upper end portion of the rotation shaft 41 of the Y-direction swinging motor 40 via a Y-direction swinging width adjusting member 44. Has been. The Y-direction swinging width adjusting member 44 can shift the rotation shaft 41 of the Y-direction swinging motor 40 and the Y-direction swinging rotating shaft 45 and can adjust the shift amount. . A cam 46 having a bearing is attached to the upper end of the Y-direction swinging rotary shaft 45. On the upper surface of the Y-direction swinging plate 15, a guide 47 is provided that extends in the X direction and guides the cam 46. When the rotation shaft 41 of the Y-direction swinging motor 40 and the rotation shaft 45 for Y-direction swinging are misaligned, when the Y-direction swinging motor 41 is rotated, the cam 46 is rotated. , The guide 47, the plate 16 and the Y-direction swing plate 15 swing in the Y direction. The base portion 12, the fixed plate 14, the Y-direction swing plate 15 and the plate 16 are formed with holes through which the Y-direction swing rotation shaft 45 is inserted.
[0029]
An X-direction swinging motor 50 is provided in the apparatus main body 11. In the apparatus main body 11, a disc 52 is attached to the rotating shaft 51 of the X-direction swinging motor 50. A swing origin sensor 53 is provided in the apparatus main body 11 so as to sandwich the disc 52. For example, the circular plate 52 is provided with a hole at a predetermined location, and the oscillation origin sensor 53 is a transmission type photosensor incorporating an amplifier. In this case, the rocking origin sensor 53 detects the position of the hole in the disc 52 and detects the rocking origin in the X direction.
[0030]
In the present embodiment, at the start of processing, the swing origin sensors 43 and 53 detect the swing origins in the Y and X directions, and the position of the XY table 13 is returned to the swing origin. Thus, the position of the XY table 13 at the start of the machining process is always kept constant. Thereby, the dispersion | variation in a processing result can be eliminated.
[0031]
In addition, at a position above the upper surface of the base portion 12, an X-direction swinging rotation shaft 55 is connected to an upper end portion of the rotation shaft 51 of the X-direction swinging motor 50 via an X-direction swinging width adjusting member 54. Has been. The X-direction swinging width adjusting member 54 can shift the rotation shaft 51 of the X-direction swinging motor 50 and the X-direction swinging rotation shaft 55 and can adjust the shift amount. . A cam 56 having a bearing is attached to an upper end portion of the X-direction swinging rotary shaft 55. A guide 57 for guiding the cam 56 is provided on the lower surface of the X-direction swinging plate 17 so as to extend in the Y direction. When the rotation shaft 51 of the Y-direction swinging motor 50 and the X-direction swinging rotational shaft 55 are deviated from each other, when the X-direction swinging motor 50 is rotated, the cam 56 is rotated. , The guide 57, the X-direction swing plate 17 and the plate 18 swing in the X direction. The base portion 12, the fixed plate 14, the Y-direction swing plate 15 and the plate 16 are formed with holes through which the X-direction swing rotation shaft 55 is inserted.
[0032]
Here, with reference to FIG. 5 thru | or FIG. 8, the structure and effect | action of the Y direction rocking | fluctuation width adjustment member 44 are demonstrated. 5 is a front view of the Y-direction swinging width adjusting member 44 when the amount of deviation between the rotation shaft 41 of the Y-direction swinging motor 40 and the Y-direction swinging rotating shaft 45 is zero, and FIG. It is a side view. 7 is a front view of the Y-direction swing width adjusting member 44 when the amount of deviation between the rotation shaft 41 of the Y-direction swing motor 40 and the Y-direction swing rotation shaft 45 is a predetermined size larger than zero. 8 and 8 are side views of FIG.
[0033]
The Y-direction swinging width adjusting member 44 is fixed to the upper end portion of the rotating shaft 41 of the Y-direction swinging motor 40, and has a fixing portion 61 having a groove extending in one direction, and is movable in the groove of the fixing portion 61. A movable portion 62 housed and fixed to the lower end portion of the Y-direction swinging rotation shaft 45, and a drive screw 63 attached to the side portion of the fixed portion 61 for moving the movable portion 62 relative to the fixed portion 61. And a fixing screw 64 that is attached to the other side portion of the fixing portion 61 and fixes the movable portion 62 to the fixing portion 61.
[0034]
In this Y-direction swinging width adjusting member 44, the movable portion 62 can be moved relative to the fixed portion 61 by turning the driving screw 63, and by tightening the fixing screw 64, the Y-direction swinging width adjusting member 44 can be moved. Thus, the movable part 62 can be fixed.
[0035]
In the Y direction swing width adjusting member 44, as shown in FIGS. 5 and 6, when the deviation amount between the rotation shaft 41 of the Y direction swing motor 40 and the rotation shaft 45 for Y direction swing is zero, Even if the Y-direction swinging motor 40 is driven, the Y-direction swinging rotating shaft 45 only rotates and its position does not change. Therefore, the swinging width of the Y-direction swinging plate 15 is zero.
[0036]
Further, in the Y direction swinging width adjusting member 44, as shown in FIGS. 7 and 8, the deviation amount between the rotating shaft 41 of the Y direction swinging motor 40 and the rotating shaft 45 for Y direction swinging is a predetermined value larger than zero. When the Y-direction swinging motor 40 is driven, the Y-direction swinging rotating shaft 45 rotates in an eccentric state with respect to the rotating shaft 41. As a result, the Y-direction swinging plate 15 is rotated. Swings. In this case, the swinging width of the Y-direction swinging plate 15 is twice the amount of deviation between the rotating shaft 41 and the Y-direction swinging rotating shaft 45.
[0037]
The configuration and action of the X direction swing width adjusting member 54 are the same as those of the Y direction swing width adjusting member 44.
[0038]
In the present embodiment, the rotational speed of the Y-direction swing motor 40 is controlled within a range of 0 to 40 rpm, and the rotational speed of the X-direction swing motor 50 is controlled within a range of 0 to 30 rpm. It has become.
[0039]
In the present embodiment, the swing width of the Y-direction swing plate 15 is controlled within a range of 0 to 15 mm, and the swing width of the X-direction swing plate 17 is controlled within a range of 0 to 30 mm. It has come to be.
[0040]
As shown in FIG. 1, two rail portions 29 extending in the Y direction are fixed on the base portion 12 at positions on both sides in the left-right direction of the XY table 13. Each rail portion 29 is provided with a guide 71 extending in the Y direction.
[0041]
On the other hand, a slider holding jig set plate 70 is provided above the XY table 13. The slider holding jig set plate 70 is for positioning the slider holding jig 80 that holds the slider. The slider holding jig 80 corresponds to the slider holder in the present invention. Engaging portions 72 that engage with the guides 71 are joined to the lower surface of the slider holding jig set plate 70 in the vicinity of both ends in the X direction. Then, when the engaging portion 72 moves along the guide 71, the slider holding jig set plate 70 moves in the Y direction. The slider holding jig set plate 70 is disposed at a position above the XY table 13 in a state where it is disposed at the foremost side. By moving from this state to the rear side, a position above the XY table 13 is disposed. Evacuates from.
[0042]
FIG. 9 shows how the slider holding jig set plate 70 moves. When the slider holding jig set plate 70 is disposed at the rearmost side (right side in the figure), the rear side of the slider holding jig set plate 70 is located at a position corresponding to the rear end of the slider holding jig set plate 70. A stopper 75 for restricting the movement to is provided.
[0043]
FIG. 10 is an explanatory diagram showing a sensor for detecting the presence or absence of the slider holding jig set plate 70 at a position above the XY table 13. As shown in this figure, a sensor operating piece 73 is provided at the front end of the holding jig set plate 70. By detecting the sensor operating piece 73 at a position corresponding to the front end portion of the slider holding jig set plate 70 with the slider holding jig set plate 70 disposed on the most front side, the upper side of the XY table 13 is detected. A slider holding jig set plate detection sensor 74 for detecting the presence or absence of the slider holding jig set plate 70 at the position is provided. As this sensor 74, for example, a transmissive photosensor with a built-in amplifier is used.
[0044]
In the present embodiment, the slider holding jig set plate detection sensor 74 detects that the slider holding jig set plate 70 has been retracted from the position above the XY table 13, and then the XY table 13. The processing cannot be performed unless it is detected that the slider holding jig set plate 70 is disposed at a position above the head. This is because the slider holding jig set plate 70 is once withdrawn from the position above the XY table 13 and the diamond wrapping sheet, which will be described later, is replaced each time one processing is completed. is there.
[0045]
Further, as shown in FIG. 1, on the slider holding jig set plate 70, a slider holding jig for detecting whether or not the slider holding jig 80 is mounted on the slider holding jig set plate 70. A tool detection sensor 75 is provided. As the sensor 75, for example, a photosensor in which a light emitting portion and a light receiving portion are arranged at positions facing each other with the slider holding jig 80 interposed therebetween is used.
[0046]
In the processing apparatus 10 according to the present embodiment, the slider holding jig detection sensor 75 confirms that there is no slider holding jig 80, and then returns the position of the XY table 13 to the oscillation origin. I have to.
[0047]
The processing apparatus 10 according to the present embodiment further includes a load adding unit 100 that applies a downward load to the slider held by the slider holding jig 80 and can adjust the magnitude of the applied load. ing. The configuration of the load applying unit 100 will be described in detail later.
[0048]
Next, the configuration of the wire winding block 30 will be described with reference to FIGS. 11 is a side view of the wire winding block 30, FIG. 12 is a front view of the wire winding block 30, FIG. 13 is a perspective view showing an elastic member used in the wire winding block 30, and FIG. 14 is a modification used in the wire winding block 30. It is a perspective view which shows the member for use.
[0049]
As shown in FIGS. 11 and 12, the wire winding block 30 includes a block body 31. The block body 31 is formed with a rectangular parallelepiped recess 31a that opens at the upper surface. A rectangular parallelepiped elastic member 32 as shown in FIG. 13 or a deforming member 33 as shown in FIG. 14 is accommodated in the recess 31a. The elastic member 32 is made of, for example, silicone rubber. When the elastic member 32 is housed in the recess 31 a, the upper surface of the elastic member 32 is flush with the upper surface of the block body 31. On the upper surface of the deformation member 33, a plurality of convex portions 33 a extending in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the deformation member 33 is formed. Each convex portion 33a has a rectangular cross section. The deformation member 33 is made of, for example, stainless steel. When the deformation member 33 is stored in the recess 31 a, the upper surface of the protrusion 33 a is flush with the upper surface of the block body 31.
[0050]
A wire 34 is wound around the outer periphery of the block main body 31 in which the elastic member 32 or the deformation member 33 is accommodated in the recess 31a. Each end of the wire 34 is fixed to the block main body 31 by a wire set screw 35 in the vicinity of both ends in the longitudinal direction of the block main body 31. When the deformation member 33 is housed in the recess 31 a, the portion of the wire 34 that is positioned on the upper surface portion of the wire winding block 30 is disposed on the protrusion 33 a of the deformation member 33. It has become so.
[0051]
In the vicinity of both end portions in the longitudinal direction of the block main body 31, holes 36 for passing set screws are formed. As shown in FIGS. 3 and 4, the wire winding block 30 is fixed on the plate 18 by a set screw 37 through which a set screw hole 36 is passed.
[0052]
FIG. 15 is a perspective view showing the wire winding block 30 and the rubber sheet and diamond wrapping sheet disposed thereon. In this figure, the wire winding block 30 is shown in which the deformation member 33 is accommodated in the recess 31a of the block body 31, but the elastic member 32 may be accommodated in the recess 31a. A rubber sheet 38 is disposed on the wire winding block 30, and a diamond wrapping sheet 39 is disposed on the rubber sheet 38. The rubber sheet 38 is made of, for example, silicone rubber. The diamond wrapping sheet 39 corresponds to the polishing member in the present invention.
[0053]
In the processing apparatus 10 according to the present embodiment, a plate 90 as shown in FIG. 16 is used instead of the wire winding block 30 depending on the purpose. The plate 90 is made of, for example, stainless steel. When the plate 90 is used, the plate 90 is fixed on the plate 18, and a rubber sheet 38 is disposed on the plate 90, and the diamond wrapping sheet 39 as shown in FIG. Is placed.
[0054]
Here, with reference to FIG. 17 thru | or FIG. 19, an example of the method of arrange | positioning the rubber sheet 38 and the diamond wrapping sheet 39 on the wire winding block 30 is demonstrated. As shown in FIG. 17, a plurality of wire winding blocks 30 are fixed on the plate 18. The rubber sheet 38 is disposed so as to cover all the wire winding blocks 30. In the example shown in FIG. 17, when the diamond wrapping sheet 39 is disposed on the rubber sheet 38, first, the diamond wrapping sheet 39 is placed on the mount 91. At this time, the end of the diamond wrapping sheet 39 protrudes slightly from the end of the mount 91. Next, the portion of the diamond wrapping sheet 39 that protrudes from the end of the mount 91 is applied to the end portion of the region where the diamond wrapping sheet 39 is disposed on the rubber sheet 38, and that portion is pressed by hand, While pulling in the direction indicated by 92, the diamond wrapping sheet 39 is stretched on the rubber sheet 38.
[0055]
FIG. 18 is a plan view showing a state after the diamond wrapping sheet 39 is stretched on the rubber sheet 38 in this way, and FIG. 19 is a front view thereof. As shown in FIG. 18, in the processing apparatus 10 according to the present embodiment, there are five wire winding blocks 30 in the X direction (left and right directions indicated by arrows in FIG. 18) and Y direction (indicated by arrows in FIG. 18). Two are arranged in the vertical direction), and a total of ten are provided. Further, the wire 34 is disposed along the X direction.
[0056]
Next, the slider holding jig set plate 70 will be described with reference to FIGS. In the processing apparatus 10 according to the present embodiment, two types of slider holding jig set plates 70 are prepared. Hereinafter, the first type slider holding jig set plate is represented by reference numeral 70A, and the second type slider holding jig set plate is represented by reference numeral 70B. Reference numeral 70 represents two types of slider holding jig set plates 70A and 70B.
[0057]
20 is a plan view of the first type of slider holding jig set plate 70A, and FIG. 21 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. As shown in these drawings, the slider holding jig set plate 70A has ten holes 76A through which the slider holding jig 80 is inserted. The ten holes 76A are arranged to have the same positional relationship as the ten wire winding blocks 30 in FIG. Further, as shown in FIG. 21, the hole 76A is inclined at a predetermined angle with respect to the vertical direction. As a result, the hole 76A positions the slider holding jig 80 so that the slider comes into contact with the diamond wrapping sheet 39 with the medium facing surface of the slider inclined with respect to the polishing surface of the diamond wrapping sheet 39. It has become.
[0058]
FIG. 22 is a plan view of the second type slider holding jig set plate 70B, and FIG. 23 is a cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIG. As shown in these drawings, the slider holding jig set plate 70B has ten holes 76B through which the slider holding jig 80 is inserted. The ten holes 76B are arranged to have the same positional relationship as the ten wire winding blocks 30 in FIG. Further, the hole 76B extends in the vertical direction as shown in FIG. Thereby, the hole 76B is positioned so that the slider holding jig 80 is positioned so that the slider comes into contact with the diamond wrapping sheet 39 with the medium facing surface of the slider parallel to the polished surface of the diamond wrapping sheet 39. It has become.
[0059]
Each of the slider holding jig set plates 70A and 70B has a plurality of screw holes 77 through which screws for fixing the plates 70A and 70B are inserted into the engaging portions 72 shown in FIGS. Yes. Each of the slider holding jig set plates 70A and 70B is formed with a screw hole 78 through which a screw for attaching the slider holding jig detection sensor 75 is inserted.
[0060]
Next, an example of a slider processed by the processing apparatus 10 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. The slider 150 shown in this figure is used for a thin film magnetic head, and has a rail portion whose surface is a medium facing surface (air bearing surface) and outside the rail portion inside the side surface of the slider 150. The rail portion is formed such that the side surfaces of the rail are arranged.
[0061]
Further, the slider 150 is a negative pressure slider, and has two rail portions 153 whose surfaces are medium facing surfaces, and the rail portion 153 is located inward by a predetermined distance from the side surface 152 of the slider 150, that is, the bar cutting portion. The rail portion 153 is formed so that the outer side surface 154 of the rail is arranged.
[0062]
In FIG. 24, the direction in which air flows during operation is indicated by reference numeral 166. In the slider 150, an air inflow side surface that is an air inflow side is referred to as an inflow side end surface LE, and an air outflow side surface that is an air outflow side is referred to as TR. On the other hand, it is formed in a direction along the air flow, and a side that intersects the inflow side end surface LE, the outflow side end surface TR, and the medium facing surface is defined as a side surface. However, the inflow side end surface LE, the outflow side end surface TR, the medium facing surface, and the side surface are often orthogonal to each other. 24, the outer side surface 154 of the rail portion 153 is the two side surfaces closest to the side surface 152 of the slider among the side surfaces of the rail portion 153.
[0063]
Between the two rail portions 153, a negative pressure generating portion 155 having a concave shape is formed. The width of the rail portion 153 is not uniform from the air inflow side to the air outflow side, the width of the air inflow side is large, the width of the air outflow side is then large, and the width of the intermediate portion is the smallest. Further, a tapered portion 160 having a height that decreases toward the end portion is formed in the vicinity of the end portion on the air inflow side of the rail portion 153. A magnetic head element 157 and a terminal 158 connected to the magnetic head element 157 are formed at the end of the slider 150 on the air outflow side. In such a slider 150, the height of the rail portion 153 (depth of the negative pressure generating portion 155) is about several μm (for example, 0.5 to 5 μm). The width between the side surface 152 of the slider 150 and the outer side surface 154 of the rail portion 153 is about several tens of μm (for example, 10 to 60 μm).
[0064]
The slider 150 shown in FIG. 24 is mostly formed of AlTiC (Al ₂ O ₃ .TiC), for example, and a part on the air outflow side indicated by reference numeral 150b is a magnetic head. It is made of alumina (Al ₂ O ₃ ) surrounding the element 157 and the terminal 158.
[0065]
Next, the relationship between the wire winding block 30 and the slider 150 will be described with reference to FIGS. 25 and 26. FIG. 25 is an explanatory diagram showing the vicinity of the slider 150 during processing. FIG. 26 is an enlarged view of part C in FIG. FIG. 25 shows an example in which the wire winding block 30 is one in which the deformation member 33 is housed in the recess 31a of the block main body 31, and FIG. Only the deformation member 33 and the wire 34 are shown.
[0066]
As shown in FIG. 25, the slider holding jig 80 is provided with a plurality of slider fixing portions 80a on the lower end side, and for each slider fixing portion 80a, a slider 150 to be processed is provided. For example, it is fixed by bonding.
[0067]
The wires 34 arranged on the convex portions 33 a of the deformation member 33 are arranged at positions corresponding to the separation positions of the individual sliders 150. In other words, as shown in FIG. 26, the separation positions of the individual sliders 150 are defined between the medium facing surface of the rail portion 153 of the slider 150 fixed to the slider holding jig 80 and the side surface 154 outside the rail portion 153. The position corresponds to the second edge portion 162 between the first edge portion 161 and the side surface 152 of the slider 150 and the surface 159 on the recording medium (magnetic disk) side of the slider 150 orthogonal thereto. Therefore, in the rubber sheet 38 and the diamond wrapping sheet 39 arranged on the wire 34, the first edge portion 161 and the second edge portion 162 are portions corresponding to the first edge portion 161 and the second edge portion 162. It is deformed so as to protrude to the side. As a result, the diamond wrapping sheet 39 comes into contact with at least the first edge portion 161 and the second edge portion 162.
[0068]
The above-described operation is the same when the elastic member 32 is accommodated in the recess 31 a of the block body 31. However, when the deformation member 33 is accommodated in the recess 31a of the block body 31, the movement of the wire 34 is facilitated as compared to the case where the elastic member 32 is accommodated in the recess 31a. Therefore, when the deformation member 33 is used as a member stored in the recess 31a, even when the fixing position of the slider 150 with respect to the slider holding jig 80 is slightly shifted, the rubber sheet 38 raised by the wire 34 and When the diamond wrapping sheet 39 enters the separation position of each slider 150, the wire 34 moves to a position corresponding to the separation position. As a result, the diamond wrapping sheet 39 uniformly hits two adjacent sliders 150, and the chamfering of the slider 150 can be performed uniformly.
[0069]
Incidentally, a magnetic head element 157 is formed at the end of the slider 150 on the air outflow side. Therefore, it is preferable to suppress the degree of processing of the edge portion at the end of the slider 150 on the air outflow side even if chamfering is performed.
[0070]
When the deformation member 33 is used as a member housed in the concave portion 31 a of the block body 31, the wire 34 is disposed on the convex portion 33 a of the deformation member 33, and the rubber sheet 38 and the diamond wrapping are disposed on the wire 34. Since the sheet 39 is disposed, a large gap is generated between the upper surface of the deformation member 33 and the rubber sheet 38 at a portion between the adjacent convex portions 33a. As a result, in the portion between the adjacent convex portions 33a, the way the diamond wrapping sheet 39 hits the slider 150 becomes loose. Therefore, it is possible to suppress the degree of chamfering of the edge portion at the end of the slider 150 on the air outflow side.
[0071]
The width and height of the convex portion 33a of the deformation member 33 are appropriately set according to the distance d between adjacent sliders 150 fixed to the slider holding jig 80 (hereinafter referred to as separation width) d and the like. However, the width of the convex portion 33a is preferably set within a range of 0.05 to 0.20 mm, and the height of the convex portion 33a is preferably set within a range of 0.10 to 0.50 mm. . Here, as an example, the separation width d is 0.2 mm, the width of the convex portion 33 a is 0.15 mm, and the height is 0.40 mm.
[0072]
The wire 34 is formed of, for example, synthetic fibers such as nylon (trade name), stainless steel, or the like. The outer diameter of the wire 34 is appropriately set according to the separation width d and the like, but in the present embodiment, it is preferably set within a range of 0.03 to 0.20 mm. Here, as an example, the outer diameter of the wire 34 is 0.09 mm.
[0073]
The hardness of the rubber sheet 38 is preferably 30 to 60, but it is preferable to use a softer one as the polishing amount is increased. Here, as an example, the hardness of the rubber sheet 38 is 50. The thickness of the rubber sheet 38 is preferably 0.10 to 0.30 mm. Here, as an example, the thickness of the rubber sheet 38 is 0.30 mm.
[0074]
The diamond wrapping sheet 39 is configured, for example, by forming an abrasive layer on a flexible film. The flexible film is made of, for example, polyethylene terephthalate (PET). The abrasive layer is formed, for example, by applying diamond particles together with a binder on a flexible film and then drying. Here, as an example, the particle diameter of the diamond particles is 0.25 μm. The thickness of the flexible film is preferably 0 to 6 μm. The case where the thickness of the flexible film is 0 μm is a case where the diamond wrapping sheet 39 is formed by diamond particles and a binder without using the flexible film. Here, as an example, the thickness of the flexible film is 4 μm or 2 μm.
[0075]
Further, the swing width in the Y direction by the XY table 13 is preferably larger than the swing width in the X direction. As described above, when the separation width d is 0.2 mm and the outer diameter of the wire 34 is 0.09 mm, the swing width in the X direction is preferably 1 to 5 mm, and the swing width in the Y direction is 0. 05-0.15 mm is preferable. Here, as an example, the rocking width in the X direction is 3 mm, and the rocking width in the Y direction is 0.08 mm.
[0076]
By the way, in the processing apparatus 10 according to the present embodiment, a plurality of wire winding blocks 30 are provided on the plate 18. On the other hand, one large elastic member or deformation member is fixed on the plate 18, a wire is arranged on the elastic member or deformation member, and both ends thereof are fixed to the end portions of the plate 18. It is also possible. However, with such a configuration, the tension of the wire becomes unstable, and the processing accuracy may be reduced.
[0077]
On the other hand, in the present embodiment, in each wire winding block 30, the length of the portion of the wire 34 located on the upper surface portion of the block 30 is short. The tension of is stable. Therefore, according to the present embodiment, machining accuracy can be improved.
[0078]
Next, the configuration of the load applying unit 100 will be described with reference to FIGS. 27 and 28. FIG. 27 is a cross-sectional view of the load application unit 100 as viewed from the front side, and FIG. 28 is a cross-sectional view of the load application unit 100 as viewed from the side surface side. As shown in these drawings, the load adding unit 100 includes a first-stage weight holding plate 110, two frames 111 that are fixed on the weight holding plate 110, and include only side walls, and each frame 111. Two weight holding plates 120 fixed on the top, two frames 121 made of only side walls, fixed on each weight holding plate 120, and 3 fixed on each frame 121 Two weight holding plates 130 at the stage and two covers 131 having a side surface and an upper surface fixed on each weight holding plate 130 are provided. The frame 111, the weight holding plate 120, the frame 121, the weight holding plate 130, and the cover 131 provided in two are arranged in the front-rear direction.
[0079]
The weight holding plate 110 is formed with ten holes 112 having a rectangular cross section. The holes 112 are arranged to have the same positional relationship as the ten holes 76 in the slider holding jig set plate 70 shown in FIG. In the weight holding plates 120 and 130, holes 122 and 132 having the same shape as the hole 112 are formed at positions corresponding to the holes 112 in the weight holding plate 110, respectively. A weight holder 140 is attached to each of the holes 112, 122, 132. Each weight holder 140 is formed with three holes 141 having a circular cross section extending in the vertical direction.
[0080]
Three weights 113 are mounted on each weight holder 140 in the first stage. The weight 113 includes an elongated cylindrical shaft member 114 and a columnar large-diameter member 115 having a diameter larger than that of the shaft member 114 and fixed to the upper end portion side of the shaft member 114. The lower end surface of the shaft member 114 is spherical. The large-diameter member 115 is formed with a recess having a circular cross section that opens at the lower end surface, and the upper end side of the shaft member 114 is inserted into the recess. The large diameter member 115 is screwed to the shaft member 114. Thus, the weight 113 including the shaft member 114 and the large diameter member 115 is a block having a predetermined weight. The weight of this block may be arbitrary. That is, what is necessary is just to change suitably according to a use application. In this embodiment, for example, it is 25 g. In the first-stage weight 113, a portion of the shaft member 114 that protrudes below the lower end surface of the large-diameter member 115 is a shaft portion 113a, and a portion above the shaft portion 113a is a large-diameter portion 113b. Accordingly, the weight holder 140 is configured to hold the weight 113 by inserting the shaft portion 113a of the weight 113 and preventing the passage of the large diameter portion 113b.
[0081]
Three weights 123 are attached to each weight holder 140 in the second stage. The weight 123 includes an elongated cylindrical shaft member 124, a flange member 125 screwed in the middle of the shaft member 124, and one or more attached to a portion of the shaft member 124 above the flange member 125. And a load adjusting block 126. The lower end surface of the shaft member 124 has a spherical shape. The outer diameter of the flange member 125 is larger than the outer diameter of the shaft member 124. Further, the outer diameter of the load adjusting block 126 is equal to the outer diameter of the flange member 125. Each of the load adjusting blocks 126 is formed with a hole through which the shaft member 124 can be inserted. A plurality of load adjustment blocks 126 can be stacked on the flange member 125 by inserting the shaft member 124 through the hole. Here, up to four load adjustment blocks 126 can be stacked.
[0082]
In the second-stage weight 123, a combination of the shaft member 124 and the flange member 125 becomes a block having a predetermined weight, and the weight is, for example, 25 g. Each load adjustment block 126 is also a block having a predetermined weight, and the weight is, for example, 25 g. Therefore, by changing the number of the load adjusting blocks 126, the weight of the entire weight 123 can be changed in units of 25 g in the range of 25 g to 125 g.
[0083]
In the second-stage weight 123, the load adjustment block 126 arranged at the uppermost position is at a fixed position with respect to the shaft member 124, that is, four load adjustments, regardless of the number of the load adjustment blocks 126. When the blocks 126 are stacked, they are screwed at the position of the uppermost block 126. This is because the third-stage weight 133 needs to be pushed up by the load adjustment block 126 arranged at the top.
[0084]
In the second-stage weight 123, a portion of the shaft member 124 that protrudes below the lower end surface of the flange member 125 is a shaft portion 123a, and a portion above the shaft portion 123a is a large-diameter portion 123b. Therefore, the weight holder 140 holds the weight 123 by inserting the shaft portion 123a of the weight 123 and preventing the passage of the large diameter portion 123b.
[0085]
Three weights 133 are attached to each weight holder 140 in the third stage. The weight 133 includes an elongated cylindrical shaft member 134, a flange member 135 screwed in the middle of the shaft member 134, and one or more attached to a portion of the shaft member 134 above the flange member 135. It is comprised with the block 136 for load adjustment. The lower end surface of the shaft member 134 has a spherical shape. The outer diameter of the flange member 135 is larger than the outer diameter of the shaft member 134. The outer diameter of the load adjusting block 136 is equal to the outer diameter of the flange member 135. Each of the load adjusting blocks 136 is formed with a hole through which the shaft member 134 can be inserted. A plurality of load adjustment blocks 136 can be stacked on the flange member 135 by inserting the shaft member 134 into the hole. Here, up to four load adjustment blocks 136 can be stacked.
[0086]
In the third-stage weight 133, a combination of the shaft member 134 and the flange member 135 forms a block having a predetermined weight, and the weight is, for example, 25 g. Each of the load adjusting blocks 136 is also a block having a predetermined weight, and the weight is, for example, 25 g. Therefore, by changing the number of the load adjusting blocks 136, the weight of the entire weight 133 can be changed in the unit of 25g in the range of 25g to 125g.
[0087]
In the third-stage weight 133, it is not necessary to screw the load adjusting block 136 disposed at the uppermost position with respect to the shaft member 134 at a fixed position.
[0088]
In the third-stage weight 133, a portion of the shaft member 134 that protrudes downward from the lower end surface of the flange member 135 is a shaft portion 133a, and a portion above the shaft portion 133a is a large-diameter portion 133b. Therefore, the weight holder 140 is configured to hold the weight 133 by inserting the shaft portion 133a of the weight 133 and preventing the passage of the large diameter portion 133b.
[0089]
A spiral groove 138 is formed in the shaft portions 113a, 123a, 133a of the weights 113, 123, 133. The groove 138 has a function of taking in shavings (powder) generated by rubbing the shaft portions 113a, 123a, 133a and the holes of the weight holder 140, and maintaining the smooth operation of the shaft portions 113a, 123a, 133a. Have.
[0090]
Note that, as shown in FIG. 29, the same effect can be obtained even if the spiral groove 139 is formed in the hole of the weight holder 140. In order to obtain this effect, at least one of the groove 138 and the groove 139 may be provided.
[0091]
As shown in FIG. 1, a guide 101 extending in the Y direction is provided on the rail portion 29 provided on the base portion 12. A Y-direction movable unit 103 is provided on the guide 101. The movable portion 103 is provided with an engaging portion 102 that engages with the guide 101. Then, when the engaging portion 102 moves along the guide 101, the movable portion 103 moves in the Y direction. Further, the movable portion 103 is provided with a guide 104 extending in the vertical direction.
[0092]
On the other hand, both ends in the left-right direction of the weight holding plate 110 are connected to the up-down direction movable part 109. The movable portion 109 is provided with an engaging portion 105 that engages with the guide 104. Then, when the engaging portion 105 moves along the guide 104, the movable portion 109 moves in the vertical direction.
[0093]
The vertically movable portion 109 is driven in the vertical direction by the vertically driven cylinder 108. Further, the Y-direction movable portion 103 is driven in the Y direction by the Y-direction drive cylinder 107 shown in FIG.
[0094]
In this way, the load application unit 100 is movable in the Y direction and the vertical direction. FIG. 2 shows a state in which the load adding unit 100 is moved backward and retracted from the XY table 13, but when the load adding unit 100 is moved forward from this state, the load adding unit 100 is moved. 100 can be arranged on the XY table 13.
[0095]
Further, the load applying portion 100 moves downward from a state where the lower end portion of the shaft portion 113a of the weight 113 at the lowest stage is located above the slider holding jig 80 without contacting the slider holding jig 80. By doing so, the weights 113, 123, 133 arranged in a plurality of stages are in a state of applying a load to the slider holding jig 80 in order from the lower stage side. Hereinafter, this operation will be described with reference to FIGS.
[0096]
FIG. 30 shows the load application portion 100 in a state where the lower end portion of the shaft portion 113 a of the weight 113 at the lowest stage of the load application portion 100 is positioned above the slider holding jig 80. In this state, no load is applied to the slider holding jig 80 from the outside.
[0097]
In FIG. 31, the load applying portion 100 is moved downward from the state shown in FIG. 30, and the lower end portion of the shaft portion 113a of the weight 113 at the lowermost step abuts on the upper end portion of the slider holding jig 80. The weight 113 is lifted with respect to the weight holder 140 in FIG. In the state shown in FIG. 31, the upper end portion of the weight 113 is not in contact with the lower end portion of the shaft portion 123a of the weight 123 in the second stage. In this state, only the load due to the weight 113 at the lowermost stage is applied to the slider holding jig 80. Here, since a load is applied to one slider holding jig 80 by three weights 113, when one weight 113 is 25 g, one slider holding jig 80 has 75 g A load will be added.
[0098]
In FIG. 32, the load application unit 100 is further moved downward from the state shown in FIG. 31, and the upper end of the weight 113 at the lowest level contacts the lower end of the shaft 123 a of the weight 123 at the second level, A state in which the weight 123 is lifted with respect to the weight holder 140 in the second stage is shown. In the state shown in FIG. 32, the upper end portion of the weight 123 is not in contact with the lower end portion of the shaft portion 133a of the weight 133 in the third stage. In this state, a load is applied to the slider holding jig 80 by the weight 113 at the lowest level and the weight 123 at the second level. Here, since a load is applied to one slider holding jig 80 by three weights 113 and three weights 123, when one weight 113 is 25 g and one weight 123 is 125 g. A load of 450 g is applied to one slider holding jig 80.
[0099]
33, the load application unit 100 is further moved downward from the state shown in FIG. 32, and the upper end portion of the weight 123 in the second step abuts on the lower end portion of the shaft portion 133a of the weight 133 in the third step. A state in which the weight 133 is lifted with respect to the weight holder 140 in the third stage is shown. In this state, a load is applied to the slider holding jig 80 by the weight 113 at the lowest stage, the weight 123 at the second stage, and the weight 133 at the third stage. Here, a load is applied to one slider holding jig 80 by three weights 113, three weights 123, and three weights 133, so that 25g of one weight 113 and one weight 123 are provided. When 125 g and one weight 133 are set to 125 g, a load of 825 g is applied to one slider holding jig 80.
[0100]
In order to realize such a function of the load applying unit 100, the distance that the weight 113 in the lowermost stage can move in the vertical direction is the weight in a state where no load is applied to the slider holding jig 80 (the state shown in FIG. 30). The distance between the upper end of 113 and the lower end of the shaft 123a of the weight 123 is greater than the distance obtained by adding the distance between the upper end of the weight 123 and the lower end of the shaft 133a of the weight 133. is required.
[0101]
As described above, in this embodiment, the load applied to the slider holding jig 80 can be adjusted by stepwise applying the loads of the plurality of weights 113, 123, 133 to the slider holding jig 80. it can.
[0102]
Therefore, in this embodiment, for example, a small load is applied to the slider holding jig 80 when the edge portion of the rail portion of the slider 150 has not been chamfered or at the initial stage of chamfering. The edge portion is chamfered, and the load applied to the slider holding jig 80 can be increased as the chamfering progresses. Thereby, it is possible to prevent the thin diamond wrapping sheet 39 from being cut at the edge portion of the slider 150. The number of weights per stage for applying a load to one slider holding jig 80 is not limited to three, and may be two or four or more. In addition, the weights of the weights 113, 123, and 133 in the load applying unit 100 and the weights of the blocks that form the weights 113, 123, and 133 may be changed as appropriate.
[0103]
Although not shown, the processing apparatus 10 according to the present embodiment further includes a control unit that inputs signals corresponding to operations on the operation panel 23 and output signals of each sensor and controls each drive portion. .
[0104]
Next, the operation of the processing apparatus 10 according to the present embodiment will be described. The following description also serves as an explanation of the slider processing method according to the present embodiment.
[0105]
When processing the slider 150 using the processing apparatus 10, first, with respect to the slider holding jig 80, the plurality of sliders 150 to be processed are arranged so that the surface on the recording medium side is on the lower side. For example, it is fixed by adhesion. Note that the slider 150 at this point includes a plurality of magnetic head elements arranged in a row and a rail portion formed by ion milling or the like on the bar after the polishing of the surface that becomes the medium facing surface is completed. It was obtained by cutting the bar.
[0106]
In the present embodiment, the slider holding jig 80 to which the slider 150 is fixed is preferably subjected to three-stage chamfering as described below.
[0107]
FIG. 34 is an explanatory view showing the state of the first stage chamfering. In the first stage chamfering process, a plate 90 as shown in FIG. 16 is used instead of the wire winding block 30. A rubber sheet 38 is disposed on the plate 90, and a diamond wrapping sheet 39 is disposed on the rubber sheet 38. As the slider holding jig set plate 70, a plate 70A is used. In the first-stage chamfering process, as shown in FIG. 34, the slider 150 is moved to the diamond wrapping sheet 39 while the medium facing surface of the slider 150 is inclined with respect to the polishing surface of the diamond wrapping sheet 39 by the plate 70A. The slider holding jig 80 is positioned so as to come into contact.
[0108]
In the present embodiment, when the slider holding jig 80 is positioned by the plate 70A, the slider holding jig 80 is arranged such that the air inflow end side of the medium facing surface of the slider 150 is on the lower side. The slider 150 is fixed.
[0109]
The angle θ formed between the side surface of the slider holding jig 80 and the polished surface of the diamond wrapping sheet 39 is preferably 60 ° or more and smaller than 90 °, and particularly preferably 70 ° ± 2.5 °.
[0110]
Further, the lower end portion of the shaft portion 113a of the weight 113 at the lowest stage is in contact with the upper end portion of the slider holding jig 80. As described above, the load applied to the slider holding jig 80 can be adjusted. It is preferable to increase the load applied to the slider holding jig 80 stepwise as the chamfering progresses.
[0111]
In the first-stage chamfering process, the XY table 13 is swung in the state shown in FIG. 34, and only the edge on the air inflow end side of the slider 150 is chamfered.
[0112]
FIG. 35 is an explanatory diagram showing a state of chamfering at the second stage. In the second stage chamfering process, the wire winding block 30 in which the elastic member 32 is accommodated in the recess 31a of the block main body 31 is used. Accordingly, the wire 34 is disposed on the elastic member 32, the rubber sheet 38 is disposed on the wire 34, and the diamond wrapping sheet 39 is disposed on the rubber sheet 38. As the slider holding jig set plate 70, a plate 70A is used. In the second stage chamfering process, as shown in FIG. 35, the slider 150 is moved to the diamond wrapping sheet 39 while the medium facing surface of the slider 150 is inclined with respect to the polishing surface of the diamond wrapping sheet 39 by the plate 70A. The slider holding jig 80 is positioned so as to come into contact.
[0113]
The angle θ formed between the side surface of the slider holding jig 80 and the polished surface of the diamond wrapping sheet 39 is preferably 60 ° or more and smaller than 90 °, and particularly preferably around 70 °.
[0114]
Further, the lower end portion of the shaft portion 113a of the weight 113 at the lowest stage is in contact with the upper end portion of the slider holding jig 80. As described above, the load applied to the slider holding jig 80 can be adjusted. It is preferable to increase the load applied to the slider holding jig 80 stepwise as the chamfering progresses.
[0115]
In the second stage chamfering process, as shown in FIG. 25, the rubber sheet 38 and the diamond wrapping sheet 39 disposed on the wire 34 are formed on the first edge portion 161 and the second edge portion 162 of the slider 150. The corresponding portion is deformed so as to protrude toward the first edge portion 161 and the second edge portion 162. As a result, the diamond wrapping sheet 39 comes into contact with at least the first edge portion 161 and the second edge portion 162.
[0116]
In the second-stage chamfering process, the XY table 13 is swung in the state shown in FIG. 35, the edge on the air inflow end side of the slider 150 is further chamfered, and the first edge having a step is formed. The portion 161 and the second edge portion 162 are chamfered at the same time. As described above, the chamfering process is performed on the edge on the air inflow end side of the slider 150 more than the other edges by the first stage chamfering process and the second stage chamfering process. The reason why the edge on the air inflow end side of the slider 150 is chamfered in this way is that the edge on the air inflow end side is more likely to come into contact with the recording medium than the other edges. Further, the edge on the air inflow end side of the slider 150 is chamfered into a sloped shape by the first stage chamfering process and the second stage chamfering process.
[0117]
FIG. 36 is an explanatory view showing the state of the chamfering process at the third stage. In the third stage chamfering, the wire winding block 30 in which the deformation member 33 is accommodated in the recess 31a of the block main body 31 is used. Accordingly, the wire 34 is disposed on the convex portion 33 a of the elastic member 33, the rubber sheet 38 is disposed on the wire 34, and the diamond wrapping sheet 39 is disposed on the rubber sheet 38. As the slider holding jig set plate 70, a plate 70B is used. In the third step of chamfering, as shown in FIG. 36, the slider 150 is placed on the diamond wrapping sheet 39 while the medium facing surface of the slider 150 is parallel to the polished surface of the diamond wrapping sheet 39 by the plate 70B. The slider holding jig 80 is positioned so as to come into contact.
[0118]
Further, the lower end portion of the shaft portion 113a of the weight 113 at the lowest stage is in contact with the upper end portion of the slider holding jig 80. Here, the air inflow end side of the medium facing surface of the slider 150 is the right side of the slider 150 in FIG. In the present embodiment, as shown in FIG. 36, the lower end portion of the shaft portion 113a is provided with a slider holding jig 80 in order to further chamfer the air inflow end side of the medium facing surface of the slider 150. It is made to contact | abut to the position biased to the right side of the upper end part of. Further, as described above, the load applied to the slider holding jig 80 can be adjusted. It is preferable to increase the load applied to the slider holding jig 80 stepwise as the chamfering progresses.
[0119]
In the chamfering process at the third stage, the rubber sheet 38 and the diamond wrapping sheet 39 arranged on the wire 34 have portions corresponding to the first edge portion 161 and the second edge portion 162 of the slider 150 as the first edge. It deform | transforms so that it may protrude in the part 161 and the 2nd edge part 162 side. As a result, the diamond wrapping sheet 39 comes into contact with at least the first edge portion 161 and the second edge portion 162.
[0120]
In the third stage of chamfering, the XY table 13 is swung in the state shown in FIG. Thereby, the entire edge portion of the rail portion 153 of the slider 150 including the first edge portion 161 and the second edge portion 162 are chamfered simultaneously. Further, in the chamfering process at the third stage, the edge part contacting the diamond wrapping sheet 39 is chamfered into a curved surface including the edge part chamfered into a sloped shape by the first and second chamfering processes.
[0121]
The chamfering process from the first stage to the third stage can be performed by replacing the wire winding block 30, the slider holding jig set plate 70, etc. for each stage using one processing apparatus 10. It is more efficient to use three processing devices 10 set for each stage.
[0122]
According to such a slider processing method according to the present embodiment, the edge portion on the air inflow end side of the slider 150 can be chamfered more than the other edge portions. Thereby, the impact resistance of the slider 150 can be improved.
[0123]
Here, the shape of the edge portion when the edge portion on the air inflow end side of the slider 150 is subjected to the three-step chamfering process according to the present embodiment and when the chamfering process is performed by another method. Compare
[0124]
As another chamfering method for comparison, the method shown in FIG. 37 and the method shown in FIG. 38 were used. In the method shown in FIG. 37, a plate 90 as shown in FIG. 16 is used in place of the wire winding block 30, as in the first-stage chamfering process shown in FIG. A rubber sheet 38 is disposed on the plate 90, and a diamond wrapping sheet 39 is disposed on the rubber sheet 38. As the slider holding jig set plate 70, a plate 70B is used. Therefore, in the method shown in FIG. 37, the slider holding jig 80 is arranged so that the slider 150 contacts the diamond wrapping sheet 39 in a state where the medium facing surface of the slider 150 is parallel to the polished surface of the diamond wrapping sheet 39. Is positioned. In this state, the XY table 13 is swung and the edge portion of the slider 150 is chamfered.
[0125]
On the other hand, in the method shown in FIG. 38, the wire winding block 30 in which the elastic member 32 is accommodated in the concave portion 31a of the block main body 31 is used similarly to the chamfering process in the second stage shown in FIG. Accordingly, the wire 34 is disposed on the elastic member 32, the rubber sheet 38 is disposed on the wire 34, and the diamond wrapping sheet 39 is disposed on the rubber sheet 38. As the slider holding jig set plate 70, a plate 70B is used. Therefore, in the method shown in FIG. 38, the slider holding jig 80 is arranged so that the slider 150 contacts the diamond wrapping sheet 39 with the medium facing surface of the slider 150 parallel to the polished surface of the diamond wrapping sheet 39. Is positioned. In this state, the XY table 13 is swung and the edge portion of the slider 150 is chamfered.
[0126]
FIG. 39 shows an example of the shape of the edge portion on the air inflow end side of the slider 150 when chamfering is performed by the method shown in FIG. 37 or the method shown in FIG. FIG. 40 shows an example of the shape of the edge portion on the air inflow end side of the slider 150 when the three-stage chamfering process according to the present embodiment is performed. The shapes shown in FIGS. 390 and 40 are measured using a stylus type surface roughness meter. As the stylus type surface roughness meter, “Talystep” (trade name) manufactured by Rank Taylor-Hobson of England was used. A stylus having a tip radius of curvature of 2 μm was used. 39 and 40, the horizontal axis represents the horizontal position, and the vertical axis represents the vertical position.
[0127]
In the shape shown in FIG. 39, the length in the height direction of the chamfered region was 0.5 μm. On the other hand, in the shape shown in FIG. 40, the length in the height direction of the chamfered region was 5.0 μm. From these figures, according to the three-step chamfering process according to the present embodiment, a large amount of chamfering can be performed on the edge portion on the air inflow end side of the slider 150, and the impact resistance of the slider 150 is improved. It turns out that it becomes possible.
[0128]
Next, referring to FIGS. 41 to 46, the angle θ formed between the side surface of the slider holding jig 80 and the polished surface of the diamond wrapping sheet 39 in the present embodiment and the shape of the edge portion after chamfering The relationship will be described.
[0129]
As shown in FIG. 41, when θ is 60 ° in the first-stage and second-stage chamfering, the shape of the edge portion after completion of the second-stage chamfering is, for example, as shown in FIG. Thus, the shape of the edge portion after completion of the chamfering process at the third stage is as shown in FIG. 43, for example.
[0130]
As shown in FIG. 44, when θ is 75 ° in the first and second stage chamfering, the shape of the edge portion after the second stage chamfering is finished, for example, as shown in FIG. Thus, the shape of the edge portion after completion of the chamfering process at the third stage is as shown in FIG. 46, for example.
[0131]
The method for measuring the shape shown in FIGS. 42, 43, 45, and 46 is the same as in FIGS. 39 and 40.
[0132]
In the shape shown in FIG. 42, the length in the height direction of the chamfered region was 3.5 μm. On the other hand, in the shape shown in FIG. 45, the length in the height direction of the chamfered region was 2.5 μm. As can be seen from these figures, the smaller the θ, the larger the length in the height direction of the chamfered region.
[0133]
However, as can be seen from a comparison between FIG. 43 and FIG. 46, it is estimated that the smaller the θ is, the chamfered region remains closer to the inclined surface even after the third step of chamfering. . If the shape shown in FIG. 43 is the limit of the allowable range, θ needs to be 60 ° or more.
[0134]
As described above, according to the processing apparatus 10 according to the present embodiment and the slider processing method according to the present embodiment, more chamfering can be applied to the edge of the slider 150 on the air inflow end side. In addition, the first edge portion 161 and the second edge portion 162 having a step can be chamfered. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to obtain the slider 150 that can prevent the surface of the recording medium from being damaged by the edge portion even when tilted.
[0135]
Further, since the negative pressure slider is more likely to come into contact with the recording medium when tilted than the slider that does not generate negative pressure, the processing apparatus 10 according to the present embodiment and The slider processing method according to the present embodiment is particularly effective when processing a negative pressure slider.
[0136]
Moreover, according to the slider processing method according to the present embodiment, not only the edge of the slider 150 on the air inflow end side, the first edge portion 161 and the second edge portion 162 but also other rails. The peripheral portion of the medium facing surface in the portion 153 and the peripheral portion of the outer peripheral surface of the slider 150 on the medium facing surface side can be sufficiently chamfered. Thereby, even if the slider 150 is tilted in various ways, the slider 150 can be obtained that can prevent the recording medium from being damaged.
[0137]
Further, in the processing apparatus 10 according to the present embodiment and the slider processing method according to the present embodiment, the diamond wrapping sheet 39 is deformed, and the diamond wrapping sheet 39 is transformed into the first edge portion 161 and the first edge portion 161 of the slider 150. The second edge portion 162 is brought into contact with the second edge portion 162. At this time, since the diamond wrapping sheet 39 is held by the rubber sheet 38 having elasticity, the diamond wrapping sheet 39 can be prevented from being cut and the slider 150 can be processed stably.
[0138]
Further, in the present embodiment, the load applied to the slider holding jig 80 can be adjusted by stepwise applying loads from the plurality of weights 113, 123, 133 to the slider holding jig 80. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to prevent the thin diamond wrapping sheet 39 from being cut at the edge portion of the slider 150.
[0139]
In the present embodiment, since the spiral groove 138 or the groove 139 is formed in at least one of the shaft portions 113a, 123a, 133a of the weights 113, 123, 133 and the hole of the weight holder 140, this groove The shavings (powder) generated by rubbing between the shaft portions 113a, 123a, 133a and the holes of the weight holder 140 are taken in by 138, 139, and the smooth operation of the shaft portions 113a, 123a, 133a can be maintained. it can.
[0140]
In this embodiment, as one type of slider holding jig set plate 70, a slider holding jig set plate 70A having a hole 76A inclined at a predetermined angle with respect to the vertical direction is prepared. The plate 70A positions the slider holding jig 80 so that the slider 150 contacts the diamond wrapping sheet 39 in a state where the medium facing surface of the slider is inclined with respect to the polishing surface of the diamond wrapping sheet 39. Therefore, according to the present embodiment, by using the slider holding jig set plate 70A, a specific edge portion of the slider 150, for example, an edge on the air inflow end side of the slider 150, from other edge portions. Can be chamfered.
[0141]
In the present embodiment, the rubber sheet 38 and the diamond wrapping sheet 39 are deformed by the wire 34 in order to simultaneously chamfer the first edge portion 161 and the second edge portion 162 having steps. . In the present embodiment, the wire 34 is not stretched over the entire surface of the plate 18 but is stretched in a plurality of portions using a plurality of wire winding blocks 30. Therefore, according to the present embodiment, the tension of the wire 34 is stabilized, and the processing accuracy can be improved.
[0142]
In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various change is possible. For example, in the embodiment, the slider 150 is fixed and the diamond wrapping sheet 39 is moved by the XY table 13, but the diamond wrapping sheet 39 is fixed and the slider holding jig 80 is moved to move the slider 150. You may make it move (swing).
[0143]
Further, the present invention is not limited to the slider having the shape shown in FIG. 24, and can be applied to processing of other shapes. The present invention is not limited to a slider having a two-stage structure, and can be applied to processing a slider having a three-stage structure or more.
[0144]
In the embodiment, the example of the negative pressure slider is given as the slider to be processed. However, the present invention can also be applied to processing of a slider that does not generate negative pressure.
[0145]
The present invention can also be applied to sliders for uses other than for magnetic heads, such as sliders for heads (pickups) for recording or reproducing information by optical recording methods or magneto-optical recording methods. Is possible.
[0146]
【The invention's effect】
As described above, according to the slider processing apparatus of the present invention or the slider processing auxiliary tool of the present invention, the wire for deforming the polishing member so that a plurality of edge portions having steps in the slider are polished simultaneously is provided. Since it is wound around the outer peripheral part of the auxiliary tool body, the tension of the wire is stabilized, and it becomes possible to simultaneously grind a plurality of edge portions having a step in the slider to perform chamfering and improve the processing accuracy. There is an effect that can be.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front view of a slider machining apparatus according to an embodiment of the present invention, partly cut away.
FIG. 2 is a right side view of FIG.
FIG. 3 is an enlarged front view showing the vicinity of an XY table in FIG. 1;
4 is a right side view of FIG. 3. FIG.
5 is a front view of a Y-direction swing width adjusting member in FIG. 1. FIG.
6 is a side view of FIG. 5. FIG.
7 is a front view of a Y-direction swing width adjusting member in FIG. 1. FIG.
FIG. 8 is a side view of FIG. 7;
FIG. 9 is an explanatory view showing a state in which the slider holding jig set plate in FIG. 2 moves.
10 is an explanatory diagram showing a sensor for detecting the presence or absence of the slider holding jig set plate shown in FIG. 9;
FIG. 11 is a side view of the wire winding block in FIG. 1;
12 is a front view of the wire winding block shown in FIG. 11. FIG.
13 is a perspective view showing an elastic member used in the wire winding block shown in FIG. 11. FIG.
14 is a perspective view showing a deformation member used in the wire winding block shown in FIG. 11. FIG.
15 is a perspective view showing the wire winding block shown in FIG. 11, a rubber sheet and a diamond wrapping sheet disposed thereon. FIG.
16 is a front view showing a plate used instead of the wire winding block shown in FIG. 11 and a rubber sheet disposed thereon. FIG.
FIG. 17 is an explanatory diagram for explaining an example of a method for arranging a rubber sheet and a diamond wrapping sheet on the wire winding block shown in FIG. 11;
18 is a plan view showing a state after a rubber sheet and a diamond wrapping sheet are stretched on the wire winding block by the method shown in FIG.
FIG. 19 is a front view of FIG. 18;
FIG. 20 is a plan view of a slider holding jig set plate used in the processing apparatus according to the embodiment of the present invention.
21 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG.
FIG. 22 is a plan view of another slider holding jig set plate used in the processing apparatus according to the embodiment of the present invention.
23 is a cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIG.
FIG. 24 is a perspective view showing an example of a slider processed by the processing apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 25 is a cross-sectional view showing the vicinity of the slider during machining by the machining apparatus according to one embodiment of the present invention.
FIG. 26 is an explanatory diagram showing an enlargement of a portion C in FIG. 25;
27 is a cross-sectional view of the load applying portion in FIG. 1 as viewed from the front side.
28 is a cross-sectional view of the load applying portion in FIG. 1 as viewed from the side surface side.
29 is a cross-sectional view showing the weight holder when a spiral groove is formed in the hole of the weight holder shown in FIG. 28. FIG.
30 is a cross-sectional view for explaining the operation of the load applying portion in FIG. 1. FIG.
FIG. 31 is a cross-sectional view for explaining the operation of the load applying portion in FIG. 1;
32 is a cross-sectional view for explaining the operation of the load applying portion in FIG. 1. FIG.
33 is a cross-sectional view for explaining the operation of the load applying portion in FIG. 1;
FIG. 34 is a cross-sectional view showing a first-stage chamfering process in the processing method according to one embodiment of the present invention.
FIG. 35 is a cross-sectional view showing a second-stage chamfering process in the processing method according to one embodiment of the present invention.
FIG. 36 is a cross-sectional view showing a third-stage chamfering process in the processing method according to one embodiment of the present invention.
FIG. 37 is a cross-sectional view showing another chamfering method for comparison with the processing method according to one embodiment of the present invention.
FIG. 38 is a cross-sectional view showing another chamfering method for comparison with the processing method according to one embodiment of the present invention.
FIG. 39 is an explanatory diagram showing an example of the shape of the edge portion on the air inflow end side of the slider when chamfering is performed by the method shown in FIG. 37 or the method shown in FIG. 38;
FIG. 40 is an explanatory diagram showing an example of the shape of the edge portion on the air inflow end side of the slider when the three-stage chamfering is performed according to the embodiment of the present invention.
FIG. 41 is an explanatory diagram showing the slider holding jig when the angle formed between the side surface of the slider holding jig and the polishing surface of the diamond wrapping sheet is 60 ° according to one embodiment of the present invention.
42 is an explanatory diagram showing an example of the shape of the edge portion after the end of the second stage chamfering in the case shown in FIG. 41;
43 is an explanatory diagram showing an example of the shape of the edge portion after the end of the third-stage chamfering in the case shown in FIG. 41. FIG.
FIG. 44 is an explanatory diagram showing the slider holding jig when the angle formed between the side surface of the slider holding jig and the polishing surface of the diamond wrapping sheet is 75 ° in one embodiment of the present invention.
45 is an explanatory diagram showing an example of the shape of the edge portion after the end of the second-stage chamfering in the case shown in FIG. 44. FIG.
46 is an explanatory diagram showing an example of the shape of the edge portion after the end of the third-stage chamfering in the case shown in FIG. 44. FIG.
47 is a perspective view showing an example of the shape of a slider. FIG.
FIG. 48 is an explanatory diagram for explaining an outline of a conventional chamfering method for a slider.
49 is an explanatory diagram showing, in an enlarged manner, an edge vicinity C portion of the rail portion after chamfering is performed by the method shown in FIG. 48. FIG.
FIG. 50 is an explanatory diagram showing a manner of tilting the slider.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Processing apparatus, 11 ... Apparatus main body, 13 ... XY table, 30 ... Wire winding block, 31 ... Block main body, 32 ... Elastic member, 33 ... Deformation member, 34 ... Wire, 38 ... Rubber sheet, 39 ... Diamond wrapping sheet, 70, 70A, 70B ... Slider holding jig set plate, 80 ... Slider holding jig, 100 ... Load applying part, 113, 123, 133 ... Weight, 113a, 123a, 133a ... Shaft part, 138, 139 ... groove, 150 ... slider.

Claims

A slider processing apparatus that polishes a plurality of edge portions having steps in a slider having a medium facing surface to chamfer the edge portions,
A slider holder for holding the slider;
A polishing member having flexibility for polishing the edge portion of the slider held by the slider holder;
An auxiliary tool body disposed at a position facing the slider held by the slider holder across the polishing member, and a wire wound around the outer periphery of the auxiliary tool body to deform the polishing member And a slider working auxiliary tool that deforms the polishing member with the wire so that a plurality of edge portions having steps in the slider are simultaneously polished by the polishing member,
A slider processing apparatus comprising: a slider held by the slider holder; and a moving means for moving the polishing member relatively so that the edge portion of the slider is polished by the polishing member. .

The slider working tool according to claim 1, wherein the slider working tool has an elastic member disposed on a lower side of a portion of the wire located on the upper surface portion of the slider working tool. apparatus.

The auxiliary tool for slider processing has a deforming member arranged below a portion of the wire located on the upper surface portion of the auxiliary tool for slider processing, and a convex portion is formed on the upper surface of the deforming member. The slider processing apparatus according to claim 1 , wherein a portion of the wire located on an upper surface portion of the slider processing aid is disposed on the convex portion .

The slider holder holds a plurality of sliders separated at a separation position,
The wire is wound a plurality of times around the outer periphery of the auxiliary tool body,
4. The plurality of portions of the wire that are located on the upper surface portion of the auxiliary tool for slider processing are arranged at positions corresponding to the separation positions of the slider. 5. The described slider processing apparatus.

A slider holder for holding a slider having a medium facing surface, a flexible polishing member for polishing an edge portion of the slider held by the slider holder, and an edge portion of the slider by the polishing member And a moving means for relatively moving the slider held by the slider holder and the polishing member, and polishing a plurality of edge portions having steps in the slider to chamfer the edge portions. Used in slider processing equipment that performs processing,
An auxiliary tool body disposed at a position facing the slider held by the slider holder across the polishing member;
A wire for deforming the polishing member is wound around the outer peripheral portion of the auxiliary tool body so that a plurality of edge portions having steps in the slider are simultaneously polished by the polishing member. Auxiliary tool for slider processing.

6. The slider working aid according to claim 5 , further comprising an elastic member disposed on a lower side of a portion of the wire located on the upper surface portion of the slider working aid.

The wire further includes a deforming member disposed below a portion of the wire that is positioned on the upper surface portion of the slider processing aid , and a convex portion is formed on the upper surface of the deforming member. The slider processing aid according to claim 5 , wherein a portion of the slider processing aid that is located on the upper surface portion is disposed on the convex portion .

The slider holder holds a plurality of sliders separated at a separation position,
The wire is wound a plurality of times around the outer periphery of the auxiliary tool body,
The plurality of portions of the wire that are positioned on the upper surface portion of the auxiliary tool for slider processing are arranged at positions corresponding to separation positions of the slider. The auxiliary tool for processing a slider.