JP2000293828A - Magnetic head, its production, and device for producing the magnetic head - Google Patents
Magnetic head, its production, and device for producing the magnetic headInfo
- Publication number
- JP2000293828A JP2000293828A JP11166526A JP16652699A JP2000293828A JP 2000293828 A JP2000293828 A JP 2000293828A JP 11166526 A JP11166526 A JP 11166526A JP 16652699 A JP16652699 A JP 16652699A JP 2000293828 A JP2000293828 A JP 2000293828A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- groove
- wire
- magnetic head
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばハードディ
スク装置などに搭載されるスライダを備えた磁気ヘッド
に係り、特にスライダバーが形成された段階で、スライ
ダの記録媒体との対向面の側縁部となる部分に、容易に
しかも適性な面取り加工を施すことができ、記録媒体が
受ける損傷を低減させることが可能な磁気ヘッド及びそ
の製造方法、ならびに前記磁気ヘッドの製造装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head having a slider mounted on, for example, a hard disk drive, and more particularly, to a side edge of a surface of a slider facing a recording medium when a slider bar is formed. The present invention relates to a magnetic head, a method of manufacturing the same, and an apparatus for manufacturing the magnetic head, which can easily and appropriately chamfer a portion to be formed and reduce damage to a recording medium.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図１１は、ハードディスク装置などに搭
載される従来の磁気ヘッドを記録媒体との対向面を上向
きにして示した斜視図である。2. Description of the Related Art FIG. 11 is a perspective view showing a conventional magnetic head mounted on a hard disk device or the like with a surface facing a recording medium facing upward.
【０００３】この磁気ヘッドでは、記録媒体の移動方向
に対して上流側Ａがリーディング側と呼ばれ、下流側Ｂ
が、トレーリング側と呼ばれている。In this magnetic head, the upstream side A is called a leading side with respect to the moving direction of the recording medium, and the downstream side B is called a leading side.
But it is called the trailing side.
【０００４】図１１に示す符号１はセラミック材料など
により形成されたスライダであり、前記スライダ１のト
レーリング側端面Ｂには、磁気記録及び／又は再生用の
薄膜素子部６が設けられている。Reference numeral 1 shown in FIG. 11 denotes a slider formed of a ceramic material or the like, and a thin-film element portion 6 for magnetic recording and / or reproduction is provided on an end surface B on the trailing side of the slider 1. .
【０００５】図１１に示すように、前記スライダ１の記
録媒体との対向面には、エアグルーブ２が形成され、前
記エアグルーブ２を囲むようにしてＡＢＳ面３が形成さ
れている。このＡＢＳ面３はクラウン形成されている。As shown in FIG. 11, an air groove 2 is formed on a surface of the slider 1 facing the recording medium, and an ABS 3 is formed so as to surround the air groove 2. The ABS 3 has a crown.
【０００６】図１１に示す磁気ヘッドの製造方法は、ま
ずスライダ１の母材となる円形状の基板上に、複数の薄
膜素子部６を形成した後、前記基板を直方形状に切断
し、いわゆるスライダバーを形成する。このスライダバ
ーのトレーリング側端面には、一列に並んで複数の薄膜
素子部６が形成された状態となっている。In the method of manufacturing a magnetic head shown in FIG. 11, a plurality of thin film element portions 6 are first formed on a circular substrate serving as a base material of a slider 1, and then the substrate is cut into a rectangular shape. Form a slider bar. A plurality of thin film element portions 6 are formed in a line on the trailing side end surface of the slider bar.
【０００７】そして、前記スライダバーの記録媒体との
対向面に、前記薄膜素子部６と同じ数だけのエアグルー
ブ２及びＡＢＳ面３を形成する。その後に、各薄膜素子
部６間から前記スライダバーを切断すると、図１１に示
すような個々の磁気ヘッドの形成が完成する。On the surface of the slider bar facing the recording medium, the same number of air grooves 2 and ABS surfaces 3 as the thin film element portions 6 are formed. Thereafter, when the slider bar is cut from between the thin film element portions 6, the formation of individual magnetic heads as shown in FIG. 11 is completed.
【０００８】図１１に示す磁気ヘッドは、ロードビーム
（図示しない）の先端に固定されたフレキシャ（図示し
ない）に支持され、板ばねにより形成されたロードビー
ムの弾性力により、記録媒体に付勢されている。The magnetic head shown in FIG. 11 is supported by a flexure (not shown) fixed to the tip of a load beam (not shown), and urges the recording medium by the elastic force of the load beam formed by a leaf spring. Have been.
【０００９】この磁気ヘッドは、いわゆるＣＳＳ（コン
タクト・スタート・ストップ）方式、あるいはランプロ
ード方式のハードディスク装置などに使用される。The magnetic head is used in a so-called CSS (contact start / stop) system or a ramp load system hard disk device.
【００１０】磁気ヘッドの浮上姿勢では、リーディング
側Ａがトレーリング側Ｂよりも記録媒体上に高く持ち上
がる傾斜した浮上姿勢となる。この浮上姿勢にて、図１
１に示す薄膜素子部６により記録媒体に記録信号が書込
まれたり、あるいは記録媒体からの磁気信号が検出され
る。[0010] In the flying posture of the magnetic head, the leading side A has an inclined flying posture that is lifted higher on the recording medium than the trailing side B. In this floating posture, FIG.
A recording signal is written on a recording medium by the thin film element section 6 shown in FIG. 1, or a magnetic signal from the recording medium is detected.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】ところで図１１に示す
従来の磁気ヘッドでは、スライダ１の記録媒体との対向
面における角部及び側縁部１ａが角張っており、磁気ヘ
ッドが記録媒体に接触した際などに、前記記録媒体が損
傷を受け易いといった問題があった。このため、従来で
は図１１に示すスライダ１を製造後、前記スライダ１の
角部及び側縁部１ａを例えば機械加工などによって面取
りしていた。By the way, in the conventional magnetic head shown in FIG. 11, the corners and side edges 1a of the surface of the slider 1 facing the recording medium are angular, and the magnetic head comes into contact with the recording medium. In some cases, there is a problem that the recording medium is easily damaged. Therefore, conventionally, after manufacturing the slider 1 shown in FIG. 11, the corners and the side edges 1a of the slider 1 are chamfered by, for example, machining.
【００１２】しかしながらスライダ１を製造した後に、
個々のスライダ１に対して面取り加工を施さなければな
らないとすると、チップ化されたスライダ１に面取り加
工を施すのは非常に困難であり、よって加工作業が非常
に煩雑化し、スライダ１の製造効率を低下させる原因と
なる。However, after manufacturing the slider 1,
If chamfering must be performed on each slider 1, it is very difficult to perform chamfering on the slider 1 that has been chipped, so that the processing operation becomes very complicated, and the manufacturing efficiency of the slider 1 is increased. Cause a decrease.
【００１３】そこで、複数のスライダ１が一体になって
形成された状態、つまりスライダバーの状態のときに、
前記面取り加工を行うようにすることも可能である。Therefore, when a plurality of sliders 1 are integrally formed, that is, in a state of a slider bar,
The chamfering may be performed.
【００１４】図１２は、スライダバーの状態を示す部分
斜視図である。図１２に示すように、前記スライダバー
７のトレーリング側端面Ｂには、複数の薄膜素子部６が
形成されている。そして前記スライダバー７の記録媒体
との対向面８には、図１１に示すようなエアグルーブ２
及びＡＢＳ面３の加工が施されており、さらに各薄膜素
子部６間には、一定の深さを有する溝部９が形成されて
いる。FIG. 12 is a partial perspective view showing the state of the slider bar. As shown in FIG. 12, a plurality of thin film element portions 6 are formed on the trailing side end surface B of the slider bar 7. The slider groove 7 has an air groove 2 as shown in FIG.
And the ABS surface 3 are processed, and a groove 9 having a constant depth is formed between the thin film element portions 6.
【００１５】従来では、例えば各溝部９の両側縁部９ａ
を除いて、スライダバー７の各対向面８を所定の大きさ
のマスクで覆い、その後砥粒を噴きつけて、各側縁部９
ａを削るブラスト方式などによって、面取り加工を施し
ていた。Conventionally, for example, both side edges 9a of each groove 9
Except for the above, each facing surface 8 of the slider bar 7 is covered with a mask of a predetermined size, and thereafter, abrasive grains are sprayed, so that each side edge 9
A chamfering process was performed by a blast method for cutting a.
【００１６】しかしながら、この方法によると、砥粒の
噴き付けによって、前記側縁部９ａに占める結晶粒子が
脱粒しやすくなり、特に記録媒体上に、磁気ヘッドを走
行させている際に、粒子が脱粒すると、この粒子が記録
媒体上に落下し、これによって、前記記録媒体を傷つけ
てしまうといった問題があった。またこのブラスト方式
では、高価な設備が必要になるといった問題もあった。However, according to this method, the crystal grains occupying the side edge 9a are easily degranulated by spraying the abrasive grains, and particularly when the magnetic head is running on the recording medium, the grains are scattered. When the particles are shed, there is a problem that the particles fall onto the recording medium, thereby damaging the recording medium. In addition, this blast method has a problem that expensive equipment is required.
【００１７】さらに、前記面取り加工では、対向面８の
四方の角部が鋭角のままとなったり、あるいはこの角部
にバリが残るなどし、この角部により記録媒体に損傷を
与えやすいものとなる。Furthermore, in the chamfering process, the four corners of the facing surface 8 remain sharp or burrs remain at the corners, and the corners are likely to damage the recording medium. Become.
【００１８】またスライダバー７の状態で各側縁部９ａ
を、ダイサを使用して研削し面取り加工をする方法もあ
るが、研削加工の際にスライダバーのセッティング精度
が、そのまま加工精度になってしまい、セッティング精
度や寸法のばらつきを十分に吸収できず、すべての側縁
部９ａに均一な面取り加工を施すことが困難である。In the state of the slider bar 7, each side edge 9a
There is also a method of grinding and chamfering using a dicer, but during grinding, the setting accuracy of the slider bar becomes the processing accuracy as it is, and it is not possible to sufficiently absorb the setting accuracy and dimensional variations. It is difficult to perform uniform chamfering on all side edges 9a.
【００１９】本発明は、上記従来の課題を解決するため
のものであり、特にスライダバーの状態にて、各スライ
ダの側縁部に容易にしかも均一な面取り加工を施すこと
ができ、さらには対向面の角部をＲ形状に形成できるよ
うにして、記録媒体に与える損傷を低減させることが可
能な磁気ヘッド及びその製造方法、ならびに前記磁気ヘ
ッドの製造装置を提供することを目的としている。The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems. Particularly, in a state of a slider bar, a side edge portion of each slider can be easily and uniformly chamfered. It is an object of the present invention to provide a magnetic head, a method of manufacturing the same, and a manufacturing apparatus of the magnetic head, which can form a rounded corner of the facing surface to reduce damage to a recording medium.
【００２０】[0020]
【課題を解決するための手段】本発明は、スライダと、
このスライダのトレーリング側に設けられた磁気記録お
よび／または再生用の素子部とを有する磁気ヘッドにお
いて、前記スライダに設けられた記録媒体との対向面の
側縁部には、前記トレーリング側および／またはリーデ
ィング側に向けて側縁部から徐々に離れる湾曲面が設け
られていることを特徴とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a slider,
In a magnetic head having a magnetic recording and / or reproducing element provided on the trailing side of the slider, a side edge of a surface facing the recording medium provided on the slider has the trailing side. And / or a curved surface that is gradually separated from the side edge toward the leading side.
【００２１】本発明では、上記のように、スライダの記
録媒体との対向面の側縁部に、トレーリング側および／
またはリーディング側に向けて前記側縁部から徐々に離
れるように沿って形成された湾曲面を設けることで、前
記対向面の角部及び側縁部の角張った部分が除去され、
記録媒体への損傷を抑制することができる。In the present invention, as described above, the trailing side and / or the trailing edge are provided on the side edge of the surface of the slider facing the recording medium.
Or by providing a curved surface formed along and gradually away from the side edge toward the leading side, the corners of the facing surface and the angular portion of the side edge are removed,
Damage to the recording medium can be suppressed.
【００２２】また本発明では、前記湾曲面は、少なくと
もトレーリング側に向けて形成されていることが好まし
い。リーディング側に比べトレーリング側の方が、記録
媒体に接触しやすから、前記トレーリング側に湾曲面を
形成した方が、記録媒体への損傷を効果的に抑制するこ
とができる。特にランプロード方式の磁気ヘッドには最
適な構造となる。In the present invention, the curved surface is preferably formed at least toward the trailing side. Since the trailing side is more likely to contact the recording medium than the leading side, forming the curved surface on the trailing side can effectively suppress damage to the recording medium. In particular, the structure is optimal for a ramp-load type magnetic head.
【００２３】また本発明では、前記記録媒体との対向面
には段差が形成されて、前記段差を介して前記対向面側
において最も高い位置にある面が、記録媒体上の空気流
からの浮上力を受けるＡＢＳ面であり、前記湾曲面は、
前記ＡＢＳ面に及ばない領域に形成されていることが好
ましい。Further, in the present invention, a step is formed on the surface facing the recording medium, and the surface located at the highest position on the side of the opposing surface via the step forms a floating force from the air flow on the recording medium. The receiving ABS surface, wherein the curved surface is:
Preferably, it is formed in a region that does not extend to the ABS.
【００２４】記録媒体との対向面に形成されるＡＢＳ面
上の面積及び形状等は、磁気ヘッドの記録媒体上での浮
上特性に大きな影響を与えるものであり、従って、前記
ＡＢＳ面が、湾曲面の形成によって削り取られ面積が変
化すると、記録媒体と磁気ヘッドとの間に流れる空気抵
抗が変化し、記録媒体上での前記磁気ヘッドの浮上特性
が悪化するといった問題が発生する。The area, shape, and the like on the ABS surface formed on the surface facing the recording medium greatly affect the flying characteristics of the magnetic head on the recording medium. If the area is removed by shaping the surface, the air resistance flowing between the recording medium and the magnetic head changes, causing a problem that the flying characteristics of the magnetic head on the recording medium deteriorate.
【００２５】そこで本発明では、スライダの側縁部に形
成されるべき湾曲面を、記録媒体との対向面上に形成さ
れたＡＢＳ面にまで及ばない領域内で形成することによ
り、ＡＢＳ面の面積及び形状が、湾曲面の形成前・形成
後で変化しないようにし、浮上特性の安定化を図ること
ができる。Therefore, in the present invention, the curved surface to be formed on the side edge portion of the slider is formed in a region that does not extend to the ABS surface formed on the surface facing the recording medium, so that the ABS surface is formed. The area and the shape are not changed before and after the formation of the curved surface, so that the floating characteristics can be stabilized.
【００２６】さらに本発明では、前記対向面では、スラ
イダの幅方向の中央部分に前記ＡＢＳ面が形成されてお
り、前記ＡＢＳ面の前記幅方向の両側で且つ前記ＡＢＳ
面が形成されていない領域に前記湾曲面が形成されてい
ることが好ましい。Further, in the present invention, the ABS is formed at the center of the slider in the width direction on the opposing surface, and the ABS is formed on both sides of the ABS in the width direction and the ABS.
It is preferable that the curved surface is formed in a region where no surface is formed.
【００２７】上記構成は、本発明における一実施形態の
磁気ヘッドの構造を表しており、上記構成では、記録媒
体との対向面に形成されるＡＢＳ面は、スライダの幅方
向の中央部分に形成されている。The above structure shows the structure of the magnetic head according to an embodiment of the present invention. In the above structure, the ABS formed on the surface facing the recording medium is formed at the center of the slider in the width direction. Have been.
【００２８】このようにＡＢＳ面が、幅方向の中央部分
に形成されることで、前記ＡＢＳ面の両側から、スライ
ダの側縁部までには、比較的広い間隔が空いているの
で、前記湾曲面を、前記ＡＢＳ面の幅方向の両側で且つ
前記ＡＢＳ面の形成されていない領域に、容易にしかも
適性な形状で形成することが可能である。Since the ABS surface is formed at the center portion in the width direction as described above, a relatively wide space is provided from both sides of the ABS surface to the side edge portion of the slider. Surfaces can be easily and appropriately formed on both sides in the width direction of the ABS surface and in regions where the ABS surface is not formed.
【００２９】また本発明では、前記幅方向の中央部分に
設けられた前記幅方向の中央部分に位置するＡＢＳ面
に、前記トレーリング側に設けられた素子部のギャップ
部が現れていることが好ましい。Further, in the present invention, the gap portion of the element portion provided on the trailing side may appear on the ABS surface located at the center portion in the width direction provided at the center portion in the width direction. preferable.
【００３０】さらに本発明では、前記湾曲面がトレーリ
ング側まで延びている場合に、この湾曲面は、トレーリ
ング側に設けられた前記素子部に達しない深さに形成さ
れていることが好ましい。また前記記録媒体との対向面
のトレーリング側および／またはリーディング側の角部
には、前記湾曲面と連続するＲ面が形成されていること
が好ましい。Further, in the present invention, when the curved surface extends to the trailing side, the curved surface is preferably formed to a depth that does not reach the element portion provided on the trailing side. . Further, it is preferable that an R-surface that is continuous with the curved surface is formed at a corner on the trailing side and / or the leading side of the surface facing the recording medium.
【００３１】また本発明は、スライダと、このスライダ
のトレーリング側端面に設けられた磁気記録および／ま
たは再生用の素子部とを有する磁気ヘッドの製造方法に
おいて、トレーリング側端面に複数の素子部が形成され
たスライダバーを形成し、各素子部間であって前記スラ
イダバーの記録媒体との対向面に、溝部を形成する第１
工程と、前記溝部の幅寸法よりも大きい径を有するワイ
ヤを、一定の張力によって張り、前記スライダバーに形
成された溝部に前記ワイヤを押し付ける第２工程と、前
記溝部の形成方向に沿って、前記ワイヤと前記溝部とを
摺動させ、前記溝部の両側縁部に、トレーリング側およ
びリーディング側にかけて徐々に削り量が多くなる湾曲
面を形成する第３工程と、前記スライダバーを、前記溝
部で切断する第４工程と、を有することを特徴とするも
のである。The present invention also relates to a method of manufacturing a magnetic head having a slider and a magnetic recording and / or reproducing element provided on the trailing end face of the slider. Forming a slider bar on which a portion is formed, and forming a groove between the element portions on a surface of the slider bar facing the recording medium.
Step, a wire having a diameter larger than the width dimension of the groove, a second step of tensioning the wire with a constant tension and pressing the wire against the groove formed in the slider bar, along the forming direction of the groove, A third step of sliding the wire and the groove to form curved surfaces on both side edges of the groove, the amount of which is gradually increased toward the trailing side and the leading side; and And a fourth step of cutting at a time.
【００３２】あるいは、上記第２工程に代えて、前記ス
ライダバーの溝部に、ワイヤを押し付ける際に、前記ス
ライダバーの溝部とワイヤとの相対位置を傾けて、前記
スライダバーのトレーリング側またはリーディング側の
どちらか一方の溝部の両側角部に、前記ワイヤを押し付
ける工程と、さらに上記第３工程に代えて、前記溝部の
形成方向に沿って、前記ワイヤと前記溝部とを摺動さ
せ、前記溝部の両側縁部に、トレーリング側あるいはリ
ーディング側のどちらか一方にかけて徐々に削り量が多
くなる湾曲面を形成する工程と、を有していてもよい。Alternatively, in place of the second step, when the wire is pressed into the groove of the slider bar, the relative position between the groove of the slider bar and the wire is tilted, and the trailing side or the leading side of the slider bar is tilted. Pressing the wire against the corners on either side of one of the grooves, and further, instead of the third step, sliding the wire and the groove along the formation direction of the groove, Forming a curved surface on both side edges of the groove, the amount of which is gradually increased toward either the trailing side or the leading side.
【００３３】また本発明では、前記記録媒体との対向面
に段差を形成して、前記段差を介して前記対向面側にお
いて最も高い位置にある面を記録媒体上の空気流からの
浮上力を受けるＡＢＳ面とする工程を含み、前記湾曲面
を、前記ＡＢＳ面に及ばない領域に形成することが好ま
しい。Further, in the present invention, a step is formed on the surface facing the recording medium, and the surface located at the highest position on the side of the facing surface via the step is an ABS which receives a levitation force from an air flow on the recording medium. Preferably, the method includes a step of forming a surface, and the curved surface is preferably formed in a region not extending to the ABS.
【００３４】さらに本発明では、前記ＡＢＳ面を、スラ
イダの幅方向の中央部分に形成し、前記ＡＢＳ面の両側
に前記湾曲面を形成することが好ましい。Further, in the present invention, it is preferable that the ABS surface is formed at a central portion in the width direction of the slider, and the curved surfaces are formed on both sides of the ABS surface.
【００３５】なお上記において、前記ワイヤは、周囲に
ダイヤモンド砥粒がコーティングされたものを使用する
ことが好ましい。In the above, it is preferable to use the wire whose periphery is coated with diamond abrasive grains.
【００３６】また本発明では、前記ワイヤを前記溝部の
両側縁部に当接させた状態を前記ワイヤの断面で見たと
きに、前記ワイヤの中心から前記両側縁部との当接点へ
延びる線と、前記ワイヤの中心から前記溝部内に延びる
垂線と、が成す角度が３０〜５０度の範囲となるよう
に、前記ワイヤの直径が選択されることが好ましい。Further, in the present invention, when a state in which the wire is in contact with both side edges of the groove is viewed in a cross section of the wire, a line extending from the center of the wire to a contact point with the both sides. It is preferable that the diameter of the wire is selected such that the angle between the wire and the perpendicular extending from the center of the wire into the groove is in the range of 30 to 50 degrees.
【００３７】さらに本発明における磁気ヘッドの製造装
置は、トレーリング側端面に形成された複数の素子部
と、各素子部間であって記録媒体との対向面に形成され
た溝部とを有するスライダバーを保持する保持部材と、
前記溝部の幅寸法よりも大きな径を有するワイヤが、前
記溝部の間隔の整数倍の間隔で複数条が平行となるよう
に張られているワイヤガイド部材と、前記複数条のワイ
ヤがそれぞれ前記スライダバーの溝部に押し付けられた
状態で、前記保持部材と前記ワイヤガイド部材の少なく
とも一方を前記溝部の形成方向に沿って往復移動させ
て、前記溝部の両側縁部に面取り加工を施す駆動手段
と、前記保持部材と前記ワイヤガイド部材の少なくとも
一方を前記溝部の並び方向へ移動させて、前記ワイヤに
より面取り加工する溝部を更新していく送り手段とが設
けられていることを特徴とするものである。Further, according to the magnetic head manufacturing apparatus of the present invention, there is provided a slider having a plurality of element portions formed on an end surface on a trailing side and a groove formed between the element portions and on a surface facing a recording medium. A holding member for holding the bar,
A wire guide member in which a wire having a diameter larger than the width dimension of the groove is stretched so that a plurality of wires are parallel at intervals of an integral multiple of the interval of the groove; and In a state where the holding member and the wire guide member are pressed against the groove of the bar, at least one of the holding member and the wire guide member is reciprocated along a direction in which the groove is formed, and a driving unit for chamfering both side edges of the groove is provided. A feed means for moving at least one of the holding member and the wire guide member in the direction in which the grooves are arranged to update a groove to be chamfered by the wire is provided. .
【００３８】本発明者は、スライダバーの状態で、各ス
ライダの記録媒体との対向面の側縁部に対し、容易にし
かも均一な面取り加工を施すことが可能な方法を見出し
たのである。従来においてもスライダバーの状態で、例
えばダイサを用いて面取り加工を施す方法があったが、
この場合、セッティング精度や寸法のばらつきを十分に
吸収できず、各側縁部に対し均一な面取り加工を施すこ
とができないといった問題があった。The present inventor has found a method that can easily and uniformly perform a chamfering process on a side edge of a surface of each slider facing a recording medium in a state of a slider bar. Conventionally, there was a method of chamfering using a dicer, for example, in a state of a slider bar,
In this case, there has been a problem that variations in setting accuracy and dimensions cannot be sufficiently absorbed, and uniform chamfering cannot be performed on each side edge.
【００３９】本発明では、まず複数の薄膜素子部が形成
されたスライダバーの記録媒体との対向面に、各薄膜素
子部間に複数の溝部を形成する。In the present invention, first, a plurality of grooves are formed between the thin film elements on the surface of the slider bar on which the plurality of thin film elements are formed, facing the recording medium.
【００４０】次に、前記溝部の幅よりも大きい径を有す
るワイヤを用意し、このワイヤを一定の張力によって張
り、前記スライダバーの溝部の記録媒体との対向面の両
側縁部を、前記ワイヤに押し付けるのである。これによ
り前記ワイヤは、前記溝部から離れる方向へ山なりに撓
み、この状態で、例えばスライダバーをワイヤ上で往復
摺動させる。ワイヤとの摩擦により、前記スライダバー
に形成された溝部の両側角部が優先的に削り取られ、徐
々に前記溝部の中央方向にかけて両側縁部が削り取られ
ていく。このように本発明では、最も記録媒体と接触し
やすい角部が優先的に削り取られていくことで、前記溝
部の記録媒体との対向面の側縁部のうち、その中心より
もトレーリング側端面及び／又はリーディング側端面に
かけて削り量は多くなり、前記側縁部には湾曲面が形成
されることになる。Next, a wire having a diameter larger than the width of the groove is prepared. The wire is stretched by a constant tension, and both side edges of the surface of the slider bar facing the recording medium are connected to the wire. To press. As a result, the wire is bent in a mountain shape in a direction away from the groove, and in this state, for example, a slider bar is reciprocated on the wire. Due to friction with the wire, both side corners of the groove formed in the slider bar are preferentially cut off, and both side edges are gradually cut off toward the center of the groove. As described above, in the present invention, the corner which is most likely to come into contact with the recording medium is preferentially scraped off, so that the side edge of the groove facing the recording medium is closer to the trailing side than the center. The shaving amount increases toward the end face and / or the leading end face, and a curved surface is formed at the side edge.
【００４１】本発明によれば、製品化されたスライダの
記録媒体との対向面の角部は、より多く削りとられてＲ
形状で形成されており、これにより記録媒体と接触した
場合に、特に前記記録媒体を損傷させやすかった前記角
部が、記録媒体に接触しても、前記記録媒体は従来に比
べて損傷を受け得ない状態にすることが可能である。According to the present invention, the corner of the surface facing the recording medium of the commercialized slider is more sharply cut off, and
It is formed in a shape, so that when the recording medium comes into contact with the recording medium, and especially when the corners that are apt to damage the recording medium come into contact with the recording medium, the recording medium is more damaged than before. It is possible to make it impossible to obtain.
【００４２】以上のように本発明では、ワイヤを使用
し、前記ワイヤとの摩擦を利用して、スライダバーの状
態で面取り加工を行うことができるものであるから、従
来に比べて面取り加工の形成時間を短縮、加工工程を簡
略化でき、さらにダイサによる面取り加工に比べて均一
な面取り加工を施すことができ、しかも面取り加工の装
置を安価に製造できる。さらに面取り加工時における加
工ストレスも小さいことから、従来におけるブラスト方
式の場合のように、面取り加工面から粒子の脱粒が起こ
ることが無く、前記面取り加工面における損傷の発生も
従来に比べて低減させることができる。As described above, according to the present invention, since the chamfering can be performed in the state of the slider bar by using the wire and utilizing the friction with the wire, the chamfering can be performed in comparison with the related art. The formation time can be shortened, the processing steps can be simplified, more uniform chamfering can be performed than in the case of chamfering using a dicer, and a chamfering apparatus can be manufactured at low cost. Furthermore, since the processing stress at the time of chamfering is small, unlike the case of the conventional blast method, particles do not fall off from the chamfered surface, and the occurrence of damage on the chamfered surface is reduced as compared with the conventional case. be able to.
【００４３】[0043]
【発明の実施の形態】図１は、ハードディスクなどに搭
載される本発明の実施形態の磁気ヘッドを記録媒体との
対向面を上向きにして示した斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a magnetic head according to an embodiment of the present invention mounted on a hard disk or the like with a surface facing a recording medium facing upward.
【００４４】図１に示した磁気ヘッドのスライダ１０
は、アルミナ・チタンカーバイト、またはＡｌ2Ｏ3（ア
ルミナ）などのセラミック材料や金属膜により形成され
ており、記録媒体との対向面１１にエアグルーブ（溝
部）１２が形成され、さらに前記エアグルーブ１２を囲
むようにしてレール部（段差部）１３が形成されてい
る。前記レール部１３の表面１３ａは、対向面１１側に
おいて、最も高い位置に形成された面であり、この表面
１３ａは、ＡＢＳ面と呼ばれ、クラウン形成されている
ことが好ましい。The slider 10 of the magnetic head shown in FIG.
Is formed of a ceramic material such as alumina / titanium carbide or Al 2 O 3 (alumina) or a metal film. An air groove (groove) 12 is formed on a surface 11 facing a recording medium. A rail portion (step portion) 13 is formed so as to surround the groove 12. The surface 13a of the rail portion 13 is a surface formed at the highest position on the opposing surface 11 side, and the surface 13a is called an ABS surface, and is preferably formed with a crown.
【００４５】前記ＡＢＳ面１３ａは、記録媒体（図示し
ない）が回転したときに、スライダ１０と記録媒体との
間の空気流により浮上力を受ける部分であり、エアグル
ーブ１２は、スライダ１０に対して負圧を与える部分で
ある。When the recording medium (not shown) rotates, the ABS 13a receives a floating force due to an air flow between the slider 10 and the recording medium. This is the part that applies negative pressure.
【００４６】図１に示すように、スライダ１のトレーリ
ング側端面Ｂ（端部）には、薄膜素子部１４が設けられ
ている。この薄膜素子部１４は例えばアルミナ（Ａｌ2
Ｏ3）などのセラミック材料による保護膜２４で覆われ
ている。As shown in FIG. 1, a thin film element section 14 is provided on the trailing side end face B (end) of the slider 1. The thin film element portion 14 is made of, for example, alumina (Al 2
It is covered with a protective film 24 made of a ceramic material such as O 3 ).
【００４７】前記薄膜素子部１４は、再生用ヘッドとし
てのＭＲヘッドおよび／または記録用ヘッドとしてのイ
ンダクティブヘッドとで形成された薄膜磁気素子１５
と、この薄膜磁気素子１５内に形成されているコイル層
あるいは電極層と導通接続される電極部１６とで構成さ
れている。The thin-film element section 14 includes a thin-film magnetic element 15 formed of an MR head as a reproducing head and / or an inductive head as a recording head.
And an electrode portion 16 electrically connected to a coil layer or an electrode layer formed in the thin-film magnetic element 15.
【００４８】図１に示すように、薄膜磁気素子１５が形
成されている対向面１１上にはＡＢＳ面１３ａが形成さ
れており、このＡＢＳ面１３ａから、前記薄膜磁気素子
１５のギャップ部Ｇが現れている。As shown in FIG. 1, an ABS 13a is formed on the opposite surface 11 on which the thin-film magnetic element 15 is formed, and a gap G of the thin-film magnetic element 15 is formed from the ABS 13a. Is appearing.
【００４９】次に、スライダ１０の側面形状について以
下に説明する。Next, the side surface shape of the slider 10 will be described below.
【００５０】図１に示すように、記録媒体との対向面１
１の側縁部１７には面取り加工が施され湾曲面１９が形
成されている。前記湾曲面１９は、点線で示す部分（右
側の側縁部１７参照）、すなわち面取り加工前のスライ
ダ１０側縁部からリーディング側端面Ａ及びトレーリン
グ側端面Ｂに向けて前記側縁部から徐々に離れるように
沿って形成されている。As shown in FIG. 1, the surface 1 facing the recording medium
One side edge portion 17 is chamfered to form a curved surface 19. The curved surface 19 gradually extends from the side edge portion toward the leading end surface A and the trailing end surface B from the portion shown by the dotted line (see the right side edge portion 17), that is, from the side edge portion of the slider 10 before chamfering. Are formed so as to be apart from each other.
【００５１】前記側縁部１７は、後に詳述する方法によ
り削り取られ、その削り量は、点線で示すように、その
中心部分Ｃから、リーディング側端面Ａ及びトレーリン
グ側端面Ｂに向けて徐々に多くなっており、これにより
前記側縁部１７には、湾曲面１９が形成されている。ま
た前記側縁部１７が湾曲面１９で形成されることから、
記録媒体との対向面１１の４つの角部１８には、前記湾
曲面１９と連続するＲ面が形成される。The side edge portion 17 is shaved by a method described later in detail, and the shaving amount is gradually increased from the center portion C toward the leading end surface A and the trailing end surface B as shown by a dotted line. As a result, a curved surface 19 is formed on the side edge portion 17. Further, since the side edge portion 17 is formed by the curved surface 19,
At four corners 18 of the surface 11 facing the recording medium, an R surface that is continuous with the curved surface 19 is formed.
【００５２】前述したように、スライダ１０のトレーリ
ング側端面Ｂには、薄膜素子部１４が形成されている
が、本発明では、前記湾曲面１９がトレーリング側端面
Ｂまで延びて形成される場合、前記湾曲面１９は、前記
薄膜素子部１４に達しないように形成されている必要が
ある。As described above, the thin film element portion 14 is formed on the trailing end face B of the slider 10. In the present invention, the curved surface 19 is formed to extend to the trailing end face B. In this case, the curved surface 19 needs to be formed so as not to reach the thin film element portion 14.
【００５３】前記トレーリング側端面Ｂにおける削り量
を多くすることは、側縁部１７に湾曲面１９を形成で
き、よって対向面１１における角部１８をＲ形状にでき
るので、記録媒体への損傷を低減できる観点からすれば
好ましいが、トレーリング側端面Ｂにて薄膜素子部１４
までもが削れて湾曲面１９が形成されると、前記薄膜素
子部１４が破壊されてしまうので、前記トレーリング側
端面Ｂにおける削り量を、薄膜素子部１４にまで達しな
い程度に調整する必要性がある。Increasing the amount of shaving on the trailing side end surface B can form a curved surface 19 on the side edge portion 17 and thus can form the corner portion 18 on the opposing surface 11 into an R shape, thereby damaging the recording medium. Although it is preferable from the viewpoint of reducing the thickness, the thin film element portion 14
If the curved surface 19 is formed by scraping, the thin film element portion 14 will be destroyed. Therefore, it is necessary to adjust the amount of shaving on the trailing side end face B to such an extent that it does not reach the thin film element portion 14. There is.
【００５４】また図１に示すように、スライダ１０の側
面２０には、段差部３４が形成されているが、この段差
部３４は後述する製造方法で説明するように、スライダ
バーから各スライダ１０を切断することにより形成され
るものである。なお、この段差部３４が形成されないよ
うにすることも可能である。As shown in FIG. 1, a step portion 34 is formed on the side surface 20 of the slider 10, and this step portion 34 is moved from a slider bar to each slider 10 as will be described later in a manufacturing method. Is formed by cutting off. In addition, it is also possible to prevent this step 34 from being formed.
【００５５】また図１に示すスライダ１０では、側縁部
１７に形成される湾曲面１９が、リーディング側端面Ａ
及びトレーリング側端面Ｂにかけて形成されているが、
前記湾曲面１９は、リーディング側端面Ａあるいはトレ
ーリング側端面Ｂのどちらか一方にかけて形成されるよ
うにしてもよい。Further, in the slider 10 shown in FIG. 1, the curved surface 19 formed on the side edge portion 17 has the leading end surface A
And the trailing side end surface B,
The curved surface 19 may be formed over either the leading end surface A or the trailing end surface B.
【００５６】また特に磁気ヘッドがランプロード方式で
使用される場合には、前記湾曲面１９は、少なくともト
レーリング側Ｂにのみ形成されていることが好ましい。In particular, when the magnetic head is used in a ramp load system, it is preferable that the curved surface 19 is formed only on the trailing side B at least.
【００５７】図２は、本発明の他の実施形態の磁気ヘッ
ドを記録媒体との対向面を上向きにして示した斜視図で
ある。FIG. 2 is a perspective view showing a magnetic head according to another embodiment of the present invention with a surface facing a recording medium facing upward.
【００５８】図１に示す磁気ヘッドのスライダ１０と、
図２に示す磁気ヘッドのスライダ１０とを比較すると、
記録媒体との対向面１１の形状と湾曲面１９の形成位置
が異なっている。A slider 10 of the magnetic head shown in FIG.
When compared with the slider 10 of the magnetic head shown in FIG.
The shape of the surface 11 facing the recording medium and the formation position of the curved surface 19 are different.
【００５９】図２に示すスライダ１０では、記録媒体と
の対向面１１に、例えばＡＢＳ面１３ａが四角形状にさ
れた３つの段差部１３が部分的に形成されている。In the slider 10 shown in FIG. 2, for example, three step portions 13 each having a rectangular ABS 13a are partially formed on the surface 11 facing the recording medium.
【００６０】そしてこの段差部１３の回りを取り囲むよ
うにしてエアグルーブ（溝部）１２が形成されている。The air groove (groove) 12 is formed so as to surround the step 13.
【００６１】図２に示すように、記録媒体との対向面１
１上に形成された３つのＡＢＳ面１３ａのうち、１つの
ＡＢＳ面１３ａは、スライダ１０の幅方向の中央部分に
形成され、しかもトレーリング側端面Ｂ寄りに形成され
ている。そして残りの２つのＡＢＳ面１３ａは、リーデ
ィング側端面Ａ寄りに形成され、しかも前記２つのＡＢ
Ｓ面１３ａは、互いにスライダ１０の側縁部１７側に寄
って形成されている。As shown in FIG. 2, the surface 1 facing the recording medium
Of the three ABS surfaces 13a formed on one, one ABS surface 13a is formed at the center portion of the slider 10 in the width direction, and is formed near the trailing side end surface B. The remaining two ABS surfaces 13a are formed near the leading-side end surface A.
The S surfaces 13a are formed closer to the side edge 17 of the slider 10.
【００６２】このため図２に示すように、トレーリング
側端面Ｂの中央部分に形成されたＡＢＳ面１３ａの両側
から、スライダ１０の両側縁部１７までには、比較的広
い間隔Ｔ４が空いている。これに対し、リーディング側
端面Ａ寄りに形成された２つのＡＢＳ面１３ａとスライ
ダ１０の側縁部１７までには、前記間隔Ｔ４に比べて狭
い間隔Ｔ３しか空いていない。For this reason, as shown in FIG. 2, a relatively wide interval T4 is left between both sides of the ABS 13a formed at the center of the trailing side end surface B and both side edges 17 of the slider 10. I have. On the other hand, between the two ABS surfaces 13a formed near the leading end surface A and the side edge portion 17 of the slider 10, there is only a space T3 narrower than the space T4.
【００６３】ところで、上述したように、前記ＡＢＳ面
１３ａは、記録媒体（図示しない）が回転したときに、
スライダ１０と記録媒体との間の空気流により浮上力を
受ける部分であり、前記ＡＢＳ面１３ａの面積や形状等
により、記録媒体上でのスライダ１０の浮上距離および
浮上姿勢が制御される。As described above, when the recording medium (not shown) rotates, the ABS 13a
This is a portion that receives a levitation force due to the airflow between the slider 10 and the recording medium. The flying distance and the flying attitude of the slider 10 on the recording medium are controlled by the area and shape of the ABS 13a.
【００６４】このためＡＢＳ面１３ａの面積や形状は、
予め設計の段階で決められているが、仮にスライダ１０
の側縁部１７に形成される湾曲面１９が、前記ＡＢＳ面
１３ａにまで及んで形成され、前記ＡＢＳ面１３ａの一
部が削り取られると、前記ＡＢＳ面１３ａの面積及び形
状が変化し、スライダ１０の浮上特性に影響を与えるこ
とになる。Therefore, the area and shape of the ABS 13a are
Although determined at the design stage in advance, if the slider 10
A curved surface 19 formed on the side edge portion 17 of the slider is formed so as to reach the ABS 13a, and when a part of the ABS 13a is cut off, the area and shape of the ABS 13a change, and the slider 10 will have an effect on the flying characteristics.
【００６５】従って本発明では、スライダ１０の記録媒
体との対向面１１に形成されるＡＢＳ面１３ａにまで及
ばない領域内、すなわち前記ＡＢＳ面１３ａの回りを取
り囲むエアグルーブ（溝部）１２の領域内で湾曲面１９
が形成されるようにすることが好ましい。これによりス
ライダ１０の浮上特性の安定化を図ることができる。Therefore, in the present invention, the area of the slider 10 which is formed on the surface 11 facing the recording medium and which does not extend to the ABS 13a, that is, the area of the air groove (groove) 12 which surrounds the ABS 13a. With curved surface 19
Is preferably formed. Thereby, the flying characteristics of the slider 10 can be stabilized.
【００６６】図２に示す実施例では、前述したように、
スライダ１０のリーディング側端面Ａには、スライダ１
０の側縁部１７側寄りに２つのＡＢＳ面１３ａが形成さ
れており、前記ＡＢＳ面１３ａからスライダ１０の側縁
部１７までには、僅かな間隔Ｔ３しか空いていない。In the embodiment shown in FIG. 2, as described above,
On the leading end surface A of the slider 10, the slider 1
Two ABS surfaces 13a are formed near the side edge portion 17 of the slider 0, and only a small interval T3 is left between the ABS surface 13a and the side edge portion 17 of the slider 10.
【００６７】このため、前記スライダ１０の側縁部１７
に対し、リーディング側端面Ａに向けて湾曲面１９を形
成すると、前記間隔Ｔ３の部分のエアグルーブ（溝部）
１２のみならず、さらにＡＢＳ面１３ａまでが、前記湾
曲面１９の形成によって削られる可能性が高く、従って
図２に示す実施例では、スライダ１０の側縁部１７に形
成される湾曲面１９は、リーディング側端面Ａにかけて
形成されていない。For this reason, the side edge portion 17 of the slider 10
On the other hand, when the curved surface 19 is formed toward the leading end surface A, the air groove (groove) at the interval T3 is formed.
It is highly possible that not only the surface 12 but also the ABS 13a is shaved by the formation of the curved surface 19, and therefore, in the embodiment shown in FIG. , On the leading side end face A.
【００６８】また前記リーディング側端面Ａの角部１
８，１８と、前記リーディング側端面Ａ寄りに形成され
た２つのＡＢＳ面１３ａとの間にも、僅かな間隔しか空
いていないので、仮に記録媒体上で前記スライダ１０が
傾いたとしても、前記角部１８は記録媒体に接触しにく
く、よって前記角部１８がそのまま鋭角状のまま残され
たとしても、記録媒体への損傷が増大することはほとん
どない。The corner 1 of the leading end face A
Since there is only a small gap between the upper and lower surfaces 8 and 18 and the two ABS surfaces 13a formed near the leading-side end surface A, even if the slider 10 is inclined on the recording medium, The corners 18 do not easily come into contact with the recording medium, and therefore, even if the corners 18 are left as they are, the damage to the recording medium hardly increases.
【００６９】一方、トレーリング側端面Ｂ寄りには、ス
ライダ１０の幅方向の中央部分にＡＢＳ面１３ａが形成
されているので、前記ＡＢＳ面１３ａとスライダ１０の
側縁部１７との間には、比較的広い間隔Ｔ４が空いてお
り、従ってスライダ１０の側縁部１７に対し、トレーリ
ング側端面Ｂに向けて湾曲面１９を形成しても、前記湾
曲面１９の形成によって、スライダ１０の中央部分に形
成されたＡＢＳ面１３ａが削られる可能性は低い。On the other hand, near the trailing side end surface B, the ABS surface 13a is formed at the center in the width direction of the slider 10, so that there is a gap between the ABS surface 13a and the side edge 17 of the slider 10. Therefore, even if a curved surface 19 is formed on the side edge 17 of the slider 10 toward the trailing end surface B, a relatively wide interval T4 is formed. It is unlikely that the ABS 13a formed in the central portion will be shaved.
【００７０】よって本発明では図２に示すように、湾曲
面１９をトレーリング側Ｂに向けてのみ形成しており、
図２に示す実施例では、湾曲面１９の形成によってＡＢ
Ｓ面１３ａが削られておらず、浮上特性の安定した磁気
ヘッドを製造することが可能である。Therefore, in the present invention, the curved surface 19 is formed only toward the trailing side B as shown in FIG.
In the embodiment shown in FIG.
It is possible to manufacture a magnetic head having stable flying characteristics without the S surface 13a being shaved.
【００７１】また図２に示すように、スライダ１０のト
レーリング側端面Ｂには、薄膜素子部１４が形成されて
おり、この薄膜素子部１４は、例えばアルミナなどの金
属膜等よりなる保護膜２４で覆われている。As shown in FIG. 2, a thin film element portion 14 is formed on the trailing side end surface B of the slider 10. The thin film element portion 14 is formed of a protective film made of a metal film such as alumina. 24.
【００７２】前記薄膜素子部１４は、ＭＲヘッドおよび
／または記録用のインダクティブヘッドとで形成された
薄膜磁気素子１５と、この薄膜磁気素子１５と導通接続
される電極部１６とで構成されており、図２に示すよう
に、前記薄膜磁気素子１５は、トレーリング側端面Ｂの
ほぼ中心付近に形成されている。The thin-film element section 14 comprises a thin-film magnetic element 15 formed by an MR head and / or an inductive head for recording, and an electrode section 16 electrically connected to the thin-film magnetic element 15. As shown in FIG. 2, the thin-film magnetic element 15 is formed substantially near the center of the trailing-side end face B.
【００７３】前記薄膜磁気素子１５上の対向面１１に
は、前述したスライダ１０の幅方向の中央部分に形成さ
れたＡＢＳ面１３ａが位置しており、前記薄膜磁気素子
１５のギャップ部Ｇが、前記ＡＢＳ面１３ａから現れて
いる。On the opposing surface 11 on the thin-film magnetic element 15, the ABS 13a formed at the center in the width direction of the slider 10 is located. It emerges from the ABS 13a.
【００７４】なおこの実施例においても図１に示すスラ
イダ１０と同様に、スライダ１０の側縁部１７に形成さ
れた前記湾曲面１９は、前記スライダ１０のトレーリン
グ側端面Ｂにおいて、前記薄膜素子部１４にまで達しな
い深さに形成されていることが好ましく、また前記湾曲
面１９の形成により、前記記録媒体との対向面１１の角
部１８には、前記湾曲面１９と連続するＲ面が形成され
ていることが好ましい。In this embodiment, similarly to the slider 10 shown in FIG. 1, the curved surface 19 formed on the side edge portion 17 of the slider 10 has the thin film element on the trailing side end face B of the slider 10. It is preferable that the curved surface 19 is formed at a depth that does not reach the portion 14, and the curved surface 19 forms an R surface continuous with the curved surface 19 at a corner 18 of the surface 11 facing the recording medium. Is preferably formed.
【００７５】なお図２に示す実施例では、スライダ１０
の幅方向の中央部分であって、トレーリング側端面Ｂ寄
りにＡＢＳ面１３ａを形成し、前記ＡＢＳ面１３ａの幅
方向の両側で且つ前記ＡＢＳ面１３ａが形成されていな
い領域に湾曲面１９を形成しているが、このような形状
は、磁気ヘッドがランプロード方式で使用される場合
に、特に最適な設計となっている。In the embodiment shown in FIG.
An ABS surface 13a is formed near the trailing side end surface B in the widthwise center portion, and the curved surface 19 is formed on both sides of the ABS surface 13a in the width direction and in a region where the ABS surface 13a is not formed. Although formed, such a shape is an optimal design particularly when the magnetic head is used in a ramp load system.
【００７６】ランプロード方式の場合、磁気ヘッドは、
ロード／アンロード時にトレーリング側Ｂから記録媒体
に接近し、リーディング側端面Ａから離れるように設計
されるため、リーディング側端面Ａの角部１８等が記録
媒体に接触する確率は、極めて低いのに比べ、トレーリ
ング側端面Ｂの角部１８等が、記録媒体に接触する確率
は、高くなっている。In the case of the ramp load method, the magnetic head
At the time of loading / unloading, the recording medium is designed to approach the recording medium from the trailing side B and move away from the leading end face A, so that the probability that the corners 18 of the leading end face A will contact the recording medium is extremely low. The probability that the corners 18 and the like of the trailing side end surface B come into contact with the recording medium is higher.
【００７７】このため図２に示すように、スライダ１０
の記録媒体との対向面１１に対し、トレーリング側端面
Ｂ寄りのスライダ幅方向の中央部分にＡＢＳ面１３ａを
形成し、前記ＡＢＳ面１３aの幅方向の両側に位置する
側縁部１７に、前記ＡＢＳ面１３ａにまで及ばない領域
内で、湾曲面１９を形成することにより、記録媒体への
損傷をより低減させることが可能になっている。For this reason, as shown in FIG.
An ABS surface 13a is formed at a center portion of the slider width direction near the trailing end surface B with respect to the surface 11 facing the recording medium, and a side edge portion 17 located on both sides of the ABS surface 13a in the width direction is By forming the curved surface 19 in a region that does not reach the ABS 13a, damage to the recording medium can be further reduced.
【００７８】ただし本発明では、図２に示すスライダ１
０の形状に限定するものではない。すなわちスライダ１
０の幅方向の中央部分であり、且つリーディング側端面
Ａ寄りに、ＡＢＳ面１３ａを形成し、前記ＡＢＳ面１３
ａの幅方向の両側に位置する側縁部１７に湾曲面１９を
形成してよいし、あるいはスライダ１０の幅方向の中央
部分であって、リーディング側端面Ａ及びトレーリング
側端面Ｂの双方に、ＡＢＳ面１３ａを形成し、前記リー
ディング側端面Ａ及びトレーリング側端面Ｂに向けて、
スライダ１０の側縁部１７に湾曲面１９を形成してもよ
い。However, in the present invention, the slider 1 shown in FIG.
The shape is not limited to 0. That is, slider 1
An ABS 13a is formed at the center portion in the width direction of 0 and near the leading-side end face A.
The curved surface 19 may be formed on the side edge portion 17 located on both sides in the width direction of a, or the center portion of the slider 10 in the width direction, on both the leading end surface A and the trailing end surface B. , An ABS 13a, and toward the leading end A and the trailing end B,
A curved surface 19 may be formed on the side edge 17 of the slider 10.
【００７９】またＡＢＳ面１３ａの形状についても、図
２に示すように四角形状でなくてよく、どのような形状
であってもかまわない。The shape of the ABS 13a is not limited to a square as shown in FIG. 2, but may be any shape.
【００８０】さらに図１または図２に示す実施例では、
対向面１１上に、浮上力を与えるＡＢＳ面１３ａと、負
圧を与えるエアグルーブ１２とが形成されているが、さ
らに前記ＡＢＳ面１３ａの高さ位置と、エアグルーブ１
２の高さ位置との間の高さ位置を有する段差部が形成さ
れていてもかまわない。Further, in the embodiment shown in FIG. 1 or FIG.
An ABS 13a for giving a levitation force and an air groove 12 for giving a negative pressure are formed on the facing surface 11, and the height position of the ABS 13a and the air groove 1
A step portion having a height position between the second height position and the second height position may be formed.
【００８１】この場合、前記段差部にまで、スライダ１
０の側縁部１７に形成される湾曲面１９が形成されてい
てもかまわないし、あるいは前記段差部にまで及ばない
ように、エアグルーブ１２の部分にのみ前記湾曲面１９
が形成されていてもかまわない。In this case, the slider 1 is extended to the step.
The curved surface 19 may be formed only on the air groove 12 so that the curved surface 19 formed on the side edge portion 17 of the air groove 12 may not be formed.
May be formed.
【００８２】以上のように本発明では、スライダ１０の
記録媒体との対向面１１の側縁部１７には、その中心か
らリーディング側端面Ａおよび／またはトレーリング側
端面Ｂにかけて徐々に削り量が多くなるようにして形成
された湾曲面１９が設けられている。As described above, according to the present invention, the side edge 17 of the surface 11 of the slider 10 facing the recording medium gradually reduces the shaving amount from the center to the leading end face A and / or the trailing end face B. A curved surface 19 formed so as to increase is provided.
【００８３】この湾曲面１９の形成により、スライダ１
０と記録媒体とが接触した際における記録媒体への損傷
を適正に防止でき、特に本発明にあっては、スライダ１
０の記録媒体との対向面１１の角部１８をＲ形状に形成
できるので、従来最も記録媒体へ損傷を与え易かった角
部１８が記録媒体へ接触しても、前記記録媒体の損傷を
従来に比べて低減させることが可能である。By forming the curved surface 19, the slider 1
0 and the recording medium can be properly prevented from being damaged when the recording medium comes into contact with the recording medium.
Since the corner 18 of the surface 11 facing the recording medium of No. 0 can be formed in an R shape, even if the corner 18 which has hitherto most easily damaged the recording medium comes into contact with the recording medium, the damage of the recording medium is prevented. It is possible to reduce as compared with.
【００８４】また本発明では、記録媒体との対向面１１
上に形成されたＡＢＳ面１３ａにまで及ばない対向面１
１の領域内で、湾曲面１９を形成することが好ましく、
これにより、浮上特性の安定化を図ることができる。According to the present invention, the surface 11 facing the recording medium is provided.
Opposing surface 1 that does not extend to the ABS surface 13a formed above
It is preferable to form the curved surface 19 within the region of 1,
Thereby, the flying characteristics can be stabilized.
【００８５】次に本発明におけるスライダ１０の製造方
法について以下に図３ないし図６を参照しながら説明す
る。Next, a method of manufacturing the slider 10 according to the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００８６】まず図３に示すように、複数のスライダ１
０が一列に一体となって形成されたスライダバー２１を
形成し、このスライダバー２１のトレーリング側端面Ｂ
に設けられた各薄膜素子部１４間であって、記録媒体と
の対向面１１に、溝部２２を形成する。この溝部２２の
形成によって形成された側縁部２２ａが、各スライダ１
０の側縁部となる部分である。First, as shown in FIG.
0 form a slider bar 21 integrally formed in a line, and a trailing side end face B of the slider bar 21 is formed.
A groove 22 is formed between the thin film element portions 14 provided on the recording medium and on the surface 11 facing the recording medium. The side edge 22a formed by the formation of the groove 22 is
This is the portion that will be the side edge of 0.
【００８７】次に前記溝部２２の幅寸法よりも大きい径
を有するワイヤを用意する。このワイヤは例えばピアノ
線であり、本発明では前記ワイヤの周囲全体にダイヤモ
ンド砥粒がコーティングされていることが好ましい。Next, a wire having a diameter larger than the width of the groove 22 is prepared. This wire is, for example, a piano wire, and in the present invention, it is preferable that the entire periphery of the wire is coated with diamond abrasive grains.
【００８８】図４に示すようにダイヤモンド砥粒がコー
ティングされたワイヤ２３は、その径Ｔ２が、溝部２２
の幅寸法Ｔ１よりも大きくなっているが、さらに本発明
では、図４に示すように、前記ワイヤ２３を前記溝部２
２の記録媒体との対向面１１の両側縁部２２ａに当接さ
せた際、前記ワイヤ２３の断面で見たときに、前記ワイ
ヤ２３の中心Ｄから前記両側縁部２２ａとの当接点へ延
びる線と、前記ワイヤの中心Ｄから前記溝部２２内に延
びる垂線と、が成す角度が３０〜５０度の範囲となるよ
うに、前記ワイヤ２３の直径が選択されることが好まし
い。最も好ましいのは、前記角度θが４５度となるよう
な径Ｔ２を有するワイヤ２３を選択することである。As shown in FIG. 4, the wire 23 coated with diamond abrasive grains has a
However, in the present invention, as shown in FIG. 4, the wire 23 is connected to the groove 2.
2, when it is brought into contact with both side edges 22a of the surface 11 facing the recording medium, when viewed in a cross section of the wire 23, it extends from the center D of the wire 23 to the contact point with the both sides 22a. Preferably, the diameter of the wire 23 is selected such that the angle between the line and the perpendicular extending from the center D of the wire into the groove 22 is in the range of 30 to 50 degrees. Most preferably, a wire 23 having a diameter T2 such that the angle θ is 45 degrees is selected.
【００８９】前記角度θが３０度から５０度の範囲内に
ならない径Ｔ２を有するワイヤ２３を選択した場合、す
なわち前記角度θが３０度よりも小さい、あるいは５０
度よりも大きい場合には、後述する工程で説明するよう
に、前記ワイヤ２３との摩擦によって削れる前記側縁部
２２ａの部分のうち、記録媒体との対向面１１側におけ
る削り量と、側面２０側における削り量とが大きく異な
ってしまい、製品化されたスライダ１０の側縁部１７
に、図１に示すような適切な形状の湾曲面１９を形成で
きない虞があるからである。When the wire 23 having a diameter T2 that does not fall within the range of 30 to 50 degrees is selected, that is, the angle θ is smaller than 30 degrees or 50 degrees.
If it is larger than the degree, as will be described in a step to be described later, of the side edge portion 22a that is cut by friction with the wire 23, the cut amount on the side facing the recording medium 11 and the side surface 20 The amount of shaving on the side is greatly different, and the side edge 17
In addition, there is a possibility that the curved surface 19 having an appropriate shape as shown in FIG. 1 cannot be formed.
【００９０】本発明では前記ワイヤ２３を一定の張力に
よって張った後、図５に示すように、スライダバー２１
に形成された溝部２２の両側縁部２２ａを、ワイヤ２３
に押し付ける。これによって前記ワイヤ２３は、前記溝
部２２から離れる方向へ山なりに撓む。In the present invention, after the wire 23 is stretched by a constant tension, as shown in FIG.
The two side edges 22a of the groove 22 formed in the
Press As a result, the wire 23 bends in a mountain shape in a direction away from the groove 22.
【００９１】このようにワイヤ２３に、スライダバー２
１の溝部２２の部分を押し付けた状態で、本発明では図
５に示すように、溝部２２の形成方向（Ｘ方向）に沿っ
て、スライダバー２１あるいはワイヤ２３を往復摺動さ
せる。この摺動により、ワイヤ２３との摩擦で、前記ス
ライダバー２１の溝部２２の側縁部２２ａが削られる。As described above, the slider bar 2 is attached to the wire 23.
In the present invention, the slider bar 21 or the wire 23 is reciprocally slid along the forming direction (X direction) of the groove portion 22, as shown in FIG. Due to this sliding, the side edge 22a of the groove 22 of the slider bar 21 is cut by friction with the wire 23.
【００９２】本発明では、前記ワイヤ２３がスライダバ
ー２１に押し付けられ、図５に示すように撓んだ状態で
面取り加工が施されるので、スライダバー２１の各側縁
部２２ａのうち、前記ワイヤ２３と必ず接触した状態に
ある角部から削れていき、徐々に前記角部から前記側縁
部２２ａの中心にかけて削れていく。逆に言えば、前記
側縁部２２ａの中心から角部にかけて削り量が多くな
り、図６に示すように、スライダバー２１の各側縁部２
２ａには、湾曲面１９が形成される。In the present invention, since the wire 23 is pressed against the slider bar 21 and chamfered in a bent state as shown in FIG. It is cut from the corner that is always in contact with the wire 23, and is gradually cut from the corner to the center of the side edge 22a. Conversely, the amount of shaving increases from the center to the corner of the side edge 22a, and as shown in FIG.
A curved surface 19 is formed on 2a.
【００９３】そして本発明では、図６に示すようにスラ
イダバー２１を、各溝部２２から一点鎖線で示すように
切断すると、図１に示すような磁気ヘッドを複数個同時
に得ることが可能である。In the present invention, when the slider bar 21 is cut from each groove 22 as shown by a dashed line as shown in FIG. 6, a plurality of magnetic heads as shown in FIG. 1 can be obtained simultaneously. .
【００９４】なお図６に示すように、最も図示左側にお
けるスライダ１０には、そのトレーリング側端面Ｂに、
薄膜素子部１４が形成されていないが、これは、前記ス
ライダ１０の左側縁部２１ａを、図５に示すワイヤ２３
によって面取り加工できないので、前記スライダ１０は
製品化されることはなく、したがって前記スライダ１０
に薄膜素子部１４が形成されていないのである。As shown in FIG. 6, the slider 10 on the leftmost side in the drawing has a trailing side end face B on its side.
Although the thin film element portion 14 is not formed, the thin film element portion 14 is formed by connecting the left edge portion 21a of the slider 10 to a wire 23 shown in FIG.
Cannot be chamfered, the slider 10 is not commercialized.
Is not formed with the thin film element portion 14.
【００９５】また図６に示す溝部２２から切断した際
に、図１に示す製品化されたスライダ１０の側面２０に
は段差部３４が形成されるが、例えばスライダ１０が記
録媒体上で浮上あるいは摺動している際に、強い衝撃を
受けて傾いたとしても、前記段差部３４は、記録媒体と
の対向面１１から離れた位置にあるので、記録媒体と接
触しにくく、記録媒体への損傷を増大させる原因となる
ことはない。なお、前記段差部３４が形成されないよう
に、各溝部２２からの切断を行ってもよい。When the slider 10 is cut from the groove 22 shown in FIG. 6, a step 34 is formed on the side surface 20 of the commercialized slider 10 shown in FIG. 1. For example, the slider 10 floats on the recording medium or Even if it is tilted due to a strong impact during sliding, the step portion 34 is located far from the surface 11 facing the recording medium, so it is difficult to contact the recording medium, and It does not cause increased damage. In addition, cutting from each groove 22 may be performed so that the step 34 is not formed.
【００９６】次に図７及び図８を参照しながら、本発明
における他のスライダ１０の製造方法について説明す
る。Next, another method of manufacturing the slider 10 according to the present invention will be described with reference to FIGS.
【００９７】まず図３に示す各薄膜素子部１４間に溝部
２２が形成された細長形状のスライダバー２１を形成
し、例えばピアノ線にダイヤモンドがコーティングされ
たワイヤ２３を用意する。First, an elongated slider bar 21 having a groove 22 formed between the thin film element portions 14 shown in FIG. 3 is formed, and a wire 23 in which, for example, a piano wire is coated with diamond is prepared.
【００９８】なお前記ワイヤ２３を、前記溝部２２の記
録媒体との対向面１１の両側縁部２２ａに当接させた
際、前記ワイヤ２３の断面で見たときに、前記ワイヤ２
３の中心Ｄから前記両側縁部２２ａとの当接点へ延びる
線と、前記ワイヤの中心Ｄから前記溝部２２内に延びる
垂線と、が成す角度が３０〜５０度の範囲となるよう
に、前記ワイヤ２３の直径が選択されることが好ましい
（図４参照）。最も好ましいのは、前記角度θが４５度
となるような径Ｔ２を有するワイヤ２３を選択すること
である。When the wire 23 is brought into contact with both side edges 22 a of the surface 11 of the groove 22 facing the recording medium, when viewed in a cross section of the wire 23,
3 and a perpendicular extending from the center D of the wire into the groove 22 so as to form an angle of 30 to 50 degrees. Preferably, the diameter of the wire 23 is selected (see FIG. 4). Most preferably, a wire 23 having a diameter T2 such that the angle θ is 45 degrees is selected.
【００９９】次に前記ワイヤ２３を一定の張力で張った
後、図７に示すように、例えば前記ワイヤ２３を、溝部
２２の形成方向に対して傾けて、スライダバー２１に形
成された溝部２２の、例えばトレーリング側端面Ｂの両
側縁部２２ａにのみ、前記ワイヤ２３を押し付ける。Next, after the wire 23 is tensioned with a constant tension, as shown in FIG. 7, for example, the wire 23 is tilted with respect to the forming direction of the groove 22 so that the groove 22 formed in the slider bar 21 is formed. For example, the wire 23 is pressed only on both side edges 22a of the trailing side end face B.
【０１００】これにより、トレーリング側の両側縁部２
２ａの角部にのみ、ワイヤ２３が押し付けられた状態に
なり、この状態で前記スライダバー２１あるいはワイヤ
２３を、溝部２２の形成方向（Ｘ方向）に沿って、往復
摺動させる。この摺動により、前記ワイヤ２３との摩擦
で、前記トレーリング側端面Ｂにおける両側縁部２２ａ
の角部から優先的に削られていき、徐々に前記角部から
前記側縁部２２ａの中心にかけて削られていく。Thus, both side edges 2 on the trailing side are formed.
The wire 23 is pressed only to the corner portion 2a. In this state, the slider bar 21 or the wire 23 is reciprocally slid along the forming direction of the groove 22 (X direction). By this sliding, both side edges 22a on the trailing side end face B are generated by friction with the wire 23.
From the corner, and gradually from the corner to the center of the side edge 22a.
【０１０１】そして図８に示すように、スライダバー２
１のトレーリング側端面Ｂの両側縁部２２ａにのみ湾曲
面１９が形成された状態となっている。Then, as shown in FIG.
The curved surface 19 is formed only on both side edges 22a of the first trailing side end surface B.
【０１０２】なお、図７に示す工程の際に、スライダバ
ー２１のリーディング側端面Ａの両側縁部２２ａにのみ
ワイヤ２３を押し付けて、前記リーディング側端面Ａの
両側縁部２２ａにのみ湾曲面１９が形成されるようにし
てもかまわない。In the process shown in FIG. 7, the wire 23 is pressed against only the both side edges 22a of the leading end surface A of the slider bar 21, and the curved surfaces 19 are pressed only on the both side edges 22a of the leading end surface A. May be formed.
【０１０３】そして図８に示すようにスライダバー２１
を、各溝部２２から一点鎖線で示すように切断すると、
図２に示すような磁気ヘッドを複数個同時に得ることが
可能である。Then, as shown in FIG.
Is cut from each groove 22 as shown by a dashed line,
It is possible to obtain a plurality of magnetic heads as shown in FIG. 2 at the same time.
【０１０４】図７及び図８に示す製造方法によれば、ワ
イヤ２３と溝部２２との相対角度、ワイヤ２３の押し込
み量、さらには前記ワイヤ２３の張力等を変更すること
で、部分的に所定形状の湾曲面１９を形成でき、また部
分的に大きな形状の湾曲面１９を形成することが可能で
ある。According to the manufacturing method shown in FIGS. 7 and 8, by changing the relative angle between the wire 23 and the groove 22, the pushing amount of the wire 23, the tension of the wire 23, etc. The curved surface 19 having a shape can be formed, and the curved surface 19 having a partially large shape can be formed.
【０１０５】なお記録媒体との対向面１１に形成される
ＡＢＳ面１３ａ（図１，２参照）は、イオンミリング等
によって形成されるものであり、本発明では、前記ＡＢ
Ｓ面１３ａの形成を、どの工程の時に行うかは自由であ
る。The ABS 13a (see FIGS. 1 and 2) formed on the surface 11 facing the recording medium is formed by ion milling or the like.
The process of forming the S surface 13a is optional.
【０１０６】例えば図３に示すスライダバー２１を形成
後、前記スライダバー２１の側縁部２２ａに湾曲面１９
を形成する前に、ＡＢＳ面１３ａの形成を行ってもよい
し、あるいは、スライダバー２１の側縁部２２ａに湾曲
面１９を形成した後に、ＡＢＳ面１３ａを形成してもよ
い。あるいは、前記スライダバー２１から複数のスライ
ダ１０に切断された後、個々のスライダ１０に対してＡ
ＢＳ面１３ａの形成を行ってもかまわない。For example, after forming the slider bar 21 shown in FIG. 3, the curved surface 19 is formed on the side edge 22a of the slider bar 21.
The ABS surface 13a may be formed before forming the surface, or the ABS surface 13a may be formed after the curved surface 19 is formed on the side edge 22a of the slider bar 21. Alternatively, after the slider bar 21 is cut into a plurality of sliders 10, A
The formation of the BS surface 13a may be performed.
【０１０７】またＡＢＳ面１３ａの形状は、どのような
形状であってもかまわない。ただし本発明では、前記湾
曲面１９を、ＡＢＳ面１３ａに及ばない領域に形成する
ことが好ましい。The ABS 13a may have any shape. However, in the present invention, it is preferable that the curved surface 19 is formed in a region that does not reach the ABS 13a.
【０１０８】また前記ＡＢＳ面１３ａを、スライダの幅
方向の中央部分に形成した場合には、前記ＡＢＳ面１３
ａの両側に位置する側縁部２２ａに湾曲面１９を形成す
ることが好ましい。When the ABS 13a is formed at the center of the slider in the width direction, the ABS 13a
It is preferable to form the curved surface 19 on the side edge portions 22a located on both sides of a.
【０１０９】以上のように本発明によれば、複数のスラ
イダが一体形成されたスライダバー２１の状態で、各ス
ライダの側縁部となる溝部２２の複数の側縁部２２ａに
対し、同時に面取り加工を施すことができるので、従来
のように、各スライダごとに面取り加工を施す場合に比
べ、面取り加工の工程を簡略化でき、また面取り加工の
時間を短縮できる。As described above, according to the present invention, in the state of the slider bar 21 in which the plurality of sliders are integrally formed, the plurality of side edges 22a of the groove 22 which is the side edge of each slider are simultaneously chamfered. Since the machining can be performed, the chamfering process can be simplified and the time for the chamfering can be shortened as compared with the conventional case where the chamfering is performed for each slider.
【０１１０】さらに本発明では、面取り加工を、ダイヤ
モンド砥粒のコーティングされたワイヤを使用し、この
ワイヤとの摩擦によって行う比較的簡単なものであるの
で、面取り加工を容易に行うことができ、また面取り加
工に用いる装置も安価に製造可能である。また前記ワイ
ヤとの摩擦によって面取り加工を施すので、面取り加工
の施される側縁部２２ａにおける加工ストレスを小さく
でき、図６に示す湾曲面１９に外傷などは発生しにく
い。さらに前記ワイヤのスライダバー２１に対する押し
込み量や、前記ワイヤとスライダバー２１との相対位
置、またはワイヤの張力等を変えることで、スライダバ
ー２１の側縁部２２ａに形成される湾曲面１９を所定の
形状に形成でき、しかも前記湾曲面１９の形状を容易に
変更することが可能である。Further, according to the present invention, since the chamfering is relatively simple, using a wire coated with diamond abrasive grains and by friction with the wire, the chamfering can be easily performed. Also, an apparatus used for chamfering can be manufactured at low cost. Further, since the chamfering is performed by friction with the wire, the processing stress on the side edge portion 22a to be chamfered can be reduced, and the curved surface 19 shown in FIG. Further, by changing the amount of pushing of the wire against the slider bar 21, the relative position between the wire and the slider bar 21, or the tension of the wire, the curved surface 19 formed on the side edge 22a of the slider bar 21 is fixed. The shape of the curved surface 19 can be easily changed.
【０１１１】また面取り加工は、ダイヤモンド砥粒のコ
ーティングされたワイヤを使用する以外に、例えば砥粒
を含んだスラリーを、ピアノ線のみで構成されるワイヤ
と、スライダバーの側縁部２２ａとの間に流し込み、前
記ワイヤとの摩擦で行う方法などで行ってもよい。ただ
し、この場合であると、後にスライダバーに付着したス
ラリーを洗浄する必要性があるなど、面取り工程に時間
がかかり、ダイヤモンド砥粒のコーティングされたワイ
ヤを使用する場合に比べると好ましくないと考えられ
る。In addition to using a wire coated with diamond abrasive grains, the chamfering processing may be performed, for example, by applying a slurry containing abrasive grains to a wire composed only of a piano wire and a side edge 22a of a slider bar. It may be carried out by a method of pouring into the gap and friction with the wire. However, in this case, it is necessary to clean the slurry adhered to the slider bar later, so that the chamfering process takes time, which is not preferable compared to the case where a wire coated with diamond abrasive grains is used. Can be
【０１１２】次に本発明における磁気ヘッドの製造装置
について説明する。Next, an apparatus for manufacturing a magnetic head according to the present invention will be described.
【０１１３】図９は本発明における製造装置の部分平面
図、図１０は、図９に示す製造装置の部分正面図であ
る。FIG. 9 is a partial plan view of the manufacturing apparatus according to the present invention, and FIG. 10 is a partial front view of the manufacturing apparatus shown in FIG.
【０１１４】図９に示す製造装置２５は、図３に示すス
ライダバー２１に形成された溝部２２の側縁部２２ａに
対し、図６あるいは図８に示すような湾曲面１９を形成
する工程に用いられるものである。The manufacturing apparatus 25 shown in FIG. 9 performs a step of forming a curved surface 19 as shown in FIG. 6 or 8 on the side edge 22a of the groove 22 formed in the slider bar 21 shown in FIG. What is used.
【０１１５】前記製造装置２５には、ワイヤガイド板２
９，３０が並列に設けられており、このワイヤガイド板
２９，３０上には、複数個の円形状のピン３１が設置さ
れている。ワイヤ２７の一端は、ワイヤガイド板３０上
で固定部材２８によって固定されており、ワイヤ２７が
複数のピン３１の外周に沿って架け渡され、前記ワイヤ
２７の他端が、ワイヤガイド板３０上で固定部材３２に
よって固定されている。前記ワイヤ２７は、ダイヤモン
ド砥粒がコーティングされたものであり、しかも前記ワ
イヤ２７の径は、スライダバー２１に形成された溝部２
２の幅寸法よりも大きいものである。The manufacturing apparatus 25 includes the wire guide plate 2
9 and 30 are provided in parallel, and a plurality of circular pins 31 are installed on the wire guide plates 29 and 30. One end of the wire 27 is fixed on a wire guide plate 30 by a fixing member 28, and the wire 27 is bridged along the outer circumference of the plurality of pins 31, and the other end of the wire 27 is fixed on the wire guide plate 30. And is fixed by a fixing member 32. The wire 27 is coated with diamond abrasive grains, and the diameter of the wire 27 is the same as that of the groove 2 formed in the slider bar 21.
2 is larger than the width dimension.
【０１１６】前記ワイヤ２７を架け渡した状態で、例え
ばワイヤガイド板２９を図示Ｘ１方向（図示左方向）に
動かし、これによって、前記ワイヤ２７には一定の張力
がかかった状態になる。In a state where the wire 27 is bridged, for example, the wire guide plate 29 is moved in the X1 direction (left direction in the figure), whereby a constant tension is applied to the wire 27.
【０１１７】このように前記ワイヤ２７が、ワイヤガイ
ド板２９上に形成された複数のピン３１に架け渡された
ことにより、ワイヤガイド板２９，３０間においては、
複数条のワイヤ２７ａ〜２７ｈがそれぞれ平行に張られ
た状態になっている。As described above, since the wire 27 is stretched over the plurality of pins 31 formed on the wire guide plate 29, the wire guide plate 29,
A plurality of wires 27a to 27h are stretched in parallel.
【０１１８】また、スライダバー２１の記録媒体との対
向面１１には、図２に示すように、複数の溝部２２が形
成されているが、前記ワイヤガイド板２９，３０間に張
られた各ワイヤ２７ａ〜２７ｈの間隔は、前記溝部２２
の間隔の整数倍となっている。As shown in FIG. 2, a plurality of grooves 22 are formed in the surface 11 of the slider bar 21 facing the recording medium, and each groove 22 extends between the wire guide plates 29 and 30. The interval between the wires 27a to 27h is
Is an integral multiple of the interval.
【０１１９】前記スライダバー２１は、記録媒体との対
向面１１に形成された溝部２２側が、ワイヤ２７ａ〜２
７ｈに対向するように、保持部材３３によって保持され
る。The slider bar 21 has a groove 22 formed on the surface 11 facing the recording medium and wires 27a to 27a.
It is held by the holding member 33 so as to face 7h.
【０１２０】また前記保持部材３３には、駆動手段（図
示しない）が設けられており、この駆動手段によって、
前記保持部材３３が図１０に示すようにＺ方向に駆動
し、前記保持部材３３に設置されたスライダバー２１の
溝部２２の側縁部２２ａの部分が、ワイヤ２７ａ〜２７
ｈに押し付けられる。The holding member 33 is provided with a driving means (not shown).
The holding member 33 is driven in the Z direction as shown in FIG. 10, and the side edge 22a of the groove 22 of the slider bar 21 installed on the holding member 33 is connected to the wires 27a to 27.
h.
【０１２１】この場合、図１に示すようにスライダ１０
のリーディング側端面Ａ及びトレーリング側端面Ｂの双
方に向けて湾曲面１９を形成したい場合には、スライダ
バー２１に形成された溝部と、ワイヤ２７ａ〜２７ｈと
の相対位置を平行にしておき、また図２に示すように、
スライダ１０のリーディング側端面Ａあるいはトレーリ
ング側端面Ｂのどちらか一方にのみ向けて湾曲面１９を
形成したい場合には、例えば保持部材３３を斜めに傾け
て、スライダバー２１の溝部とワイヤ２７ａ〜２７ｈと
の相対位置を傾けておく。In this case, as shown in FIG.
When it is desired to form the curved surface 19 toward both the leading side end surface A and the trailing side end surface B, the relative positions of the grooves formed in the slider bar 21 and the wires 27a to 27h are set in parallel. Also, as shown in FIG.
When it is desired to form the curved surface 19 only on one of the leading end face A and the trailing end face B of the slider 10, for example, the holding member 33 is inclined obliquely, and the groove of the slider bar 21 and the wires 27a to The position relative to 27h is inclined.
【０１２２】スライダバー２１の溝部２２の部分がワイ
ヤ２７ａ〜２７ｈに押し付けられると、前記ワイヤ２７
ａ〜２７ｈは、前記溝部２２から離れる方向に撓む。When the groove 22 of the slider bar 21 is pressed against the wires 27a to 27h, the wire 27
a to 27h bend in a direction away from the groove portion 22.
【０１２３】そして図９に示すように、前記溝部２２の
形成方向（Ｘ１−Ｘ２）に沿って、保持部材３３と共に
スライダバー２１が往復摺動させられ、これによって、
ワイヤ２７ａ〜２７ｈに押し付けられた部分の溝部２２
の側縁部２２ａには、湾曲面１９の形成による面取り加
工が施される。As shown in FIG. 9, the slider bar 21 is reciprocally slid together with the holding member 33 along the direction (X1-X2) in which the groove 22 is formed.
Groove 22 at a portion pressed against wires 27a to 27h
Is chamfered by forming the curved surface 19.
【０１２４】さらに前述したように、各ワイヤ２７ａ〜
２７ｈの間隔は、溝部２２の間隔の整数倍ごとに張られ
た状態にあるので、本発明における製造装置２５には、
未だ面取り加工の施されていないスライダバー２１の溝
部２２を面取り加工するために、スライダバー２１をワ
イヤ２７ａ〜２７ｈから離した状態で図示Ｙ方向に一溝
部２２分だけスライドさせて、面取り加工の施されてい
ない溝部２２をワイヤ２７ａ〜２７ｈ上に対向させる送
り手段（図示しない）が設けられている。As described above, each of the wires 27a to 27a
Since the interval of 27h is stretched at every integral multiple of the interval of the groove 22, the manufacturing apparatus 25 of the present invention includes:
In order to chamfer the groove portion 22 of the slider bar 21 that has not been chamfered, the slider bar 21 is slid by one groove portion 22 in the Y direction in the drawing in a state where the slider bar 21 is separated from the wires 27a to 27h. Feeding means (not shown) is provided to make the groove 22 that is not applied face the wires 27a to 27h.
【０１２５】送り手段によって送られた後は、再び前述
した駆動手段を駆動させて、前記スライダバー２１をワ
イヤ２７ａ〜２７ｈに押し付けて面取り加工を施す。こ
のように送り手段及び駆動手段を繰返し動作させること
によって、スライダバー２１に形成された全ての溝部２
２に対し面取り加工を施す。前記繰返し動作は、１回で
もよいし、また複数回往復させることによって行なわれ
てもよい。After being fed by the feeding means, the above-mentioned driving means is driven again to press the slider bar 21 against the wires 27a to 27h to perform chamfering. By repeatedly operating the feeding means and the driving means in this manner, all the grooves 2 formed in the slider bar 21 are formed.
2 is chamfered. The repetition operation may be performed once or may be performed by reciprocating a plurality of times.
【０１２６】本発明における製造装置２５は、比較的簡
単な機構部を設けることにより製造できるものであり、
従来のようにブラスト方式による面取り加工装置などに
比べ安価に製造可能である。The manufacturing apparatus 25 according to the present invention can be manufactured by providing a relatively simple mechanism.
It can be manufactured at lower cost than a conventional blasting chamfering apparatus.
【０１２７】また前述したように、前記製造装置２５で
は、スライダバー２１に形成された溝部２２の数分だけ
ワイヤ２７ａ〜２７ｈを設けるものではなく、一定の溝
部２２間ごとにワイヤ２７ａ〜２７ｈを張り、送り手段
によってスライダバー２１をスライドさせることによ
り、前記スライダバー２１に形成された全ての溝部を面
取り加工できるものである。なおスライダバー２１に形
成される溝部２２と同数のワイヤを張ってもかまわな
い。さらに、ワイヤガイド板２９，３０側を摺動させて
面取り加工を施してもよい。As described above, in the manufacturing apparatus 25, the wires 27a to 27h are not provided by the number of the grooves 22 formed in the slider bar 21, but the wires 27a to 27h are provided every fixed groove 22. By tensioning and sliding the slider bar 21 by the feeding means, all the grooves formed in the slider bar 21 can be chamfered. Note that the same number of wires as the grooves 22 formed in the slider bar 21 may be used. Further, chamfering may be performed by sliding the wire guide plates 29 and 30 sides.
【０１２８】なお実施例における磁気ヘッドは、スライ
ダの側縁部に薄膜素子部が設けられたものであるが、本
発明では、バルクタイプの素子部がスライダに設けられ
た磁気ヘッドについても適用可能である。Although the magnetic head in the embodiment has a thin film element portion provided on the side edge of the slider, the present invention is also applicable to a magnetic head having a bulk type element portion provided on the slider. It is.
【０１２９】[0129]
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、ス
ライダの記録媒体との対向面の側縁部に、その中心から
トレーリング側端面および／またはーディング側端面に
かけて削り量が多くなるように湾曲面を形成でき、また
特に記録媒体と接触しやすかった記録媒体との対向面の
角部をＲ形成できるので、従来に比べて記録媒体への損
傷を低減させることが可能である。As described above in detail, according to the present invention, the amount of shaving increases from the center to the trailing end surface and / or the leading end surface of the side edge of the slider facing the recording medium. As described above, the curved surface can be formed, and particularly, the corner of the surface facing the recording medium which is easily contacted with the recording medium can be formed in a round shape.
【０１３０】また前記湾曲面を、少なくともトレーリン
グ側に形成することで、特にランプロード方式の磁気ヘ
ッドの場合には、記録媒体への損傷を効果的に低減させ
ることができる。By forming the curved surface at least on the trailing side, damage to the recording medium can be effectively reduced, particularly in the case of a ramp-load type magnetic head.
【０１３１】またスライダの記録媒体との対向面にはＡ
ＢＳ面が形成されており、本発明では、前記スライダの
側縁部に形成される湾曲面を、前記ＡＢＳ面にまで及ば
ない対向面の領域内で形成することにより、浮上特性の
安定化を図ることができる。The surface of the slider facing the recording medium has A
In the present invention, the curved surface formed on the side edge portion of the slider is formed in the area of the opposing surface that does not reach the ABS surface, thereby stabilizing the flying characteristics. Can be planned.
【０１３２】また本発明における製造方法では、複数の
スライダが一体形成されたスライダバーの状態で、面取
り加工を施すことができるので、従来のように、各スラ
イダごとに面取り加工を施す場合に比べ、面取り加工の
工程を簡略化でき、また面取り加工の時間を短縮でき
る。In the manufacturing method according to the present invention, chamfering can be performed in a state of a slider bar in which a plurality of sliders are integrally formed, which is different from the conventional case where chamfering is performed for each slider. In addition, the process of chamfering can be simplified, and the time for chamfering can be shortened.
【０１３３】さらに本発明では、面取り加工を、ダイヤ
モンド砥粒のコーティングされたワイヤを使用し、この
ワイヤとの摩擦によって行う比較的簡単なものであるの
で、面取り加工を容易に行うことができ、また従来のよ
うにダイサを用いる場合に比べ、均一な面取り加工を施
すことができ、さらに面取り加工に用いる装置も安価に
製造可能である。また前記ワイヤとの摩擦によって面取
り加工を施すので、面取り加工の施される部分（側縁
部）における加工ストレスを小さくでき、形成される湾
曲面に外傷などが発生しにくい。Further, according to the present invention, since the chamfering process is relatively simple by using a wire coated with diamond abrasive grains and by friction with the wire, the chamfering process can be easily performed. Also, compared to the case where a dicer is used as in the related art, uniform chamfering can be performed, and an apparatus used for chamfering can be manufactured at low cost. Further, since the chamfering is performed by friction with the wire, a processing stress in a portion (side edge portion) where the chamfering is performed can be reduced, and the formed curved surface is less likely to be damaged.
【図１】ハードディスクなどに搭載される本発明の実施
形態の磁気ヘッドを記録媒体との対向面を上向きにして
示した斜視図、FIG. 1 is a perspective view showing a magnetic head mounted on a hard disk or the like according to an embodiment of the present invention with a surface facing a recording medium facing upward;
【図２】ハードディスクなどに搭載される本発明の他の
実施形態の磁気ヘッドを記録媒体との対向面を上向きに
して示した斜視図、FIG. 2 is a perspective view showing a magnetic head mounted on a hard disk or the like according to another embodiment of the present invention with a surface facing a recording medium facing upward;
【図３】本発明における磁気ヘッドの製造工程を示すス
ライダバーの部分斜視図、FIG. 3 is a partial perspective view of a slider bar showing a manufacturing process of a magnetic head according to the present invention.
【図４】図３に示す製造工程の次の工程であり、スライ
ダー及びワイヤの部分正面図、FIG. 4 is a process subsequent to the manufacturing process shown in FIG. 3, and is a partial front view of a slider and a wire;
【図５】図４に示す製造工程の次の工程であり、スライ
ダバーに形成された溝部にワイヤを当接させた際の部分
拡大斜視図、FIG. 5 is a process subsequent to the manufacturing process shown in FIG. 4, and is a partially enlarged perspective view when a wire is brought into contact with a groove formed in a slider bar;
【図６】図５に示す製造工程の次の工程であり、面取り
加工が施された状態を示すスライダバーの部分斜視図、FIG. 6 is a partial perspective view of the slider bar, which is a process subsequent to the manufacturing process shown in FIG. 5, and shows a state where chamfering has been performed;
【図７】本発明における磁気ヘッドの他の製造工程を示
すスライダバーの部分斜視図、FIG. 7 is a partial perspective view of a slider bar showing another manufacturing process of the magnetic head according to the present invention.
【図８】図７に示す製造工程の次の工程であり、面取り
加工が施された状態のスライダバーの部分斜視図、8 is a step subsequent to the manufacturing step shown in FIG. 7, and is a partial perspective view of the slider bar in a state where chamfering has been performed;
【図９】本発明における磁気ヘッドの製造装置の部分平
面図、FIG. 9 is a partial plan view of a magnetic head manufacturing apparatus according to the present invention;
【図１０】本発明における磁気ヘッドの製造装置の部分
正面図、FIG. 10 is a partial front view of a magnetic head manufacturing apparatus according to the present invention;
【図１１】ハードディスクなどに搭載される従来の磁気
ヘッドを記録媒体との対向面を上向きにして示した斜視
図、FIG. 11 is a perspective view showing a conventional magnetic head mounted on a hard disk or the like with a surface facing a recording medium facing upward;
【図１２】面取り加工を施す際のスライダーの部分斜視
図、FIG. 12 is a partial perspective view of a slider when chamfering is performed;
１０ スライダ １１ 記録媒体との対向面 １３ レール部（段差部） １３ａ ＡＢＳ面 １４ 薄膜素子部 １７ （スライダの）側縁部 １８ （記録媒体との対向面の）角部 １９ 湾曲面 ２１ スライダバー ２２ 溝部 ２２ａ （溝部の）側縁部 ２３、２７、２７ａ〜２７ｈ ワイヤ ２５ 製造装置 ３３ 保持部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Slider 11 Surface facing recording medium 13 Rail part (step part) 13a ABS surface 14 Thin film element part 17 Side edge part (of slider) 18 Corner part (of surface facing recording medium) 19 Curved surface 21 Slider bar 22 Groove 22a Side edge (of groove) 23, 27, 27a to 27h Wire 25 Manufacturing device 33 Holding member
Claims (14)
グ側に設けられた磁気記録および／または再生用の素子
部とを有する磁気ヘッドにおいて、前記スライダに設け
られた記録媒体との対向面の側縁部には、前記トレーリ
ング側および／またはリーディング側に向けて側縁部か
ら徐々に離れる湾曲面が設けられていることを特徴とす
る磁気ヘッド。In a magnetic head having a slider and a magnetic recording and / or reproducing element provided on a trailing side of the slider, a side edge of a surface of the slider facing a recording medium provided on the slider. A magnetic head characterized in that a portion is provided with a curved surface gradually separated from a side edge portion toward the trailing side and / or the leading side.
側に向けて形成されている請求項１記載の磁気ヘッド。2. The magnetic head according to claim 1, wherein the curved surface is formed at least toward a trailing side.
されて、前記段差を介して前記対向面側において最も高
い位置にある面が、記録媒体上の空気流からの浮上力を
受けるＡＢＳ面であり、前記湾曲面は、前記ＡＢＳ面に
及ばない領域に形成されている請求項１または２に記載
の磁気ヘッド。3. A step is formed on a surface facing the recording medium, and a surface located at the highest position on the side of the facing surface via the step is an ABS surface which receives a floating force from an air flow on the recording medium. The magnetic head according to claim 1, wherein the curved surface is formed in a region that does not extend to the ABS surface.
央部分に前記ＡＢＳ面が形成されており、前記ＡＢＳ面
の前記幅方向の両側で且つ前記ＡＢＳ面が形成されてい
ない領域に前記湾曲面が形成されている請求項１ないし
３のいずれかに記載の磁気ヘッド。4. The opposite surface, wherein the ABS surface is formed at a center portion of the slider in the width direction, and the curved surface is formed on both sides of the ABS surface in the width direction and in a region where the ABS surface is not formed. 4. The magnetic head according to claim 1, wherein a surface is formed.
幅方向の中央部分に位置するＡＢＳ面に、前記トレーリ
ング側に設けられた素子部のギャップ部が現れている請
求項４記載の磁気ヘッド。5. A gap portion of an element portion provided on the trailing side appears on an ABS surface located at a central portion in the width direction provided at a central portion in the width direction. Magnetic head.
いる場合に、この湾曲面は、トレーリング側に設けられ
た前記素子部に達しない深さに形成されている請求項１
ないし５のいずれかに記載の磁気ヘッド。6. When the curved surface extends to the trailing side, the curved surface is formed to a depth that does not reach the element portion provided on the trailing side.
6. The magnetic head according to any one of items 5 to 5.
側および／またはリーディング側の角部には、前記湾曲
面と連続するＲ面が形成されている請求項１ないし６の
いずれかに記載の磁気ヘッド。7. The curved surface which is continuous with the curved surface is formed at a corner on the trailing side and / or the leading side of the surface facing the recording medium. Magnetic head.
グ側端面に設けられた磁気記録および／または再生用の
素子部とを有する磁気ヘッドの製造方法において、 トレーリング側端面に複数の素子部が形成されたスライ
ダバーを形成し、各素子部間であって前記スライダバー
の記録媒体との対向面に、溝部を形成する第１工程と、 前記溝部の幅寸法よりも大きい径を有するワイヤを、一
定の張力によって張り、前記スライダバーに形成された
溝部に前記ワイヤを押し付ける第２工程と、 前記溝部の形成方向に沿って、前記ワイヤと前記溝部と
を摺動させ、前記溝部の両側縁部に、トレーリング側お
よびリーディング側にかけて徐々に削り量が多くなる湾
曲面を形成する第３工程と、 前記スライダバーを、前記溝部で切断する第４工程と、 を有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。8. A method of manufacturing a magnetic head having a slider and a magnetic recording and / or reproducing element provided on a trailing end face of the slider, wherein a plurality of element parts are formed on the trailing end face. A first step of forming a groove on the slider bar between the element portions and on a surface of the slider bar facing the recording medium; and a wire having a diameter larger than the width dimension of the groove. A second step of pressing the wire against a groove formed in the slider bar by applying a constant tension, and sliding the wire and the groove along the direction in which the groove is formed; A third step of forming a curved surface in which the shaving amount gradually increases toward the trailing side and the leading side; and a fourth step of cutting the slider bar by the groove. Method of manufacturing a magnetic head, characterized by.
前記スライダバーの溝部とワイヤとの相対位置を傾け
て、前記スライダバーのトレーリング側またはリーディ
ング側のどちらか一方の溝部の両側角部に、前記ワイヤ
を押し付ける工程と、 さらに上記第３工程に代えて、 前記溝部の形成方向に沿って、前記ワイヤと前記溝部と
を摺動させ、前記溝部の両側縁部に、トレーリング側あ
るいはリーディング側のどちらか一方にかけて徐々に削
り量が多くなる湾曲面を形成する工程と、 を有する請求項８記載の磁気ヘッドの製造方法。9. Instead of the second step, when pressing a wire against a groove of the slider bar,
Tilting the relative position between the groove of the slider bar and the wire and pressing the wire against both side corners of one of the grooves on the trailing side or the leading side of the slider bar; Instead, the wire and the groove are slid along the direction in which the groove is formed, and both sides of the groove are curved so that the amount of shaving gradually increases toward either the trailing side or the leading side. 9. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 8, comprising: forming a surface.
して、前記段差を介して前記対向面側において最も高い
位置にある面を記録媒体上の空気流からの浮上力を受け
るＡＢＳ面とする工程を含み、 前記湾曲面を、前記ＡＢＳ面に及ばない領域に形成する
請求項８または９に記載の磁気ヘッドの製造方法。10. A step is formed on a surface facing the recording medium, and the surface located at the highest position on the side of the facing surface via the step is an ABS surface which receives a levitation force from an air flow on the recording medium. The method for manufacturing a magnetic head according to claim 8, further comprising: forming the curved surface in a region that does not extend to the ABS.
中央部分に形成し、前記ＡＢＳ面の両側に前記湾曲面を
形成する請求項１０記載の磁気ヘッドの製造方法。11. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 10, wherein the ABS is formed at a central portion in a width direction of the slider, and the curved surfaces are formed on both sides of the ABS.
粒がコーティングされたものを使用する請求項８ないし
１１のいずれかに記載の磁気ヘッドの製造方法。12. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 8, wherein the wire has a periphery coated with diamond abrasive grains.
接させた状態を前記ワイヤの断面で見たときに、前記ワ
イヤの中心から前記両側縁部との当接点へ延びる線と、
前記ワイヤの中心から前記溝部内に延びる垂線と、が成
す角度が３０〜５０度の範囲となるように、前記ワイヤ
の直径が選択される請求項８ないし１１２のいずれかに
記載の磁気ヘッドの製造方法。13. A line extending from the center of the wire to a contact point with the both side edges when a state in which the wire is in contact with both side edges of the groove is viewed in a cross section of the wire,
112. The magnetic head according to claim 8, wherein a diameter of the wire is selected such that an angle formed between the wire and a perpendicular extending from the center into the groove is in a range of 30 to 50 degrees. Production method.
の素子部と、各素子部間であって記録媒体との対向面に
形成された溝部とを有するスライダバーを保持する保持
部材と、 前記溝部の幅寸法よりも大きな径を有するワイヤが、前
記溝部の間隔の整数倍の間隔で複数条が平行となるよう
に張られているワイヤガイド部材と、 前記複数条のワイヤがそれぞれ前記スライダバーの溝部
に押し付けられた状態で、前記保持部材と前記ワイヤガ
イド部材の少なくとも一方を前記溝部の形成方向に沿っ
て往復移動させて、前記溝部の両側縁部に面取り加工を
施す駆動手段と、 前記保持部材と前記ワイヤガイド部材の少なくとも一方
を前記溝部の並び方向へ移動させて、前記ワイヤにより
面取り加工する溝部を更新していく送り手段とが設けら
れていることを特徴とする磁気ヘッドの製造装置。14. A holding member for holding a slider bar having a plurality of element portions formed on a trailing side end surface, and a groove portion between each element portion and formed on a surface facing a recording medium; A wire guide member in which a wire having a diameter larger than the width of the groove is stretched so that a plurality of wires are parallel at intervals of an integral multiple of the interval of the groove; and A driving unit configured to reciprocate at least one of the holding member and the wire guide member in a direction in which the groove portion is formed in a state where the holding member and the wire guide member are pressed against the groove portion to perform chamfering on both side edges of the groove portion; A feed unit is provided for moving at least one of the holding member and the wire guide member in the direction in which the grooves are arranged, and updating the grooves to be chamfered by the wires. An apparatus for manufacturing a magnetic head, comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16652699A JP3774333B2 (en) | 1999-02-01 | 1999-06-14 | Magnetic head, method for manufacturing the same, and apparatus for manufacturing the magnetic head |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-23864 | 1999-02-01 | ||
| JP2386499 | 1999-02-01 | ||
| JP16652699A JP3774333B2 (en) | 1999-02-01 | 1999-06-14 | Magnetic head, method for manufacturing the same, and apparatus for manufacturing the magnetic head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000293828A true JP2000293828A (en) | 2000-10-20 |
| JP3774333B2 JP3774333B2 (en) | 2006-05-10 |
Family
ID=26361297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16652699A Expired - Fee Related JP3774333B2 (en) | 1999-02-01 | 1999-06-14 | Magnetic head, method for manufacturing the same, and apparatus for manufacturing the magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3774333B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6926582B2 (en) | 2002-04-16 | 2005-08-09 | Hitachi Global Storage Technologies Nethrlands B.V. | System and method for rounding disk drive slider corners and/or edges using a flexible slider fixture, an abrasive element, and support elements to control slider orientation |
| JP2011139522A (en) * | 2001-11-09 | 2011-07-14 | Messier Bugatti | Passive device for increasing transmission efficiency of high frequency system |
-
1999
- 1999-06-14 JP JP16652699A patent/JP3774333B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011139522A (en) * | 2001-11-09 | 2011-07-14 | Messier Bugatti | Passive device for increasing transmission efficiency of high frequency system |
| US6926582B2 (en) | 2002-04-16 | 2005-08-09 | Hitachi Global Storage Technologies Nethrlands B.V. | System and method for rounding disk drive slider corners and/or edges using a flexible slider fixture, an abrasive element, and support elements to control slider orientation |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3774333B2 (en) | 2006-05-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7630173B2 (en) | Tape head having a support plate with contoured surface | |
| US4333229A (en) | Method of manufacturing thin film magnetic head/slider combination | |
| JP4374841B2 (en) | Method and apparatus for attaching a microactuator to a slider device | |
| JPS59132416A (en) | Magnetic head slider assembly | |
| US6776690B2 (en) | Storage device slider with sacrificial lapping extension | |
| EP0558983A1 (en) | Tripad air bearing magnetic head slider | |
| US20060223418A1 (en) | Method and apparatus for treating the surface of a media, such as a magnetic hard disk, while operating, such as during dynamic electrical testing | |
| US5548886A (en) | Method of manufacturing floating magnetic head device | |
| US5640755A (en) | Method for manufacturing a magnetic head | |
| US6663817B1 (en) | Method for manufacture of sliders | |
| JP2000293828A (en) | Magnetic head, its production, and device for producing the magnetic head | |
| US7281317B2 (en) | Manufacturing method of flying magnetic head slider | |
| JP3765907B2 (en) | Head slider and disk device | |
| JP3764846B2 (en) | Manufacturing method of magnetic head | |
| EP0627732A1 (en) | Thin film transducer with reduced flying height | |
| JP2000215429A (en) | Method and jig for grinding magnetic head slider | |
| US9431035B2 (en) | Method of shaping a trailing edge of a slider | |
| US9165573B1 (en) | Method for controlling camber on air bearing surface of a slider | |
| EP0689198A2 (en) | Hard disk drive transducer-slider having controlled contact bearing with controlled pitch and roll | |
| JPH08203050A (en) | Manufacture of magnetic head slider | |
| JPH06162431A (en) | Production of laminated magnetic head | |
| JPS60229211A (en) | Manufacture for magnetic head | |
| JPH04285721A (en) | Manufacture of magnetic head | |
| JPH03127389A (en) | Floating magnetic head | |
| JP2008084379A (en) | Thin film magnetic head slider superior in slidability and manufacturing method thereof |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050209 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050222 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050421 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050920 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051114 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20051215 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060207 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060217 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090224 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100224 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100224 Year of fee payment: 4 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100224 Year of fee payment: 4 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110224 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110224 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120224 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120224 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130224 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140224 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |