JP3652359B2

JP3652359B2 - Polishing device

Info

Publication number: JP3652359B2
Application number: JP2003304528A
Authority: JP
Inventors: 勝弥奥村; 利一郎青木; 比呂海矢島; 雅子小寺; 志朗三島; 厚重田; 政義廣瀬; 憲雄木村; 誠二石川
Original assignee: Ebara Corp; Toshiba Corp
Current assignee: Ebara Corp; Toshiba Corp
Priority date: 1993-09-21
Filing date: 2003-08-28
Publication date: 2005-05-25
Anticipated expiration: 2020-05-25
Also published as: JP2004006992A

Description

本発明はポリッシング装置に係り、特に半導体ウエハ等のポリッシング対象物を研磨部に搬入して研磨した後に洗浄部で洗浄し、清浄なポリッシング対象物を搬出するポリッシング装置に関する。 The present invention relates to a polishing apparatus, and more particularly, to a polishing apparatus that carries a polishing object such as a semiconductor wafer into a polishing unit, polishes it, and then cleans it by a cleaning unit and carries out a clean polishing object.

近年、半導体デバイスの高集積化が進むにつれて回路の配線が微細化し、配線間距離もより狭くなりつつある。特に０．５μｍ以下の光リソグラフィの場合、焦点深度が浅くなるためステッパの結像面の平坦度を必要とする。
そこで、半導体ウエハの表面を平坦化することが必要となるが、この平坦化法の１手段としてポリッシング装置により研磨することが行われている。 In recent years, as semiconductor devices are highly integrated, circuit wiring is becoming finer and the distance between wirings is becoming narrower. In particular, in the case of optical lithography of 0.5 μm or less, the depth of focus becomes shallow, so that the flatness of the imaging surface of the stepper is required.
Therefore, it is necessary to flatten the surface of the semiconductor wafer, but polishing is performed by a polishing apparatus as one means of this flattening method.

従来のポリッシング装置の多くは、研磨のみを単独で行うものであった。従って、研磨後の洗浄を行う場合にはポリッシング装置から洗浄装置への搬送が必要であり、異なる研磨条件で再び研磨を行う場合にはポリッシング装置から別のポリッシング装置への搬送が必要であった。これらの搬送は、搬送途中でのウエハの乾燥を防ぐために水中保管で人手により行われていた。しかし、このように各機器が独立して設けられており、また、その間の搬送が水中保管で行われていることから、ポリッシング装置や洗浄装置等をクリーンルーム内に設置すること、および工程の全自動化が困難であるという問題があった。 Many of the conventional polishing apparatuses perform polishing alone. Therefore, when performing cleaning after polishing, conveyance from the polishing apparatus to the cleaning apparatus is necessary, and when performing polishing again under different polishing conditions, conveyance from the polishing apparatus to another polishing apparatus is necessary. . In order to prevent the wafer from being dried during the transfer, these transfers have been performed manually in water storage. However, each device is provided independently as described above, and since the transport between them is performed underwater storage, it is necessary to install a polishing device, a cleaning device, etc. in a clean room and to complete the process. There was a problem that automation was difficult.

これらの問題を解決するために、研磨部と洗浄部を同一のパッケージ内に収納したポリッシング装置が開発されている。また、必要に応じて、複数の研磨部が同一のパッケージ内に収納されたポリッシング装置とする可能性がある。 In order to solve these problems, a polishing apparatus in which a polishing unit and a cleaning unit are housed in the same package has been developed. Further, if necessary, there is a possibility that a polishing apparatus in which a plurality of polishing units are housed in the same package.

このように、研磨部と洗浄部とを一体化したポリッシング装置、および複数の研磨部が同一のパッケージ内に収納されたポリッシング装置等においては、ポリッシング装置内での全体としての処理速度を高くするために、従来からポリッシング装置以外の半導体製造プロセス、例えばエッチングや化学的蒸着（ＣＶＤ）の装置に取り入れられているように、各機能ごとにユニット化をはかり、かつ汎用の搬送ロボットを使用すること、即ち、いわゆるクラスター構造を採用することが考えられる。 As described above, in a polishing apparatus in which the polishing unit and the cleaning unit are integrated, and a polishing apparatus in which a plurality of polishing units are accommodated in the same package, the overall processing speed in the polishing apparatus is increased. For this reason, unitization is required for each function and a general-purpose transfer robot is used, as conventionally incorporated in semiconductor manufacturing processes other than polishing equipment, such as etching and chemical vapor deposition (CVD) equipment. That is, it is conceivable to adopt a so-called cluster structure.

しかし、上述のようにポリッシング装置にクラスター構造を採用する場合に、即ち、各機能ごとにユニット化を図り汎用の搬送ロボットで搬送を行う場合に、ポリッシング装置では、研磨後の半導体ウエハが砥液や研磨屑等によりダーティかつウェットな状態であるのに対して、ロード部およびアンロード部等ではクリーンかつドライな状態にあり、この異なった状態の半導体ウエハを搬送およびハンドリングすることになる。従って、従来の他の半導体製造プロセス装置のクラスター構造におけるロボットのように単一のロボットおよびアーム、または、単に到達範囲や配置だけの必要から複数あるだけでダーティとクリーンの使い分けがなされていないロボットおよびアームでは、ポリッシング装置内での十分な搬送およびハンドリングを行うことが出来ず、もしそのまま適用するとすれば、ロボットおよびアームの洗浄および乾燥工程を必要に応じて追加しなければならず、処理能力の低下等の問題が起こる可能性がある。 However, when the cluster structure is adopted in the polishing apparatus as described above, that is, when a unit is formed for each function and transported by a general-purpose transport robot, in the polishing apparatus, the semiconductor wafer after polishing is a polishing liquid. In contrast to the dirty and wet state due to the polishing scraps and the like, the load portion and the unload portion are in a clean and dry state, and the semiconductor wafers in different states are transported and handled. Therefore, a single robot and arm, like a robot in a cluster structure of another conventional semiconductor manufacturing process apparatus, or a robot that does not have a separate use of dirty and clean due to the necessity of simply reaching range and arrangement And arm cannot perform sufficient transfer and handling in the polishing machine, and if applied as it is, the robot and arm cleaning and drying processes must be added as necessary, and the processing capacity There is a possibility that a problem such as a decrease in the number of times will occur.

また、ポリッシング装置内でダーティな半導体ウエハをハンドリングした後のロボットまたはアームをそのまま長時間放置した場合には、研磨スラリー中の砥粒や研磨屑という固形分が乾燥、固着して、次回のポリッシング時の半導体ウエハの逆汚染、およびポリッシング装置内の汚染の原因になる恐れがある。 In addition, if the robot or arm after handling a dirty semiconductor wafer in the polishing machine is left as it is for a long time, the solids such as abrasive grains and polishing debris in the polishing slurry dries and adheres to the next polishing. There is a risk that it may cause back contamination of the semiconductor wafer and contamination in the polishing apparatus.

本発明は上述の事情に鑑みなされたもので、クリーンルーム内に設置することができるポリッシング装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a polishing apparatus that can be installed in a clean room.

上述した目的を達成するため、本発明のポリッシング装置の１態様は、少なくとも２つの研磨部を有し、ポリッシング対象物を搬入して研磨した後に洗浄し、清浄なポリッシング対象物を搬出するポリッシング装置であって、ポリッシング装置をカバーで覆い排気を独自に設けることによりクリーンルーム内に設置し、研磨後のポリッシング対象物を洗浄し乾燥させる１つの洗浄部と、洗浄後の清浄で乾燥したポリッシング対象物を載置してクリーンルーム内に搬出するためのアンロード部とを備え、前記少なくとも２つの研磨部と前記１つの洗浄部は、各々の研磨部でポリッシング対象物を研磨した後に洗浄する機能と、同一のポリッシング対象物に関して前記複数の研磨部で２回の研磨を実施してさらに洗浄する機能の両方を具備することを特徴とする。 To achieve the above object, one aspect of the polishing apparatus of the present invention, have at least two abrasive portions, polishing apparatus washed after polishing by carrying a polishing object, it carries out the clean polishing object a is, and installed in a clean room by providing its own exhaust have covered a polishing apparatus with a cover, and one cleaning unit for cleaning the polishing object after polishing drying, polishing subject and dried after cleaning cleaning and a unloading section for unloading the objects to be placed inside a clean room, the at least two polishing portions and the one of the cleaning section has a function of cleaning after polishing the polished object with each of the polishing section When, this comprising both functions to further washing was performed a polishing twice with the plurality of polishing portions for the same polishing object The features.

本発明のポリッシング装置の他の態様は、複数の研磨部を有し、ポリッシング対象物を搬入して研磨した後に洗浄し、清浄なポリッシング対象物を搬出するポリッシング装置であって、ポリッシング装置をカバーで覆い排気を独自に設けることによりクリーンルーム内に設置し、研磨後のポリッシング対象物を洗浄し乾燥させる１つの洗浄部と、洗浄後の清浄で乾燥したポリッシング対象物を載置してクリーンルーム内に搬出するためのアンロード部とを備え、前記１つの洗浄部は、１つの研磨部で研磨されたポリッシング対象物と、他の研磨部で研磨されたポリッシング対象物を洗浄する機能を具備することを特徴とする。 Another aspect of the polishing apparatus of the present invention, have a plurality of polishing portions, washed after polishing by carrying a polishing object, a polishing apparatus for unloading clean polishing object, cover polishing apparatus It was placed in a clean room by independently providing the covering has exhaust in, and one cleaning unit for cleaning the polishing object after polishing drying, dried after washing clean the polishing target object is placed in a clean room and a unloading section for unloading the said one of the cleaning unit, comprising: a polishing object is polished by a single polishing section, the function of the polishing object is polished to wash with other abrasive portion characterized in that it.

本発明の好ましい態様は、ポリッシング対象物を搬入して研磨した後に洗浄し、清浄なポリッシング対象物を搬出するポリッシング装置であって、把持アームを具備しポリッシング装置内でポリッシング対象物を搬送して各部に受け渡す汎用搬送ロボットと、前記汎用搬送ロボットを中心としてその周囲に配置され、研磨を行うべきポリッシング対象物を載置するロード部と、該ロード部から搬入されたポリッシング対象物を研磨する少なくとも１つの研磨部と、研磨後のポリッシング対象物を洗浄する少なくとも１つの洗浄部と、洗浄後の清浄なポリッシング対象物を載置するアンロード部と、隣接する２つの部分間でポリッシング対象物を搬送して受け渡す専用搬送機構と、を備え、前記汎用搬送ロボットはクリーンなポリッシング対象物を搬送し、前記専用搬送機構はダーティなポリッシング対象物を搬送することを特徴とする。 A preferred embodiment of the present invention is a polishing apparatus that carries in and polishes a polishing object and then cleans it, and carries out a clean polishing object. The polishing apparatus includes a gripping arm and conveys the polishing object in the polishing apparatus. A general-purpose transfer robot to be transferred to each unit, a load unit that is arranged around the general-purpose transfer robot and places a polishing target to be polished, and a polishing target that has been carried in from the load unit is polished. At least one polishing part, at least one cleaning part for cleaning the polished polishing object, an unloading part for placing the cleaned polishing object after cleaning, and the polishing object between two adjacent parts And a dedicated transfer mechanism for transferring and delivering the said general purpose transfer robot Conveying the said dedicated transport mechanism is characterized by conveying the dirty polishing object.

また、本発明の好ましい態様は、ポリッシング対象物を搬入して研磨した後に洗浄し、清浄なポリッシング対象物を搬出するポリッシング装置であって、把持アームを具備しポリッシング装置内でポリッシング対象物を搬送して各部に受け渡す汎用搬送ロボットと、前記汎用搬送ロボットを中心としてその周囲に配置され、研磨を行うべきポリッシング対象物を載置するロード部と、該ロード部から搬入されたポリッシング対象物を研磨する少なくとも１つの研磨部と、研磨後のポリッシング対象物を洗浄する少なくとも１つの洗浄部と、洗浄後の清浄なポリッシング対象物を載置するアンロード部と、を備え、前記汎用搬送ロボットはクリーンなポリッシング対象物のみを搬送する把持アームとダーティなポリッシング対象物のみを搬送する把持アームとを具備することを特徴とする。 A preferred embodiment of the present invention is a polishing apparatus that carries in and polishes a polishing object and then cleans it and carries out a clean polishing object. The polishing apparatus includes a gripping arm and conveys the polishing object in the polishing apparatus. A general-purpose transfer robot to be transferred to each unit, a load unit placed around the general-purpose transfer robot around which the polishing target object to be polished is placed, and a polishing target object transferred from the load unit. The general-purpose transfer robot includes at least one polishing unit for polishing, at least one cleaning unit for cleaning the polished polishing object, and an unloading unit for placing the cleaned polishing object after cleaning. A gripping arm that transports only clean polishing objects and only dirty polishing objects Characterized by comprising a gripping arm.

さらに、本発明の好ましい態様は、ポリッシング対象物を搬入して研磨した後に洗浄し、清浄なポリッシング対象物を搬出するポリッシング装置であって、把持アームを具備しポリッシング装置内でポリッシング対象物を搬送して各部に受け渡す汎用搬送ロボットと、前記汎用搬送ロボットを中心としてその周囲に配置され、研磨を行うべきポリッシング対象物を載置するロード部と、該ロード部から搬入されたポリッシング対象物を研磨する少なくとも１つの研磨部と、研磨後のポリッシング対象物を洗浄する少なくとも１つの洗浄部と、洗浄後の清浄なポリッシング対象物を載置するアンロード部と、を備え、前記汎用搬送ロボットは２台設置され、一方の汎用搬送ロボットはクリーンなポリッシング対象物のみを搬送し、他方の汎用搬送ロボットはダーティなポリッシング対象物のみを搬送することを特徴とする。 Furthermore, a preferred aspect of the present invention is a polishing apparatus that carries in and polishes a polishing object and then cleans it, and carries out a clean polishing object. The polishing apparatus includes a gripping arm and conveys the polishing object in the polishing apparatus. A general-purpose transfer robot to be transferred to each unit, a load unit placed around the general-purpose transfer robot around which the polishing target object to be polished is placed, and a polishing target object transferred from the load unit. The general-purpose transfer robot includes at least one polishing unit for polishing, at least one cleaning unit for cleaning the polished polishing object, and an unloading unit for placing the cleaned polishing object after cleaning. Two general-purpose transport robots are installed, and one general-purpose transport robot transports only clean polishing objects and the other general-purpose transport robot. Robot is characterized in that only carry dirty polishing object.

本発明によれば、汎用搬送ロボットの周辺にロード部、アンロード部、研磨部及び洗浄部が配置されている。ロード部に載置されたクリーンなポリッシング対象物は１台の汎用搬送ロボットによりピッキングされ研磨部にローディングされた後、研磨部で研磨される。研磨が終了したダーティなポリッシング対象物は研磨部と洗浄部間に設置された専用搬送機構により洗浄部に移送され、洗浄部で洗浄が行われる。洗浄乾燥の終了したクリーンなポリッシング対象物は、再び汎用搬送ロボットによりアンロード部に載置される。 According to the present invention, the loading unit, the unloading unit, the polishing unit, and the cleaning unit are arranged around the general-purpose transfer robot. The clean polishing object placed on the load unit is picked by one general-purpose transport robot, loaded onto the polishing unit, and then polished by the polishing unit. The dirty polishing object after polishing is transferred to the cleaning unit by a dedicated transport mechanism installed between the polishing unit and the cleaning unit, and is cleaned in the cleaning unit. The clean polishing object that has been washed and dried is again placed on the unload section by the general-purpose transport robot.

また、本発明によれば、汎用搬送ロボットの周辺にロード部、アンロード部、研磨部及び洗浄部が配置されている。ロード部に載置されたクリーンなポリッシング対象物は汎用搬送ロボットのクリーン専用把持アームによりピッキングされ研磨部にローディングされた後、研磨部で研磨される。研磨が終了したダーティなポリッシング対象物は汎用搬送ロボットのダーティ専用把持アームにより洗浄部に移送され、洗浄部で洗浄が行われる。洗浄乾燥の終了したクリーンなポリッシング対象物は、再び汎用搬送ロボットのクリーン専用把持アームによりアンロード部に載置される。 According to the present invention, the loading unit, the unloading unit, the polishing unit, and the cleaning unit are arranged around the general-purpose transfer robot. The clean polishing object placed on the load unit is picked by the clean dedicated gripping arm of the general-purpose transport robot, loaded onto the polishing unit, and then polished by the polishing unit. The dirty polishing object that has been polished is transferred to the cleaning unit by the dirty dedicated gripping arm of the general-purpose transport robot, and is cleaned by the cleaning unit. After the cleaning and drying, the clean polishing object is again placed on the unloading section by the clean dedicated gripping arm of the general-purpose transport robot.

本発明によれば、汎用搬送ロボットの周辺にロード部、アンロード部、研磨部及び洗浄部が配置されている。ロード部に載置されたクリーンなポリッシング対象物はクリーン専用の汎用搬送ロボットによりピッキングされ研磨部にローディングされた後、研磨部で研磨される。研磨が終了したダーティなポリッシング対象物はダーティ専用の汎用搬送ロボットにより洗浄部に移送され、洗浄部で洗浄が行われる。洗浄乾燥の終了したクリーンな半導体ウエハは、再びクリーン専用の汎用搬送ロボットによりアンロード部に載置される。 According to the present invention, the loading unit, the unloading unit, the polishing unit, and the cleaning unit are arranged around the general-purpose transfer robot. A clean polishing object placed on the load unit is picked by a general purpose transfer robot dedicated to clean, loaded onto the polishing unit, and then polished by the polishing unit. The dirty polishing object that has been polished is transferred to the cleaning unit by a general-purpose transfer robot dedicated to dirty, and is cleaned in the cleaning unit. After the cleaning and drying, the clean semiconductor wafer is again placed on the unloading section by a clean general purpose transfer robot.

本発明によれば、ポリッシング装置をクリーンルーム内に設置することができる。 According to the present invention, the polishing apparatus can be installed in a clean room.

本発明によれば、研磨、洗浄等の各機能ごとにユニット化を図り、かつ汎用の搬送ロボットを使用するクラスター構造のポリッシング装置を構成することができる。このことから、洗浄工程を含む一連の研磨を行うポリッシング装置において省スペース化と処理速度の向上を達成でき、研磨部及び洗浄部等の各機器に関して効率的な組み合わせにすること、即ち研磨時間が洗浄の処理間隔に比べて長い場合は複数の研磨部に対して１つの洗浄部で対応し、研磨時間が洗浄の処理間隔に比べて短い場合は研磨部よりも多くの洗浄部で対応すること等ができ、更に、１又は２以上の研磨工程及び洗浄工程を全自動化することができるとともに工程の変更に容易に対応できる。 According to the present invention, it is possible to configure a polishing apparatus having a cluster structure that is unitized for each function such as polishing and cleaning and that uses a general-purpose transfer robot. From this, it is possible to achieve space saving and improvement in processing speed in a polishing apparatus that performs a series of polishing including a cleaning process, and to make an efficient combination of each device such as a polishing unit and a cleaning unit, that is, polishing time. If the cleaning interval is longer than the cleaning interval, a single cleaning unit is used for a plurality of polishing units. If the polishing time is shorter than the cleaning interval, more cleaning units are required than the polishing unit. Furthermore, one or two or more polishing steps and cleaning steps can be fully automated and can easily cope with process changes.

また、本発明によれば、クリーンなポリッシング対象物とダーティなポリッシング対象物を個別にハンドリングする手段を有するため、ダーティなポリッシング対象物に起因する他のポリッシング対象物の汚染及びポリッシング装置内の汚染を防止することができる。 Further, according to the present invention, since there is a means for individually handling a clean polishing object and a dirty polishing object, contamination of other polishing objects caused by the dirty polishing object and contamination in the polishing apparatus Can be prevented.

以下、本発明に係るポリッシング装置の実施例を図面に基づいて説明する。以下の実施例においては、ポリッシング対象物として半導体ウエハを例にとり説明する。
（第１実施例）
図１は本発明のポリッシング装置の第１実施例の構成を示す図である。本ポリッシング装置は、中央部に汎用搬送ロボットを構成するセンターロボット１０を備え、センターロボット１０の周辺でアーム１０−１の到達範囲に、ポリッシングを必要とする半導体ウエハＳを載置するロード部１１、ポリッシングを完了した半導体ウエハを載置するアンロード部１２、半導体ウエハＳをポリッシングする研磨部１３，１４、半導体ウエハＳを洗浄する洗浄部１５を備えている。 Hereinafter, embodiments of a polishing apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, a semiconductor wafer will be described as an example of the polishing object.
(First embodiment)
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a first embodiment of a polishing apparatus according to the present invention. The polishing apparatus includes a center robot 10 that constitutes a general-purpose transfer robot at the center, and a load unit 11 that places a semiconductor wafer S that needs polishing in the reach of the arm 10-1 around the center robot 10. , A polishing unit 13 and 14 for polishing the semiconductor wafer S, and a cleaning unit 15 for cleaning the semiconductor wafer S are provided.

研磨部１３，１４は、それぞれポリッシングヘッド支持アーム１３−３，１４−３及びターンテーブル１３−４，１４−４を有し、ポリッシングヘッド支持アーム１３−３，１４−３にはトップリング（後述する）が回転自在に設けられている。ポリッシングヘッド支持アーム１３−３，１４−３は、それぞれ半導体ウエハＳを各研磨部のロードポジション１３−１，１４−１からターンテーブル１３−４，１４−４の上へ搬送する専用搬送機構を構成する。またポリッシングヘッド支持アーム１３−３，１４−３は、それぞれ半導体ウエハＳを研磨部１３，１４から洗浄部１５へ搬送する専用搬送機構を構成する。なお、１６，１７は研磨部１３，１４のターンテーブル１３−４，１４−４に張付けられている研磨クロス（布）のドレッシング（目たて）をするドレッシングツール（ブラシ状のツール）を載置するドレッシングツール載置台である。 The polishing units 13 and 14 have polishing head support arms 13-3 and 14-3 and turntables 13-4 and 14-4, respectively. The polishing head support arms 13-3 and 14-3 have a top ring (described later). Is provided rotatably. The polishing head support arms 13-3 and 14-3 are dedicated transfer mechanisms for transferring the semiconductor wafer S from the load positions 13-1 and 14-1 of the polishing units onto the turntables 13-4 and 14-4, respectively. Constitute. Further, the polishing head support arms 13-3 and 14-3 constitute dedicated transport mechanisms for transporting the semiconductor wafer S from the polishing units 13 and 14 to the cleaning unit 15, respectively. Reference numerals 16 and 17 denote dressing tools (brush-like tools) for dressing the polishing cloth (cloth) attached to the turntables 13-4 and 14-4 of the polishing units 13 and 14. It is a dressing tool placement table to be placed.

上記のように配置されたポリッシング装置において、ロード部１１に載置されたポリッシングを必要とする半導体ウエハＳはセンターロボット１０のローディング把持アーム１０−１でピッキング（真空吸着）され、研磨面が下向きになるように反転された後、研磨部１３のロードポジション１３−１に移送される。研磨部１３のポリッシングヘッド支持アーム１３−３はその先端部に設けられたトップリングで半導体ウエハＳをチャッキング（吸着）し、半導体ウエハＳの研磨面を回転しているテーブル１３−４の上面に押し当て半導体ウエハＳの表面を研磨する。この時トップリング自体は、その軸心回わりに回転すると共に、ポリッシングヘッド支持アーム１３−３によってターンテーブル１３−４上を揺動するようになっている。 In the polishing apparatus arranged as described above, the semiconductor wafer S placed on the load portion 11 and requiring polishing is picked (vacuum suction) by the loading gripping arm 10-1 of the center robot 10, and the polishing surface faces downward. And then transferred to the load position 13-1 of the polishing unit 13. The polishing head support arm 13-3 of the polishing unit 13 chucks (sucks) the semiconductor wafer S with a top ring provided at the tip thereof, and the upper surface of the table 13-4 rotating the polishing surface of the semiconductor wafer S. And the surface of the semiconductor wafer S is polished. At this time, the top ring itself rotates about its axis and swings on the turntable 13-4 by the polishing head support arm 13-3.

ポリッシングの終了した半導体ウエハＳはポリッシングヘッド支持アーム１３−３により、洗浄部１５のローディング位置１５−１に移送される。ローディング位置１５−１で半導体ウエハＳを解放したポリッシングヘッド支持アーム１３−３は、ドレッシングツール載置台１６でドレッシングツール１６−１をチャッキングし、ターンテーブル１３−４にドレッシングツール１６−１を押し当て研磨クロス（布）のドレッシングをする。但し、このドレッシングは後述するように専用のドレッシング機構を設けてもよい（図２及び図３参照）。 The polished semiconductor wafer S is transferred to the loading position 15-1 of the cleaning unit 15 by the polishing head support arm 13-3. The polishing head support arm 13-3 that has released the semiconductor wafer S at the loading position 15-1 chucks the dressing tool 16-1 with the dressing tool mounting table 16, and pushes the dressing tool 16-1 against the turntable 13-4. Dressing the contact cloth (cloth). However, this dressing may be provided with a dedicated dressing mechanism as described later (see FIGS. 2 and 3).

なお、センターロボット１０のローディング専用アーム１０−１により研磨部１４のロードポジション１４−１に移送された半導体ウエハＳもポリッシングヘッド支持アーム１４−３のトップリングでチャッキングされ、回転しているターンテーブル１４−４の上面に押し当てられ研磨される。ポリッシングの終了した半導体ウエハＳは洗浄部１５のローディング位置１５−２に移送される。また、ローディング位置１５−２で半導体ウエハＳを解放したポリッシングヘッド支持アーム１４−３は、ドレッシングツール載置台１７でドレッシングツール１７−１をチャッキングし、ターンテーブル１４−４にドレッシングツール１７−１を押し当て研磨クロス（布）のドレッシングをする。 The semiconductor wafer S transferred to the load position 14-1 of the polishing unit 14 by the loading arm 10-1 of the center robot 10 is also chucked and rotated by the top ring of the polishing head support arm 14-3. It is pressed against the upper surface of the table 14-4 and polished. The polished semiconductor wafer S is transferred to the loading position 15-2 of the cleaning unit 15. Further, the polishing head support arm 14-3 that has released the semiconductor wafer S at the loading position 15-2 chucks the dressing tool 17-1 with the dressing tool mounting table 17, and the dressing tool 17-1 on the turntable 14-4. Press to dress the polishing cloth (cloth).

洗浄部１５のローディング位置１５−１，１５−２に移送された半導体ウエハＳは、洗浄部１５内で一次洗浄、二次洗浄された後、アンローディング位置１５−３に移送される。アンローディング位置１５−３に移送された半導体ウエハＳは、センターロボット１０のアンロード専用把持アーム１０−２によりアンロード部１２に移送される。上記動作は全て自動的に行われる。以下、研磨部１４、洗浄部１５の詳細を説明する。 The semiconductor wafer S transferred to the loading positions 15-1 and 15-2 of the cleaning unit 15 is first cleaned and second cleaned in the cleaning unit 15, and then transferred to the unloading position 15-3. The semiconductor wafer S transferred to the unloading position 15-3 is transferred to the unload unit 12 by the unloading dedicated gripping arm 10-2 of the center robot 10. All the above operations are performed automatically. Details of the polishing unit 14 and the cleaning unit 15 will be described below.

図２（ａ）は本発明のポリッシング装置の構成を示す一部平面図で、同図（ｂ）は洗浄機構１５の上段部分を示す図、図３は図２（ａ）のＡ１−Ａ２断面を示す図、図４は図２（ａ）のＢ１−Ｂ２断面を示す図、図５は図２（ａ）のＣ１−Ｃ２−Ｃ３−Ｄ１断面を示す図、図６は図２（ａ）のＤ１−Ｄ２断面を示す図である。図２乃至図６は図１と同様に第１実施例を説明する図であるが、図２乃至図６では、ドレッシングツール及びドレッシングツール載置台を設けないで、別途ドレッシング機構１５−１１を設けた場合を示している。ロード部１１に載置された半導体ウエハＳはセンターロボット１０のアーム１０−１でピッキングされ、反転機構１１−２に於いて、研磨面が下を向くように反転されて、しかる後に、研磨部１４のロードポジション１４−１に移送される。図３に示されるように半導体ウエハＳはポリッシングヘッド支持アーム１４−３の先端部に設けられたトップリング１４−５でチャッキング（真空吸着）され、ターンテーブル１４−４の上方に搬送される。 2A is a partial plan view showing the structure of the polishing apparatus of the present invention, FIG. 2B is a view showing an upper part of the cleaning mechanism 15, and FIG. 3 is a cross section taken along line A1-A2 of FIG. 4 is a diagram showing a B1-B2 cross section of FIG. 2 (a), FIG. 5 is a diagram showing a C1-C2-C3-D1 cross section of FIG. 2 (a), and FIG. 6 is FIG. 2 (a). It is a figure which shows the D1-D2 cross section of. 2 to 6 are views for explaining the first embodiment as in FIG. 1, but in FIGS. 2 to 6, a dressing tool and a dressing tool mounting table are not provided, but a separate dressing mechanism 15-11 is provided. Shows the case. The semiconductor wafer S placed on the load unit 11 is picked by the arm 10-1 of the center robot 10, and is inverted by the reversing mechanism 11-2 so that the polishing surface faces downward. 14 load positions 14-1. As shown in FIG. 3, the semiconductor wafer S is chucked (vacuum suction) by the top ring 14-5 provided at the tip of the polishing head support arm 14-3, and is conveyed above the turntable 14-4. .

ここでトップリング１４−５は下降し、図４に示されるようにモータ１４−６によりタイミングベルト１４−７を介して回転しているターンテーブル１４−４の上面に半導体ウエハＳを押し当てポリッシングする。ポリッシングの終了した半導体ウエハＳは、図５に示されるように洗浄部１５のローディング位置１５−２の開口部に待機しているリンス洗浄容器１５−４に収容され、リンス洗浄水によりリンス洗浄される。このリンス洗浄時、ローディング位置１５−２の開口部は蓋体１５−５で閉鎖されるようになっている。また、半導体ウエハＳを解放したトップリング１４−５は洗浄部１５のローディング位置で洗浄機構（図示せず）により洗浄される。 Here, the top ring 14-5 is lowered, and the semiconductor wafer S is pressed against the upper surface of the turntable 14-4 rotated by the motor 14-6 via the timing belt 14-7 as shown in FIG. To do. As shown in FIG. 5, the polished semiconductor wafer S is accommodated in a rinse cleaning container 15-4 waiting in an opening at a loading position 15-2 of the cleaning unit 15 and rinsed with rinse cleaning water. The During the rinse cleaning, the opening at the loading position 15-2 is closed with a lid 15-5. Further, the top ring 14-5 having released the semiconductor wafer S is cleaned by a cleaning mechanism (not shown) at the loading position of the cleaning unit 15.

リンス洗浄された半導体ウエハＳは図５の矢印ａで示されるように搬送され、反転機構１５−６に達する。ここで位置決め反転機構１５−６で研磨された面が再び上を向くように、吸着反転され、一次洗浄ステーション１５−７に移送され、ここで洗浄水（純水）により一次洗浄される。続いて半導体ウエハＳはトランスファロボット１５−８（図６参照）によりピックアップされ、矢印ｂ，ｃに示すように移送され、二次洗浄ステーション１５−９に到達する。半導体ウエハＳは二次洗浄ステーション１５−９で洗浄水（純水）により二次洗浄される。 The rinsed semiconductor wafer S is transported as indicated by arrow a in FIG. 5 and reaches the reversing mechanism 15-6. Here, the surface is polished by the positioning and reversing mechanism 15-6 so that the surface is again turned up, and is reversed and transferred to the primary cleaning station 15-7, where it is primarily cleaned with cleaning water (pure water). Subsequently, the semiconductor wafer S is picked up by the transfer robot 15-8 (see FIG. 6), transferred as indicated by arrows b and c, and reaches the secondary cleaning station 15-9. The semiconductor wafer S is secondarily cleaned with cleaning water (pure water) at the secondary cleaning station 15-9.

二次洗浄された半導体ウエハＳはセンターロボット１０のアンロード専用アーム１０−２でピックアップされ、図６の矢印ｄ，ｅに示すように移送され、図１に示すアンロード部１２に載置される。なお、１５−１１はターンテーブル１４−４の上面の研磨クロス（布）のドレッシングを行うドレッシング機構であり、図３に示すように回転ブラシ１５−１２が設けられている。なお、図２乃至図６で示す構成の研磨部１３，１４及び洗浄部の構成は一例であり、これに限定されるものではない。 The second-cleaned semiconductor wafer S is picked up by an unloading arm 10-2 of the center robot 10, transferred as indicated by arrows d and e in FIG. 6, and placed on the unloading section 12 shown in FIG. The Reference numeral 15-11 denotes a dressing mechanism for dressing a polishing cloth (cloth) on the upper surface of the turntable 14-4, and a rotating brush 15-12 is provided as shown in FIG. In addition, the structure of the grinding | polishing parts 13 and 14 of a structure shown in FIG. 2 thru | or FIG. 6 and a washing | cleaning part is an example, and is not limited to this.

本実施例のポリッシング装置は、把持アーム１０−１，１０−２を具備しポリッシング装置内で半導体ウエハＳを搬送して各部に受け渡す汎用搬送ロボットを構成するセンターロボット１０と、センターロボット１０を中心としてその周囲に配置され、研磨を行うべき半導体ウエハＳを載置するロード部１１と、ロード部１１から搬入された半導体ウエハＳを研磨する２つの研磨部１３，１４と、研磨後の半導体ウエハＳを洗浄する洗浄部１５と、洗浄後の清浄な半導体ウエハＳを載置するアンロード部１２と、隣接する２つの部分間で半導体ウエハＳを搬送して受け渡す専用搬送機構を構成するポリッシングヘッド支持アーム１３−３，１４−３とを備え、センターロボット１０はクリーンかつドライな半導体ウエハＳを搬送し、ポリッシングヘッド支持アーム１３−３，１４−３はダーティかつウェットな半導体ウエハＳを搬送するように構成されている。 The polishing apparatus according to the present embodiment includes a center robot 10 that includes gripping arms 10-1 and 10-2, and that constitutes a general-purpose transfer robot that transfers the semiconductor wafer S to the respective units in the polishing apparatus. A load part 11 on which a semiconductor wafer S to be polished is placed as a center and on which the semiconductor wafer S to be polished is placed, two polishing parts 13 and 14 for polishing the semiconductor wafer S carried in from the load part 11, and a semiconductor after polishing A cleaning unit 15 for cleaning the wafer S, an unloading unit 12 for placing the cleaned semiconductor wafer S after cleaning, and a dedicated transport mechanism for transporting and transferring the semiconductor wafer S between two adjacent portions are configured. Polishing head support arms 13-3 and 14-3, and the center robot 10 conveys a clean and dry semiconductor wafer S and polishes it. Guheddo support arm 13-3,14-3 is configured to convey the dirty and wet semiconductor wafer S.

本実施例のセンターロボット１０は、ロード専用アーム１０−１とアンロード専用アーム１０−２の２つのアームを具備しており、ロード部１１から搬入する半導体ウエハＳのクリーン度とアンロード部１２へ搬出する半導体ウエハＳのクリーン度が異なる場合に好適に適用される。 The center robot 10 of the present embodiment includes two arms, a load-dedicated arm 10-1 and an unload-dedicated arm 10-2. The cleanliness of the semiconductor wafer S loaded from the load unit 11 and the unload unit 12 are as follows. This is preferably applied when the cleanness of the semiconductor wafer S to be unloaded is different.

（第２実施例）
図７は本発明のポリッシング装置の第２実施例の構成を示す図である。同図において図１と同一符号を付した部分は同一又は相当部分を示す。本ポリッシング装置は、センターロボット１０の周辺で且つ該センターロボット１０のアームの到達範囲に六角形状に、ロード部１１、アンロード部１２、研磨部１３，１４及び洗浄・乾燥を行う洗浄部１５を備え、更に他の工程が必要とされる場合を予想し、それらの工程を行う機構や装置が配置される予備スペース１８，１９を備えている。 (Second embodiment)
FIG. 7 is a diagram showing the configuration of a second embodiment of the polishing apparatus of the present invention. In the figure, the same reference numerals as those in FIG. 1 denote the same or corresponding parts. The polishing apparatus includes a loading unit 11, an unloading unit 12, polishing units 13 and 14, and a cleaning unit 15 that performs cleaning and drying in a hexagonal shape around the center robot 10 and within the reach of the arm of the center robot 10. It is provided with spare spaces 18 and 19 in which mechanisms and devices for performing these processes are arranged in anticipation of cases where other processes are required.

前記予備スペース１８，１９には、例えば、半導体ウエハの厚さを測定する厚さ計が配置される。この場合、半導体ウエハＳをセンターロボット１０のアーム１０−１により把持して予備スペース１８内の厚さ計に導き、研磨前の半導体ウエハＳの厚さを計測し、その後、アーム１０−１により研磨部１３のロードポジション１３−１に移送する。研磨部１３で研磨された半導体ウエハＳは第１実施例と同様な方法で洗浄部１５に移送され、ここで洗浄された後に、センターロボット１０のアーム１０−１により再び予備スペース１８内の厚さ計に導かれる。そして、厚さ計により研磨後の半導体ウエハＳの厚さを計測した後、半導体ウエハはアーム１０−２によりアンロード部１２に移送される。 For example, a thickness meter for measuring the thickness of the semiconductor wafer is disposed in the spare spaces 18 and 19. In this case, the semiconductor wafer S is gripped by the arm 10-1 of the center robot 10 and guided to the thickness gauge in the spare space 18, the thickness of the semiconductor wafer S before polishing is measured, and then the arm 10-1 is used. Transfer to the load position 13-1 of the polishing unit 13. The semiconductor wafer S polished by the polishing unit 13 is transferred to the cleaning unit 15 in the same manner as in the first embodiment. After being cleaned here, the thickness in the spare space 18 is again set by the arm 10-1 of the center robot 10. It is led to the scale. Then, after the thickness of the polished semiconductor wafer S is measured by the thickness meter, the semiconductor wafer is transferred to the unloading unit 12 by the arm 10-2.

（第３実施例）
図８は本発明のポリッシング装置の第３実施例の構成を示す図である。本ポリッシング装置は、センターロボット１０の周辺で且つ該センターロボット１０のアームの到達範囲に六角形状に、ロード部１１、アンロード部１２、２台の研磨部１３，１３と１台の研磨部１４、研磨部１３と研磨部１３の間及び研磨部１４とアンロード部１２の間にそれぞれ洗浄部１５，１５を備えている。この配置構成は研磨部１３のポリッシング工程が研磨部１４のポリッシング工程の２倍の時間を必要とする場合に好適な配置である。 (Third embodiment)
FIG. 8 is a diagram showing the configuration of a third embodiment of the polishing apparatus of the present invention. The polishing apparatus includes a load unit 11, an unload unit 12, two polishing units 13 and 13, and one polishing unit 14 in a hexagonal shape around the center robot 10 and within the reach of the arm of the center robot 10. Cleaning units 15 and 15 are provided between the polishing unit 13 and the polishing unit 13 and between the polishing unit 14 and the unload unit 12, respectively. This arrangement is suitable when the polishing process of the polishing unit 13 requires twice as long as the polishing process of the polishing unit 14.

研磨部１３，１３から洗浄部１５への移送及び研磨部１４から洗浄部１５への移送はセンターロボット１０で行わず、別な移送手段（例えばポリッシングヘッド支持アーム１３−３，１４−３）で行うが、研磨部１３，１３，１４への半導体ウエハのロード及び洗浄部１５，１５からの洗浄完了した半導体ウエハのピックアップはセンターロボット１０の把持アームで行う。即ち、センターロボット１０は研磨部１３，１３，１４でのポリッシングによりスラリーの付着した半導体ウエハを取り扱わないようにし、把持アームが汚染されないようにする。これにより、汚染を少なくすることが可能となる。 The transfer from the polishing units 13 and 13 to the cleaning unit 15 and the transfer from the polishing unit 14 to the cleaning unit 15 are not performed by the central robot 10, but by another transfer means (for example, polishing head support arms 13-3 and 14-3). However, the loading of the semiconductor wafer to the polishing units 13, 13 and 14 and the pick-up of the cleaned semiconductor wafer from the cleaning units 15 and 15 are performed by the gripping arm of the center robot 10. That is, the center robot 10 does not handle the semiconductor wafer to which the slurry is adhered by polishing in the polishing units 13, 13, and 14 so that the gripping arm is not contaminated. Thereby, contamination can be reduced.

（第４実施例）
図９は本発明のポリッシング装置の第４実施例の構成を示す図であり、センターロボット１０が１本の把持アーム１０−１のみを有する場合のポリッシング装置の概略構成を示す図である。図９において、図１及び図２と同一符号を付した部分は同一又は相当分を示し、その作用も同一であるので説明は省略する。このように１本の把持アーム１０−１のみを有する場合には、図示するように、研磨部１３と１４の間、研磨部１３，１４と洗浄部１５の間にそれぞれ専用搬送機構が設置され、ロード部１１からピッキングする半導体ウエハＳのクリーン度とアンロード部１２へ収納する半導体ウエハＳのクリーン度が同じレベルの場合に適用が可能である。 (Fourth embodiment)
FIG. 9 is a diagram showing a configuration of a fourth embodiment of the polishing apparatus of the present invention, and is a diagram showing a schematic configuration of the polishing apparatus when the center robot 10 has only one gripping arm 10-1. 9, parts denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1 and FIG. 2 indicate the same or corresponding parts, and their functions are also the same, so that the description thereof is omitted. When only one gripping arm 10-1 is provided in this way, as shown in the figure, dedicated conveying mechanisms are installed between the polishing units 13 and 14, and between the polishing units 13 and 14 and the cleaning unit 15, respectively. The present invention can be applied when the cleanness of the semiconductor wafer S picked from the load unit 11 and the cleanliness of the semiconductor wafer S stored in the unload unit 12 are the same level.

（第５実施例）
図１０は本発明のポリッシング装置の第５実施例の構成を示す図である。本ポリッシング装置は、センターロボット１０の周辺で且つ該センターロボット１０の把持アームの到達範囲に六角形状に、ロード部１１、４台の研磨部１３，１４，２１，２２、洗浄部１５を具備し、洗浄部１５の端部にアンロード部１２を具備している。更にポリッシング装置は、ロード部１１及びアンロード部１２に隣接してポリッシングを必要とする半導体ウエハ及びポリッシングを完了した半導体ウエハをストックしておく、ストッカー２３を具備している。そしてストッカー２３からポリッシングを完了した半導体ウエハを搬出したり、ストッカー２３にポリッシングを必要とする半導体ウエハを搬入するために自動搬送車２４が設置されている。 (5th Example)
FIG. 10 is a diagram showing the configuration of a fifth embodiment of the polishing apparatus of the present invention. The polishing apparatus includes a load unit 11, four polishing units 13, 14, 21, 22, and a cleaning unit 15 in a hexagonal shape around the center robot 10 and within the reach of the gripping arm of the center robot 10. The unloading unit 12 is provided at the end of the cleaning unit 15. Further, the polishing apparatus includes a stocker 23 that stocks a semiconductor wafer that requires polishing and a semiconductor wafer that has been polished, adjacent to the load unit 11 and the unload unit 12. An automatic transport vehicle 24 is installed to unload the semiconductor wafers that have been polished from the stocker 23 or to load semiconductor wafers that require polishing into the stocker 23.

ここでは、研磨部１３，１４，２１，２２及び洗浄部１５へのローディング、ロード部１１及び研磨部１３，１４，２１，２２からのピッキングは全てセンターロボット１０で行うようになっている。センターロボット１０はクリーンな半導体ウエハＳを把持するクリーン専用アームとダーティな半導体ウエハＳを把持するダーティ専用アームとを具備し、ロード部１１からクリーンな半導体ウエハＳを把持し研磨部１３，１４，２１，２２のいずれかへの搬送および洗浄部１５で洗浄、乾燥が終了した半導体ウエハＳのアンロード部１２への搬送はクリーン専用アームで行い、研磨部１３，１４，２１，２２間の搬送及び研磨部から洗浄部１５への搬送はダーティ専用アームで行う。例えば、図１のセンターロボットを用いる場合は、アーム１０−１をクリーン専用アームとしアーム１０−２をダーティ専用アームとする。これにより汚染を極力少なくすることが可能となる。 Here, the loading to the polishing units 13, 14, 21 and 22 and the cleaning unit 15 and the picking from the load unit 11 and the polishing units 13, 14, 21 and 22 are all performed by the center robot 10. The center robot 10 includes a clean dedicated arm for gripping a clean semiconductor wafer S and a dirty dedicated arm for gripping the dirty semiconductor wafer S. The center robot 10 grips the clean semiconductor wafer S from the load unit 11 and polishes the polishing units 13, 14, 21 and 22, and the semiconductor wafer S that has been cleaned and dried by the cleaning unit 15 is transferred to the unload unit 12 by a clean arm, and transferred between the polishing units 13, 14, 21, and 22. Further, the conveyance from the polishing section to the cleaning section 15 is performed by a dirty dedicated arm. For example, when the center robot of FIG. 1 is used, the arm 10-1 is a clean dedicated arm and the arm 10-2 is a dirty dedicated arm. This makes it possible to minimize contamination.

本実施例のポリッシング装置は、把持アーム１０−１，１０−２を具備しポリッシング装置内で半導体ウエハＳを搬送して各部に受け渡す汎用搬送ロボットを構成するセンターロボット１０と、センターロボット１０を中心としてその周囲に配置され、研磨を行うべき半導体ウエハＳを載置するロード部１１と、ロード部１１から搬入された半導体ウエハＳを研磨する研磨部１３，１４，２１，２２と、研磨後の半導体ウエハＳを洗浄する洗浄部１５と、洗浄後の清浄な半導体ウエハＳを載置するアンロード部１２とを備え、センターロボット１０はクリーンな半導体ウエハＳのみを搬送するクリーン専用アーム１０−１とダーティな半導体ウエハＳのみを搬送するダーティ専用アーム１０−２とを具備する。 The polishing apparatus according to the present embodiment includes a center robot 10 that includes gripping arms 10-1 and 10-2, and that constitutes a general-purpose transfer robot that transfers the semiconductor wafer S to the respective units in the polishing apparatus. A load unit 11 on which a semiconductor wafer S to be polished is placed as a center and on which the semiconductor wafer S is to be polished, a polishing unit 13, 14, 21, and 22 that polishes the semiconductor wafer S loaded from the load unit 11, and after polishing A cleaning unit 15 for cleaning the semiconductor wafer S and an unloading unit 12 for placing the cleaned semiconductor wafer S after cleaning, and the center robot 10 transports only the clean semiconductor wafer S. 1 and a dirty dedicated arm 10-2 for transporting only the dirty semiconductor wafer S.

ダーティ専用アーム１０−２は、ダーティな半導体ウエハをハンドリングした後に、洗浄部１５に設けられた洗浄機構（図示せず）により洗浄される。 The dirty dedicated arm 10-2 is cleaned by a cleaning mechanism (not shown) provided in the cleaning unit 15 after handling a dirty semiconductor wafer.

（第６実施例）
図１１は本発明のポリッシング装置の第６実施例の構成を示す図である。本実施例では、クリーンな半導体ウエハ専用の汎用搬送ロボット１０Ａと、ダーティな半導体ウエハ専用の汎用搬送ロボット１０Ｂが別個に設けられている。また、本実施例では２つの研磨部１３，１４と１つの洗浄部１５とを備えている。具体的な研磨手順は次の通りである。まず、クリーンな半導体ウエハ専用の汎用搬送ロボット１０Ａがロード部１１から研磨対象物である半導体ウエハＳを受け取り、搬送し、研磨部１３のロードポジション１３−１に載置する。 (Sixth embodiment)
FIG. 11 is a diagram showing the configuration of a sixth embodiment of the polishing apparatus of the present invention. In this embodiment, a general-purpose transfer robot 10A dedicated to clean semiconductor wafers and a general-purpose transfer robot 10B dedicated to dirty semiconductor wafers are provided separately. In this embodiment, two polishing units 13 and 14 and one cleaning unit 15 are provided. The specific polishing procedure is as follows. First, a general-purpose transfer robot 10A dedicated for clean semiconductor wafers receives a semiconductor wafer S as an object to be polished from the load unit 11, transfers it, and places it on a load position 13-1 of the polishing unit 13.

研磨部１３での研磨が終了した後、ダーティな半導体ウエハ専用の汎用搬送ロボット１０Ｂが半導体ウエハＳを受け取り、搬送し、洗浄部１５のローディング位置１５−１に載置する。洗浄部１５での洗浄が終了した後、クリーンな半導体ウエハ専用の汎用搬送ロボット１０Ａが洗浄部１５のアンローディング位置１５−３から半導体ウエハＳを受け取り、搬送し、アンロード部１２に載置する。以上の行程により、一連の研磨と洗浄が行われる。研磨部１４で研磨が行われる場合にも同様の行程で研磨と洗浄が行われる。 After the polishing in the polishing unit 13 is completed, the general-purpose transfer robot 10B dedicated for dirty semiconductor wafers receives the semiconductor wafer S, transfers it, and places it on the loading position 15-1 of the cleaning unit 15. After the cleaning in the cleaning unit 15 is completed, the general-purpose transfer robot 10A dedicated for clean semiconductor wafers receives the semiconductor wafer S from the unloading position 15-3 of the cleaning unit 15, transfers it, and places it on the unloading unit 12. . Through the above process, a series of polishing and cleaning are performed. When polishing is performed by the polishing unit 14, polishing and cleaning are performed in the same process.

本実施例に示すポリッシング装置によれば、研磨部１３と１４の両方の研磨部で研磨を行い、どちらの研磨部で研磨した半導体ウエハについても洗浄部１５で洗浄することにより、２つの研磨部に対して１つの洗浄部で対応することが可能である。特に、半導体ウエハ１枚の研磨時間に比べて洗浄部での半導体ウエハの処理間隔、即ちあるウエハが洗浄工程に入ってから次のウエハが洗浄工程に入るまでの間隔が短い場合には、洗浄工程によって制約を受けて研磨工程での待ち時間が生じるということが無いので処理速度を落とさずにコンパクト化を得られて、極めて有効である。 According to the polishing apparatus shown in the present embodiment, polishing is performed by both polishing units 13 and 14, and the semiconductor wafer polished by either polishing unit is cleaned by the cleaning unit 15, so that two polishing units However, it is possible to cope with one cleaning unit. In particular, when the processing interval of the semiconductor wafer in the cleaning unit, that is, the interval from one wafer entering the cleaning process to the next wafer entering the cleaning process is shorter than the polishing time of one semiconductor wafer. Since there is no restriction in the process and no waiting time in the polishing process occurs, a compact size can be obtained without reducing the processing speed, which is extremely effective.

また、研磨部１３と１４で異なる研磨条件に設定しておき、研磨対象物であるウエハの性状に対応して、より適した方の研磨部を選択することが可能である。
更に、同一の半導体ウエハに関して、研磨部１３で研磨を行い、洗浄部１５で洗浄を行った後に研磨部１４で研磨を行い、洗浄部１５で洗浄を行うことにより１枚の半導体ウエハに２回の研磨を実施することも可能である。なお、符号１８，１９は予備スペースである。 It is possible to set different polishing conditions for the polishing units 13 and 14 and to select a more appropriate polishing unit corresponding to the properties of the wafer that is the polishing target.
Further, the same semiconductor wafer is polished by the polishing unit 13, cleaned by the cleaning unit 15, then polished by the polishing unit 14, and cleaned by the cleaning unit 15, so that one semiconductor wafer is washed twice. It is also possible to carry out polishing. Reference numerals 18 and 19 are spare spaces.

本実施例のポリッシング装置は、ポリッシング装置内で半導体ウエハを搬送して各部に受け渡す２台の汎用搬送ロボット１０Ａ，１０Ｂと、前記汎用搬送ロボット１０Ａ，１０Ｂを中心としてその周囲に配置され、研磨を行うべき半導体ウエハＳを研磨する２つの研磨部１３，１４と、研磨後の半導体ウエハＳを洗浄する洗浄部１５と、洗浄後の清浄な半導体ウエハＳを載置するアンロード部１２を備えている。そして前記２台の汎用搬送ロボットのうち、一方の汎用搬送ロボット１０Ａはクリーンな半導体ウエハＳのみを搬送し、他方の汎用搬送ロボット１０Ｂはダーティな半導体ウエハＳのみを搬送する。汎用搬送ロボット１０Ｂは、ダーティな半導体ウエハをハンドリングした後に、洗浄部１５に設けられた洗浄機構（図示せず）により洗浄される。 The polishing apparatus according to the present embodiment is arranged around two general-purpose transfer robots 10A and 10B that transfer a semiconductor wafer in the polishing apparatus and deliver it to each part, and the general-purpose transfer robots 10A and 10B. Two polishing units 13 and 14 for polishing the semiconductor wafer S to be cleaned, a cleaning unit 15 for cleaning the polished semiconductor wafer S, and an unloading unit 12 for placing the cleaned semiconductor wafer S after cleaning. ing. Of the two general-purpose transfer robots, one general-purpose transfer robot 10A transfers only a clean semiconductor wafer S, and the other general-purpose transfer robot 10B transfers only a dirty semiconductor wafer S. The general-purpose transfer robot 10 </ b> B is cleaned by a cleaning mechanism (not shown) provided in the cleaning unit 15 after handling a dirty semiconductor wafer.

上記第１〜第６実施例に示すようにポリッシング装置を構成することにより、半導体ウエハに種々の工程の機械的化学的ポリッシングを行う複数の研磨部及び洗浄部をセンターロボットの周辺に配置するので、装置全体をコンパクトにできるから、例えば該装置全体をカバー等で覆い、排気を独自に設けることにより、クリーンルームに直接配置してもクリーン度を低下させることなく、且つ高価なクリーンルームにおいて設置スペースも少なくできる。 By configuring the polishing apparatus as shown in the first to sixth embodiments, a plurality of polishing units and cleaning units for performing mechanical and chemical polishing of various processes on the semiconductor wafer are arranged around the center robot. Since the entire device can be made compact, for example, by covering the entire device with a cover, etc., and providing exhaust independently, even if it is directly placed in the clean room, the cleanliness is not lowered and the installation space is also high in an expensive clean room Less.

なお、上記実施例ではロード部１１及びアンロード部１２は別々に配置した例を示したが、ロード部１１とアンロード部１２は一体的に構成配置してもよい。例えばポリッシングを必要とする半導体ウエハを収納したバスケットから半導体ウエハをピッキングし、ポリッシング完了後（ポリッシング及び洗浄工程が終了後）、同じバスケットに収納する場合は、一体的な構成配置となる。 In the above embodiment, the load unit 11 and the unload unit 12 are arranged separately. However, the load unit 11 and the unload unit 12 may be integrally configured and arranged. For example, when a semiconductor wafer is picked from a basket containing a semiconductor wafer that requires polishing and is stored in the same basket after polishing is completed (after the polishing and cleaning steps are completed), the configuration is integrated.

本発明のポリッシング装置の第１実施例の構成を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the structure of 1st Example of the polishing apparatus of this invention. 図２（ａ）は本発明のポリッシング装置の構成を示す一部平面図で、同図（ｂ）は洗浄機構１５の上段部分を示す図である。FIG. 2A is a partial plan view showing the configuration of the polishing apparatus of the present invention, and FIG. 2B is a view showing the upper part of the cleaning mechanism 15. 図２（ａ）のＡ１−Ａ２断面を示す図である。It is a figure which shows the A1-A2 cross section of Fig.2 (a). 図２（ａ）のＢ１−Ｂ２断面を示す図である。It is a figure which shows the B1-B2 cross section of Fig.2 (a). 図２（ａ）のＣ１−Ｃ２−Ｃ３−Ｄ１断面を示す図である。It is a figure which shows the C1-C2-C3-D1 cross section of Fig.2 (a). 図２（ａ）のＤ１−Ｄ２断面を示す図である。It is a figure which shows the D1-D2 cross section of Fig.2 (a). 本発明のポリッシング装置の第２実施例の構成を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the structure of 2nd Example of the polishing apparatus of this invention. 本発明のポリッシング装置の第３実施例の構成を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the structure of 3rd Example of the polishing apparatus of this invention. 本発明のポリッシング装置の第４実施例の構成を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the structure of 4th Example of the polishing apparatus of this invention. 本発明のポリッシング装置の第５実施例の構成を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the structure of 5th Example of the polishing apparatus of this invention. 本発明のポリッシング装置の第６実施例の構成を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the structure of 6th Example of the polishing apparatus of this invention.

Explanation of symbols

１０センターロボット
１１ロード部
１２アンロード部
１３研磨部
１４研磨部
１５洗浄部
１６ドレッシングツール載置台
１７ドレッシングツール載置台
１８予備スペース
１９予備スペース
２１研磨部
２２研磨部
２３ストッカー
２４自動搬送車
Ｓ半導体ウエハ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Center robot 11 Load part 12 Unload part 13 Polishing part 14 Polishing part 15 Cleaning part 16 Dressing tool mounting base 17 Dressing tool mounting base 18 Preliminary space 19 Preliminary space 21 Polishing part 22 Polishing part 23 Stocker 24 Automatic conveyance vehicle S Semiconductor wafer

Claims

Have at least two abrasive portions, and washed after the polishing carried a polishing object, a polishing apparatus for unloading clean polishing object,
It was placed in a clean room by providing a polishing apparatus independently a covered not evacuated by a cover,
One cleaning section for cleaning and drying the polished polishing object;
An unloading unit for placing a clean and dry polishing object after washing and carrying it out into a clean room;
Wherein the at least two polishing portions and the one cleaning unit, performed the function of cleaning after polishing the polishing target at each polishing section, the polishing twice with the plurality of polishing portions for the same polishing object polishing apparatus characterized by comprising both a further washing function.

It has a plurality of polishing portions, washed after polishing by carrying a polishing object, a polishing apparatus for unloading clean polishing object,
It was placed in a clean room by providing a polishing apparatus independently a covered not evacuated by a cover,
One cleaning section for cleaning and drying the polished polishing object;
An unloading unit for placing a clean and dry polishing object after washing and carrying it out into a clean room;
Wherein one cleaning unit, polishing apparatus characterized by comprising a polishing object is polished by a single polishing section, the function of the polishing object is polished to wash with other abrasive portion.