JP3652155B2

JP3652155B2 - Ceramic substrate flaw detection liquid application equipment

Info

Publication number: JP3652155B2
Application number: JP02443099A
Authority: JP
Inventors: 幸記藏治
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1999-02-01
Filing date: 1999-02-01
Publication date: 2005-05-25
Anticipated expiration: 2019-02-01
Also published as: JP2000221145A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミックス基板のクラック検査の為の、探傷液を塗布する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
セラミックス基板のクラックは、目視検査では検出しにくく検査精度を上げる為に、一般的に探傷液を塗布してから検査を行う。この探傷液塗布の方法は以下の通りである。
【０００３】
まず図７（ａ）に示すように、篭状のコンテナー１０２に複数のセラミックス基板１を入れ、図７（ｂ）に示すように、このコンテナー１０２を探傷液２が入った探傷液槽１０１に入れる。この状態でセラミックス基板１の全体へ探傷液２が付くようにバラバラの状態にし、５〜２０分放置する。次に探傷液槽１０１からコンテナー１０２を出し、セラミックス基板１をシャワー水洗または水中へ浸し、軽く表面の探傷液２を洗い落とし、乾燥室へコンテナー１０２ごと入れ、セラミックス基板１の表面乾燥を、６〜８時間、８０〜９０℃の雰囲気で行う。
【０００４】
また他の方法として、上記と同様にセラミックス基板１を篭状のコンテナー１０２へ入れ、このコンテナー１０２を、探傷液２を入れた密閉出来る容器に入れ、この容器内へ、セラミックス基板１のクラックへ探傷液２を浸透させる目的で不活性ガスを供給して加圧し、１〜２分放置した後取り出し、前述の方法で、洗浄、乾燥処理を行う。
【０００５】
このようにして探傷液を塗布したセラミックス基板１は、図５（ａ）（ｂ）に示すように、クラック１９に探傷液２が浸透し、目視によって容易に検査を行うことが出来る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが従来の方法では、セラミックス基板１のクラック１９へ探傷液２を浸透させる為に、図７（ｂ）に示す探傷液２への浸漬時間を長く置くか、または、同様の状態で密閉加圧する必要があり、手間が掛かり非効率的であった。更に、その後の洗浄、乾燥も長時間必要であるという問題があった。
【０００７】
また、洗浄は人手により行う為、例えば図５（ａ）に示すように、セラミックス基板１のクラック１９並びにその周囲に探傷液２の残留ムラが生じ、また乾燥は図７（ａ）のコンテナー１０２に入れたまま乾燥室で行う為、セラミックス基板１の重なりによる乾燥シミがセラミックス基板１の表面に生じる。これらはいずれも、クラック検査の検出精度低下の要因となっていた。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、これらに鑑みて行われたもので、セラミックス基板に塗布した探傷液を、上下から押しあてた多孔性樹脂のローラーで３〜５Ｋｇｆ／ｃｍ ^２にてクラックへ浸透させるようにした探傷液塗布部と、不要な探傷液を洗い落とす洗浄部と、乾燥部とからなり、これらを連続的に備えて探傷液塗布装置を構成したことにより、短時間で効率的に探傷液塗布処理が出来、また、探傷液のクラックへの浸透が確実で、洗浄ムラと重なりによる乾燥シミを防止出来る為、クラック検査の検出精度を向上出来るようにしたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施形態について詳述する。
【００１０】
図１に示すように、本発明の探傷液塗布装置は、探傷液塗布部Ａ、洗浄部Ｂ、乾燥部Ｃで構成されている。
【００１１】
探傷液塗布部Ａは、図１に示す探傷液槽１５から探傷液２を、循環ポンプ１６によりスプレーノズル５へ供給し、セラミックス基板１へ吹き付けた後、ローラー８で塗布するようになっている。探傷液塗布部Ａの詳細を図２（ａ）に示すように、セラミックス基板１を搬送ローラー１４で矢印方向に搬送しながら、スプレーノズル５よりセラミックス基板１の上下から探傷液２を吹き付けて塗布する。次に図２（ｂ）に示すように一対のローラー８をセラミックス基板１の上下から押しあてて、探傷液２を擦り込む。
【００１２】
ここでローラー８は、多孔性の材質からなり、例えば表１に示すスポンジローラーのような多孔性樹脂が好適である。またローラー８の径Ｄ１は３５ｍｍ以下とし、セラミックス基板１の上下から押しあてる圧力は、３〜５Ｋｇｆ／ｃｍ²とすることが好ましい。ローラー８の径Ｄ１を３５ｍｍφ以下とした根拠は、本発明の探傷液塗布装置は、一般的なセラミックス基板へ対応出来る汎用機であり、一般的なセラミックス基板の最小外辺サイズが２５．４ｍｍであることから、これに対応するため搬送ローラー１４のピッチＰは２５ｍｍとし、また、搬送ローラー１４の径Ｄ２が１０ｍｍであることより、その間に入るローラー８の径Ｄ１は、最大３５ｍｍとした。
【００１３】
また、ローラー８をセラミックス基板１の上下から押しあてる圧力を３〜５Ｋｇｆ／ｃｍ²としたのは、３Ｋｇｆ／ｃｍ²未満では、セラミックス基板１のクラック１９への探傷液２の浸透が確実でなく、５Ｋｇｆ／ｃｍ²を越えると、セラミックス基板１のローラー８部分での搬送速度が遅くなり、セラミックス基板１の滞留が発生するからである。
【００１４】
なお、以上の実施形態では、スプレーノズル５から探傷液２を塗布したが、例えばローラ８の中央部から探傷液２を供給し、ローラ８を通して探傷液２を塗布するとともに押圧してクラックに浸透させるようにすることもできる。また、セラミック基板１の両面を保証する場合は、上記実施形態のように両面に探傷液２を塗布するが、片面のみ保証する場合は片面のみ探傷液２を塗布すればよく、このような場合に、ローラ８を通して探傷液２を塗布する方法が好適である。
【００１５】
さらに、この工程でセラミック基板１に超音波を作用させてよりクラックへの浸透度を高めることもできる。
【００１６】
【表１】

【００１７】
次に洗浄部Ｂは、図１に示すようにスプレーノズル６、６ａと、水分除去ローラー９で構成されている。洗浄部Ｂの詳細な説明は、図３（ａ）に示すように、セラミックス基板１へ、上下からスプレーノズル６で水３を吹き付け探傷液２を洗い落とす。次に図３（ｂ）に示すように、多孔性の水分除去ローラー９で、上下よりセラミックス基板１の表面の水３を搾りとって行く。尚、水分除去ローラー９のセラミックス基板１の進入側の上方には、更にスプレーノズル６ａを追加してあるが、これは、水分除去ローラー９が探傷液２で汚れやすい為、この汚れを洗い落とす目的で、水３を水分除去ローラー９へ吹き付けている。洗浄部Ｂの水分除去ローラー９の材質、サイズ、加圧条件は、探傷液塗布部Ａのローラー８と同一としている。
【００１８】
さらに、乾燥部Ｃは図１で示すように、セラミックス基板１の水分除去ローラー１０と、エアーブローの為のスプレーノズル７と、乾燥機１１で構成され、スプレーノズル７へはリングブロー１７を付加し、乾燥機１１へは熱風発生器１８より熱風を供給している。乾燥部Ｃの詳細は図４（ａ）に示すように、まず水分除去ローラー１０をセラミックス基板１の上下から押しあてるが、この水分除去ローラー１０の材質、サイズ、加圧条件は、探傷液塗布部Ａのローラー８と同一とし、その目的は、洗浄部の水分除去ローラー９と同じで、セラミックス基板１の表面へ残留した水３を搾り取る為のものである。この後、図４（ｂ）に示すエアーブロー用のスプレーノズル７で、セラミックス基板１の上下からエアー４を吹き付ける。このエアーブローは、セラミックス基板１には穴を有するものがあり、その穴内部へ水分が残留している為この水分の除去と、表面の水分除去を目的とし、セラミックス基板１の上下からスプレーノズル７で、エアー４を４〜５Ｋｇｆ／ｃｍ²の圧力で、セラミックス基板１の搬送方向と逆の方向から傾斜角１５〜２０°で吹き付ける。この後、図４（ｃ）で示すように、セラミックス基板１は乾燥機１１へ搬送されていく。この乾燥機１１の内部温度は、８０〜１５０℃で、パイプ１２が上下４組からなり、一つのパイプ１２に２．５ｍｍφの穴径のノズル１３を５カ所付け、このノズル１３より熱風を噴射するようになっている。
【００１９】
本発明の探傷液塗布装置の、探傷液塗布部Ａ、洗浄部Ｂ、乾燥部Ｃの各部の
セラミックス基板１を処理出来る有効幅は５００ｍｍ程度とし、この範囲内であれば同時に最多５列迄並行して、セラミックス基板１の探傷液塗布処理が出来る。
【００２０】
以上の装置構成により、例えば図５（ａ）に示すような、セラミックス基板１のクラック１９へ、図５（ｂ）に示すように探傷液２を自動的に確実に浸透させることが出来、塗布ムラ、乾燥シミの無い綺麗な処理面が得られ、また探傷液塗布処理時間も、１０〜１５秒と短時間で行える。
【００２１】
【実施例】
本発明の実施例について以下に説明する。
【００２２】
実施例に用いたセラミックス基板１はＡｌ₂Ｏ₃含有量９６％アルミナセラミックスからなり、図６（ａ）に示すように、外辺サイズＬ１＝６２ｍｍ、Ｌ２＝６０ｍｍ、スルーホール２０の径Ｄ３＝０．４ｍｍ、スルーホール２０とセラミックス基板１の外辺間距離Ｌ３＝０．８ｍｍのものを用いた。またセラミックス基板１のスルーホール２０から外辺迄の間に、長さ０．８ｍｍのクラック１９が入り、図６（ｂ）に示すようにクラック１９の幅Ｗ１並びにＷ２＝２〜４μｍで、その深さＴ＝０．６４ｍｍでセラミックス基板１の表裏貫通しているものであり、このクラック１９があることを倍率３２倍の顕微鏡で確認した。
【００２３】
このセラミックス基板１を、従来技術の図７（ｂ）に示す探傷液２の浸積処理により塗布したものと、図１に示す本発明による探傷液塗布装置を使用したもの、各３００シート準備した。この探傷液２は、染色浸透探傷液で表２に示すものを用いた。尚、本発明の探傷液塗布装置のセラミックス基板１の処理は、横方向に５列並行して連続し処理した。
【００２４】
【表２】

【００２５】
以上の探傷液塗布処理を施したセラミックス基板１を、同一検査員が、１００Ｗの白熱電球照明下で、目視にてクラック１９の検査をし検出精度を比較調査した。まず従来技術による探傷液塗布処理と、本発明による探傷液塗布装置の処理時間の比較を行った結果、従来技術による探傷液塗布方式は、セラミックス基板１を３００シート探傷液２に塗布し洗浄する迄の処理時間が２０分を要し、その後の乾燥に６時間を要した。これに対し、本発明による探傷液塗布装置での処理時間は、セラミックス基板１を３００シート探傷液塗布、洗浄、乾燥迄行うのに１５分で済み、従来技術に比較し短時間で効率的な処理が出来た。
【００２６】
また以上の探傷液塗布処理したセラミックス基板１で、クラック検出精度について比較した結果は、従来技術により探傷液塗布処理を行ったセラミックス基板１のクラック１９の検出精度が８８．３％に対し、本発明による探傷液塗布装置により処理したセラミックス基板１のクラック１９の検出精度は１００％という結果が得られ、クラック検出精度の向上が確認出来た。
【００２７】
【発明の効果】
本発明によれば、探傷液槽からスプレーノズルへ探傷液を供給し、セラミックス基板へ吹き付け、多孔性のローラーを、セラミックス基板の上下から押しあて探傷液をクラック部へ浸透させ、その後、洗浄、乾燥を連続的に実施する装置としたことにより、探傷液の塗布処理が効率的に出来、またセラミックス基板のクラック部への探傷液浸透も確実で、セラミックス基板表面の塗布ムラ、乾燥シミも無いため、クラック検査の検出精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のセラミックス基板の探傷液塗布装置の概略の断面図である。
【図２】（ａ）（ｂ）は本発明のセラミックス基板の探傷液塗布装置の探傷液塗布部の断面図である。
【図３】（ａ）（ｂ）は本発明のセラミックス基板の探傷液塗布装置の洗浄部の断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は本発明のセラミックス基板の探傷液塗布装置の乾燥部の断面図である。
【図５】（ａ）はセラミックス基板の平面図、（ｂ）はセラミックス基板のクラック部分の断面図である。
【図６】（ａ）は本発明の実施例に用いたセラミックス基板の平面図、（ｂ）はクラック部分の断面図である。
【図７】従来の探傷液の塗布方法を説明する図で、（ａ）はコンテナーとセラミックス基板の斜視図、（ｂ）は探傷液槽へ浸漬したセラミックス基板の断面図である。
【符号の説明】
１、セラミックス基板
２、探傷液
３、水
４、エアー
５、スプレーノズル
６、６ａ、スプレーノズル
７、スプレーノズル
８、ローラー
９、水分除去ローラー
１０、水分除去ローラー
１１、乾燥機
１２、パイプ
１３、ノズル
１４、搬送ローラー
１５、探傷液槽
１６、循環ポンプ
１７、リングブロー
１８、熱風発生器
１９、クラック
２０、スルーホール
１０１、探傷液槽
１０２、コンテナー
Ａ、探傷液塗布部
Ｂ、洗浄部
Ｃ、乾燥部
Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、径
Ｐ、ピッチ
Ｌ１、Ｌ２、外辺寸法
Ｌ３、外辺間距離
Ｔ、深さ
Ｗ１、Ｗ２、幅[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an apparatus for applying a flaw detection liquid for crack inspection of a ceramic substrate.
[0002]
[Prior art]
In order to improve the inspection accuracy, cracks in the ceramic substrate are generally difficult to detect by visual inspection, and inspection is generally performed after applying a flaw detection liquid. The method for applying the flaw detection liquid is as follows.
[0003]
First, as shown in FIG. 7 (a), a plurality of ceramic substrates 1 are placed in a bowl-shaped container 102. As shown in FIG. 7 (b), this container 102 is placed in a flaw detection liquid tank 101 containing flaw detection liquid 2. Put in. In this state, the ceramic substrate 1 is separated so that the flaw detection liquid 2 is attached to the entire ceramic substrate 1, and left for 5 to 20 minutes. Next, the container 102 is taken out from the flaw detection liquid tank 101, the ceramic substrate 1 is washed with shower water or dipped in water, the flaw detection liquid 2 on the surface is lightly washed off, the entire container 102 is put into the drying chamber, and the surface of the ceramic substrate 1 is dried by 6 to Perform in an atmosphere of 80-90 ° C. for 8 hours.
[0004]
As another method, the ceramic substrate 1 is put into a bowl-like container 102 in the same manner as described above, and the container 102 is put into a sealable container containing the flaw detection liquid 2 and into the crack of the ceramic substrate 1. For the purpose of penetrating the flaw detection liquid 2, an inert gas is supplied and pressurized, left for 1 to 2 minutes, taken out, and washed and dried by the above-described method.
[0005]
As shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b), the ceramic substrate 1 coated with the flaw detection liquid in this manner allows the flaw detection liquid 2 to penetrate into the crack 19, and can be easily inspected visually.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional method, in order to infiltrate the flaw detection liquid 2 into the crack 19 of the ceramic substrate 1, the immersion time in the flaw detection liquid 2 shown in FIG. It was necessary and time-consuming and inefficient. Furthermore, there is a problem that subsequent cleaning and drying are also required for a long time.
[0007]
Further, since cleaning is performed manually, for example, as shown in FIG. 5A, residual unevenness of the flaw detection liquid 2 occurs in the crack 19 of the ceramic substrate 1 and the periphery thereof, and drying is performed in the container 102 in FIG. 7A. Since the drying is performed in the drying chamber while being placed in the chamber, drying spots due to the overlapping of the ceramic substrates 1 occur on the surface of the ceramic substrate 1. Both of these have been factors in reducing the detection accuracy of crack inspection.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has been made in view of the above, and the flaw detection liquid applied to the ceramic substrate is infiltrated into the crack at 3 to 5 kgf / cm ² with a porous resin roller pressed from above and below. It consists of a liquid application section, a cleaning section that removes unnecessary flaw detection liquid, and a drying section. By continuously providing these parts, the flaw detection liquid application apparatus can be configured to perform flaw detection liquid application processing efficiently in a short time. In addition, since the penetration of the flaw detection liquid into the cracks is reliable, and it is possible to prevent dry spots due to uneven cleaning and overlapping, the detection accuracy of crack inspection can be improved.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
[0010]
As shown in FIG. 1, the flaw detection liquid application apparatus of the present invention includes a flaw detection liquid application part A, a cleaning part B, and a drying part C.
[0011]
The flaw detection liquid application part A supplies the flaw detection liquid 2 from the flaw detection liquid tank 15 shown in FIG. 1 to the spray nozzle 5 by the circulation pump 16, sprays it onto the ceramic substrate 1, and then applies it with the roller 8. . As shown in detail in FIG. 2A, the flaw detection liquid application part A is applied by spraying flaw detection liquid 2 from above and below the ceramic substrate 1 from the spray nozzle 5 while conveying the ceramic substrate 1 in the direction of the arrow by the conveyance roller 14. To do. Next, as shown in FIG. 2 (b), the pair of rollers 8 are pressed from above and below the ceramic substrate 1 to rub the flaw detection liquid 2.
[0012]
Here, the roller 8 is made of a porous material, and for example, a porous resin such as a sponge roller shown in Table 1 is suitable. In addition, the diameter D1 of the roller 8 is preferably 35 mm or less, and the pressure applied from above and below the ceramic substrate 1 is preferably 3 to 5 kgf / cm ² . The basis for setting the diameter D1 of the roller 8 to 35 mmφ or less is that the flaw detection liquid coating apparatus of the present invention is a general-purpose machine that can handle a general ceramic substrate, and the minimum outer edge size of the general ceramic substrate is 25.4 mm. Therefore, in order to cope with this, the pitch P of the transport roller 14 is set to 25 mm, and the diameter D2 of the roller 8 entering between them is set to a maximum of 35 mm because the diameter D2 of the transport roller 14 is 10 mm.
[0013]
Further, the pressure for pressing the roller 8 from above and below the ceramic substrate 1 is set to 3 to 5 kgf / cm ^{2. If the} pressure is less than 3 kgf / cm ² , the penetration of the flaw detection liquid 2 into the crack 19 of the ceramic substrate 1 is not reliable. This is because if it exceeds 5 kgf / cm ² , the conveying speed of the ceramic substrate 1 at the roller 8 portion becomes slow, and the ceramic substrate 1 stays.
[0014]
In the above embodiment, the flaw detection liquid 2 is applied from the spray nozzle 5. For example, the flaw detection liquid 2 is supplied from the center of the roller 8, and the flaw detection liquid 2 is applied and pressed through the roller 8 to penetrate into the crack. It can also be made to do. Further, when guaranteeing both surfaces of the ceramic substrate 1, the flaw detection liquid 2 is applied to both surfaces as in the above embodiment, but when guaranteeing only one surface, the flaw detection liquid 2 may be applied to only one surface. In addition, a method of applying the flaw detection liquid 2 through the roller 8 is suitable.
[0015]
Further, in this process, ultrasonic waves can be applied to the ceramic substrate 1 to further increase the penetration degree into the cracks.
[0016]
[Table 1]

[0017]
Next, as shown in FIG. 1, the cleaning unit B is composed of spray nozzles 6 and 6 a and a moisture removing roller 9. As shown in FIG. 3A, the detailed description of the cleaning section B is performed by spraying water 3 onto the ceramic substrate 1 from above and below with a spray nozzle 6 to wash off the flaw detection liquid 2. Next, as shown in FIG. 3B, the water 3 on the surface of the ceramic substrate 1 is squeezed from above and below with a porous water removing roller 9. Note that a spray nozzle 6a is further added above the entrance side of the ceramic substrate 1 of the moisture removing roller 9, but this is because the moisture removing roller 9 is easily contaminated with the flaw detection liquid 2, so that the dirt is washed away. Thus, the water 3 is sprayed onto the moisture removing roller 9. The material, size, and pressure conditions of the moisture removing roller 9 of the cleaning unit B are the same as those of the roller 8 of the flaw detection liquid application unit A.
[0018]
Further, as shown in FIG. 1, the drying section C includes a moisture removing roller 10 for the ceramic substrate 1, a spray nozzle 7 for air blowing, and a dryer 11, and a ring blow 17 is added to the spray nozzle 7. Then, hot air is supplied from the hot air generator 18 to the dryer 11. As shown in FIG. 4A for details of the drying section C, the moisture removing roller 10 is first pressed from above and below the ceramic substrate 1. The material, size, and pressure conditions of the moisture removing roller 10 are determined by applying a flaw detection liquid. It is the same as the roller 8 of the part A, and its purpose is the same as that of the water removing roller 9 of the cleaning part, and is for squeezing out the water 3 remaining on the surface of the ceramic substrate 1. After that, air 4 is blown from the top and bottom of the ceramic substrate 1 with a spray nozzle 7 for air blow shown in FIG. In this air blow, there are holes in the ceramic substrate 1, and moisture remains in the holes, so the purpose of removing this moisture and removing moisture on the surface is to spray nozzles from above and below the ceramic substrate 1. 7, air 4 is blown at a pressure of 4 to 5 kgf / cm ^{2 at} an inclination angle of 15 to 20 ° from the direction opposite to the conveying direction of the ceramic substrate 1. Thereafter, as shown in FIG. 4C, the ceramic substrate 1 is conveyed to the dryer 11. The internal temperature of the dryer 11 is 80 to 150 ° C., and the pipe 12 is composed of four sets of upper and lower parts. Five nozzles 13 having a hole diameter of 2.5 mmφ are provided in one pipe 12, and hot air is injected from the nozzle 13. It is supposed to be.
[0019]
In the flaw detection liquid coating apparatus of the present invention, the effective width capable of processing the ceramic substrate 1 in each part of the flaw detection liquid application part A, the cleaning part B, and the drying part C is set to about 500 mm. Thus, the flaw detection liquid coating treatment of the ceramic substrate 1 can be performed.
[0020]
With the above apparatus configuration, for example, the flaw detection liquid 2 can be automatically and reliably penetrated into the crack 19 of the ceramic substrate 1 as shown in FIG. 5A, as shown in FIG. A clean treated surface free of unevenness and dry spots can be obtained, and the flaw detection liquid coating treatment time can be as short as 10 to 15 seconds.
[0021]
【Example】
Examples of the present invention will be described below.
[0022]
The ceramic substrate 1 used in the example is made of alumina ceramics with an Al ₂ O ₃ content of 96%. As shown in FIG. 6A, the outer side size L1 = 62 mm, L2 = 60 mm, the diameter D3 of the through hole 20 0.4 mm and the distance L3 = 0.8 mm between the through-hole 20 and the outer periphery of the ceramic substrate 1 were used. Further, a crack 19 having a length of 0.8 mm enters between the through hole 20 and the outer side of the ceramic substrate 1, and the width W1 and W2 of the crack 19 are 2 to 4 μm as shown in FIG. The depth T = 0.64 mm penetrates the front and back of the ceramic substrate 1 and the presence of this crack 19 was confirmed with a microscope with a magnification of 32 times.
[0023]
300 sheets were prepared by applying this ceramic substrate 1 by the immersion process of the flaw detection liquid 2 shown in FIG. 7B of the prior art, and using the flaw detection liquid application apparatus according to the present invention shown in FIG. . As the flaw detection liquid 2, a dye penetrant flaw detection liquid shown in Table 2 was used. In addition, the processing of the ceramic substrate 1 of the flaw detection liquid coating apparatus of the present invention was performed in parallel in five rows in the horizontal direction.
[0024]
[Table 2]

[0025]
The same inspector visually inspected the crack 19 on the ceramic substrate 1 subjected to the above-described flaw detection liquid coating treatment under 100 W incandescent bulb illumination, and compared the detection accuracy. First, as a result of comparing the processing times of the flaw detection liquid coating process according to the prior art and the flaw detection liquid coating apparatus according to the present invention, the flaw detection liquid coating method according to the prior art applies the ceramic substrate 1 to the 300 sheet flaw detection liquid 2 and cleans it. It took 20 minutes for the treatment time until 6 hours for the subsequent drying. On the other hand, the processing time in the flaw detection liquid coating apparatus according to the present invention is 15 minutes to apply 300 sheets of flaw detection liquid to the ceramic substrate 1, cleaning and drying. I was able to process it.
[0026]
The results of comparison of crack detection accuracy in the above-described ceramic substrate 1 subjected to the flaw detection liquid application show that the detection accuracy of the crack 19 of the ceramic substrate 1 subjected to the flaw detection liquid application processing according to the conventional technique is 88.3%. The detection accuracy of the crack 19 of the ceramic substrate 1 processed by the flaw detection liquid coating apparatus according to the invention was 100%, and an improvement in the crack detection accuracy was confirmed.
[0027]
【The invention's effect】
According to the present invention, the flaw detection liquid is supplied from the flaw detection liquid tank to the spray nozzle, sprayed onto the ceramic substrate, the porous roller is pressed from the top and bottom of the ceramic substrate to infiltrate the flaw detection liquid into the crack portion, and then washed. By adopting a device that performs continuous drying, the flaw detection liquid can be applied efficiently, and the flaw detection liquid penetrates into the cracks of the ceramic substrate without any uneven coating or drying spots on the ceramic substrate surface. Therefore, the detection accuracy of crack inspection can be improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic sectional view of a flaw detection liquid coating apparatus for a ceramic substrate according to the present invention.
FIGS. 2A and 2B are cross-sectional views of a flaw detection liquid application portion of a ceramic substrate flaw detection liquid application apparatus of the present invention.
FIGS. 3A and 3B are cross-sectional views of a cleaning unit of a ceramic substrate flaw detection liquid coating apparatus according to the present invention.
4A to 4C are cross-sectional views of a drying section of the flaw detection liquid coating apparatus for a ceramic substrate according to the present invention.
5A is a plan view of a ceramic substrate, and FIG. 5B is a cross-sectional view of a crack portion of the ceramic substrate.
6A is a plan view of a ceramic substrate used in an example of the present invention, and FIG. 6B is a cross-sectional view of a crack portion.
7A and 7B are diagrams for explaining a conventional method for applying a flaw detection liquid, in which FIG. 7A is a perspective view of a container and a ceramic substrate, and FIG. 7B is a cross-sectional view of a ceramic substrate immersed in a flaw detection liquid tank.
[Explanation of symbols]
1, ceramic substrate 2, flaw detection liquid 3, water 4, air 5, spray nozzle 6, 6a, spray nozzle 7, spray nozzle 8, roller 9, moisture removal roller 10, moisture removal roller 11, dryer 12, pipe 13, Nozzle 14, transfer roller 15, flaw detection liquid tank 16, circulation pump 17, ring blow 18, hot air generator 19, crack 20, through hole 101, flaw detection liquid tank 102, container A, flaw detection liquid application part B, cleaning part C, Drying part D1, D2, D3, diameter P, pitch L1, L2, outer side dimension L3, distance T between outer sides, depth W1, W2, width

Claims

A flaw detection liquid application section in which the flaw detection liquid applied to the ceramic substrate is allowed to penetrate into the cracks at 3 to 5 kgf / cm ² with a porous resin roller pressed from above and below, and a cleaning section for washing away unnecessary flaw detection liquid A flaw detection liquid coating apparatus for a ceramic substrate, comprising a drying section and comprising these continuously.