JP3633745B2 - センサ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、センサ装置に関し、特に、酸素濃度、湿度等をヒータを内蔵するガスセンサにて測定すると共に、該ガスセンサを温度補正するための温度測定用の温度センサを備えるセンサ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来技術に係るガス濃度及び温度を測定する測定装置について、図7(A)を参照して説明する。ガスセンサ120と温度センサ130とは、絶縁性のセンサ台座140に配置され、該センサ台座140は、金属パイプ114の先端に配設された接続金具116に取り付けられている。また、該測定装置には、ガスセンサ120と温度センサ130との防塵用のカバー150が配設されている。かかる構成においては、ガス濃度と温度とが一台の測定装置にて測定することができる。
【0003】
現在、酸素濃度の測定等、例えば、工場等におけるガスボイラの排気ガス中の酸素濃度を測定し、空燃比を制御する場合、或いは、高温下で湿度を測定する場合、パン工場で加熱釜中の湿度を調整する場合等に、ジルコニア等の固体電解質センサが用いられている。かかる固体電解質のセンサは、高温下の活性状態においてのみ測定が可能であるため、ヒータ等の加熱装置を付加し500°C〜800°C程度の設定温度まで加熱して用いている。また、固体電解質のセンサは、被測定雰囲気の温度により出力値が偏位するため、正確に測定を行うためには、該雰囲気の温度を測定して温度補正を行う必要がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、上記加熱の必要なガスセンサと、該ガスセンサにて測定した値を温度補正するための温度測定用のセンサとを図7(A)に示すように一台のセンサ装置に取り付けたとすると、加熱されたガスセンサからの熱的影響を受けて、温度センサが適切に周囲雰囲気の温度を測定できなくなる。このため、本発明者は、図7(B)に示すようにガスセンサ220と温度センサ130とを距離的に離して配置することを案出した。しかしながら、このようにしてガスセンサ220及び温度センサ130を配置すると、センサ装置が大型化するという課題が発生する。
【0005】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、加熱式のガスセンサと温度センサとを同時に収容し得るコンパクトな構成のセンサ装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため、請求項1のセンサ装置では、
加熱用のヒータを内蔵するガス濃度又は湿度の少なくとも一方を測定する測定素子と、 前記測定素子を温度補正するための温度検出素子と、
前記測定素子と前記温度検出素子とを保持する保持部材と、
前記保持部材を被測定雰囲気中に延在させて支持する支持部材と、を有するセンサ装置であって、
前記保持部材が、前記測定素子と前記温度検出素子とを、前記支持部材による支持方向とほぼ平行であって、且つ、所定距離離間させて保持すること技術的特徴とする。
【0007】
また、請求項2のセンサ装置では、請求項1において、前記測定素子と前記温度検出素子との離間距離は、50mm以上であることを技術的特徴とする。
【0008】
また、請求項3のセンサ装置では、請求項1又は2において、前記保持部材は、筒状に形成され、前記温度検出素子を内部に保持していることを技術的特徴とする。
【0009】
請求項1の発明では、保持部材が測定素子と温度検出素子とを保持しているため、測定素子と温度検出素子との交換が容易である。また、測定素子と温度検出素子が所定距離離間されているため、ヒータにて加熱された測定素子の温度の影響を温度検出素子が受けることがない。更に、保持部材が、測定素子と温度検出素子とを保持部材の支持方向とほぼ平行に保持しているため、測定素子と温度検出素子と離間して配置しても、センサ装置の幅が広がることがない。ここで、保持部材は、絶縁部材等を介して測定素子と温度検出素子を保持することも、また、測定素子と温度検出素子を直接保持することもできる。更に、保持部材は、複数の部材から構成されていてもよい。
【0010】
請求項2の発明では、測定素子と温度検出素子とが50mm以上離されているため、ヒータにて加熱される測定素子の温度の影響として温度検出素子が受ける値が1°C以下となり、温度検出素子が正確に雰囲気温度を測定できる。
【0011】
請求項3の発明では、筒状の保持部材が温度検出素子を内部に保持しており、外部雰囲気に晒されることがないため、温度検出素子に故障が発生し難い。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のセンサ装置について図を参照して説明する。
図1は本実施形態のセンサ装置を示す図であり、図中で一点鎖線の左側を切り欠いて示している。本実施態様のセンサ装置10は、支持部材であるプローブパイプ14の先端にセンサユニット12が取り付けられ、後端に配線ケース52が取り付けられて成る。該プローブパイプ14としては、直径25mmで長さ100〜1000mmのステンレスパイプを用いている。該センサユニット12側の周囲には、ステンレスを焼結させてなる多孔質の防塵用プロテクタ50が取り付けられ、センサユニット12の先端に取り付けられているガスセンサ20の保護が図られている。
【0013】
センサ装置10は、排気ダクト内の酸素濃度及び湿度を検出するため、該排気ダクトの壁面60に設けられた通孔60aに該プローブパイプ14を挿通し、排気ダクト内部にセンサユニット12を延在させ、他方、排気ダクト外部側に配線ケース52が位置するように配設されている。該センサユニット12からの後述するリード線は、該プローブパイプ14内を通って、配線ケース52側まで引き込まれる。
【0014】
図1中にサイクルCで示すセンサユニット12を拡大して図2に示し、また、該プローブパイプ14から該センサユニット12を外した状態を図3に、更に、図3に示すセンサユニット12の縦断面を図4に示す。
図3に示すように、センサユニット12は、先端部に酸素濃度及び湿度を同時に検出する測定素子であるガスセンサ20が、セラミック等の絶縁体から成るガスセンサ台座40を介して保持部材である筒状のセンサ取り付け金具42に取り付けられている。該センサ取り付け金具42は、ステンレスから成り上端にボルト部42bが、ボルト部42bの下方にはネジ山42aが形成されている。
【0015】
図4に示すように、センサユニットとして、該センサ取り付け金具42の内部には、セラミック等の絶縁体から成る温度センサ台座46を介して温度測定素子である温度センサ18が取り付けられている。該温度センサは、検出精度の高い白金側温抵抗体から成る。図中でDとして示すガスセンサ20から温度センサ18までの距離は、約65mmに設定され、加熱されたガスセンサ20からの熱的影響を温度センサ18が受けないように構成されている。ガスセンサ20からのリード線は、温度センサ台座46を介して外部へ引き出されている。同様に温度センサ18からのリード線も該温度センサ台座46を介して引き出されている。このリード線は、図1を参照して上述したようにプローブパイプ14を介して配線ケース52まで引き出されている。
【0016】
該センサ取り付け金具42の内部は、ガスセンサ台座40及び温度センサ台座46とによって気密状態に保たれ、温度センサ18は、外部雰囲気に晒させないように構成されている。従って、該温度センサ18は、酸素濃度の測定を行っている被測定ガスの温度を直接測定する訳ではないが、金属部分或いは空気部分を介した熱伝導によってセンサ取り付け金具42も被測定ガスの温度と等しくなるため、温度センサ18は、被測定ガス温度を正確に測定し、ガスセンサ20の測定値の温度補正を適切に行うことができる。
【0017】
ここで、温度センサ18を構成する白金側温抵抗体は、正確に温度を測定できる反面、比較的外部からの機械的衝撃に弱いと共に、高湿度下で用いると、配線に腐食が生じて故障し易い。このため、本実施態様では、温度センサ18を気密構造のセンサ取り付け金具内に収容し、機械的な外力が加わらないようにすると共に、配線等に腐食を発生させないようにしてある。なお、この実施態様では、温度センサとして白金側温度抵抗体を用いているが、この代わりにサーミスタ、熱伝対等種々の測温素子を用いることができる。
【0018】
この実施態様のセンサユニット12においては、ガスセンサ20と温度センサ18とが一対で用いられている。即ち、正確な測定を行う得るように、ガスセンサ20の特性と、温度センサ18との特性とを校正するデータが、両センサからの出力に基づき酸素濃度及び湿度を演算する演算回路(図示せず)中のメモリに保持されており、ガスセンサ20或いは温度センサ18のいずれが劣化した場合にもセンサユニット12ごと交換を行い、この際には、該センサユニット12の特性に合わせて単体調整されている演算回路を交換、又は、メモリ内の構成データを入れ替える。
【0019】
図5を参照して本実施態様に係るガスセンサ20の構成について説明する。
図5(A)は、ガスセンサ20の斜視図であり、図5(B)は、図1に示すガスセンサ20のA−A断面図である。
該ガスセンサ20は、幅が約5mmで、高さが約20mmで、厚みが約1mmに構成されている。ガスセンサ20は、タングステン製のヒータ線23を内蔵する3〜4Wのセラミックヒータ22の両面に、安定化ジルコニア板(固体電解質)24、26が配設されて成る。該安定化ジルコニア板24には、多孔質の白金層から成る陽電極26A及び陰電極28Aが埋設されている。同様に、安定化ジルコニア板26側には、陽電極26B及び陰電極28Bが埋設されている。そして、安定化ジルコニア板24側には、ガス出口穴30A及びガス導入部32が穿設され、同様に、安定化ジルコニア板26側には、ガス出口穴30B及びガス導入部(図示せず)が穿設されている。
【0020】
このガスセンサ20は、ヒータ22によって約500°Cまで加熱され、一方の安定化ジルコニア板、例えば、安定化ジルコニア板24側にて、酸素濃度に比例した限界電流値が得られる印加電圧値から酸素濃度を測定すると同時に、他方の安定化ジルコニア板、例えば、安定化ジルコニア板26側にて、水分子を分解した酸素濃度値から湿度を測定する。このガスセンサ20の製造方法及び動作については、本出願人の出願に係る特開平5−87773号公報中に詳細に述べられているため、ここでは説明を省略する。
【0021】
引き続き、図2を参照して本実施態様のセンサユニット12の取り付け方法について説明する。
プローブパイプ14の先端には、中央にネジ山16aの穿設された通孔16bを有する金属製の接続金具16が溶接により取り付けられている。先ず、センサユニット12のリード線48を該接続金具16の通孔16bに挿通する。そして、センサユニット12のセンサ取り付け金具42のネジ山42aを、該通孔16b内のネジ山16aにねじ込むことにより、該センサユニット12を固定する。該センサユニット12を覆うように、プロテクタ50を接続金具16のねじ山16cにねじ込む。他方、該センサユニット12のリード線48を、図1に示す配線ケース52内で演算回路側(図示せず)へ接続する。この演算回路は、該センサユニット12に取り付けられているガスセンサ20及び温度センサ18の特性に合わせて単体調整がなされている。
【0022】
即ち、本実施態様では、上述したように、ガスセンサ20又は温度センサ18が劣化した際、或いは、所定運転時間が経過し定期交換する際には、該センサユニット12を新しい物に取り替えると共に、該新しいセンサユニット12に合わせて単体調整された演算回路へと取り替え、或いは、メモリ内の構成データを入れ替える。
【0023】
引き続き、ガスセンサ20と温度センサ18との配設距離Dと、熱的影響の関係について図6のグラフを参照して説明する。
この実験では、ガスセンサ20から温度センサ18までの距離を変えながら、温度センサ18側でのガスセンサ20からの熱的影響について測定した。ここでは、上記実施態様のガスセンサ20のヒータ(3〜4W)に定格電流を流し、設定温度である500°Cまで加熱し、また、温度センサ18にて150°C(ボイラの排気温度に対応)を測定した際の値を示している。
【0024】
グラフ中に示すように、150mm以上離すことにより、熱的影響を殆ど受けなく成ることが分かった。また、50mm以上離せば、熱的影響が1°C以下、即ち、測定温度が雰囲気温度+1°Cとなり、ガスセンサ20の出力値の温度補正をほぼ正確に行い得ることが判明した。このため、本実施態様の構成では、ガスセンサ20と温度センサ18とを50mm以上離間させることが望ましい。
【0025】
上記実施態様では、センサ取り付け金具42にガスセンサ20と温度センサ18との両方を保持するユニット構成としているため交換が容易である。また、ガスセンサ20と温度センサ18とを65mm離間してあるため、ヒータにて加熱されたガスセンサ20の温度の影響を温度センサ18が受けることがない。更に、センサ取り付け金具42が、ガスセンサ20と温度センサ18とをプローブパイプ14の支持方向とほぼ平行に保持しているため、図7(B)を参照した配置例と異なり、ガスセンサ20と温度センサ18と離間して配置しても、センサ装置10の幅が広がることがない。
【0026】
更に、筒状のセンサ取り付け金具42の内部に温度センサ18を保持しているため、センサユニット12取り付けの際に、温度センサ18が他の部材と接触して機械的衝撃を受けることが無い。また、ボイラ等の高温多湿度、或いは、亜硫酸ガス等を含む腐食性の高いガス中でも、外部雰囲気に晒されることがないため、温度センサ18に腐食によって故障が発生しない。
【0027】
なお、この実施態様では、酸素濃度と湿度とを同時に測定するガスセンサ20を例示したが、ガス濃度のみ、或いは、湿度のみを検出するセンサにも本発明を適用し得る。また、この例では、固体電解質のガスセンサ20により、酸素濃度を測定する場合を例に挙げたが、NOx、SOx等の濃度を測定する場合にも、本構成を適用できる。また、この例では、固体電解質のガスセンサを用いたが、ヒータを備えるセンサであれば、例えば、金属酸化物を用いる半導体式等のセンサにも本実施態様の構成を適用できる。
【0028】
更に、本実施態様では、センサ取り付け金具42内に温度センサ18を収容したが、該温度センサ18を外部に取り付けることも可能である。例えば、図4に示ように温度センサ台座46から上方を指向して取り付けられている温度センサ18を、該温度センサ台座46から下方を指向させ、外部へ取り付けることも可能である。また、本実施態様では、金属製のセンサ取り付け金具42が、セラミック製のガスセンサ台座40、温度センサ台座46を介してガスセンサ20及び温度センサ30を保持したが、該センサ取り付け金具42をセラミックにより構成することで、ガスセンサ20及び温度センサ30を直接保持することも可能である。
【0029】
【発明の効果】
以上のように、請求項1の発明では、保持部材が測定素子と温度検出素子とを一体的にユニット方式で保持しているため、交換が容易である。また、測定素子と温度検出素子とが所定距離離間されているため、ヒータにて加熱された測定素子の温度の影響を温度検出素子が受けることがない。更に、保持部材が、測定素子と温度検出素子とを支持部材の支持方向とほぼ平行に保持しているため、測定素子と温度検出素子と離間して配置しても、センサ装置の幅が広がることがない。
【0030】
請求項2の発明では、測定素子と温度検出素子とが50mm以上離されているため、ヒータにて加熱される測定素子の温度の影響として温度検出素子が受ける値が1°C以下となる。このため、温度検出素子が正確に雰囲気温度を測定できるので、温度検出素子の測定した雰囲気温度に基づいて測定素子の検出値を適切に補正することが可能となる。
【0031】
請求項3の発明では、筒状の保持部材が温度検出素子を内部に保持しており、外部雰囲気に晒されることがないため、温度検出素子に故障が発生し難い。また、取り付けの際に、該温度検出素子を他の部材等と接触させることがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態のセンサ装置の一部を切り欠いて示す説明図である。
【図2】図1のサイクルCを拡大して示す説明図である。
【図3】本実施形態のセンサユニットの側面図である。
【図4】図3に示すセンサユニットの縦断面図である。
【図5】図5(A)は本実施態様のガスセンサの斜視図であり、図5(B)は図5(A)のA−A断面を示す断面図である。
【図6】ガスセンサから温度センサまでの距離と温度差との関係を示すグラフである。
【図7】図7(A)は従来技術に係るセンサを示す断面図であり、図7(B)はセンサ装置の一構成例を示す断面図である。
【符号の説明】
10 センサ装置
12 センサユニット
14 プローブパイプ(支持部材)
20 ガスセンサ(測定素子)
30 温度センサ(温度測定素子)
40 ガスセンサ台座
42 センサ取り付け金具(保持部材)
46 温度センサ台座
48 リード線
Claims (3)
- 加熱用のヒータを内蔵するガス濃度又は湿度の少なくとも一方を測定する測定素子と、
前記測定素子を温度補正するための温度検出素子と、
前記測定素子と前記温度検出素子とを保持する保持部材と、
前記保持部材を被測定雰囲気中に延在させて支持する支持部材と、を有するセンサ装置であって、
前記保持部材が、前記測定素子と前記温度検出素子とを、前記支持部材による支持方向とほぼ平行であって、且つ、所定距離離間させて保持すること特徴とするセンサ装置。 - 前記測定素子と前記温度検出素子との離間距離は、50mm以上であることを特徴とする請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記保持部材は、筒状に形成され、前記温度検出素子を内部に保持していることを特徴とする請求項1又は2に記載のセンサ装置。
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