JP3617584B2

JP3617584B2 - Diffractive optical element

Info

Publication number: JP3617584B2
Application number: JP07566597A
Authority: JP
Inventors: 弘向井; 祐一郎大利; 滋人大森
Original assignee: コニカミノルタフォトイメージング株式会社
Priority date: 1997-03-27
Filing date: 1997-03-27
Publication date: 2005-02-09
Anticipated expiration: 2017-03-27
Also published as: JPH10268116A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回折光学素子に関するものであり、更に詳しくは、２種類の光学材料の境界面に回折格子を有する位相型の回折光学素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
２種類の光学材料の境界面に回折格子を有する光学素子が、特開平７−７７６０６号公報に開示されている。この回折光学素子は、装置の組み立てを簡素化するために、回折格子と撮像素子との間の空間に低屈折率材料が充填された構造をとっている。回折格子は、ローパスフィルター効果を得るために複数の次数光が発生する設計になっており、そのため格子形状は矩形形状（バイレベル）となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述の従来例では、回折格子によるレンズ作用が得られない。また、回折格子を有することによりレンズとして作用する回折光学素子においては、波長によらずただ一つの次数光が発生する設計でなければならない。設計波長以外で回折効率が低下すると、ゴーストが発生するからである。このため、格子形状は階段状（マルチレベル）又はのこぎり刃状（ブレーズ）であるのが望ましい。しかし、これらの格子形状を有する回折光学素子は製造が困難である。
【０００４】
高い回折効率を波長に対して比較的フラットに得るために、ガラス（ＳＳＫ３）とポリスチレンとを組み合わせた回折光学素子が、文献：ＳｔｅｖｅｎＭ．Ｅｂｓｔｅｉｎ ”Ｎｅａｒｌｙｉｎｄｅｘ−ｍａｔｃｈｅｄｏｐｔｉｃｓｆｏｒａｓｐｈｅｒｉｃａｌ，ｄｉｆｆｒａｃｔｉｖｅ，ａｎｄａｃｈｒｏｍａｔｉｃ−ｐｈａｓｅｄｉｆｆｒａｃｔｉｖｅｅｌｅｍｅｎｔｓ”（ＯＰＴＩＣＳＬＥＴＴＥＲＳ／Ｖｏｌ．２１，Ｎｏ．１８／Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ１５，１９９６）で提案されている。しかし、製造容易な構成を有する回折光学素子についての開示はない。
【０００５】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであって、設計次数での回折効率が波長によらず高く、かつ、製造容易な回折光学素子を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、第１の発明の回折光学素子は、２種類の光学材料の境界面に回折格子を有する位相型の回折光学素子であって、一方の光学材料を第１光学材料とし他方の光学材料を第２光学材料とすると、第１，第２光学材料が以下の条件式を満足することを特徴とする。
｜ k − k' ｜＜ 0.024
｜ nd − n'd ｜＞ 0.035
ただし、
k ： ( ν d ／ν DOE −１ ) × (nF − nC) で表される第１光学材料の値，
ν d ：第１光学材料のｄ線に対する分散値 ( アッベ数 ) ，
ν DOE ：回折光学効果による分散値 (=-3.45) ，
nF − nC ：第１光学材料のＦ線に対する屈折率とＣ線に対する屈折率との差 ( 主分散 ) ，
k' ： ( ν 'd ／ν DOE −１ ) × (n'F − n'C) で表される第２光学材料の値，
ν 'd ：第２光学材料のｄ線に対する分散値 ( アッベ数 ) ，
n'F − n'C ：第２光学材料のＦ線に対する屈折率とＣ線に対する屈折率との差 ( 主分散 ) ，
nd ：第１光学材料のｄ線に対する屈折率，
n'd ：第２光学材料のｄ線に対する屈折率
である。
【０００７】
第２の発明の回折光学素子は、上記第１の発明において、前記第１光学材料の空気に接する面が凸形状であり、第１光学材料が以下の条件式を満足することを特徴とする。
ν d ＞ 60
ただし、
ν d ：第１光学材料のｄ線に対する分散値 ( アッベ数 )
である。
【０００８】
第３の発明の回折光学素子は、上記第１又は第２の発明において、前記第１光学材料の空気に接する面が凸形状であり、第２光学材料の空気に接する面が凹形状であることを特徴とする。
【０００９】
第４の発明の回折光学素子は、上記第１の発明において、前記２種類の光学材料のうち、一方の光学材料が回折格子面を有するガラス又は樹脂であり、他方の光学材料が前記回折格子面上に設けられた紫外線硬化樹脂であることを特徴とする。
【００１０】
第５の発明の回折光学素子は、上記第１の発明において、前記２種類の光学材料のうち、一方の光学材料が回折格子面を有するガラス又は樹脂であり、他方の光学材料が浸し又は流しによって前記回折格子面上に塗布された樹脂であることを特徴とする。
【００１１】
第６の発明の回折光学素子は、上記第１の発明において、前記２種類の光学材料のうち、一方の光学材料が回折格子面を有するガラス又は樹脂であり、他方の光学材料が前記回折格子面と接するように設けられた液体であることを特徴とする。
【００１２】
第７の発明の回折光学素子は、上記第１の発明において、前記２種類の光学材料のうち、一方の光学材料が回折格子面を有するガラス又は樹脂であり、他方の光学材料が前記回折格子面と接するように設けられた弾性を有する樹脂であることを特徴とする。
【００１３】
第８の発明の回折光学素子は、上記第１の発明において、前記２種類の光学材料のうち、一方の光学材料が回折格子面を有する相対的に高融点の樹脂であり、他方の光学材料が前記回折格子面上に設けられた相対的に低融点の樹脂であることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施した回折光学素子を、図面を参照しつつ説明する。いずれの実施の形態も、２種類の光学材料の境界面に回折格子を有する位相型の回折光学素子である。各実施の形態において、２種類の光学材料のうちの一方の光学材料を第１光学材料１とし、他方の光学材料を第２光学材料２とする。また、回折格子面をＤＳとする。
【００１５】
《紫外線硬化樹脂を用いた実施の形態（図１）》
この実施の形態では、第１光学材料１が回折格子面ＤＳを有するガラス又は樹脂であり、第２光学材料２が回折格子面ＤＳ上に設けられた紫外線硬化樹脂である。製造においては、まず第１光学材料１の表面に回折格子を作製する。この回折格子の格子高さは、第１，第２光学材料１，２の屈折率差で決定される。次に、第２光学材料２となる液化状態の紫外線硬化樹脂を回折格子面ＤＳ上に塗布し、図１に示すように金型Ｍ内にセットする。第１光学材料１側から回折格子面ＤＳに向けて紫外線Ｌを照射して紫外線硬化樹脂を硬化させると、硬化した紫外線硬化樹脂から成る第２光学材料２と第１光学材料１との間に回折格子面ＤＳを有する回折光学素子が得られる。
【００１６】
《樹脂が塗布された実施の形態（図２）》
この実施の形態では、第１光学材料１が回折格子面ＤＳを有するガラス又は樹脂であり、第２光学材料２が浸し又は流しによって回折格子面ＤＳ上に塗布された樹脂である。製造においては、まず第１光学材料１の表面に回折格子を作製する。この回折格子の格子高さは、第１，第２光学材料１，２の屈折率差で決定される。次に、図２に示すように、第１光学材料１を回折格子の光軸を中心として回転させながら、第２光学材料２となる液化状態の樹脂を回折格子面ＤＳ上に滴下する。液化状態の樹脂を乾燥させると、第１光学材料１と第２光学材料２との間に回折格子面ＤＳを有する回折光学素子が得られる。
【００１７】
《液体を用いた実施の形態（図３，図４）》
この実施の形態では、第１光学材料１が回折格子面ＤＳを有するガラス又は樹脂であり、第２光学材料２が回折格子面ＤＳと接するように設けられた液体である。製造においては、まず第１光学材料１の表面に回折格子を作製する。この回折格子の格子高さは、第１，第２光学材料１，２の屈折率差で決定される。次に、図３（Ａ）に示すように、第２光学材料２である液体を液体保持ケース３内に充填し、第１光学材料１で液体保持ケース３を密閉する。第２光学材料２である液体は第１光学材料１の回折格子面ＤＳと接するため、図３（Ｂ）の拡大図で示すように、第１光学材料１と第２光学材料２との間に回折格子面ＤＳを有する回折光学素子が得られる。２個の第１光学材料１を用いれば、図４に示すように２枚の回折格子面ＤＳを有する回折光学素子を得ることができる。この回折光学素子は、回折格子面ＤＳが向かい合うように２個の第１光学材料１を液体保持ケース４内に配置して、その間の空間に液体である第２光学材料２を充填した構成となっている。
【００１８】
《弾性樹脂を用いた実施の形態（図５，図６）》
この実施の形態では、第１光学材料１が回折格子面ＤＳを有するガラス又は樹脂であり、第２光学材料２が回折格子面ＤＳと接するように設けられた弾性を有する樹脂である。製造においては、まず第１光学材料１の表面に回折格子を作製する。この回折格子の格子高さは、第１，第２光学材料１，２の屈折率差で決定される。次に、図５（Ａ）に示すように、第２光学材料２である弾性樹脂を加圧保持ケース５内に入れて、第２光学材料２が回折格子面ＤＳに圧着するように、第１光学材料１で加圧保持ケース５を密閉する。第２光学材料２である弾性樹脂は第１光学材料１の回折格子面ＤＳと接するため、図５（Ｂ）の拡大図で示すように、第１光学材料１と第２光学材料２との間に回折格子面ＤＳを有する回折光学素子が得られる。２個の第１光学材料１を用いれば、図６に示すように２枚の回折格子面ＤＳを有する回折光学素子を得ることができる。この回折光学素子は、回折格子面ＤＳが向かい合うように２個の第１光学材料１を加圧保持ケース６内に配置して、その間の空間に弾性樹脂である第２光学材料２を入れて、２個の第１光学材料１で挟み込んだ構成となっている。
【００１９】
《融点の異なる樹脂を用いた実施の形態（図７）》
この実施の形態では、第１光学材料１が回折格子面ＤＳを有する相対的に高融点の樹脂であり、第２光学材料２が回折格子面ＤＳ上に設けられた相対的に低融点の樹脂である。製造においては、まず第１光学材料１の成形を行う。第１光学材料１の成形は、金型Ｍ内に第１光学材料１である高融点樹脂を入れて溶融状態とし、図７（Ａ）に示すように回折格子面ＤＳを成型する金型Ｍ１で第１光学材料１をプレスすることにより行う。第１光学材料１の表面に形成される回折格子の格子高さは、第１，第２光学材料１，２の屈折率差で決定される。金型Ｍ，Ｍ１の温度が第２光学材料２である低融点樹脂の融点温度程度まで低下したら、金型Ｍから金型Ｍ１を取り外す。そして、図７（Ｂ）に示すように第２光学材料２である低融点樹脂を充填し、金型Ｍ２で第２光学材料２をプレスする。第１，第２光学材料１，２の温度が常温まで低下すると、一体化した第１光学材料１と第２光学材料２との間に回折格子面ＤＳを有する回折光学素子が得られる。このように、高融点樹脂が固まった状態で低融点樹脂が投入されるため、回折格子面ＤＳの形状を保持しながら２種類の樹脂を接合することができる。
【００２０】
《分散の異なる樹脂を用いた実施の形態》
ここでは、分散の異なる第１，第２光学材料１，２を用いた回折光学素子を説明する。ブレーズ形状を有する回折光学素子の任意波長λでの回折効率ηは、次の式▲１▼で表される。
η＝ｓｉｎｃ^２（α−１） …▲１▼
ただし、
α＝ｈ×｛ｎ（λ）−ｎ’（λ）｝／λ，
ｈ：λ０／｛ｎ（λ０）−ｎ’（λ０）｝で表される格子高さ（ブレーズ高さ），
ｎ（λ）：第１光学材料１の任意波長λの光に対する屈折率，
ｎ’（λ）：第２光学材料２の任意波長λの光に対する屈折率，
λ０：回折格子（ブレーズ）の設計波長
ｎ（λ０）：第１光学材料１の設計波長λ０の光に対する屈折率，
ｎ’（λ０）：第２光学材料２の設計波長λ０の光に対する屈折率
である。
【００２１】
Ｆ線でのαをαＦとすると、αＦ＝ｈ×（ｎＦ−ｎ’Ｆ）／λＦである（ただし、λＦ：Ｆ線の波長，ｎＦ：第１光学材料１の波長λＦの光に対する屈折率，ｎ’Ｆ：第２光学材料２の波長λＦの光に対する屈折率である。）。また、Ｃ線でのαをαＣとすると、αＣ＝ｈ×（ｎＣ−ｎ’Ｃ）／λＣである（ただし、λＣ：Ｃ線の波長，ｎＣ：第１光学材料１の波長λＣの光に対する屈折率，ｎ’Ｃ：第２光学材料２の波長λＣの光に対する屈折率である。）。したがって、次の式▲２▼が成り立つ。
αＦ×λＦ−αＣ×λＣ＝ｈ×｛（ｎＦ−ｎＣ）−（ｎ’Ｆ−ｎ’Ｃ）｝ …▲２▼
【００２２】
上式▲２▼について、ブレーズの設計波長λ０をｄ線の波長とし、αが波長によらず一定値１をとるとすると、式▲２▼は次の式▲３▼となる（ただし、λｄ：ｄ線の波長，ｎｄ：第１光学材料１の波長λｄの光に対する屈折率，ｎ’ｄ：第２光学材料２の波長λｄの光に対する屈折率である。）。
（ｎｄ−ｎ’ｄ）／νＤＯＥ＝（ｎＦ−ｎＣ）−（ｎ’Ｆ−ｎ’Ｃ） …▲３▼
ただし、
νＤＯＥ＝λｄ／（λＦ−λＣ）＝−３．４５
である。
【００２３】
第１光学材料１の分散値（アッベ数）をνｄとし、第２光学材料２の分散値（アッベ数）をν’ｄとして上式▲３▼を整理すると、次の式▲４▼が得られる。
（νｄ／νＤＯＥ−１）×（ｎＦ−ｎＣ）＝（ν’ｄ／νＤＯＥ−１）×（ｎ’Ｆ−ｎ’Ｃ） …▲４▼
この式▲４▼は、Ｆ線，Ｃ線で回折効率１を与える条件であるが、回折効率がＦ線，Ｃ線で１とならない場合には、
（νｄ／νＤＯＥ−１）×（ｎＦ−ｎＣ）≠（ν’ｄ／νＤＯＥ−１）×（ｎ’Ｆ−ｎ’Ｃ）
であり、任意の２種類の材料（すなわち、第１，第２光学材料１，２）について、
ｋ＝（νｄ／νＤＯＥ−１）×（ｎＦ−ｎＣ），
ｋ’＝（ν’ｄ／νＤＯＥ−１）×（ｎ’Ｆ−ｎ’Ｃ）
とすると、｜ｋ−ｋ’｜の値が小さいほど、Ｆ線，Ｃ線で回折効率が高くなることを示す。
【００２４】
したがって、次の条件式（１）を満たすことが望ましく、条件式（１）を満たす第１，第２光学材料１，２の組み合わせであれば、波長に対して比較的フラットで高効率な回折光学素子を得ることが可能となる。
｜ｋ−ｋ’｜＜０．０２４ …（１）
ただし、
ｋ：（νｄ／νＤＯＥ−１）×（ｎＦ−ｎＣ）で表される第１光学材料の値，
νｄ：第１光学材料のｄ線に対する分散値（アッベ数），
νＤＯＥ：回折光学効果による分散値（＝−３．４５），
ｎＦ−ｎＣ：第１光学材料のＦ線に対する屈折率とＣ線に対する屈折率との差（主分散），
ｋ’：（ν’ｄ／νＤＯＥ−１）×（ｎ’Ｆ−ｎ’Ｃ）で表される第２光学材料の値，
ν’ｄ：第２光学材料のｄ線に対する分散値（アッベ数），
ｎ’Ｆ−ｎ’Ｃ：第２光学材料のＦ線に対する屈折率とＣ線に対する屈折率との差（主分散）
である。
【００２５】
次に、単レンズに回折格子面を有することにより色補正を行う光学系を考える。回折格子面の格子ピッチは、回折光学素子のパワーに逆比例し、また、半径に逆比例する。したがって、有効径の最外周が最小ピッチとなる。以上より最外周での格子ピッチｄｍｉｎは、次の式▲５▼で表される。

ただし、
Ｆ：単レンズのＦナンバー，
ｒａｔｉｏ：単レンズ全パワーに対する回折光学素子によるパワーの比
である。
【００２６】
また、回折格子の格子高さｈは式▲６▼で表される。
ｈ＝λ０／Δｎ０ …▲６▼
ただし、
Δｎ０：回折格子面の入射，出射媒質の設計波長λ０についての屈折率差（＝｜ｎ０−ｎ’０｜）
である。
【００２７】
単レンズの色収差がとれている場合、パワー比ｒａｔｉｏは次の式▲７▼で表されるので、ブレーズの最大勾配（ｈ／ｄｍｉｎ）は次の式▲８▼で表される。式▲７▼のサンプルとして、Ｆ＝４についての最大勾配（°）を表１に示す。ただし、Δｎｄ＝｜ｎｄ−ｎ’ｄ｜である。

【００２８】
【表１】

【００２９】
ダイヤモンドバイトで回折格子を作製する場合、バイト刃先の耐摩耗性を考慮した格子の勾配は１０°程度までが望ましい。したがって、ダイヤモンドターニングでの作製を前提とするならば、以下の式（２）で示すようにνｄは６０よりも大きいことが望ましい。
νｄ＞６０ …（２）
【００３０】
また、以下の式（３）で示すように、Δｎｄは０．０３５よりも大きいことが望ましい。更に望ましくは０．０４以上、更には０．０５以上が望ましい。
｜ｎｄ−ｎ’ｄ｜＞０．０３５ …（３）
ただし、
ｎｄ：第１光学材料のｄ線に対する屈折率，
ｎ’ｄ：第２光学材料のｄ線に対する屈折率
である。
【００３１】
以上説明したいずれの実施の形態も、設計次数での回折効率が波長によらず高く（つまり、波長に対してフラットな高効率）、かつ、製造容易な回折光学素子が達成されている。波長によらず回折効率が改善されるためゴーストの発生がなく、回折格子を有することによりレンズとして作用する回折光学素子として好適に使用することができる。
【００３２】
【実施例】
以下、本発明を実施した回折光学素子を、コンストラクションデータ，図面等を参照しつつ更に具体的に説明する。表２に、各実施例に用いられている光学材料の特性（ｄ線に対する屈折率ｎｄ，アッベ数νｄ）を示す。表３に、各実施例における光学材料の組み合わせ（表２中のＮｏ．で表す。），回折格子の格子高さｈ，条件式（１）の対応値及びＦ線，Ｃ線での回折効率を示す。なお、全て設計波長はｄ線である。
【００３３】
【表２】

【００３４】
【表３】

【００３５】
《実施例１（図１）》
実施例１は、樹脂材料である非晶質ポリオレフィン（Ｎｏ．２）と、紫外線硬化樹脂であるオリゴエステルアクリレート（Ｎｏ．３）と、の境界面に回折格子を有する例である。非晶質ポリオレフィン（Ｎｏ．２）とオリゴエステルアクリレート（Ｎｏ．３）との屈折率差を考慮して、回折光学素子の格子高さｈが決められる。
【００３６】
《実施例２（図２）》
実施例２は、あらかじめ作製された回折格子面ＤＳに流動性を有する樹脂（例えば溶融状態のＮｏ．６，Ｎｏ．７）を塗布して成る例である。回折格子が形成される基盤光学材料と塗布用樹脂材料との屈折率差を考慮して、回折光学素子の格子高さｈが決められる。
【００３７】
《実施例３（図３，図４）》
実施例３は、樹脂材料であるＰＭＭＡ（ｐｏｌｙｍｅｔｈｙｌｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ，Ｎｏ．１）と、液体（Ｎｏ．４）と、の境界面に回折格子を有する例である。光学材料（Ｎｏ．１）と液体（Ｎｏ．４）との屈折率差を考慮して、回折光学素子の格子高さｈが決められる。
【００３８】
《実施例４（図５，図６）》
実施例４は、弾性樹脂である（Ｎｏ．５）とガラス（Ｎｏ．１２）との境界面に回折格子を有する例である。基盤光学材料（Ｎｏ．１２）と弾性樹脂材料（Ｎｏ．５）との屈折率差を考慮して、回折光学素子の格子高さｈが決められる。
【００３９】
《実施例５（図７）》
実施例５は、高融点を有する樹脂材料ＰＣ（ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ，Ｎｏ．６，融点：１４１℃）と、低融点を有する樹脂材料ＰＳ（ｐｏｌｙｓｔｙｒｅｎｅ，Ｎｏ．７，融点：８０℃）と、の境界面に回折格子を有する例である。高融点樹脂材料（Ｎｏ．６）と低融点樹脂材料（Ｎｏ．７）との屈折率差を考慮して、回折光学素子の格子高さｈが決められる。
【００４０】
《実施例６》
実施例６は、屈折率差（Δｎｄ＝０．０５５）が大きい２種類のガラス：ＳＦＳ５３（Ｎｏ．１２）とＬＡＳＦ６０（Ｎｏ．１０）との境界面に回折格子を有する例である。
【００４１】
《実施例７》
実施例７は、低分散の光学材料ＰＳＫＳ５３（Ｎｏ．１１）の空気に接する面が凸形状であり、その凸面の反対側の面と樹脂ＰＣ（Ｎｏ．６）との境界面に回折格子面ＤＳを有する例である。低分散のガラス材料と樹脂材料との屈折率差を考慮して、回折光学素子の格子高さｈが決められる。
【００４２】
《実施例８》
実施例８は、低分散の光学材料ＰＳＫＳ５３（Ｎｏ．１１）の空気に接する面が凸形状であり、その凸面の反対側の面と樹脂ＰＣ（Ｎｏ．６）との境界面に回折格子面ＤＳを有し、樹脂ＰＣの境界面の反対側の空気に接する面が凹形状である例である。低分散のガラス材料と樹脂材料との屈折率差を考慮して、回折光学素子の格子高さｈが決められる。凸面で発生する色収差を回折格子面ＤＳ及び凹面で補正するために、回折光学素子によるパワーは実施例７に比べて弱いものとなる。したがって、格子ピッチも相対的に大きくなるため、ダイヤモンドターニングでの作製が更に容易な形状となる。
【００４３】
表４，表５に、実施例７，８のコンストラクションデータ｛面，曲率半径，軸上間隔，屈折率（ｄ線），アッベ数｝を示し、併せて合成焦点距離，Ｆナンバー，回折光学面データＣ１，最外周ピッチ及び最外周ブレーズ勾配を示す。各コンストラクションデータにおいて、Ｓｉ（ｉ＝１，２，３）は物体側から数えてｉ番目のレンズ面であり、（ＤＯＥ）印が付された面Ｓｉは、回折光学面で構成された面であることを示し、回折光学面のピッチの位相形状を表す以下の式（ＤＳ）で定義されるものとする。
【００４４】
φ（ｈ）＝（２π／λ０）・Ｃ１・ｈ^２ …（ＤＳ）
ただし、式（ＤＳ）中、
φ（ｈ）：回折光学面の位相関数、
Ｃ１：回折光学面の１次の位相関数係数、
ｈ：光軸に対して垂直な方向の高さ（格子高さ）、
λ０：設計波長｛ｄ線の波長（＝５８７．６ｎｍ）｝
である。
【００４５】
【表４】

【００４６】
〈実施例７のその他のデータ〉
合成焦点距離＝１００，Ｆ４
Ｓ２：Ｃ１＝−３．１×１０^−４
最外周ピッチ＝７５．８μｍ
最外周ブレーズ勾配＝１２．６°
【００４７】
【表５】

【００４８】
〈実施例８のその他のデータ〉
合成焦点距離１００，Ｆ４
面Ｓ２：Ｃ１＝−１．１×１０^−４
最外周ピッチ＝２１３μｍ
最外周ブレーズ勾配＝４．６°
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように第１〜第８の発明によれば、設計次数での回折効率が波長によらず高く、かつ、製造容易な回折光学素子を実現することができる。波長によらず回折効率が改善されるためゴーストの発生がなく、回折格子を有することによりレンズとして作用する回折光学素子として好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】紫外線硬化樹脂を用いた実施の形態の製法を説明するための模式図。
【図２】樹脂が塗布された実施の形態の製法を説明するための模式図。
【図３】液体を用いた実施の形態の概略構造を示す断面図。
【図４】液体を用いた他の実施の形態の概略構造を示す断面図。
【図５】弾性樹脂を用いた実施の形態の概略構造を示す断面図。
【図６】弾性樹脂を用いた他の実施の形態の概略構造を示す断面図。
【図７】融点の異なる樹脂を用いた実施の形態の製法を説明するための模式図。
【符号の説明】
１ …第１光学材料
２ …第２光学材料
ＤＳ …回折格子面[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a diffractive optical element, and more particularly to a phase type diffractive optical element having a diffraction grating on the boundary surface between two types of optical materials.
[0002]
[Prior art]
An optical element having a diffraction grating at the interface between two types of optical materials is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 7-77606. This diffractive optical element has a structure in which a low refractive index material is filled in the space between the diffraction grating and the imaging element in order to simplify the assembly of the apparatus. The diffraction grating is designed to generate a plurality of orders of light in order to obtain a low-pass filter effect. Therefore, the grating shape is a rectangular shape (bilevel).
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional example described above, the lens action by the diffraction grating cannot be obtained. In addition, a diffractive optical element that functions as a lens by having a diffraction grating must be designed to generate only one-order light regardless of the wavelength. This is because ghosting occurs when the diffraction efficiency is reduced at a wavelength other than the design wavelength. For this reason, it is desirable that the lattice shape is stepped (multilevel) or saw blade (blazed). However, it is difficult to manufacture diffractive optical elements having these grating shapes.
[0004]
In order to obtain a high diffraction efficiency relatively flat with respect to the wavelength, a diffractive optical element in which glass (SSK3) and polystyrene are combined is described in the literature: Steven M. et. Ebstein “Nearly index-matched opticals for asymmetrical, differential, and achromatic-phase differential elements” (OPTICS LETTERS / Vol.21, No. 18 / Septem However, there is no disclosure of a diffractive optical element having an easily manufactured configuration.
[0005]
The present invention has been made in view of such a situation, and an object of the present invention is to provide a diffractive optical element that has high diffraction efficiency at a design order regardless of wavelength and is easy to manufacture.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the diffractive optical element of the first invention is a phase type diffractive optical element having a diffraction grating at the interface between two types of optical materials, and one of the optical materials is the first optical material. and then when the other of the optical material and second optical material, the first, the second optical material, characterized that you satisfy the following condition.
｜ k − k ′ ｜ < 0.024
｜ nd − n'd ｜＞ 0.035
However,
k : the value of the first optical material represented by ( ν d / ν DOE −1 ) × (nF − nC) ,
ν d : dispersion value ( Abbe number ) for the d-line of the first optical material ,
[nu DOE: dispersion value due to diffraction-optical effect (= -3.45),
nF − nC : difference between the refractive index of the first optical material for the F-line and the refractive index for the C-line ( main dispersion ) ,
k ': (ν' d / ν DOE -1) × (n'F - n'C) value of the second optical material represented by,
[nu 'd: dispersion value at the d-line of the second optical material (Abbe number),
n′F − n′C : difference between the refractive index of the second optical material for the F-line and the refractive index for the C-line ( main dispersion ) ,
nd : refractive index with respect to d-line of the first optical material,
n'd : refractive index of the second optical material with respect to d-line
It is.
[0007]
The diffractive optical element of the second invention, in the first invention, the surface in contact with air in the first optical material is a convex shape, and wherein Rukoto first optical material to satisfy the following condition To do.
ν d > 60
However,
ν d : Dispersion value ( Abbe number ) for the d-line of the first optical material
It is.
[0008]
In the diffractive optical element according to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the invention, the surface of the first optical material that contacts the air has a convex shape, and the surface of the second optical material that contacts the air has a concave shape . It is characterized by that.
[0009]
A diffractive optical element according to a fourth invention is the diffractive optical element according to the first invention, wherein one of the two types of optical materials is glass or resin having a diffraction grating surface, and the other optical material is the diffraction grating. It is an ultraviolet curable resin provided on the surface .
[0010]
A diffractive optical element according to a fifth invention is the diffractive optical element according to the first invention, wherein one of the two types of optical materials is glass or resin having a diffraction grating surface, and the other optical material is immersed or poured. The resin is coated on the diffraction grating surface .
[0011]
A diffractive optical element according to a sixth invention is the diffractive optical element according to the first invention, wherein one of the two types of optical materials is glass or resin having a diffraction grating surface, and the other optical material is the diffraction grating. wherein the liquid der Rukoto provided in contact with the surface.
[0012]
A diffractive optical element according to a seventh invention is the diffractive optical element according to the first invention, wherein one of the two types of optical materials is glass or resin having a diffraction grating surface, and the other optical material is the diffraction grating. wherein the resin der Rukoto an elastic provided in contact with the surface.
[0013]
A diffractive optical element according to an eighth invention is the diffractive optical element according to the first invention, wherein one of the two types of optical materials is a relatively high melting point resin having a diffraction grating surface, and the other optical material. There characterized a relatively low melting point resin der Rukoto provided on the diffraction grating surface.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a diffractive optical element embodying the present invention will be described with reference to the drawings. Each of the embodiments is a phase type diffractive optical element having a diffraction grating at the boundary surface between two types of optical materials. In each embodiment, one of the two types of optical materials is the first optical material 1, and the other optical material is the second optical material 2. The diffraction grating surface is DS.
[0015]
<< Embodiment using UV curable resin (FIG. 1) >>
In this embodiment, the first optical material 1 is a glass or resin having a diffraction grating surface DS, and the second optical material 2 is an ultraviolet curable resin provided on the diffraction grating surface DS. In manufacturing, first, a diffraction grating is formed on the surface of the first optical material 1. The grating height of the diffraction grating is determined by the refractive index difference between the first and second

optical materials

1 and 2. Next, a liquefied ultraviolet curable resin to be the second optical material 2 is applied onto the diffraction grating surface DS and set in the mold M as shown in FIG. When the ultraviolet curable resin is cured by irradiating ultraviolet light L from the first optical material 1 side toward the diffraction grating surface DS, the second optical material 2 made of the cured ultraviolet curable resin is interposed between the first optical material 1 and the first optical material 1. A diffractive optical element having a diffraction grating surface DS is obtained.
[0016]
<< Embodiment in which resin is applied (FIG. 2) >>
In this embodiment, the first optical material 1 is a glass or resin having a diffraction grating surface DS, and the second optical material 2 is a resin coated on the diffraction grating surface DS by dipping or flowing. In manufacturing, first, a diffraction grating is formed on the surface of the first optical material 1. The grating height of the diffraction grating is determined by the refractive index difference between the first and second

optical materials

1 and 2. Next, as shown in FIG. 2, while the first optical material 1 is rotated around the optical axis of the diffraction grating, a liquefied resin to be the second optical material 2 is dropped onto the diffraction grating surface DS. When the liquefied resin is dried, a diffractive optical element having a diffraction grating surface DS between the first optical material 1 and the second optical material 2 is obtained.
[0017]
<< Embodiment using liquid (FIGS. 3 and 4) >>
In this embodiment, the first optical material 1 is glass or resin having a diffraction grating surface DS, and the second optical material 2 is a liquid provided so as to be in contact with the diffraction grating surface DS. In manufacturing, first, a diffraction grating is formed on the surface of the first optical material 1. The grating height of the diffraction grating is determined by the refractive index difference between the first and second

optical materials

1 and 2. Next, as shown in FIG. 3A, the liquid holding case 3 is filled with the liquid that is the second optical material 2, and the liquid holding case 3 is sealed with the first optical material 1. Since the liquid which is the second optical material 2 is in contact with the diffraction grating surface DS of the first optical material 1, as shown in the enlarged view of FIG. 3B, the liquid between the first optical material 1 and the second optical material 2 is used. A diffractive optical element having a diffraction grating surface DS is obtained. If the two first optical materials 1 are used, a diffractive optical element having two diffraction grating surfaces DS as shown in FIG. 4 can be obtained. This diffractive optical element has a configuration in which two first optical materials 1 are arranged in a liquid holding case 4 so that the diffraction grating surfaces DS face each other, and a space between them is filled with a second optical material 2 that is a liquid. It has become.
[0018]
<< Embodiment using elastic resin (FIGS. 5 and 6) >>
In this embodiment, the first optical material 1 is a glass or resin having a diffraction grating surface DS, and the second optical material 2 is an elastic resin provided so as to be in contact with the diffraction grating surface DS. In manufacturing, first, a diffraction grating is formed on the surface of the first optical material 1. The grating height of the diffraction grating is determined by the refractive index difference between the first and second

optical materials

1 and 2. Next, as shown in FIG. 5A, an elastic resin as the second optical material 2 is placed in the pressure holding case 5 so that the second optical material 2 is pressed against the diffraction grating surface DS. 1 The pressure holding case 5 is sealed with the optical material 1. Since the elastic resin as the second optical material 2 is in contact with the diffraction grating surface DS of the first optical material 1, as shown in the enlarged view of FIG. 5B, the first optical material 1 and the second optical material 2 A diffractive optical element having a diffraction grating surface DS in between is obtained. If the two first optical materials 1 are used, a diffractive optical element having two diffraction grating surfaces DS as shown in FIG. 6 can be obtained. In this diffractive optical element, two first optical materials 1 are arranged in the pressure holding case 6 so that the diffraction grating surfaces DS face each other, and the second optical material 2 that is an elastic resin is put in a space between them. The structure is sandwiched between two first optical materials 1.
[0019]
<< Embodiment using resins having different melting points (FIG. 7) >>
In this embodiment, the first optical material 1 is a relatively high melting point resin having a diffraction grating surface DS, and the second optical material 2 is a relatively low melting point resin provided on the diffraction grating surface DS. It is. In manufacturing, first, the first optical material 1 is molded. Molding of the first optical material 1 is a mold M1 in which a high melting point resin as the first optical material 1 is put in a mold M to be in a molten state, and a diffraction grating surface DS is molded as shown in FIG. This is done by pressing the first optical material 1. The grating height of the diffraction grating formed on the surface of the first optical material 1 is determined by the refractive index difference between the first and second

optical materials

1 and 2. When the temperatures of the molds M and M1 are lowered to the melting point temperature of the low melting point resin that is the second optical material 2, the mold M1 is removed from the mold M. Then, as shown in FIG. 7B, a low melting point resin that is the second optical material 2 is filled, and the second optical material 2 is pressed with a mold M2. When the temperature of the first and second

optical materials

1 and 2 is lowered to room temperature, a diffractive optical element having a diffraction grating surface DS between the integrated first optical material 1 and second optical material 2 is obtained. As described above, since the low melting point resin is put in a state where the high melting point resin is solidified, two types of resins can be joined while maintaining the shape of the diffraction grating surface DS.
[0020]
<< Embodiment using resin with different dispersion >>
Here, a diffractive optical element using the first and second

optical materials

1 and 2 having different dispersions will be described. The diffraction efficiency η at an arbitrary wavelength λ of the diffractive optical element having a blazed shape is expressed by the following equation (1).
η = sinc ² (α-1) (1)
However,
α = h × {n (λ) −n ′ (λ)} / λ,
h: Lattice height (blazed height) represented by λ0 / {n (λ0) −n ′ (λ0)},
n (λ): refractive index of the first optical material 1 with respect to light having an arbitrary wavelength λ,
n ′ (λ): refractive index of the second optical material 2 with respect to light having an arbitrary wavelength λ,
λ0: Design wavelength n (λ0) of diffraction grating (blazed): Refractive index for light of design wavelength λ0 of the first optical material 1
n ′ (λ0): a refractive index with respect to light of the design wavelength λ0 of the second optical material 2.
[0021]
When α in the F-line is αF, αF = h × (nF−n′F) / λF (where λF is the wavelength of the F-line, nF is the refractive index of the first optical material 1 with respect to the light having the wavelength λF) , N′F: Refractive index for light of wavelength λF of the second optical material 2). Further, when α at the C line is αC, αC = h × (nC−n′C) / λC (where λC is the wavelength of the C line and nC is the light of the wavelength λC of the first optical material 1). Refractive index, n′C: Refractive index for light of wavelength λC of the second optical material 2). Therefore, the following formula (2) is established.
αF × λF−αC × λC = h × {(nF−nC) − (n′F−n′C)} (2)
[0022]
With respect to the above formula (2), if the blaze design wavelength λ0 is the wavelength of the d-line and α takes a constant value 1 regardless of the wavelength, formula (2) becomes the following formula (3) (where λd : Wavelength of d line, nd: refractive index with respect to light of wavelength λd of the first optical material 1, n′d: refractive index with respect to light of wavelength λd of the second optical material 2.)
(Nd−n′d) / νDOE = (nF−nC) − (n′F−n′C) (3)
However,
νDOE = λd / (λF−λC) = − 3.45
It is.
[0023]
When the dispersion value (Abbe number) of the first optical material 1 is set to νd and the dispersion value (Abbe number) of the second optical material 2 is set to ν′d, the above formula (3) is arranged to obtain the following formula (4). It is done.
(Νd / νDOE-1) × (nF−nC) = (ν′d / νDOE-1) × (n′F−n′C) (4)
This equation (4) is a condition for giving a diffraction efficiency of 1 for the F-line and C-line, but when the diffraction efficiency does not become 1 for the F-line and C-line,
(Νd / νDOE-1) × (nF−nC) ≠ (ν′d / νDOE-1) × (n′Fn′C)
For any two types of materials (ie, the first and second optical materials 1 and 2),
k = (νd / νDOE-1) × (nF−nC),
k ′ = (ν′d / νDOE−1) × (n′F−n′C)
Then, it is shown that the smaller the value of | k−k ′ |, the higher the diffraction efficiency for the F-line and C-line.
[0024]
Therefore, it is desirable to satisfy the following conditional expression (1). If the combination of the first and second

optical materials

1 and 2 satisfying the conditional expression (1), the diffraction is relatively flat and highly efficient with respect to the wavelength. An optical element can be obtained.
| K−k ′ | <0.024 (1)
However,
k: value of the first optical material represented by (νd / νDOE-1) × (nF-nC),
νd: dispersion value (Abbe number) for the d-line of the first optical material,
νDOE: Dispersion value due to diffractive optical effect (= −3.45),
nF-nC: difference between the refractive index of the first optical material for the F-line and the refractive index for the C-line (main dispersion),
k ′: the value of the second optical material represented by (ν′d / νDOE-1) × (n′F−n′C),
ν′d: dispersion value (Abbe number) for the d-line of the second optical material,
n′F−n′C: difference between the refractive index for the F-line and the refractive index for the C-line of the second optical material (main dispersion)
It is.
[0025]
Next, consider an optical system that performs color correction by having a diffraction grating surface on a single lens. The grating pitch of the diffraction grating surface is inversely proportional to the power of the diffractive optical element and inversely proportional to the radius. Therefore, the outermost periphery of the effective diameter is the minimum pitch. From the above, the lattice pitch dmin at the outermost periphery is expressed by the following equation (5).

However,
F: F number of a single lens,
ratio: The ratio of the power of the diffractive optical element to the total power of the single lens.
[0026]
The grating height h of the diffraction grating is expressed by the formula (6).
h = λ0 / Δn0 (6)
However,
Δn0: Refractive index difference (= | n0−n′0 |) with respect to the design wavelength λ0 of the entrance and exit of the diffraction grating surface
It is.
[0027]
When the chromatic aberration of the single lens is taken, the power ratio ratio is expressed by the following equation (7), so the maximum gradient (h / dmin) of the blaze is expressed by the following equation (8). Table 1 shows the maximum gradient (°) for F = 4 as a sample of the formula (7). However, Δnd = | nd−n′d |.

[0028]
[Table 1]

[0029]
When producing a diffraction grating with a diamond cutting tool, the gradient of the grating considering the wear resistance of the cutting tool edge is preferably up to about 10 °. Therefore, if it is premised on the production by diamond turning, it is desirable that νd is larger than 60 as shown in the following formula (2).
νd> 60 (2)
[0030]
Moreover, as shown by the following formula (3), Δnd is desirably larger than 0.035. More preferably, it is 0.04 or more, and more preferably 0.05 or more.
| Nd−n′d |> 0.035 (3)
However,
nd: refractive index with respect to d-line of the first optical material,
n′d: a refractive index with respect to the d-line of the second optical material.
[0031]
In any of the embodiments described above, a diffractive optical element that has high diffraction efficiency at the design order regardless of the wavelength (that is, high efficiency flat with respect to the wavelength) and is easy to manufacture is achieved. Since the diffraction efficiency is improved regardless of the wavelength, no ghost is generated, and by having a diffraction grating, it can be suitably used as a diffractive optical element acting as a lens.
[0032]
【Example】
Hereinafter, the diffractive optical element embodying the present invention will be described more specifically with reference to construction data, drawings and the like. Table 2 shows the characteristics of the optical material used in each example (refractive index nd with respect to d-line, Abbe number νd). Table 3 shows combinations of optical materials in each example (represented by No. in Table 2), the grating height h of the diffraction grating, the corresponding value of the conditional expression (1), and the diffraction efficiency at the F-line and C-line. Indicates. All design wavelengths are d-line.
[0033]
[Table 2]

[0034]
[Table 3]

[0035]
<< Example 1 (FIG. 1) >>
Example 1 is an example which has a diffraction grating in the interface of the amorphous polyolefin (No. 2) which is a resin material, and the oligoester acrylate (No. 3) which is an ultraviolet curable resin. The grating height h of the diffractive optical element is determined in consideration of the refractive index difference between the amorphous polyolefin (No. 2) and the oligoester acrylate (No. 3).
[0036]
<< Example 2 (FIG. 2) >>
Example 2 is an example in which a resin having fluidity (for example, No. 6 and No. 7 in a molten state) is applied to a diffraction grating surface DS prepared in advance. The grating height h of the diffractive optical element is determined in consideration of the refractive index difference between the base optical material on which the diffraction grating is formed and the coating resin material.
[0037]
<< Example 3 (FIGS. 3 and 4) >>
Example 3 is an example in which a diffraction grating is provided on the boundary surface between a resin material PMMA (polymethyl methacrylate, No. 1) and a liquid (No. 4). The grating height h of the diffractive optical element is determined in consideration of the refractive index difference between the optical material (No. 1) and the liquid (No. 4).
[0038]
Example 4 (FIGS. 5 and 6)
Example 4 is an example which has a diffraction grating in the interface of (No. 5) which is an elastic resin, and glass (No. 12). The grating height h of the diffractive optical element is determined in consideration of the refractive index difference between the base optical material (No. 12) and the elastic resin material (No. 5).
[0039]
<< Example 5 (FIG. 7) >>
Example 5 is a boundary surface between a resin material PC having a high melting point (polycarbonate, No. 6, melting point: 141 ° C.) and a resin material PS having a low melting point (polystyrene, No. 7, melting point: 80 ° C.). This is an example having a diffraction grating. The grating height h of the diffractive optical element is determined in consideration of the refractive index difference between the high melting point resin material (No. 6) and the low melting point resin material (No. 7).
[0040]
Example 6
Example 6 is an example in which a diffraction grating is provided at the interface between two types of glass having a large refractive index difference (Δnd = 0.055): SFS53 (No. 12) and LASF60 (No. 10).
[0041]
Example 7
In Example 7, the surface of the low-dispersion optical material PSKS53 (No. 11) in contact with air has a convex shape, and a diffraction grating surface is formed on the boundary surface between the surface opposite to the convex surface and the resin PC (No. 6). This is an example having a DS. The grating height h of the diffractive optical element is determined in consideration of the refractive index difference between the low dispersion glass material and the resin material.
[0042]
Example 8
In Example 8, the surface of the low-dispersion optical material PSKS53 (No. 11) in contact with air has a convex shape, and a diffraction grating surface is formed on the boundary surface between the surface opposite to the convex surface and the resin PC (No. 6). This is an example in which the surface having DS and contacting the air on the opposite side of the boundary surface of the resin PC is concave. The grating height h of the diffractive optical element is determined in consideration of the refractive index difference between the low dispersion glass material and the resin material. In order to correct the chromatic aberration generated on the convex surface with the diffraction grating surface DS and the concave surface, the power of the diffractive optical element is weaker than that of the seventh embodiment. Therefore, since the lattice pitch is also relatively large, the shape can be further easily produced by diamond turning.
[0043]
Tables 4 and 5 show the construction data {surface, radius of curvature, axial spacing, refractive index (d-line), Abbe number} of Examples 7 and 8 together with the combined focal length, F number, and diffractive optical surface. Data C1, the outermost peripheral pitch and the outermost peripheral blaze gradient are shown. In each construction data, Si (i = 1, 2, 3) is the i-th lens surface counted from the object side, and the surface Si marked with (DOE) is a surface constituted by a diffractive optical surface. It is defined by the following formula (DS) indicating the phase shape of the pitch of the diffractive optical surface.
[0044]
φ (h) = (2π / λ0) · C1 · h ² (DS)
However, in the formula (DS)
φ (h): phase function of the diffractive optical surface,
C1: primary phase function coefficient of the diffractive optical surface,
h: height (lattice height) in a direction perpendicular to the optical axis,
λ0: Design wavelength {d-line wavelength (= 587.6 nm)}
It is.
[0045]
[Table 4]

[0046]
<Other data of Example 7>
Composite focal length = 100, F4
S2: C1 = −3.1 × 10 ⁻⁴
Outermost peripheral pitch = 75.8 μm
Outermost blaze gradient = 12.6 °
[0047]
[Table 5]

[0048]
<Other data of Example 8>
Composite focal length 100, F4
Surface S2: C1 = −1.1 × 10 ⁻⁴
Outermost pitch = 213 μm
Outermost blaze gradient = 4.6 °
[0049]
【The invention's effect】
As described above, according to the first to eighth inventions, it is possible to realize a diffractive optical element that has high diffraction efficiency at the design order regardless of the wavelength and is easy to manufacture. Since the diffraction efficiency is improved regardless of the wavelength, no ghost is generated, and by having a diffraction grating, it can be suitably used as a diffractive optical element acting as a lens.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram for explaining a production method of an embodiment using an ultraviolet curable resin.
FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a manufacturing method of an embodiment in which a resin is applied.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a schematic structure of an embodiment using a liquid.
FIG. 4 is a sectional view showing a schematic structure of another embodiment using a liquid.
FIG. 5 is a sectional view showing a schematic structure of an embodiment using an elastic resin.
FIG. 6 is a sectional view showing a schematic structure of another embodiment using an elastic resin.
FIG. 7 is a schematic diagram for explaining the manufacturing method of the embodiment using resins having different melting points.
[Explanation of symbols]
1 ... 1st optical material 2 ... 2nd optical material DS ... Diffraction grating surface

Claims

A phase type diffractive optical element having a diffraction grating at the interface between two types of optical materials, where one optical material is a first optical material and the other optical material is a second optical material, the first and second A diffractive optical element characterized in that the optical material satisfies the following conditional expression;
｜ k−k ′ | <0.024
｜ nd−n'd ｜＞ 0.035
However,
k: value of the first optical material expressed by (νd / νDOE-1) × (nF−nC),
νd: dispersion value (Abbe number) for the d-line of the first optical material,
νDOE: Dispersion value due to diffractive optical effect (= -3.45),
nF−nC: difference between the refractive index of the first optical material for the F-line and the refractive index for the C-line (main dispersion),
k ′: the value of the second optical material represented by (ν′d / νDOE−1) × (n′F−n′C),
ν'd: dispersion value (Abbe number) for the d-line of the second optical material,
n′F−n′C: difference between the refractive index of the second optical material for the F-line and the refractive index for the C-line (main dispersion),
nd: refractive index with respect to d-line of the first optical material,
n′d: a refractive index with respect to the d-line of the second optical material.

2. The diffractive optical element according to claim 1, wherein a surface of the first optical material in contact with air has a convex shape, and the first optical material satisfies the following conditional expression :
νd> 60
However ,
νd: dispersion value (Abbe number) of the first optical material with respect to the d-line
It is.

The surface in contact with air in the first optical material is a convex shape, the diffractive optical element according to claim 1 or 2, wherein a surface in contact with the air in the second optical material and wherein the Ru concave der.

Of the two types of optical materials, one optical material is glass or a resin having a diffraction grating surface, and the other optical material is an ultraviolet curable resin provided on the diffraction grating surface. Item 1. A diffractive optical element according to Item 1.

Of the two types of optical materials, one optical material is a glass or resin having a diffraction grating surface, and the other optical material is a resin coated on the diffraction grating surface by dipping or flowing. The diffractive optical element according to claim 1.

Of the two types of optical materials, one optical material is glass or resin having a diffraction grating surface, and the other optical material is a liquid provided so as to be in contact with the diffraction grating surface. Item 1. A diffractive optical element according to Item 1.

Of the two types of optical materials, one optical material is glass or a resin having a diffraction grating surface, and the other optical material is an elastic resin provided so as to be in contact with the diffraction grating surface. The diffractive optical element according to claim 1.

Of the two types of optical materials, one optical material is a relatively high melting point resin having a diffraction grating surface, and the other optical material is a relatively low melting point resin provided on the diffraction grating surface. The diffractive optical element according to claim 1, wherein: