JP3617116B2 - Two-dimensional array type optical element module - Google Patents
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、2次元アレイ型光素子モジュールに関する。より詳細には、本発明は、複数の光素子を実装された光素子モジュールであって、特に光インタコネクション装置において有利に使用することができる新規な光素子モジュールの構成に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年急速に利用が拡大している各種情報機器の応用分野において、特に、画像あるいは映像を取り扱うシステムや並列コンピュータ等では、従来に比較すると桁違いに大量のデータを伝送しなければならない。また、このような用途で用いられる大規模なシステムの多くは、製造と保守との両方の観点から、機能別あるいは製造単位別に個別に製造された上でインタコネクション装置によって結合されてシステムとして完成されている。そこで、無誘導で高密度な信号伝送が可能な光ファイバの特徴を活かしてこの種のシステムを構築すべく、種々の技術開発が進行しつつある。
【0003】
図9は、メタルワイヤを用いた従来のインタコネクション装置を含むシステムの典型的な構成を概念的に示す図である。
【0004】
同図に示すように、この種のシステムは、ひとつの筐体4の中に多数の平行な基板3を収容し、これらの基板どうしあるいは外部の他の装置を、筐体の特定の面(通常は背面)でインタコネクション装置により結合している。メタルケーブルを使用した従来のシステムでは、このインタコネクション装置は、基板側に設けられたコネクタと両端にコネクタ5aを備えたフラットケーブル5とにより構成されている。
【0005】
上述のようなインタコネクション装置を光ファイバを用いて構成した場合、上記のフラットケーブル5が光ファイバに置き換えられる。また、各基板上の信号処理の多くは電気信号で取り扱われるので、光インタコネクション装置と電子回路との間で電気/光または光/電気変換が不可欠になる。そこで、実際には光/電気変換または電気/光変換を行う光素子と光信号の伝送媒体である光ファイバとを一体にした光モジュールが生産されており、これを電子回路と光ファイバとのインターフェースに使用することが一般的である。更に、光素子に不可避に付随する駆動回路や増幅回路等もこの光モジュールに一体に装備されている。このような光モジュールを用いることにより、光ファイバと光素子とを結合する際に必要な光軸合わせ等の工程を装置の製造現場では省略することができ、光システムを効率良く構築することが可能になる。
【0006】
しかしながら、上述のような光モジュールは、その光素子部を基板上に直接に実装して使用するので、従来のフラットケーブルを用いたインタコネクト装置のように容易に着脱することはできない。一方、光ファイバを着脱可能に接続できる光コネクタは既に実用化されているが、この種の光コネクタは、光ファイバを1本ずつあるいはせいぜい数本ずつ接続できるに過ぎない。前述の並列処理コンピュータ等の新規なアーキテクチャへの適用を考慮した場合、インタコネクト装置のチャンネル数は1000を越える場合もあり、従来の光コネクタを使用して光インタコネクト装置を実現することは到底不可能である。
【0007】
このような事態に対して、例えば、複数の光素子を一体にパッケージングした光素子アレイや、1本で複数のコアを備えた多芯コアファイバ等が開発されている。また、多芯コアファイバを多数内蔵させることにより、1000チャンネルを越えるような光ファイバケーブルも開発されている。更に、光ファイバの先端に装着される光コネクタも、複数の光ファイバの接続端面を2次元的に配列して物理的な伝送密度を向上させる等、多くの技術が開発されつつある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
一方、光モジュールは、前述のように、光素子の他に光素子の駆動回路や増幅器等の電子回路を内蔵しているが、これらの回路はその動作時に不可避に熱を発生する。このような熱は、単独の光モジュールではそれほど深刻な問題にはならないが、多チャンネルのインタコネクト装置を構成するために多数の光モジュールが集中的に実装された場合には、全体の発熱量が無視し得ないものとなる。
【0009】
特に、光モジュールで使用されている発光素子や受光素子は一般に温度特性を有している。このため、単独の光モジュールで使用している場合には自然冷却でも深刻な影響がなかったものが、多数の光モジュールを高密度に実装した場合には時間の経過と共に初期の特性を維持できなくなる。特に、2次元アレイ型の光モジュールでは、内部に位置する光モジュールの温度条件が不利になるために、ひとつのインタコネクション装置内で、チャンネル相互で特性にばらつきが生じる。
【0010】
そこで、本発明は上記従来技術の問題を解決し、多数の光チャンネルを高密度に取り扱うことを可能にし、多チャンネルの光インタコネクション装置を実現し得る新規な2次元アレイ型光素子モジュールを提供することをその目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明に従うと、互いに直角な水平面および垂直面が交互に連続して形成された階段状の実装面を有する基体と、該基体の水平面と平行であり且つ該垂直面に直角な入射光軸または出射光軸を有する複数の光素子を含み該基体の各段にそれぞれ実装された1次元光素子アレイとを備え、該基体が、該光素子アレイを実装する領域を一方の端部近傍に備え、且つ、該光素子アレイに接続された配線層を装荷された小基板を、複数重ねることにより形成されていることを特徴とする2次元アレイ型光素子モジュールが提供される。
【0012】
【作用】
本発明に係る2次元アレイ型光素子モジュールは、複数の光素子を1次元的に配列してなる光素子アレイを、更に、言わば階段状に配置して、全体として光素子の2次元アレイを構成している点にその主要な特徴がある。
【0013】
即ち、本発明に係る2次元アレイ型光素子モジュールでは、各1次元光素子アレイと、主要な放熱先である実装基板とが、基体を介して熱的には個別に実装基板に結合される。換言すれば、各1次元光素子アレイと実装基板との間には、他の1次元光素子アレイは介在しない。従って、2次元光素子アレイ全体で、各1次元光素子アレイに対する熱的な条件が平等になり、多チャンネルの2次元アレイを構成した場合でも各チャンネルの動作条件にばらつきが生じない。
【0014】
このような本発明に係る2次元アレイ型光素子モジュールは、階段状の基体を用いて、この基体の各水平面あるいは各垂直面に各々1次元光素子アレイを実装することにより構成できる。
【0015】
尚、このような階段状の基体に光素子アレイを実装した場合、各1次元光素子アレイに電気信号を結合するための配線も設ける必要がある。即ち、1次元光素子アレイは、それぞれ複数の光素子と共に各光素子を駆動するための回路等を備えているので、これらの回路を駆動するための電力や、光素子において光信号に変換する信号を伝送するための信号線路等を、各光素子毎に設ける必要がある。但し、GND端子等は複数の光素子で共用しても差し支えないので、例えば、後述するように、基体として導電材料あるいは半導体材料を用いた場合は、基体自体を共通のGNDとして使用してもよい。
【0016】
上述のような本発明に係る2次元アレイ型光素子モジュールの基体は、例えばSi単結晶を加工して作成することができる。但し、当初より階段状の実装面を備えた基体を使用した場合、基体への配線の装荷工程が面倒になる恐れがある。そこで、本発明の好ましい態様によると、各々が1次元光素子アレイを実装され且つ配線を装荷された小基板を複数用意して積層することにより、上記本発明に係る2次元アレイ型光素子モジュールを容易且つ効率良く製造することが可能になる。
【0017】
以下、図面を参照して本発明に係る光インタコネクション装置をより具体的に説明するが、以下の開示は本発明の一実施例に過ぎず、本発明の技術的範囲を何ら限定するものではない。
【0018】
【実施例】
図1は本発明に係る2次元アレイ型光素子モジュールの具体的な構成例を示す図である。
【0019】
同図に示すように、ここでは、一体に成形された階段状の実装面を有する基体10の各水平面の各々の上に、複数の光素子を含む1次元光素子アレイ20が実装されている。各1次元光素子アレイ20の発光部は、基体の垂直面と平行な面に形成されており、従って、この2 次元アレイ型光素子モジュールの前方から向かって見た場合、各光素子の発光部はマトリックス状に配列される。
【0020】
図2は、図1に示した2次元アレイ型光素子モジュールを上方から見降ろした図である。
【0021】
同図に示すように、各1次元光素子アレイ20は、基体10の各水平面の前端近傍に実装されており、1次元光素子アレイ20に一端を接続された配線30は、各水平面上で方向を変えて、基体10の側方に向かって延在している。実際には、この配線30を、基体10の側面に沿って下方まで延ばすことにより、基体10自体を実装する実装基板表面の配線に、この配線30を結合することができる。
【0022】
但し、この態様では、基体10の各水平面に配線30を装荷するための領域をとらなければならないので、全体として2次元アレイ型光素子モジュールの実装寸法が大きくなってしまう。
【0023】
図3は、本発明に係る2次元アレイ型光素子アレイの他の構成例を示す図である。
【0024】
同図に示すように、この2次元アレイ型光素子モジュールは、それぞれが1次元光素子アレイ20および配線31a〜31dを装荷された小基板11a〜11dを積層することにより構成されている。ここで、各小基板11a〜11dは、下層から上層にいくに従って寸法が短くなっており、後述するように、最終的に1 次元光素子アレイが階段状に配置される。また、この態様では、小基板11a〜11dの各々に配線21a〜31dが装荷されているので、配線の密度が著しく高くなることはない。また、通常の平坦な基板と同じ工程で配線31a〜31dを形成することができるので、製造は容易である。
【0025】
図4は、図3に示した2 次元アレイ型光素子アレイの完成後のひとつの態様を示す図である。
【0026】
同図に示すように、この2次元アレイ型光素子モジュールでは、自身の前端だけではなく、後端も階段状に構成されている。従って、光素子モジュール後端では、各水平面上に配線31a〜31dが露出する。このような配線31a〜31dの後端は、通常のボンディングワイヤ等を使用して実装基板上の配線と容易に結合することができるので、取り扱いが容易である。但し、各小基板11a〜11d毎に寸法が異なるので、生産性の点では不利である。
【0027】
図5は、図3に示した2次元アレイ型光素子モジュールが完成した後の他の態様を示す図である。
【0028】
同図に示すように、この光素子モジュールは、互いに同じ寸法の小基板12を積層して構成されている。ここで、各小基板12は、その上面と下面とにそれぞれ配線32、33を備えている。また、1次元光素子アレイ20は、小基板12の前端近傍に実装されており、上面の配線32に結合されている。
【0029】
以上のように構成された2次元アレイ型光素子モジュールでは、下層の小基板12の上面に装荷された配線32が、直上の層の小基板12の下面に装荷された配線33と電気的に結合され、この下向きの配線33の後端が各小基板12の後端で下向きに露出する。尚、最上層の小基板では、小基板上面の配線が直接露出しているが、後述する接続部材を使用して各層の配線を一括して接続するために、図5に示した例では、1次元光素子アレイを実装していない(配線は装荷されている)ダミーの小基板を積層している。
【0030】
ここで、この2次元アレイ型光素子モジュールの後端と相補的な形状を有する接続部材13等を用意して、実装基板上の配線と1次元光素子アレイとを接続することができる。即ち、図5に示した例では、階段状の端面を有する接続部材13の各水平面には導電材料で形成されたバンプ35が装荷されており、これを利用して接続部材上の配線と各1次元光素子アレイとを電気的に結合することができる。各配線33の後端では電気的な接続が取れればよいので、この接続は比較的容易である。
【0031】
図6は、本発明に係る2 次元アレイ型光素子モジュールの、全く他の構成例を示す図である。
【0032】
同図に示すように、この2次元アレイ型光素子モジュールは、実装基板40に対して垂直に配置された複数の小基板14a〜14dを隣接して配列することにより構成されている。各小基板14a〜14dは、実装時に前側になる表面に1次元光素子アレイ20と配線36a〜36dをそれぞれ実装されている。従って、各小基板14a〜14dの構成は、図3に示した2次元アレイ型光素子モジュールの場合とよく似ている。但し、この光素子モジュールでは、小基板14a〜14dの実装面と直角に、即ち、各小基板14a〜14d上の配線36a〜36dの延在方向と直角に光が放射されるように各1次元光素子アレイ20が実装されいてる。
【0033】
この構成では、各小基板14a〜14dに結合された配線36a〜36dの各々が直接実装基板40上まで延長されているので、この2次元アレイ型光素子モジュール自体を極めて容易に実装基板40上に実装することがてきる。また、各1次元光素子アレイ20で発生した熱は、各小基板14a〜14dを介して等しく実装基板40に伝播されるので、各1次元光素子アレイ20を平等な温度条件で動作させることが可能になる。
【0034】
図7は、本発明に係る2次元アレイ型光素子モジュールの更に他の態様を示す図である。
【0035】
同図に示すように、この2次元アレイ型光素子モジュールも、実装基板40に対して垂直に配置された複数の小基板14a〜14dを隣接して配列することにより構成されている。また、各小基板15a〜15dの寸法を順次変えることにより、1次元光素子アレイを実装するための階段状の実装面を構成している点でも図6に示した実施例と共通している。但し、この実施例では、各1次元光素子アレイ20は小基板15a〜15dの水平端面上に装荷されている。また、各小基板15a〜15dの各々の間には、熱伝導率の低い材料で構成された断熱層41が間挿されている。
【0036】
以上のような構成では、各1次元光素子アレイ20で発生する熱が、効率良く小基板15a〜15dに伝播されると共に、各1次元光素子アレイ20および小基板15a〜15dが、隣接する他のアレイおよび小基板から熱的な影響を受けないので、それぞれが確実に同じ条件で動作する。
【0037】
図8は、本発明に係る2次元アレイ型光素子モジュールの更に他の構成例を示す図である。
【0038】
同図に示すように、この2次元アレイ型光素子モジュールは、階段状の実装面を有する金属製の基体41と、この記載41の各水平面上に装荷された絶縁性基板16と、各絶縁性基板16上に実装された1次元光素子アレイ20とから主に構成されている。
【0039】
以上のような構成では、金属製基体41を介して極めて効率のよい放熱が可能なので、各1次元光素子アレイ20を良好な温度条件の下で動作させることができる。また、1次元光素子アレイ20および絶縁性基板16は、互いに同じ形状のものを使用することができるので、生産性も高い。尚、絶縁性基板16としては、例えば、表面に酸化絶縁膜を形成した半導体基板等を用いてもよいことはいうまでもない。また、この金属製基体41を、各1次元光素子アレイの共通のGND端子として利用することもできる。
【0040】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明に係る2次元アレイ型光素子モジュールは、その独特の形状により、光素子、駆動回路等で発生した熱を効率良く放散することができる。また、各1次元光素子アレイに対する熱的な条件が概ね平等なので、多チャンネルの光信号を均等に取り扱うことが可能になる。
【0041】
更に、半導体加工技術を利用して極めて精密に、生産性良く製造することができるので、多チャンネルの光コネクタ等にも応用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る2次元アレイ型光素子モジュールの具体的な構成例を示す図である。
【図2】図1に示した2次元アレイ型光素子モジュールにおける配線の装荷状態を示す図である。
【図3】本発明に係る2次元アレイ型光素子モジュールの他の構成例の構造を示す図である。
【図4】図3に示した構造を有する2次元アレイ型光素子モジュールのひとつの態様を示す図である。
【図5】図3に示した構造を有する2次元アレイ型光素子モジュールの他の態様を示す図である。
【図6】本発明に係る2次元アレイ型光素子モジュールの他の構成例の構造を示す図である。
【図7】図6に示した構造を有する2次元アレイ型光素子モジュールの他の態様を示す図である。
【図8】本発明に係る2次元アレイ型光素子モジュールの更に他の構成例を示す図である。
【図9】メタルケーブルを用いた一般的なインタコネクション装置の典型的な構成を概念的に示す図である。
【符号の説明】
3・・・基板、
4・・・筐体、
5・・・コネクタ、
6・・・支持部材
10・・・基体、
11a〜11d、12、14a〜14d、15a〜15d・・・小基板、
13・・・接続部材、
16・・・絶縁性基板、
20・・・1次元光素子アレイ、
30、31a〜31d、32、33、36a〜36d、37a〜37d・・・配線、
35・・・バンプ、
40・・・実装基板、
41・・・金属製基体[0001]
[Industrial application fields]
The present invention relates to a two-dimensional array type optical element module. More specifically, the present invention relates to a configuration of a novel optical element module which is an optical element module on which a plurality of optical elements are mounted, and can be used advantageously in an optical interconnection device.
[0002]
[Prior art]
In the application fields of various information devices that have been rapidly used in recent years, especially in systems that handle images or videos, parallel computers, and the like, it is necessary to transmit a large amount of data compared to the prior art. Also, many large-scale systems used for such applications are completed as individual systems manufactured by function or manufacturing unit and combined by an interconnection device from the viewpoint of both manufacturing and maintenance. Has been. Accordingly, various technological developments are being made to construct this type of system by utilizing the characteristics of optical fibers capable of non-inductive and high-density signal transmission.
[0003]
FIG. 9 is a diagram conceptually showing a typical configuration of a system including a conventional interconnection device using metal wires.
[0004]
As shown in the figure, this type of system accommodates a large number of parallel substrates 3 in a single housing 4, and these substrates or other external devices are connected to a specific surface ( It is usually connected by an interconnection device on the back side. In a conventional system using a metal cable, this interconnection device is composed of a connector provided on the board side and a
[0005]
When the interconnection device as described above is configured using an optical fiber, the
[0006]
However, since the optical module as described above is used by directly mounting the optical element portion on the substrate, it cannot be easily attached and detached like an interconnect device using a conventional flat cable. On the other hand, optical connectors capable of detachably connecting optical fibers have already been put into practical use, but this type of optical connector can only connect optical fibers one by one or at most several. In consideration of application to a new architecture such as the parallel processing computer described above, the number of channels of the interconnect device may exceed 1000, and it is impossible to realize an optical interconnect device using a conventional optical connector. Impossible.
[0007]
In response to such a situation, for example, an optical element array in which a plurality of optical elements are packaged together, a multi-core fiber having a plurality of cores, and the like have been developed. An optical fiber cable having more than 1000 channels by incorporating a large number of multi-core fibers is also being developed. In addition, many techniques are being developed for optical connectors attached to the tip of an optical fiber, such as two-dimensionally arranging connection end faces of a plurality of optical fibers to improve physical transmission density.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
On the other hand, as described above, the optical module includes electronic circuits such as an optical element driving circuit and an amplifier in addition to the optical element. These circuits inevitably generate heat during operation. Such heat is not a serious problem with a single optical module, but if a large number of optical modules are mounted intensively to form a multi-channel interconnect device, the total amount of heat generated Cannot be ignored.
[0009]
In particular, light emitting elements and light receiving elements used in optical modules generally have temperature characteristics. For this reason, when used in a single optical module, natural cooling did not have a serious effect, but when many optical modules were mounted at high density, the initial characteristics could be maintained over time. Disappear. In particular, in a two-dimensional array type optical module, the temperature condition of the optical module located inside becomes disadvantageous, so that variations in characteristics occur between channels in one interconnection device.
[0010]
Therefore, the present invention provides a novel two-dimensional array type optical element module that solves the above-mentioned problems of the prior art, makes it possible to handle a large number of optical channels with high density, and realizes a multi-channel optical interconnection device. Its purpose is to do.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, a substrate having a step-like mounting surface in which horizontal and vertical surfaces perpendicular to each other are continuously formed, and an incident optical axis parallel to the horizontal surface of the substrate and perpendicular to the vertical surface or A one-dimensional optical element array including a plurality of optical elements each having an output optical axis and mounted on each stage of the substrate, and the substrate includes a region for mounting the optical element array in the vicinity of one end. In addition, a two-dimensional array type optical element module is provided, which is formed by stacking a plurality of small substrates loaded with wiring layers connected to the optical element array .
[0012]
[Action]
In the two-dimensional array type optical element module according to the present invention, an optical element array formed by arranging a plurality of optical elements in a one-dimensional manner is further arranged in a staircase pattern, so that a two-dimensional array of optical elements is formed as a whole. The main feature is the composition.
[0013]
In other words, in the two-dimensional array type optical element module according to the present invention, each one-dimensional optical element array and the mounting substrate which is a main heat radiation destination are thermally coupled individually to the mounting substrate through the base. . In other words, no other one-dimensional optical element array is interposed between each one-dimensional optical element array and the mounting substrate. Therefore, the thermal conditions for each one-dimensional optical element array are equal throughout the two-dimensional optical element array, and even when a multi-channel two-dimensional array is configured, there is no variation in the operating conditions of each channel.
[0014]
Such a two-dimensional array type optical element module according to the present invention can be configured by mounting a one-dimensional optical element array on each horizontal plane or each vertical plane of the base using a stepped base.
[0015]
When an optical element array is mounted on such a stepped base, it is necessary to provide wiring for coupling an electric signal to each one-dimensional optical element array. That is, since the one-dimensional optical element array includes a plurality of optical elements and a circuit for driving each optical element, etc., the power for driving these circuits and the optical element converts it to an optical signal. It is necessary to provide a signal line or the like for transmitting a signal for each optical element. However, since the GND terminal or the like may be shared by a plurality of optical elements, for example, as will be described later, when a conductive material or a semiconductor material is used as the base, the base itself may be used as a common GND. Good.
[0016]
The base of the two-dimensional array type optical element module according to the present invention as described above can be produced by processing, for example, a Si single crystal. However, when a base having a stepped mounting surface is used from the beginning, the process of loading the wiring onto the base may be troublesome. Therefore, according to a preferred aspect of the present invention, a plurality of small substrates each mounted with a one-dimensional optical element array and loaded with wiring are prepared and stacked, whereby the two-dimensional array type optical element module according to the present invention described above is laminated. Can be manufactured easily and efficiently.
[0017]
Hereinafter, the optical interconnection device according to the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. However, the following disclosure is only an example of the present invention and does not limit the technical scope of the present invention. Absent.
[0018]
【Example】
FIG. 1 is a diagram showing a specific configuration example of a two-dimensional array type optical element module according to the present invention.
[0019]
As shown in the figure, here, a one-dimensional
[0020]
FIG. 2 is a view of the two-dimensional array type optical element module shown in FIG. 1 as viewed from above.
[0021]
As shown in the figure, each one-dimensional
[0022]
However, in this aspect, since a region for loading the
[0023]
FIG. 3 is a diagram showing another configuration example of the two-dimensional array type optical element array according to the present invention.
[0024]
As shown in the figure, this two-dimensional array type optical element module is configured by stacking
[0025]
FIG. 4 is a diagram showing one embodiment after the two-dimensional array type optical element array shown in FIG. 3 is completed.
[0026]
As shown in the figure, in this two-dimensional array type optical element module, not only the front end of itself but also the rear end is configured in a step shape. Accordingly, the
[0027]
FIG. 5 is a diagram showing another aspect after the two-dimensional array type optical element module shown in FIG. 3 is completed.
[0028]
As shown in the figure, this optical element module is configured by stacking
[0029]
In the two-dimensional array type optical element module configured as described above, the
[0030]
Here, it is possible to prepare a
[0031]
FIG. 6 is a diagram showing a completely different configuration example of the two-dimensional array type optical element module according to the present invention.
[0032]
As shown in the figure, this two-dimensional array type optical element module is configured by arranging a plurality of
[0033]
In this configuration, since each of the
[0034]
FIG. 7 is a view showing still another aspect of the two-dimensional array type optical element module according to the present invention.
[0035]
As shown in the figure, this two-dimensional array type optical element module is also configured by arranging a plurality of
[0036]
In the configuration as described above, the heat generated in each one-dimensional
[0037]
FIG. 8 is a diagram showing still another configuration example of the two-dimensional array type optical element module according to the present invention.
[0038]
As shown in the figure, this two-dimensional array type optical element module includes a
[0039]
With the above configuration, extremely efficient heat dissipation is possible through the
[0040]
【The invention's effect】
As described above in detail, the two-dimensional array type optical element module according to the present invention can efficiently dissipate heat generated in the optical element, the drive circuit, etc. due to its unique shape. In addition, since the thermal conditions for each one-dimensional optical element array are substantially equal, it is possible to handle multi-channel optical signals equally.
[0041]
Furthermore, since it can be manufactured with high precision and high productivity using semiconductor processing technology, it can be applied to multi-channel optical connectors and the like.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a specific configuration example of a two-dimensional array type optical element module according to the present invention.
2 is a diagram illustrating a wiring loaded state in the two-dimensional array type optical element module illustrated in FIG. 1. FIG.
FIG. 3 is a diagram showing the structure of another configuration example of the two-dimensional array type optical element module according to the present invention.
4 is a diagram showing one mode of a two-dimensional array type optical element module having the structure shown in FIG. 3. FIG.
FIG. 5 is a diagram showing another aspect of the two-dimensional array type optical element module having the structure shown in FIG. 3;
FIG. 6 is a diagram showing the structure of another configuration example of the two-dimensional array type optical element module according to the present invention.
7 is a diagram showing another aspect of the two-dimensional array type optical element module having the structure shown in FIG. 6. FIG.
FIG. 8 is a diagram showing still another configuration example of the two-dimensional array type optical element module according to the present invention.
FIG. 9 is a diagram conceptually showing a typical configuration of a general interconnection device using a metal cable.
[Explanation of symbols]
3 ... substrate
4 ... Case,
5 ... Connector,
6 ...
11a to 11d, 12, 14a to 14d, 15a to 15d ... small substrates,
13: Connecting member,
16 ... Insulating substrate,
20 ... one-dimensional optical element array,
30, 31a-31d, 32, 33, 36a-36d, 37a-37d ... wiring,
35 ... Bump,
40: mounting board,
41 ... Metal base
Claims (13)
該基体の水平面と平行であり且つ該垂直面に直角な入射光軸または出射光軸を有する複数の光素子を含み該基体の各段にそれぞれ実装された1次元光素子アレイとを備え、
該基体が、該光素子アレイを実装する領域を一方の端部近傍に備え、且つ、該光素子アレイに接続された配線層を装荷された小基板を、複数重ねることにより形成されていることを特徴とする2次元アレイ型光素子モジュール。A substrate having a step-like mounting surface in which horizontal and vertical surfaces perpendicular to each other are alternately and continuously formed;
A one-dimensional optical element array including a plurality of optical elements parallel to a horizontal plane of the substrate and having an incident optical axis or an outgoing optical axis perpendicular to the vertical plane and mounted on each stage of the substrate ,
The base is formed by stacking a plurality of small substrates each provided with a region for mounting the optical element array in the vicinity of one end and loaded with a wiring layer connected to the optical element array. A two-dimensional array type optical element module.
前記基体が、該基体の後方において、より下層の小基板の後端表面が所定の長さずつ露出するようにそれぞれが決定された互いに長さの異なる小基板を順次積層して構成されており、
該小基板の各々には、一端を前記光素子アレイに接続され、他端が該小基板の後端まで延在する配線層が装荷されている
ことを特徴とする2次元アレイ型光素子モジュール。In the optical element module according to claim 4 or 5 ,
The base is configured by sequentially stacking small substrates of different lengths so that the rear end surface of the lower-layer small substrate is exposed by a predetermined length behind the base. ,
Each of the small substrates is loaded with a wiring layer having one end connected to the optical element array and the other end extending to the rear end of the small substrate. .
前記基体が、互いに同じ長さの小基板を順次積層して構成されており、
該小基板の各々が、一端を前記光素子アレイに接続され他端が後方に延在する第1配線層と、隣接する小基板の該第1配線層に一端が接触し他端が該小基板の後端まで延在した該第1配線層に対して小基板の裏面に装荷された第2配線層とを備えることを特徴とする2次元アレイ型光素子モジュール。In the optical element module according to claim 4 or 5 ,
The base is configured by sequentially stacking small substrates of the same length,
Each of the small substrates has a first wiring layer having one end connected to the optical element array and the other end extending backward, and one end contacting the first wiring layer of an adjacent small substrate and the other end being the small wiring A two-dimensional array type optical element module comprising: a second wiring layer loaded on a back surface of a small substrate with respect to the first wiring layer extending to the rear end of the substrate.
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