JP3606866B2 - マルチチャネル気体サンプル室 - Google Patents

マルチチャネル気体サンプル室 Download PDF

Info

Publication number
JP3606866B2
JP3606866B2 JP51196293A JP51196293A JP3606866B2 JP 3606866 B2 JP3606866 B2 JP 3606866B2 JP 51196293 A JP51196293 A JP 51196293A JP 51196293 A JP51196293 A JP 51196293A JP 3606866 B2 JP3606866 B2 JP 3606866B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
hollow tube
sample chamber
gas sample
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP51196293A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH07505712A (ja
Inventor
ワイ. ウォン,ジェイコブ
Original Assignee
エドワーズ システムズ テクノロジー インコーポレイテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エドワーズ システムズ テクノロジー インコーポレイテッド filed Critical エドワーズ システムズ テクノロジー インコーポレイテッド
Publication of JPH07505712A publication Critical patent/JPH07505712A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3606866B2 publication Critical patent/JP3606866B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G01N1/2247Sampling from a flowing stream of gas
    • G01N1/2258Sampling from a flowing stream of gas in a stack or chimney
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03Cuvette constructions
    • G01N21/05Flow-through cuvettes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3504Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0011Sample conditioning
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0011Sample conditioning
    • G01N33/0016Sample conditioning by regulating a physical variable, e.g. pressure or temperature
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0027General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
    • G01N33/0031General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector comprising two or more sensors, e.g. a sensor array
    • GPHYSICS
    • G08SIGNALLING
    • G08BSIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
    • G08B17/00Fire alarms; Alarms responsive to explosion
    • G08B17/10Actuation by presence of smoke or gases, e.g. automatic alarm devices for analysing flowing fluid materials by the use of optical means
    • G08B17/117Actuation by presence of smoke or gases, e.g. automatic alarm devices for analysing flowing fluid materials by the use of optical means by using a detection device for specific gases, e.g. combustion products, produced by the fire
    • GPHYSICS
    • G08SIGNALLING
    • G08BSIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
    • G08B29/00Checking or monitoring of signalling or alarm systems; Prevention or correction of operating errors, e.g. preventing unauthorised operation
    • G08B29/18Prevention or correction of operating errors
    • G08B29/20Calibration, including self-calibrating arrangements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G01N1/2247Sampling from a flowing stream of gas
    • G01N1/2258Sampling from a flowing stream of gas in a stack or chimney
    • G01N2001/2261Sampling from a flowing stream of gas in a stack or chimney preventing condensation (heating lines)
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03Cuvette constructions
    • G01N2021/0321One time use cells, e.g. integrally moulded
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03Cuvette constructions
    • G01N2021/0385Diffusing membrane; Semipermeable membrane
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03Cuvette constructions
    • G01N21/05Flow-through cuvettes
    • G01N2021/052Tubular type; cavity type; multireflective
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/15Preventing contamination of the components of the optical system or obstruction of the light path
    • G01N2021/158Eliminating condensation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/85Investigating moving fluids or granular solids
    • G01N2021/8578Gaseous flow
    • G01N2021/8585Gaseous flow using porous sheets, e.g. for separating aerosols
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03Cuvette constructions
    • G01N21/0332Cuvette constructions with temperature control
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/02Mechanical
    • G01N2201/022Casings
    • G01N2201/0228Moulded parts
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06Illumination; Optics
    • G01N2201/066Modifiable path; multiple paths in one sample

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Computer Security & Cryptography (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Business, Economics & Management (AREA)
  • Emergency Management (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

記述
技術分野
本発明は、気体分析器の分野にあり、そして特にはNDIR(nondispersive infrared、非分散型赤外線)分析器として知られる型式の気体分析器において使用のためのサンプル室に関係する。
背景技術
NDIR技術は、気体測定のための最善の方法の一つであると長い間考えられてきた。NDIR気体分析器は、極めて特定的であるに加えて、非常に感度がよく、安定であり、信頼性がありそして保守が容易でもある。NDIR気体測定技術の主たる欠点は、その実施に使用する機器が複数でそして高価につくことであった。
NDIR気体分析器は代表的に、赤外線光源、同期検出が使用されうるように光源を変調するためのモータ駆動機械的チョッパ、サンプル室を通して気体を押し進め又引き込むためのポンプ、バンドパスフィルター、感度の良い赤外線検出器と光源から検出器へと赤外線エネルギーを収斂せしめるための高価な赤外線光学素子及び窓を含んでいる。従って、NDIR気体測定技術が最善のものであるとの事実にもかかわらず、使用機器の複雑さと高いコスト故に広範に使用されるに至っていない。
本発明は、NDIR気体測定技術の実施を著しく簡易化し、そしてこの簡易化の結果としてコストの低減化を併せて実現し、それによりこれまでコスト或いは複雑さの故に非実用的と考えられてきたNDIR技術の多くの使途を開拓する。
例えば、本発明のサンプル室は、火災検知に使用のための非常に迅速にして高感度の二酸化炭素検出器(本出願人に1991年10月1日付けで付与された米国特許第5,053,754号)の心臓部となりうるものでありそしてまた室内空気中の二酸化炭素濃度を検知しそして二酸化炭素濃度が過剰となると新鮮な空気を取り込むことにより室内空気汚染を防止するのに非常に有用な換気制御装置の心臓部でもありうる。
簡易化された気体サンプル室に対する本発明は、高価な光学素子、機械的なチョッパ、及びサンプル室内に気体を押し進め又引き込むためのポンプの必要性を排除することによりNDIR気体測定技術システムの複雑さを低減するための新規なアプローチを提供する。加えて、本発明のサンプル室は検出感度を増大する長い有効光路長を提供する。
1987年11月24日付けでBurough等に付与された米国特許第4,709,150号において、プラスチック或いは焼結金属のような多孔質材料から構成されるチューブから成る気体サンプル室が記載されている。Burough等は孔寸法は0.3〜100ミクロンの範囲とすべきことを教示する。反射性光案内要素として多孔質チューブの壁を使用することについての教示或いは示唆はない。恐らくこの理由のために、サンプルセルの内面への気体の液滴への凝縮の問題には、対処がなされていない。
Burough等は、鏡面反射表面からの多数回反射を教示或いは示唆しない。これは彼らのシステムの性能に著しく悪影響を与える。サンプル室の光収集能を活用していないので、Burough等のシステムは非常に乏しい光収集能しか有さず、低い信号対雑音比につながる。更に、Burough等のシステムは長い光路長への対策を有さず、従って彼らのシステムの感度は本発明に比較して劣っている。
Burough等のサンプル室への気体の拡散に関して、本発明に比較して、Burough等のサンプル室において使用される多孔質材料は数百ミクロン厚さであるとされている。対照的に、本発明においては、サンプル室への拡散は25〜50ミクロン厚さのオーダの半透膜を通して起こる。従って、気体が、すなわち気体濃度変化がBurough等のサンプル室へ至るには本発明に比較してはるかに長い時間がかかる。これは、Burough等のサンプル室の応答時間を長くし、それによりそれを火災検知センサ用として選択することを不利ならしめる。他方、本発明のサンプル室は二酸化炭素濃度の変化に非常に迅速に応答しそして研究室での試験は本発明のサンプル室が火災検知器において非常に望ましい極めて急速な応答時間を有することを実証した。
特開昭59−173734号において、宮崎は、光がサンプル室及び標準室に沿って平行に進行する赤外線分析計を記載している。これらセルはらせんチューブの形態を有する。
宮崎のシステムは、そこに開示されるように、従来型式のNDIR気体測定システムの分野に入る。それは入射光がサンプル室及び標準室両方の内部で多数回の反射受けるという事実に対して云えないにせよ、従来型式のIDIRシステムとはなんら差異がなく、その結果なんらの利点も存在しない。宮崎の設計はまだなお、機械的チョッパ、サンプル室及び標準室両方を通して気体を差し向けるための手段並びに2つの検出器を必要としている。従って、これら因子が考慮されるとき、宮崎の発明は、本発明に対して簡易性及び効率の点で近いものではない。
特開昭63−298031号において、藤村はフィルターの使用を開示している。フィルターは、彼の発明においては、そのシステムにおいて使用される光源と検出器とがサンプル室内部にあり、従ってサンプルによる汚染を受けるから、必要とされる。
1985年2月12日付けで宮武等に付与された米国特許第4,499,379号並びに1985年2月26日付けでエビ等に付与された米国特許第4,501,968号において、濃度を測定すべき気体成分が特性波長の赤外線を放出するような温度においてサンプル気体を収納するための加熱されたサンプル気体容器を有する気体分析器が記載されている。この気体分析器は、放射光原理で動作しそして非分散型赤外線吸収分析器ではない。サンプルセル壁におけるヒータはサンプル気体を少なくとも100℃の温度に加熱して、特定の気体に赤外線を放出せしめる。これは、その気体のサンプルからの放射を増加し、同時に気体からの放射に対するバックグランド放射を減じるとされている。サンプルセルの内面は鏡面と云われているが、その理由は呈示されていない。気体自体が等方性である放射源であるから、室の壁が光を何らかの有用な態様で案内する役目をなすとは思われない。
1976年6月29に付けでVennosに付与された米国特許第3,966,439号において、ポンプを含みそして大気中、工場内、発電プラント、鉱山等において見いだされる粒子のサンプルを蓄積するのに使用される流体サンプリング装置が記載される。
Vennosは、濃度決定のため気体サンプルを通して赤外線を通すことと関連せずそしてVennosのフィルターシステムは非類似技術分野からのものである。
同様に、1990年8月14日付けでAnderson等に付与された米国特許第4,947,578号において、昆虫誘引剤のための制御された放出システムが記載されている。この特許において、誘引剤蒸気は膜を通して拡散せしめられる。孔寸法が所望の放出速度により決定されるから、Anderson等による膜の使用は本発明と類似ではない。
発明の開示
本発明の気体サンプル室の第1の目的は、光源からの光を気体サンプル室を通して検出器まで効率的に導くための光パイプとして機能することである。
本発明の気体サンプル室の第2の目的は、0.1ミクロンを超える煙及び粉塵の粒子をサンプル室外に選択的に維持し、以ってそれらが特定の気体の濃度測定において誤差をもたらさないようにし、同時にその気体の分子が自由にサンプル室に流入しまたサンプル室から流出することを可能とすることである。
本発明の好ましい具体例に従えば、サンプル室の内部に面する壁は光源により細長いサンプル室の一端から導入された光を検出器まで導くための光パイプとして機能する鏡面反射表面を含んでいる。
また本発明に従えば、室の壁に開口が含まれそしてこの開口は0.1ミクロンを超える粒子がサンプル室内部に侵入することを防止する半透膜の層により被覆される。
本発明の気体サンプル室の第3の目的は、マルチチャネル気体サンプル室として機能することである。
本発明に従えば、異なった狭い帯域のバンドパス干渉フィルターを窓として装備する幾つかの検出器がサンプル室の検出器側の端に設置される。本発明の気体サンプル室が高度に反射性の壁内部で多数回の反射を経由して光を導くための光パイプとして機能するという事実により、サンプル室全体が検出器に向けて少しづつ減少する強度における光で照射される。従って、検出端においては、幾つかの取付けられた検出器の各々は実質上共通の光源から同じ光強度を受け取る。更に、共通光源−検出器対はおおよそ同じ光路長を有している。従って、もし幾つかの取付けられた検出器が気体サンプル室内に存在する特定の気体により吸収される光を通す異なった狭い帯域のバンドパスフィルターを備えるなら、本発明はマルチチャネル気体サンプル室として機能する。
本発明の気体サンプル室の第4の目的は、各チャネルが異なった光路長を有しうるようなマルチチャネル気体サンプル室として機能することである。
本発明に従えば、気体サンプル室が先に開示した本発明の第3の目的で説明したようなマルチチャネル気体サンプル室となるような態様で、幾つかの検出器が光源から様々の距離において設置される。更に、共通光源−検出器対の各々に対する気体サンプル室の有効光路長は異なりそして特定の検出器が設置される光源からの距離のみに依存する。従って、検出器が光源から異なった距離に設置されるなら、本発明の気体サンプル室はマルチチャネル可変光路長気体サンプル室として機能する。
本発明の追加目的は、気体サンプル室の内部に面する壁上への気体或いは蒸気の凝縮を防止することのできる気体サンプル室を提供することである。
本発明の好ましい具体例に従えば、サンプル室の温度がサンプル室の内部に面する壁上に凝縮する傾向があるかもしれない或る気体或いは蒸気の露点を超えるよう気体サンプル室を加熱するための手段が設けられる。
構成及び操作方法両方に関して、その追加的な目的及び効果と併せて、本発明の特徴であると考えられる新規な特徴は、本発明の好ましい具体例を例示する添付図面と関連して考慮される次の記載から一層よく理解されよう。しかし、図面は例示及び説明目的のみのためのものであって、本発明の範囲を定義することを意図するものでないことを理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に従う気体分析器の主要部を示す側面図である。
第2図は、気体サンプル室を通しての代表的な放射光の光路を示す説明図である。
第3図は、本発明の好ましい具体例に従う気体サンプル室の部分断面図である。
第4図は、第1の好ましい具体例における本発明の気体サンプル室の側面から見た部分断面図である。
第5図は、第2の好ましい具体例における本発明の気体サンプル室の側面から見た部分断面図である。
発明を実施するための最良の形態
第1図に示されるように、気体分析器は放射光源を収納する光源室12を含んでいる。光源は小さな白熱ランプとなしえそして放射光はランプにより発光せしめられる可視光及び/或いは赤外光でありうる。光源室12は、特定の気体成分の濃度を決定するべく被分析気体サンプルを収蔵する気体サンプル室10に連結される。光源室12からの光は気体サンプル室内に収蔵される気体サンプルを通過し、その後光は検出器室14内に位置付けられる一つ以上の検出器に受光される。検出器はそれらに入った光の強度を表す電気信号を発生する。装置の感度を向上するために、検出器の前の光路に狭い帯域のバンドパスフィルターを置き、検出器が濃度を測定すべき気体により強く吸収される波長の光を主に受け取るようにすることがよく知られている。検出器により発生せしめられる電気信号はそれらを関心のある気体の濃度を表す信号に変換する電子回路15に伝達される。
第2図は光源16により放射された代表的な光18がとる光路を示す説明図であり、ここでは光は気体サンプル室を通過するに際して多数回反射され、最終的に検出器20に受け取られる。
第3図は気体サンプル室の部分断面図である。気体サンプル室の胴体は内部に面する鏡面反射面22を有する細長い中空チューブ21である。好ましい具体例において、この表面22はチューブ21の壁の単一体部分であるが、別の具体例においてはこの表面は被覆コーティング或いは鏡面反射性材料の層となすこともできる。
細長い中空チューブ21は複数の開口を含み、そのうち開口24が代表例である。これら開口は周囲気体が気体サンプル室内に流入しまたそこから流出することを許容する役目をなす。しかし、粉塵や煙の粒子が室内に自由に侵入しうることは所望されず、従ってその目的のために、開口240は0.1ミクロンを超える寸法の粒子の侵入を防止する半透膜のシート28により覆われている。気体及び0.1ミクロン以下の粒子の高速度での拡散を達成するために、半透膜のシート28は非常に薄くなければならず、従ってシートは支持メッシュ26上に支持されている。好ましい具体例において、半透膜はシリコーンゴムから構成される。
気体サンプル室は常に気体で充満されているから、もし周囲温度が十分に低下すると、気体サンプル室内の水蒸気或いはその他の気体のいずれかが液体状態に凝縮し、そして鏡面反射表面22並びに検出器上に小さな液滴の形で付着する。これは、気体サンプル室の動作に必要な鏡面反射を妨害し、従って誤った結果を生むことになる。
これが起こるのを防止するために、好ましい具体例においては、ヒータ線30が気体サンプル室10上に所定の分布模様で配備される。サーミスタ32が気体サンプル室の壁の温度を測定する。サーミスタとヒータ線両方がヒータ制御回路34に接続される。ヒータ制御回路34は、気体サンプル室を設定温度に維持するべく周知の態様で動作するサーボ、すなわち自動制御手段である。
第4図は、本発明の第1の好ましい具体例に従うマルチチャネル気体サンプル室を示す。
第1及び2図と関連して記載したように、光源36からの光は、順次的な鏡面反射により気体サンプル室の胴体を構成する細長い中空チューブ38に沿って下流に進行する。光のごく一部しか各反射位置において吸収されず、必要とされるなら長い光路の使用を可能ならしめる。
第4図の第1の好ましい具体例においては、気体サンプル室は開口24を代表例とする多数の開口を含んでいる。これら開口は、0.1ミクロンを超える寸法の粒子の侵入を防止する半透膜のシート28により覆われている。第3図と関連して記載したように、シート28を通しての気体分子の高速度での拡散を許容するために、半透膜のシート28は非常に薄くなければならず、従ってシートは支持メッシュ26上に支持されている。
第4図の第1の好ましい具体例は、複数の検出器のすべてが光源と反対端に位置付けられて存在することにより特徴づけられる。検出器40、42、44により例示されるこれら検出器は、中空チューブ38の周囲に沿って間隔を置いた部位において中空チューブを貫いて伸延する検出器口46、48、50にそれぞれ配置されている。ここで使用されるものとして、各検出器は、特定の選択された波長を有する光のみを通すフィルターを含んでいる。例えば、フィルター41が検出器40に組み込まれる。フィルターの各々はそれ自身のスペクトル特性を有している。好ましい具体例において、フィルターの各々は、関連する検出器を被分析気体の特定の成分を検出するのに有効ならしめる或るスペクトル特性を有している。
第4図の好ましい具体例の一例において、チューブ38は方形断面を有し、各面が検出器口を含む。
第4図の好ましい具体例の別の例において、検出器口52がチューブ38の端を覆う壁54において形成される。
この第1の具体例の改善例として、第4図の検出器はチューブ38の端部を嵌装するキャップを形成するようにプラスチック材料中に封入されうる。
こうして、第4図に示される第1の好ましい具体例に従えば、検出器及びそれらのそれぞれの検出器口のすべてがチューブ38の一端或いはそこに隣り合って位置決めされる。
対照的に、第5図に示される第2の好ましい具体例において、さまざまの検出器56、58、60並びにそれらそれぞれの検出器口62、64、66は、チューブ38の長さに沿って間隔を置いた部位に位置決めされている。
この第2の好ましい具体例は、検出器が順次サンプル測定される時電子回路の必要ダイナミックレンジ(動的範囲)を減じるのに有用である。これは、強い吸収性の気体成分に対しては短い方の光路を使用しそして弱い吸収性の気体成分に対しては長い方の光路を使用することにより達成される。
第1の好ましい具体例の場合と同じく、検出器の一つ68をチューブの端に位置付けることができる。
以上、光源から検出器まで気体を通して光を導く内部に面する鏡面反射表面を有する細長いチューブ状部材の形態の気体サンプル室が記載された。粉塵及び煙粒子は、気体サンプル室のチューブ状壁を貫通する開口を覆う半透膜のシートにより気体サンプル室への侵入を防止される。気体サンプル室の壁を室内での気体成分の凝縮を防止するべく加熱することができそして好ましい具体例においては予備設定温度がサーボすなわち自動制御手段により維持される。
第1の具体例においては複数の検出器は気体サンプル室の光源とは反対側の端に或いはそれに隣り合って位置付けられ、他方第2の好ましい具体例においては複数の検出器が気体サンプル室の長さに沿って隔置される。
産業上の利用可能性
本発明のサンプル室は2種の気体の濃度の比率が臨界的な値であるような用途において殊に有用である。例えば、酸素の減少を伴っての二酸化炭素の増加は燃焼を強く示唆する。この作用結果は火災検知システムにおいて有用でありうる。排気煙突において一酸化炭素対二酸化炭素の比率は燃焼の完全度のめやすである。この情報は燃焼プロセスを制御するためのフィードバックシステムにおいて使用することができる。

Claims (3)

  1. 気体を通して光を導くためのマルチチャネル気体サンプル室であって、
    気密材料から構成されると共に、内部に面する鏡面反射表面を具備する細長い中空チューブであって、該細長い中空チューブの一端において導入された光を他端に向けて該内部に面する鏡面反射表面からの多数回の反射により高い効率で導き、前記細長い中空チューブの一部分が該細長い中空チューブの両端の中間に位置する複数の開口を形成し、該細長い中空チューブの一部分が該細長い中空チューブを貫通する複数の検出器口を構成する細長い中空チューブと、
    前記複数の開口を覆う半透膜のシートであって、特定寸法より小さな気体浮遊粒子が通過して前記細長い中空チューブ内のスペースに拡散することを許容しそして該特定寸法より大きな気体浮遊粒子が前記スペースに侵入するのを防止する半透膜のシートと、
    を備え、
    前記複数の検出器口が、前記細長い中空チューブの前記 他端近傍の側周部および前記細長い中空チューブの前記 他端を閉塞する壁に、一つの光源から各検出器口への光 路長が略同じであるように設置されることを特徴とするマルチチャネル気体サンプル室。
  2. 気体を通して光を導くためのマルチチャネ ル気体サンプル室であって、
    気密材料から構成されると共に、内部に面する鏡面反射 表面を具備する細長い中空チューブであって、該細長い 中空チューブの一端において導入された光を他端に向け て該内部に面する鏡面反射表面からの多数回の反射によ り高い効率で導き、前記細長い中空チューブの一部分が 該細長い中空チューブの両端の中間に位置する複数の開 口を形成し、該細長い中空チューブの一部分が該細長い 中空チューブを貫通する複数の検出器口を構成する細長 い中空チューブと、
    前記複数の開口を覆う半透膜のシートであって、特定寸 法より小さな気体浮遊粒子が通過して前記細長い中空チ ューブ内のスペースに拡散することを許容しそして該特 定寸法より大きな気体浮遊粒子が前記スペースに侵入す るのを防止する半透膜のシートと、
    を備え、
    前記複数の検出器口が、前記細長い中空チューブの側周 部に、その長手方向に沿って一つの光源から各検出器口 への光路長が互いに異なるように設置されることを特徴 とするマルチチャネル気体サンプル室。
  3. 前記鏡面反射表面を気体の該表面への凝縮 を防止するために気体の露点を超える温度に加熱するた めの手段を更に備える請求項1または2のマルチチャネル気体サンプル室。
JP51196293A 1991-12-31 1992-12-30 マルチチャネル気体サンプル室 Expired - Fee Related JP3606866B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US816,596 1991-12-31
US07/816,596 US5222389A (en) 1990-04-02 1991-12-31 Multi-channel gas sample chamber
PCT/US1992/011350 WO1993013401A1 (en) 1991-12-31 1992-12-30 Multi-channel gas sample chamber

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07505712A JPH07505712A (ja) 1995-06-22
JP3606866B2 true JP3606866B2 (ja) 2005-01-05

Family

ID=25221075

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP51196293A Expired - Fee Related JP3606866B2 (ja) 1991-12-31 1992-12-30 マルチチャネル気体サンプル室

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5222389A (ja)
EP (1) EP0619879A4 (ja)
JP (1) JP3606866B2 (ja)
AU (1) AU3428193A (ja)
CA (1) CA2127106A1 (ja)
WO (1) WO1993013401A1 (ja)

Families Citing this family (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5340986A (en) * 1991-11-18 1994-08-23 Gaztech International Corporation Diffusion-type gas sample chamber
US5414264A (en) * 1993-04-16 1995-05-09 Gaztech International Corporation Enhanced pathlength gas sample chamber
GB9320756D0 (en) * 1993-10-08 1993-12-01 Geotechnical Instr Uk Ltd Gas analyser
AU7322594A (en) * 1994-07-05 1996-01-25 Telaire Systems, Inc. Ndir gas analysis using spectral ratioing technique
US5453620A (en) * 1994-08-12 1995-09-26 Texas Instruments Incorporated Nondispersive infrared gas analyzer and gas sample chamber used therein
US5572031A (en) * 1994-11-23 1996-11-05 Sri International Pressure- and temperature-compensating oxygen sensor
US5650624A (en) * 1995-04-13 1997-07-22 Engelhard Sensor Technologies, Inc. Passive infrared analysis gas sensor
US5721430A (en) * 1995-04-13 1998-02-24 Engelhard Sensor Technologies Inc. Passive and active infrared analysis gas sensors and applicable multichannel detector assembles
JP3228080B2 (ja) * 1995-08-07 2001-11-12 富士電機株式会社 多重反射形試料セル
US5770156A (en) * 1996-06-04 1998-06-23 In Usa, Inc. Gas detection and measurement system
US6010665A (en) * 1996-10-18 2000-01-04 In Usa, Inc. Multi-wavelength based ozone measurement method and apparatus
US6037592A (en) * 1997-02-14 2000-03-14 Underground Systems, Inc. System for measuring gases dissolved in a liquid
US5869749A (en) * 1997-04-30 1999-02-09 Honeywell Inc. Micromachined integrated opto-flow gas/liquid sensor
US5936250A (en) * 1997-07-24 1999-08-10 General Monitors, Incorporated Ultraviolet toxic gas point detector
DE19742053C1 (de) * 1997-09-24 1999-01-28 Draeger Sicherheitstech Gmbh Infrarotmeßanordnung mit erweitertem Meßbereich
DE69829688T2 (de) 1997-10-28 2006-03-09 Edwards Systems Technology, Inc., Cheshire Diffusions-ndir-gasanalysator mit konvektionsfluss
US6410918B1 (en) * 1997-10-28 2002-06-25 Edwards Systems Technology, Inc. Diffusion-type NDIR gas analyzer with improved response time due to convection flow
US6181426B1 (en) * 1998-04-03 2001-01-30 Mcdonnell Douglas Corporation Gas concentration monitoring system
US6201245B1 (en) * 1998-06-18 2001-03-13 Robert J. Schrader Infrared, multiple gas analyzer and methods for gas analysis
GB2349207A (en) * 1999-04-22 2000-10-25 Shimadzu Research Lab Measuring attenuation in the intensity of electromagnetic radiation
GB2372099B (en) * 2001-02-08 2003-11-05 Status Scient Controls Ltd Gas sensor
TW459133B (en) 2001-03-30 2001-10-11 Oriental System Technology Inc Multi-component gas analyzer having cassette-type light path system
DE10221954B3 (de) * 2002-05-14 2004-01-15 Msa Auer Gmbh Infrarot-Sensor für Gasmessgeräte mit Explosionsschutzzulassung
SE524900C2 (sv) * 2002-07-22 2004-10-19 Senseair Ab Gasanalyserande arrangemang
GB2395260B (en) * 2002-11-07 2005-11-02 E2V Tech Uk Ltd Gas sensors
GB2396405B (en) * 2002-12-05 2006-03-08 E2V Tech Uk Ltd Gas sensors
EP1469299B1 (de) * 2003-04-16 2008-11-05 Abb Ag Messküvette für ein Fotometer, sowie Verfahren zum Betrieb derselben
US7502114B2 (en) * 2004-03-12 2009-03-10 Mks Instruments, Inc. Ozone concentration sensor
DE102004030855A1 (de) * 2004-06-25 2006-01-12 Tyco Electronics Raychem Gmbh Verfahren zur Reduzierung von Kondenswasser bei Gassensoranordnungen
US7358489B2 (en) * 2005-08-04 2008-04-15 Airware, Inc. Ultra low cost NDIR gas sensors
US7664607B2 (en) 2005-10-04 2010-02-16 Teledyne Technologies Incorporated Pre-calibrated gas sensor
AU2007242050B2 (en) * 2006-04-20 2013-05-02 Scantech International Pty Ltd Particle monitor
FR2932567B1 (fr) * 2008-06-11 2010-08-13 Oldham Cellule de mesure pour appareil de detection de la presence d'un gaz dans une atmosphere
US8759767B2 (en) * 2008-08-21 2014-06-24 Lawrence Livermore National Security, Llc Combined raman and IR fiber-based sensor for gas detection
DE102009036114B3 (de) * 2009-08-05 2010-09-02 Dräger Safety AG & Co. KGaA Infrarot-Optische Gasmesseinrichtung
US8143581B2 (en) * 2009-08-21 2012-03-27 Jacob Y Wong Absorption biased NDIR gas sensing methodology
EP2486403B1 (en) 2009-10-09 2013-06-26 Autoliv Development AB Breath sensor
CN106404468A (zh) * 2010-09-10 2017-02-15 爱克斯崔里斯科技有限公司 管道检测器
US8178832B1 (en) * 2011-05-31 2012-05-15 Wong Jacob Y Re-calibration methodology for NDIR gas sensors
CN102230928A (zh) * 2011-06-13 2011-11-02 安徽宝龙环保科技有限公司 一种柴油车尾气检测仪
EP3644043B1 (en) * 2011-12-27 2023-10-18 HORIBA, Ltd. Gas analyzing apparatus
CN102590092B (zh) * 2012-03-07 2013-09-25 哈尔滨工业大学 用于激光吸收光谱技术的吸收光程延长的装置及方法
FR3000548B1 (fr) * 2013-01-02 2017-02-24 Withings Capteur de concentration de co2
DE102014000651B3 (de) * 2014-01-17 2015-05-13 Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover Vorrichtung zum Bestimmen einer Konzentration eines chemischen Stoffes
CN104122223B (zh) * 2014-08-07 2017-02-08 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种双光程多气体红外气体传感器
US10161851B2 (en) 2014-08-15 2018-12-25 Tenova Goodfellow Inc. System and method for analyzing dusty industrial off-gas chemistry
CN105043827A (zh) * 2015-07-10 2015-11-11 国家电网公司 电站锅炉烟气采样装置
EP3455612A1 (de) * 2016-05-09 2019-03-20 Infrasolid Gmbh Messeinrichtung und verfahren zur erfassung unterschiedlicher gase und gaskonzentrationen
DE102016108544A1 (de) 2016-05-09 2017-11-09 Technische Universität Dresden Messeinrichtung und Verfahren zur Erfassung unterschiedlicher Gase und Gaskonzentrationen
FR3056750A1 (fr) * 2016-09-23 2018-03-30 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Detecteur d'une substance fluide
CN110462377A (zh) 2016-12-09 2019-11-15 新加坡国立大学 气体传感器mems结构及其制造方法
CN108613847A (zh) * 2016-12-10 2018-10-02 中国科学院大连化学物理研究所 一种增大采集流量的大气采样器
FR3063147B1 (fr) * 2017-02-20 2023-08-25 Commissariat Energie Atomique Detecteur optique de particules
EP3599455B1 (de) * 2018-07-27 2022-03-23 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Vorrichtung und verfahren zur analyse von partikeln
KR102170028B1 (ko) * 2018-11-27 2020-10-26 한국원자력연구원 습도센서 센서튜브 및 이를 이용한 습도센서 어셈블리
CN109855926A (zh) * 2019-03-26 2019-06-07 嘉兴求源检测技术有限公司 一种烟尘烟气采样仪
CN110787556A (zh) * 2019-11-20 2020-02-14 唐山天予环保科技有限公司 一种环境治理用大气雾霾污染监测治理装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3966439A (en) * 1974-11-11 1976-06-29 Vennos Spyros Lysander N Fluid sampling device
US4047437A (en) * 1976-08-20 1977-09-13 Trw Inc. Continuous row average sampling method and apparatus for stationary source gas streams
US4155247A (en) * 1977-05-02 1979-05-22 Westinghouse Electric Corp. Multi-part gas sampler
JPS5539049A (en) * 1978-09-12 1980-03-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Detection and detector of optical attenuation
US4507558A (en) * 1983-02-22 1985-03-26 Honeywell Inc. Selective leak-detector for natural gas
JPS59173734A (ja) * 1983-03-23 1984-10-01 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 赤外線ガス分析計
JPS60105947A (ja) * 1983-11-15 1985-06-11 Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd 赤外線ガス分析計
US4749276A (en) * 1986-01-23 1988-06-07 Mcdonnell Douglas Corporation Long path absorption cell
US4709150A (en) * 1986-03-18 1987-11-24 Burough Irvin G Method and apparatus for detecting gas
US4800272A (en) * 1987-03-04 1989-01-24 New York University Environmental gamma-ray and radon detector
JPS63298031A (ja) * 1987-05-29 1988-12-05 Fujitsu Ten Ltd 外気汚れ検出器
US4947578A (en) * 1989-06-16 1990-08-14 Ecolab Inc. Controlled release system for insect attractant
US5060508A (en) * 1990-04-02 1991-10-29 Gaztech Corporation Gas sample chamber

Also Published As

Publication number Publication date
WO1993013401A1 (en) 1993-07-08
AU3428193A (en) 1993-07-28
EP0619879A1 (en) 1994-10-19
CA2127106A1 (en) 1993-07-08
JPH07505712A (ja) 1995-06-22
EP0619879A4 (en) 1994-11-02
US5222389A (en) 1993-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3606866B2 (ja) マルチチャネル気体サンプル室
EP0997727B1 (en) Improved diffusion-type gas sample chamber
JP2895229B2 (ja) ガスサンプルチャンバー
US5341214A (en) NDIR gas analysis using spectral ratioing technique
EP0307625A2 (en) Optical gas analyzer
US5384640A (en) Gas sample chamber for use with a source of coherent radiation
US5874737A (en) Gas analyzer
US5942755A (en) Infrared optical gas-measuring system
FI95322B (fi) Spektroskooppinen mittausanturi väliaineiden analysointiin
GB2262338A (en) Infra red gas detector
US5475222A (en) Ruggedized gas detector
JPS6312938A (ja) ガス分析装置及びガス分析方法
EP0791819A2 (en) Optical system with an extended imaged source
CN1032666C (zh) 改进的气体取样室
WO1996001418A1 (en) Ndir gas analysis using spectral ratioing technique
EP0536978A1 (en) Humidity sensors
CN116297285A (zh) 一种红外多组分气体检测装置
US3920993A (en) Piggyback optical bench
JP2002506968A (ja) 光学センサ
US4606644A (en) Gas measuring apparatus with means to reduce thermal radiation effects

Legal Events

Date Code Title Description
A072 Dismissal of procedure [no reply to invitation to correct request for examination]

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A073

Effective date: 20040203

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20040128

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040330

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040630

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040907

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20041006

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees