JP3602212B2 - 発光素子用半導体及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光ダイオード,半導体レーザ等の発光素子の材料となる発光素子用半導体及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
トランジスタ,IC,LSI等の材料となる半導体としては、次の理由によりシリコンが最も普及している。▲1▼.化合物ではないので組成が安定している。▲2▼.良質の酸化膜を容易に形成できる。▲3▼.地球上に豊富に存在する。▲4▼.融点が高いため製造上の高熱処理に十分に耐え得る。▲5▼.廃棄物として無害である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、シリコンは、このような利点を持つにもかかわらず、典型的な間接遷移形半導体であるため、発光素子には用いられていない。そのため、発光素子用半導体としては、ガリウム砒素,ガリウムリン等のIII−V族化合物半導体が専ら用いられている。
【0004】
【発明の目的】
そこで、本発明の目的は、さまざまな利点を有するシリコンを主体として発光素子を実現可能とする発光素子用半導体及びその製造方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る発光素子用半導体は、イオン注入法により単結晶シリコンに導入されたエルビウムを発光中心として含む多孔質シリコンと、この多孔質シリコンの表面に水蒸気中での熱酸化によって形成されたシリコン酸化膜とを備えたものである。本発明に係る発光素子用半導体の製造方法は、本発明に係る発光素子用半導体を製造する方法であって、エルビウムをイオン注入法により単結晶シリコンに導入した後、この単結晶シリコンを陽極化成法により多孔質化し、この多孔質化したシリコンの表面に水蒸気中での熱酸化法によりシリコン酸化膜を形成するものである。
【0006】
【作用】
シリコン酸化膜形成時に多孔質シリコン中に酸素が入り込み、この酸素がエルビウムとともに発光中心を形成することにより、発光すると考えられる。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明に係る発光素子用半導体及びその製造方法の一実施形態を、以下に説明する。
【0008】
本実施形態の発光素子用半導体は、図1の工程図に示すように、次の工程▲1▼〜▲6▼により製造した。まず、単結晶シリコンとして、CZウェーハ,面方位(111) ,P型(ボロン含有),抵抗率2.0 〜5.0 Ωcm,厚さ525 μmのシリコン基板を用意する。▲1▼.シリコン基板にエルビウムをイオン注入法により導入する。このとき、シリコン基板は室温に保たれ、エルビウムのイオンはドーズ量1×1013cm−2かつエネルギ2MeV である。▲2▼.シリコン基板に対して、アニール温度900 ℃,真空中で30分のアニール処理を施す。▲3▼.シリコン基板の裏面に、アルミニウムを真空蒸着により被着させる。▲4▼.熱処理によりアルミニウムとシリコンとのオーミック接触を得る(アローイング処理)。▲5▼.シリコン基板の表面を、陽極化成法により多孔質化する。▲6▼.シリコン基板を窒素及び水蒸気の混合気体中で900 ℃,30分保持することにより、シリコン基板に熱酸化膜を形成する。
【0009】
工程▲5▼について、図2に基づき詳しく説明する。テフロンビーカ10内のエッチング液12は、48wt%のフッ酸(HF)をエチルアルコール(C2 H5 OH)によって50%に希釈したものである。シリコン基板14の裏面のオーミック接触層16は、銀ペーストによって銅板18に貼り付けられている。シリコン基板14の表面14s以外の部分は、半導体用ワックス(アスファルトピッチ)20によって覆われている。陽極化成は、シリコン基板14をエッチング液12に浸漬し、銅板18を正極,プラチナ板22を負極として、電流密度10mA/cm2,時間10分,かつ室内照明下の条件により行った。なお、室内照明の代わりにキセノンランプ等を用いてもよい。
【0010】
工程▲1▼〜▲2▼により製造した試料を(a) 、工程▲1▼〜▲5▼により製造した試料を(b) 、工程▲1▼〜▲6▼により製造した試料を(c) とする。すなわち、試料(a) は、エルビウムをイオン注入したシリコン基板をアニール処理しただけのものである。試料(b) は、陽極化成までを行ったものである。試料(c) は、シリコン酸化膜の形成までを行ったものである。
【0011】
これらの試料についてフォトルミネッセンス(PL)法により評価した結果を、図3及び図4に示す。フォトルミネッセンス法よる評価は、試料をクライオスタットに取付け、アルゴンイオンレーザの波長488nm の光により試料を励起し、試料から発するPL光をダブルモノクロメータにより分光し、液体窒素で冷却したゲルマニウムp−i−n ダイオードでPLスペクトルを受光することにより行った。
【0012】
図3は、試料を20K に冷却した場合におけるPL強度を各波長ごとに示したグラフである。図3から明らかなように、試料(c) において、著しく高いPL強度が認められ、1537.1nm,1548.5nm,1551.3nm,1555.7nm,1567.7nm,1574.9nm,1598.0nm及び1642.0nmの計8本のピークが発生した。また、試料(a) 及び試料(b) では、エルビウムが発光中心となりにくいことがわかる。
【0013】
図4は、試料(a) 及び試料(c) についてのPL強度積分値の測定温度依存性を示すグラフである。PL強度積分値とは、PL強度を全波長に対して積分した値である。試料(a) 及び試料(c) ともに、180Kでは20Kに比べてPL強度積分値がかなり低下した。しかし、試料(c) は、180Kでも試料(a) よりもはるかに高いPL強度積分値を示した。
【0014】
なお、本発明は、いうまでもないが、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、エルビウムのイオンのドーズ量は、1×1013cm−2としたが、これに限られるわけではない。
【0015】
【発明の効果】
本発明に係る発光素子用半導体及びその製造方法によれば、エルビウムを発光中心として含む多孔質シリコンと、この多孔質シリコンの表面に形成されたシリコン酸化膜とを備えたことにより、単結晶シリコンにエルビウムを含むものに比べて、PL強度を飛躍的に向上できる。したがって、さまざまな利点を有するシリコンを主体として、発光素子を実現できる。
【0016】
また、Er3+の4f殻の4I13/2→4I15/2による発光波長が石英系ファイバの最低損失波長1.54μmに一致するため、光通信用発光素子の材料として好適に用いることができる。
【0017】
さらに、シリコンは高集積度のLSIの材料として普及しているので、高集積度の光電子集積回路(OEIC)を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る発光素子用半導体の製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図2】図1の工程図における陽極化成を示す説明図である。
【図3】本発明に係る発光素子用半導体について評価した結果を示す、発光波長対PL強度のグラフである。
【図4】本発明に係る発光素子用半導体について評価した結果を示す、測定温度対PL強度積分値のグラフである。
【符号の説明】
10 テフロンビーカ
12 エッチング液
14 シリコン基板
16 オーミック接触層
18 銅板
20 半導体用ワックス(アスファルトピッチ)
22 プラチナ板
Claims (4)
- イオン注入法により単結晶シリコンに導入されたエルビウムを発光中心として含む多孔質シリコンと、この多孔質シリコンの表面に水蒸気中での熱酸化によって形成されたシリコン酸化膜と、
を備えた発光素子用半導体。 - イオン注入法により前記エルビウムが導入される前記単結晶シリコンの面方位が (111) である、
請求項1記載の発光素子用半導体。 - 前記シリコン酸化膜形成時に前記多孔質シリコン中に入り込んだ酸素が前記エルビウムとともに発光中心を形成した、
請求項1又は2記載の発光素子用半導体。 - エルビウムをイオン注入法により単結晶シリコンに導入した後、この単結晶シリコンを陽極化成法により多孔質化し、この多孔質化したシリコンの表面に水蒸気中での熱酸化法によりシリコン酸化膜を形成する、
請求項1乃至3のいずれかに記載の発光素子用半導体の製造方法。
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