JP3601709B2 - 信号振動についての警報方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は警報方法に係り、特に、信号振動の振動幅及び回数が所定の範囲を超える場合自動的に警報を出す方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
製造プロセスを安定に維持するために、普段製造設備の信号に対する監視が行われる。例えば、製品の破損を防止するために、半導体製造に用いられるステッパの光源電力やウェットエッチングステーションにおけるエッチング溶液流量等の信号を監視する必要がある。
【0003】
普段、監視方法としては、予め設定される信号の上限及び下限値を用い、某ワークステーションにおける信号が上限及び下限に定められる信号値範囲を超えると、監視機が警報を出す手法が挙げられる。この警報により、管理者は当該ワークステーションが異常状態に陥ることを知り、対策を取ることができる。
【0004】
図1は所定の時間内某ワークステーションにおける信号を示すものである。図1において、何れの信号は上限(3.0)と下限(1.4)による信号値範囲を超えていないため、従来の監視方法の場合警報が出されない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、信号が前記信号値範囲内で振動する場合にも、対応のワークステーションにおいて把握できないトラブルが生じる可能性が十分ある。従来の上限及び下限値を用いる監視方法においてこのような把握できないトラブルについて管理者に通知することができず、該トラブルを解消することができない。
【0006】
前記のような問題点を解決するために、本発明の目的は、ノイズの影響を除き信号振動の回数を正確に計算し、管理者に的確に警報することができる信号振動警報方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための本発明の信号振動警報方法は、設備の作動に関する信号を読み取る段階と、前記信号の波形における複数の極点から、複数の主転換点を検出する段階と、隣接する前記主転換点間の波高差を割り出し、当該波高差のうち、所定の許容範囲を超えるものが現われる回数を求める段階と、前記回数が所定の許容回数を超える場合、前記設備にて異常が発生したことを自動的に表示する段階とを備え、前記主転換点を検出する段階において、隣接する主転換点間の波高差は所定のノイズレベル以上である。隣接する主転換点間の波高差は、立ち上がり部の波高差と立ち下がり部の波高差とを含む。
【0008】
本発明方法によれば、ノイズによる信号の変化を無視し、製造設備からの信号の振動幅(以下、主振幅差又はマスタ差)を的確に割り出すことができ、主振幅差のうち許容範囲を超えるものが現われる回数が所定の許容回数を超えると、前記製造設備にてトラブルがあると認識し、自動的に警報を出すことができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
前記の目的を達成するための本発明の実施例の構成とその作用を添付図面に基づき詳細に説明する。
【0010】
要するに、本発明方法は、振動幅が所定の範囲内である振動を無視し、振動幅が大きい振動の回数を求め、この回数からワークステーション(製造設備)にて異常があるか否かを判断するように構成される。
【0011】
図2は信号と本発明方法の関係を示すものである。図2において、信号変化の傾向性は上昇から降下へ、または、降下から上昇へ転換する時点で、転換点20が現われる。該転換点20は山或いは谷にあり、隣り合う両転換点20の差は主振幅差(或いは振動幅)と称する。本発明の方法は、予めノイズ範囲を定めて、前記差が該ノイズ範囲内である場合該当信号の変化をノイズとし、該当ノイズを適当に濾過することにより複数の信号のうち代表的主転換点(又はマスタ転換点)及びこれに対応する主振幅差を割り出すように構成される。本発明方法によりトラブルを起す信号振動を正確に割り出すことができる。
【0012】
図2に示すように、時間帯22において五つの転換点20があり、何れの隣り合う転換点同士間の差はノイズ範囲内である。信号の波形から分かるように、時間帯22においてマスタ波形の谷が現われる。このため、該谷の主転換点は五つの転換点20のうち最小値の転換点、即ち、転換点20aである。
【0013】
また、図2の時間帯26において三つの転換点20があり、何れの隣り合う転換点同士間の差はノイズ範囲内である。信号の波形から分かるように、時間帯26においてマスタ波形の山が現われる。このため、該山の主転換点は三つの転換点20のうち最大値の転換点、即ち、転換点20bである。
【0014】
一方、図2の時間帯24において二つの転換点20があり、それらの差はノイズ範囲内である。しかし、信号の波形から分かるように、時間帯24における信号はマスタ波形の谷から山へ転換する過程中(上昇中)の信号である。したがって、時間帯24における転換点20はノイズによるものであり、主転換点ではない。
【0015】
また、図2の時間帯28において四つの転換点20がある。四つの転換点同士間の差は全てノイズ範囲内ではないが、そのうち上昇を示す差は何れもノイズ範囲内である。信号の波形から分かるように、時間帯28における信号はマスタ波形の山から谷へ転換する過程中(降下中)の信号である。したがって、時間帯28における転換点20はノイズによるものであり、主転換点ではない。
【0016】
図3は本発明方法で図1の信号から割り出された主転換点を示すものである。本発明方法によれば、図1の転換点のうち一部分をノイズによるものとして無視し、他の部分を主転換点30として選択する。結果、図3に示すように、隣り合う両主転換点30同士間の差はノイズ範囲を超え、連続の三つの主転換点30のグ―ルプ毎に一つの山または谷が形成される。即ち、毎グループのうち両側の転換点が中央の転換点より大きい、または小さい。
【0017】
図4は本発明方法を示すフローチャートである。本発明方法はサーバーに対応のソフトウエアのプログラムを実行させることにより具現される。
【0018】
本発明方法によれば、先ずある時間帯内の信号を収集する(段階40)。
【0019】
次に、信号から主転換点を割り出す(段階42)。主転換点を割り出したら、該当転換点に対応する主振幅差を求めることができる。該主振幅差は真の振動幅、即ち、ノイズの干渉を受けていない状態での波形の振動幅とする。
【0020】
次に、主振幅差(或いは振動幅)のうち許容範囲を超えるものが現われる回数を求める(段階44)。
【0021】
次に、得られた前記回数が所定の許容回数を超えるか否かを判断する(段階46)。
【0022】
前記判断結果がYESであれば、対応するワークステーションにて異常があることを表示する(段階48)。
【0023】
一方、前記判断結果がNOであれば、対応するワークステーションには異常がない(信号振動がない)ことを表示する(段階50)。
【0024】
図5は主転換点の割り出しを示すフローチャートである。図5において、S(a)は第aの主転換点の値を、d(x)は第xの信号の値を指し、Dflagは現在の信号の傾向性を表示するフラグ(上昇の傾向性である場合1に、降下の傾向性である場合−1に設定する)、LocalMin及びLocalmaxは現在の傾向性における局部最小値及び局部最大値である。
【0025】
先ず、ノイズ範囲を定義する(段階60)。
【0026】
次に、局部変数の初期値を定義する(段階62)。ここで、x=2とはd(2),d(1)を対象とすることを指し、a=1とは第1の主転換点の割り出しをスタートすることを指し、Dflag=0とは平坦を意味する。また、局部最大値及び局部最小値LocalMax及びLocalMinは何れ第1の信号値d(1)とする。
【0027】
次に、d(x)とd(x−1)を比較し、判断する(段階64)。ここで、d(x)>d(x−1)の場合、現在、信号d(x)が上昇の傾向性を有することを示す。更に、d(x)>d(x−1)の場合、d(x)−LocalMinはノイズ範囲内であるか否か、即ち、その上昇の傾向性はノイズによるものであるか否かを判断する(段階66)。
【0028】
段階66の判断結果はYESであれば、d(x)を無視し、次の信号を対象にする。
【0029】
一方、段階66の判断結果はNO、即ち、上昇の傾向性は顕著である場合、現在、その傾向性は確かに上昇の傾向性であることを確認することができる。このため、傾向性を示すフラグDflagを1に設定する。更に、現在の傾向性と直前の傾向性との一致性を判断する(段階68)。一致(上昇つまりDflag=1)の場合、フラグDflagの値はそのままであるが、LocalMaxの値を更新する(段階69)。現在の傾向性(上昇)はその直前の傾向性(平坦または降下)と相違、即ち、段階68の判断結果はNOである場合、一つの谷が現れることを意味する。これを一つの主転換点とし、即ち、現在の主転換点S(a)はLocalMinとなる。現在の主転換点S(a)をLocalMinで設定し、LocalMaxをd(x)で更新すると共に、現在の傾向性が上昇であることを示すためにフラグDflagを1に設定する(段階70)。
【0030】
段階70の後に、次の主転換点aの割り出しを開始する(72)。ここで、先ず、信号処理は全部完了したか否かを判断する(段階74)。判断結果がNOであれば、次の信号xの処理へ移行する(76)。
【0031】
図5の符号66’乃至72’に示す段階の処理は、前述した符号66乃至72に示す段階の処理と類似するため、その説明を省略する。
【0032】
信号処理は全部完了した(段階74の判断結果はYESである)場合、図4に示す段階44へ移行、即ち、主振幅差(或いは振動幅)のうち許容範囲を超えるものが現われる回数を求める。
【0033】
主転換点の割り出し方法はほかにもある。例えば、図6に示すように、主転換点を割り出すこともできる。先ず、信号のうち全ての転換点、例えば図6のST1,SV1,ST2,SV2…を割り出す。ここで、ST1におけるTは山、SV1におけるVは谷を指す。
【0034】
図6に示す転換点の割り出し方法によれば、某信号のレベルはその両側に隣接する信号のレベルより低いなら谷の転換点とし、某信号のレベルはその両側に隣接する信号のレベルより高いなら山の転換点とする。ここで、転換点同士は山と谷の交錯の方式で配列される(図6の配列80参照)。したがって、このような転換点の割り出し方法は非常に単純な手法である。この後、このような転換点の配列から、その間の差がノイズ範囲内の値となる隣り合う両転換点のグループを割り出す。例えば、転換点の配列80からその間の差がノイズ範囲内の値となる転換点SV1とST2を割り出した。このため、SV1とST2はノイズによる転換点と認定し、処理すべきである。ここで、SV1とST2両側に隣接するST1とSV2と組み合わせて処理する。即ち、ST1とST2のうち最大のもの(極値)を新しい山の転換点STF1(=Max(ST1,ST2))とし、SV1とSV2のうち最小のもの(極値)を新しい谷の転換点SVF1(=Min(SV1,SV2))とする。転換点配列80のうち連続処理される四つの転換点(ST1,SV1,ST2,SV2)をSTF1,SVF1に入れ替え、新しい転換点配列82を作成する。図6に示すように、このような転換点配列82は依然として山と谷の交錯である。
【0035】
ST3とSV3の間の差はノイズ範囲内である場合、ST3とSV3はノイズによる転換点であることを意味する。したがって、前述した処理方法と同様な方法で、SVF2とSTF2を割り出すことができ、そして図6に示すように、転換点配82列のうち転換点SVF1,ST3,SV3,ST4をSVF2,STF2に入れ替え、新しい転換点配列84を作成する。このように、前述した処理方法を繰り替えて実施することにより、何れの隣り合う転換点同士間の差がノイズ範囲内である最終的転換点配列が作成される。該最終的転換点配列内の要素(転換点)は何れも主転換点とされる。
【0036】
図7は図4の段階44と46の詳細を示すフローチャートである。主転換点を割り出した後、隣り合う両主転換点の減算で主振幅差を求める(段階441、441’)。主振幅差は大体、山の転換点から谷の転換点へ降下する降下差(段階441’にて求める)と谷の転換点から山の転換点へ上昇する上昇差(段階441にて求める)に分けられる。
【0037】
次に、主振幅差のうち主振幅差の許容範囲を超えたものが現われる回数を求める(段階442と442’)。主振幅差の許容範囲は上昇差の許容範囲と降下差の許容範囲に分けられる。段階442において上昇差のうち上昇差の許容範囲を超えたものが現われる回数(Nu)を求め、段階442’において降下差のうち降下差の許容範囲を超えたものが現われる回数(Nd)を求める。
【0038】
次に、主振幅差のうち主振幅差の許容範囲を超えたものが現われる回数が許容回数を超えたか否かを判断する(段階46)。段階461において、上昇差のうち上昇差の許容範囲を超えたものが現われる回数Nuが所定の許容回数Nauを超えたか否かを判断し、YESである場合警報を出す(段階48を実行する)が、NOである場合段階50に移行する。段階461’において、降下差の許容範囲を超えたものが現われる回数Ndが所定の許容回数Nadを超えたか否かを判断し、YESである場合警報を出す(段階48)が、NOである場合段階50に移行する。
【0039】
前述したように、ワークステーションにおける信号を監視することにより、該信号から過大な信号振動によるトラブルが発生する恐れがあるか否かを判断し、管理者がこのトラブルを適当に解決するように迅速に警報を出すことができる。このため、生産ラインを安定な状態に維持することができる。
【0040】
本発明は前記実施例の如く提示されているが、これは本発明を限定するものではなく、当業者は本発明の要旨と範囲内において変形と修正をすることができる。
【0041】
【発明の効果】
前記の通り、本発明方法によれば、信号の振動が従来の信号値範囲内である場合にも、信号の振動から製造設備の状態を認識し、管理者に迅速に通知することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】所定の時間内某ワークステーションにおける信号を示す図である。
【図2】信号と本発明方法の関係を示す図である。
【図3】本発明方法で図1に示す信号から割り出されたマスタ転換点を示す図である。
【図4】本発明方法を示すフローチャートである。
【図5】マスタ転換点の割り出しを示すフローチャートである。
【図6】マスタ転換点の割り出し方法を示す図である。
【図7】図4に示す段階44と46の詳細を示すフローチャートである。
【符号の説明】
20 転換点
22、24、26、28 時間帯
30 マスタ転換点
Claims (5)
- 設備の作動に関する信号を取り出す段階と、
前記信号の波形における複数の極点から、複数の主転換点を検出する段階と、
隣接する前記主転換点間の波高差を割り出し、当該波高差のうち、所定の許容範囲を超えるものが現われる回数を求める段階と、
前記回数が所定の許容回数を超える場合、前記設備にて異常が発生したことを自動的に表示する段階と
を備え、
前記主転換点を検出する段階において、隣接する主転換点間の波高差は所定のノイズレベル以上であり、
前記隣接する主転換点間の波高差は、前記波形における立ち上がり部の波高差と、前記波形における立ち下がり部の波高差とを含む
信号振動警報方法。 - 前記主転換点を検出する段階において、
隣接する前記極点間の波高差は前記所定のノイズレベル以上であるか否かを確認し、前記複数の極点の波高を逐次比較し、前記波形における各局部最大値及び局部最小値を順次特定し、
前記信号の波形における立ち上がりから立ち下がりへの転換、または、立ち下がりから立ち上がりへの転換の有無に基づいて、前記局部最大値又は局部最小値を前記主転換点とする
請求項1に記載の信号振動警報方法。 - 前記主転換点を検出する段階において、
前記信号の波形における複数の極点からなる第1の列において、隣接する極点間の波高差は前記所定のノイズレベル以下である極点を取り除き、取り除かれた極点とその前後の極点から新しい極点を定義する処理を繰り返すことにより、隣接する極点間の波高差は前記所定のノイズレベル以上である極点からなる第2の列を得、
上記第2の列における極点を前記主転換点とする
請求項1に記載の信号振動警報方法。 - 前記許容範囲は、前記波形における立ち上がり部の波高差について定義される許容範囲と、前記波形における立ち下がり部の波高差とについて定義される許容範囲とを含む
請求項1に記載の信号振動警報方法。 - 前記許容回数は、前記波形における立ち上がり部の波高差について定義される許容回数と、前記波形における立ち下がり部の波高差について定義される許容回数とを含む
請求項1に記載の信号振動警報方法。
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