JP3591156B2 - 分光分析装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、回折格子を有する分光分析装置に係り、詳しくは、回折格子を回転させる部分の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
溶液試料の元素濃度の分析には、多くの場合、ICP発光分光分析装置のような分光分析装置が使用される。ICP発光分光分析装置は、高周波誘導結合プラズマを発光源とするものである。
【0003】
分光分析装置の一例として、図4に従来のICP発光分光分析装置の概略構成を示す。
【0004】
ICP発光分光分析装置では、プラズマトーチからなる発光部31で試料を発光させ、この発光部31からの試料の放射光を集光レンズ32や、入口スリット33や凹面鏡34を介して回折格子35に導く。そして、この回折格子35で放射光を各波長のスペクトル光に分光し、そのうち特定の波長のスペクトル光を、凹面鏡36や出口スリット37を通じ、フォトマルチプライヤのような光検出器38に導いて検出し、これによって、試料に含まれる元素の定性、定量分析を行う。
【0005】
前記の回折格子35には、その角度を変えるための回転機構39が設けられ、また、出口スリット37には、これを光検出器38の手前で横方向に移動させる横移動機構40が設けられている。
【0006】
回折格子35の回転機構39は、サインバーを用いたものが一般的で、その機構は、回折格子35の回転軸に取り付けられたサインバー41のほかに、パルスモータ42、このパルスモータ42に回転駆動されるネジ軸43、ネジ軸43に螺合しネジ軸43の回転により軸方向にスライドするスライダ44等を備えている。この機構39では、ネジ軸43の回転によりスライダ44がスライドすることで、サインバー41が押動されて揺動し、これとともに回折格子35が回転しその角度が変わる。
【0007】
ほかに、回折格子の回転機構としては、図示しないが、回折格子の回転軸にパルスモータを直結し、パルスモータで直接的に回折格子を回転させるようにしたものもある。
【0008】
出口スリット37の横移動機構40は、例えば、パルスモータ45とネジ軸46とを組み合わせたもので、ネジ軸46に螺合する雌ネジ体47が出口スリット37の側に取り付けられており、ネジ軸46が回転することで、出口スリット37が横移動する。
【0009】
このような分光分析装置で特定の波長のスペクトル光を選別し検出するには、まず、回転機構39によって回折格子35の角度を変えて、特定の波長のスペクトル光を光検出器38の側に導く。そして、光検出器38の手前で、出口スリット37を横移動機構により横方向に移動させてスペクトルピークを検出する。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来の分光分析装置は、回折格子35の回転角度と、出口スリット37の横位置とを調整しなければならず、2つの部分で調整を必要とするものであった。そのため、これらの調整に手間と時間がかかり、分析を迅速に進められないという問題があった。また、各機構の機械的精度が重畳的に分析精度に影響を及ぼすことになるので、高い分解能が得られないという問題もあった。
【0011】
ところで、従来の分光分析装置において、このように回折格子の回転角度を調整するだけでなく、出口スリットの横位置の調整を行うには、次のような事情がある。
【0012】
すなわち、従来の回折格子の回転機構では、微小角度の回転が難しく、また、その回転角度を検出するロータリーエンコーダにも、微小角度を検出しうるものが得難く、回折格子の回転角度を細かく調整することができなかったからである。そのため、回折格子より後段で、出口スリットを横移動させる必要があった。
【0013】
もちろん、コストや価格を無視すれば、高精度な回転機構や、微小角度を検出しうるロータリーエンコーダが得られないわけではないが、それでは装置全体が極めて高価となり、実現性に乏しい。
【0014】
ところが、ロータリーエンコーダについては、最近、その信号処理の技術が進歩し、比較的安価なロータリーエンコーダでも、その角度検出信号を較正処理することで、微小な回転角度を検出することが可能になってきた。
【0015】
本発明は、このような現状に鑑み、回折格子の回転角度を調整するだけで、高精度にスペクトルプロファイルデータが得られるようにし、調整を簡単化して分析を迅速に行えるようにするとともに、より高精度の分析を可能にすることを課題とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を達成するために、回折格子により分光を行う分光分析装置において、回折格子を回転させる回転機構と、この回転機構の駆動部と回折格子側の被駆動部との間に設けられた圧電素子により構成された微量駆動手段と、回転軸において回折格子の回転角度を検出する角度検出手段と、制御部とを備え、前記制御部は、回転機構の駆動で回転した回折格子の回転角度を角度検出手段により検出し、その検出信号に基づいて微量駆動手段を駆動して回折格子の回転角度を微量的に補正する構成とした。
【0017】
【発明の実施の形態】
図面に基づいて本発明の詳細を説明する。図1は本発明の第1実施の形態に係るICP発光分光分析装置の構成図である。このICP発光分光分析装置は、サインバーを含む回転機構と、サインバーの遊端と該部を押動するスライダとの間に設けられた微量駆動手段とを備えていることに特徴を有している。以下、その構成を詳細に説明する。
【0018】
このICP発光分光分析装置は、ツェルニターナ型の分光部を有するもので、図1中、符号1はプラズマトーチからなる試料の発光部で、この発光部1からの放射光は、集光レンズ2で集光されてハウジング3内に入射し、入口スリット4、2つの凹面鏡5、6、回折格子7、出口スリット8を通じて、フォトマルチプライヤのような光検出器9に導かれる。
【0019】
回折格子7には、サインバーを用いた回転機構10が設けられている。この回転機構10は、回折格子7の回転軸(図示省略)に取り付けられたサインバー11のほかに、パルスモータ12、このパルスモータ12に回転駆動されるネジ軸13、ネジ軸13に螺合しネジ軸13の回転により軸方向にスライドするスライダ14や、サインバー11をスライダ14の側に引き寄せるバネ15等を備えたものである。
【0020】
また、回折格子7の回転軸には、その回転角度を検出する手段として、ロータリーエンコーダ16が直結されている。
【0021】
さらに本発明では、この回転機構10の内部に回折格子7を微量的に回転させるための微量駆動手段17が設けられている。この微量駆動手段17は、例えば圧電素子から構成されて、電圧の印加により微量的に伸縮するもので、本実施の形態では、その一端がサインバー11の遊端に接触する向きで他端がスライダ14に取り付けられている。
【0022】
前記の出口スリット8は定位置に固定されている。出口スリット8には、従来例のように、これを入射光に対して横方向に移動させる横移動機構を付設してもよいが、本発明では後に説明するような理由で、出口スリット8の横位置調整の必要性を無くすことができるので、横移動機構を省略して出口スリット8を固定している。
【0023】
また、符号18は、上記した装置各部分の動作を制御する制御部である。この制御部18は、回折格子7の回転角度の調整については、回転機構10のパルスモータ12の駆動を制御するほか、ロータリーエンコーダ16の検出信号を入力し、その検出値に基づいて微量駆動手段17の駆動を制御するもので、以下に説明するように、回折格子7の回転角度を2段階的にフィードバック制御するようになっている。
【0024】
次に、上記構成の動作を説明すると、実際に分析を行うには、まず、発光部1で試料を発光させる。この発光部1で発生する試料の放射光は、集光レンズ2と凹面鏡5とを介して回折格子7に導かれる。
【0025】
この状態のもとで、回折格子7の回転角度の第1段調整として、回転機構10により回折格子7が回転駆動される。すなわち、回転機構10に含まれるパルスモータ12が起動し、ネジ軸13が回転することで、スライダ14が軸方向にスライドし、このスライダ14が微量駆動手段17を介してサインバー11の遊端を押動することで、サインバー11が揺動し、回折格子7の角度が変わる。
【0026】
この第1段の調整で、回折格子7で分光されているスペクトル光のうち、設定された特定波長のスペクトル光が光検出器9の側に導かれるが、この調整は、回転機構10の機械的精度の制約もあって、粗目の調整であり、特定波長のスペクトル光の入射方向はいまだ光検出器9上に正確に定まっているとは限らない。
【0027】
次に、制御部18は、回転機構10の駆動で回転した回折格子7の回転角度をロータリーエンコーダ16により検出する。この場合、制御部18は、ロータリーエンコーダ16の検出信号を較正処理することで、回転角度を微小角度まで高精度に検出する。そして、制御部18は、ロータリーエンコーダ16により検出した検出値と、特定波長に対応する回転角度の設定値とを比較し、設定値との差に対応する分だけ、微量駆動手段17を駆動する。その際、ロータリーエンコーダ16で角度を検出して所定の角度位置まで回折格子7を正確に回転させる。
【0028】
これが回転角度の第2段の調整で、微量駆動手段17がスライダ14とサインバー11との間で伸長もしくは短縮することで、サインバー11とともに回折格子7が微小な角度回転し、これによって、回折格子7の回転角度が微量的に補正される。その結果、回折格子7の回転角度の調整だけで、特定波長のスペクトル光が正確に光検出器9に入射することになる。
【0029】
上記の第1の実施の形態では、サインバー式の回転機構10を有する分光分析装置を示したが、本発明は、図2および図3に示すように、他の様式の回転機構を備えた分光分析装置にも実施可能である。
【0030】
図2および図3は本発明の第2の実施の形態に係り、図2は、第2の実施の形態のICP分光分析装置の回折格子部分の縦断面図、図3はその平面図である。このICP分光分析装置は、回折格子の回転軸と同軸に設けられた軸に結合されたモータにより回折格子を直接的に回転駆動する回転機構と、回折格子の回転軸とモータ側の軸との間に設けられた微量駆動手段と、モータ側の軸に設けられてモータに制動をかける制動手段とを備えていることに特徴がある。以下、その構成を詳細に説明する。
【0031】
このICP分光分析装置は、モータ25により回折格子7を直接的に回転駆動するタイプの回転機構20を備えている。この回転機構20では、回折格子7の台21の下側に内外二重の軸が設けられ、台21に固着された内側の回転軸22にロータリーエンコーダ23が直結されている。外側の筒軸24は駆動軸であって、上端にフランジ24aがあり、下部はロータリーエンコーダ23を回避する形のフレーム24bを介してパルスモータ25に直結されている。符号26はハウジング3の底壁、27はロータリーエンコーダ23の支持台である。また、符号28は微量駆動手段であって、これは筒軸フランジ24aと回折格子7の台21との間に設けられて、両者を回転方向に結合している。筒軸フランジ24aには、その回転を止める制動手段29が対設され、この制動手段29は、パルスモータ25が筒軸24を回転駆動した直後に、筒軸24が惰性で回転しないよう、フランジ24aに制動をかけるようになっている。
【0032】
この第2の実施の形態においても、第1の実施の形態と同様な調整が制御部18によって行われるのであって、まず、第1段の調整として、パルスモータ25の駆動で、回折格子7の回転角度が変えられる。すなわち、パルスモータ25の駆動で筒軸24が回転すると、そのフランジ24aと回折格子7の台21とは微量駆動手段28により回転方向に結合されているので、回折格子7は筒軸24と一体に回転し、その角度が変わる。
【0033】
パルスモータ25の駆動により回転した回折格子7の角度は、ロータリーエンコーダ23により検出され、その検出信号は制御部18に入力する。制御部18は、第2段の調整として、ロータリーエンコーダ23により検出した検出値と、回転角度の設定値とを比較し、設定値との差に対応する分だけ、微量駆動手段28を駆動する。微量駆動手段28が筒軸フランジ24aと回折格子7の台21との間で伸長もしくは短縮することで、回折格子7が微小な角度回転する。その際、ロータリーエンコーダ16で角度を検出して所定の角度位置まで回折格子7を正確に回転させる。これによって、回折格子7の回転角度が微量的に補正され、特定波長のスペクトル光が正確に光検出器に入射することになる。
【0034】
この第2の実施の形態では、パルスモータ25が筒軸24を回転駆動する動作に関連して、制動手段29が制動動作をするようになっているが、筒軸24のフランジ24aもしくは他の部分に常時若干の制動力をかけておいて、筒軸24およびこれに連動する部分の余分の動きを止めるようにしてもよい。
【0035】
【発明の効果】
本発明は、ロータリーエンコーダのような角度検出手段と微量駆動手段とにより、回折格子の回転角度をフィードバック制御するようにしたもので、回折格子の回転角度を微小な角度まで高精度に調整することができ、従来の装置におけるような出口スリットの横位置の調整がほとんど不要になるので、分析を迅速に進めることができ、構成も簡略化することが可能になる。
【0036】
また、従来装置のように、回折格子の回転角度の調整と、出口スリットの横位置の調整とを行うものでは、これら2つの調整部分の機械的精度が重畳的に分析精度に影響を及ぼすが、本発明では、調整部分が回折格子の部分だけであるので、機械的精度の影響を受ける割合が少なく、高精度で分解能の高い分析が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るICP発光分光分析装置の構成図。
【図2】本発明の第2の実施の形態に係るICP分光分析装置の回折格子部分の縦断面図。
【図3】図2に示す部分の平面図。
【図4】従来のICP発光分光分析装置の構成図。
【符号の説明】
7 回折格子、 10 回転機構、
16 ロータリーエンコーダ(角度検出手段)、 17 微量駆動手段、
18 制御部、
Claims (1)
- 回折格子により分光を行う分光分析装置において、回折格子を回転させる回転機構と、この回転機構の駆動部と回折格子側の被駆動部との間に設けられた圧電素子により構成された微量駆動手段と、回折格子の回転軸において回転角度を検出する角度検出手段と、制御部とを備え、
前記制御部は、回転機構の駆動で回転した回折格子の回転角度を角度検出手段により検出し、その検出信号に基づいて微量駆動手段を駆動して回折格子の回転角度を微量的に補正するものであることを特徴とする分光分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25922696A JP3591156B2 (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25922696A JP3591156B2 (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 分光分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10104068A JPH10104068A (ja) | 1998-04-24 |
JP3591156B2 true JP3591156B2 (ja) | 2004-11-17 |
Family
ID=17331163
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25922696A Expired - Fee Related JP3591156B2 (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 分光分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3591156B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021044704A1 (ja) * | 2019-09-02 | 2021-03-11 | 株式会社島津製作所 | クロマトグラフ用分光光度計および基準位置検出方法 |
TR202010646A1 (tr) * | 2020-07-06 | 2022-01-21 | Orta Dogu Teknik Ueniversitesi | Deği̇şken kirinim opti̇k elemanli opti̇k spektrometre |
-
1996
- 1996-09-30 JP JP25922696A patent/JP3591156B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10104068A (ja) | 1998-04-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040203 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040427 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040611 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20040708 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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