JP3586774B2 - ボルト抜止め装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、ボルトのおねじ部がめねじ部より外れた場合でもボルトがボルト軸部挿通孔から抜け落ちてしまわないようにするボルト抜止め装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、半導体製造などに用いられる流体制御装置においては、基板に継手部材がボルトにより固定され、継手部材に開閉弁がボルトにより固定されている。ボルトは、上からねじ込まれるとは限らず、横からまたは下からねじ込まれることも多い。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の流体制御装置では、基板が垂直である場合には、ボルトのおねじ部がめねじ部より外れたときに、ボルトがボルト軸部挿通孔から抜け落ちることがあるという問題があった。
【0004】
この発明の目的は、ボルトを横からまたは下からねじ込んで固定する場合において、ボルトねじ戻し時にボルトがボルト軸部挿通孔から抜け落ちてしまわないようにするボルト抜止め装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明によるボルト抜止め装置は、ボルト軸部挿通孔付き被固定部材をねじ孔付き固定部材に固定するボルトがねじ戻し時にボルト軸部挿通孔から抜け落ちることを防止する装置であって、ボルト軸部挿通孔の中程に、これより先端側の部分が大径となるように段部が設けられ、円筒状のOリング脱出阻止部材が段部との間に間隙を置くようにボルト軸部挿通孔に先端側から嵌め入れられることにより、ボルト軸部挿通孔周面の中間部分に環状凹所が形成されて、環状凹所に、ボルトの軸部の外径より小さい内径を有するOリングが嵌め入れられており、ボルトがOリングの弾性力によって保持されるようになされていることを特徴とするものである。
【0006】
この発明のボルト抜止め装置によると、横からまたは下からねじ込まれたボルトをねじ戻していく場合に、ボルトがねじ孔から外れたときでも、ボルトがOリングの弾性力により保持されるので、ボルトの抜けが防止される。
【0007】
また、ボルト軸部挿通孔の中程に、これより先端側の部分が大径となるように段部が設けられ、円筒状のOリング脱出阻止部材が段部との間に間隙を置くようにボルト軸部挿通孔に先端側から嵌め入れられることにより、環状凹所が形成されているので、Oリングを凹所に嵌め入れやすくかつOリングの抜止めが確実に防止される。
【0010】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、上下は図の上下をいうものとする。
【0011】
図1および図2は、この発明のボルト抜止め装置が使用される流体制御装置の一例を示している。流体制御装置(4)は、半導体製造装置等において用いられるもので、マスフローコントローラ(3)と、マスフローコントローラ(3)の左方および右方に設けられた遮断開放器(1)(2)とよりなる。
【0012】
左方の遮断開放器(1)は、左方に配置された第1開閉弁(6)および右方に配置された第2開閉弁(7)と、第1開閉弁(6)および第2開閉弁(7)が取り付けられている第1弁取付基部(28)とを備えている。第1弁取付基部(28)は、後述する複数の継手(80)(30)(31)(32)(33)により形成されている。左方の遮断開放器(1)の左方には、第1逆止弁(5)が設けられている。
【0013】
また、右方の遮断開放器(2)は、左方に配置された第3開閉弁(8)、中間に配置された第4開閉弁(9)および右方に配置された第5開閉弁(10)と、第3開閉弁(8)、第4開閉弁(9)および第5開閉弁(10)が取り付けられている第2弁取付基部(29)とを備えている。第2弁取付基部(29)は、後述する複数の継手(34)(35)(36)(37)(38)(39)(79)により形成されている。右方の遮断開放器(2)の右方には、第2逆止弁(11)が設けられている。
【0014】
各開閉弁(6)(7)(8)(9)(10)は、それぞれ、弁本体(12)(14)(16)(18)(20)およびこれに上方から取り付けられて弁本体(12)(14)(16)(18)(20)内の通路を適宜遮断開放するアクチュエータ(13)(15)(17)(19)(21)よりなる。各開閉弁(6)(7)(8)(9)(10)の弁本体(12)(14)(16)(18)(20)の下端部には、上から見て方形のフランジ部(12a)(14a)(16a)(18a)(20a)が設けられている。
【0015】
各逆止弁(5)(11)は、それぞれ、下面に入口が設けられた左側弁本体(22)(25)と、左側弁本体(22)(25)とボルトで接続された中央弁本体(23)(26)と、中央弁本体(23)(26)とボルトで接続されかつ下面に出口が設けられた右側弁本体(24)(27)とを備えている。
【0016】
マスフローコントローラ(3)の下端部左面には、下面に入口が設けられた直方体状左方張出部(49)が設けられ、同右面には、下面に出口が設けられた直方体状右方張出部(50)が設けられている。
【0017】
マスフローコントローラ(3)の左方にある各弁本体(22)(23)(24)(12)(14)の下面およびマスフローコントローラ(3)の左方張出部(49)の下面は、すべて面一となされており、マスフローコントローラ(3)の右方張出部(50)およびマスフローコントローラ(3)の右方にある各弁本体(16)(18)(20)(25)(26)(27)の下面も、すべて面一となされている。
【0018】
第1逆止弁(5)の左側弁本体(22)の入口には、保持部材(40)およびこれに保持されたL型通路形成部材(41)よりなり、パージガス導入ラインに接続されているパージガス導入用継手(80)が設けられている。
【0019】
第1逆止弁(5)の右側弁本体(24)の出口と第1開閉弁(6)の弁本体(12)の入口とは、2つの保持部材(42)(44)およびこれらに保持されたU字状連通路形成部材(46)よりなり、左方の遮断開放器(1)に流体を導入する第1流入通路形成用継手(30)により連通されている。連通路形成部材(46)は、2つのL型通路形成部材(43)(45)同士が接合さることにより形成されている。
【0020】
第1開閉弁(6)の弁本体(12)の右寄り部分下面と第2開閉弁(7)の弁本体(14)の左寄り部分下面とにまたがって、第1開閉弁(6)の出口と第2開閉弁(7)の入口とを連通するV字状通路(31a)を有する直方体状の第1連通路形成用ブロック継手(31)が設けられている。
【0021】
第2開閉弁(7)の弁本体(14)の副出入口には、保持部材(47)およびこれに保持されたI型通路形成部材(48)よりなる第1副通路形成用継手(32)が設けられている。第1副通路形成用継手(32)の下端部には、プロセスガス導入ラインに接続されている公知のL型継手(78)が接合されている。
【0022】
第2開閉弁(7)の弁本体(14)の右寄り部分下面とマスフローコントローラ(3)の左方張出部(49)下面とにまたがって、第2開閉弁(7)の出口から流体を排出してマスフローコントローラ(3)に送り込むV字状通路(33a)を有する直方体状第1流出通路形成用ブロック継手(33)が設けられている。
【0023】
マスフローコントローラ(3)の右方張出部(50)下面と第3開閉弁(8)の弁本体(16)の左寄り部分下面とにまたがって、マスフローコントローラ(3)から排出された流体を右方の遮断開放器(2)に導入するV字状通路(34a)を有する直方体状第2流入通路形成用ブロック継手(34)が設けられている。
【0024】
第3開閉弁(8)の弁本体(16)の副出入口には、保持部材(51)およびこれに保持されたL型通路形成部材(52)よりなり、真空引きラインに接続されている第2副通路形成用継手(35)が設けられている。
【0025】
第3開閉弁(8)の弁本体(16)の右寄り部分下面と第4開閉弁(9)の弁本体(18)の左寄り部分下面とにまたがって、第3開閉弁(8)の出口と第4開閉弁(9)の入口とを連通するV字状通路(36a)を有する直方体状第2連通路形成用ブロック継手(36)が設けられている。
【0026】
第4開閉弁(9)の弁本体(18)の副出入口には、保持部材(53)およびこれに保持されたL型通路形成部材(54)よりなり、プロセスガス送り込みラインに接続されている第3副通路形成用継手(37)が設けられている。
【0027】
第4開閉弁(9)の弁本体(18)の出口と第5開閉弁(10)の弁本体(20)の入口とは、2つの保持部材(55)(57)およびこれらに保持された連通路形成部材(59)よりなる第3連通路形成用継手(38)により連通されている。連通路形成部材(59)は、2つのL型通路形成部材(56)(58)同士が接合されることにより形成されている。
【0028】
第5開閉弁(10)の弁本体(20)の右寄り部分下面と第2逆止弁(11)の左側弁本体(25)の下面とにまたがって、第5開閉弁(10)の出口と第2逆止弁(11)の入口とを連通するV字状通路(39a)を有する直方体状第2流出通路形成用ブロック継手(39)が設けられている。
【0029】
第2逆止弁(11)の右側弁本体(27)の出口には、保持部材(60)およびこれに保持されたL型通路形成部材(61)よりなり、パージガス排出ラインに接続されているパージガス排出用継手(79)が設けられている。
【0030】
マスフローコントローラ(3)の左方にある第1流入通路形成用継手(30)、第1連通路形成用継手(31)、第1副通路形成用継手(32)および第1流出通路形成用継手(33)により、左方の遮断開放器(1)の第1弁取付基部(28)が形成されている。また、マスフローコントローラ(3)の右方にある第2流入通路形成用継手(34)、第2副通路形成用継手(35)、第2連通路形成用継手(36)、第3副通路形成用継手(37)、第3連通路形成用継手(38)および第2流出通路形成用継手(39)により、右方の遮断開放器(2)の弁取付基部(29)が形成されている。
【0031】
こうして、左方の遮断開放器(1)には、逆止弁(5)を経て導入されたパージガスが、第1流入通路形成用継手(30)、第1開閉弁(6)の弁本体(12)、第1連通路形成用継手(31)、第2開閉弁(7)の弁本体(14)および第1流出通路形成用継手(33)を通って排出されるパージガス用通路と、第1副通路形成用継手(32)の下面より導入されたプロセスガスが、第1副通路形成用継手(32)、第2開閉弁(7)の弁本体(14)および第1流出通路形成用継手(33)を通って排出されるプロセスガス用通路とが形成されている。また、右方の遮断開放器(2)には、マスフローコントローラ(3)を経て導入されたパージガスが、第2流入通路形成用継手(34)、第2連通路形成用継手(36)、第3連通路形成用継手(38)および第2流出通路形成用継手(39)を通って排出されるパージガス用通路と、マスフローコントローラ(3)を経て導入されたプロセスガスが、第2流入通路形成用継手(34)、第2連通路形成用継手(36)および第3副通路形成用継手(37)を通ってプロセスチャンバーに送り込まれるプロセスガス通路と、これらの通路内のガスが第2副通路形成用継手(35)から抜き出される真空引き用通路とが形成されている。
【0032】
図2に拡大して示すように、第1逆止弁(5)は、いずれも下向きに開口した流入通路(77a)および流出通路(77b)を有している。また、第1開閉弁(6)は、2ポート弁であり、これらの弁本体(12)には、弁本体(12)の下面のほぼ中央に位置する入口(62)と、同右寄りに位置する出口(63)とが設けられており、弁本体(12)内に、入口(62)から弁室(66)に通じている流入通路(64)と、出口(63)から弁室(66)に通じている流出通路(65)とが形成されている。第1開閉弁(6)の弁アクチュエータ(13)は、ダイヤフラムの弁体(67)を作動させるもので、弁アクチュエータ(13)の操作により、流入通路(64)が弁体(67)により遮断開放されるようになされている。また、第2開閉弁(7)は、3ポート弁であり、弁本体(14)には、弁本体(14)の下面の左寄りに位置する入口(68)と、同右寄りに位置する出口(69)と、同ほぼ中央に位置しており他の流体の入口または出口とされる副出入口(70)とが設けられており、弁本体(14)内に、入口(68)から弁室(74)に通じている流入通路(71)と、副出入口(70)から弁室(74)に通じている副通路(73)と、出口(69)から弁室(74)に通じている流出通路(72)とが形成されている。第2開閉弁(7)の弁アクチュエータ(15)は、ダイヤフラムの弁体(75)を作動させるもので、弁アクチュエータ(15)の操作により、副通路(73)が弁体(75)により遮断開放されるようになされている。第2開閉弁(7)の入口(68)に通じる流入通路(71)と出口(69)に通じる流出通路(72)とは、弁室(74)を介して常時連通するようになされている。
【0033】
各弁本体(22)(23)(24)(12)(14)(16)(18)(20)(25)(26)(27)とこれらに突き合わされている各部材(41)(30)(31)(32)(33)(34)(35)(36)(37)(38)(39)(61)との間には、図2に示すようなシール部(76)がそれぞれ設けられている。また、逆止弁(5)(11)および開閉弁(6)(7)(8)(9)(10)とこれに対応する継手(80)(30)(31)(32)(33)(34)(35)(36)(37)(38)(39)(79)とは、すべて弁本体(22)(23)(24)(12)(14)(16)(18)(20)(25)(26)(27)の上方からねじ込まれたボルト(113)(図2参照)により接続されており、これらのボルト(113)を外すことにより、逆止弁(5)(11)および開閉弁(6)(7)(8)(9)(10)を上方に取り外すことができる。なお、第2逆止弁(11)は第1逆止弁(5)と同じ構成であり、第5開閉弁(10)は第1開閉弁(6)と同じ構成であり、第3開閉弁(8)および第4開閉弁(9)は第2開閉弁(7)と同じ構成とされている。
【0034】
この流体制御装置(4)によると、第1開閉弁(6)を閉、第2開閉弁(7)を開、第3開閉弁(8)を閉、第4開閉弁(9)を開、第5開閉弁(10)を閉として、左方の遮断開放器(1)の第1副通路形成用継手(32)にプロセスガスを導入すると、プロセスガスは、第2開閉弁(7)の弁本体(14)および第1流出通路形成用継手(33)を通ってマスフローコントローラ(3)に至り、ここでその流量を調整されて、右方の遮断開放器(2)に導入される。そして、第2流入通路形成用継手(34)、第3開閉弁(8)の弁本体(16)、第2連通路形成用継手(36)、第4開閉弁(9)の弁本体(18)および第3副通路形成用継手(37)を通ってプロセスチャンバーに送り込まれる。この後、第1開閉弁(6)を開、第2開閉弁(7)を閉、第3開閉弁(8)を閉、第4開閉弁(9)を閉、第5開閉弁(10)を開として、第1逆止弁(5)からパージガスを導入すると、パージガスは、第1流入通路形成用継手(30)、第1開閉弁(6)の弁本体(12)、第1連通路形成用継手(31)、第2開閉弁(7)の弁本体(14)および第1流出通路形成用継手(33)を通ってマスフローコントローラ(3)に至り、さらに、第2流入通路形成用継手(34)、第3開閉弁(8)の弁本体(16)、第2連通路形成用継手(36)、第4開閉弁(9)の弁本体(18)、第3連通路形成用継手(38)、第5開閉弁(10)の弁本体(20)、第2流出通路形成用継手(39)および第2逆止弁(11)を流れて排出される。このとき、パージガスは、自身の圧力によって第2開閉弁(7)の弁本体(14)、第1流出通路形成用継手(33)、第2流入通路形成用継手(34)および第2連通路形成用継手(36)に残っているプロセスガスを追い出し、これにより、短時間でパージガスだけが流れるようになる。
【0035】
上記の左方および右方の遮断開放器(1)(2)において、第1流入通路形成用継手(30)および第3連通路形成用継手(38)が共通の部材とされ、また、第1連通路形成用ブロック継手(31)、第1流出通路形成用ブロック継手(33)、第2流入通路形成用ブロック継手(34)、第2連通路形成用ブロック継手(36)および第2流出通路形成用ブロック継手(39)が共通の部材とされ、各副通路形成用継手(32)(35)(37)も共通の部材とされている。すなわち、左方の遮断開放器(1)に3ポートの開閉弁を1つ付加するとともに、その弁取付基部(28)に、第1連通路形成用継手(31)および第1副通路形成用継手(32)と同じものを付加するだけで、右方の遮断開放器(2)が得られている。ここで、付加する開閉弁が2ポートのものであるときは、右方の遮断開放器(2)の第4開閉弁(9)を2ポートの弁に置き換えるとともに、その取付基部(29)から第3副通路形成用継手(37)を除去すればよい。このように、上記の左方および右方の遮断開放器(1)(2)は、種々の仕様変更に対応しやすいものとなっている。
【0036】
なお、図1で示した例では、左方の遮断開放器(1)は、2つの開閉弁(6)(7)を有し、右方の遮断開放器(2)は、3つの開閉弁(8)(9)(10)を有しているが、これらの開閉弁の数は適宜変更可能である。そして、適当な数の開閉弁を有する遮断開放器がマスフローコントローラの左方および右方に設けられるとともに、これがさらに並列状に配置されて、半導体製造装置用の流体制御装置が構成される。そして、この流体制御装置は、基板に継手(80)(30)(31)(32)(33)(34)(35)(36)(37)(38)(39)をボルトで取り付け、これらの継手(80)(30)(31)(32)(33)(34)(35)(36)(37)(38)(39)に、逆止弁(5)(11)、開閉弁(6)(7)(8)(9)(10)およびマスフローコントローラ(3)等の流体制御器をボルトで取り付け、基板を所定位置に固定することにより設置される。
【0037】
次いで、図3を参照して、基板と流体制御器との間に配置される継手部材をボルトにより基板に固定する装置について説明する。
【0038】
図3において、2つのブロック継手(31)(33)が基板(108)に取り付けられ、両継手(31)(33)にまたがって開閉弁(7)が取り付けられている。各ブロック継手(31)(33)の上面には、第2開閉弁(7)の弁本体(14)への取付用ねじ孔(106)が4隅4か所に設けられるとともに、ブロック継手(31)の基板(108)への取付け時に、継手固定ボルト(110)が挿通されるボルト挿通孔(107)が中央部近くの2か所に設けられている。基板(108)には、両継手(31)(33)を基板(108)に取り付けるさいに使用されるねじ孔(109)があけられている。
【0039】
各継手(31)(33)のボルト挿通孔(107)は、ボルト頭部(110a)の径より大きい径を有する大径部(107a)と、これに段部(107c)を介して連なりかつボルト頭部(110a)の径とボルト軸部(110b)の径との中間の径を有する小径部(107b)とよりなる。
【0040】
ボルト挿通孔(107)の小径部(107b)に、下端が基板(108)に受け止められ上端が大径部(107a)内にある円筒状スペーサ(111)が嵌め入れられている。スペーサ(111)は、ボルト軸部(110b)の径より大きい内径を有しかつボルト頭部(110a)の径よりも小さい外径を有している。このスペーサ(111)に、継手固定ボルト(110)の軸部(110b)が嵌め入れられ、同頭部(110a)がスペーサ(111)の上端面で受け止められている。スペーサ(111)は、継手固定ボルト(110)の締付量を規定するもので、継手固定ボルト(110)をボルト挿通孔(107)に挿通して基板(108)のねじ孔(109)にねじ込んでいくと、スペーサ(111)が継手固定ボルト(110)の頭部(110a)と基板(108)との間に突っ張らせられ、それ以上の締付けができないようになっている。
【0041】
スペーサ(111)の上端部には、継手固定ボルト(110)の頭部(110a)の径とほぼ等しい外径の円環状のゴムワッシャ(112)が嵌め被せられている。ゴムワッシャ(112)は、継手固定ボルト(110)の頭部(110a)とボルト挿通孔(107)の段部(107c)とにより挟まれている。ゴムワッシャ(112)の上下方向の長さは、図3に示す締付完了状態において、ゴムワッシャ(112)に圧縮力がかかるように設定されている。したがって、両継手(31)(33)はゴムワッシャ(112)によって基板(108)方向に付勢されている。ゴムワッシャ(112)は弾性を有しているので、これをさらに圧縮変形させることが可能であり、両継手(31)(33)を基板(108)から離れる方向に動かすことができる。したがって、両継手(31)(33)の上面が面一になっていない状態であっても、これらの継手(31)(33)に開閉弁(7)を継手固定ボルト(110)で取り付けていくと、継手(31)(33)が開閉弁(7)に接近していくので、継手固定ボルト(110)の締付けを簡単に行うことができる。これにより、すべてのシール部(76)に適正な押圧力を掛けることができ、シール性が確保される。
【0042】
次いで、図4を参照して、上記2つの継手(31)(33)に開閉弁(7)を本体固定ボルト(113)で取り付けるさいの好ましい構成であるこの発明のボルト抜止め装置について説明する。
【0043】
同図において、開閉弁(7)の弁本体(14)のフランジ部(14a)には、ボルト軸部挿通孔(114)があけられているが、このボルト軸部挿通孔(114)には、中程および下端部近くに、下端部が最も大径となるように段部(114a)(114b)が設けられている。そして、Oリング(115)がボルト軸部挿通孔(114)の下端から嵌め入れられて中程の段部(114a)に受け止められており、さらに、大径側からOリング脱出阻止用のブッシュ(116)が嵌め入れられている。こうして、中程の段部(114a)、ブッシュ(116)の上端面およびボルト軸部挿通孔(114)の周面によって、Oリング嵌入用環状凹所(118)が形成されている。ブッシュ(116)の下端部には、下端近くの段部(114b)に当接するフランジ部(116a)が設けられている。また、ブッシュ(116)の中間部には、これが嵌め入れられているボルト軸部挿通孔(114)の径よりも若干大きい外径を有する環状突起(117)が設けられている。ブッシュ(116)を強制的にボルト軸部挿通孔(114)の大径側から嵌入すると、フランジ部(116a)が下端近くの段部(114b)に受け止められ、環状突起(117)が潰れてブッシュ(116)の抜止めが果たされる。したがって、Oリング(115)が抜け落ちることはない。Oリング(115)の内径は、本体固定ボルト(113)の軸部の外径よりも若干小さくされている。Oリング(115)は弾性を有しているので、本体固定ボルト(113)の軸部をOリング(115)に強制的に挿通することは極めて容易である。また、本体固定ボルト(113)をねじ戻してこれがねじ孔(106)から外れたときには、Oリング(115)の弾性力により、本体固定ボルト(113)はOリング(115)から外れることはない。したがって、基板(108)が垂直状に設置される場合(図の上下と左右が逆となる場合)でも、本体固定ボルト(113)の取付け取外し時にボルト(113)が落下して紛失することがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明によるボルト抜止め装置が使用される流体制御装置の一例を示す正面図である。
【図2】図1の流体制御装置の要部を拡大して示す一部切欠き分解斜視図である。
【図3】継手固定装置を示す断面図である。
【図4】この発明によるボルト抜止め装置を示す断面図である。
【符号の説明】
(7) 開閉弁(被固定部材)
(31) 継手(固定部材)
(106) ねじ孔
(113) ボルト
(114) ボルト軸部挿通孔
(114a) 段部(Oリング受け止め用)
(115) Oリング(弾性部材)
(116) ブッシュ(Oリング脱出阻止部材)
(118) 環状凹所
Claims (1)
- ボルト軸部挿通孔(114)付き被固定部材(7)をねじ孔(106)付き固定部材(31)に固定するボルト(113)がねじ戻し時にボルト軸部挿通孔(114)から抜け落ちることを防止する装置であって、ボルト軸部挿通孔(114)の中程に、これより先端側の部分が大径となるように段部(114a)が設けられ、円筒状のOリング脱出阻止部材(116)が段部(114a)との間に間隙を置くようにボルト軸部挿通孔(114)に先端側から嵌め入れられることにより、ボルト軸部挿通孔(114)周面の中間部分に環状凹所(118)が形成されて、環状凹所(118)に、ボルト(113)の軸部の外径より小さい内径を有するOリング(115)が嵌め入れられており、ボルト(113)がOリング(115)の弾性力によって保持されるようになされていることを特徴とするボルト抜止め装置。
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